KR20090118594A - High voltage generation circuit and flash memory device including same - Google Patents

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Abstract

플래시 메모리 장치의 고전압 발생회로는 고전압 감지부, 클럭 신호 제어부, 발진기, 펌핑 클럭 제어부 및 차지 펌프를 포함한다. 고전압 감지부는 메모리 셀 어레이로 인가되는 고전압을 적어도 하나 이상의 기준 전압과 비교하여 적어도 하나 이상의 비교 신호를 제공한다. 클럭 신호 제어부는 적어도 하나 이상의 비교 신호에 응답하여 클럭 신호의 주파수를 변경시키기 위한 클럭 제어 신호를 제공한다. 발진기는 클럭 제어 신호에 따라 주파수가 변하는 클럭 신호를 생성한다. 펌핑 클럭 제어부는 고전압이 일정한 레벨 이상임을 나타내는 제어 신호에 응답하여 클럭 신호를 차단하거나 통과시켜 펌핑 클럭을 제공한다. 차지 펌프는 펌핑 클럭이 인가되는 동안 연속적으로 펌핑하여 상기 고전압을 발생시킨다.The high voltage generation circuit of the flash memory device includes a high voltage detector, a clock signal controller, an oscillator, a pumped clock controller and a charge pump. The high voltage detector provides at least one comparison signal by comparing the high voltage applied to the memory cell array with at least one reference voltage. The clock signal controller provides a clock control signal for changing the frequency of the clock signal in response to the at least one comparison signal. The oscillator generates a clock signal whose frequency changes in accordance with the clock control signal. The pumping clock controller provides a pumping clock by blocking or passing the clock signal in response to a control signal indicating that the high voltage is above a certain level. The charge pump continuously pumps while the pumping clock is applied to generate the high voltage.

Description

고전압 발생회로 및 이를 포함하는 플래시 메모리 장치{High voltage generation circuit and flash memory device including the same} High voltage generation circuit and flash memory device including the same

본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 플래시 메모리 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly to a flash memory device.

반도체 메모리는 위성에서 소비자 전자 기술에 이르기까지 마이크로프로세서를 기반으로 하는 디지털 로직 설계에서 가장 필수적으로 사용되고 있는 소자이다. 따라서 높은 높은 집적도 및 빠른 속도를 위한 반도체 메모리 제조 기술의 진보는, 다른 디지털 로직 계열의 성능 기준을 확립하는 데 도움이 된다. Semiconductor memory is the most essential device in digital logic designs based on microprocessors, from satellites to consumer electronics. Thus, advances in semiconductor memory fabrication technology for high integration and high speeds help establish performance benchmarks for other digital logic families.

반도체 메모리 장치는 크게 휘발성 반도체 메모리 장치와 불휘발성 메모리 장치로 나뉘어진다. 휘발성 반도체 메모리 장치는 전원이 인가되는 동안 데이터가 저장되고 읽혀지며, 전원이 차단될 때 데이터는 소실된다. 반면, MROM(MASK ROM), PROM(Programmable ROM), EPROM(Erasable and Programmable ROM), EEPROM(Electrically Erasable and Programmable ROM) 등과 같은 불휘발성 메모리 장치는, 전원이 차단되어도 데이터를 저장할 수 있다. The semiconductor memory device is largely divided into a volatile semiconductor memory device and a nonvolatile memory device. In a volatile semiconductor memory device, data is stored and read while power is applied, and data is lost when power is cut off. On the other hand, nonvolatile memory devices, such as MROM (MASK ROM), PROM (Programmable ROM), EPROM (Erasable and Programmable ROM), and EEPROM (Electrically Erasable and Programmable ROM), may store data even when the power is cut off.

불휘발성 메모리의 데이터 저장 상태는 사용되는 제조 기술에 따라 영구적이 거나 재프로그램 가능하다. 불휘발성 메모리 장치 중 MROM, PROM 및 EPROM은 시스템 자체적으로 소거 및 쓰기가 자유롭지 않아서 일반 사용자들이 기억 내용을 새롭게 하기가 용이하지 않다. 이에 반해, EEPROM은 전기적으로 소거 및 쓰기가 가능하기 때문에, 계속적인 갱신이 필요한 시스템 프로그래밍(system programming)이나 보조 기억 장치로의 응용이 확대되고 있다. 특히 플래시 EEPROM(이하, 플래시 메모리라 칭함)은 기존의 EEPROM에 비해 집적도가 높아 대용량 보조 기억 장치로의 응용에 매우 유리하다. The data storage state of the nonvolatile memory can be permanent or reprogrammable, depending on the manufacturing technique used. Among the nonvolatile memory devices, MROM, PROM, and EPROM are not freely erased and written by the system itself, and thus it is not easy for ordinary users to update the memory contents. On the other hand, since EEPROMs can be electrically erased and written, applications to system programming or auxiliary storage devices requiring continuous updating are expanding. In particular, the flash EEPROM (hereinafter referred to as flash memory) has a higher density than the conventional EEPROM, which is very advantageous for application to a large capacity auxiliary storage device.

플래시 메모리는 셀과 비트 라인의 연결 상태에 따라 NOR형과 NAND형으로 구분된다. NOR형 플래시 메모리는 1개의 비트 라인에 2개 이상의 셀 트랜지스터가 병렬로 연결된 형태를 갖는다. NOR형 플래시 메모리는 채널 핫 일렉트론(channel hot electron) 방식을 사용하여 데이터를 저장하고, F-N 터널링(Fowler-Nordheim tunneling) 방식을 사용하여 데이터를 소거한다. NAND형 플래시 메모리는 1개의 비트 라인에 2개 이상의 셀 트랜지스터가 직렬로 연결된 형태를 갖는다. NAND형 플래시 메모리는 F-N 터널링 방식을 사용하여 데이터를 저장 및 소거한다. 일반적으로, NOR형 플래시 메모리는 전류 소모가 크기 때문에 고집적화에는 불리하지만, 고속화에 용이하게 대처할 수 있는 장점이 있다. 최근 들어서는 NOR형 플래시 메모리의 고집적화를 위해 멀티 레벨 셀(Multi level cell; 이하, MLC라 칭함) 방식이 채택되고 있다. Flash memory is classified into NOR and NAND types according to cell and bit line connection states. A NOR flash memory has two or more cell transistors connected in parallel to one bit line. NOR flash memory stores data using channel hot electrons and erases data using Fowler-Nordheim tunneling. A NAND flash memory has two or more cell transistors connected in series to one bit line. NAND-type flash memories use F-N tunneling to store and erase data. In general, NOR flash memory is disadvantageous for high integration due to the large current consumption, but has an advantage of easily coping with high speed. Recently, multi-level cell (hereinafter referred to as MLC) scheme has been adopted for high integration of NOR flash memory.

예를 들어, 플래시 메모리에 싱글-비트 데이터가 저장되는 경우, 단위 셀에 저장되는 데이터는 데이터 '1' 및 데이터 '0'에 각각 대응하는 2개의 문턱 전압 분 포들에 의해서 표현될 수 있다. 반면에, NOR형 플래시 메모리에 멀티-비트 데이터가 저장되는 경우, 단위 셀에 저장되는 데이터는 데이터 '11', 데이터 '10', 데이터 '00', 및 데이터 '01'에 각각 대응하는 4개의 문턱 전압 분포들에 의해서 표현될 수 있다. 각 셀에 저장되는 데이터의 비트 수가 증가할수록, 각 데이터를 프로그램, 소거, 및 독출하는데 필요한 전압의 레벨은 더욱 다양해 진다. For example, when single-bit data is stored in a flash memory, data stored in a unit cell may be represented by two threshold voltage distributions corresponding to data '1' and data '0', respectively. On the other hand, when the multi-bit data is stored in the NOR type flash memory, the data stored in the unit cell includes four data corresponding to data '11', data '10', data '00', and data '01'. It can be represented by threshold voltage distributions. As the number of bits of data stored in each cell increases, the level of voltage required to program, erase, and read each data becomes more diverse.

따라서, 플래시 메모리에 저장된 데이터를 보다 정확하게 프로그램, 소거, 및 독출하기 위해서는 각 데이터를 프로그램, 소거, 및 독출하는데 필요한 각각의 전압을 정확하게 발생하는 것이 필요하다. 또한, 발생된 각각의 전압 레벨이 변동되지 않고 일정한 레벨을 유지할 수 있도록 하는 기술 또한 필요하다. 또한 플래시 메모리에 실제 인가되는 전압의 레벨을 조정할 필요가 있을 경우, 퓨즈 컷팅이나 메탈 옵션 등의 추가적인 작업을 거치지 않고 전압의 레벨을 조정할 수 있는 기술이 필요하다.Thus, in order to more accurately program, erase, and read data stored in the flash memory, it is necessary to accurately generate respective voltages necessary to program, erase, and read each data. There is also a need for a technique that allows each generated voltage level to remain constant without fluctuation. In addition, if there is a need to adjust the voltage level actually applied to the flash memory, there is a need for a technology that can adjust the voltage level without additional work such as cutting a fuse or a metal option.

이에 따라, 본 발명의 일 목적은 효율적으로 메모리 셀 어레이에 인가되는 고전압의 전압 레벨을 조정할 수 있는 고전압 발생회로를 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a high voltage generation circuit capable of efficiently adjusting the voltage level of the high voltage applied to the memory cell array.

본 발명의 일 목적은 상기 고전압 발생회로를 포함하는 플래시 메모리 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a flash memory device including the high voltage generation circuit.

상술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 플래시 메모리 장치의 고전압 발생회로는 고전압 감지부, 클럭 신호 제어부, 발진기, 펌핑 클럭 제어부 및 차지 펌프를 포함한다. 상기 고전압 감지부는 메모리 셀 어레이로 인가되는 고전압을 적어도 하나 이상의 기준 전압과 비교하여 적어도 하나 이상의 비교 신호를 제공한다. 상기 클럭 신호 제어부는 상기 적어도 하나 이상의 비교 신호에 응답하여 클럭 신호의 주파수를 변경시키기 위한 클럭 제어 신호를 제공한다. 상기 발진기는 상기 클럭 제어 신호에 따라 주파수가 변하는 상기 클럭 신호를 생성한다. 상기 펌핑 클럭 제어부는 상기 고전압이 일정한 레벨 이상임을 나타내는 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호를 차단하거나 통과시켜 펌핑 클럭을 제공한다. 상기 차지 펌프는 상기 펌핑 클럭이 인가되는 동안 연속적으로 펌핑하여 상기 고전압을 발생시킨다. In order to achieve the above object of the present invention, a high voltage generation circuit of a flash memory device according to an embodiment of the present invention includes a high voltage detector, a clock signal controller, an oscillator, a pumping clock controller and a charge pump. The high voltage detector provides at least one comparison signal by comparing the high voltage applied to the memory cell array with at least one reference voltage. The clock signal controller provides a clock control signal for changing a frequency of a clock signal in response to the at least one comparison signal. The oscillator generates the clock signal whose frequency changes in accordance with the clock control signal. The pumping clock controller provides a pumping clock by blocking or passing the clock signal in response to a control signal indicating that the high voltage is higher than or equal to a predetermined level. The charge pump pumps continuously while the pumping clock is applied to generate the high voltage.

실시예에 있어서, 상기 고전압 발생회로는 상기 고전압을 적어도 두 개 이상의 저항들을 이용하여 분압한 전압을 제1 기준 전압과 비교하여 그 결과에 따라 선 택적으로 활성화되는 상기 제어 신호를 제공하는 고전압 레귤레이터를 더 포함할 수 있다. 상기 고전압 발생회로는 상기 고전압의 전압 레벨을 변경할 필요가 있을 경우 외부에서 인가되는 트림 정보에 따라 상기 분압한 전압을 조정하기 위한 트림 제어 신호를 제공하는 트림 블록을 더 포함할 수 있다.In an embodiment, the high voltage generating circuit may include a high voltage regulator configured to compare the voltage obtained by dividing the high voltage using at least two resistors with a first reference voltage and to provide the control signal selectively activated accordingly. It may further include. The high voltage generation circuit may further include a trim block configured to provide a trim control signal for adjusting the divided voltage according to trim information applied from the outside when it is necessary to change the voltage level of the high voltage.

실시예에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 기준 전압은 제2 기준 전압과 상기 제2 기준 전압보다 전압 레벨이 낮은 제3 기준 전압을 포함할 수 있다. 상기 적어도 하나 이상의 비교 신호는 제1 비교 신호와 제2 비교 신호를 포함하고, 상기 고전압의 전압 레벨이 상기 제2 기준 전압의 전압 레벨보다 높은 경우에는 상기 제1 비교 신호가 상기 클럭 제어 신호부에 인가되고, 상기 클럭 제어 신호에 따라 상기 클럭 신호의 주파수가 증가될 수 있다. 또한 상기 고전압의 전압 레벨이 상기 제2 기준 전압의 전압 레벨보다 낮은 경우에는, 상기 제2 비교 신호가 상기 클럭 신호 제어부에 인가되고, 상기 클럭 제어 신호에 따라 상기 클럭 신호의 주파수가 감소될 수 있다. In example embodiments, the at least one reference voltage may include a second reference voltage and a third reference voltage having a lower voltage level than the second reference voltage. The at least one comparison signal includes a first comparison signal and a second comparison signal, and when the voltage level of the high voltage is higher than the voltage level of the second reference voltage, the first comparison signal is included in the clock control signal unit. The frequency of the clock signal may be increased according to the clock control signal. When the voltage level of the high voltage is lower than the voltage level of the second reference voltage, the second comparison signal may be applied to the clock signal controller, and the frequency of the clock signal may be decreased according to the clock control signal. .

상기 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 플래시 메모리 장치의 고전압 발생회로는 고전압 레귤레이터, 트림 블록, 클럭 신호 제어부, 발진기, 펌핑 클럭 제어부 및 차지 펌프를 포함한다. 상기 고전압 레귤레이터는 메모리 셀 어레이로 인가되는 고전압을 분압한 분압 전압을 기준 전압과 비교하여 그 결과에 따라 선택적으로 활성화되는 제어 신호를 제공한다. 상기 트림 블록은 상기 고전압의 전압 레벨을 변경할 필요가 있을 경우, 외부에서 인가되는 트림 정보에 응답하여 트림 제어 신호를 제공한다. 상기 클럭 신호 제어부는 상기 트림 제어 신호 에 응답하여 클럭 신호의 주파수를 변동시키기 위한 클럭 제어 신호를 제공한다. 상기 발진기는 상기 클럭 제어 신호에 따라 주파수가 변하는 상기 클럭 신호를 생성한다. 상기 펌핑 클럭 제어부는 상기 고전압이 일정한 레벨 이상임을 나타내는 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호를 차단하거나 통과시켜 펌핑 클럭을 제공한다. 상기 차지 펌프는 상기 펌핑 클럭이 인가되는 동안 연속적으로 펌핑하여 상기 고전압을 발생시킨다.A high voltage generation circuit of a flash memory device according to another embodiment of the present invention for achieving the above object includes a high voltage regulator, a trim block, a clock signal controller, an oscillator, a pumping clock controller and a charge pump. The high voltage regulator compares the divided voltage obtained by dividing the high voltage applied to the memory cell array with a reference voltage and provides a control signal that is selectively activated according to the result. The trim block provides a trim control signal in response to trim information applied from the outside when it is necessary to change the voltage level of the high voltage. The clock signal controller provides a clock control signal for varying the frequency of the clock signal in response to the trim control signal. The oscillator generates the clock signal whose frequency changes in accordance with the clock control signal. The pumping clock controller provides a pumping clock by blocking or passing the clock signal in response to a control signal indicating that the high voltage is higher than or equal to a predetermined level. The charge pump pumps continuously while the pumping clock is applied to generate the high voltage.

실시예에 있어서, 상기 제어 신호는 상기 고전압의 전압 레벨이 상기 기준 전압의 전압 레벨보다 높으면 활성화되고, 상기 제어 신호가 활성화되면 상기 펌핑 클럭 제어부는 상기 클럭 신호를 차단할 수 있다. 또한 상기 제어 신호는 상기 고전압의 전압 레벨이 상기 기준 전압의 전압 레벨보다 낮으면 비활성화되고, 상기 제어 신호가 비활성화되면 상기 펌핑 클럭 제어부는 상기 클럭 신호를 통과시킬 수 있다.In example embodiments, the control signal may be activated when the voltage level of the high voltage is higher than the voltage level of the reference voltage, and the pumping clock controller may block the clock signal when the control signal is activated. The control signal may be deactivated when the voltage level of the high voltage is lower than the voltage level of the reference voltage. When the control signal is deactivated, the pumping clock controller may pass the clock signal.

실시예에 있어서, 상기 고전압의 전압 레벨을 높여야 하는 경우 상기 트림 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호 제어부는 상기 클럭 신호의 주파수를 증가되도록 상기 발진기를 제어할 수 있다. 상기 고전압의 전압 레벨을 낮춰야 하는 경우 상기 트림 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호 제어부는 상기 클럭 신호의 주파수를 감소되도록 상기 발진기를 제어할 수 있다. In example embodiments, when the voltage level of the high voltage needs to be increased, the clock signal controller may control the oscillator to increase the frequency of the clock signal in response to the trim control signal. When the voltage level of the high voltage needs to be lowered, the clock signal controller may control the oscillator to decrease the frequency of the clock signal in response to the trim control signal.

상기 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 플래시 메모리 장치의 고전압 발생회로는 고전압 감지부, 고전압 레귤레이터, 트림 블록, 클럭 신호 제어부, 발진기, 펌핑 클럭 제어부 및 차지 펌프를 포함한다. 상기 고전압 감지 부는 메모리 셀 어레이로 인가되는 고전압을 적어도 하나 이상의 기준 전압과 비교하여 적어도 하나 이상의 비교 신호를 제공한다. 상기 고전압 레귤레이터는 상기 고전압을 분압한 분압 전압을 제1 기준 전압과 비교하여 그 결과에 따라 선택적으로 활성화되는 제어 신호를 제공한다. 상기 트림 블록은 상기 고전압의 전압 레벨을 변경할 필요가 있을 경우 외부에서 인가되는 트림 정보에 응답하여 트림 제어 신호를 제공한다. 상기 클럭 신호 제어부는 상기 트림 제어 신호 또는 상기 적어도 하나 이상의 비교 신호 또는 상기 트림 제어 신호 및 상기 적어도 하나 이상의 비교 신호에 응답하여 클럭 신호의 주파수를 변동시키는 클럭 제어 신호를 제공한다. 상기 발진기는 상기 클럭 제어 신호에 따라 주파수가 변하는 상기 클럭 신호를 생성한다. 상기 펌핑 클럭 제어부는 상기 고전압이 일정한 레벨 이상임을 나타내는 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호를 차단하거나 통과시켜 펌핑 클럭을 제공한다. 상기 차지 펌프는 상기 펌핑 클럭이 인가되는 동안 연속적으로 펌핑하여 상기 고전압을 발생시킨다.A high voltage generation circuit of a flash memory device according to another embodiment of the present invention for achieving the above object includes a high voltage detector, a high voltage regulator, a trim block, a clock signal controller, an oscillator, a pumped clock controller and a charge pump. The high voltage sensing unit compares a high voltage applied to the memory cell array with at least one reference voltage to provide at least one comparison signal. The high voltage regulator compares the divided voltage obtained by dividing the high voltage with a first reference voltage and provides a control signal that is selectively activated according to the result. The trim block provides a trim control signal in response to trim information applied from the outside when it is necessary to change the voltage level of the high voltage. The clock signal controller provides a clock control signal for varying a frequency of a clock signal in response to the trim control signal or the at least one comparison signal or the trim control signal and the at least one comparison signal. The oscillator generates the clock signal whose frequency changes in accordance with the clock control signal. The pumping clock controller provides a pumping clock by blocking or passing the clock signal in response to a control signal indicating that the high voltage is higher than or equal to a predetermined level. The charge pump pumps continuously while the pumping clock is applied to generate the high voltage.

실시예에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 기준 전압은 제2 기준 전압과 상기 제2 기준 전압보다 전압 레벨이 낮은 제3 기준 전압을 포함하고, 상기 적어도 하나 이상의 비교 신호는 제1 비교 신호와 제2 비교 신호를 포함하고, 상기 고전압의 전압 레벨이 상기 제2 기준 전압의 전압 레벨보다 높은 경우에는 상기 제1 비교 신호가 상기 클럭 제어 신호부에 인가되고, 상기 클럭 제어 신호에 따라 상기 클럭 신호의 주파수가 증가될 수 있다. 또한 상기 고전압의 전압 레벨이 상기 제2 기준 전압의 전압 레벨보다 낮은 경우에는, 상기 제2 비교 신호가 상기 클럭 신호 제어 부에 인가되고, 상기 클럭 제어 신호에 따라 상기 클럭 신호의 주파수가 감소될 수 있다.The at least one reference voltage may include a second reference voltage and a third reference voltage having a lower voltage level than the second reference voltage, wherein the at least one comparison signal is compared with the first comparison signal. A signal, wherein the first comparison signal is applied to the clock control signal part when the voltage level of the high voltage is higher than the voltage level of the second reference voltage, and the frequency of the clock signal is increased according to the clock control signal. Can be increased. In addition, when the voltage level of the high voltage is lower than the voltage level of the second reference voltage, the second comparison signal is applied to the clock signal controller, and the frequency of the clock signal may be decreased according to the clock control signal. have.

상술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 플래시 메모리 장치는 복수의 메모리 셀들로 구성된 메모리 셀 어레이, 고전압 발생회로 및 선택 회로를 포함한다. 상기 고전압 발생회로는 동작 모드에 따라 상기 메모리 셀 어레이로 인가될 복수의 고전압들을 생성한다. 상기 선택 회로는 상기 복수의 고전압들 중 하나를 선택하여 상기 메모리 셀 어레이로 인가한다. 상기 고전압 발생회로는 상기 동작 모드에 따라 상기 메모리 셀 어레이로 인가되는 고전압들의 전압 레벨을 하나 이상의 기준 전압과 비교한 결과에 따라 상기 고전압들을 발생시키기 위한 클럭 신호의 주파수를 변경하여 상기 고전압들의 전압 레벨을 변경한다. In order to achieve the above object of the present invention, a flash memory device according to an embodiment of the present invention includes a memory cell array including a plurality of memory cells, a high voltage generation circuit, and a selection circuit. The high voltage generation circuit generates a plurality of high voltages to be applied to the memory cell array according to an operation mode. The selection circuit selects one of the plurality of high voltages and applies it to the memory cell array. The high voltage generation circuit changes the frequency of a clock signal for generating the high voltages according to a result of comparing the voltage levels of the high voltages applied to the memory cell array with one or more reference voltages according to the operation mode, thereby changing the voltage levels of the high voltages. To change.

실시예에 있어서, 상기 고전압 발생회로는 상기 고전압을 분압한 분압 전압을 상기 적어도 하나 이상의 기준 전압 중 제1 기준 전압과 비교하여 그 결과에 따라 선택적으로 활성화되는 제어 신호를 제공하는 고전압 레귤레이터, 상기 고전압을 상기 적어도 하나 이상의 기준 전압 중 제2 기준 전압 및 제3 기준 전압과 비교하여 그 비교 결과에 따라 제1 비교 신호 및 제2 비교 신호를 제공하는 고전압 감지부, 상기 제1 비교 신호 및 상기 제2 비교 신호에 응답하여 상기 클럭 신호의 주파수를 변경시키는 클럭 제어 신호를 제공하는 클럭 신호 제어부, 상기 클럭 제어 신호에 따라 주파수가 변하는 상기 클럭 신호를 생성하는 발진기, 상기 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호를 차단하거나 통과시켜 펌핑 클럭을 제공하는 펌핑 클 럭 제어부 및 상기 펌핑 클럭이 인가되는 동안 연속적으로 펌핑하여 상기 고전압을 발생시키는 차지 펌프를 포함할 수 있다.The high voltage regulator may include a high voltage regulator configured to compare a divided voltage obtained by dividing the high voltage with a first reference voltage among the at least one reference voltage, and provide a control signal selectively activated according to the result. A high voltage detection unit comparing the second reference voltage and the third reference voltage among the at least one reference voltage and providing a first comparison signal and a second comparison signal according to a result of the comparison, the first comparison signal and the second comparison signal A clock signal controller for providing a clock control signal for changing a frequency of the clock signal in response to a comparison signal, an oscillator for generating the clock signal having a frequency change in accordance with the clock control signal, and generating the clock signal in response to the control signal A pumping clock control unit for blocking or passing the pumping clock to provide a pumping clock It may include a charge pump that pumps continuously while the rack is applied to generate the high voltage.

실시예에 있어서, 상기 고전압 발생회로는 상기 고전압을 분압한 분압 전압을 상기 적어도 하나 이상의 기준 전압 중 제1 기준 전압과 비교하여 그 결과에 따라 선택적으로 활성화되는 제어 신호를 제공하는 고전압 레귤레이터, 상기 고전압의 전압 레벨을 변경할 필요가 있을 경우, 외부에서 인가되는 트림 정보에 응답하여 트림 제어 신호를 제공하는 트림 블록, 상기 트림 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호의 주파수를 변경시키는 클럭 제어 신호를 제공하는 클럭 신호 제어부, 상기 클럭 제어 신호에 따라 주파수가 변하는 상기 클럭 신호를 생성하는 발진기, 상기 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호를 차단하거나 통과시켜 펌핑 클럭을 제공하는 펌핑 클럭 제어부 및 상기 펌핑 클럭이 인가되는 동안 연속적으로 펌핑하여 상기 고전압을 발생시키는 차지 펌프를 포함할 수 있다.The high voltage regulator may include a high voltage regulator configured to compare a divided voltage obtained by dividing the high voltage with a first reference voltage among the at least one reference voltage, and provide a control signal selectively activated according to the result. When it is necessary to change the voltage level of the trim block for providing a trim control signal in response to the trim information applied from the outside, the clock for providing a clock control signal for changing the frequency of the clock signal in response to the trim control signal A signal controller, an oscillator for generating the clock signal whose frequency changes in accordance with the clock control signal, a pumping clock controller for blocking or passing the clock signal in response to the control signal to provide a pumping clock, and while the pumping clock is applied When pumping continuously to generate the high voltage It may include a charge pump.

실시예에 있어서, 상기 고전압 발생 회로는, 상기 고전압을 상기 적어도 하나 이상의 기준 전압 중 제2 기준 전압 및 제3 기준 전압과 비교하여 그 비교 결과에 따라 제1 비교 신호 및 제2 비교 신호를 제공하는 고전압 감지부, 상기 고전압을 분압한 분압 전압을 상기 적어도 하나 이상의 기준 전압 중 제1 기준 전압과 비교하여 그 결과에 따라 선택적으로 활성화되는 제어 신호를 제공하는 고전압 레귤레이터, 상기 고전압의 전압 레벨을 변경할 필요가 있을 경우, 외부에서 인가되는 트림 정보에 응답하여 트림 제어 신호를 제공하는 트림 블록, 상기 트림 제어 신호 또는 상기 적어도 하나 이상의 비교 신호 또는 상기 트림 제어 신호 및 상기 적어 도 하나 이상의 비교 신호에 응답하여 상기 클럭 신호의 주파수를 변동시키는 클럭 제어 신호를 제공하는 클럭 신호 제어부, 상기 클럭 제어 신호에 따라 주파수가 변하는 상기 클럭 신호를 생성하는 발진기, 상기 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호를 차단하거나 통과시켜 펌핑 클럭을 제공하는 펌핑 클럭 제어부 및 상기 펌핑 클럭이 인가되는 동안 연속적으로 펌핑하여 상기 고전압을 발생시키는 차지 펌프를 포함할 수 있다.The high voltage generation circuit may compare the high voltage with a second reference voltage and a third reference voltage of the at least one reference voltage and provide a first comparison signal and a second comparison signal according to a result of the comparison. A high voltage detector configured to compare the divided voltage obtained by dividing the high voltage with a first reference voltage among the at least one reference voltage, and to provide a control signal selectively activated according to the result; Is in response to a trim block, the trim control signal or the at least one comparison signal or the trim control signal and the at least one comparison signal in response to the trim information applied from the outside. Providing a clock control signal for varying the frequency of the clock signal A clock signal control unit, an oscillator for generating the clock signal whose frequency changes according to the clock control signal, a pumping clock control unit which provides a pumping clock by blocking or passing the clock signal in response to the control signal, and the pumping clock is applied It may include a charge pump for continuously pumping while generating the high voltage.

본 발명에 따르면, 플래쉬 메모리에 저장된 데이터를 프로그램, 소거 및 읽어내는데 필요한 복수의 고전압들을 안정되게 공급할 수 있고, 고전압의 레벨을 변경하고자 하는 경우 메탈 옵션이나 레이져 퓨즈 등의 추가적인 작업을 거치지 않으므로 효율성을 높이고, 외부의 작업 및 테스트 시간을 단축시킬 수 있다.According to the present invention, it is possible to stably supply a plurality of high voltages necessary for programming, erasing and reading data stored in the flash memory, and to change the level of the high voltage, it is not necessary to perform additional operations such as metal options or laser fuses. It can increase the speed of external work and test.

본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.With respect to the embodiments of the present invention disclosed in the text, specific structural to functional descriptions are merely illustrated for the purpose of describing embodiments of the present invention, embodiments of the present invention may be implemented in various forms and It should not be construed as limited to the embodiments described in.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어 야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 구성요소에 대해 사용하였다.As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific disclosure form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for the components.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.When a component is referred to as being "connected" or "connected" to another component, it may be directly connected to or connected to that other component, but it may be understood that other components may be present in between. Should be. On the other hand, when a component is said to be "directly connected" or "directly connected" to another component, it should be understood that there is no other component in between. Other expressions describing the relationship between components, such as "between" and "immediately between," or "neighboring to," and "directly neighboring to" should be interpreted as well.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "having" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof that is described, and that one or more other features or numbers are present. It should be understood that it does not exclude in advance the possibility of the presence or addition of steps, actions, components, parts or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described in detail a preferred embodiment of the present invention. The same reference numerals are used for the same elements in the drawings, and duplicate descriptions of the same elements are omitted.

도 1은 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치(100)의 전체 구성을 보여주는 블록도이다. 도 1에는 본 발명이 적용되는 일 예로서, MLC 데이터 저장 방식을 따르는 NOR 타입의 플래시 메모리의 구성이 도시되어 있다.1 is a block diagram showing the overall configuration of a flash memory device 100 according to the present invention. 1 illustrates a configuration of a flash memory of a NOR type according to an MLC data storage method as an example to which the present invention is applied.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치(100)는 메모리 셀 어레이(10), 열 선택부(20), 행 선택부(30), 데이터 입출력 회로(40), 입출력 버퍼(50), 컨트롤러(60), 및 고전압 발생회로(70)를 포함한다. Referring to FIG. 1, a flash memory device 100 according to the present invention may include a memory cell array 10, a column selector 20, a row selector 30, a data input / output circuit 40, and an input / output buffer 50. , A controller 60, and a high voltage generation circuit 70.

메모리 셀 어레이(10)는 복수 개의 행들(즉, 워드 라인들)과 복수 개의 열들(즉, 비트 라인들)의 교차 영역에 배열된 복수개의 메모리 셀들을 포함한다. 전압 발생 회로(70)는 메모리 셀에 대한 프로그램, 소거, 및 독출 동작에서 필요로 하는 복수개의 고전압들을 발생한다. 전압 발생 회로(70)에서 발생된 복수 개의 고 전압들은 행 선택부(30)를 통해 대응되는 워드라인으로 인가된다. 행 선택부(30)는 전압 발생 회로(70)에서 발생된 복수 개의 고전압들 중 어느 하나를 선택하고 상기 선택된 고전압이 인가될 워드라인을 선택한다. 열 선택부(20)는 선택된 워드라인에 포함된 복수 개의 메모리 셀들 중 프로그램(또는 독출)될 셀이 연결된 비트라인을 선택한다. The memory cell array 10 includes a plurality of memory cells arranged in an intersection area of a plurality of rows (ie, word lines) and a plurality of columns (ie, bit lines). The voltage generation circuit 70 generates a plurality of high voltages required for program, erase, and read operations of the memory cell. The plurality of high voltages generated by the voltage generation circuit 70 are applied to the corresponding word lines through the row selector 30. The row selector 30 selects any one of the plurality of high voltages generated by the voltage generation circuit 70 and selects a word line to which the selected high voltage is applied. The column selector 20 selects a bit line to which a cell to be programmed (or read) is connected among a plurality of memory cells included in the selected word line.

입출력 버퍼(50)는 메모리 셀 어레이(10)에 프로그램될 데이터와, 메모리 셀 어레이(10)로부터 감지된 데이터를 저장한다. 데이터 입출력 회로(40)는 기입 드라이버(41)와 감지 증폭기(44)로 구성된다. 기입 드라이버(42)는 입출력 버퍼(50)로부터 프로그램될 데이터를 받아들여 선택된 메모리 셀에 대한 프로그램 동작을 수행한다. 감지 증폭기(44)는 선택된 메모리 셀에 프로그램된 데이터를 감지한다. 감지 증폭기(44)에 의해 감지된 데이터는 입출력 버퍼(50)에 저장된다. 컨트롤러(60)는 플래시 메모리의 프로그램, 소거, 및 독출 동작과 관련된 제반 동작을 제어한다.The input / output buffer 50 stores data to be programmed in the memory cell array 10 and data sensed from the memory cell array 10. The data input / output circuit 40 is composed of a write driver 41 and a sense amplifier 44. The write driver 42 receives data to be programmed from the input / output buffer 50 and performs a program operation on the selected memory cell. The sense amplifier 44 senses data programmed into the selected memory cell. Data sensed by the sense amplifier 44 is stored in the input / output buffer 50. The controller 60 controls all operations related to program, erase, and read operations of the flash memory.

메모리 셀 어레이(10), 열 선택부(20), 행 선택부(30), 데이터 입출력 회로(40), 입출력 버퍼(50), 및 컨트롤러(60)의 상세 구성은 이 분야에서 통상의 지식을 가진 이들에게 이미 잘 알려져 있다. 그러므로 본 발명에서는 메모리 셀 어레이(10), 열 선택부(20), 행 선택부(30), 데이터 입출력 회로(40), 입출력 버퍼(50), 및 컨트롤러(60)의 상세 구성에 대하여는 상세히 설명하지 않기로 한다. Detailed configurations of the memory cell array 10, the column selector 20, the row selector 30, the data input / output circuit 40, the input / output buffer 50, and the controller 60 are known in the art. It is already well known to those who have it. Therefore, in the present invention, detailed configurations of the memory cell array 10, the column selector 20, the row selector 30, the data input / output circuit 40, the input / output buffer 50, and the controller 60 will be described in detail. I decided not to.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 도 1의 전압 발생회로(70)의 상세 구성을 나타내는 블록도이다.2 is a block diagram showing a detailed configuration of the voltage generation circuit 70 of FIG. 1 according to the first embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전압 발생회로(70)는 고전압 감지부(high voltage detector; HVD, 110), 클럭 신호 제어부(clock signal control unit; CSCU, 120), 발진기(OSC., 130), 펌핑 클럭 제어부(pumping clock control unit; PCCU, 140) 및 차지 펌프(charge pump; CP, 150)를 포함한다. 상기 전압 발생 회로는 고전압 레귤레이터(high voltage regulator; HVR, 160)와 트림 블록(trim block; TB, 170)을 더 포함할 수도 있다.2, a voltage generation circuit 70 according to an embodiment of the present invention includes a high voltage detector (HVD) 110, a clock signal control unit (CSCU) 120, and an oscillator ( OSC., 130), a pumping clock control unit (PCCU) 140, and a charge pump (CP) 150. The voltage generation circuit may further include a high voltage regulator HVR 160 and a trim block TB 170.

고전압 감지부(110)는 메모리 셀 어레이(memory cell array; MCA, 10)로 인가되는 고전압(HVO)을 적어도 하나 이상의 기준 전압(REF2, REF3)과 비교하고, 적어도 하나 이상의 비교 신호(CS1, CS2를 포함하는 CS)를 제공한다. 상기 클럭 신호 제어부(120)는 상기 적어도 하나 이상의 비교 신호(CS)에 응답하여 클럭 신호(CK)의 주파수를 변경하기 위한 클럭 제어 신호(CCS)를 제공한다. 상기 발진기(130)는 클럭 제어 신호(CCS)에 따라 주파수가 변하는 상기 클럭 신호(CK)를 생성한다. 상기 펌핑 클럭 제어부(140)는 상기 고전압 레귤레이터(160)로부터 제공되는 제어 신호(HV_OK)신호에 따라 상기 클럭 신호(CK)를 차단하거나 통과시켜 펌핑 클럭(PCK)을 제공한다. 상기 차지 펌프(150)는 상기 펌핑 클럭(PCK)이 인가되는 동안 연속적으로 펌핑하여 상기 고전압(HVO)을 발생시킨다.The high voltage detector 110 compares the high voltage HVO applied to the memory cell array MCA 10 with at least one reference voltage REF2 and REF3, and compares the at least one comparison signal CS1 and CS2. It provides a) comprising a. The clock signal controller 120 provides a clock control signal CCS for changing the frequency of the clock signal CK in response to the at least one comparison signal CS. The oscillator 130 generates the clock signal CK whose frequency is changed according to the clock control signal CCS. The pumping clock controller 140 blocks or passes the clock signal CK according to the control signal HV_OK signal provided from the high voltage regulator 160 to provide a pumping clock PCK. The charge pump 150 pumps continuously while the pumping clock PCK is applied to generate the high voltage HVO.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 2의 고전압 레귤레이터(160)의 상세 구성을 나타내는 회로도이다.3 is a circuit diagram illustrating a detailed configuration of the high voltage regulator 160 of FIG. 2 according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 고전압 레귤레이터(160)는 피모스 트랜지스터(161), 제1 및 제2 분압 저항들(163, 164), 제1 비교기(162), 인버터(165) 및 레벨 쉬프 터(166)를 포함한다.Referring to FIG. 3, the high voltage regulator 160 includes a PMOS transistor 161, first and second voltage divider resistors 163 and 164, a first comparator 162, an inverter 165, and a level shifter 166. ).

고전압 레귤레이터(160)는 고전압(HVO)의 전압 레벨에 따라 고전압 활성화 신호(HV_ENABLE)에 논리 레벨에 따라 피모스 트랜지스터(161)을 온/오프한다. 제1 비교기(162)는 고전압(HVO)이 제1 및 제2 저항들(163, 164)에 의하여 분압된 제1 분압 전압(V1)과 제1 기준 전압(REF1)을 비교하여 고전압(HVO)이 일정 레벨 이상이 되면, 즉 분압 전압이 제1 기준 전압(REF1) 이상이면 하이 레벨로 트랜지션 되는 제어신호(HV_OK)를 제공한다. The high voltage regulator 160 turns on / off the PMOS transistor 161 according to the logic level of the high voltage activation signal HV_ENABLE according to the voltage level of the high voltage HVO. The first comparator 162 compares the first divided voltage V1 divided by the first and second resistors 163 and 164 with the first reference voltage REF1 to compare the high voltage HVO. When the voltage reaches or exceeds the predetermined level, that is, when the divided voltage is equal to or greater than the first reference voltage REF1, the control signal HV_OK that is transitioned to the high level is provided.

도 4은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 고전압 감지부(110)의 상세한 구성을 나타내는 회로도이다.4 is a circuit diagram illustrating a detailed configuration of the high voltage detecting unit 110 of FIG. 1 according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 고전압 감지부(110)는 제3 내지 제5 분압 저항들(111, 112, 113), 제2 비교기(114), 및 제3 비교기(115)를 포함한다. 상기 고전압 감지부(110)는 고전압(HVO)을 제2 기준 전압(REF2)과 제3 기준 전압(REF3)과 비교하여 그 비교 결과에 따라 제1 비교 신호(CS1) 및 제2 비교 신호(CS2)를 제공한다. 보다 상세하게는 고전압(HVO)은 제2 내지 제4 분압 저항들(111, 112, 113)에 의하여 제2 분압 전압(V2)과 제3 분압 전압(V3)으로 분압된다. 상기 제2 비교기(114)는 상기 제2 분압 전압(V2)과 상기 제2 기준 전압을 비교하여 그 비교결과에 따른 논리 레벨을 갖는 제1 비교 신호(CS1)를 제공한다. 상기 제3 비교기(115)는 상기 제3 분압 전압(V3)과 상기 제3 기준 전압을 비교하여 그 비교결과에 따른 논리 레벨을 갖는 제2 비교 신호(CS2)를 제공한다. Referring to FIG. 4, the high voltage detector 110 includes third to fifth voltage divider resistors 111, 112, and 113, a second comparator 114, and a third comparator 115. The high voltage detection unit 110 compares the high voltage HVO with the second reference voltage REF2 and the third reference voltage REF3, and according to the comparison result, the first comparison signal CS1 and the second comparison signal CS2. ). More specifically, the high voltage HVO is divided into the second divided voltage V2 and the third divided voltage V3 by the second to fourth divided resistors 111, 112, and 113. The second comparator 114 compares the second divided voltage V2 with the second reference voltage and provides a first comparison signal CS1 having a logic level according to the comparison result. The third comparator 115 compares the third divided voltage V3 with the third reference voltage and provides a second comparison signal CS2 having a logic level according to the comparison result.

고전압 감지부(110)에서는 단일 비트의 제1 비교 신호(CS1)와 제2 비교 신 호(CS2)를 제공할 수도 있고, 또한 제1 비교 신호(CS1)와 제2 비교 신호(CS2)가 결합된 2 비트의 비교 신호(CS)를 제공할 수도 있다. 예를 들어 제1 비교 신호(CS1)와 제2 비교 신호(CS2)가 결합되는 경우 고전압(HVO)의 전압 레벨이 제2 기준 전압(REF2) 이상이면 비교 신호(CS)는 "11"일 수 있다. 고전압(HVO)의 전압 레벨이 제2 기준 전압(REF2)과 제3 기준 전압(REF3) 사이이면 비교 신호(CS)는 "01"일 수 있다. 또한 고전압(HVO)의 전압 레벨이 제3 기준 전압(REF3) 이하이면 비교 신호(CS)는 "00"일 수 있다. 또한 고전압 감지부(110)에 포함되는 분압 저항들의 개수에 따라서 비교 신호는 3비트 이상일 수도 있다.The high voltage detector 110 may provide a single bit of the first comparison signal CS1 and the second comparison signal CS2, and the first comparison signal CS1 and the second comparison signal CS2 are combined. 2 bits of the comparison signal CS may be provided. For example, when the first comparison signal CS1 and the second comparison signal CS2 are combined, if the voltage level of the high voltage HVO is greater than or equal to the second reference voltage REF2, the comparison signal CS may be “11”. have. When the voltage level of the high voltage HVO is between the second reference voltage REF2 and the third reference voltage REF3, the comparison signal CS may be "01". In addition, when the voltage level of the high voltage HVO is equal to or less than the third reference voltage REF3, the comparison signal CS may be “00”. In addition, the comparison signal may be 3 bits or more depending on the number of voltage divider resistors included in the high voltage detector 110.

이하 도 2내지 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 고전압 발생회로(70)의 동작을 상세히 설명한다. Hereinafter, the operation of the high voltage generation circuit 70 according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 4.

메모리 셀 어레이(10)에 인가되는 고전압(HVO)의 전압 레벨이 제1 기준 전압(REF1)이상인 경우, 상기 고전압 레귤레이터(160)에서 제공되는 제어 신호(HV_OK)로 하이 레벨로 트랜지션된다. 상기 제어 신호(HV_OK)가 하이 레벨이 되면, 펌핑 클럭 제어부(140)는 발진기(130)로부터 제공되는 클럭 신호(CK)를 차단한다. 즉 상기 제어 신호(HV_OK)가 하이 레벨이 되면 펌핑 클럭(PCK)은 차지 펌프(150)에 공급되지 않는다. 펌핑 클럭(PCK)이 차지 펌프(150)에 공급되지 않으므로 메모리 셀 어레이(10)에 인가되는 고전압(HVO)의 전압 레벨은 일정 레벨을 유지하게 된다. When the voltage level of the high voltage HVO applied to the memory cell array 10 is greater than or equal to the first reference voltage REF1, the high voltage regulator 160 transitions to the high level with the control signal HV_OK provided by the high voltage regulator 160. When the control signal HV_OK is at a high level, the pumping clock controller 140 blocks the clock signal CK provided from the oscillator 130. That is, when the control signal HV_OK is at a high level, the pumping clock PCK is not supplied to the charge pump 150. Since the pumping clock PCK is not supplied to the charge pump 150, the voltage level of the high voltage HVO applied to the memory cell array 10 is maintained at a constant level.

메모리 셀 어레이(10)에 인가되는 고전압(HVO)의 전압 레벨은 또한 고전압 감지부(110)에서 제2 기준 전압(REF2)과 제3 기준 전압(REF3)에 기초하여 계속적으 로 감지한다. 고전압(HVO)의 전압 레벨이 제2 기준 전압(REF2) 이상이면 제2 비교기(114)에서 제공되는 제1 비교 신호(CS1)가 하이 레벨로 트랜지션된다. 하이 레벨인 제1 비교 신호(CS1)가 클럭 신호 제어부(120)에 인가되면, 클럭 신호 제어부(120)는 하이 레벨인 제1 비교 신호(CS1)에 따라 클럭 신호(CK)의 주파수를 감소시키는 클럭 제어 신호(CCS)를 발진기(130)에 제공한다. 이에 따라 발진기(130)에서는 감소된 주파수를 갖는 클럭 신호(CK)를 펌핑 클럭 제어부(140)에 제공한다. 이 때 제어 신호(HV_OK)의 논리 레벨에 따라 주파수가 감소된 펌핑 클럭 신호(PCK)가 차지 펌프(150)에 인가되거나 차단된다. 이 때 고전압 레귤레이터(160)의 제1 내 및 제2 분압 저항들(163, 164)과 고전압 감지부(110)의 제3 내지 제5 분압 저항들(111, 112, 113)의 저항값들이 모두 동일하면, 제1 분압 전압은 제2 분압 전압보다 크기가 작으므로 제어 신호(HV_OK)는 하이 레벨이 된다. 따라서 차지 펌프(150)에는 주파수가 감소된 펌핑 클럭 신호(PCK)가 인가되지 않게 된다. 그러므로 고전압(HVO)의 전압 레벨은 낮아지게 된다. The voltage level of the high voltage HVO applied to the memory cell array 10 is also continuously sensed by the high voltage detector 110 based on the second reference voltage REF2 and the third reference voltage REF3. When the voltage level of the high voltage HVO is greater than or equal to the second reference voltage REF2, the first comparison signal CS1 provided from the second comparator 114 is transitioned to a high level. When the first comparison signal CS1 having the high level is applied to the clock signal controller 120, the clock signal controller 120 decreases the frequency of the clock signal CK according to the first comparison signal CS1 having the high level. The clock control signal CCS is provided to the oscillator 130. Accordingly, the oscillator 130 provides the clock signal CK having the reduced frequency to the pumping clock controller 140. At this time, the pumping clock signal PCK whose frequency is reduced according to the logic level of the control signal HV_OK is applied to or blocked by the charge pump 150. At this time, the resistance values of the first and second voltage divider resistors 163 and 164 of the high voltage regulator 160 and the third to fifth voltage divider resistors 111, 112, and 113 of the high voltage detector 110 are all included. If the same, the first divided voltage is smaller than the second divided voltage, so that the control signal HV_OK is at a high level. Therefore, the pumping clock signal PCK having a reduced frequency is not applied to the charge pump 150. Therefore, the voltage level of the high voltage HVO is lowered.

플래쉬 메모리 셀(10)에 대한 프로그램, 읽기 및 소거 동작에 따라 고전압(HVO)의 전압 레벨이 계속 낮아지게 되어 상기 제3 기준 전압(REF3)보다 낮아지는 경우, 제3 비교기(115)에서 출력되는 제2 비교 신호(CS2)의 논리 레벨은 로우 레벨로 트랜지션 된다. 로우 레벨인 제2 비교 신호(CS2)가 클럭 신호 제어부(120)에 인가되면, 클럭 신호 제어부(120)는 로우 레벨인 제2 비교 신호(CS2)에 따라 클럭 신호(CK)의 주파수를 증가시키는 클럭 제어 신호(CCS)를 발진기(130)에 제공한다. 이에 따라 발진기(130)에서는 증가된 주파수를 갖는 클럭 신호(CK)를 펌핑 클 럭 제어부(140)에 제공한다. 이 때 제어 신호(HV_OK)의 논리 레벨에 따라 주파수가 감소된 펌핑 클럭 신호(PCK)가 차지 펌프(150)에 인가되거나 차단된다. 이 때 고전압 레귤레이터(160)의 제1 내 및 제2 분압 저항들(163, 164)과 고전압 감지부(110)의 제3 내지 제5 분압 저항들(111, 112, 113)의 저항값들이 모두 동일하면, 제1 분압 전압은 제3 분압 전압보다 크기 때문에 제어 신호(HV_OK)는 로우 레벨이 된다. 따라서 차지 펌프(150)에는 주파수가 증가된 펌핑 클럭 신호(PCK)가 인가된다. 따라서 차지 펌프(150)는 연속적인 펌핑 동작으로 고전압(HVO)의 전압 레벨을 높이게 된다. When the voltage level of the high voltage HVO continues to decrease according to the program, read, and erase operations of the flash memory cell 10 and becomes lower than the third reference voltage REF3, the output of the third comparator 115 is output. The logic level of the second comparison signal CS2 is transitioned to the low level. When the second comparison signal CS2 at the low level is applied to the clock signal controller 120, the clock signal controller 120 increases the frequency of the clock signal CK according to the second comparison signal CS2 at the low level. The clock control signal CCS is provided to the oscillator 130. Accordingly, the oscillator 130 provides a clock signal CK having an increased frequency to the pumping clock controller 140. At this time, the pumping clock signal PCK whose frequency is reduced according to the logic level of the control signal HV_OK is applied to or blocked by the charge pump 150. At this time, the resistance values of the first and second voltage divider resistors 163 and 164 of the high voltage regulator 160 and the third to fifth voltage divider resistors 111, 112, and 113 of the high voltage detector 110 are all included. If the same, the first divided voltage is greater than the third divided voltage, so that the control signal HV_OK is at a low level. Therefore, the pumping clock signal PCK having an increased frequency is applied to the charge pump 150. Therefore, the charge pump 150 increases the voltage level of the high voltage HVO by a continuous pumping operation.

이와 같이 클럭 제어 신호(CCS)에 의하여 발진기(130)에서 출력되는 클럭 신호(CK)의 주파수를 조절할 수 있는 것은 클럭 제어 신호(CCS)에 따라 발진기(130)에 포함되는 커패시터(미도시)들이 연결되거나 차단되어 발진기의 시정수를 조절할 수 있기 때문이다.As such, the frequency of the clock signal CK output from the oscillator 130 by the clock control signal CCS may be controlled by the capacitors (not shown) included in the oscillator 130 according to the clock control signal CCS. This is because the time constant of the oscillator can be adjusted by being connected or disconnected.

상기 제1 내지 제3 기준 전압들(REF1, REF2, REF3)은 필요에 따라 여러 가지로 설정될 수 있고, 상기 고전압 레귤레이터(160)의 제1 내 및 제2 분압 저항들(163, 164)과 고전압 감지부(110)의 제3 내지 제5 분압 저항들(111, 112, 113)도 필요에 따라 여러 가지로 구현될 수 있음은 본 발명의 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 이들에게 자명하다. The first to third reference voltages REF1, REF2, and REF3 may be set in various ways as necessary, and may include first and second voltage divider resistors 163 and 164 of the high voltage regulator 160. It is apparent to those skilled in the art that the third to fifth voltage dividers 111, 112, and 113 of the high voltage detector 110 may be implemented in various ways as necessary.

최초 설정된 고전압(HVO)의 전압 레벨이 공정상에서의 변화등으로 원하는 전압 레벨이 나오지 않을 수 있고, 메모리 셀 어레이(10)에 인가된느 고전압(HVO)의 전압 레벨을 최초 설정된 전압 레벨과 다른 레벨로 설정해야 하는 상황이 발생할 수 있다. 이러한 상황이 발생되면, 트림 블록(170)에서 트림 제어 신호(TCS)를 고전압 레귤레이터(160)에 인가하여 분압 저항들(163, 164)의 저항비를 변화시켜 원하는 고전압을 생성할 수도 있다. 트림 블록(170)은 외부에서 인가되는 트림 정보(trim information; TI)를 저장하고 이 트림 정보(TI)에 기초하여 트림 제어 신호(TCS)를 고전압 레귤레이터(160)에 인가한다.The voltage level of the initially set high voltage (HVO) may not be the desired voltage level due to a process change, and the voltage level of the high voltage (HVO) applied to the memory cell array 10 is different from the initially set voltage level. There may be a situation that needs to be set. When this situation occurs, the trim block 170 may apply the trim control signal TCS to the high voltage regulator 160 to change the resistance ratio of the divided resistors 163 and 164 to generate a desired high voltage. The trim block 170 stores trim information TI applied from the outside and applies the trim control signal TCS to the high voltage regulator 160 based on the trim information TI.

도 5a 내지 도 5e는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 전압 발생회로(70)의 여러 신호들을 나타내는 타이밍도이다.5A to 5E are timing diagrams illustrating various signals of the voltage generation circuit 70 of FIG. 1 according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 5a는 발진기(130)에서 출력되는 주파수가 조절되지 않은 클럭 신호(CK)를 나타낸다.5A illustrates a clock signal CK having an unadjusted frequency output from the oscillator 130.

도 5b는 고전압 레귤레이터(160)에서 출력되는 제어 신호(HV_OK)를 나타낸다. 5B illustrates a control signal HV_OK output from the high voltage regulator 160.

도 5c는 클럭 제어 신호(CCS)에 의하여 발진기(130)에서 출력되는 주파수가 증가된 클럭 신호(CK)를 나타낸다.5C illustrates a clock signal CK in which the frequency output from the oscillator 130 is increased by the clock control signal CCS.

도 5d는 클럭 신호(CK)의 주파수가 증가된 경우에 펌핑 클럭 제어부(140)에 인가되는 제어 신호(HV_OK)를 나타낸다.FIG. 5D illustrates a control signal HV_OK applied to the pumping clock controller 140 when the frequency of the clock signal CK is increased.

도 5e은 클럭 신호(CK)의 주파수가 증가된 경우에 차지 펌프(150)에 인가되는 펌핑 클럭(PCK)를 나타낸다.5E illustrates the pumping clock PCK applied to the charge pump 150 when the frequency of the clock signal CK is increased.

도 5a 내지 도 5e를 참조하면, 도 2내지 도 4를 참조하여 상술한 바와 같이 고전압(HVO)의 전압 레벨에 따라 클럭 신호(CK)의 주파수를 증가시킬 수 있는 것을 알 수 있다. 물론 도 5a 내지 도 5e에 도시되지는 않았지만, 도 2내지 도 4를 참조 하여 상술한 바와 같이 고전압(HVO)의 전압 레벨이 일정 레벨 이상으로 올라가면 클럭 신호(CK)의 주파수를 감소시킬 수도 있다.5A to 5E, it can be seen that the frequency of the clock signal CK can be increased according to the voltage level of the high voltage HVO as described above with reference to FIGS. 2 to 4. Although not shown in FIGS. 5A to 5E, as described above with reference to FIGS. 2 to 4, when the voltage level of the high voltage HVO rises above a certain level, the frequency of the clock signal CK may be decreased.

클럭 신호(CK)의 주파수를 변경시키는 것은 고전압 감지부(110)의 비교 신호 뿐만 아니라 트림 블록(170)에서 제공되는 트림 제어 신호(TI)에 의하여도 가능하다.The frequency of the clock signal CK may be changed by the trim control signal TI provided by the trim block 170 as well as the comparison signal of the high voltage detector 110.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 1의 전압 발생회로(70)의 상세한 구성을 나타내는 블록도이다.6 is a block diagram showing a detailed configuration of the voltage generation circuit 70 of FIG. 1 according to another embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 전압 발생회로(200)는 클럭 신호 제어부(220), 발진기(130), 펌핑 클럭 제어부(140) 및 차지 펌프(150), 고전압 레귤레이터(160) 및 트림 블록(170)을 포함한다. 도 6의 전압 발생 회로(200)는 고전압 감지부(110)를 포함하지 않고, 트림 제어 신호(TCS)가 고전압 레귤레이터(160) 뿐만 아니라 클럭 신호 제어부(220)에도 제공되는 것이 도 2의 전압 발생 회로(70)와 차이가 있다. Referring to FIG. 6, the voltage generation circuit 200 according to another embodiment of the present invention includes a clock signal controller 220, an oscillator 130, a pumped clock controller 140, a charge pump 150, and a high voltage regulator 160. ) And trim block 170. The voltage generation circuit 200 of FIG. 6 does not include the high voltage detector 110, and the trim control signal TCS is provided to the clock signal controller 220 as well as the high voltage regulator 160. There is a difference from the circuit 70.

이하 도 3 및 도 6을 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 전압 발생회로(200)의 동작을 상세히 설명한다. 3 and 6, the operation of the voltage generation circuit 200 according to another embodiment of the present invention will be described in detail.

트림 블록(170)은 외부에서 인가되는 트림 정보(TI)에 기초하여 트림 제어 신호(TCS)를 고전압 레귤레이터(160)와 클럭 신호 제어부(220)에 제공한다. 고전압 레귤레이터(160)는 트림 제어 신호(TCS)에 따라 제1 및 제2 분압 저항들(163, 164)의 저항비를 변경하여 제1 분압 전압(V1)의 전압 레벨을 변경한다. 클럭 신호 제어부(220)는 트림 제어 신호(TCS)를 트림 블록(170)으로부터 제공받아 트림 제어 신 호(TCS)에 따라서 클럭 제어 신호(CCS)를 발진기(130)에 제공한다. 예를 들어 트림 제어 신호(TCS)는 상기 외부에서 인가되는 트림 정보(TI)에 기초한 신호이기 때문에 및 제2 분압 저항들(163, 164)의 저항비를 변경하기 위한 정보를 포함할 수 있고, 또한 2비트 이상의 신호일 수 있다. 따라서 트림 제어 신호(TCS)의 비트별 논리 레벨에 따라서 상기 클럭 신호 제어부(220)는 발진기(130)에 클럭 제어 신호(CCS)를 제공한다. 이 클럭 제어 신호(CCS)에 따라서 발진기(130)에서는 주파수가 증가되거나 감소된 클럭 신호(CK)를 생성하여 펌핑 클럭 제어부(140)에 제공한다. 펌핑 클럭 제어부(140)는 변경된 전압 레벨을 가지는 제1 분압 전압(V1)과 제1 기준 전압(REF1)의 비교 결과에 따른 제어 신호(HV_OK)의 논리 레벨에 따라 주파수가 변경된 펌핑 클럭(PCK)을 차지 펌프(150)에 인가하여 고전압(HVO)의 전압 레벨을 높이거나 주파수가 변경된 펌핑 클럭(PCK)을 차단하여 고전압(HVO)의 전압 레벨을 낮춘다. The trim block 170 provides the trim control signal TCS to the high voltage regulator 160 and the clock signal controller 220 based on the trim information TI applied from the outside. The high voltage regulator 160 changes the voltage level of the first divided voltage V1 by changing the resistance ratio of the first and second divided resistors 163 and 164 according to the trim control signal TCS. The clock signal controller 220 receives the trim control signal TCS from the trim block 170 and provides the clock control signal CCS to the oscillator 130 according to the trim control signal TCS. For example, since the trim control signal TCS is a signal based on the trim information TI applied from the outside, the trim control signal TCS may include information for changing the resistance ratio of the second voltage divider resistors 163 and 164. It may also be a signal of two or more bits. Accordingly, the clock signal controller 220 provides the clock control signal CCS to the oscillator 130 according to the bit level logic level of the trim control signal TCS. In response to the clock control signal CCS, the oscillator 130 generates a clock signal CK having an increased or decreased frequency and provides the generated clock signal CK to the pumping clock controller 140. The pumping clock controller 140 may include a pumping clock PCK whose frequency is changed according to a logic level of the control signal HV_OK according to a result of comparing the first divided voltage V1 having the changed voltage level with the first reference voltage REF1. Is applied to the charge pump 150 to lower the voltage level of the high voltage HVO by increasing the voltage level of the high voltage HVO or blocking the pumping clock PCK whose frequency is changed.

도 2내지 도 5e를 참조하여 상술한 바와 같이 발진기(130)는 커패시터(미도시)들을 포함하여 구성되므로 클럭 제어 신호(CCS)에 따라 발진기(130)에 포함되는 커패시터(미도시)들이 연결되거나 차단되어 발진기의 시정수를 조절할 수 있어 클럭 신호(CK)의 주파수를 조절할 수 있다. As described above with reference to FIGS. 2 to 5E, the oscillator 130 includes capacitors (not shown), so that capacitors (not shown) included in the oscillator 130 may be connected according to a clock control signal CCS. It is cut off so that the time constant of the oscillator can be adjusted to adjust the frequency of the clock signal CK.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 도 1의 전압 발생회로(70)의 상세한 구성을 나타내는 블록도이다.7 is a block diagram showing a detailed configuration of the voltage generation circuit 70 of FIG. 1 according to another embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전압 발생회로(300)는 고전압 감지부(110), 클럭 신호 제어부(320), 발진기(130), 펌핑 클럭 제어부(140) 및 차지 펌프(150), 를 포함한다. 고전압 레귤레이터(160) 및 트림 블록(170)을 포함한다. 도 7의 전압 발생회로(300)는 고전압 감지부(110)와 트림 블록(170)이 각각 클럭 신호 제어부(320)에 비교 신호(CS)와 트림 제어 신호(TCS)를 제공한다는 점에서 도 2의 전압 발생회로(70)와 차이가 있고, 고전압 감지부(110)를 구비하여 클럭 신호 제어부(320)에 비교 신호(CS)를 제공한다는 점에서 도 6의 전압 발생회로(200)와 차이가 있다.Referring to FIG. 7, the voltage generation circuit 300 according to another embodiment of the present invention may include a high voltage detector 110, a clock signal controller 320, an oscillator 130, a pumping clock controller 140, and a charge pump. 150, includes. High voltage regulator 160 and trim block 170. In the voltage generation circuit 300 of FIG. 7, the high voltage detector 110 and the trim block 170 provide the comparison signal CS and the trim control signal TCS to the clock signal controller 320, respectively. 6 is different from the voltage generation circuit 70 of FIG. 6 in that the high voltage sensing unit 110 provides the comparison signal CS to the clock signal controller 320. have.

이하 도 3, 도 4 및 도 7을 참조하여 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전압 발생회로(300)의 동작을 상세히 설명한다.3, 4 and 7 will be described in detail the operation of the voltage generating circuit 300 according to another embodiment of the present invention.

트림 블록(170)은 외부에서 인가되는 트림 정보(TI)에 기초하여 트림 제어 신호(TCS)를 고전압 레귤레이터(160)와 클럭 신호 제어부(320)에 제공한다. 고전압 레귤레이터(160)는 트림 제어 신호(TCS)에 따라 제1 및 제2 분압 저항들(163, 164)의 저항비를 변경하여 제1 분압 전압(V1)의 전압 레벨을 변경한다. 클럭 신호 제어부(220)는 트림 제어 신호(TCS)를 트림 블록(170)으로부터 제공받아 트림 제어 신호(TCS)에 따라서 클럭 제어 신호(CCS)를 발진기(130)에 제공한다. 예를 들어 트림 제어 신호(TCS)는 상기 외부에서 인가되는 트림 정보(TI)에 기초한 신호이기 때문에 및 제2 분압 저항들(163, 164)의 저항비를 변경하기 위한 정보를 포함할 수 있고, 또한 2비트 이상의 신호일 수 있다. 따라서 트림 제어 신호(TCS)의 비트별 논리 레벨에 따라서 상기 클럭 신호 제어부(220)는 발진기(130)에 클럭 제어 신호(CCS)를 제공한다. 이 클럭 제어 신호(CCS)에 따라서 발진기(130)에서는 주파수가 증가되거나 감소된 클럭 신호(CK)를 생성하여 펌핑 클럭 제어부(140)에 제공한 다. 펌핑 클럭 제어부(140)는 변경된 전압 레벨을 가지는 제1 분압 전압(V1)과 제1 기준 전압(REF1)의 비교 결과에 따른 제어 신호(HV_OK)의 논리 레벨에 따라 주파수가 변경된 펌핑 클럭(PCK)을 차지 펌프(150)에 인가하여 고전압(HVO)의 전압 레벨을 높이거나 주파수가 변경된 펌핑 클럭(PCK)을 차단하여 고전압(HVO)의 전압 레벨을 낮춘다.The trim block 170 provides the trim control signal TCS to the high voltage regulator 160 and the clock signal controller 320 based on the trim information TI applied from the outside. The high voltage regulator 160 changes the voltage level of the first divided voltage V1 by changing the resistance ratio of the first and second divided resistors 163 and 164 according to the trim control signal TCS. The clock signal controller 220 receives the trim control signal TCS from the trim block 170 and provides the clock control signal CCS to the oscillator 130 according to the trim control signal TCS. For example, since the trim control signal TCS is a signal based on the trim information TI applied from the outside, the trim control signal TCS may include information for changing the resistance ratio of the second voltage divider resistors 163 and 164. It may also be a signal of two or more bits. Accordingly, the clock signal controller 220 provides the clock control signal CCS to the oscillator 130 according to the bit level logic level of the trim control signal TCS. In response to the clock control signal CCS, the oscillator 130 generates a clock signal CK having an increased or decreased frequency and provides the generated clock signal CK to the pumping clock controller 140. The pumping clock controller 140 may include a pumping clock PCK whose frequency is changed according to a logic level of the control signal HV_OK according to a result of comparing the first divided voltage V1 having the changed voltage level with the first reference voltage REF1. Is applied to the charge pump 150 to lower the voltage level of the high voltage HVO by increasing the voltage level of the high voltage HVO or blocking the pumping clock PCK whose frequency is changed.

고전압 감지부(110)는 고전압(HVO)을 제2 기준 전압(REF2)과 제3 기준 전압(REF3)과 비교하여 그 비교 결과에 따라 제1 비교 신호(CS1) 및 제2 비교 신호(CS2)를 제공한다. 상기 제1 비교 신호(CS1) 및 상기 제2 비교 신호(CS2)는 클럭 신호 제어부(320)에 인가된다. 상기 제1 비교 신호(CS1) 및 상기 제2 비교 신호(CS2)의 논리 레벨에 따라 발진기(130)에 인가되는 클럭 제어 신호(CS)에 의하여 발진기(130)에서는 주파수가 증가되거나 감소된 클럭 신호(CK)를 생성하여 펌핑 클럭 제어부(140)에 제공한다. 펌핑 클럭 제어부(140)는 변경된 전압 레벨을 가지는 제1 분압 전압(V1)과 제1 기준 전압(REF1)의 비교 결과에 따른 제어 신호(HV_OK)의 논리 레벨에 따라 주파수가 변경된 펌핑 클럭(PCK)을 차지 펌프(150)에 인가하여 고전압(HVO)의 전압 레벨을 높이거나 주파수가 변경된 펌핑 클럭(PCK)을 차단하여 고전압(HVO)의 전압 레벨을 낮춘다. The high voltage detection unit 110 compares the high voltage HVO with the second reference voltage REF2 and the third reference voltage REF3 and according to the comparison result, the first comparison signal CS1 and the second comparison signal CS2. To provide. The first comparison signal CS1 and the second comparison signal CS2 are applied to the clock signal controller 320. A clock signal whose frequency is increased or decreased in the oscillator 130 by a clock control signal CS applied to the oscillator 130 according to the logic level of the first comparison signal CS1 and the second comparison signal CS2. (CK) is generated and provided to the pumping clock controller 140. The pumping clock controller 140 may include a pumping clock PCK whose frequency is changed according to a logic level of the control signal HV_OK according to a result of comparing the first divided voltage V1 having the changed voltage level with the first reference voltage REF1. Is applied to the charge pump 150 to lower the voltage level of the high voltage HVO by increasing the voltage level of the high voltage HVO or blocking the pumping clock PCK whose frequency is changed.

즉 본 발명의 제3 실시예에 따른 전압 발생회로(300)는 고전압 감지회로(110)회로에서 제공되는 비교 신호(CS)와 트림 블록(170)에서 제공되는 트림 제어 신호(TCS)를 이용하여 클럭 신호(CK)의 주파수를 각각 조절할 수 있다. 이 경우에 클럭 신호(CK)의 주파수를 큰 폭으로 조절하는 경우, 즉 초기에 설정된 고전압 의 전압 레벨을 큰 폭으로 높이거나 낮추는 경우에는 트림 블록(170)에서 제공되는 트림 제어 신호(TCS)를 이용할 수 있다. 또한 클럭 신호(CK)의 주파수를 작은 폭으로 조절하는 경우, 즉 초기에 설정된 고전압의 전압 레벨을 작은 폭으로 높이거나 낮추는 경우에는 고전압 감지부(110)에서 제공되는 비교 신호(CS 또는 CS1, CS2)를 이용할 수 있다. 무론, 트림 제어 신호(TCS)와 비교 신호(CS)를 동시에 이용하여 고전압(HVO)의 전압 레벨을 원하는 레벨로 조정할 수도 있다.That is, the voltage generation circuit 300 according to the third embodiment of the present invention uses the comparison signal CS provided from the high voltage detection circuit 110 and the trim control signal TCS provided from the trim block 170. The frequency of the clock signal CK may be adjusted respectively. In this case, when the frequency of the clock signal CK is largely adjusted, that is, when the voltage level of the initially set high voltage is largely increased or decreased, the trim control signal TCS provided from the trim block 170 is increased. It is available. In addition, when the frequency of the clock signal CK is adjusted to a small width, that is, when the voltage level of the initially set high voltage is increased or decreased to a small width, the comparison signals CS or CS1 and CS2 provided by the high voltage detection unit 110 are provided. ) Can be used. Of course, the trim control signal TCS and the comparison signal CS may be simultaneously used to adjust the voltage level of the high voltage HVO to a desired level.

도 2내지 도 6을 참조하여 상술한 바와 같이 발진기(130)는 커패시터(미도시)들을 포함하여 구성되므로 클럭 제어 신호(CCS)에 따라 발진기(130)에 포함되는 커패시터(미도시)들이 연결되거나 차단되어 발진기의 시정수를 조절할 수 있어 클럭 신호(CK)의 주파수를 조절할 수 있다.As described above with reference to FIGS. 2 to 6, since the oscillator 130 includes capacitors (not shown), capacitors (not shown) included in the oscillator 130 may be connected according to a clock control signal CCS. It is cut off so that the time constant of the oscillator can be adjusted to adjust the frequency of the clock signal CK.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 발진기(130)의 구성을 나타낸다. 발진기(130)는 복수의 지연 소자들(131, 132, 133)과 복수의 저항들(R1, R2, R3) 및 복수의 커패시터들(C1, C2, C3) 및 복수의 스위치들(S1, S2, S3)을 포함한다. 클럭 신호 제어부(320)에 인가되는 비교신호(CS), 또는 트림 제어 신호(TCS) 또는 비교 신호(CS) 및 트림 제어 신호(TCS)에 따라 복수의 스위치들(S1, S2, S3)을에 인가되는 클럭 제어 신호(CCS)에 의하여 복수의 커패시터들(C1, C2, C3)이 선택적으로 연결되어 발진기의 시정수가 달라져서 클럭 신호(CK)의 주파수를 변경시킬 수 있게 된다.8 shows a configuration of an oscillator 130 according to an embodiment of the present invention. The oscillator 130 includes a plurality of delay elements 131, 132, and 133, a plurality of resistors R1, R2, and R3, a plurality of capacitors C1, C2, and C3, and a plurality of switches S1 and S2. , S3). The plurality of switches S1, S2, and S3 are connected to the comparison signal CS or the trim control signal TCS or the comparison signal CS and the trim control signal TCS applied to the clock signal controller 320. A plurality of capacitors C1, C2, and C3 are selectively connected by the applied clock control signal CCS to change the time constant of the oscillator so that the frequency of the clock signal CK can be changed.

이상에서 본 발명의 실시예들에 따른 회로의 구성 및 동작을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하다. 그리고 본 발명 의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다. 예를 들어, 이상에서는 NOR 타입의 플래쉬 메모리에 구비된 전압 발생회로의 구성을 예로 들어 설명하고 있으나. 이는 본 발명이 적용되는 일 실시예에 불과하다. 그러므로 복수의 고전압들을 안정되게 발생하는 것을 필요로 하는 메모리 장치이기만 하면, 본 발명에 따른 전압발생회로는 NAND 타입의 플래시 메모리 장치는 물론, 다양한 종류의 불휘발성 메모리 장치들, 예를 들면, MROM(MASK ROM), PROM(programmable ROM), EPROM(erasable and programmable ROM), EEPROM(electrically erasable and programmable ROM)에도 모두 적용 가능하다.Although the configuration and operation of the circuit according to the embodiments of the present invention have been described above with reference to the above description and drawings, this is merely an example. And various changes and modifications are possible without departing from the technical spirit of the present invention. For example, the configuration of the voltage generation circuit provided in the NOR type flash memory is described as an example. This is just one embodiment to which the present invention is applied. Therefore, as long as it is a memory device that needs to stably generate a plurality of high voltages, the voltage generation circuit according to the present invention is not only a NAND type flash memory device but also various kinds of nonvolatile memory devices, for example, MROM ( MASK ROM (PROM), programmable ROM (PROM), erasable and programmable ROM (EPROM), and electrically erasable and programmable ROM (EEPROM) are all applicable.

본 발명에 따르면, 플래쉬 메모리에 저장된 데이터를 프로그램, 소거 및 읽어내는데 필요한 복수의 고전압들을 안정되게 공급할 수 있고, 고전압의 레벨을 변경하고자 하는 경우 메탈 옵션이나 레이져 퓨즈 등의 추가적인 작업을 거치지 않으므로 효율성을 높이고, 외부의 작업 및 테스트 시간을 단축시킬 수 있어 고전압이 필요한 불휘발성 메모리 장치에 적용가능하다.According to the present invention, it is possible to stably supply a plurality of high voltages necessary for programming, erasing and reading data stored in the flash memory, and to change the level of the high voltage, it is not necessary to perform additional operations such as metal options or laser fuses. It can be applied to a nonvolatile memory device that requires high voltage because it can reduce external work and test time.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, the present invention has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, but those skilled in the art may vary the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. It will be understood that modifications and changes can be made.

도 1은 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치의 전체 구성을 보여주는 블록도이다. 1 is a block diagram showing the overall configuration of a flash memory device according to the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 전압 발생회로(70)의 상세 구성을 나타내는 블록도이다.2 is a block diagram illustrating a detailed configuration of the voltage generation circuit 70 of FIG. 1 according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 2의 고전압 레귤레이터의 상세 구성을 나타내는 회로도이다.3 is a circuit diagram illustrating a detailed configuration of the high voltage regulator of FIG. 2 according to an embodiment of the present invention.

도 4은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 고전압 감지부의 상세한 구성을 나타내는 회로도이다.4 is a circuit diagram illustrating a detailed configuration of the high voltage detector of FIG. 1 according to an embodiment of the present invention.

도 5a 내지 도 5e는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 전압 발생회로의 여러 신호들을 나타내는 타이밍도이다.5A through 5E are timing diagrams illustrating various signals of the voltage generation circuit of FIG. 1, according to an exemplary embodiment.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 1의 전압 발생회로의 상세한 구성을 나타내는 블록도이다.6 is a block diagram illustrating a detailed configuration of the voltage generation circuit of FIG. 1 according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 도 1의 전압 발생회로의 상세한 구성을 나타내는 블록도이다.7 is a block diagram illustrating a detailed configuration of the voltage generation circuit of FIG. 1 according to another embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 발진기의 구성을 나타내는 회로도이다.8 is a circuit diagram showing the configuration of an oscillator according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 설명>Description of the main parts of the drawing

110: 고전압 감지부 120, 220, 320: 클럭 신호 제어부110: high voltage detection unit 120, 220, 320: clock signal control unit

130; 발진기 140; 펌핑 클럭 제어부130; Oscillator 140; Pumping clock control

150; 차지 펌프 160; 고전압 레귤레이터150; Charge pump 160; High voltage regulator

170; 트림 블록170; Trim block

Claims (20)

메모리 셀 어레이로 인가되는 고전압을 적어도 하나 이상의 기준 전압과 비교하여 적어도 하나 이상의 비교 신호를 제공하는 고전압 감지부;A high voltage detector configured to compare the high voltage applied to the memory cell array with at least one reference voltage to provide at least one comparison signal; 상기 적어도 하나 이상의 비교 신호에 응답하여 클럭 신호의 주파수를 변경시키기 위한 클럭 제어 신호를 제공하는 클럭 신호 제어부; A clock signal controller configured to provide a clock control signal for changing a frequency of a clock signal in response to the at least one comparison signal; 상기 클럭 제어 신호에 따라 주파수가 변하는 상기 클럭 신호를 생성하는 발진기; An oscillator for generating the clock signal whose frequency varies in accordance with the clock control signal; 상기 고전압이 일정한 레벨 이상임을 나타내는 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호를 차단하거나 통과시켜 펌핑 클럭을 제공하는 펌핑 클럭 제어부; 및A pumping clock controller which provides a pumping clock by blocking or passing the clock signal in response to a control signal indicating that the high voltage is above a predetermined level; And 상기 펌핑 클럭이 인가되는 동안 연속적으로 펌핑하여 상기 고전압을 발생시키는 차지 펌프를 포함하는 플래쉬 메모리 장치의 고전압 발생회로. And a charge pump that pumps continuously while the pumping clock is applied to generate the high voltage. 제1항에 있어서, 상기 고전압을 적어도 두 개 이상의 저항들을 이용하여 분압한 전압을 제1 기준 전압과 비교하여 그 결과에 따라 선택적으로 활성화되는 상기 제어 신호를 제공하는 고전압 레귤레이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치의 고전압 발생회로.2. The high voltage regulator of claim 1, further comprising a high voltage regulator configured to compare the voltage divided by the at least two resistors with a first reference voltage and provide the control signal selectively activated according to the result. A high voltage generation circuit of a flash memory device. 제2항에 있어서, 상기 고전압의 전압 레벨을 변경할 필요가 있을 경우 외부에서 인가되는 트림 정보에 따라 상기 분압한 전압을 조정하기 위한 트림 제어 신 호를 제공하는 트림 블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치의 고전압 발생회로. The trim block of claim 2, further comprising a trim block for providing a trim control signal for adjusting the divided voltage according to trim information applied from the outside when it is necessary to change the voltage level of the high voltage. High voltage generation circuit of flash memory device. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 기준 전압은 제2 기준 전압과 상기 제2 기준 전압보다 전압 레벨이 낮은 제3 기준 전압을 포함하는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치의 고전압 발생회로. The high voltage generating circuit of claim 1, wherein the at least one reference voltage comprises a second reference voltage and a third reference voltage having a lower voltage level than the second reference voltage. 제4항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 비교 신호는 제1 비교 신호와 제2 비교 신호를 포함하고, 상기 고전압의 전압 레벨이 상기 제2 기준 전압의 전압 레벨보다 높은 경우에는 상기 제1 비교 신호가 상기 클럭 제어 신호부에 인가되고, 상기 클럭 제어 신호에 따라 상기 클럭 신호의 주파수가 증가되는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치의 고전압 발생회로. The method of claim 4, wherein the at least one comparison signal comprises a first comparison signal and a second comparison signal, and when the voltage level of the high voltage is higher than the voltage level of the second reference voltage, The high voltage generation circuit of the flash memory device, characterized in that applied to the clock control signal portion, the frequency of the clock signal is increased in accordance with the clock control signal. 제5항에 있어서, 상기 고전압의 전압 레벨이 상기 제2 기준 전압의 전압 레벨보다 낮은 경우에는, 상기 제2 비교 신호가 상기 클럭 신호 제어부에 인가되고, 상기 클럭 제어 신호에 따라 상기 클럭 신호의 주파수가 감소되는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치의 고전압 발생회로.6. The method of claim 5, wherein when the voltage level of the high voltage is lower than the voltage level of the second reference voltage, the second comparison signal is applied to the clock signal controller, and the frequency of the clock signal according to the clock control signal. The high voltage generating circuit of the flash memory device, characterized in that is reduced. 메모리 셀 어레이로 인가되는 고전압을 분압한 분압 전압을 기준 전압과 비교하여 그 결과에 따라 선택적으로 활성화되는 제어 신호를 제공하는 고전압 레귤 레이터;A high voltage regulator for comparing the divided voltage obtained by dividing the high voltage applied to the memory cell array with a reference voltage and providing a control signal selectively activated according to the result; 상기 고전압의 전압 레벨을 변경할 필요가 있을 경우, 외부에서 인가되는 트림 정보에 응답하여 트림 제어 신호를 제공하는 트림 블록;A trim block configured to provide a trim control signal in response to trim information applied from the outside when it is necessary to change the voltage level of the high voltage; 상기 트림 제어 신호에 응답하여 클럭 신호의 주파수를 변동시키기 위한 클럭 제어 신호를 제공하는 클럭 신호 제어부;A clock signal controller configured to provide a clock control signal for varying a frequency of a clock signal in response to the trim control signal; 상기 클럭 제어 신호에 따라 주파수가 변하는 상기 클럭 신호를 생성하는 발진기;An oscillator for generating the clock signal whose frequency varies in accordance with the clock control signal; 상기 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호를 차단하거나 통과시켜 펌핑 클럭을 제공하는 펌핑 클럭 제어부; 및 A pumping clock controller which provides a pumping clock by blocking or passing the clock signal in response to the control signal; And 상기 펌핑 클럭이 인가되는 동안 연속적으로 펌핑하여 상기 고전압을 발생시키는 차지 펌프를 포함하는 플래쉬 메모리 장치의 고전압 발생회로.And a charge pump that pumps continuously while the pumping clock is applied to generate the high voltage. 제7항에 있어서, 상기 제어 신호는 상기 고전압의 전압 레벨이 상기 기준 전압의 전압 레벨보다 높으면 활성화되고, 상기 제어 신호가 활성화되면 상기 펌핑 클럭 제어부는 상기 클럭 신호를 차단하는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치의 고전압 발생회로.The flash memory of claim 7, wherein the control signal is activated when the voltage level of the high voltage is higher than the voltage level of the reference voltage, and the pumping clock controller blocks the clock signal when the control signal is activated. High voltage generator circuit of the device. 제7항에 있어서, 상기 제어 신호는 상기 고전압의 전압 레벨이 상기 기준 전압의 전압 레벨보다 낮으면 비활성화되고, 상기 제어 신호가 비활성화되면 상기 펌핑 클럭 제어부는 상기 클럭 신호를 통과시키는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치의 고전압 발생회로.The flash signal of claim 7, wherein the control signal is deactivated when the voltage level of the high voltage is lower than the voltage level of the reference voltage, and the pumping clock controller passes the clock signal when the control signal is deactivated. High voltage generation circuit of memory device. 제7항에 있어서, 상기 고전압의 전압 레벨을 높여야 하는 경우 상기 트림 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호 제어부는 상기 클럭 신호의 주파수를 증가되도록 상기 발진기를 제어하는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치의 고전압 발생회로.The high voltage generation of the flash memory device as claimed in claim 7, wherein when the voltage level of the high voltage needs to be increased, the clock signal controller controls the oscillator to increase the frequency of the clock signal in response to the trim control signal. Circuit. 제7항에 있어서, 상기 고전압의 전압 레벨을 낮춰야 하는 경우 상기 트림 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호 제어부는 상기 클럭 신호의 주파수를 감소되도록 상기 발진기를 제어하는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치의 고전압 발생회로.The high voltage generation of the flash memory device as claimed in claim 7, wherein the clock signal controller controls the oscillator to decrease the frequency of the clock signal in response to the trim control signal when the voltage level of the high voltage needs to be lowered. Circuit. 메모리 셀 어레이로 인가되는 고전압을 적어도 하나 이상의 기준 전압과 비교하여 적어도 하나 이상의 비교 신호를 제공하는 고전압 감지부;A high voltage detector configured to compare the high voltage applied to the memory cell array with at least one reference voltage to provide at least one comparison signal; 상기 고전압을 분압한 분압 전압을 제1 기준 전압과 비교하여 그 결과에 따라 선택적으로 활성화되는 제어 신호를 제공하는 고전압 레귤레이터;A high voltage regulator for comparing the divided voltage obtained by dividing the high voltage with a first reference voltage and providing a control signal selectively activated according to the result; 상기 고전압의 전압 레벨을 변경할 필요가 있을 경우 외부에서 인가되는 트림 정보에 응답하여 트림 제어 신호를 제공하는 트림 블록;A trim block which provides a trim control signal in response to trim information applied from the outside when it is necessary to change the voltage level of the high voltage; 상기 트림 제어 신호 또는 상기 적어도 하나 이상의 비교 신호 또는 상기 트림 제어 신호 및 상기 적어도 하나 이상의 비교 신호에 응답하여 클럭 신호의 주 파수를 변동시키는 클럭 제어 신호를 제공하는 클럭 신호 제어부; A clock signal controller providing a clock control signal for varying a frequency of a clock signal in response to the trim control signal or the at least one comparison signal or the trim control signal and the at least one comparison signal; 상기 클럭 제어 신호에 따라 주파수가 변하는 상기 클럭 신호를 생성하는 발진기;An oscillator for generating the clock signal whose frequency varies in accordance with the clock control signal; 상기 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호를 차단하거나 통과시켜 펌핑 클럭을 제공하는 펌핑 클럭 제어부; 및A pumping clock controller which provides a pumping clock by blocking or passing the clock signal in response to the control signal; And 상기 펌핑 클럭이 인가되는 동안 연속적으로 펌핑하여 상기 고전압을 발생시키는 차지 펌프를 포함하는 플래쉬 메모리 장치의 고전압 발생회로.And a charge pump that pumps continuously while the pumping clock is applied to generate the high voltage. 제12항에 있어서, 상기 고전압의 전압 레벨을 높여야 하는 경우 상기 트림 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호 제어부는 상기 클럭 신호의 주파수를 증가되도록 상기 발진기를 제어하는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치의 고전압 발생회로.The high voltage generation of the flash memory device as claimed in claim 12, wherein when the voltage level of the high voltage needs to be increased, the clock signal controller controls the oscillator to increase the frequency of the clock signal in response to the trim control signal. Circuit. 제12항에 있어서, 상기 고전압의 전압 레벨을 낮춰야 하는 경우 상기 트림 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호 제어부는 상기 클럭 신호의 주파수를 감소되도록 상기 발진기를 제어하는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치의 고전압 발생회로.The high voltage generation of the flash memory device as claimed in claim 12, wherein when the voltage level of the high voltage needs to be lowered, the clock signal controller controls the oscillator to decrease the frequency of the clock signal in response to the trim control signal. Circuit. 제12항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 기준 전압은 제2 기준 전압과 상기 제2 기준 전압보다 전압 레벨이 낮은 제3 기준 전압을 포함하고, 상기 적어도 하나 이상의 비교 신호는 제1 비교 신호와 제2 비교 신호를 포함하고, 상기 고전압의 전압 레벨이 상기 제2 기준 전압의 전압 레벨보다 높은 경우에는 상기 제1 비교 신호가 상기 클럭 제어 신호부에 인가되고, 상기 클럭 제어 신호에 따라 상기 클럭 신호의 주파수가 증가되는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치의 고전압 발생회로.The method of claim 12, wherein the at least one reference voltage includes a second reference voltage and a third reference voltage having a lower voltage level than the second reference voltage, wherein the at least one comparison signal includes a first comparison signal and a second comparison voltage. And a comparison signal, wherein the first comparison signal is applied to the clock control signal part when the voltage level of the high voltage is higher than the voltage level of the second reference voltage, and according to the clock control signal, the frequency of the clock signal. The high voltage generating circuit of the flash memory device, characterized in that is increased. 제12항에 있어서, 상기 고전압의 전압 레벨이 상기 제2 기준 전압의 전압 레벨보다 낮은 경우에는, 상기 제2 비교 신호가 상기 클럭 신호 제어부에 인가되고, 상기 클럭 제어 신호에 따라 상기 클럭 신호의 주파수가 감소되는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치의 고전압 발생회로. 13. The method of claim 12, wherein when the voltage level of the high voltage is lower than the voltage level of the second reference voltage, the second comparison signal is applied to the clock signal controller, and the frequency of the clock signal according to the clock control signal. The high voltage generating circuit of the flash memory device, characterized in that is reduced. 복수의 메모리 셀들로 구성된 메모리 셀 어레이;A memory cell array consisting of a plurality of memory cells; 동작 모드에 따라 상기 메모리 셀 어레이로 인가될 복수의 고전압들을 생성하는 고전압 발생회로; 및 A high voltage generation circuit generating a plurality of high voltages to be applied to the memory cell array in accordance with an operation mode; And 상기 복수의 고전압들 중 하나를 선택하여 상기 메모리 셀 어레이로 인가하는 선택 회로를 포함하며,A selection circuit for selecting one of the plurality of high voltages and applying the selected voltage to the memory cell array; 상기 고전압 발생회로는 상기 동작 모드에 따라 상기 메모리 셀 어레이로 인가되는 고전압들의 전압 레벨을 하나 이상의 기준 전압과 비교한 결과에 따라 상기 고전압들을 발생시키기 위한 클럭 신호의 주파수를 변경하여 상기 고전압들의 전압 레벨을 변경하는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치. The high voltage generation circuit changes the frequency of a clock signal for generating the high voltages according to a result of comparing the voltage levels of the high voltages applied to the memory cell array with one or more reference voltages according to the operation mode, thereby changing the voltage levels of the high voltages. Flash memory device, characterized in that for changing. 제17항에 있어서, 상기 고전압 발생회로는,The method of claim 17, wherein the high voltage generating circuit, 상기 고전압을 분압한 분압 전압을 상기 적어도 하나 이상의 기준 전압 중 제1 기준 전압과 비교하여 그 결과에 따라 선택적으로 활성화되는 제어 신호를 제공하는 고전압 레귤레이터;A high voltage regulator which compares the divided voltage obtained by dividing the high voltage with a first reference voltage of the at least one reference voltage and provides a control signal selectively activated according to the result; 상기 고전압을 상기 적어도 하나 이상의 기준 전압 중 제2 기준 전압 및 제3 기준 전압과 비교하여 그 비교 결과에 따라 제1 비교 신호 및 제2 비교 신호를 제공하는 고전압 감지부;A high voltage detector comparing the high voltage with a second reference voltage and a third reference voltage among the at least one reference voltage and providing a first comparison signal and a second comparison signal according to a result of the comparison; 상기 제1 비교 신호 및 상기 제2 비교 신호에 응답하여 상기 클럭 신호의 주파수를 변경시키는 클럭 제어 신호를 제공하는 클럭 신호 제어부;A clock signal controller configured to provide a clock control signal for changing a frequency of the clock signal in response to the first comparison signal and the second comparison signal; 상기 클럭 제어 신호에 따라 주파수가 변하는 상기 클럭 신호를 생성하는 발진기;An oscillator for generating the clock signal whose frequency varies in accordance with the clock control signal; 상기 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호를 차단하거나 통과시켜 펌핑 클럭을 제공하는 펌핑 클럭 제어부; 및A pumping clock controller which provides a pumping clock by blocking or passing the clock signal in response to the control signal; And 상기 펌핑 클럭이 인가되는 동안 연속적으로 펌핑하여 상기 고전압을 발생시키는 차지 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치. And a charge pump that pumps continuously while the pumping clock is applied to generate the high voltage. 제17항에 있어서, 상기 고전압 발생회로는,The method of claim 17, wherein the high voltage generating circuit, 상기 고전압을 분압한 분압 전압을 상기 적어도 하나 이상의 기준 전압 중 제1 기준 전압과 비교하여 그 결과에 따라 선택적으로 활성화되는 제어 신호를 제 공하는 고전압 레귤레이터;A high voltage regulator for comparing the divided voltage obtained by dividing the high voltage with a first reference voltage among the at least one reference voltage, and providing a control signal selectively activated according to the result; 상기 고전압의 전압 레벨을 변경할 필요가 있을 경우, 외부에서 인가되는 트림 정보에 응답하여 트림 제어 신호를 제공하는 트림 블록; A trim block configured to provide a trim control signal in response to trim information applied from the outside when it is necessary to change the voltage level of the high voltage; 상기 트림 제어 신호 또는 상기 적어도 하나 이상의 비교 신호 또는 상기 트림 제어 신호 및 상기 적어도 하나 이상의 비교 신호에 응답하여 상기 클럭 신호의 주파수를 변동시키는 클럭 제어 신호를 제공하는 클럭 신호 제어부; A clock signal controller providing a clock control signal for varying a frequency of the clock signal in response to the trim control signal or the at least one comparison signal or the trim control signal and the at least one comparison signal; 상기 클럭 제어 신호에 따라 주파수가 변하는 상기 클럭 신호를 생성하는 발진기;An oscillator for generating the clock signal whose frequency varies in accordance with the clock control signal; 상기 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호를 차단하거나 통과시켜 펌핑 클럭을 제공하는 펌핑 클럭 제어부; 및A pumping clock controller which provides a pumping clock by blocking or passing the clock signal in response to the control signal; And 상기 펌핑 클럭이 인가되는 동안 연속적으로 펌핑하여 상기 고전압을 발생시키는 차지 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치.And a charge pump that pumps continuously while the pumping clock is applied to generate the high voltage. 제17항에 있어서, 상기 고전압 발생 회로는,The method of claim 17, wherein the high voltage generation circuit, 상기 고전압을 상기 적어도 하나 이상의 기준 전압 중 제2 기준 전압 및 제3 기준 전압과 비교하여 그 비교 결과에 따라 제1 비교 신호 및 제2 비교 신호를 제공하는 고전압 감지부;A high voltage detector comparing the high voltage with a second reference voltage and a third reference voltage among the at least one reference voltage and providing a first comparison signal and a second comparison signal according to a result of the comparison; 상기 고전압을 분압한 분압 전압을 상기 적어도 하나 이상의 기준 전압 중 제1 기준 전압과 비교하여 그 결과에 따라 선택적으로 활성화되는 제어 신호를 제공하는 고전압 레귤레이터;A high voltage regulator which compares the divided voltage obtained by dividing the high voltage with a first reference voltage of the at least one reference voltage and provides a control signal selectively activated according to the result; 상기 고전압의 전압 레벨을 변경할 필요가 있을 경우, 외부에서 인가되는 트림 정보에 응답하여 트림 제어 신호를 제공하는 트림 블록; A trim block configured to provide a trim control signal in response to trim information applied from the outside when it is necessary to change the voltage level of the high voltage; 상기 트림 제어 신호 또는 상기 적어도 하나 이상의 비교 신호 또는 상기 트림 제어 신호 및 상기 적어도 하나 이상의 비교 신호에 응답하여 상기 클럭 신호의 주파수를 변동시키는 클럭 제어 신호를 제공하는 클럭 신호 제어부; A clock signal controller providing a clock control signal for varying a frequency of the clock signal in response to the trim control signal or the at least one comparison signal or the trim control signal and the at least one comparison signal; 상기 클럭 제어 신호에 따라 주파수가 변하는 상기 클럭 신호를 생성하는 발진기;An oscillator for generating the clock signal whose frequency varies in accordance with the clock control signal; 상기 제어 신호에 응답하여 상기 클럭 신호를 차단하거나 통과시켜 펌핑 클럭을 제공하는 펌핑 클럭 제어부; 및A pumping clock controller which provides a pumping clock by blocking or passing the clock signal in response to the control signal; And 상기 펌핑 클럭이 인가되는 동안 연속적으로 펌핑하여 상기 고전압을 발생시키는 차지 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 장치.And a charge pump that pumps continuously while the pumping clock is applied to generate the high voltage.
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