KR20100117924A - 기판처리장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 기판에 대한 일정한 공정이 수행되도록 내부에 공간부가 형성되는 챔버;상기 챔버의 공간부에 설치되어 상기 기판을 지지하는 서셉터;상기 서셉터의 상부에 설치되어 상기 기판을 향하여 공정용 가스를 분사하는 가스공급장치;상기 서셉터의 내측으로 몰입되는 위치와 상기 서셉터의 상면위로 돌출된 위치 사이에서 승강가능하게 설치되어, 상기 기판을 상기 서셉터에 로딩 및 언로딩하는 복수의 리프트핀; 및상기 각 리프트핀을 가열하기 위한 히터체;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 서셉터는 상기 챔버 내에 위치고정되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 서셉터의 상면과 하면 사이를 관통하여 복수의 핀홀이 형성되어, 상기 각 리프트핀은 상기 핀홀에 삽입되고,상기 리프트핀이 결합되며 상기 리프트핀을 승강시키도록 상하방향으로 이동 가능하게 설치되는 승강플레이트와,상기 핀홀과 리프트핀 사이를 밀폐하도록, 상기 핀홀을 감싼 상태로 상기 서셉터의 하면과 승강 플레이트 사이에 신장 및 수축가능하게 설치되는 벨로우즈를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제3항에 있어서,상기 리프트핀과 핀홀 사이로 퍼지가스를 분사하도록, 상기 벨로우즈 내부의 공간에 연결되는 가스분사라인을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 서셉터의 상면과 하면 사이를 관통하여 복수의 핀홀이 형성되어, 상기 각 리프트핀은 상기 핀홀에 삽입되고,상기 히터체는 봉형상으로 형성되어 상기 리프트핀의 하부에 결합되며, 상기 서셉터의 핀홀에 삽입되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090036650A KR101115868B1 (ko) | 2009-04-27 | 2009-04-27 | 기판처리장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090036650A KR101115868B1 (ko) | 2009-04-27 | 2009-04-27 | 기판처리장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100117924A true KR20100117924A (ko) | 2010-11-04 |
KR101115868B1 KR101115868B1 (ko) | 2012-02-21 |
Family
ID=43404363
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020090036650A KR101115868B1 (ko) | 2009-04-27 | 2009-04-27 | 기판처리장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101115868B1 (ko) |
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2009
- 2009-04-27 KR KR1020090036650A patent/KR101115868B1/ko active IP Right Grant
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR101115868B1 (ko) | 2012-02-21 |
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