KR20100047887A - Residue removing/sucking device - Google Patents

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KR20100047887A
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chamber
side chambers
suction device
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오사무 세가와
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가부시키가이샤 엠 앤드 시
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Abstract

[PROBLEMS] To provide a suction device which excellently removes abrasion residue generated when a solar cell substrate is patterned. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A residue suction device is provided with an upper section movable chamber (11) having an upper surface composed of a porous air intake board (11A); a linear driving section for moving the chamber (11) in one direction within a plane parallel to the air intake board (11A); side chambers arranged in parallel along the direction wherein the upper section movable chamber (11) is moved by the linear driving section; and an air intake source connected to the sidechambers. The side chamber is arranged inside an endless running belt (6) wound between a pair of rollers. An opening covered with the running belt (6) along the longitudinal direction of the side chambers is formed on the side chambers. On the running belt (6), a vent pipe (8) connected to the upper section movable chamber (11) is fixed at a position that corresponds to the opening section, and inside of the upper movable chamber (11) and that of the side chambers are communicated through the vent pipe (8).

Description

잔류물 제거 흡인장치{RESIDUE REMOVING/SUCKING DEVICE}Residue Removal Aspirator {RESIDUE REMOVING / SUCKING DEVICE}

본 발명은, 집적형 박막 태양전지(集積型 薄膜 太陽電池) 등을 제조할 때에 이용되는 흡인장치에 관한 것으로서, 특히 레이저 빔에 의한 패터닝(patterning)을 할 때에 발생하는 박막의 마모 잔류물을 적합하게 제거할 수 있는 흡인장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a suction device for use in manufacturing integrated thin film solar cells and the like, and particularly suits wear residues of thin films generated during patterning by a laser beam. It relates to a suction device that can be removed easily.

일반적으로 박막 태양전지는, 글라스 등의 투광성 절연 기판(透光性 絶緣 基板) 상에 박막으로서 투명 도전막(透明 導電膜), 광전 변환층(光電 變換層) 및 이면 전극(裏面 電極)을 순차적으로 적층하는 등으로 하여 구성되지만, 집적형에서는 보통 레이저 빔에 의하여 박막을 구성하는 각 층을 단책형(短冊形)으로 분리하여 직렬 접속하는 패터닝(레이저 패터닝)이 이루어진다.In general, a thin film solar cell sequentially forms a transparent conductive film, a photoelectric conversion layer, and a backside electrode as a thin film on a light-transmissive insulating substrate such as glass. In the integrated type, patterning (laser patterning) is performed in which each layer constituting the thin film is separated into a single shape by a laser beam and connected in series.

여기에서 박막 형성면이 상방을 향하도록 하여 레이저 패터닝을 하면, 레이저 빔에 의하여 제거된 박막의 분리 성분(마모 잔류물)이 비산하고, 그 마모 잔류물이 패터닝된 박막 부분에 재부착하여 전기적으로 절연되어야 할 장소가 도전 결합하게 되어, 그 제거를 위하여 매우 힘든 클리닝 작업을 할 필요가 있다.When the laser patterning is performed with the thin film formation surface facing upwards, the separation component (abrasion residue) of the thin film removed by the laser beam is scattered, and the wear residue is reattached to the patterned thin film portion and electrically. The places to be insulated are conductively bonded and very difficult cleaning operations are required to remove them.

이 때문에 최근에는 박막에 대한 마모 잔류물의 재부착을 경감시키는 것 등을 목적으로, 박막 형성면이 하방을 향하도록 하고, 그 박막 형성면에 하방으로부터 레이저 빔을 조사하던지 또는 투광성 절연 기판을 통하여 상방으로부터 레이저 빔을 조사하여 패터닝을 하고 있지만, 이 때에 발생하는 마모 잔류물이 연기와 같이 미세한 분진으로서 비산하는 일도 적지 않아, 이를 방치한 경우에는 당해 마모 잔류물에 의하여 박막이 오손(汚損)되어 버린다.For this reason, in recent years, for the purpose of reducing reattachment of wear residues to thin films, the thin film forming surfaces are directed downward, and the thin film forming surfaces are irradiated with laser beams from below or upward through the translucent insulating substrate. Although patterning is carried out by irradiating a laser beam from the laser beam, the wear residues generated at this time rarely scatter as fine dust such as smoke, and when left unattended, the thin film is damaged by the wear residues. .

그래서 오목부를 구비하는 스테이지 상에 글라스 기판을 박막 형성면이 하방을 향하도록 하는 자세로 배치하고, 또한 스테이지의 저부(底部)에 집진 덕트(集塵 duct)를 연결시키고, 그 집진 덕트를 집진기(集塵機)에 접속하여 마모 잔류물을 회수하는 것이 제안되어 있다(예를 들면 특허문헌1).
Thus, the glass substrate is placed in a posture with the thin film forming surface facing downward on the stage including the concave portion, a dust collecting duct is connected to the bottom of the stage, and the dust collecting duct is connected to a dust collector ( It is proposed to recover abrasion residues by connecting to a separator (for example, Patent Document 1).

일본국공개특허특개2001-111078호공보Japanese Patent Laid-Open No. 2001-111078

그러나 집적형 박막 태양전지 등에 관한 패터닝에서는, 가공 정밀도의 관계상 레이저 발진기를 정위치에 고정하고, 워크가 되는 태양전지용 기판을 왕복 이동시키는 방식이 채용되기 때문에, 특허문헌1에 개시되어 있는 바와 같은 집진기를 구비하는 장치에서는, 그 집진기와 스테이지를 연결하는 가요성(可撓性)의 집진 덕트가 기판을 적재한 스테이지의 왕복 이동에 의하여 불규칙하게 움직이고, 이에 의한 진동이 기판에 전달되어 레이저 빔의 초점 깊이가 어긋나 버리거나, 집진 덕트가 반복적인 휨응력에 의하여 조기에 절단되어 버린다고 하는 문제가 야기된다.However, in the patterning of integrated thin film solar cells and the like, a method of fixing a laser oscillator in a fixed position and reciprocating a substrate for a solar cell to be a work is adopted in view of processing accuracy, and as disclosed in Patent Document 1, In an apparatus having a dust collector, a flexible dust collecting duct connecting the dust collector and the stage is irregularly moved by the reciprocating movement of the stage on which the substrate is loaded, and the vibration is transmitted to the substrate so that the laser beam The problem is that the depth of focus is shifted or the dust collecting duct is cut early by repeated bending stress.

또한 집진 덕트는 스테이지의 저부(底部) 중앙에 연결되기 때문에, 레이저 빔의 조사 위치가 중앙에서 단부(端部)로 이동하였을 때에 집진 효과가 저하되어 버린다. 이를 감안하여 복수의 집진 덕트를 스테이지의 몇 군데와 연결시키는 것을 생각할 수 있지만, 그러면 스테이지의 저부에서 집진 덕트가 뒤얽혀 스테이지의 이동에 지장을 초래해 버리게 된다. 또한 집진 덕트를 배제하여 집진기를 스테이지에 직접 연결하면, 기판에 전파되는 진동이 커져 가공 정밀도가 대폭으로 저하되어 버린다.In addition, since the dust collecting duct is connected to the center of the bottom of the stage, the dust collecting effect is reduced when the irradiation position of the laser beam moves from the center to the end. In view of this, it is conceivable to connect the plurality of dust collecting ducts to several places on the stage, but this causes the dust collecting ducts to become entangled at the bottom of the stage, which causes the movement of the stage. In addition, when the dust collector is removed and the dust collector is directly connected to the stage, vibration propagated to the substrate becomes large, and the processing precision is greatly reduced.

본 발명은 상기와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은 태양전지용 기판의 패터닝을 할 때에 발생하는 마모 잔류물을 양호하게 제거할 수 있는 흡인장치를 제공하는 것에 있다.
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a suction device capable of satisfactorily removing wear residues generated when patterning a solar cell substrate.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 관한 흡인장치는,In order to achieve the above object, the suction device according to the present invention,

상면(上面)이 다공상(多孔狀)의 흡기용 면판(吸氣用 面板)으로 이루어지는 상부 가동 챔버(上部 可動 chamber)와, 이 상부 가동 챔버를 상기 흡기용 면판과 평행한 면 내에서 일방향으로 이동시키는 리니어 구동부(linear 驅動部)와, 이 리니어 구동부에 의한 상기 상부 가동 챔버의 이동방향을 따라 평행하게 설치되는 한 쌍의 사이드 챔버(side chamber)와, 이 양 사이드 챔버에 접속되는 흡기원(吸氣源)을 구비하고, 상기 흡기용 면판에 근접하여 상기 상부 가동 챔버 상에 고정되는 판상(板狀)의 워크(work)로부터 발생하는 마모 잔류물을 흡인 제거하는 잔류물 제거 흡인장치로서,An upper movable chamber consisting of a porous intake face plate having an upper surface, and the upper movable chamber in one direction in a plane parallel to the intake face plate. A linear drive unit for moving, a pair of side chambers installed in parallel along the moving direction of the upper movable chamber by the linear drive unit, and an intake source connected to both side chambers ( A residue removal suction device including a source and suctioning out abrasion residues generated from a plate-shaped work fixed to the upper movable chamber in close proximity to the intake face plate,

상기 양 사이드 챔버는, 각각 한 쌍의 롤러 사이에 감긴 무한의 주행 벨트의 내측에 배치되고, 또한 그 사이드 챔버에는 각각 그 길이방향을 따라 상기 주행 벨트에 의하여 덮이는 개구부(開口部)가 형성되고,The two side chambers are each disposed inside an infinite travel belt wound between a pair of rollers, and the side chambers each have an opening covered by the traveling belt along its longitudinal direction. Become,

상기 주행 벨트에는, 상기 개구부에 대응하는 위치에 상기 상부 가동 챔버에 연결되는 통기관(通氣管)이 고정되고, 그 통기관을 통하여 상기 상부 가동 챔버와 사이드 챔버의 내부가 연결되는 구성으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.A vent pipe connected to the upper movable chamber is fixed to the traveling belt at a position corresponding to the opening, and the inside of the upper movable chamber and the side chamber are connected through the vent pipe. do.

또한 상부 가동 챔버에는, 판상의 워크를 상기 흡기용 면판에 근접한 상태로 하여 지지하는 워크 지지구가 설치되는 것을 특징으로 한다.Moreover, the upper support chamber is provided with the workpiece support which supports a plate-shaped workpiece | work in the state adjacent to the said intake face plate, and is supported.

또한 리니어 구동부가 한 쌍의 사이드 챔버 사이에 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
In addition, the linear drive unit is provided between the pair of side chambers.

본 발명에 관한 흡인장치에 의하면, 상면이 다공상의 흡기용 면판으로 이루어지는 상부 가동 챔버의 이동방향을 따라 한 쌍의 사이드 챔버가 평행하게 설치되고, 또한 그 양 사이드 챔버에는 각각 그 길이방향을 따라 무한의 주행 벨트에 의하여 덮이는 개구부가 형성되고, 그 개구부에 대응하는 위치에 주행 벨트와 상부 가동 챔버가 통기관에 의하여 연결되고, 그 통기관을 통하여 상부 가동 챔버와 양 사이드 챔버의 내부가 연결되는 구성으로 이루어져 있기 때문에, 가요성의 덕트를 사용하지 않더라도 상부 가동 챔버를 왕복 이동시키면서 하류측의 양 사이드 챔버에서 연속 흡기할 수 있고, 게다가 평행한 2개의 사이드 챔버가 상부 가동 챔버에 연결되어 있기 때문에, 흡기용 면판의 전역에서 거의 동일하게 흡기할 수 있다.According to the suction apparatus according to the present invention, a pair of side chambers are provided in parallel along the moving direction of the upper movable chamber whose upper surface is made of a porous intake face plate, and both sides of the side chambers are respectively along the longitudinal direction thereof. An opening covered by an infinite travel belt is formed, and the travel belt and the upper movable chamber are connected by a vent pipe at a position corresponding to the opening, and the interior of the upper movable chamber and both side chambers are connected through the vent pipe. Because of the configuration, even without using a flexible duct, the upper movable chamber can be continuously intake in both side chambers on the downstream side while reciprocating, and two parallel side chambers are connected to the upper movable chamber, In the entire intake faceplate Intake can be carried out almost identically.

따라서 정연하고 컴팩트한 구조로 하여, 상부 가동 챔버의 이동 위치에 관계없이 양호한 집진 흡인 효과를 얻을 수 있다.Therefore, with a square and compact structure, a good dust collection suction effect can be obtained regardless of the moving position of the upper movable chamber.

또한 상부 가동 챔버에는, 판상의 워크를 흡기용 면판에 근접한 상태로 하여 지지하는 워크 지지구가 설치되기 때문에, 태양전지용 기판을 그 박막 형성면이 하방을 향하도록 하여 지지하면서 패터닝을 할 때에 발생하는 마모 잔류물을 확실하게 흡인 제거하여 박막의 오손을 방지할 수 있다.Moreover, since the work support tool which supports a plate-shaped workpiece | work in the state adjacent to the intake faceplate is provided in the upper movable chamber, it arises when patterning, supporting the solar cell substrate so that the thin film formation surface may face downward. Abrasion residues can be reliably suctioned away to prevent fouling of the thin film.

또한 상부 가동 챔버를 이동시키는 리니어 구동부가 한 쌍의 사이드 챔버 사이에 설치되어 있기 때문에, 불필요한 스페이스를 형성하지 않고 장치 전체를 일체적(一體的)으로 컴팩트하게 구성할 수 있다.
Moreover, since the linear drive part which moves an upper movable chamber is provided between a pair of side chambers, the whole apparatus can be integrated compactly without forming unnecessary space.

도1은 본 발명에 관한 흡인장치를 나타내는 측면 개략도이다.
도2는 동(同) 흡인장치를 부분적으로 절단하여 나타내는 평면 개략도이다.
도3은 도1의 X-X 단면도이다.
도4는 상부 가동 챔버의 내부구조를 나타내는 사시도이다.
도5는 주행 벨트와 그 내측의 사이드 챔버를 부분적으로 절단하여 나타내는 사시도이다.
도6은 사이드 챔버의 일단부를 나타내는 사시도이다.
도7은 본 발명에 관한 흡인장치의 사용태양을 나타내는 측면 개략도이다.
도8은 본 발명에 관한 흡인장치의 사용태양을 나타내는 정면도이다.1 is a side schematic view showing a suction device according to the present invention.
Fig. 2 is a plan view schematically showing the same suction device partially cut away.
3 is a sectional view taken along line XX of FIG.
4 is a perspective view showing the internal structure of the upper movable chamber;
Fig. 5 is a perspective view showing a partially cut running belt and side chambers inside thereof.
Fig. 6 is a perspective view showing one end of the side chamber.
7 is a schematic side view showing an embodiment of use of the suction device according to the present invention.
8 is a front view showing an embodiment of use of the suction device according to the present invention.

이하, 도면에 의거하여 본 발명을 상세하게 설명한다. 도1은 본 발명에 관한 흡인장치(吸引裝置)를 나타내는 측면도, 도2는 동(同) 장치를 부분적으로 절단하여 나타내는 평면도, 도3은 도1에 있어서의 X-X 단면을 나타내는 도면이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated in detail based on drawing. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a side view showing a suction device according to the present invention, Fig. 2 is a plan view showing a cut part of the device, and Fig. 3 is a view showing an X-X cross section in Fig. 1.

도1에 있어서 1은 가대(架臺)이고, 이 가대(1)는 복수의 지지각(支持脚)(2)으로 좌판(座板)(3)을 소정의 높이에서 수평 모양으로 지지하여 구성되고, 좌판(3) 상에는 가로로 긴 진공 유닛(4)이 설치되어 있다.In Fig. 1, 1 is a mount, and this mount 1 is constructed by supporting the seat plate 3 in a horizontal shape at a predetermined height with a plurality of support angles 2. On the seat plate 3, a horizontally long vacuum unit 4 is provided.

진공 유닛(4)은, 전후 한 쌍의 롤러(5, 5) 사이에 감긴 무한의 주행 벨트(6)를 포함하고, 그 주행 벨트(6)의 내측에 상부 개방형의 사이드 챔버(7)를 배치하여 구성되어 있다. 특히 롤러(5, 5)의 사이에 있어서, 사이드 챔버(7)의 상단면에서 슬라이딩하는 주행 벨트(6)의 상부측에는, 금속 파이프 등으로 이루어지는 경질(硬質)의 통기관(通氣管)(8)(경질 덕트)이 직립 모양으로 고정되어 있다. 또한 롤러(5, 5)는 좌판(3)에 고정된 한 쌍의 측판 프레임(9)의 사이에서 회전할 수 있도록 지지되어 있고, 측판 프레임(9)의 외측에는 사이드 챔버(7)의 양 단부와 연결되는 파이프 조인트(10, 10)가 돌출되어 있다.The vacuum unit 4 includes an infinite traveling belt 6 wound between a pair of front and rear rollers 5 and 5, and the side chamber 7 of the upper opening type is disposed inside the traveling belt 6. It is composed. In particular, between the rollers 5 and 5, a hard pipe 8 made of a metal pipe or the like is provided on the upper side of the traveling belt 6 sliding on the upper end surface of the side chamber 7. The rigid duct is fixed in an upright shape. In addition, the rollers 5 and 5 are supported so as to rotate between a pair of side plate frames 9 fixed to the seat plate 3, and both ends of the side chamber 7 outside the side plate frame 9. The pipe joints 10 and 10, which are connected to the protruding parts, protrude.

한편 11은 진공 유닛(4) 상에 배치되는 상부 가동 챔버이다. 이 상부 가동 챔버(11)는, 플라스틱판을 접합하는 등의 방법으로 형성되는 편평한 상자 모양으로서, 그 상면은 다공상(多孔狀)의 흡기용 면판(吸氣用 面板)(11A)으로 되어 있다. 특히 상부 가동 챔버(11)는, 후술하는 리니어 구동부에 의하여 흡기용 면판(11A)과 평행한 면 내에서 일방향(도1의 좌우방향)으로 이동할 수 있도록 되어 있다. 또한 리니어 구동부에 의한 상부 가동 챔버(11)의 이동방향은, 주행 벨트(6) 및 사이드 챔버(7)의 길이방향과 일치하고 있다. 즉 주행 벨트(6) 및 사이드 챔버(7)는, 상부 가동 챔버(11)의 이동방향을 따라 배치되어 있다. 그리고 상부 가동 챔버(11)의 저부(底部)에는, 그 이동방향의 중앙에서 상기 통기관(8)의 일단(상단(上端))이 접속되어, 그 통기관(8)을 통하여 상부 가동 챔버(11)와 사이드 챔버(7)의 내부가 연결되어 있다.11 is an upper movable chamber arranged on the vacuum unit 4. The upper movable chamber 11 is a flat box shape formed by a method of joining plastic plates, etc., and the upper surface thereof is a porous intake face plate 11A. . In particular, the upper movable chamber 11 is able to move in one direction (left and right directions in FIG. 1) in a plane parallel to the intake face plate 11A by a linear driving unit described later. In addition, the moving direction of the upper movable chamber 11 by the linear drive part is equal to the longitudinal direction of the traveling belt 6 and the side chamber 7. That is, the traveling belt 6 and the side chamber 7 are arrange | positioned along the moving direction of the upper movable chamber 11. And one end (upper end) of the said vent pipe 8 is connected to the bottom part of the upper movable chamber 11 in the center of the movement direction, and the upper movable chamber 11 is connected through the vent pipe 8. And the inside of the side chamber 7 are connected.

도2에 명확히 나타나 있는 바와 같이 상기 진공 유닛(4)(주행 벨트(6) 및 사이드 챔버(7))은 2개가 평행하게 배치되어 있고, 그 양자(4, 4)에 의하여 상부 가동 챔버(11)의 좌우 양측이 하방으로부터 지지를 받는 구성으로 되어 있다. 또한 상부 가동 챔버(11) 내에는, 주행 벨트(6)를 따라 좌우 한 쌍의 흡기 채널(12)이 고정된다. 도2∼도4에 명확히 나타나 있는 바와 같이 흡기 채널(12)은 문(門) 형태의 단면을 가지는 구조체로서, 그 상면 및 양 측면에는 소정의 간격으로 흡기구(12A)가 형성되어 있다. 또한 흡기 채널(12) 내의 중앙부에 있어서, 상부 가동 챔버(11)의 저부에 배기구(13)가 형성되고, 그 배기구(13)에 상기 통기관(8)이 접속하는 구성으로 되어 있다.As clearly shown in Fig. 2, the vacuum unit 4 (the traveling belt 6 and the side chamber 7) is disposed in parallel with each other, and the upper movable chamber 11 is formed by both of them. The left and right both sides of the) are configured to receive support from below. In addition, in the upper movable chamber 11, a pair of left and right intake channels 12 are fixed along the traveling belt 6. As clearly shown in Figs. 2 to 4, the intake channel 12 is a structure having a door-shaped cross section, and the inlet 12A is formed on the upper surface and both sides at predetermined intervals. Moreover, in the center part in the intake channel 12, the exhaust port 13 is formed in the bottom part of the upper movable chamber 11, and the said vent pipe 8 is connected with the exhaust port 13.

또한 상부 가동 챔버(11)에는, 후술하는 판상(板狀)의 워크(work)를 지지하는 지지구로서 도2, 도3에 나타나 있는 바와 같이 잭(jack)(14) 및 롤러(15)가 설치된다. 이 중에서 잭(14)은 상부 가동 챔버(11)의 안쪽 저부 상에 소정의 간격으로 배열된다.In addition, the upper movable chamber 11 has a jack 14 and a roller 15 as shown in Figs. 2 and 3 as a support for supporting a plate-shaped work, which will be described later. Is installed. Among them, the jacks 14 are arranged at predetermined intervals on the inner bottom of the upper movable chamber 11.

본 예에 있어서, 상기 잭(14)은 유체압 실린더(14A)의 신축 로드(伸縮 rod)가 상방을 향하도록 하고, 그 신축 로드에 워크 받침(14B)을 고정함으로써 구성되어 있고, 워크 받침(14B)의 선단부는 유체압 실린더(14A)의 신축 구동에 의하여 흡기용 면판(11A) 상으로 출몰할 수 있도록 되어 있다. 또한 흡기용 면판(11A)에는 워크 받침(14B)의 선단부를 돌출시키기 위한 관통 구멍(16)이 형성되어 있다.In the present example, the jack 14 is configured by causing the expansion rod of the hydraulic cylinder 14A to face upward, and fixing the workpiece support 14B to the expansion rod, thereby providing a workpiece support ( The tip end portion of 14B is capable of being projected onto the intake face plate 11A by the expansion and contraction drive of the hydraulic pressure cylinder 14A. The intake face plate 11A is formed with a through hole 16 for protruding the distal end portion of the work support 14B.

한편 상기 롤러(15)는, 상부 가동 챔버(11)의 양쪽 테두리를 따라 직렬 모양으로 배열되어 있다. 도2에 있어서, 17은 상부 가동 챔버(11)의 외부에 고정시킨 좌우 한 쌍의 띠 모양의 판이고, 그 띠 모양의 판(17)에 복수의 롤러(15)가 회전할 수 있도록 부착되어 있다. 또한 18은 잭(14)이나 롤러(15)로 지지된 워크의 가장자리부를 협지하는 워크 클램프이고, 이에 의하여 워크가 상부 가동 챔버(11) 상의 정위치에 고정되도록 되어 있다.The rollers 15 are arranged in series along both edges of the upper movable chamber 11. In Fig. 2, 17 is a pair of left and right band-shaped plates fixed to the outside of the upper movable chamber 11, and a plurality of rollers 15 are attached to the band-shaped plate 17 so as to rotate. have. In addition, 18 is the work clamp which clamps the edge part of the workpiece | work supported by the jack 14 and the roller 15, and is fix | immobilized in the fixed position on the upper movable chamber 11 by this.

도3에 있어서 W는 상기의 워크이다. 워크(W)는, 예를 들면 레이저 패터닝을 실시하기 위한 박막을 형성한 태양전지용 패널(본 예에 있어서, 세로 1,400mm, 가로 1,100mm)로서, 상기 워크(W)는 글라스 등의 투광성 절연 기판(透光性 絶緣 基板)에 가한 광전 변환층(光電 變換層) 등의 박막 형성면이 하방을 향하도록 하고, 흡기용 면판(11A)에 근접한 상태에서 잭(14) 및 롤러(15)로 휘어짐 없이 평면상으로 지지된다. 또한 도3에 명확히 나타나 있는 바와 같이, 워크 받침(14B)은 그 선단에 전동(轉動) 가능한 볼(14C)을 구비하고, 그 볼(14C)이 워크(W)에 구름 접촉(rolling contact)하도록 되어 있다.In FIG. 3, W is said workpiece | work. The workpiece | work W is a solar cell panel (In this example, length 1,400mm, width 1,100mm) in which the thin film for laser patterning was formed, for example, The said workpiece | work W is a translucent insulating board, such as glass. The thin film-forming surface such as a photoelectric conversion layer applied to the photosensitive substrate is directed downward, and is bent by the jack 14 and the roller 15 in a state close to the intake face plate 11A. Is supported on a plane without. Also, as is clearly shown in Fig. 3, the work support 14B has a ball 14C which is rotatable at its tip, and the ball 14C has a rolling contact with the work W. It is.

또한 도3에 명확히 나타나 있는 바와 같이, 좌판(3) 상에는 좌우 한 쌍의 진공 유닛(4)(주행 벨트(6) 및 사이드 챔버(7))의 사이에 상기한 리니어 구동부(20)가 설치되어 있다. 본 예에 있어서 리니어 구동부(20)는, 리니어 가이드로서 상부 가동 챔버(11)의 이동방향을 따라 연장되는 레일(21) 상을 슬라이딩하는 3개의 슬라이드 테이블(22A, 22B, 22C)을 포함하고, 그 슬라이드 테이블(22A∼22C)이 암(23) 등을 통하여 상부 가동 챔버(11)의 저부와 연결되는 구성으로 되어 있다.3, the linear drive unit 20 described above is provided between the left and right pairs of vacuum units 4 (the running belt 6 and the side chamber 7) on the seat plate 3. have. In this example, the linear drive unit 20 includes three slide tables 22A, 22B, 22C that slide on the rails 21 extending along the moving direction of the upper movable chamber 11 as linear guides. The slide tables 22A to 22C are connected to the bottom of the upper movable chamber 11 via the arm 23 and the like.

특히 중앙의 슬라이드 테이블(22A)에는 리니어 모터를 구성하는 이동자(24)가 부착되고, 그 이동자(24)에 대향(對向)하여 좌판(3) 상에 레일(21)과 평행하게 고정자(25)가 고정되어 있다. 그리고 상기 리니어 구동부(20)에 의하면, 이동자(24)에 구동전류를 공급함으로써 상부 가동 챔버(11)를 일방향(도3을 도시한 면과 직각방향)으로 높은 정밀도로 고속으로 이동시킬 수 있다. 또한 도3에 있어서, 26은 슬라이드 테이블(22A∼22C) 등을 덮는 방진 커버이고, 이 방진 커버(26)는 지주(支柱)(27)에 의하여 소정 높이의 위치에서 지지되고 있다.In particular, the mover 24 constituting the linear motor is attached to the center slide table 22A, and the stator 25 is disposed parallel to the rail 21 on the seat plate 3 so as to face the mover 24. ) Is fixed. According to the linear driver 20, the upper movable chamber 11 can be moved at high speed in one direction (orthogonal to the plane shown in FIG. 3) by supplying a drive current to the mover 24. In Fig. 3, reference numeral 26 denotes a dust cover that covers the slide tables 22A to 22C and the like, and the dust cover 26 is supported at a position having a predetermined height by a support 27. As shown in Figs.

다음에 도5 및 도6에 의하여 진공 유닛의 구성을 상세하게 설명한다. 도5에 명확히 나타나 있는 바와 같이, 사이드 챔버(7)는 상부가 개방된 홈 타입이며, 그 상단면에는 그 길이방향을 따라 주행 벨트(6)보다도 폭이 좁은 개구부(7A)가 일련으로 형성되어 있다. 그리고 주행 벨트(6)는, 개구부(7A)를 덮도록 사이드 챔버(7)의 상단면에서 슬라이딩되고, 또한 사이드 챔버(7)의 저면에 대해서도 가압 롤러(31)에 의하여 가압되어 느슨함이 방지되도록 되어 있다. 또한 사이드 챔버(7)는, 고정 나사(32)에 의하여 측판 프레임(9)에 있어서 소정 높이의 위치에 고정되어 있다. 또한 주행 벨트(6)는 스테인레스 등의 금속 박판으로 이루어지고, 상기 주행 벨트(6)에는 개구부(7A)에 대응하는 위치에 프레임(33)에 의하여 둘러싸인 흡기구(6A)가 형성되고, 그 흡기구(6A)에 상기 통기관(8)의 일단이 접속되도록 되어 있다.Next, the configuration of the vacuum unit will be described in detail with reference to FIGS. 5 and 6. As clearly shown in Fig. 5, the side chamber 7 is of a groove type having an open upper portion, and an opening portion 7A narrower than the travel belt 6 is formed in a series in the upper end surface thereof in series. have. The traveling belt 6 is slid from the upper end surface of the side chamber 7 so as to cover the opening 7A, and is pressed against the bottom surface of the side chamber 7 by the pressure roller 31 to prevent looseness. It is supposed to be. Moreover, the side chamber 7 is being fixed to the position of predetermined height in the side plate frame 9 by the fixing screw 32. As shown in FIG. In addition, the traveling belt 6 is made of a thin metal plate such as stainless, and the traveling belt 6 is formed with an inlet 6A surrounded by the frame 33 at a position corresponding to the opening 7A. One end of the vent pipe 8 is connected to 6A.

또한 도6에 명확히 나타나 있는 바와 같이, 사이드 챔버(7)의 양 단부와 연결되는 상기 파이프 조인트(10)는 상자 모양이고, 그 일단면에는 관 접속구(10A)가 형성되어 있다.6, the pipe joint 10 connected to both ends of the side chamber 7 has a box shape, and a pipe connection 10A is formed at one end thereof.

그리고 상기와 같은 사이드 챔버(7)는, 도7 및 도8에 나타내는 바와 같이 관로(34)를 통하여 흡기원(35)에 접속된다. 본 예에 있어서, 관로(34)는 복수의 가요관(36)과 그것을 연결시키는 매니폴드(37A∼37C)로 이루어지고, 흡기원(35)과 연결되는 말단의 가요관(37C)에는 필터 유닛(38)이 삽입된다. 또한 흡기원(35)으로는, 진공 펌프나 배풍기(排風機)가 적합하게 사용된다.As described above, the side chamber 7 is connected to the intake source 35 via the conduit 34 as shown in FIGS. 7 and 8. In this example, the conduit 34 is composed of a plurality of flexible tubes 36 and manifolds 37A to 37C connecting them, and a filter unit is provided at the flexible tube 37C at the end connected to the intake source 35. 38 is inserted. In addition, as the intake source 35, a vacuum pump or an air blower is suitably used.

여기에서 상기와 같이 구성되는 흡인장치의 사용태양에 대하여 설명하면, 상기 흡인장치는, 예를 들면 도7 및 도8에 나타나 있는 바와 같이 레이저 가공기(40)(레이저 에칭장치)에 부속되어 패터닝용 잔류물 제거 흡인장치로서 이용된다. 레이저 가공기(40)는, 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발진기(41) 외에, 이 레이저 발진기(41)로부터 발사된 레이저 빔을 상부 가동 챔버(11) 상에 지지된 워크(W)(투광성 절연 기판의 편면(片面)에 광전 변환층 등의 박막이 형성된 박막 태양전지 패널)에 조사하는 렌즈(42A)를 포함하는 조사 광학계(42) 등을 구비하여 구성된다.Here, a description will be given of the use mode of the suction device configured as described above. The suction device is attached to the laser processing machine 40 (laser etching device) for patterning, for example, as shown in Figs. Used as a residue removal suction device. In addition to the laser oscillator 41 which generates a laser beam, the laser processing machine 40 carries out the workpiece | work W which supported the laser beam emitted from this laser oscillator 41 on the upper movable chamber 11 (of a translucent insulating board | substrate). And a radiation optical system 42 including a lens 42A to be irradiated on one surface thereof, and a thin film solar cell panel having a thin film such as a photoelectric conversion layer formed thereon.

조사 광학계(42)는, 상부 가동 챔버(11) 상에 설치되고, 도면에 나타내지 않은 리니어 액추에이터에 의하여 워크(W)와 평행한 면(수평면) 내에서 상부 가동 챔버(11)의 이동방향과 직교하는 방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다.The irradiation optical system 42 is provided on the upper movable chamber 11 and is orthogonal to the moving direction of the upper movable chamber 11 in a plane (horizontal plane) parallel to the work W by a linear actuator (not shown). It can be moved in the direction.

또한 레이저 빔에 의한 패터닝을 할 때에는, 흡기원(35)이 연속 구동되는 것 이외에 리니어 구동부(20)의 구동에 의하여 상부 가동 챔버(11)가 일방향으로 왕복 이동하지만, 상부 가동 챔버(11)가 왕복 이동하면, 이와 통기관(8)을 통하여 연결되어 있는 주행 벨트(6)는 사이드 챔버(7)의 개구부(7A)를 폐쇄한 채로 정반대로 동조(同調)하여 주행한다. 한편 조사 광학계(42)는, 상부 가동 챔버(11)의 왕복 이동에 동기(同期)하여 이와 직교하는 방향으로 일정량씩 간헐적으로 이송되고, 당해 조사 광학계(42)로부터 출력되는 레이저 빔이 워크(W)를 구성하는 투광성 절연 기판을 투과하여 그 하측에 형성되어 있는 박막에 초점을 맞추어 조사된다. 이 때문에 워크(W)에 형성된 박막은 부분적으로 제거되고, 조사 광학계(42)가 워크(W) 상을 횡단한 후에는 박막 형성면에 일정 폭으로 홈이 형성된다.In addition, when patterning by a laser beam, the upper movable chamber 11 reciprocates in one direction by the linear drive unit 20 in addition to the intake source 35 being driven continuously, but the upper movable chamber 11 When the reciprocating movement is carried out, the traveling belt 6 connected to this via the vent pipe 8 runs in the opposite direction while keeping the opening 7A of the side chamber 7 closed. On the other hand, the irradiating optical system 42 is intermittently transferred by a fixed amount in a direction orthogonal to the reciprocating movement of the upper movable chamber 11, and the laser beam output from the irradiating optical system 42 is the workpiece W. The light is transmitted through focusing on the thin film formed through the light-transmitting insulating substrate constituting the panel). For this reason, the thin film formed in the workpiece | work W is partially removed, and after the irradiation optical system 42 crosses over the workpiece | work W, a groove | channel is formed in a thin film formation surface with a fixed width.

여기에서 박막에 대한 레이저 빔의 조사에 의하여 발생하는 마모 잔류물은 그 대부분이 미세한 분진으로 바뀌어 부유하기 때문에, 이를 그대로 방치하면 박막에 재부착하여 전기적으로 절연되어야 할 장소가 도전 결합하게 되는 등의 문제를 야기한다.Here, since most of the wear residues generated by the laser beam irradiation on the thin film are changed to fine dust and floated, if left as it is, the place to be reattached to the thin film and electrically insulated will be electrically coupled. Cause problems.

이러한 점에서 본 발명에 관한 흡인장치를 사용하면, 발생한 마모 잔류물이, 박막에 근접한 상태로 대면하는 흡기용 면판(11A)을 통하여 상부 가동 챔버(11) 내로 곧바로 인입되고, 이것이 양측의 흡기 채널(12, 12)로부터 통기관(8, 8)을 통하여 사이드 챔버(7, 7) 내로 흡인되고, 그리고 관로(34)를 통하여 사이드 챔버(7, 7) 내로부터 배출되기 때문에, 패터닝된 박막을 오손(汚損)시키지 않고 바람직한 상태로 유지하는 것이 가능하다. 또한 관로(34) 중의 마모 잔류물은 필터 유닛(38)에 의하여 포착되어, 흡기원(35)에서는 청정한 공기가 방출된다.In this regard, when the suction device according to the present invention is used, the abrasion residues generated are directly introduced into the upper movable chamber 11 through the intake face plate 11A facing in a state close to the thin film, which is intake channels on both sides. The patterned thin film is fouled because it is drawn from the side chambers 7 and 7 through the vent pipes 8 and 8 and discharged from the side chambers 7 and 7 through the conduits 34 from 12 and 12. It is possible to keep it in a preferable state, without making it (vi). In addition, wear residues in the conduit 34 are captured by the filter unit 38, and clean air is discharged from the intake source 35.

이상에서 본 발명에 관한 흡인장치의 구성예를 상세하게 설명하였지만, 상기 흡인장치는 태양전지에 한하지 않고, 액정패널의 패터닝 기타 가공에도 적합하게 사용할 수 있다.Although the structural example of the suction apparatus which concerns on this invention was demonstrated in detail above, the said suction apparatus is not limited to a solar cell, It can be used suitably also for patterning and other process of a liquid crystal panel.

한편 상기 예에서는, 리니어 구동부로서 리니어 모터 유닛을 한 쌍의 사이드 챔버(7, 7) 사이에 설치하였지만, 주행 벨트(6)를 리니어 구동부로서 겸용하는 것도 가능하다. 즉 주행 벨트(6)가 감긴 롤러(5, 5)의 일방에 모터를 연결하고, 그 모터로 롤러(5, 5)를 통하여 주행 벨트(6)를 구동하도록 하여도 좋다.
On the other hand, in the above example, the linear motor unit is provided between the pair of side chambers 7 and 7 as the linear drive unit, but the traveling belt 6 can also be used as the linear drive unit. That is, you may connect a motor to one of the rollers 5 and 5 by which the traveling belt 6 was wound, and may drive the traveling belt 6 through the rollers 5 and 5 by the motor.

6 : 주행 벨트
7 : 사이드 챔버
7A : 개구부
8 : 통기관
11 : 상부 가동 챔버
11A : 흡기용 면판
14 : 잭(워크 지지구)
15 : 롤러(워크 지지구)
20 : 리니어 구동부
35 : 흡기원6: running belt
7: side chamber
7A: opening
8: vent
11: upper movable chamber
11A: Intake faceplate
14 jack (walk support)
15: roller (work supporter)
20: linear drive unit
35: intake air source

Claims (3)

상면(上面)이 다공상(多孔狀)의 흡기용 면판(吸氣用 面板)으로 이루어지는 상부 가동 챔버(上部 可動 chamber)와, 이 상부 가동 챔버를 상기 흡기용 면판과 평행한 면 내에서 일방향으로 이동시키는 리니어 구동부(linear 驅動部)와, 이 리니어 구동부에 의한 상기 상부 가동 챔버의 이동방향을 따라 평행하게 설치되는 한 쌍의 사이드 챔버(side chamber)와, 이 양 사이드 챔버에 접속되는 흡기원(吸氣源)을 구비하고, 상기 흡기용 면판에 근접하여 상기 상부 가동 챔버 상에 고정되는 판상(板狀)의 워크(work)로부터 발생하는 마모 잔류물을 흡인 제거하는 잔류물 제거 흡인장치로서,
상기 양 사이드 챔버는, 각각 한 쌍의 롤러 사이에 감긴 무한의 주행 벨트의 내측에 배치되고, 또한 그 사이드 챔버에는 각각 그 길이방향을 따라 상기 주행 벨트에 의하여 덮이는 개구부(開口部)가 형성되고,
상기 주행 벨트에는, 상기 개구부에 대응하는 위치에 상기 상부 가동 챔버에 연결되는 통기관(通氣管)이 고정되고, 그 통기관을 통하여 상기 상부 가동 챔버와 사이드 챔버의 내부가 연결되는 구성으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 잔류물 제거 흡인장치.
An upper movable chamber consisting of a porous intake face plate having an upper surface, and the upper movable chamber in one direction in a plane parallel to the intake face plate. A linear drive unit for moving, a pair of side chambers installed in parallel along the moving direction of the upper movable chamber by the linear drive unit, and an intake source connected to both side chambers ( A residue removal suction device including a source and suctioning out abrasion residues generated from a plate-shaped work fixed to the upper movable chamber in close proximity to the intake face plate,
The two side chambers are each disposed inside an infinite travel belt wound between a pair of rollers, and the side chambers each have an opening covered by the traveling belt along its longitudinal direction. Become,
A vent pipe connected to the upper movable chamber is fixed to the traveling belt at a position corresponding to the opening, and the inside of the upper movable chamber and the side chamber are connected through the vent pipe. Residue removal suction device.
제1항에 있어서,
상부 가동 챔버에는, 판상의 워크를 상기 흡기용 면판에 근접한 상태로 하여 지지하는 워크 지지구가 설치되는 것을 특징으로 하는 잔류물 제거 흡인장치.
The method of claim 1,
And a work support for supporting the plate-shaped workpiece in a state adjacent to the intake face plate is provided in the upper movable chamber.
제1항 또는 제2항에 있어서,
리니어 구동부가 한 쌍의 사이드 챔버 사이에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 잔류물 제거 흡인장치.The method according to claim 1 or 2,
A residue removal suction device, characterized in that the linear drive unit is provided between the pair of side chambers.
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