KR20100019039A - 다양한 크기의 기판을 합착하는데 적합한 기판합착장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 기판합착장치는, 밑으로 갈수록 내경이 작아지는 가이드공(H)이 수직하게 형성되며 가이드공(H)의 측벽에는 기판(31, 32)의 가장자리가 걸쳐져서 기판이 수평안착되도록 하는 기판지지단턱부(21, 22, 23)가 계단식으로 복수개 형성되어 밑층에서 윗층으로 갈수록 더 큰 기판이 수평안착되도록 하는 기판틀(20); 및 가이드공(H)을 따라 상하로 이동가능하게 설치되어 기판지지단턱부(21, 22, 23)에 안착되는 기판을 밑에서 받친 상태로 상하로 이송시키는 리프터(10);를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 다양한 크기의 기판을 합착하는 데에 리프터가 1개이면 되고, 복잡한 정렬장치가 불필요하므로 구성비용이 상당히 줄어든다. 또한 기판이 하나의 가이드 공에 적재되기 때문에 기판정렬과 크기별 리프트 운용이 필요없어 공정이 단순화되고 운용면에서도 안정적이다.

기판틀, 가이드공, 기판지지단턱부, 리프터, 기판합착, 정렬

Description

다양한 크기의 기판을 합착하는데 적합한 기판합착장치{Apparatus for bonding substrates of which the size is various}

본 발명은 기판합착장치에 관한 것으로서, 특히 다양한 크기의 기판을 합착하는데 적합한 기판합착장치에 관한 것이다.

임프린팅(imprinting) 장치 등에 있어서 기판 2장을 합착하기 위해서는 리프터(lifter) 및 정렬장치(aliner)가 필요한데, 특히 다양한 기판 크기에 대응하기 위해서는 크기별 정렬장치와 2개의 리프터가 필요하다.

그러나 다양한 크기의 기판에 따라 정렬장치를 개별로 설치하는 것은 비효율적이며 기판 크기의 변화에 유동적으로 대처하기가 어려워 궁극적으로 제조비용 상승을 유발시키며, 리프트 장치를 두 개 설치하는 것도 마찬가지이다.

따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 다양한 크기의 기판을 합착함에 있어서 리프트 장치의 수가 1개로 최소화되고 크기별 정렬장치도 별도로 필요없는 기판합착장치를 제공하는 데 있다.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판합착장치는, 밑으로 갈수록 내경이 작아지는 가이드공이 수직하게 형성되며 상기 가이드공의 측벽에는 기판의 가장자리가 걸쳐져서 기판이 수평안착되도록 하는 기판지지단턱부가 계단식으로 복수개 형성되어 밑층에서 윗층으로 갈수록 더 큰 기판이 수평안착되도록 하는 기판틀; 및 상기 가이드공을 따라 상하로 이동가능하게 설치되어 상기 기판지지단턱부에 안착되는 기판을 밑에서 받친 상태로 상하로 이송시키는 리프터;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 가이드공은 연속적으로 직경이 작아지는 테이퍼 형상을 할 수도 있고, 불연속적으로 직경이 작아질 수도 있다. 상기 가이드공은 위에서 내려다 봤을 때 기판과 동일한 형상을 하는 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면, 다양한 크기의 기판을 합착하는 데에 리프터가 1개이면 되고, 복잡한 정렬장치가 불필요하므로 구성비용이 상당히 줄어든다. 또한 기판이 하나의 가이드 공에 적재되기 때문에 기판정렬과 크기별 리프트 운용이 필요없어 공정이 단순화되고 운용면에서도 안정적이다.

이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다.

도 1a 내지 도 1e는 본 발명에 따른 기판합착장치를 사용하여 크기가 다른 2개의 기판이 합착되는 과정을 설명하기 위한 도면들이다.

[제1기판(31) 적재]

도 1a에 도시된 바와 같이, 윗면에 레진(40)이 도포된 제1기판(31)을 기판틀(20)에 장입하면 제1기판(31)은 제1기판지지단턱부(21)에 수평하게 걸쳐진다.

기판틀(20)의 가운데에는 밑으로 갈수록 내경이 작아지는 가이드공(H)이 수직하게 형성되며, 리프터(10)는 가이드공(H)을 따라 상하로 이동가능하게 설치된다. 리프터(10)의 위 끝단에는 제1기판을 수평하게 밑에서 받치기 위한 기판 지지대(11)가 마련된다.

가이드공(H)의 측벽에는 기판의 가장자리가 걸쳐져서 기판이 수평 안착되도록 하는 복수개의 기판지지단턱부(21, 22, 23)가 계단식으로 형성된다. 따라서 밑 층일수록 작은 크기의 기판이 기판지지단턱부(21, 22, 23)에 수평하게 걸쳐진다.

가이드공(H)은 테이퍼 형태로 밑으로 갈수록 연속으로 직경이 작아질 수도 있으며 도 1a에 도시된 바와 같이 불연속적으로 직경이 작아질 수도 있다. 불연속적일 경우에는 기판지지단턱부(21, 22, 23)가 저절로 형성될 것이다. 별도로 기판의 좌우 정렬이 필요 없도록 하기 위해서는 가이드공(H)을 위에서 내려다 본 형상이 기판의 형상과 동일하도록 하는 것이 바람직하다. 가이드공(H)의 형상이 기판과 다를 경우에는 홈이나 핀을 설치함으로써 기판이 정렬된 상태로 기판틀(20)에 장입되도록 하면 된다.

[제2기판(32) 적재]

도 1b에 도시된 바와 같이, 제1기판(31)의 적재 후에 제1기판(31)보다 더 큰 제2기판(32)을 기판틀(20)에 장입하면 제2기판(32)은 제2기판지지단턱부(21)보다 더 윗층인 제2기판지지단턱부(22)에 수평하게 걸쳐진다.

[제1기판(31) 상승]

제1기판(31)과 제2기판(32)이 기판틀(20)에 적재된 후에는 도 1c에 도시된 바와 같이 리프터(10)를 상승시킨다. 그러면 리프터의 기판지지대(11)가 제1기판(31)을 위로 밀어올리게 된다.

[제2기판(32) 상승 및 합착 ]

제1기판(31)이 위로 밀어 올려지다가 제2기판(32)에 닿게 되면 도 1d에서와 같이 제1기판(31)과 제2기판(32)이 만나게 되고 이에 따라 도 1e에서와 같이 리프터(10)의 상승에 의해 제1기판(31)과 제2기판(32)의 합착이 이루어진다.

만약 제2기판(32)보다 더 큰 제3기판이 제3기판지지단턱부(23)에 더 적재되어 있었다면 3개의 기판이 합착될 것이다. 리프터(10)를 기판틀(20)의 높이 이상으로 상승시키기만 한다면 기판틀(20) 내에 적재되어 있는 다양한 크기의 기판들이 모두 저절로 합착되기 때문에 기판 크기별로 리프터(10)의 위치를 제어할 필요가 없게 된다. 즉, 리프터(10)가 하한점과 상한점의 두 점 사이만을 움직이도록 설정하면 모든 기판에 대응할 수 있게 된다.

도 2는 다양한 크기의 기판 합착이 이루어질 수 있음을 설명하기 위한 것이다. 도 2a는 제1기판(31)과 제2기판(32), 도 2b는 제2기판(32)과 제3기판(33), 도 2c는 제1기판(31)과 제3기판(33)의 합착을 보여준다. 여기서 기판의 크기는 제1기판(31)<제2기판(32)<제3기판(33) 순이다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 다양한 크기의 기판을 합착하는 데에 리프터가 1개이면 되고 복잡한 정렬장치가 불필요하므로 구성비용이 상당히 줄어든다. 또한 기판이 하나의 가이드 공에 적재되기 때문에 기판정렬과 크기별 리프트 운용이 필요없어 공정이 단순화되고 운용면에서도 안정적이다.

도 1a 내지 도 1e는 본 발명에 따른 기판합착장치를 사용하여 크기가 다른 2개의 기판이 합착되는 과정을 설명하기 위한 도면들;

도 2는 다양한 크기의 기판 합착이 이루어질 수 있음을 설명하기 위한 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 참조번호의 설명>

10: 리프터 11: 기판 지지대

20: 기판틀 21, 22, 23: 기판지지단턱부

31, 32, 33: 기판 H: 가이드 공

Claims (4)

1. 밑으로 갈수록 내경이 작아지는 공동이 수직하게 형성되며 상기 공동의 측벽에는 기판의 가장자리가 걸쳐져서 기판이 수평안착되도록 하는 기판지지단턱부가 계단식으로 복수개 형성되어 밑층에서 윗층으로 갈수록 더 큰 기판이 수평안착되도록 하는 기판틀; 및

   상기 공동을 따라 상하로 이동가능하게 설치되어 상기 기판지지단턱부에 안착되는 기판을 밑에서 받친 상태로 상하로 이송시키는 리프터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판합착장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 공동이 연속적으로 직경이 작아지는 테이퍼 형상을 하는 것을 특징으로 하는 기판합착장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 공동이 불연속적으로 직경이 작아지는 것을 특징으로 하는 기판합착장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 공동은 위에서 내려다 봤을 때 기판과 동일한 형상을 하는 것을 특징으로 하는 기판합착장치.

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