KR20100106033A - 필름두께 측정시스템 및 그 측정방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 필름두께 측정시스템 및 그 측정방법에 관한 것이다. 본 발명은 측정대상필름으로 조사된 광원의 양을 검출하는 섬광검출기; 및 섬광검출기에서 흡수된 광원의 양에 비례하는 펄스파형 신호에 대한 일정레벨 이상으로 상승한 상향레벨 신호(이하, 제1 기준신호)와 제1 기준보다 낮은 일정레벨 이상으로 상승한 상향레벨 신호(이하, 제2 기준신호)를 검출하고, 제2 기준신호에서 제1 기준신호를 차감한 신호를 생성하여 출력하는 노이즈제거장치; 를 포함할 수 있다. 이에 의해, 노이즈가 제거된 필름두께 측정 데이터를 획득할 수 있다.
노이즈, 제거장치, 두께

Description

필름두께 측정시스템 및 그 측정방법{System and method for measuring thickness of film}
본 발명은 측정대상의 두께 측정기술에 관한 것으로, 보다 구체적으로 필름의 두께를 정밀하게 측정하여 정확한 필름 두께 데이터를 획득할 수 있는 노이즈제거장치를 이용한 필름두께 측정시스템 및 그 측정방법에 관한 것이다.
일반적으로, 합성수지 필름류, 시트류, 스크린 마스크(screen mask), 종이류, 직물류 등 그 두께가 얇은 피측정물의 두께 측정 장치는 소형화되어 휴대가능하고 또 그 조작이 점점 간편화되고 있다.
예를 들어, 종이류의 두께를 측정하는 경우, 상하 2개의 원판 사이에 피측정물을 삽입하여 50kpa(0.5㎏/㎠)의 압력을 가하여 측정하는 마이크로메타가 알려져 있다. 이러한 마이크로메타를 이용하여 측정하는 경우, 측정자에 따라 측정오차가 발생하게 된다.
합성수지 필름류, 시트류, 스크린 마스크, 종이류 또는 직물류의 경우, 측정단위가 ㎛단위이므로, 측정자에 따른 측정오차는 무시할 수 없을 정도로 되어 버린다.
이와 같은 측정자에 따른 문제점을 해소하기 위해, 최근에는 전자기술의 발달에 따른 디지털 측정기가 일반화되고 있다.
그러나, 고도의 정밀한 측정이 요구되는 경우, 상기와 같은 휴대용 측정장치에 있어서는 피측정물 전체에 있어서의 편차 또는 피측정물 또는 측정자의 흔들림 오차도 문제로 된다.
따라서, 해당 기술분야에서는 두께 측정에 있어서, 합성수지 필름류, 시트류, 스크린 마스크(screen mask), 종이류, 직물류 등에 대한 보다 선명한 측정 데이터를 얻기 위한 기술 개발이 요구되고 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로, 노이즈가 제거된 필름두께 측정 데이터를 획득할 수 있는 필름두께 측정시스템 및 그 측정방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
한편, 본 발명의 목적들은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명에 따른 필름두께 측정시스템은, 측정대상필름으로 조사된 광원의 양을 검출하는 섬광검출기; 및 상기 섬광검출기에서 흡수된 광원의 양에 비례하는 펄스파형 신호에 대한 일정레벨 이상으로 상승한 상향레벨 신호(이하, 제1 기준신호)와 상기 제1 기준신호보다 낮은 일정레벨 이상으로 상승한 상향레벨 신호(이하, 제2 기준신호)를 검출하고, 상기 제2 기준신호에서 제1 기준신호를 차감한 신호를 생성하여 출력하는 노이즈제거장치; 를 포함할 수 있다.
상기 필름두께 측정시스템은, 상기 펄스파형 신호를 크기에 따라 다수의 채널로 분할하고, 상기 분할된 각 채널에 대한 시간과, 상기 시간 동안의 펄스파형 신호의 크기 정보를 생성하여 출력하는 다중채널분석기; 를 더 포함할 수 있다.
상기 노이즈제거장치는, 상기 입력된 펄스파형의 신호 크기 중 상기 제1 기준신호를 검출하기 위한 제1 에지검출부와, 상기 제2 기준신호를 검출하기 위한 제 2 에지검출부를 포함하는 에지검출부; 상기 제1 기준신호에 따라 구형파를 발생시키는 제1 구형파발생부와 상기 제2 기준신호에 따라 구형파를 발생시키는 제2 구형파발생부를 포함하는 구형파발생부; 상기 제1 구형파발생부에 의해 발생된 구형파 신호를 비트-인버젼하여 상기 제2 구형파발생부로부터 출력된 구형파 신호와 논리합을 수행하여 생성된 신호를 출력하는 논리연산부; 및 상기 각 채널에 대한 시간 동안의 신호의 크기 정보를 상기 논리연산부에서 출력된 신호와 결합하여 상기 각 채널에 대한 시간 동안 누적하여 출력하는 적분기; 를 포함한다.
상기 노이즈제거장치는, 상기 입력된 펄스파형 신호의 크기에 따라 디지털화하여 디지털 신호를 출력하는 ADC; 상기 입력된 펄스파형 신호 크기 중 제1 기준신호를 검출하기 위한 제1 에지검출부와, 상기 제2 기준신호를 검출하기 위한 제2 에지검출부를 포함하는 에지검출부; 상기 제1 기준신호에 따라 구형파를 발생시키는 제1 구형파발생부와 상기 제2 기준신호에 따라 구형파를 발생시키는 제2 구형파발생부를 포함하는 구형파발생부; 상기 제1 구형파발생부에 의해 발생된 구형파 신호를 비트-인버젼하여 상기 제2 구형파발생부로부터 출력된 구형파 신호와 논리합을 수행하여 생성된 신호를 출력하는 논리연산부; 상기 ADC에서 출력된 디지털 신호의 크기를 기초로 상기 논리연산부에서 출력된 신호를 결합하여 상기 제1 기준신호를 감쇄한 신호를 출력하는 신호결합부; 및 상기 신호결합부로부터 수신한 신호를 미리 정해진 시간동안 누적하여 출력하는 적분기; 를 포함한다.
상기 노이즈제거장치는, 상기 적분기로부터 수신한 누적된 디지털신호를 아날로그신호로 변환하여 출력하는 DAC; 를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 필름두께 측정방법은, 필름두께 측정시스템은 측정대상을 통과하여 입력된 펄스파형의 신호에 대한 일정레벨 이상으로 상승한 상향레벨 신호(이하, 제1 기준신호)와 상기 제1 기준신호보다 낮은 일정레벨 이상으로 상승한 상향레벨 신호(이하, 제2 기준신호)를 검출하는 검출단계; 상기 필름두께 측정시스템은 상기 검출된 제1 기준신호와 제2 기준신호에 대한 제1 구형파 및 제2 구형파를 각각 생성하는 생성단계; 상기 필름두께 측정시스템은 상기 제1 구형파 신호에 대한 비트-인버젼을 수행한 뒤, 제2 구형파 신호와 논리합을 수행하는 논리연산단계; 및 상기 필름두께 측정시스템은 상기 논리합을 수행하여 출력된 신호에 대한 미리 설정된 시간 동안의 누적된 신호를 반복적으로 출력하는 출력단계; 을 포함한다.
상기 검출단계는, 상기 필름두께 측정시스템이 상기 펄스파형 신호를 크기에 따라 다수의 채널로 분할하고, 상기 분할된 각 채널에 대한 시간과, 상기 시간 동안에 펄스파형 신호의 크기정보를 생성하는 단계; 를 더 포함할 수 있다.
상기 출력단계는, 상기 필름두께 측정시스템은 상기 각 채널에 대한 시간정보 동안의 신호의 크기를 상기 논리연산부에서 출력된 신호와 결합하여 상기 시간동안 누적하여 출력하는 단계; 를 더 포함할 수 있다.
상기 검출단계는, 상기 필름두께 측정시스템이 상기 펄스파형 신호의 크기에 따라 디지털화하여 디지털 신호를 출력하는 단계; 를 더 포함할 수 있다.
상기 논리연산단계는, 상기 필름두께 측정시스템이 상기 디지털 신호의 크기를 기초로 상기 논리합을 수행하여 출력된 신호를 결합하여 상기 제1 기준신호를 감쇄한 신호를 출력하는 단계; 를 더 포함할 수 있다.
상기 출력단계는, 상기 필름두께 측정시스템은 상기 누적된 신호를 아날로그신호로 변환하여 출력하는 단계; 를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 필름두께 측정시스템 및 그 측정방법에 의해 노이즈가 제거된 필름두께 측정 데이터를 획득할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예의 상세한 설명은 첨부된 도면들을 참조하여 설명할 것이다. 하기에서 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.
본 명세서에 있어서는 어느 하나의 구성요소가 다른 구성요소로 데이터 또는 신호를 '전송'하는 경우에는 구성요소는 다른 구성요소로 직접 해당 데이터 또는 신호를 전송할 수 있고, 적어도 하나의 또 다른 구성요소를 통하여 해당 데이터 또는 신호를 다른 구성요소로 전송할 수 있음을 의미한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 노이즈제거장치를 이용한 필름두께 측정시스템을 나타내는 도면이다. 도 2는 도 1의 노이즈제거장치(90)의 구성을 설명하기 위한 도면이다. 먼저, 도 1을 참조하면, 필름두께 측정시스템은 광원출력부(10), 섬광검출기(20), 광배증관(30), 증폭기(50), 다중채널분석기(70), 노이즈제거장치(90), 디스플레이장치(100)를 포함한다.
광원출력부(10)는 광원(예컨대, X-ray)를 측정대상필름(15)으로 조사한다.
섬광검출기(20)는 광원출력부(10)에서 출력된 광원 중 측정대상필름을 통과한 광원의 양을 검출한다.
광배증관(30)은 섬광검출기(20)에서 방출되는 광원의 양을 증배(增配)시킨다.
증폭기(50)는 광배증관(30)에서 출력된 광원의 양에 따라 펄스파형 신호를 생성하여 증폭시킨다.
다중채널분석기(70)는 섬광검출기(20)에 흡수된 에너지에 비례하는 펄스파형 신호를 크기에 따라 다수의 채널로 기록한다. 다중채널분석기(70)는 기록된 각 채널에 대한 시간정보와, 해당 시간 동안의 펄스파형 신호의 크기 정보(신호크기정보)를 생성하여 노이즈제거장치(90)의 적분기(97)로 출력한다. 한편, 다수의 채널을 생성의 기준이 되는 펄스파형 신호의 크기는 가변적으로 형성될 수 있다.
노이즈제거장치(90)는 다중채널분석기(70)를 거친 펄스파형 신호에 대한 노이즈를 제거하는 필터링을 수행하고, 필터링된 펄스파형의 신호를 출력한다. 보다 구체적으로, 노이즈제거장치(90)는 다중채널분석기(70)에서 출력된 펄스파형 신호 중 일정레벨 이상으로 상승한 상향레벨 신호(이하, 제1 기준신호)와, 제1 기준보다 낮은 일정레벨 이상으로 상승한 하향레벨 신호(이하, 제2 기준신호)를 추출한다. 노이즈제거장치(90)는 추출된 제2 기준의 상승에지 신호에서 제1 기준신호를 차감(Subtract)함으로써 출력신호를 생성하여, 디스플레이장치(100)로 출력한다. 이에 따라, 디스플레이장치(100)는 노이즈제거장치(90)에 의해 노이즈가 제거되어 출 력된 신호를 표시한다.
디스플레이장치(100)는 LCD(Liquid Crystal Display), CRT(Cathode Ray Tube)와 같은 화상출력장치로 형성될 수 있다.
한편, 노이즈제거장치(90)에 대한 보다 구체적인 설명은 도 2를 참조하여 구체적으로 설명한다. 노이즈제거장치(90)는 에지검출부(91), 구형파발생부(93), 논리연산부(94), 적분기(97), DAC(99)를 포함할 수 있다.
에지검출부(91)는 제1 에지검출부(91a)와 제2 에지검출부(91b)를 포함한다. 제1 에지검출부(91a)는 노이즈제거장치(90)로 입력된 펄스파형 신호 중에서 제1 기준신호를 검출한다. 제2 에지검출부(91b)는 제1 에지검출부(91a)와 동일하게 입력된 신호 중에서 제2 기준신호를 검출한다. 여기서, 제1 기준은 제2 기준보다 높은 값으로 설정된다.
구형파발생부(93)는 제1 구형파발생부(93a)와 제2 구형파발생부(93b)를 포함한다. 제1 구형파발생부(93a)는 제1 에지검출부(91a)에 의해 검출된 제1 기준신호에 따라 구형파를 발생시킨다.
제2 구형파발생부(93b)는 제2 에지검출부(91b)에 의해 검출된 제2 기준신호에 따라 구형파를 발생시킨다.
논리연산부(94)는 제1 구형파발생부(93a)에 의해 발생된 구형파 신호를 비트-인버젼(Bit-inversion)하여 제2 구형파발생부(93b)로부터 출력된 구형파 신호와 논리합을 수행하고, 수행결과 생성된 신호를 출력한다.
적분기(97)는 다중채널분석기(70)로부터 수신한 채널에 따른 시간동안 입력 받은 신호를 누적시켜 DAC(99)로 출력한다. 보다 구체적으로, 적분기(97)는 다중채널분석기(70)로부터 수신한 각 채널에 대한 시간정보 동안의 신호의 크기를 기초로 논리연산부(94)에서 출력된 신호와 결합하여 해당 채널의 시간(예컨대, 25ms)동안 결합된 신호를 누적하여 DAC(99)로 출력한다. 적분기(97)는 누적된 신호를 보낸 후 리셋하고 다시 일정기간(예컨대, 25ms) 동안 반복적으로 누적시켜 신호를 출력한다.
DAC(99)는 적분기(97)에 의해 수신한 누적된 디지털신호를 아날로그신호로 변환하여 출력한다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 노이즈제거장치를 이용한 필름두께 측정방법을 나타내는 흐름도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 다중채널분석기(70)는 측정대상을 통과하여 섬광검출기(20)에 흡수된 에너지에 비례하는 펄스파형의 신호를 에지검출부(91)로 출력하며, 크기에 따라 다수의 채널로 기록한다. 즉, 다중채널분석기(70)는 기록된 각 채널에 대한 시간정보와, 해당 시간 동안의 펄스파형 신호의 크기 정보(신호크기정보)를 생성하여 노이즈제거장치(90)의 적분기(97)로 출력한다(S1).
이후, 노이즈제어장치의 에지검출부(91)는 전기적신호에 대한 제1 기준신호와 그보다 낮은 제2 기준신호를 검출한다(S3).
노이즈제거장치의 구형파발생부(93)는 검출된 제1 기준신호와 제2 기준신호에 대한 제1 구형파 및 제2 구형파를 각각 발생시킨다(S5).
노이즈제거장치의 논리연산부(94)는 제1 구형파 신호에 대한 비트-인버젼을 수행하여 제2 구형파 신호와 논리합을 수행하여 출력한다(S7).
노이즈제거장치의 적분기(97)는 다중채널분석기(70)로부터 수신한 각 채널에 대한 시간정보 동안의 신호의 크기를 기초로 논리연산부(94)로부터 논리합을 수행하여 출력된 신호와 결합하여 해당 채널의 시간(예컨대, 25ms)동안 결합된 신호를 누적하여 DAC(99)로 출력한다. 이후, 노이즈제거장치의 DAC(99)는 적분기(97)에 의해 수신한 누적된 디지털신호를 아날로그신호로 변환하여 출한다(S10).
한편, 노이지제거장치의 적분기(97)는 누적된 신호를 보낸 후 리셋하고 다시 일정기간(예컨대, 25ms) 동안 반복적으로 누적시켜 신호를 보낸다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 노이즈제거장치를 이용한 필름두께 측정시스템을 나타내는 도면이다. 도 5는 도 4의 노이즈제거장치(190)의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
먼저, 도 4를 참조하면, 본 실시 예는 도 1의 실시 예와 다르게, 필름두께 측정시스템은 광원출력부(110), 광배증관(130), 증폭기(150), 노이즈제거장치(190), 디스플레이장치(200)를 포함하며, 다중채널분석기(70)를 포함하지 않는다. 도 1의 필름두께 측정시스템과의 차이점을 기준으로 설명하면, 증폭기(150)는 광배증관(130)에서 출력된 광원의 양에 따라 펄스파형 신호를 생성하여 증폭시킨다.
노이즈제거장치(190)는 증폭기(150)를 거친 펄스파형 신호에 대한 노이즈를 제거하는 필터링을 수행하고, 필터링된 펄스파형의 신호를 출력한다.
출력에 따라 디스플레이장치(200)는 노이즈제거장치(190)에 의해 노이즈가 제거되어 출력된 신호를 표시한다.
한편, 노이즈제거장치(190)에 대한 보다 구체적인 설명은 도 5를 참조하여 구체적으로 설명한다. 노이즈제거장치(190)는 에지검출부(191), 구형파발생부(193), 논리연산부(194), ADC(195), 적분기(197), DAC(199)를 포함할 수 있다. 에지검출부(191), 구형파발생부(193), 논리연산부(194)는 도 2의 구성요소와 기능이 동일하므로 이에 대한 설명은 생략한다.
ADC(195)는 아날로그 신호인 입력된 펄스파형 신호를 세기에 따라 디지털화하여 디지털 신호로 출력한다.
신호결합부(196)는 논리연산부(194)에서 출력된 신호와 ADC(195)에서 출력된 신호를 결합한다. 이때, 신호결합부(196)는 ADC(195)로부터 출력된 디지털화된 디지털 신호의 크기를 기초로 논리연산부(194)에서 출력된 신호를 결합하여 결합된 신호를 DAC(199)로 출력한다.
DAC(199)는 적분기(197)에 의해 수신한 결합된 디지털신호를 아날로그신호로 변환하여 미리 설정된 시간(예컨대, 25ms)동안 누적하여 출력한다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 노이즈제거장치를 이용한 필름두께 측정방법을 나타내는 흐름도이다. 도 3 내지 도 6을 참조하면, 노이즈제거장치의 에지검출부(191)는 입력된 펄스파형의 신호에 대한 제1 기준신호와 그보다 낮은 제2 기준 신호를 검출하며, 동시에 노이즈제거장치의 ADC(195)는 입력된 펄스파형 신호를 크기에 따라 디지털 신호로 생성하여 신호결합부(196)로 출력한다(S11).
노이즈제거장치의 구형파발생부(193)는 단계(S11)의 에지검출부(191)에 의해 검출된 제1 기준신호와 제2 기준신호에 대한 제1 구형파 및 제2 구형파를 각각 생성하고 논리연산부(194)로 출력한다(S13).
노이즈제거장치의 논리연산부(194)는 제1 구형파 신호에 대한 비트-인버젼을 수행하여 제2 구형파 신호와 논리합을 수행하여 출력한다(S15).
노이즈제거장치의 신호결합부(196)는 논리연산부(194)로부터 논리합을 수행하여 출력된 신호와 ADC(195)로부터 디지털 신호로 출력된 신호를 결합하여 출력한다(S17). 구체적으로, 신호결합부(196)는 ADC(195)에서 출력된 디지털화된 신호의 세기를 나타내는 디지털신호에 논리연산부(194)에서 출력되는 신호를 참조하여 제2 기준이상의 상승에지신호를 감쇄하여 출력한다.
노이즈제거장치의 적분기(197)는 일정시간(예컨대, 25ms) 동안 입력받은 신호를 누적시켜 출력한다(S19). 노이지제거장치의 적분기(197)는 누적된 신호를 보낸 후 리셋하고 다시 일정기간(예컨대, 25ms) 동안 반복적으로 누적시켜 신호를 보낸다.
노이즈제거장치의 DAC(199)는 적분기(197)에 의해 수신한 누적된 디지털신호를 아날로그신호로 변환하여 출력한다(S21).
본 발명은 또한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드로서 구현하는 것이 가능하다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 시스템에 의하여 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록 장치를 포함한다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체의 예로는 ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피 디스크, 광 데이터 저장장치 등이 있으며, 또한 캐리어 웨이브(예를 들어, 인터넷을 통한 전송)의 형태로 구현되는 것도 포함된다.
또한 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분사되어, 분산방식으로 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드가 저장되고 실행될 수 있다. 그리고 본 발명을 구현하기 위한 기능적인(Functional) 프로그램, 코드 및 코드 세그먼트들은 본 발명이 속하는 기술 분야의 프로그래머들에 의해 용이하게 추론될 수 있다.
이상과 같이, 본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시 예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형 예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 필름두께 측정시스템을 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 노이즈제거장치의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 필름두께 측정방법을 나타내는 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 필름두께 측정시스템을 나타내는 도면이다.
도 5는 도 4의 노이즈제거장치의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 필름두께 측정방법을 나타내는 흐름도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10: 광원출력부 30: 광배증관
50: 증폭기 70: 다중채널분석기
90: 노이즈제거장치 100: 디스플레이장치

Claims (11)

  1. 측정대상필름으로 조사된 광원의 양을 검출하는 섬광검출기; 및
    상기 섬광검출기에서 흡수된 광원의 양에 비례하는 펄스파형 신호에 대한 일정레벨 이상으로 상승한 상향레벨 신호(이하, 제1 기준신호)와 상기 제1 기준신호보다 낮은 일정레벨 이상으로 상승한 상향레벨 신호(이하, 제2 기준신호)를 검출하고, 상기 제2 기준신호에서 제1 기준신호를 차감한 신호를 생성하여 출력하는 노이즈제거장치; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름두께 측정시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 펄스파형 신호를 크기에 따라 다수의 채널로 분할하고, 상기 분할된 각 채널에 대한 시간과, 상기 시간 동안의 펄스파형 신호의 크기 정보를 생성하여 출력하는 다중채널분석기; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름두께 측정시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기 노이즈제거장치는,
    상기 입력된 펄스파형의 신호 크기 중 상기 제1 기준신호를 검출하기 위한 제1 에지검출부와, 상기 제2 기준신호를 검출하기 위한 제2 에지검출부를 포함하는 에지검출부;
    상기 제1 기준신호에 따라 구형파를 발생시키는 제1 구형파발생부와 상기 제2 기준신호에 따라 구형파를 발생시키는 제2 구형파발생부를 포함하는 구형파발생 부;
    상기 제1 구형파발생부에 의해 발생된 구형파 신호를 비트-인버젼하여 상기 제2 구형파발생부로부터 출력된 구형파 신호와 논리합을 수행하여 생성된 신호를 출력하는 논리연산부; 및
    상기 각 채널에 대한 시간 동안의 신호의 크기 정보를 상기 논리연산부에서 출력된 신호와 결합하여 상기 각 채널에 대한 시간 동안 누적하여 출력하는 적분기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 노이즈제거장치를 이용한 필름두께 측정시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 노이즈제거장치는,
    상기 입력된 펄스파형 신호의 크기에 따라 디지털화하여 디지털 신호를 출력하는 ADC;
    상기 입력된 펄스파형 신호 크기 중 제1 기준신호를 검출하기 위한 제1 에지검출부와, 상기 제2 기준신호를 검출하기 위한 제2 에지검출부를 포함하는 에지검출부;
    상기 제1 기준신호에 따라 구형파를 발생시키는 제1 구형파발생부와 상기 제2 기준신호에 따라 구형파를 발생시키는 제2 구형파발생부를 포함하는 구형파발생부;
    상기 제1 구형파발생부에 의해 발생된 구형파 신호를 비트-인버젼하여 상기 제2 구형파발생부로부터 출력된 구형파 신호와 논리합을 수행하여 생성된 신호를 출력하는 논리연산부;
    상기 ADC에서 출력된 디지털 신호의 크기를 기초로 상기 논리연산부에서 출력된 신호를 결합하여 상기 제1 기준신호를 감쇄한 신호를 출력하는 신호결합부; 및
    상기 신호결합부로부터 수신한 신호를 미리 정해진 시간동안 누적하여 출력하는 적분기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 노이즈제거장치를 이용한 필름두께 측정시스템.
  5. 제4항에 있어서, 상기 노이즈제거장치는,
    상기 적분기로부터 수신한 누적된 디지털신호를 아날로그신호로 변환하여 출력하는 DAC; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 노이즈제거장치를 이용한 필름두께 측정시스템.
  6. 필름두께 측정시스템은 측정대상을 통과하여 입력된 펄스파형의 신호에 대한 일정레벨 이상으로 상승한 상향레벨 신호(이하, 제1 기준신호)와 상기 제1 기준신호보다 낮은 일정레벨 이상으로 상승한 상향레벨 신호(이하, 제2 기준신호)를 검출하는 검출단계;
    상기 필름두께 측정시스템은 상기 검출된 제1 기준신호와 제2 기준신호에 대한 제1 구형파 및 제2 구형파를 각각 생성하는 생성단계;
    상기 필름두께 측정시스템은 상기 제1 구형파 신호에 대한 비트-인버젼을 수 행한 뒤, 제2 구형파 신호와 논리합을 수행하는 논리연산단계; 및
    상기 필름두께 측정시스템은 상기 논리합을 수행하여 출력된 신호에 대한 미리 설정된 시간 동안의 누적된 신호를 반복적으로 출력하는 출력단계; 을 포함하는 필름두께 측정방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 검출단계는,
    상기 필름두께 측정시스템이 상기 펄스파형 신호를 크기에 따라 다수의 채널로 분할하고, 상기 분할된 각 채널에 대한 시간과, 상기 시간 동안에 펄스파형 신호의 크기정보를 생성하는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름두께 측정방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 출력단계는,
    상기 필름두께 측정시스템은 상기 각 채널에 대한 시간정보 동안의 신호의 크기를 상기 논리연산부에서 출력된 신호와 결합하여 상기 시간동안 누적하여 출력하는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름두께 측정방법.
  9. 제6항에 있어서, 상기 검출단계는,
    상기 필름두께 측정시스템이 상기 펄스파형 신호의 크기에 따라 디지털화하여 디지털 신호를 출력하는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름두께 측정방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 논리연산단계는,
    상기 필름두께 측정시스템이 상기 디지털 신호의 크기를 기초로 상기 논리합을 수행하여 출력된 신호를 결합하여 상기 제1 기준신호를 감쇄한 신호를 출력하는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름두께 측정방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 출력단계는,
    상기 필름두께 측정시스템은 상기 누적된 신호를 아날로그신호로 변환하여 출력하는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름두께 측정방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001012913A (ja) * 1999-06-30 2001-01-19 Nkk Corp コイル位置検出装置
JP2006090892A (ja) * 2004-09-24 2006-04-06 Futec Inc Ｘ線透過法を用いた塗工シートの測定装置および測定方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111801774A (zh) * 2019-02-08 2020-10-20 株式会社日立高新技术 蚀刻处理装置、蚀刻处理方法及检测器
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