KR20100079098A - 플렉서블 표시장치 제조방법 - Google Patents

플렉서블 표시장치 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 플렉서블 표시장치 제조방법에 관한 것으로서, 개시된 구성은 비가요성을 부여하는 제1 두께를 갖는 기판의 일면에 표시소자를 형성하는 단계; 상기 표시소자가 형성된 기판의 타면이 외부로 노출되도록 식각용 지그내에 상기 표시소자가 형성된 기판을 장착하는 단계; 상기 식각용 지그배면에 상기 기판과 대응하는 자석을 부착시키는 단계; 및 상기 기판이 제2 두께가 되도록 노출된 기판의 타면을 식각하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
가요성 기판, 자석, 플렉서블 표시장치, 지그, 식각액

Description

플렉서블 표시장치 제조방법{METHOD FOR FABRICATING FLEXIBLE DISPLAY DEVICE}
본 발명은 표시장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플렉서블 디스플레이를 구현하기 위해 기판 식각시에 기판 두께의 균일도를 개선시킬 수 있는 플렉서블 표시장치 제조방법에 관한 것이다.
표시장치 시장은 CRT(Cathode-Ray Tube)를 대신해 평판 디스플레이(Flat Panel Display; 이하 FPD라 함) 위주로 급속히 변화해 왔다. FPD에는 액정표시장치, 플라즈마 디스플레이패널(PDP; Plasma Display Panel), 유기발광 표시장치(OLED; Organic Luminescence Display) 등이 있다. 이러한 FPD는 CRT에 비해 경량 박형이고, 대형화에 유리한 장점이 있다.
반면, FPD는 제조공정중 발생하는 높은 열을 견딜 수 있도록 유리기판을 사용하므로 경량 박형화 및 유연성을 부여하는데 한계가 있다.
따라서, 최근 기존의 유연성이 없는 유리기판 대신에 플라스틱 등과 같은 유연성 있는 재료를 종이처럼 휘어져도 표시성능을 그대로 유지할 수 있게 제조된 플렉서블 표시장치가 차세대 표시장치로 급부상중이다.
기존의 플렉서블(flexible) 전기영동 표시장치(Electrophoretic Display)를 구현하기 위해서는 기판을 얇게 식각하는 기술이 제안되었다.
이러한 기판을 얇게 식각하여 플렉서블한 표시장치를 구현한 기존의 전기영동 표시장치 제조방법에 대해 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래기술에 따른 플렉서블 전기영동 표시장치 제조방법을 설명하기 위한 단면도로로서, 식각용 지그에 기판을 장착하여 식각공정을 진행하는 경우를 나타낸 도면이다.
종래기술에 따른 플렉서블 전기영동 표시장치 제조방법은, 도 1에 도시된 바와 같이, 먼저 하부어레이(30) 제조공정과, 상부어레이(50) 제조공정으로 구분된다.
상기 하부어레이(30) 제조공정는 하부기판(11)상에 게이트절연막(15)을 사이에 두고 교차하게 형성된 게이트라인(미도시) 및 데이터라인(미도시)와, 그 교차부마다 형성된 박막트랜지스터(T)와, 그 교차구조로 마련된 셀영역에 형성된 화소전극(29)을 형성하는 공정을 포함한다.
또한, 상기 하부기판(11)의 두께는 표시소자 형성공정을 견딜 수 있을 정도로 단단한(rigid) 제1두께를 갖는다.
그리고, 상기 박막트랜지스터(T)는 게이트 전압이 공급되는 게이트전극(13)과, 데이트라인에 접속된 소스전극(23)과, 화소전극(29)에 접속된 드레인전극(25)과, 게이트전극(13)과 중첩되고 소스전극(23) 및 드레인전극(25)과 중첩되게 형성되고 소스전극(23)과 드레인전극(25)사이에 채널을 형성하는 활성층(17)을 구비한 다.
상기 활성층(17)은 소스전극(23) 및 드레인전극(25)과 중첩되게 형성되고 소스전극(23)과 드레인전극(25)사이에서 노출되어 채널부를 형성한다. 또한, 상기 활성층(17)위에는 소스전극(23) 및 드레인전극(25)과 오믹접촉을 위한 오믹접촉층(19)이 더 형성된다. 통상적으로 상기 활성층(17) 및 오믹접촉층(19)을 반도체패턴(21)이라 명명한다.
한편, 상부어레이(50) 제조공정은, 베이스필름(41)상에 형성된 상부전극(43)과, 상부전극(43)상에 위치하며 하전 염료입자(charge pigment particle)를 포함하는 캡슐(45)들을 형성하는 공정을 포함한다.
이때, 상기 베이스필름(41)은 플레서블(flexible)한 필름상태인 것이 일반적이다.
또한, 상기 캡슐(45)내에는 정극성 전압에 반응하는 블랙 염료입자(45a)와, 부극성 전압에 반응하는 화이트 염료입자(45b)와, 솔벤트(45c)가 포함된다.
상기와 같은 구성으로 제조되는 하부어레이(30)와 상부어레이(50)는 접착제(adhesive)(47)에 의해 합착되어져 전기영동 표시장치(10) 제조를 완료한다.
이렇게 제조된 전기영동 표시장치(10)의 기판 표면을 식각하기 위해, 상기 전기영동 표시장치(10)를 식각용 지그(Jig)(61)내에 장착하고, 상기 전기영동 표시장치(10)의 가장자리부와 식각용 지그(61) 상면을 고정용 테이프(71)로 접착시켜 고정시킨다.
그다음, 상기 전기영동 표시장치(10)의 하부기판(11)의 배면을 식각 에천 트(echant)를 분사하여 하부기판(11)의 배면을 일정 두께만큼 식각하여 플렉서블한 전기영동 표시장치(10)를 제조하게 된다.
그러나, 상기와 같이 제조되는 종래기술에 따른 플레서블 표시장치 제조방법에 의하면 다음과 같은 문제점이 있다.
종래기술에 따른 플레서블 전기영동 표시장치 제조방법에 있어서, 전기영동 표시장치는 단지 고정용 테이프에 의해서만 식각용 지그내에 고정되기 때문에 하부기판의 배면은 하중에 의해서 가운데 부분이 처지는 현상이 발생한다.
이러한 처짐 부위는 식각 에천트가 모이게 되어 식각 기판의 중앙부와 가장자리부에 두께 편차가 발생한다.
이에 본 발명은 상기 종래기술의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 플렉서블한 표시장치를 구현하기 위해 기판 배면 식각시에 기판 처짐을 방지하여 기판의 식각 균일도를 개선시킬 수 있는 플렉서블 표시장치 제조방법을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치 제조방법은, 비가요성을 부여하는 제1 두께를 갖는 기판의 일면에 표시소자를 형성하는 단계; 상기 표시소자가 형성된 기판의 타면이 외부로 노출되도록 식각용 지그내에 상기 표시소자가 형성된 기판을 장착하는 단계; 상기 식각용 지그배면에 상기 기판과 대응하는 자석을 부착시키는 단계; 및 상기 기판이 제2 두께가 되도록 노출된 기판의 타면을 식각하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 플렉서블 표시장치 제조방법에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명에 따른 플렉서블 표시장치 제조방법은 식각용 지그내에 표시장치를 장착하고 지그의 배면에 자석을 붙여서 표시장치의 기판 중앙부의 처짐을 자석으로 고정시키게 된다.
따라서, 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치 제조방법은, 기판배면의 식각공 정중에 발생되는 기판 중앙부의 처짐이 방지되어 기판의 식각 균일도(etch uniformity)를 개선할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치 제조방법에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치 제조방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.
본 발명에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법은 크게 표시소자 형성공정 및 기판 식각공정으로 나뉜다.
여기서, 상기 표시소자 형성공정은 플렉서블 표시장치를 구성하는 각종 패턴을 형성하여 비가요성(non-flexible)의 표시소자를 제조하는 공정이다. 예를 들어 표시소자가 전기영동 표시소자(Electrophoretic Display Device; EPD)인 경우 표시소자 형성공정을 통해 표시소자가 형성된다.
전기영동 표시소자는 전기영동(Electrophoresis; 전기장내에서 하전된 입자가 양극 또는 음극쪽으로 이동하는 현상)을 이용한 소자이다.
이러한 전기영동 표시소자(100)는 표시소자 형성공정을 통해 비가요성 기판상에 박막트랜지스터 어레이를 패터닝하고, 전기영동 부유 입자를 포함한 상부 어레이부를 부착하므로써 형성된다.
도 2a 내지 2d에 따른 표시소자 형성공정을 통해 제조된 본 발명에 따른 표시장치, 예를 들어 전기영동표시장치 및 그 제조방법에 대해 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 표시장치(100)는 하부 어레이부(130)와 상부 어레이부(150)로 구분된다.
도 2a를 참조하면, 상기 하부 어레이부(130)는 하부기판(101)상에 게이트절연막(103)을 사이에 두고 교차하게 형성된 게이트라인(미도시) 및 데이터라인(미도시)과, 그 교차부마다 형성된 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; 이하 "TFT"라 함)(T)와, 그 교차구조로 마련된 셀영역에 형성된 화소전극(129)을 구비한다. 상기 하부기판 (101)의 두께는 표시소자 형성공정을 견딜 수 있을 정도로 단단한(rigid) 제1두께를 가진다.
상기 하부기판(101)상에는 하부기판(101) 표면의 균일도를 향상시키고 하부기판(101)을 절연시켜 주는 버퍼층이 더 형성될 수도 있다. 상기 박막트랜지스터 (T)는 게이트전극(103)과, 상기 데이터라인(미도시)에 접속된 소스전극(123)과, 화소전극(129)에 접속된 드레인전극(125)과, 게이트전극(103)과 중첩되고 소스전극 (123)과 드레인전극(125)사이에 채널을 형성하는 활성층(107)을 구비한다.
상기 활성층(107)은 소스전극(123) 및 드레인전극(125)과 중첩되게 형성되고, 소스전극(123)과 드레인전극(125)사이에서 노출되어 채널부를 형성한다.
상기 활성층(107)위에는 소스전극(123) 및 드레인전극(125)과 오믹접촉을 위한 오믹접촉층(109)이 더 형성된다. 통상적으로 상기 활성층(107) 및 오믹접촉층 (109)을 반도체패턴(111)이라 명명한다.
상기 화소전극(129)은 박막트랜지스터(T)를 보호하는 보호막(127)을 관통하 여 드레인전극(125)을 노출시키는 접촉홀(미도시)을 통해 상기 드레인전극(125)과 전기적으로 접촉한다.
한편, 도 2b를 참조하면, 상부 어레이부(150)는 가요성(flexible)의 필름 상태로 이루어져 있으며, 이러한 상부 어레이부(150)는 베이스필름(141)상에 형성된 상부전극(143)과, 상기 상부전극(143)상에 위치하며 하전 염료입자(charge pigment particle)를 포함하는 캡슐(145)들을 구비한다.
또한, 상기 베이스필름(141)은 유연성을 가지는 플라스틱 또는 플렉서블한 금속 등으로 이루어진다. 상기 캡슐(145)내에는 정극성 전압에 반응하는 블랙 염료입자(145a)와, 부극성 전압에 반응하는 화이트 염료입자(145b)와, 솔벤트(145c)가 포함된다.
그리고, 이러한 구성을 가지는 상부 어레이부(150)와 하부 어레이부(130)는 접착제(adhesive)(147)에 의해 합착된다.
이러한 구성으로 제조되는 본 발명에 따른 표시장치(100)는 하부어레이부 (130)의 게이트전극(103)에 공급되는 게이트 전압에 응답하여 데이터라인에 공급되는 화소전압 신호가 박막트랜지스터(T)의 채널을 경유하여 화소전극(129)에 충전되고, 상기 상부 어레이부(150)의 상부전극(143)에 기준전압이 공급되면, 전기장에 의한 전기영동 형상에 의해 캡슐(145)내에서의 화이트 염료입자(145a)와 블랙 염료입자(145b)가 양분되면서 흑색, 백색 또는 소정의 그레이를 구현하게 된다.
이상과 같은 구성으로 이루어진 표시장치(100)를 형성하는 공정을 완료한후 상기 비가요성 기판, 즉 하부기판(101)이 유연성을 가지도록 하기 위해서 상기 기판이 제1 두께보다 얇은 제2 두께가 되도록 상기 표시장치(100)의 비가요성 기판의 타면을 식각하는 공정을 도 2c에서와 같이 진행한다.
이때, 비가요성 기판의 제2 두께는 상기 제1 두께의 약 70% 이하가 되도록 식각하면 유연성을 가질 수 있다. 따라서, SUS 기판을 적용한 경우, 제2 두께는 0.2 mm 이하가 되도록 식각하는 것이 바람직하다.
상기 기판 식각공정은, 도 2c에서와 같이, 상기 비가요성 기판(103)의 타면이 식각액(echant)와 접촉하도록 함으로써 진행된다. 이때, 상기 식각액은 염소(Cl), 브롬(Br), 요오드(I) 등의 할로겐 원소를 포함한다. SUS 기판을 적용할 경우, 상기 식각액은 염화철을 포함하고 있기 때문에 상기 SUS기판을 식각할 수 있다. 기판 식각공정에 대한 상세한 설명은 도 2c를 참조하여 설명하기로 한다.
도 2c에 도시된 바와 같이, 표시소자 형성공정을 통해 전기영동 표시장치 (100)를 형성한후 비가요성 기판인 하부기판(101)이 노출되도록 식각용 지그(161)내부에 장착시키고, 상기 하부기판(101)의 가장자리부와 식각용 지그(161) 상면에 고정용 테이프(171)를 부착시켜 상기 하부기판(101)를 고정시킨다. 이때, 상기 플레이트 자석(181) 이외에 복수개의 바 형태로 분리된 자석을 사용할 수도 있다.
그다음, 상기 하부기판(101) 대응하여 상기 식각용 지그(161)의 배면에 플레이트형 자석(181)을 장착시켜 표시장치(100)의 하부기판(101)을 잡아 당기도록 하므로써 기판 중앙부의 처짐을 자석으로 고정시키게 된다.
이어서, 이렇게 플레이트형 자석(181)으로 하부기판(101)의 중앙부의 처짐을 억제시킨 후 하부기판(101)의 식각면이 하부기판(101)의 아래쪽에 배치된 노즐 (191)을 통해 분사되는 식각액 (193)과 접촉하여 식각된다. 이때, 비가요성 기판, 즉 하부기판(101)의 배면이 식각액(193)을 통해 식각되므로써, 도 2d에서와 같이, 하부기판(101a)의 두께가 제2 두께에 도달하여 표시장치(100)가 유연성을 가지더라도 플레이트형 자석(181)에 의해 지지될 수 있으므로 안정적인 식각공정을 진행할 수 있다.
이상에서와 같이, 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치 제조방법은 식각용 지그내에 표시장치를 장착하고 지그의 배면에 자석을 붙여서 기판 중앙부의 처짐을 자석으로 고정시키게 된다.
따라서, 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치 제조방법은, 기판배면의 식각공정중에 발생되는 기판 중앙부의 처짐이 방지되어 기판의 식각 균일도(etch uniformity)를 개선할 수 있다.
한편, 상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 종래기술에 따른 플렉서블 전기영동 표시장치 제조방법을 설명하기 위한 단면도로로서, 식각용 지그에 기판을 장착하여 식각공정을 진행하는 경우를 나타낸 도면이다.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치 제조방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.
- 도면의 주요부분에 대한 부호 설명 -
101, 101a : 하부기판 103 : 게이트전극
105 : 게이트절연막 107 : 활성층
109 : 오믹접촉층 111 : 반도체패턴
123 : 소스전극 125 : 드레인전극
127 : 보호막 129 : 화소전극
130 : 하부 어레이부 141 : 베이스필름
143 : 상부전극 145 : 캡슐
145a : 화이트 염료입자 145b : 블랙 염료입자
145c : 솔벤트 147 : 접착제
150 : 상부 어레이부 161 : 식각용 지그
171 : 고정용 테이프 181 : 플레이트형 자석
191 : 노즐 193 : 식각액
100 : 표시장치

Claims (6)

  1. 비가요성을 부여하는 제1 두께를 갖는 기판의 일면에 표시소자를 형성하는 단계;
    상기 표시소자가 형성된 기판의 타면이 외부로 노출되도록 식각용 지그내에 상기 표시소자가 형성된 기판을 장착하는 단계;
    상기 식각용 지그배면에 상기 기판과 대응하는 자석을 부착시키는 단계; 및
    상기 기판이 제2 두께가 되도록 노출된 기판의 타면을 식각하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 플레서블 표시장치 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 표시소자를 형성하는 단계는 하부 어레이부를 형성하는 단계와, 상부 어레이부를 형성하는 단계 및, 상부 어레이부와 하부 어레이부를 부착하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 하부 어레이부를 형성하는 단계는 박막트랜스터과 상기 박막트랜지스터와 전기적으로 접속하는 화소전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 상부 어레어레이부를 형성하는 단계는 베이스필름과 베이스필름상에 ITO전극과 캡슐을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치 제조방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 자석은 플레이트형 자석 또는 복수개로 분리된 바 형태의 자석인 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치 제조방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 기판의 제2 두께는 제1 두께의 70% 이하인 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치 제조방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 식각용 지그와 노출된 기판의 가장자리부에 고정용 테이프가 부착된 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치 제조방법.
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CN109817098A (zh) * 2019-02-11 2019-05-28 京东方科技集团股份有限公司 显示面板、显示面板的制备方法、显示装置
KR20230109919A (ko) * 2022-01-14 2023-07-21 이동주 액정보호 강화 유리를 지그에 테이핑하는 장치 및 방법

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