KR20100066278A - 미세 유체 소자 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 미세 유체 소자를 제공한다. 이 미세 유체 소자는 시료 유체가 투입되어 저장되는 저장 챔버; 상기 시료 유체 내의 특정물질을 감지하는 감지 챔버; 세정액을 저장하는 세정액 저장 챔버; 상기 챔버들을 연결하는 유로들; 및 상기 세정액을 이송시키는 미세펌프를 포함하며, 소량의 시료 유체만으로도 정확한 검사를 수행할 수 있다.
Figure P1020090026261
미세 유체 제어, 플라스틱 칩, 소수성 밸브, 화학 반응 펌프, 면역반응칩

Description

미세 유체 소자{microfluidic device}
본 발명은 미세유체소자에 관한 것이다.
본 발명은 지식경제부 및 정보통신연구진흥원의 IT원천기술개발 사업의 일환으로 수행한 연구로부터 도출된 것이다[과제관리번호: 2006-S-007-03, 과제명: 유비쿼터스 건강관리용 모듈 시스템]
미세 유체 소자들은 정확하고 세밀한 유체제어가 필요한 단백질칩, DNA칩, 약물전달시스템(drug delivery system)미세 생물/화학 분석기(micro total analysis system), 생물/화학 반응기(micro reactor)를 포함하는 랩온어칩에 다양하게 적용되고 있다.
일반적인 미세 유체 소자에서는 기본적으로 모세관력에 기초한 유체의 유동을 이용한다. 미세 유체 소자에서는 시료 유체 내에 포함된 특정 물질에 대한 감도를 향상시키기 위해, 시료 유체의 이동 속도를 제어하는 것이 중요하다. 이를 위해 다양한 방법들이 연구되고 있으나, 종래의 미세 유체 소자는 많은 양의 시료 유체를 필요로 하며, 유체 이송 속도의 제어에 어려움이 있다.
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 적은 양의 시료 유체로 정확한 검사를 할 수 있는 미세 유체 소자를 제공하는데 있다.
또한 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 시료 유체의 이동을 순차적으로 제어할 수 있는 미세 유체 소자를 제공하는데 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 미세 유체 소자는, 시료 유체가 투입되어 저장되는 저장 챔버; 상기 시료 유체 내의 특정물질을 감지하는 감지 챔버; 세정액을 저장하는 세정액 저장 챔버; 상기 챔버들을 연결하는 유로들; 및 상기 세정액을 이송시키는 미세펌프를 포함한다.
상기 미세 펌프는 가스를 발생시킬 수 있다. 이때 상기 미세펌프는, 밀폐된 미세 탱크 안에 든 물; 및 상기 미세 탱크 주변에 위치하는 구연산과 탄산염을 포함할 수 있으며, 상기 미세 탱크는 파라핀막으로 이루어질 수 있다. 상기 미세 유체 소자는 상기 미세 펌프에 인접하여 상기 파라핀막을 녹이는 미세 히터를 더 포함할 수 있다. 상기 미세 유체 소자는 상기 미세 히터에 인접하는 온도 센서를 더 포함할 수 있다.
상기 미세 유체 소자는 상기 미세 펌프에 의해 이송된 세정액과 시료 유체가 폐기되는 폐기챔버를 더 포함할 수 있다.
상기 미세 유체 소자는 상기 챔버들과 유로를 정의하는 홈이 형성되며 서로 접하는 상판과 하판을 더 포함할 수 있으며, 상기 상판의 하단부는 상기 하판 상에 융착되거나 접착될 수 있다. 상기 상판과 상기 하판 중 적어도 하나는 COC(cyclo olefin copolymer), PMMA(polymethylmethacrylate), PC(polycarbonate), COP(cyclo olefin polymer), LCP (liquid Crystalline Polymers), PDMS(polydimethylsiloxane), PA(polyamide), PE(polyethylene), PI(polyimide), PP(polypropylene), PPE(polyphenylene ether), PS(polystyrene), POM(polyoxymethylene), PEEK(polyetheretherketone), PES(polyethylenephthalate), PET(polyethylenephthalate), PTFE(polytetrafluoroethylene), PVC(polyvinylchloride), PVDF(polyvinylidene fluoride), PBT(polybutyleneterephthalate), FEP(fluorinated ethylenepropylene) 및 PFA(perfluoralkoxyalkane)을 포함하는 그룹에서 선택되는 적어도 하나로 이루어질 수 있다.
상기 미세 유체 소자는 상기 저장 챔버와 상기 유로 사이에 개재된 필터를 더 포함할 수 있다.
상기 미세 유체 소자에서는 상기 유로에 친수성 또는 소수성 처리를 하여 상기 시료 유체의 이송 속도를 조절할 수 있다.
상기 미세 유체 소자는 상기 유로의 폭보다 넓은 폭을 가지거나 소수성 처리가 된 내부 표면을 가지는 밸브부를 더 포함할 수 있다. 상기 밸브부는 상기 유로의 폭보다 넓은 폭과 소수성 처리가 된 내부 표면을 가질 수 있다. 상기 밸브부는 바람직하게는 상기 감지 챔버의 적어도 일 단부에 위치한다.
본 발명의 일 예에 따른 미세 유체 소자에서는 세정액을 강제적으로 이송시키는 미세 펌프에 의해 감지챔버에서 시료 유체 내의 특정물질을 감지하는 생화학 반응 후, 감도에 부정적인 영향을 미치는 입자들을 제거할 수 있다. 이로써, 미세 유체 소자 내에서 소량의 시료 유체만으로도 정확한 검사를 수행할 수 있다.
또한 본 발명의 일 예에 따른 미세 유체 소자에서는 밸브부에 의해 시료 유체의 이동 속도를 제어할 수 있다. 특히, 상기 밸브부는 감지 챔버의 적어도 일 단부에 위치하므로 감지 챔버 내에서 시료 유체가 머무는 시간이 길어져 감도를 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명하기로 한다. 그러나, 이하의 실 시예는 이 기술 분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 유체 소자의 평면도이다. 도 2a는 도 1의 하판의 평면도를 나타낸다. 도 2b는 도 1의 상판의 평면도를 나타낸다. 도 3은 도 1을 I-I' 선으로 자른 단면도를 나타낸다. 도 4a는 본 발명의 일 예에 따라 도 1을 II-II' 선으로 자른 단면도를 나타낸다. 도 5a는 본 발명의 일 예에 따라 도 1을 III-III' 선으로 자른 단면도를 나타낸다.
도 1, 2a, 2b, 3, 4a 및 5a를 참조하면, 본 실시예에 따른 미세 유체 소자는 상판(10)과 하판(50)을 포함한다. 상기 상판(10)과 상기 하판(50)은 맞물리어 접하며, 상기 상판(10) 및/또는 상기 하판(50)에 형성된 홈에 의해 챔버들(14, 20, 26, 32, 34 ), 유로들(18, 24) 및 밸브부들(22, 30)이 정의된다. 상기 챔버들(14, 20, 26, 32, 34 )은 시료 유체가 투입되어 저장되는 시료 저장챔버(14), 상기 시료 유체 내의 특정물질을 감지하는 감지챔버(20), 세정액이 저장되는 세정액 저장 챔버(32), 미세 펌프(36)가 저장되는 미세 펌프 챔버(34), 및 상기 세정액과 상기 시료 유체가 폐기되는 폐기 챔버(26)를 포함한다. 상기 미세 펌프 챔버(34)와 감지 챔버(20) 사이에는 세정액 저장 챔버(32)가 배치된다. 상기 밸브부들(22, 30)은 상기 감지 챔버(20)과 상기 폐기 챔버(26) 사이에 배치되는 제 1 밸브부(22)와, 상기 세정액 저장 챔버(32)와 상기 감지 챔버(20) 사이에 배치되는 제 2 밸브부(30)을 포함한다. 상기 유로들(18, 24)은 상기 시료 저장 챔버(14)와 상기 감지 챔버(20) 사이를 연결하는 제 1 유로(18)와, 상기 제 2 밸브부(30)와 상기 폐기 챔버(26) 사이를 연결하는 제 2 유로(24)를 포함한다.
계속해서, 상기 시료 저장 챔버(14)의 상판(10)에는 시료 유체를 투입하는 투입구(12)가 형성되고, 상기 시료 저장 챔버(14)와 상기 제 1 유로(18) 사이에는 필터(16)가 개재된다. 상기 밸브부들(22, 30)은 상기 유로들(18, 24)의 폭보다 넓은 폭을 가지며 내부에 소수성 처리된 영역(72, 74)을 가진다. 상기 밸브부들(22, 30)은 평면적으로 볼때 리본 형태를 가질 수 있다. 즉, 상기 밸브부들(22, 30)은 상기 유로들(18, 24)의 폭보다 넓은 폭을 가지는 두 영역들과 그 사이에 위치하는 소수성 처리된 영역(72)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 벨브부(22)에는 에어 벤 트(air vent, 23)가 연결될 수 있다. 상기 폐기 챔버(26)의 상판(10)에는 폐기구(28)가 형성될 수 있다. 상기 폐기구(28)로 폐기된 세정액과 시료 유체가 흘러나올 수 있다. 상기 폐기구(28)는 에어 벤트의 역할을 할 수 있다. 상기 세정액 저장 챔버(32)에는 세정액(70)이 저장된다. 상기 세정액(70)은 물일 수 있다.
계속해서, 도 1, 2a 및 3을 참조하면, 상기 미세 펌프 챔버(34)에는 미세 챔버(36)가 위치한다. 상기 미세 챔버(36)는 가스를 발생시켜 상기 미세 챔버(34) 내의 압력을 증가시키고 이로써 상기 세정액(70)을 강제로 이송시킨다. 상기 미세 펌프 챔버(34)는 밀폐된 미세 탱크(35b) 안에 든 물(35a)과 상기 미세 탱크(35b) 외부에 위치하는 혼합물(37)을 포함한다. 상기 혼합물(37)은 구연산과 탄산염을 포함한다. 상기 미세 탱크(35b)는 파라핀 막으로 이루어질 수 있다. 상기 파라핀막으로 이루어지는 상기 미세 탱크(35b)는 열에 의해 녹을 수 있고, 상기 파라핀막이 녹음으로써 상기 미세 탱크(35b) 안에 있던 물이 밖으로 흘러나오게 됨에 따라 상기 구연산과 탄산염이 물에 용해된다. 그리고 상기 구연산과 탄산염이 서로 반응하여 이산화탄소와 같은 가스를 발생시키게 된다. 상기 미세 펌프 챔버(34) 하부의 상기 하판(50)에는 미세 히터(52)가 배치된다. 상기 미세 히터(52)는 상기 파라핀막을 녹이기 위한 열을 발생시킨다. 상기 하판(50)에는 상기 미세히터(52)에 인접하여 상기 미세 히터(52)의 정확한 온도 제어를 위해 온도센서(54)가 배치될 수 있다. 상기 미세 히터(52)와 상기 온도센서(54)의 단자들(52a, 54a)은 상기 상판(10)으로 덮이지 않고 상기 하판(50) 상에서 외부로 노출된다. 상기 미세 히터(52)와 상기 온도센서(54)의 표면은 상기 미세 펌프(36)와 접하지 않고 보호막(미도시)에 의해 덮일 수 있다. 이때 상기 미세 히터(52)가 발생시키는 열은 상기 보호막을 통해 상기 미세 펌프(36)로 전달될 수 있다.
계속해서, 도 1, 2a, 3 및 5a을 참조하면, 상기 감지챔버(20)의 상기 하판(50)에는 적어도 하나의 감지전극(60)이 배치될 수 있다. 상기 감지전극(60)에는 예를 들면, 금나노입자가 고정된 탐지항체를 포획하는 포획 항체가 도포되어 있을 수 있다. 상기 감지전극(60)의 포획 항체에 포획되는 금나노입자가 고정된 탐지항체가 많을수록 전기전도도가 증가할 수 있으며, 이러한 점을 이용하여 특정물질을 검출 및 판독할 수 있다. 감지 전극(120)에는 응용 목적에 따라서, 항원, 항체와 같은 단백질, 혹은 유전자와 같은 다양한 생화학 물질이 고정화될 수 있으며, 자기 정렬 단분자막(self-assembled monolayer)과 같은 표면 처리가 되어 있을 수 있다. 필요에 따라서 덴드리머를 포함한 다양한 화학물질들이 미리 형성되어 있을 수 있다.
상기 감지 전극(60)의 감도를 향상시키기 위해, 상기 감지 챔버(20)에 고이는 시료 유체의 양을 충분히 늘려줄 수 있다. 이를 위한 하나의 방도로 도 5b에서 처럼 상기 상판(10)과 상기 하판(50) 사이에 중간판(90)을 삽입시킬 수 있다.
상기 감지 전극(60)은 전극 연결부(60a)와 전극단자(60b)에 연결되며, 상기 전극 단자(60b)는 상기 상판(10)에 의해 덮이지 않고 상기 하판(50) 상에서 외부로 노출된다. 상기 전극 연결부(60a)는 외부에 노출될 수도 있지만, 바람직하게는 비특이적 생물학적 결합을 줄이기 위해 도 5a에서처럼 보호막(85)으로 덮이거나 또는 도 5b에서처럼 상기 하판(50) 내에 위치할 수 있다. 상기 미세 히터(52)의 단 자(52a), 상기 온도센서(54)의 단자(54a), 및 상기 감지 전극(60)의 단자(60b)는 외부 측정 장치의 전원부나 계측부에 연결될 수 있다.
상기 상판(10)과 상기 하판(50)은 COC(cyclo olefin copolymer), PMMA(polymethylmethacrylate), PC(polycarbonate), COP(cyclo olefin polymer), LCP (liquid Crystalline Polymers), PDMS(polydimethylsiloxane), PA(polyamide), PE(polyethylene), PI(polyimide), PP(polypropylene), PPE(polyphenylene ether), PS(polystyrene), POM(polyoxymethylene), PEEK(polyetheretherketone), PES(polyethylenephthalate), PET(polyethylenephthalate), PTFE(polytetrafluoroethylene), PVC(polyvinylchloride), PVDF(polyvinylidene fluoride), PBT(polybutyleneterephthalate), FEP(fluorinated ethylenepropylene), 및 PFA(perfluoralkoxyalkane)을 포함하는 그룹에서 선택되는 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 상판(10)과 상기 하판(50)은 사출성형(Injection Molding), 핫엠보싱(Hot Embossing), 캐스팅(Casting), 광성형(Stereolithography), 레이저 어블레이션(Laser Ablation), 쾌속조형(Rapid Prototyping), 실크스크린 뿐만 아니라, NC(Numerical Control) 머시닝과 같은 전통적인 기계가공법 또는 포토리소그래피(Photolithography)와 식각을 이용한 반도체가공법으로 제작될 수 있다. 상기 상판(10)과 상기 하판(50)은 접착제(80)로 접착될 수 있다. 상기 접착제(80)로는 액체형의 접착 물질, 혹은 분말형이나 종이와 같은 얇은 판 형태의 접착제일 수 있다. 상기 상판(10)과 상기 하판(50)을 접합시킬 때, 상기 감지전극(60) 표면 상의 포획 항체와 같은 생화학 물질의 변성을 막기 위하여 상온 혹은 저온 접합을 할 수 있으며, 이 경우 압력만으로 접합이 이루어지는 점착제(pressure sensitive adhesive)를 사용할 수 있다. 또는 두 기판을 접합시 생화학 물질의 변성을 막기 위하여 상온 혹은 저온 접합을 실시할 경우, 도 4b에서처럼 상기 상판(10)의 단부(11)를 뾰족하게 형성하고 이 뾰족한 부분에 초음파 에너지를 인가하여 국부적으로 용융시키고 상기 상판(10)을 상기 하판(50) 상에 밀착시키는 융착 또는 초음파 접합(ultrasonic bonding) 방법을 수행할 수 있다. 또는 도 5b에서처럼, 두 개 이상의 판들(10, 50, 90)을 접합시킬 때, 접착제(80)과 융착 방법이 모두 사용될 수 있다.
다음은 도 6a, 6b 및 6c를 참조하여 도 1의 미세 유체 소자에서 유체의 유동을 순차적으로 설명하기로 한다.
먼저, 도 6a를 참조하면, 투입구(12)를 통해 시료 유체(100)를 투입한다. 상기 시료 유체(100)를 투입할 때 항원/항체 반응과 같은 생화학 반응에 참여할 표시 인자가 고정된 항원 또는 항체를 혼합하여 투입할 수 있다. 예를 들면 상기 시료 유체(100)는 예를 들면 혈액일 수 있다. 상기 시료 유체(100)를 투입할 때, 예를 들면 금나노입자가 고정된 탐지항체도 같이 투입될 수 있다. 세정액 저장 챔버(32) 안에는 세정액(70)이 미리 들어가 있다.
도 6b를 참조하면, 상기 시료유체(100)가 투입되면 모세관력에 의한 자연 유동으로 시료 저장 챔버(14)에서 필터(16)를 거쳐 제 1 유로(18)로 이동한다. 상기 필터(16)에서 상기 시료 유체(100) 속의 큰 입자들은 걸러진다. 예를 들면, 상기 시료 유체(100)가 혈액일 경우, 백혈구와 적혈구들은 상기 필터(16)에 의해 걸러지고, 혈청이나 금나노 입자가 고정된 탐지항체와 같은 크기가 작은 입자들이 통과할 수 있다. 상기 필터(16)에 의해 걸러진 시료 유체(100a)는 상기 제 1 유로(18)를 거쳐 감지 챔버(20)로 흐른다. 상기 시료 유체(100a)는 상기 제 2 밸브부(30)에 의해 상기 세정액 저장 챔버(32) 쪽으로 흘러들어가지는 않는다. 왜냐하면 상기 제 2 밸브부(30)의 상기 제 1 유로(18)과 접하는 부분은 상기 제 1 유로(18) 보다 넓은 폭을 가지므로, 모세관력 약해지기 때문이다. 또한 상기 시료 유체(100a)가 혈액일 경우 대부분 물을 상당량 포함하므로, 제 2 밸브부(30)의 소수성 처리된 영역(72)의 소수성에 반발하는 물의 성질 때문에도 상기 시료 유체(100a)는 상기 제 2 밸브부(30)를 통과할 수 없다. 상기 감지 챔버(20) 안에서 항원-항체 반응으로 예를 들면, 금나노 입자가 고정된 탐지항체가 포획항체에 포획된다. 상기 감지 챔버(20) 안의 상기 시료 유체(100a)는 제 1 밸브부(22)에 의해 제 2 유로(24) 쪽으로 쉽게 넘어가지 못한다. 이는 상기 제 1 밸브부(22)도 상기 제 2 밸브부(30)와 같은 구조를 가져 동일한 역할을 하기 때문이다. 상기 세정액(70)은 별도의 힘을 추가로 받지 못한다면 상기 제 2 밸브부(30)에 의해 상기 감지 챔버(20) 쪽으로 이송되지 못한다.
도 6c를 참조하면, 상기 감지 챔버(20) 안에서 항원-항체 반응이 충분히 일어나면, 외부 측정 장치의 전자 신호에 의해, 상기 미세 히터(52)에 전류가 공급되고, 상기 미세 히터(52)에서 열이 발생되어 미세 펌프(36)의 파라핀막이 녹는다. 그리고 물이 나와 구연산(C6H8O7)과 탄산염(NaHCO3)을 녹이고, 이 둘이 반응하여 C6H7O7Na, 물(H2O) 및 이산화탄소(CO2)가 생성될 수 있다. 이산화탄소의 발생으로 미세 펌프 챔버(34)의 압력이 상승하여 세정액(70)이 상기 제 2 밸브부(30)를 통과하여 상기 감지 챔버(20) 쪽으로 이송되고, 상기 세정액(70)은 상기 감지 챔버(20) 안의 시료 유체(100a)와 합류되고 폐기 챔버(28)로 이송된다. 이로써, 상기 폐기 챔버(28)에는 상기 세정액(70)과 상기 시료유체(100a)의 혼합액(110b)이 저장된다. 상기 세정액(70)을 상기 미세 펌프(36)로 강제로 이송시키어 상기 감지 챔버(20) 내에 있던 상기 반응에 참여하지 않거나 상기 감지 전극(60)과의 결합이 약해진 반응물들을 세척하여 상기 감지 전극(60)의 감도를 향상시킬 수 있다. 이로써, 미세 유체 소자 내에서 소량의 시료 유체만으로도 정확한 검사를 수행할 수 있다.
본 실시예에서 미세 펌프는 이산화탄소를 발생시키기 위하여 구연산과 탄산염을 포함하였으나, 이는 일 예를 나타낸 것으로, 이산화탄소를 발생시키기 위하여 상기 미세 펌프가 다른 혼합물을 포함하거나, 또는 상기 미세 펌프가 이산화탄소 외에 다른 산소나 질소와 같은 여러 가스를 발생시킬 수 있음은 당업자에게 자명한 것이다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 유체 소자의 평면도이다.
도 2a는 도 1의 하판의 평면도를 나타낸다.
도 2b는 도 1의 상판의 평면도를 나타낸다.
도 3은 도 1을 I-I' 선으로 자른 단면도를 나타낸다.
도 4a는 본 발명의 일 예에 따라 도 1을 II-II' 선으로 자른 단면도를 나타낸다.
도 4b는 본 발명의 다른 예에 따라 도 1을 II-II' 선으로 자른 단면도를 나타낸다.
도 5a는 본 발명의 일 예에 따라 도 1을 III-III' 선으로 자른 단면도를 나타낸다.
도 5b는 본 발명의 다른 예에 따라 도 1을 III-III' 선으로 자른 단면도를 나타낸다.
도 6a, 6b 및 6c는 도 1의 미세 유체 소자에서 유체의 유동을 순차적으로 나타내는 평면도들이다.

Claims (13)

  1. 시료 유체가 투입되어 저장되는 시료 저장 챔버;
    상기 시료 저장 챔버에 연결되고, 상기 시료 유체 내의 특정물질을 감지하는 감지 챔버;
    상기 감지 챔버에 연결되고, 세정액을 저장하는 세정액 저장 챔버;
    상기 챔버들을 연결하는 유로들; 및
    상기 세정액을 이송시키는 미세펌프를 포함하는 미세 유체 소자.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 미세 펌프는 가스를 발생시키는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 미세펌프는,
    밀폐된 미세 탱크 안에 든 물; 및
    상기 미세 탱크 주변에 위치하는 구연산과 탄산염을 포함하며,
    상기 미세 탱크는 파라핀막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 미세 펌프에 인접하여 상기 미세 펌프에 열을 가하는 미세 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 미세 히터에 인접하는 온도 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 미세 펌프에 의해 이송된 세정액과 상기 시료 유체가 폐기되는 폐기챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버들과 유로를 정의하는 홈이 형성되며 서로 접하는 상판과 하판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 상판의 하단부는 상기 하판 상에 융착되거나 접착되는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 상판과 상기 하판 중 적어도 하나는 COC(cyclo olefin copolymer), PMMA(polymethylmethacrylate), PC(polycarbonate), COP(cyclo olefin polymer), LCP (liquid Crystalline Polymers), PDMS(polydimethylsiloxane), PA(polyamide), PE(polyethylene), PI(polyimide), PP(polypropylene), PPE(polyphenylene ether), PS(polystyrene), POM(polyoxymethylene), PEEK(polyetheretherketone), PES(polyethylenephthalate), PET(polyethylenephthalate), PTFE(polytetrafluoroethylene), PVC(polyvinylchloride), PVDF(polyvinylidene fluoride), PBT(polybutyleneterephthalate), FEP(fluorinated ethylenepropylene) 및 PFA(perfluoralkoxyalkane)을 포함하는 그룹에서 선택되는 적어도 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 저장 챔버와 상기 유로 사이에 개재된 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 유로에 친수성 또는 소수성 처리를 하여 상기 시료 유체의 이송 속도를 조절하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 유로의 폭보다 넓은 폭을 가지거나 소수성 처리가 된 내부 표면을 가지는 밸브부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 밸브부는 상기 감지 챔버의 적어도 일 단부에 위치하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.
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