KR20100108690A - Flow rate controlling apparatus using gas pressure control in liquid material supplying apparatus - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A flow rate control apparatus using gas pressure adjustment in a liquid material supply apparatus is provided to accurately control the internal pressure of a liquid material container. CONSTITUTION: A flow rate control apparatus using gas pressure adjustment in a liquid material supply apparatus comprises a flow rate controller(7) and a manometer(8). The flow rate controller is installed in a gas supply pressure pipe(4) installed in the inlet side of a material container(2). The manometer is installed in a material supply pipe(5) installed between the material container and a process chamber(3). The flow rate controller compares the set pressure transmitted from an equipment control part(1) and the material supply pressure detected by the manometer and controls to equalize the two pressures. A bypass valve(41) is installed in the backend of the flow rate controller and bypasses the gas of the material container to outside when the internal pressure of the material container is over the set pressure.

Description

액상원료 공급장치에서의 기체 가압력 조절을 이용한 유량제어장치{Flow rate controlling apparatus using gas pressure control in liquid material supplying apparatus}Flow rate controlling apparatus using gas pressure control in liquid material supplying apparatus

본 발명은 액상원료 공급장치에서의 기체 가압력 조절을 이용한 유량제어장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 화학이나 제약 또는 반도체 등의 생산공정에서 액상의 원료(예를 들어 케미칼)를 기체 압력을 이용하여 공급할 때 기체 공급기의 출력과 원료 용기의 입력 사이에 설치되어 있는 기체 공급용 가압관에 유량 조절기와 기체 압력변화를 전기적인 신호로 검출하는 압력계를 순차적으로 설치하거나, 상기와 같이 기체 공급기의 출력과 원료 용기의 입력 사이에 설치되어 있는 기체 공급용 가압관에는 유량 조절기만 설치하고 공급량 제어밸브를 구비하고 원료 용기의 출구와 프로세서 챔버의 입력 사이에 설치된 원료 공급 관 상에는 원료의 공급 압력변화를 전기적인 신호로 검출하는 압력계를 설치하여, 유량 조절기의 개폐량을 장비 제어부에서 세팅된 압력값과 압력계로부터 검출되는 현재의 압력 값이 같아지도록 제어할 수 있도록 발명한 것이다.The present invention relates to a flow rate control apparatus using gas pressure control in a liquid raw material supply device, and more particularly, using a gas pressure for a liquid raw material (eg, a chemical) in a production process such as chemical, pharmaceutical, or semiconductor. When supplying, a pressure regulator for detecting a gas pressure change with an electric signal is sequentially installed in the gas supply pressure pipe installed between the output of the gas supply and the input of the raw material container, or the output of the gas supply and The gas supply pressurization pipe installed between the inputs of the raw material container is provided with only a flow regulator and is provided with a feed amount control valve. A pressure gauge is installed to detect the signal and the opening and closing amount of the flow controller The current pressure value is detected from the set pressure value and the pressure gauge to the invention so as to control the same.

액상 원료 공급장치는 기본적으로 여러 분야에서 사용되고 있는데, 특히 화학, 제약, 반도체 등 생산공정에서 필요로 하는 원료가 액상인 경우 특별한 목적과 기능을 가진 장치가 개발/제작되어 운영이 되고 있다.Liquid raw material supply device is basically used in various fields, especially when the raw material required in the production process, such as chemical, pharmaceuticals, semiconductors are liquid, a device with a special purpose and function has been developed / manufactured and operated.

예를 들어 반도체 생산공정 중 SOG(Spin On Grass)공정에서 코팅 막의 재료가 되는 액체 원료가 프로세서 챔버의 웨이퍼 상에 공급된 후 웨이퍼는 고속으로 회전하고 공급된 액체 원료는 원심력에 의해 웨이퍼 중앙으로부터 가장자리로 확장해 나아가고 결국 웨이퍼 전체에 얇은 막이 코팅되게 된다.For example, in the spin on grass (SOG) process of the semiconductor production process, the liquid raw material, which is the material of the coating film, is supplied onto the wafer of the processor chamber, and then the wafer rotates at high speed, and the supplied liquid raw material is edged from the center of the wafer by centrifugal force. As a result, a thin film is coated over the entire wafer.

따라서, 생산제품의 품질을 결정짓는 중요한 요소 중 하나가 "정확한 공급량 제어"라 할 수 있는데, 이와 같은 액상 원료의 공급량에 따라 코팅 막의 두께나, 균일도 및 코팅경향 등이 달라지게 될 뿐만 아니라 생산원가도 그 영향을 받게 된다.Therefore, one of the important factors that determine the quality of the product is called "accurate supply control", the thickness of the coating film, the uniformity and the coating tendency, etc., depending on the supply of the liquid raw material, as well as the production cost It is also affected.

종래에 있어서 가압을 이용한 액상 원료(예를 들어 케미칼) 공급장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 원료 용기(2)의 입,출구에는 내부와 외부로 통하는 두 관(4)(5)들이 설치되어 있는데, 그 하나는 기체를 이용하여 압력을 가하는 기체 공급용 가압관(4)이고, 나머지 하나는 가해진 기체 압력에 부응하여 원료 용기(2) 내의 액상 원료가 프로세서 챔버(3) 측으로 이동되는 원료 공급관(5)이다.Conventionally, a liquid raw material (for example, a chemical) supply device using pressure is provided with two pipes 4 and 5 communicating inside and outside at the inlet and outlet of the raw material container 2, as shown in FIG. One is a gas supply pressurizing tube 4 which pressurizes gas using a gas, and the other is a raw material in which the liquid raw material in the raw material container 2 moves to the processor chamber 3 in response to the applied gas pressure. Supply pipe 5.

이와 같은 원리로 액상 원료가 이동하기 위해서는 일반적으로 가압관(4)의 내단부는 원료 용기(2) 내 액체 면과 간극(즉, 공간)을 갖게 설치되고, 원료 공급관(5)의 내단부는 액체의 원료 액 내에 잠겨 있어야 한다.In order for the liquid raw material to move on the basis of this principle, the inner end of the pressurizing tube 4 generally has a gap (ie, a space) with the liquid surface in the raw material container 2, and the inner end of the raw material supply pipe 5 is formed of liquid. It must be submerged in the feed liquid.

상기와 같이 원료 용기 내 액상 최고 면과 접촉하지 않는 가압관(4)을 통해 기체가 가압되고 있는 상태에서 원료 공급관(5)에 설치되어 있는 원료공급밸브(6)가 장비 제어부(1)의 제어를 받고 열리면, 상기 액상 원료 용기(2) 내의 원료 액이 원료 공급관(5)을 통으로 밀려 올라가게 되고, 상기 원료 원료공급밸브(6)가 닫히면 가압이 계속 유지되더라도 공급은 중단된다.As described above, the raw material supply valve 6 installed in the raw material supply pipe 5 while the gas is pressurized through the pressure tube 4 which does not contact the liquid top surface in the raw material container is controlled by the equipment control unit 1. When opened, the raw material liquid in the liquid raw material container 2 is pushed up through the raw material supply pipe 5, and when the raw material raw material supply valve 6 is closed, the supply is stopped even though the pressure is maintained.

이와 같이 프로세서 챔버(3)로의 액상 원료공급과 중단은 원료 원료공급밸브(6)의 개폐를 통해 실행되므로 여기서 중요한 것은 "용기 내의 가압력을 얼마나 안정적으로 정확히 유지시킬 수 있는가"에 달려있다 할 수 있다.As such, the supply and interruption of the liquid phase raw material to the processor chamber 3 is performed through the opening and closing of the raw material raw material supply valve 6, which may be important here depending on how stable and accurate the pressing force in the container can be maintained. .

물론, 원료 공급라인 상에 "액체 유량 조절기"를 설치하여 프로세서 챔버(3)로 공급시키는 액체 원료의 량을 정확히 조절할 수도 있으나, 실제로 프로세서 팸버로 공급해야 하는 원료 액 공급시간이 짧을 경우에는 초기 공급패턴(공급량 세팅(setting)치에 대한 초기 응답(response))에 따라 전체 공급량이 일관성 없이 제각각 다를 수 있어 적용이 바람직하지 않다.Of course, it is possible to precisely control the amount of liquid raw material to be supplied to the processor chamber (3) by installing a "liquid flow regulator" on the raw material supply line, but if the raw material liquid supply time to be actually supplied to the processor tube is short, the initial supply Depending on the pattern (initial response to supply setting), the total supply may vary inconsistently and is not preferred.

따라서 종래에는 원료 용기(2)에 공급되는 기체의 정확한 가압력을 유지하기 위하여 도 1과 같이 기체 공급용 가압관(4) 상에 압력조절유니트(100)를 부착하여 사용하고 있는 것이다.Therefore, in the related art, in order to maintain an accurate pressing force of the gas supplied to the raw material container 2, the pressure adjusting unit 100 is attached to the gas supply pressure tube 4 as shown in FIG.

현재 압력조절유니트(100)로는 주로 레귤레이터를 사용하고 있는데, 이와 같은 레귤레이터로는 정확한 가압력 유지가 힘들다는 것이 단점이다. 즉, 일반적인 레귤레이터는 압력조절이 내부 스프링의 탄성으로 이루어지는데, 이와 같은 압력에 의한 스프링의 탄성에 대한 정확성에 한계가 있기 때문에 정밀한 압력제어는 힘들다.Currently, the regulator is mainly used as a pressure control unit 100, it is a disadvantage that it is difficult to maintain the correct pressing force with such a regulator. That is, in the general regulator, the pressure control is made of the elasticity of the inner spring, and since the accuracy of the elasticity of the spring due to such pressure is limited, precise pressure control is difficult.

또한, 상기 압력조절유니트(100) 전단에서의 압력 변화에 따라 레귤레이터의 압력이 종속적으로 변화하는 것도 정확한 가압을 불가능하게 하는 요소 중 하나이다.In addition, the pressure of the regulator is dependently changed in accordance with the pressure change in the front end of the pressure control unit 100 is also one of the factors that do not allow accurate pressurization.

다른 방법으로는, 액상 원료 공급관(5) 상에 정량펌프를 설치하여 매회 정해진 양만큼의 액상 원료를 원료 용기(2)로부터 프로세서 챔버(3) 측으로 공급할 수도 있다.Alternatively, a metering pump may be provided on the liquid raw material supply pipe 5 to supply a predetermined amount of liquid raw material from the raw material container 2 to the processor chamber 3 side each time.

따라서, 액체유량조절장치(LFC)의 사용도 고려될 수 있는데, 이것은 원료 액 공급관 상에 액체유량조절기를 설치하여 생산공정장치인 장비 제어부(1)로부터 유량 설정치를 입력받아 유량제어를 직접 제어하는 방식을 채택해야 한다.Therefore, the use of the liquid flow rate control device (LFC) can also be considered, which installs the liquid flow rate regulator on the raw material liquid supply pipe and receives the flow rate set value from the equipment control unit 1, which is a production process device, to directly control the flow rate control. Adopt the method.

그러나, 이 방식은 유량제어 초기의 공급패턴(유량 설정치에 대한 response)의 변화가 문제를 일으킬 수 있는데, 도 2는 이와 같은 공급패턴에 따른 변화를 그래프로 나타낸 것이다.However, in this method, a change in the supply pattern (response to the flow rate setting value) at the beginning of the flow control may cause a problem, and FIG.

여기서 파형1은 원료 액 공급시점에서 설정치 도달까지 느리지만 무난한 공급형태를 보이고, 파형2는 설정치까지 빠르지만 설정치 위로 넘어가는 오버슈트(overshoot), 다시 설정치 아래로 내려가는 언더슈트(undershoot)가 발생하는 모습을 보인다.Here, waveform 1 shows a slow but safe supply form from the time of supplying the raw material liquid to the set point, and waveform 2 is fast to the set point, but an overshoot that goes above the set point and an undershoot that goes below the set point occurs again. Looks.

동일한 제어장치에서 이렇게 다른 패턴을 보일 수 있는 것은 장치 자체의 재연성 문제일 수도 있지만, 원료 액 용기 내의 가압력 변화가 주요인이다. It may be a reproducibility problem of the device itself that this different pattern can be seen in the same control device, but the main force change in the raw material liquid container is the main one.

일반적으로, 도 2의 그래프에서 보자면, 파형1 보다 파형2의 경우가 가압력이 높다고 할 수 있다. In general, in the graph of FIG. 2, it can be said that the waveform 2 has a higher pressing force than the waveform 1.

생산공정시간이 길거나, 설정치에 안정된 후에 공정이 진행된다면, 두 가지 파형의 경우에 대한 공정결과가 다르지 않겠으나, 공정시간이 짧거나 원료공급시작점부터 공정이 진행된다면 그 차이는 분명할 것이다. If the process proceeds after a long production time or after settling at a set point, the process results for the two waveforms will not be different, but the difference will be evident if the process is short or if the process proceeds from the starting point of raw material supply.

따라서, 이 방식 또한 적용에 문제가 있다고 할 수 있다Therefore, this method can also be said to have a problem in application.

본 발명은 이와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위하여 안출한 것으로, 화학이나 제약 또는 반도체 등의 생산공정에서 사용되는 케미칼 등과 같은 액상의 원료를 프로세서 챔버에 기체 압력을 이용하여 공급할 때 원료 용기의 입력 측에 설치되어 있는 기체 공급용 가압관에 유량 조절기와 압력계를 순차적으로 설치하거나, 상기와 같이 원료 용기의 입력 측에 설치되어 있는 기체 공급용 가압관에는 유량 조절기만 설치하고 원료 용기의 출구와 프로세서 챔버의 입력 사이에 설치된 원료 공급관 상에는 압력계를 설치하여, 유량 조절기의 개폐량을 장비 제어부에서 세팅된 압력값과 압력계로부터 검출되는 현재의 압력 값을 비교하며 제어하되 장비 제어부의 세팅 압력과 압력계의 검출압력이 동일하면 유량 조절기가 자동으로 닫히면서 기체의 공급이 차단되도록 함으로써 액상 원료 용기 내의 정확한 압력제어가 가능하고, 저가이면서 장치가 복잡하지 않으며, 가압력이 동일하더라도 원료 용기의 원료 잔량에 따라 최종 공급되는 원료량이 달라지는데, 이러한 문제에 대비하여 장비 제어부에서 원료 잔량에 따라 가압력을 변경하여 최종 원료공급량을 일정하게 유지시킬 수 있는 액상원료 공급장치에서의 기체 가압력 조절을 이용한 유량제어장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve such a conventional problem, the input of the raw material container when supplying a liquid raw material such as chemicals, chemicals, pharmaceuticals, or the like used in the production process such as semiconductor to the processor chamber using gas pressure The flow regulator and the pressure gauge are sequentially installed in the gas supply pressurization pipe installed at the side, or the gas supply pressurization pipe installed at the input side of the raw material container is provided only with the flow regulator, and the outlet and the processor of the raw material container are installed. A pressure gauge is installed on the raw material supply pipe installed between the inputs of the chambers to control the opening / closing amount of the flow controller by comparing the pressure value set in the equipment control unit with the current pressure value detected from the pressure gauge. If the pressures are the same, the flow regulator will close automatically, It is possible to precisely control the pressure in the liquid raw material container by blocking the feed rate, and it is cheap and the device is not complicated. Even if the pressing pressure is the same, the final amount of raw material supplied depends on the remaining amount of raw material in the raw material container. It is an object of the present invention to provide a flow control device using gas pressure control in a liquid raw material supply device which can maintain a constant final raw material supply amount by changing the pressing force according to the remaining amount of raw material.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 장치의 일 실시 예는, 가압력 설정부와 모니터를 구비한 장비 제어부의 출력신호에 부응하는 량 또는 압력의 기체를 원료 용기 내에 공급하고, 원료 용기와 프로세서 챔버 사이의 원료 공급관에 설치되어 있는 원료공급밸브의 개폐량을 제어하여 프로세서 챔버에서 필요로 하는 량의 액상 원료를 공급해 주는 액상원료 공급장치를 구성함에 있어서, 상기 원료 용기의 입력 측에 설치되어 있는 기체 공급용 가압관 상에 유량 조절기와 압력계를 순차적으로 설치하여 상기 유량 조절기로 하여금 장비 제어부에서 전송되어 오는 설정 가압력과 압력계에서 검출되는 현재 원료 용기 내로 공급되는 기체의 가압력을 상호 비교하여 두 값이 상호 일치되게 밸브의 개폐량을 제어하도록 한 것을 특징으로 한다.One embodiment of the present invention for achieving the above object is to supply a gas of the amount or pressure corresponding to the output signal of the equipment control unit having a pressing force setting unit and a monitor in the raw material container, between the raw material container and the processor chamber In the configuration of a liquid raw material supply device for controlling the opening and closing amount of the raw material supply valve installed in the raw material supply pipe to supply the amount of liquid raw material required in the processor chamber, the gas supply provided on the input side of the raw material container The flow regulator and the pressure gauge are sequentially installed on the pressure vessel, so that the flow controller compares the set pressure transmitted from the equipment control unit with the pressure of the gas supplied into the current raw material container detected by the pressure gauge. It is characterized in that to control the opening and closing amount of the valve.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 장치의 다른 실시 예는, 가압력 설정부와 모니터를 구비한 장비 제어부의 출력신호에 부응하는 량 또는 압력의 기체를 원료 용기 내에 공급하고, 원료 용기와 프로세서 챔버 사이의 원료 공급관에 설치되어 있는 원료공급밸브의 개폐량을 제어하여 프로세서 챔버에서 필요로 하는 량의 액상 원료를 공급해 주는 액상원료 공급장치를 구성함에 있어서, 상기 원료 용기의 입력 측에 설치되어 있는 기체 공급용 가압관 상에는 유량 조절기를 설치하고, 원 료 용기와 프로세서 챔버 사이에 설치되어 있는 원료 공급관 상에는 압력계를 설치하여, 상기 유량 조절기로 하여금 장비 제어부에서 전송되어 오는 설정 가압력과 압력계에서 검출되는 원료 공급 압력을 상호 비교하여 두 값이 상호 일치되게 밸브의 개폐량을 제어하도록 한 것을 특징으로 한다.Another embodiment of the present invention for achieving the above object is to supply a gas of the amount or pressure corresponding to the output signal of the equipment control unit having a pressing force setting unit and a monitor in the raw material container, between the raw material container and the processor chamber In the configuration of a liquid raw material supply device for controlling the opening and closing amount of the raw material supply valve installed in the raw material supply pipe to supply the amount of liquid raw material required in the processor chamber, the gas supply provided on the input side of the raw material container A pressure regulator is installed on the pressure vessel for the pressure supply, and a pressure gauge is installed on the raw material supply pipe installed between the raw material container and the processor chamber, so that the flow regulator adjusts the set pressing force transmitted from the equipment control unit and the raw material supply pressure detected by the pressure gauge. Control the valve opening and closing values so that the two values coincide with each other It is characterized by that.

또, 상기 기체 공급용 가압관에 설치되어 있는 유량 조절기의 후단에는 바이패스 밸브를 부가 설치하여, 유량 조절기가 닫혀져 있는 상태에서 원료 용기 내의 압력이 설정 가압력보다 높을 경우 원료 용기 내의 기체를 외부로 바이패스시켜 원료 용기 내의 압력을 설정 가압력까지 자연 감압시킬 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.In addition, a bypass valve is installed at the rear end of the flow regulator installed in the gas supply pressurizing tube, and when the pressure in the raw material container is higher than the set pressure when the flow regulator is closed, the gas in the raw material container is bypassed. It is characterized in that the pressure in the raw material container can be naturally reduced to a set pressing force by passing.

이때, 상기 유량 조절기는 장비 제어부로부터 아날로그 신호로 전송되어 오는 설정 가압력을 디지털 신호로 변환시켜 주는 제 1 A/D 변환기와; 상기 압력계를 통해 아날로그 신호로 실시간 검출되는 현재 기체 가압력 또는 현재 원료 공급압력 신호를 디지털 신호로 변환시켜 주는 제 2 A/D 변환기와; 상기 제 1 및 제 2 A/D 변환기에서 각각 디지털 신호로 출력되는 설정 가압력과 현재 기체 가압력 또는 설정 가압력과 현재 원료 공급압력을 상호 비교하여 그 결과를 제어부로 출력해 주는 비교기와; 상기 비교기의 출력신호를 입력받아 그 차에 대응하는 밸브 개도량을 산출하는 제어부와; 상기 제어부의 출력신호에 부응하여 밸브의 개도 량 제어를 직접적으로 실시하는 밸브 구동부와; 상기 밸브 구동부의 구동력에 부응하여 개폐되며 기체의 공급량을 제어하는 밸브;로 이루어진 것을 특징으로 한다.In this case, the flow regulator includes a first A / D converter for converting the set pressure transmitted from the equipment control unit as an analog signal to a digital signal; A second A / D converter for converting a current gas pressing force or a current raw material supply pressure signal detected in real time as an analog signal through the pressure gauge into a digital signal; A comparator for comparing the set pressurization force and the present gas pressurization force or the set pressurization force and the current raw material supply pressure which are output as digital signals from the first and second A / D converters, respectively, and output the result to the controller; A control unit which receives an output signal of the comparator and calculates a valve opening amount corresponding to the difference; A valve driver for directly controlling the opening amount of the valve in response to an output signal of the controller; And a valve that opens and closes in response to a driving force of the valve driving unit and controls a supply amount of gas.

또한, 상기 장비 제어부의 내부 또는 외부에는 아날로그신호를 디지털 신호 로 변환하는 제 3 및 제 4 A/D 변환기를 각각 부가 설치하여 기체 공급용 가압관에 설치되어 있는 압력계 또는 원료 공급관에 설치되어 있는 압력계로부터 각각 검출되는 기체 가압력 또는 원료 공급 압력이 장비 제어부에 실시간으로 전달될 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.In addition, a pressure gauge installed in a gas supply pressure pipe or a pressure gauge installed in a gas supply pressurizing pipe is installed in each of the third and fourth A / D converters for converting an analog signal into a digital signal inside or outside of the equipment control unit. It is characterized in that the gas pressing force or the raw material supply pressure detected from each to be delivered in real time to the equipment control unit.

또, 상기 장비 제어부는 각각의 압력계를 통해 기체 가압력 또는 원료 공급 압력을 실시간으로 입력받아 이를 모니터상에 표시하거나, 또는 자체내의 기억부에 계속해서 축적 저장하여 파일화하는 기능을 더 수행하는 것을 특징으로 한다.In addition, the equipment control unit receives the gas pressure or raw material supply pressure in real time through the respective pressure gauge, or displays it on the monitor, or further accumulates and stores the file in the storage unit in its own, characterized in that further performing the function. It is done.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명 장치에 의하면, 화학이나 제약 또는 반도체 등의 생산공정에서 사용되는 케미칼 등과 같은 액상의 원료를 기체 압력을 이용하여 프로세서 챔버 등과 같은 장비에 공급하는 액상 원료 공급장치를 구성함에 있어서, 원료 용기의 입력 측에 설치되어 있는 기체 공급용 가압관에 유량 조절기와 압력계를 순차적으로 설치하거나, 상기와 같이 원료 용기의 입력 측에 설치되어 있는 기체 공급용 가압관에는 유량 조절기만 설치하고 원료 용기의 출구와 프로세서 챔버의 입력 사이에 설치된 원료 공급관 상에는 압력계를 설치하여, 유량 조절기의 개폐량을 장비 제어부에서 세팅된 압력값과 압력계로부터 검출되는 현재의 압력 값을 비교하며 제어하되 장비 제어부의 세팅 압력과 압력계의 검출압력이 동일하면 유량 조절기가 자동으로 닫히면서 기체의 공급이 차단되도록 함으로써 첫째 액상 원료 용기 내의 정확한 압력제어가 가능하고, 둘째 저가이면서 장치가 복잡하 지 않으며, 셋째 가압력이 동일하더라도 원료 용기의 원료 잔량에 따라 최종 공급되는 원료량이 달라지는데, 이러한 문제에 대비하여 장비 제어부에서 원료 잔량에 따라 가압력을 변경하여 최종 원료공급량을 일정하게 유지시킬 수 있는 등 매우 유용한 발명인 것이다. As described above, according to the present invention, a liquid raw material supply apparatus for supplying a liquid raw material such as a chemical used in a chemical, pharmaceutical, or semiconductor production process to a device such as a processor chamber using gas pressure is provided. In this case, the flow regulator and the pressure gauge are sequentially installed in the gas supply pressurization tube installed on the input side of the raw material container, or the flow regulator is provided only in the gas supply pressurization tube installed on the input side of the raw material container. A pressure gauge is installed on the raw material supply pipe installed between the outlet of the raw material container and the input of the processor chamber to control the opening and closing amount of the flow controller by comparing the pressure value set in the equipment control unit with the current pressure value detected from the pressure gauge. If the set pressure is equal to the detected pressure of the pressure gauge, By automatically closing the gas supply to shut off, first, accurate pressure control in the liquid raw material container is possible, secondly, the device is inexpensive and not complicated. In order to prepare for such a problem, the equipment control unit is a very useful invention such that the final raw material supply can be kept constant by changing the pressing force according to the remaining amount of raw material.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명 장치의 일 실시 예에 따른 구성도를 나타낸 것이고, 도 4는 본 발명 장치의 다른 실시 예에 따른 구성도를 나타낸 것이다.Figure 3 shows a block diagram according to an embodiment of the present invention, Figure 4 shows a block diagram according to another embodiment of the device.

이에 따르면 본 발명의 일 실시 예는, 사용자가 임의의 기체 가압력을 설정할 수 있도록 하는 가압력 설정부(12)와 각종 운영정보 등이 표시되는 모니터(11)를 구비한 장비 제어부(1)의 출력신호에 부응하는 량 또는 압력의 기체를 원료 용기(2) 내에 공급하고, 원료 용기(2)와 프로세서 챔버(3) 사이의 원료 공급관(5)에 설치되어 있는 원료공급밸브(6)의 개폐량을 제어하여 프로세서 챔버(3)에서 필요로 하는 량의 액상 원료를 공급해 주는 액상원료 공급장치를 구성함에 있어서,Accordingly, an embodiment of the present invention, the output signal of the equipment control unit 1 having a pressing force setting unit 12 for allowing a user to set any gas pressing force and a monitor 11 for displaying various operating information, etc. A gas having an amount or pressure corresponding to the pressure is supplied into the raw material container 2, and the opening / closing amount of the raw material supply valve 6 provided in the raw material supply pipe 5 between the raw material container 2 and the processor chamber 3 is adjusted. In the configuration of a liquid raw material supply device for controlling and supplying the amount of liquid raw material required in the processor chamber (3),

상기 원료 용기(2)의 입력 측에 설치되어 있는 기체 공급용 가압관(4) 상에 유량 조절기(7)와 압력계(8)를 순차적으로 설치하여, 상기 유량 조절기(7)로 하여금 장비 제어부(1)에서 전송되어 오는 설정 가압력과 압력계(8)에서 검출되는 현재 원료 용기(2) 내로 공급되는 기체의 가압력을 상호 비교하여 두 값이 상호 일치되 게 밸브(76)의 개폐량을 제어하도록 한 것을 특징으로 한다.The flow regulator 7 and the pressure gauge 8 were sequentially installed on the gas supply pressure pipe 4 provided on the input side of the raw material container 2, so that the flow controller 7 was equipped with an equipment control unit ( 1) compares the set pressing force transmitted from 1) with the pressing force of the gas supplied into the current raw material container 2 detected by the pressure gauge 8 so as to control the opening / closing amount of the valve 76 so that the two values coincide with each other. It is characterized by.

또한, 위한 본 발명의 다른 실시 예는, 사용자가 임의의 기체 가압력을 설정할 수 있도록 하는 가압력 설정부(12)와 각종 운영정보 등이 표시되는 모니터(11)를 구비한 장비 제어부(1)의 출력신호에 부응하는 량 또는 압력의 기체를 원료 용기(2) 내에 공급하고, 원료 용기(2)와 프로세서 챔버(3) 사이의 원료 공급관(5)에 설치되어 있는 원료공급밸브(6)의 개폐량을 제어하여 프로세서 챔버(3)에서 필요로 하는 량의 액상 원료를 공급해 주는 액상원료 공급장치를 구성함에 있어서,In addition, according to another embodiment of the present invention, the output of the equipment control unit 1 having a pressure setting unit 12 for allowing the user to set any gas pressing force and a monitor 11 for displaying various operational information, etc. A gas of an amount or pressure corresponding to the signal is supplied into the raw material container 2 and the opening / closing amount of the raw material supply valve 6 provided in the raw material supply pipe 5 between the raw material container 2 and the processor chamber 3. In the configuration of the liquid raw material supply device for supplying the amount of liquid raw material required in the processor chamber (3) by controlling the

상기 원료 용기(2)의 입력 측에 설치되어 있는 기체 공급용 가압관(4) 상에는 유량 조절기(7)를 설치하고, 원료 용기(2)와 프로세서 챔버(3) 사이에 설치되어 있는 원료 공급관(5) 상에는 압력계(8)를 설치하여, 상기 유량 조절기(7)로 하여금 장비 제어부(1)에서 전송되어 오는 설정 가압력과 압력계(8)에서 검출되는 원료 공급 압력을 상호 비교하여 두 값이 상호 일치되게 밸브(76)의 개폐량을 제어하도록 한 것을 특징으로 한다.On the gas supply pressure pipe 4 provided on the input side of the raw material container 2, a flow regulator 7 is provided, and the raw material supply pipe provided between the raw material container 2 and the processor chamber 3 ( 5) a pressure gauge 8 is installed on the valve, and the flow controller 7 compares the set pressing force transmitted from the equipment control unit 1 with the raw material supply pressure detected by the pressure gauge 8 so that the two values coincide with each other. It is characterized in that to control the opening and closing amount of the valve 76.

또, 상기 기체 공급용 가압관(4)에 설치되어 있는 유량 조절기(7)의 후단에는 바이패스 밸브(41)를 부가 설치하여, 유량 조절기(7)가 닫혀져 있는 상태에서 원료 용기(2) 내의 압력이 설정 가압력보다 높을 경우 원료 용기(2) 내의 기체를 외부로 바이패스시켜 원료 용기(2) 내의 압력을 설정 가압력까지 자연 감압시켜 줄 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.In addition, a bypass valve 41 is additionally installed at the rear end of the flow regulator 7 provided in the gas supply pressurizing tube 4, and the inside of the raw material container 2 is in a state where the flow regulator 7 is closed. When the pressure is higher than the set pressing force, the gas in the raw material container 2 is bypassed to the outside so that the pressure in the raw material container 2 can be naturally reduced to the set pressing pressure.

이때, 상기 유량 조절기(7)는 장비 제어부(1)로부터 아날로그 신호로 전송되어 오는 설정 가압력을 디지털 신호로 변환시켜 주는 제 1 A/D 변환기(71)와;At this time, the flow regulator 7 includes a first A / D converter 71 for converting the set pressure force transmitted from the equipment controller 1 into an analog signal into a digital signal;

상기 압력계(8)를 통해 아날로그 신호로 실시간 검출되는 현재 기체 가압력 또는 현재 원료 공급압력 신호를 디지털 신호로 변환시켜 주는 제 2 A/D 변환기(72)와;A second A / D converter 72 for converting a current gas pressing force or a current raw material supply pressure signal detected in real time as an analog signal through the pressure gauge 8 into a digital signal;

상기 제 1 및 제 2 A/D 변환기(71)(72)에서 각각 디지털 신호로 출력되는 설정 가압력과 현재 기체 가압력 또는 설정 가압력과 현재 원료 공급압력을 전압 또는 전류치로 상호 비교하여 그 결과를 제어부(74)로 출력해 주는 비교기(73)와;The first and second A / D converters 71 and 72 respectively compare the set pressure and the current gas pressure or the set pressure and the current raw material supply pressure which are output as digital signals, and compare the result with a voltage or a current value. A comparator 73 outputted to 74);

상기 비교기(73)의 비교결과 값을 입력받아 그 차에 대응하는 밸브 개도량을 산출하는 제어부(74)와;A control unit 74 for receiving a comparison result value of the comparator 73 and calculating a valve opening amount corresponding to the difference;

상기 제어부(74)의 출력신호에 부응하여 밸브(76)의 개도 량 제어를 직접적으로 실시하는 밸브 구동부(75)와;A valve driver 75 which directly controls the opening amount of the valve 76 in response to the output signal of the controller 74;

상기 밸브 구동부(75)의 구동력에 부응하여 개폐되며 원료 용기(2)내로 공급하는 기체의 공급량을 제어하는 밸브(76);로 이루어진 것을 특징으로 한다.And a valve 76 that opens and closes in response to the driving force of the valve driving unit 75 and controls a supply amount of the gas supplied into the raw material container 2.

또한, 상기 장비 제어부(1)의 내부 또는 외부에는 아날로그신호를 디지털 신호로 변환하는 제 3 및 제 4 A/D 변환기(9)(10)를 각각 부가 설치하여 상기 기체 공급용 가압관(4)에 설치되어 있는 압력계(8) 또는 원료 공급관(5)에 설치되어 있는 압력계(8)로부터 각각 검출되는 기체 가압력 또는 원료 공급 압력이 실시간으로 장비 제어부(1)에 전달될 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.In addition, a third and fourth A / D converters 9 and 10 respectively configured to convert analog signals into digital signals are installed inside or outside the equipment control unit 1, respectively, so that the gas supply pressure tube 4 is provided. It is characterized in that the gas pressing force or the raw material supply pressure detected from the pressure gauge 8 installed in the pressure gauge 8 or the raw material supply pipe 5 respectively installed in the control unit 1 can be transmitted to the equipment control unit 1 in real time. .

또, 상기 장비 제어부(1)는 각 압력계(8)를 통해 기체 가압력 또는 원료 공급 압력을 실시간으로 입력받아 이를 모니터(11)상에 표시하거나, 또는 자체내의 기억부에 계속해서 축적 저장하여 파일화하는 것을 더 수행하도록 한 것을 특징으 로 한다.In addition, the equipment control unit 1 receives the gas pressing pressure or the raw material supply pressure in real time through each pressure gauge 8 and displays it on the monitor 11 or continuously accumulates and stores the file in the storage unit in the file. It is characterized in that it is to perform more.

이와 같이 구성된 본 발명 장치의 작용효과를 설명하면 다음과 같다. Referring to the operation and effect of the device of the present invention configured as described above are as follows.

먼저, 본 발명은 공지된 액상원료 공급장치에 있어서, 기체 공급기(도시 생략함)와 원료 용기(2)에 사이에 설치된 기체 공급용 가압관(4) 상에 유량 조절기(7)와 압력계(8)를 순차적으로 설치하거나, 기체 공급기와 원료 용기(2)에 사이에 설치된 기체 공급용 가압관(4) 상에 유량 조절기(7)를 설치하고 원료 용기(2)와 프로세서 챔버(3) 사이에 설치된 원료 공급관(5) 상에는 압력계(8)를 설치하여, 상기 유량 조절기(7)로 하여금 장비 제어부(1)에서 전송되어 오는 설정 가압력과 압력계(8)에서 검출되는 기체의 가압력 또는 원료 공급 압력을 상호 비교하여 두 값이 상호 일치되게 밸브(76)의 개폐량을 제어하도록 한 것을 주요기술 구성요소로 한다.First, the present invention, in the known liquid raw material supply apparatus, the flow rate regulator 7 and the pressure gauge 8 on the gas supply pressure pipe (4) provided between the gas supply (not shown) and the raw material container (2) ) Or sequentially install a flow rate regulator (7) on the gas supply pressure pipe (4) installed between the gas supply and the raw material container (2) and between the raw material container (2) and the processor chamber (3) A pressure gauge 8 is provided on the installed raw material supply pipe 5 to allow the flow controller 7 to adjust the set pressure that is transmitted from the equipment control unit 1 and the pressure or raw material supply pressure of the gas detected by the pressure gauge 8. The main technical component is to control the opening and closing amount of the valve 76 so that the two values are mutually matched with each other.

이때, 상기한 공지된 액상원료 공급장치 중 장비 제어부(1)는 사용자가 임의의 기체 가압력을 설정할 수 있도록 하는 가압력 설정부(12)와 각종 운영정보 등이 표시되는 모니터(11)를 구비하고 장비의 제어에 필요한 전반적인 제어 기능을 수행한다.At this time, the equipment control unit 1 of the known liquid raw material supply device is equipped with a pressure setting unit 12 for allowing the user to set any gas pressing pressure and a monitor 11 for displaying various operating information and the like equipment Perform the overall control functions required for the control of.

또, 상기 원료 용기(2)는 입,출구에 각각 기체를 이용하여 압력을 가하는 기체 공급용 가압관(4)과, 가해진 기체 압력에 부응하여 원료 용기(2) 내의 액상 원료가 프로세서 챔버(3) 측으로 이동되도록 하는 원료 공급관(5)이 설치된 구성을 갖는데, 이때 상기 기체 공급용 가압관(4)의 내단부는 기 설명한 바와 같이 원료 용기(2) 내 액체 면과 간극을 갖게 설치되고, 원료 공급관(5)의 내단부는 액체의 원료 액 내에 잠겨진 상태로 설치된다.The raw material container 2 includes a gas supply pressurizing tube 4 for applying pressure to the inlet and the outlet using gas, and a liquid raw material in the raw material container 2 in response to the applied gas pressure. The raw material supply pipe 5 to be moved to the side) is provided, wherein the inner end of the gas supply pressure pipe (4) is provided with a gap with the liquid surface in the raw material container (2), as described above, the raw material supply pipe The inner end of (5) is provided in a state submerged in the liquid raw material liquid.

또한, 상기 원료 공급관(5) 상에는 상기 장비 제어부(1)의 제어에 부응하여 개폐되며 원료 용기(2)에서 원료 공급관(5)을 통해 기체 가압력에 부응하여 배출되어 프로세서 챔버(3)로 공급되는 액상 원료의 량을 제어하는 원료공급밸브(6)가 구비된 형태를 갖는다.In addition, the raw material supply pipe (5) is opened and closed in response to the control of the equipment control unit 1 and discharged in response to the gas pressing force through the raw material supply pipe (5) in the raw material container (2) is supplied to the processor chamber (3) It has a form provided with a raw material supply valve 6 for controlling the amount of the liquid raw material.

한편, 상기 유량 조절기(7)는 제 1 및 제 2 A/D 변환기(72)와 비교기(73), 제어부(74), 밸브 구동부(75) 및 밸브(76)를 일체로 구비하고 모듈화된 하나의 구성품으로 구성된 형태를 갖고, 상기 압력계(8)는 기체의 가압력 또는 액상 원료의 공급압력을 전기적인 신호(즉, 전압이나 전류)로 검출하는 기능을 갖는다.On the other hand, the flow regulator 7 is provided with a first and second A / D converter 72 and comparator 73, the control unit 74, the valve drive unit 75 and the valve 76 integrally and modularized The pressure gauge 8 has a function of detecting an applied pressure of a gas or a supply pressure of a liquid raw material by an electrical signal (that is, a voltage or a current).

이때, 상기 유량 조절기(7) 내의 제 1 A/D 변환기(71)는 장비 제어부(1)로부터 아날로그 신호로 전송되어 오는 사용자의 설정 가압력을 디지털 신호로 변환하여 비교기(73)로 전달하고, 상기 제 2 A/D 변환기(72)는 압력계(8)를 통해 아날로그 신호로 실시간 검출되는 현재 기체 가압력 또는 현재 원료 공급압력 신호를 디지털 신호로 변환하여 비교기(73)로 전달한다.At this time, the first A / D converter 71 in the flow regulator 7 converts the set pressure of the user, which is transmitted from the equipment controller 1 as an analog signal, to a digital signal, and transmits the digital signal to the comparator 73. The second A / D converter 72 converts the current gas pressing force or current raw material supply pressure signal, which is detected in real time as an analog signal through the pressure gauge 8, into a digital signal, and transmits it to the comparator 73.

또, 상기 비교기(73)는 전술한 제 1 및 제 2 A/D 변환기(71)(72)에서 각각 디지털 신호로 출력되어 오는 사용자 설정 가압력과 현재 기체 가압력(일 실시 예의 경우) 또는 설정 가압력과 현재 원료 공급압력(다른 실시 예의 경우)을 예를 들어 전압 또는 전류치로 상호 비교하여 그 결과를 제어부(74)로 출력해 주게 된다.In addition, the comparator 73 and the user set pressing force and the current gas pressing force (in one embodiment) or the set pressing force which is output as a digital signal from the first and second A / D converters 71 and 72 described above, respectively; The current raw material supply pressure (in the case of another embodiment) is compared with each other by, for example, a voltage or a current value, and the result is output to the controller 74.

따라서, 상기 제어부(74)에서는 비교기(73)에서 출력되는 비교결과 값을 입력받아 그 차에 대응하는 밸브 개도량을 산출한 다음 그에 부응하는 밸브 제어신호 를 밸브 구동부(75)로 발생시켜 주게 된다.Therefore, the controller 74 receives the comparison result value output from the comparator 73, calculates the valve opening amount corresponding to the difference, and generates a valve control signal corresponding to the difference to the valve driver 75. .

또한, 상기 밸브 구동부(75)는 제어부(74)에서 출력되는 구동신호에 부응하여 모터 등의 구동량 제어를 통해 밸브(76)의 개도 량 제어를 직접적으로 실시하고, 기체 공급용 가압관(4) 또는 원료 공급관(5)에 직렬 연결된 형태를 갖는 상기 밸브(76)는 밸브 구동부(75)의 구동력에 부응하여 개폐되며 원료 용기(2) 내로 공급하는 기체의 공급량을 제어하게 된다.In addition, the valve driver 75 directly controls the opening amount of the valve 76 in response to a drive signal output from the controller 74, and controls the opening amount of the valve 76 by controlling the driving amount of the motor, and the pressure supply pipe 4 for gas supply. ) Or the valve 76 having a form connected in series to the raw material supply pipe 5 is opened and closed in response to the driving force of the valve driving unit 75 to control the amount of gas supplied into the raw material container 2.

이때, 상기 제어부(74)에서 비교기(73)의 출력신호를 입력받은 결과 만약, 설정 가압력보다 압력계(8)로부터 오는 현재 검출 압력치(기체 가압력 및 원료 공급압력을 통칭함)가 더 낮은 상태로 인식되면 밸브 구동부(75)에 밸브(76)를 열도록 하는 구동신호를 발생시켜 유량 조절기(7)를 통해 기체를 흘려 보내 후단의 압력을 높여줄 수 있도록 하게 된다.At this time, as a result of receiving the output signal of the comparator 73 from the control unit 74, if the current detection pressure value (collectively the gas pressing force and raw material supply pressure) coming from the pressure gauge 8 is lower than the set pressing force. When it is recognized to generate a drive signal to open the valve 76 to the valve drive unit 75 to flow the gas through the flow regulator 7 to increase the pressure of the rear end.

또, 상기 압력계(8)로부터 검출되는 압력치가 설정 가압력과 일치되어 비교기(73)에서 "0"이 출력되면 제어부(74)는 밸브 구동부(75)에 밸브(76) 차단신호를 발생시켜 유량 조절기(7)를 통한 기체의 흐름을 중지시키고, 설정 가압치 압력을 유지시키는 수준으로만 기체를 흘려 보내게 된다.In addition, when the pressure value detected from the pressure gauge 8 is consistent with the set pressing force, and a "0" is output from the comparator 73, the control unit 74 generates a valve 76 blocking signal to the valve driving unit 75 to control the flow rate regulator. The flow of gas through (7) is stopped, and the gas is allowed to flow only at a level that maintains the set pressure value.

물론, 유량 조절기(7) 전단의 압력은 유량 조절기(7) 후단의 가압되는 압력보다 충분히 높아야 한다.Of course, the pressure in front of the flow regulator 7 should be sufficiently higher than the pressurized pressure in the rear of the flow regulator 7.

예를 들어 상기 프로세서 챔버(3)에서 필요하는 원료 액이 10cc/분일 때, 상기 유량 조절기(7)를 통하여 원료 용기(2) 내로 가하는 기체 압력이 20psi일 경우라면 장비 제어부(1)에서는 유량 조절기(7)의 제 1 A/D 변환기(71)에 20psi의 설정 가압력 정보를 보낸다.For example, when the raw material liquid required in the processor chamber 3 is 10 cc / min, and the gas pressure applied to the raw material container 2 through the flow regulator 7 is 20 psi, the equipment control unit 1 controls the flow controller. The set pressure information of 20 psi is sent to the first A / D converter 71 of (7).

이때, 각 장치들간에 주고 받는 정보들은 전압이나 전류로 이루어진다.At this time, the information exchanged between the devices is made of voltage or current.

상기와 같이 장비 제어부(1)로부터 기체 가압력 설정치(20psi)를 입력받은 상기 유량 조절기(7)내 비교기(73)에서는 유량 조절기(7)의 후단 또는 원료 공급관(5)의 전단부에 설치되어 있는 압력계(8)를 통해 현재의 검출 압력치(기체 가압력 및 원료 공급압력)을 상호 비교하여 그 결과를 제어부(74)에 전달하게 된다.In the comparator 73 in the flow regulator 7 which receives the gas pressing force set value (20 psi) from the equipment control unit 1 as described above, the rear end of the flow regulator 7 or the front end of the raw material supply pipe 5 is provided. The pressure gauge 8 compares the current detected pressure values (gas pressure and raw material supply pressure) with each other and transmits the result to the controller 74.

상기 비교기(73)의 출력신호를 입력받은 제어부(74)에서 확인한 결과 현재의 압력치가 설정 가압치보다 낮다면(예: 10psi) 밸브 구동부(75)를 통해 밸브(76)를 구동시켜 유량 조절기(7)를 통해 기체를 서서히 원료 용기(2) 측으로 흘려보내 용기를 가압시킴으로써 압력계(8)가 점점 더 높은 압력을 인식하게 된다.As a result of checking the output signal of the comparator 73 as a result, when the present pressure value is lower than the set pressure value (for example, 10 psi), the valve 76 is driven through the valve driver 75 to adjust the flow rate regulator ( 7) the pressure gauge 8 recognizes the higher pressure by gradually flowing the gas to the raw material container 2 side and pressurizing the container.

이와 같이 상기 유량 조절기(7)에서는 장비 제어부(1)에서 전송되어 오는 설정 가압치와 각 압력계(8)에서 실시간으로 검출되는 현재 검출 압력치를 상호 비교하면서 원료 용기(2) 내로의 기체공급을 조절하여 일정한 압력을 유지시킨다.As described above, the flow controller 7 controls the gas supply into the raw material container 2 while comparing the set pressure value transmitted from the equipment control unit 1 with the current detected pressure value detected in real time by each pressure gauge 8. To maintain a constant pressure.

한편, 상기 압력계(8)에서 검출되는 현재 검출 압력치가 사용자의 설정 가압치보다 더 높을 경우, 상기 유량 조절기(7)는 기체를 공급하지 않고, 원료 용기(2) 내의 압력이 자연적인 감압이 될 때까지 기다려야 한다.On the other hand, when the current detected pressure value detected by the pressure gauge 8 is higher than the user set pressure value, the flow regulator 7 does not supply gas, and the pressure in the raw material container 2 may be naturally reduced in pressure. You must wait until.

따라서, 본 발명에서는 이와 같은 경우를 대비하여 상기 기체 공급용 가압관(4)의 후측(즉, 일 실시 예에서는 압력계(8)의 뒤쪽, 다른 실시 예에서는 유량 조절기(7)의 뒤쪽)에 바이패스 밸브(41)를 부가 설치하여 주었다.Accordingly, in the present invention, the gas supply pressurizing tube 4 is prepared in such a case (i.e., behind the pressure gauge 8 in one embodiment, behind the flow regulator 7 in another embodiment). The pass valve 41 was additionally installed.

따라서, 상기 유량 조절기(7)가 닫혀져 있는 상태(즉, 상기 압력계(8)에서 검출되는 현재 검출 압력치가 사용자의 설정 가압치보다 더 높아 상기 유량 조절기(7)를 통한 기체 공급이 이루어지지 않는 상태)에서 원료 용기(2) 내의 압력이 설정 가압력보다 높을 경우 원료 용기(2) 내의 기체 일부가 상기 바이패스 밸브(41)를 통해 외부로 바이패스시킬 수 있어 원료 용기(2) 내의 압력을 설정 가압력까지 자연 감압시켜 줄 수 있는 것이다.Accordingly, the state in which the flow regulator 7 is closed (that is, the current detected pressure value detected by the pressure gauge 8 is higher than the set pressure value of the user) does not allow gas supply through the flow regulator 7. ), When the pressure in the raw material container 2 is higher than the set pressing force, a part of the gas in the raw material container 2 can be bypassed to the outside through the bypass valve 41, thereby setting the pressure in the raw material container 2 to the set pressing force. It will be able to decompress naturally.

한편, 상기 유량 조절기(7)에 사용자의 설정 가압력에 따른 정보를 제공하고 있는 장비 제어부(1)에서도 압력계(8)를 통해 검출되는 현재 기체 가압력 또는 현재 원료 공급압에 대한 정보를 알아야만 현재 유량 조절기(7)가 어떠한 상태로 제어되고 있는지를 포함하여 원료 용기(2) 내의 기체 가압력 및 프로세서 챔버(3)로 공급되는 원료의 공급압력 등의 정보를 정확히 인식하고 그 결과에 따른 시스템의 전반적인 제어를 지속할 수 있다.On the other hand, the equipment control unit 1, which provides the flow controller 7 with information according to the user set pressure, needs to know the information about the current gas pressure or the current raw material supply pressure detected through the pressure gauge 8 to the current flow regulator. Accurately recognize information such as the gas pressurization in the raw material container 2 and the supply pressure of the raw material supplied to the processor chamber 3, including the state in which 7 is being controlled, and control the overall control of the system according to the result. Can last.

따라서, 본 발명에서는 상기 장비 제어부(1)의 내부 또는 외부에 아날로그신호를 디지털 신호로 변환하는 제 3 및 제 4 A/D 변환기(9)(10)를 각각 부가 설치하고, 상기 기체 공급용 가압관(4)에 설치되어 있는 압력계(8) 또는 원료 공급관(5)에 설치되어 있는 압력계(8)의 출력신호를 이들 제 3 및 제 4 A/D 변환기(9)(10)를 통해 전달시켜 줄 수 있도록 하였다.Accordingly, in the present invention, the third and fourth A / D converters 9 and 10 for converting an analog signal into a digital signal are respectively installed inside or outside the equipment control unit 1, and the gas supply pressurization is performed. The output signal of the pressure gauge 8 provided in the pipe 4 or the pressure gauge 8 provided in the raw material supply pipe 5 is transmitted through these third and fourth A / D converters 9 and 10. To give.

그러므로, 상기 장비 제어부(1)에서는 각 압력계(8)를 통해 실시간으로 검출되는 기체 가압력 또는 원료 공급 압력을 제 3 및 제 4 A/D 변환기(9)(10)를 통해 계속해서 디지털신호로 입력받아 시간대별로 정확히 인식하고 그 결과에 따라 필요로 하는 제어신호들을 각각의 제어대상 기기에 출력시켜 줄 수 있는 것이다.Therefore, the equipment control unit 1 continuously inputs the gas pressing force or raw material supply pressure detected in real time through each pressure gauge 8 through the third and fourth A / D converters 9 and 10 as digital signals. It is able to accurately recognize each time zone and receive the necessary control signals according to the result to each control target device.

이 밖에도 본 발명에서는 상기 장비 제어부(1)에서 각 압력계(8)로부터 실시간으로 검출되는 기체 가압력 또는 원료 공급 압력을 제 3 및 제 4 A/D 변환기(9)(10)를 통해 입력받아 자체 내에 구비된 모니터(11)상에 문자나 숫자 또는 그래프 등으로 표시하여 사용자가 실시간으로 인식할 수 있도록 하였다.In addition, in the present invention, the equipment control unit 1 receives the gas pressing force or the raw material supply pressure detected in real time from each of the pressure gauges 8 through the third and fourth A / D converters 9 and 10 within the device itself. Displayed as a letter, number or graph on the monitor 11 provided so that the user can recognize in real time.

뿐만 아니라, 자체내의 기억부에 계속해서 축적 저장하여 파일화할 수 있도록 함으로써 차후 시스템의 점검이나 보수시 또는 공정 후 그 정보를 통해 수일 또는 수개월이 지난 후에도 역추적을 통해 프로세서 챔버로 유입되는 케미칼의 공급 량 및 그 압력이 어느 정도였는지 등을 판단하는데 활용할 수 있어 화학, 제약 및 반도체 등 생산 설비의 유지관리 및 보수에 따른 효율성을 대폭 증진시킬 수 있다.In addition, it can continuously accumulate and store files in its internal memory to provide the chemicals that flow into the processor chamber through backtracking even after inspection or maintenance of the system or after a few days or months through the information after the process. It can be used to determine the amount and the amount of pressure, and can greatly improve the efficiency of maintenance and repair of production equipment such as chemical, pharmaceutical and semiconductor.

이와 같이 원료 용기(2) 내의 액상 원료를 가압시켜 주기 위해 공급해 주는 기체의 량 및 압력을 유량 조절기(7)와 압력계(8)를 연동시켜 원격 유량 제어를 실시하게 되면, 용기 내 원료의 가압 원인이 되는 기체 유량을 직접 제어할 수 있기 때문에 정확한 압력조절/유지가 가능하고, 또한 유량 조절기(7) 전단의 공급압력이 변해도 그와 상관없이 유량조절로 압력을 제어할 수 있어 전단의 압력변화도 문제가 되지 않고 정확한 압력제어가 가능하게 된다.In this way, when the flow rate controller 7 and the pressure gauge 8 are linked with the flow rate regulator 7 and the pressure gauge 8 so as to pressurize the liquid raw material in the raw material container 2, the remote flow control is performed. Since the gas flow rate can be directly controlled, accurate pressure adjustment / maintenance is possible, and even if the supply pressure of the front end of the flow regulator 7 changes, the pressure can be controlled by the flow rate control regardless of the change of the pressure change of the front end. It is not a problem and accurate pressure control is possible.

또, 종래 정압펌프는 기체를 직접 압축하여 압력을 제어하는 반면, 유량 조절기(7)를 이용한 압력조절은 전단에서 공급된 높은 압력의 기체를 유량 제어함으로써 압력을 유지하기 때문에 장치 자체가 간단하고 저렴한 장점이 있다.In addition, the conventional static pressure pump controls the pressure by directly compressing the gas, while the pressure control using the flow regulator 7 maintains the pressure by controlling the flow rate of the high pressure gas supplied from the front end, so that the device itself is simple and inexpensive. There is an advantage.

한편, 원료 용기(2) 내에 가해지는 기체 가압력이 동일하더라도 원료 용기 내의 원료 잔량에 따라 프로세서 챔버(3)로 최종 공급되는 원료 량이 달라지게 되 는데, 이러한 문제에 대비하여 장비 제어부(1)가 원료의 잔량에 따라 설정 가압치를 자동 변경하여 줄 수 있도록 프로그램을 변경해 주면 최종 원료공급량을 일정하게 유지시키는 것도 가능하다.On the other hand, even if the gas pressing force applied in the raw material container 2 is the same, the amount of raw material finally supplied to the processor chamber 3 varies depending on the remaining amount of raw material in the raw material container. If the program is changed so that the set pressure value can be automatically changed according to the remaining amount, the final raw material supply can be kept constant.

상술한 실시 예는 본 발명의 가장 바람직한 예에 대하여 설명한 것이지만, 상기 실시 예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 있어서 명백한 것이다.It should be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims.

도 1은 종래 액상원료 공급장치에 대한 블록 구성도.1 is a block diagram of a conventional liquid raw material supply device.

도 2는 종래 액상원료 공급장치에서 액상 원료가 공급되기 시작되면서 설정치까지 도달하는 두 가지 형태의 파형의 예시도.Figure 2 is an exemplary view of two forms of waveforms reaching the set point while the liquid raw material is supplied from the conventional liquid raw material supply device.

도 3은 본 발명 장치의 일 실시 예에 따른 구성도.3 is a block diagram according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명 장치의 다른 실시 예에 따른 구성도.4 is a configuration diagram according to another embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 * Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 장비 제어부 2 : 원료 용기1: equipment control unit 2: raw material container

3 : 프로세서 챔버 4 : 기체 공급용 가압관3 processor chamber 4 gas supply pressure tube

5 : 원료 공급관 6 : 원료공급밸브5: raw material supply pipe 6: raw material supply valve

7 : 유량 조절기 8 : 압력계7: flow regulator 8: pressure gauge

9,10 : 제 3 및 제 4 A/D 변환기 11 : 모니터9,10: third and fourth A / D converter 11: monitor

11 : 가압력 설정부 41 : 바이패스 밸브11: pressure setting unit 41: bypass valve

71, 72 : 제 1 및 제 2 A/D 변환기 73 : 비교기71, 72: first and second A / D converter 73: comparator

74 : 제어부 75 : 밸브 구동부74 control unit 75 valve drive unit

76 : 밸브76: valve

Claims (7)

장비 제어부의 출력신호에 부응하는 량 또는 압력의 기체를 원료 용기 내에 공급하고, 원료 용기와 프로세서 챔버 사이의 원료 공급관에 설치되어 있는 원료공급밸브의 개폐량을 제어하여 프로세서 챔버에서 필요로 하는 량의 액상 원료를 공급해 주는 액상원료 공급장치를 구성함에 있어서,Supply the gas of the amount or pressure corresponding to the output signal of the equipment control unit into the raw material container, and control the opening and closing amount of the raw material supply valve installed in the raw material supply pipe between the raw material container and the processor chamber to control the amount of the amount required in the processor chamber. In constructing a liquid raw material supply device for supplying a liquid raw material, 상기 원료 용기의 입력 측에 설치되어 있는 기체 공급용 가압관 상에는 유량 조절기를 설치하고, 원료 용기와 프로세서 챔버 사이에 설치되어 있는 원료 공급관 상에는 압력계를 설치하여, 상기 유량 조절기로 하여금 장비 제어부에서 전송되어 오는 설정 가압력과 압력계에서 검출되는 원료 공급 압력을 상호 비교하여 두 값이 상호 일치되게 밸브의 개폐량을 제어하도록 한 것을 특징으로 하는 액상원료 공급장치에서의 기체 가압력 조절을 이용한 유량제어장치.A flow regulator is installed on the gas supply pressure pipe installed at the input side of the raw material container, and a pressure gauge is installed on the raw material supply pipe installed between the raw material container and the processor chamber, and the flow controller is transmitted from the equipment control unit. A flow control device using gas pressure control in a liquid raw material supply device, characterized in that the control of the opening and closing of the valve so that the two values are mutually matched by comparing the coming set pressure and the raw material supply pressure detected by the pressure gauge. 장비 제어부의 출력신호에 부응하는 량 또는 압력의 기체를 원료 용기 내에 공급하고, 원료 용기와 프로세서 챔버 사이의 원료 공급관에 설치되어 있는 원료공급밸브의 개폐량을 제어하여 프로세서 챔버에서 필요로 하는 량의 액상 원료를 공급해 주는 액상원료 공급장치를 구성함에 있어서,Supply the gas of the amount or pressure corresponding to the output signal of the equipment control unit into the raw material container, and control the opening and closing amount of the raw material supply valve installed in the raw material supply pipe between the raw material container and the processor chamber to control the amount of the amount required in the processor chamber. In constructing a liquid raw material supply device for supplying a liquid raw material, 상기 원료 용기의 입력 측에 설치되어 있는 기체 공급용 가압관 상에 유량 조절기와 압력계를 순차적으로 설치하여 상기 유량 조절기로 하여금 장비 제어부에 서 전송되어 오는 설정 가압력과 압력계에서 검출되는 현재 원료 용기 내로 공급되는 기체의 가압력을 상호 비교하여 두 값이 상호 일치되게 밸브의 개폐량을 제어하도록 한 것을 특징으로 하는 액상원료 공급장치에서의 기체 가압력 조절을 이용한 유량제어장치.A flow regulator and a pressure gauge are sequentially installed on the gas supply pressure pipe installed on the input side of the raw material container, and the flow regulator is supplied into the current raw material container detected by the set pressure and pressure gauge transmitted from the equipment controller. The flow control device using the gas pressure control in the liquid raw material supply device characterized in that to control the opening and closing amount of the valve so that the two values are mutually matched by comparing the pressing force of the gas. 청구항 1 또는 청구항 2 중 어느 한 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 기체 공급용 가압관의 유량 조절기 후단에, 원료 용기 내 압력이 설정 가압력보다 높을 경우 원료 용기 내 기체를 외부로 바이패스시켜 주어 용기 내의 압력이 설정 가압력까지 자연 감압되도록 하는 바이패스 밸브를 부가 설치한 것을 특징으로 하는 액상원료 공급장치에서의 기체 가압력 조절을 이용한 유량제어장치.In the rear of the flow regulator of the gas supply pressure pipe, an additional bypass valve is installed to bypass the gas in the raw material container to the outside when the pressure in the raw material container is higher than the set pressure. Flow control device using gas pressure control in the liquid raw material supply device characterized in that. 청구항 1 또는 청구항 2 중 어느 한 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 유량 조절기는,The flow regulator, 장비 제어부로부터 아날로그 신호로 전송되어 오는 설정 가압력을 디지털 신호로 변환시켜 주는 제 1 A/D 변환기와;A first A / D converter for converting a set pressing force transmitted from the equipment control unit into an analog signal into a digital signal; 상기 압력계를 통해 아날로그 신호로 실시간 검출되는 현재 기체 가압력 또는 현재 원료 공급압력 신호를 디지털 신호로 변환시켜 주는 제 2 A/D 변환기와;A second A / D converter for converting a current gas pressing force or a current raw material supply pressure signal detected in real time as an analog signal through the pressure gauge into a digital signal; 상기 제 1 및 제 2 A/D 변환기에서 각각 디지털 신호로 출력되는 설정 가압 력과 현재 기체 가압력 또는 설정 가압력과 현재 원료 공급압력을 상호 비교하여 그 결과를 제어부로 출력해 주는 비교기와; 상기 비교기의 출력신호를 입력받아 그 차에 대응하는 밸브 개도량을 산출하는 제어부와;A comparator for comparing the set pressurization force and the current gas pressurization force or the set pressurization pressure and the current raw material supply pressure which are output as digital signals from the first and second A / D converters, respectively, and output the result to the controller; A control unit which receives an output signal of the comparator and calculates a valve opening amount corresponding to the difference; 상기 제어부의 출력신호에 부응하여 밸브의 개도 량 제어를 직접적으로 실시하는 밸브 구동부와;A valve driver for directly controlling the opening amount of the valve in response to an output signal of the controller; 상기 밸브 구동부의 구동력에 부응하여 개폐되며 기체의 공급량을 제어하는 밸브;로 이루어진 것을 특징으로 하는 액상원료 공급장치에서의 기체 가압력 조절을 이용한 유량제어장치.And a valve for opening and closing in response to the driving force of the valve driving unit to control a supply amount of gas. 청구항 1 또는 청구항 2 중 어느 한 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 장비 제어부의 내부 또는 외부에는 압력계로부터 아날로그신호로 출력되는 기체 가압력 또는 원료 공급 압력을 디지털 신호로 변환하는 제 3 또는 제 4 A/D 변환기를 부가 설치하여, 상기 기체 공급용 가압관에 설치되어 있는 압력계 또는 원료 공급관에 설치되어 있는 압력계로부터 각각 검출되는 기체 가압력 또는 원료 공급 압력을 장비 제어부에서 실시간으로 전달받을 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 액상원료 공급장치에서의 기체 가압력 조절을 이용한 유량제어장치.The third or fourth A / D converter for converting the gas pressing force or raw material supply pressure output from the pressure gauge as an analog signal into a digital signal is installed inside or outside the equipment control unit, and installed in the pressure supply pipe for gas supply. And a gas pressure or raw material supply pressure detected from a pressure gauge installed in a pressure gauge or a raw material supply pipe, respectively, in real time from an equipment control unit. 청구항 5에 있어서,The method according to claim 5, 상기 장비 제어부는, 각각의 압력계와 제 3 또는 제 4 A/D 변환기를 통해 실시간으로 입력받은 기체 가압력 또는 원료 공급 압력을 모니터상에 실시간으로 표시하는 것을 특징으로 하는 액상원료 공급장치에서의 기체 가압력 조절을 이용한 유량제어장치.The equipment control unit, the gas pressurization in the liquid material supply device, characterized in that the real-time input gas pressure or raw material supply pressure received through the respective pressure gauge and the third or fourth A / D converter on the monitor Flow control device using regulation. 청구항 5에 있어서,The method according to claim 5, 상기 장비 제어부는, 각각의 압력계와 제 3 또는 제 4 A/D 변환기를 통해 실시간으로 입력받은 기체 가압력 또는 원료 공급 압력을 자체내의 기억부에 계속해서 축적 저장하여 파일화하는 것을 특징으로 하는 액상원료 공급장치에서의 기체 가압력 조절을 이용한 유량제어장치.The equipment control unit accumulates and stores the gas pressing force or raw material supply pressure received in real time through the respective pressure gauge and the third or fourth A / D converters and stores them in the storage unit in the file. Flow control device using gas pressure control in feeder.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US20140174363A1 (en) * 2010-10-15 2014-06-26 Tokyo Electron Limited Film forming apparatus
CN109748231A (en) * 2019-02-28 2019-05-14 杨哲 A kind of liquid feed device and method
KR20200065971A (en) * 2018-11-30 2020-06-09 주식회사 포스코 Container for storing liquid material

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