KR20100054545A - Aligner for flat panel display feeding device - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An aligner for a flat panel display feeding device is provided to prevent the frequent replacement of an aligner and a defect in a flat panel by preventing abrasion of the flat panel from an align head. CONSTITUTION: In an aligner for a flat panel display feeding device, a plate panel is mounted in a side roller(50) and is transferred. An align head(51) supports the side of the flat panel transferred by the side-roller. A interlinking rotation unit rotates align head in a progressive direction of the flat panel while being interlinked with the rotation of the side roller shaft.

Description

평판 반송 장치용 얼라이너{Aligner for flat panel display feeding device} Aligner for flat panel display feeding device

본 발명은 평판 반송 장치용 얼라이너에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판을 이송할 때 가이드 역할을 하는 얼라이너로 인한 마찰 충격 및 마찰 시의 파티클 발생을 극소화한 평판 반송 장치용 얼라이너에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an aligner for a flat plate conveying apparatus, and more particularly, to an aligner for a flat plate conveying apparatus which minimizes frictional impact and particle generation during friction due to an aligner serving as a guide when conveying a flat plate. .

일반적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display), PDP 등의 평판표시소자의 제조에 사용되는 평판표시소자 제조장치는 다수의 챔버(로드락챔버, 반송챔버, 공정챔버등)로 구성된다. In general, a flat panel display device manufacturing apparatus used for manufacturing flat panel display devices such as a liquid crystal display (PDP), a PDP, etc. is composed of a plurality of chambers (load lock chamber, transfer chamber, process chamber, etc.).

상기 로드락챔버, 반송챔버, 공정챔버들은 평판의 인입 및 반출이 용이하도록 구성됨과 아울러 각 챔버 사이에 평판을 이송하도록 반송장치가 설치되어 있게 된다.The load lock chamber, the transfer chamber, and the process chambers are configured to facilitate the introduction and removal of the flat plate, and a transfer device is installed to transfer the flat plate between the chambers.

상기 반송장치는 평판이 안정적으로 이송될 수 있도록 구성함과 아울러 이송 중 파손되거나 위치가 이탈되는 것을 방지하게 구성되는 바, 반송장치에는 평판이 반송장치에서 벗어나지 않도록 얼라이너가 설치된다.The conveying apparatus is configured to stably transport the flat plate, and is configured to prevent breakage or positional deviation during transport, and the conveying device is provided with an aligner such that the flat plate does not escape from the conveying device.

즉, 상기 얼라이너는 평판이 반송장치에서 이송될 때 평판의 측면을 가이드 하면서 평판이 위치를 이탈하지 않도록 구성되는 것이다.That is, the aligner is configured so that the flat plate does not leave its position while guiding the side of the flat plate when the flat plate is conveyed from the conveying apparatus.

이는 도3에 도시된 바와 같이 평판의 저면을 지지할 수 있도록 양측에 대향 설치되어 있는 사이드롤러(50)와, 상기 사이드롤러(50)의 측면에 설치되어 평판(F)의 측면부를 지지하도록 설치되어 있는 얼라인 헤드(51)로 구성되어 있다.As shown in FIG. 3, the side rollers 50 are provided on both sides so as to support the bottom of the plate, and the side rollers 50 are installed on the side of the side roller 50 to support the side surface of the plate F. As shown in FIG. It consists of the alignment head 51 which is provided.

즉, 상기 사이드롤러(50)에 얹혀져서 평판(F)이 이동할 때 얼라인 헤드(51)가 평판(F)의 측면에 밀착되고, 이 상태에서 얼라인 헤드(51)가 자유회전하면서 평판(F)의 이동을 가이드하게 되는 것이다.That is, when the flat plate F moves by being placed on the side roller 50, the alignment head 51 is in close contact with the side of the flat plate F. In this state, the alignment head 51 is free to rotate while the flat plate ( Will guide the movement of F).

그러나, 상기한 바와 같이 평판의 이송을 자유회전하는 얼라인 헤드로 가이드하게 되면, 얼라인 헤드가 자유 회전하면서 평판과 접촉하기 때문에 평판의 측면이 마모되고, 이로 인해 마모에서 발생된 파티클이 평판에 부착되어 공정 불량이 유발되는 문제점이 있다.However, when the transfer of the flat plate is guided to the freely rotating aligning head as described above, the side of the flat plate is worn because the aligning head contacts the flat plate while freely rotating, which causes particles generated from wear to the flat plate. There is a problem in that the process failure caused by adhesion.

또한, 얼라인 헤드의 마모가 가속화되어 얼라이너 파트의 교체 주기가 짧아지게 되는 문제점이 있다.In addition, there is a problem that the wear of the align head is accelerated to shorten the replacement cycle of the aligner part.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 평판 반송 장치에서 평판의 측면을 가이드하는 얼라인 헤드로 인한 평판의 마모를 방지하여 평판 불량 및 얼라이너의 빈번한 교체를 방지할 수 있는 평판 반송 장치용 얼라이너를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to solve the above problems, a flat plate that can prevent the wear of the flat plate due to the aligning head for guiding the side of the flat plate in the flat plate conveying device and prevent frequent replacement of the aligner An aligner for a conveying apparatus is provided.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 평판이 안착되어 이송되도록 구성된 사이드롤러와,In order to achieve the above object, the present invention, the side roller is configured to be transported to the plate,

상기 사이드롤러에 의해 이송되는 평판의 측면을 지지하도록 설치된 얼라인 헤드와,An alignment head installed to support a side surface of the plate conveyed by the side rollers;

상기 사이드롤러의 축이 회전하는 것에 의해 연동 회전하면서 얼라인 헤드를 평판의 진행방향으로 회전시키도록 구성된 연동회전수단으로 구성함을 특징으로 한다.It characterized in that it comprises a linkage rotating means configured to rotate the alignment head in the advancing direction of the flat plate while rotating the axis of the side rollers.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

이상과 같이 본 발명은 평판을 이송시키는 사이드롤러와 동일 회전수로 회전 하도록 자석기어로 연결하여 평판의 반송 시 평판의 마모를 방지하여 공정 불량을 방지하고 얼라이너 교체 주기를 늦출 수 있는 잇점이 있다.As described above, the present invention is advantageous in that it is connected to a magnetic gear to rotate at the same rotation speed as the side roller for transporting the flat plate, thereby preventing wear of the flat plate during transportation of the flat plate, thereby preventing process defects and delaying the aligner replacement cycle. .

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.Preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 평판 반송 장치용 얼라이너를 도시한 개략평면도이고, 도 2는 도1에서 자석 기어를 도시한 단면도로서, 사이드롤러(50)의 축(S)이 회전하는 것에 의해 연동 회전하면서 얼라인 헤드(51)를 평판(F)의 진행방향으로 회전시키도록 구성된 연동회전수단이 사이드롤러(50)의 축(S)과 얼라인 헤드(51)의 사이에 설치되어 있다.1 is a schematic plan view showing an aligner for a flat plate conveying apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing the magnet gear in FIG. 1, which is interlocked by rotation of the shaft S of the side roller 50. FIG. While interlocking rotation means configured to rotate the alignment head 51 in the advancing direction of the flat plate F is provided between the shaft S of the side roller 50 and the alignment head 51.

즉, 연동회전수단이 사이드롤러(50)가 회전하는 것과 같은 방향 및 같은 회전 속도로 회전하도록 함으로써, 얼라인 헤드(51)에 의한 평판(F)의 마모등을 방지할 수 있게 되는 것이다.That is, by interlocking rotation means to rotate in the same direction and the same rotational speed as the side roller 50 rotates, it is possible to prevent the wear of the flat plate (F) by the alignment head 51.

상기 얼라인 헤드(51)가 사이드롤러(50)와 동일 회전 속도로 회전을 하게 되면, 평판(F)의 측면을 가이드하는 역할 뿐만 아니라 평판(F)을 이송시키는 역할까지 하게 되는 것으로서, 평판(F)의 이송 시 보다 안정감있게 이송이 가능하게 되고, 평판(F)의 측면이 마모되지도 않게 되는 것이다.When the aligning head 51 rotates at the same rotational speed as the side roller 50, the aligning head 51 not only guides the side of the flat plate F but also serves to transfer the flat plate F. In the transfer of F) it is possible to transport more stably, the side of the plate (F) is not to wear.

상기 연동회전수단은 사이드롤러(50)의 축(S)에 설치되어 있는 제1자석(1)과, 상기 제1자석(1)과 인접되어 자력이 미칠 수 있도록 배치됨과 아울러 수직축(2)에 회전 자재하도록 설치된 제2자석(3)과, 상기 제2자석(3)의 회전에 연동하도록 설치되고 평판(F)과 회전되면서 접촉하여 이송을 가이드하도록 설치된 얼라인 헤드(51)로 이루어져 있다.The interlocking rotation means is disposed adjacent to the first magnet 1 and the first magnet 1 installed on the shaft S of the side roller 50 so as to exert a magnetic force, and on the vertical shaft 2. It consists of a second magnet (3) installed for rotational material, and an alignment head (51) installed to interlock with the rotation of the second magnet (3) and rotated with the flat plate (F) to guide the transfer.

상기 제1자석(1)과 제2자석(3)은 회전방향이 서로 직교를 이루도록 배치된 것으로서, 워엄기어와 피니언처럼 구동을 하면서 직교 방향으로 동력을 전달하도록 구성된다.The first magnet (1) and the second magnet (3) are arranged so that the rotation direction is perpendicular to each other, it is configured to transmit power in the orthogonal direction while driving like a worm gear and pinion.

물론, 상기 제1자석(1)과 제2자석(3)은 서로 접촉되지 않고 근접된 상태에서 자력이 서로에게 영향을 주어 회전할 수 있도록 구성되는 바, 상기 제1, 2자석(1, 3)의 구성은 자석 기어로 지칭된다.Of course, the first magnet (1) and the second magnet (3) is configured to be able to rotate by affecting each other in the proximity state without being in contact with each other, the first, second magnets (1, 3) ) Is referred to as a magnetic gear.

여기서, 상기 제1, 2자석(1, 3)으로 자석 기어를 구성하여 동력을 전달하게 되면, 물리적인 접촉이 없기 때문에 소음이 발생되지 않게 된다.In this case, when the magnetic gear is configured by the first and second magnets 1 and 3 to transmit power, noise is not generated because there is no physical contact.

상기 제2자석(3)의 상부에는 얼라인 헤드(51)가 삽입되어 연동하도록 봉타입의 결합봉(4)이 형성되어 있고 얼라인 헤드(51)는 고정볼트(5)로 고정되어 있다. A rod-type coupling rod 4 is formed on the upper portion of the second magnet 3 so that the alignment head 51 is interlocked and the alignment head 51 is fixed with the fixing bolt 5.

또한, 상기 제2자석(3)과 수직축(2)의 사이에는 베어링(6)이 설치되어 제2자석(3)의 회전을 보다 원활하게 한다.In addition, a bearing 6 is installed between the second magnet 3 and the vertical shaft 2 to smoothly rotate the second magnet 3.

상기 제1, 2자석(1, 3)은 다수개의 자극이 형성되어 있는 바, 상기 자극에서 발생되는 자력에 의해 제1, 2자석(1, 3)이 연동 회전하도록 구성되는 자석기어로서, 자석 기어는 일반적인 구성으로 자세하게 설명하지 않는다.The first and second magnets 1 and 3 are formed of a plurality of magnetic poles, and the magnetic gears are configured such that the first and second magnets 1 and 3 rotate together by a magnetic force generated from the magnetic poles. The gear is not described in detail in its general configuration.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 평판 반송 장치용 얼라이너의 작동 및 그 작용모드를 설명하면 다음과 같다. Referring to the operation and mode of operation of the aligner for a flatbed transport apparatus according to the present invention configured as described above are as follows.

평판(F)을 각 챔버로 반송할 때 평판(F)이 사이드롤러(50)의 상면에 안착된 상태로 이동하게 되는 바, 사이드롤러(50)가 축(S)의 회전에 따라 회전하면 이에 따라 평판(F)이 일정 속도로 이동하게 된다.When the plate F is conveyed to each chamber, the plate F moves in a state of being seated on the upper surface of the side roller 50. When the side roller 50 rotates according to the rotation of the shaft S, Accordingly, the plate F moves at a constant speed.

이때, 상기 축(S)에 설치된 제1자석(1)이 같이 회전하게 되고, 상기 제1자석(1)과 인접되어 있는 제2자석(3)이 자력에 의해 회전하게 된다.At this time, the first magnet 1 installed on the shaft S rotates together, and the second magnet 3 adjacent to the first magnet 1 rotates by magnetic force.

즉, 상기 제1, 2자석(1, 3)에는 다수의 자극이 설치되어 있는 바, 제1자석(1)이 회전할 때 회전하는 자극의 개수만큼 제2자석(3)도 같이 회전하게 되어, 마치 워엄기어와 피니언처럼 회전하면서 동력이 전달되는 것이다.That is, the first and second magnets (1, 3) are provided with a plurality of magnetic poles, the second magnet (3) rotates as much as the number of magnetic poles rotated when the first magnet (1) is rotated In other words, the power is transmitted while rotating like worm gears and pinions.

상기 제1, 2자석(1, 3)으로 동력을 전달하여 사이드롤러(50)가 회전하게 되면, 실질적으로 접촉되는 부분이 없기 때문에 소음이 발생되지 않고, 동력 전달 부분에서 워엄과 피니언처럼 마모되지도 않게 되어 유지보수가 필요없게 된다.When the side roller 50 is rotated by transmitting power to the first and second magnets 1 and 3, noise is not generated because there is no contact portion, and wear does not occur in the power transmission part like worms and pinions. It also eliminates maintenance.

특히, 상기 제1, 2자석(1, 3)에는 서로 일치되도록 동일 개수의 자극이 형성되어 있기 때문에, 회전 시 제1자석(1)의 자극 회전수만큼 제2자석(3)도 회전하게 됨으로써, 제1, 2자석(1, 3)의 회전 속도는 동일하게 유지된다.In particular, since the same number of magnetic poles are formed on the first and second magnets 1 and 3 to match each other, the second magnet 3 also rotates by the number of magnetic pole rotations of the first magnet 1 during rotation. The rotation speeds of the first and second magnets 1 and 3 remain the same.

상기 제2자석(3)은 베어링(6)으로 지지되어 있는 바, 회전에 따른 마찰력이 매우 작아 원활하게 회전하게 된다.The second magnet 3 is supported by the bearing 6, so the frictional force due to the rotation is very small to smoothly rotate.

제2자석(3)이 회전하는 방향은 제1자석(1)의 회전 방향에 대해 직교 방향이 되는 것으로서, 제2자석(3)이 회전하게 되면 결합봉(4)에 설치되어 있는 얼라인 헤 드(51)가 회전하게 된다.The direction in which the second magnet 3 rotates is a direction orthogonal to the rotation direction of the first magnet 1, and when the second magnet 3 rotates, the alignment head installed on the coupling rod 4 is rotated. The rod 51 is rotated.

얼라인 헤드(51)가 회전을 하게 되면 평판(F)의 이송 속도와 동일한 속도로 회전을 하는 것으로서, 평판(F)이 마모되는 것을 방지할 수 있게 된다. When the aligning head 51 rotates, the aligning head 51 rotates at the same speed as the feeding speed of the flat plate F, thereby preventing the flat plate F from being worn.

평판(F)의 마모를 방지하게 되면 이송 시 평판(F)에 마모된 가루등이 묻지 않게 되어 평판(F)의 불량 발생을 개선할 수 있게 된다.By preventing the wear of the flat plate (F) it is possible to improve the occurrence of defects of the flat plate (F) is not adhered to the worn powder on the flat plate (F) during transport.

또한, 평판(F)의 이송 방향으로 가이드를 하게 됨과 아울러 평판(F)을 밀게 됨으로써, 평판(F)의 이송 효율을 보다 효과적으로 할 수 있게 된다.Further, by guiding in the conveying direction of the flat plate F and pushing the flat plate F, the transfer efficiency of the flat plate F can be made more effective.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains have various permutations, modifications, and modifications without departing from the spirit or essential features of the present invention. It is to be understood that modifications may be made and other embodiments may be embodied. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

도 1은 본 발명에 따른 평판 반송 장치용 얼라이너를 도시한 개략 평면도이다.1 is a schematic plan view showing an aligner for a flatbed conveying apparatus according to the present invention.

도 2는 도1에서 가이드롤러와 자석기어의 설치 상태를 도시한 확대 단면도이다.FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view illustrating an installation state of the guide roller and the magnetic gear in FIG. 1.

도 3은 일반적인 평판 반송 장치용 얼라이너의 설치 상태를 도시한 개략 평면도이다.3 is a schematic plan view showing a mounting state of a general aligner for flat plate conveying apparatus.

*도면의 주요 부분에 대한 설명** Description of the main parts of the drawings *

1: 제1자석 2: 수직축1: first magnet 2: vertical axis

3: 제2자석 4: 결합봉3: 2nd magnet 4: binding rod

5: 고정볼트 6: 베어링5: fixing bolt 6: bearing

50: 사이드롤러 51: 얼라인 헤드50: side roller 51: alignment head

S: 축S: shaft

Claims (3)

평판이 안착되어 이송되도록 구성된 사이드롤러와,A side roller configured to be seated and conveyed, 상기 사이드롤러에 의해 이송되는 평판의 측면을 지지하도록 설치된 얼라인 헤드와,An alignment head installed to support a side surface of the plate conveyed by the side rollers; 상기 사이드롤러의 축이 회전하는 것에 의해 연동 회전하면서 얼라인 헤드를 평판의 진행방향으로 회전시키도록 구성된 연동회전수단을 포함하는 평판 반송 장치용 얼라이너.And an interlocking rotation means configured to rotate the aligning head in the advancing direction of the plate while the axis of the side roller rotates. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 연동회전수단은 사이드롤러의 축에 설치되어 있는 제1자석과, 상기 제1자석과 인접되어 자력이 미칠 수 있도록 배치됨과 아울러 수직축에 회전 자재하도록 설치되고 제1자석의 회전에 연동하여 회전하도록 구성된 제2자석과, 상기 제2자석의 상부에 형성됨과 아울러 얼라인 헤드가 삽입되어 연동 회전하도록 형성된 결합봉으로 구성되는 평판 반송 장치용 얼라이너.The interlocking rotation means is disposed so as to exert a magnetic force adjacent to the first magnet and the first magnet installed on the shaft of the side roller, and is installed to rotate on the vertical axis and rotates in conjunction with the rotation of the first magnet. An aligner for a flat plate conveying apparatus, comprising: a second magnet configured; and a coupling rod formed on an upper portion of the second magnet and formed with an alignment head inserted thereinto for interlocking rotation. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제2자석과 수직축의 사이에 설치되어 제2자석의 회전 시 마찰을 감소시키는 베어링을 포함하는 평판 반송 장치용 얼라이너.And a bearing disposed between the second magnet and the vertical axis to reduce friction during rotation of the second magnet.
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