KR20090104088A - Cubic magnesium oxide powder and method for producing the same - Google Patents

Cubic magnesium oxide powder and method for producing the same Download PDF

Info

Publication number
KR20090104088A
KR20090104088A KR1020097016041A KR20097016041A KR20090104088A KR 20090104088 A KR20090104088 A KR 20090104088A KR 1020097016041 A KR1020097016041 A KR 1020097016041A KR 20097016041 A KR20097016041 A KR 20097016041A KR 20090104088 A KR20090104088 A KR 20090104088A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
magnesium oxide
oxide powder
cubic
precursor
magnesium
Prior art date
Application number
KR1020097016041A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101173728B1 (en
Inventor
요시히사 오사키
아쯔야 가와세
마사아키 쿠니시게
Original Assignee
다테호 가가쿠 고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 다테호 가가쿠 고교 가부시키가이샤 filed Critical 다테호 가가쿠 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20090104088A publication Critical patent/KR20090104088A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101173728B1 publication Critical patent/KR101173728B1/en

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01FCOMPOUNDS OF THE METALS BERYLLIUM, MAGNESIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARIUM, RADIUM, THORIUM, OR OF THE RARE-EARTH METALS
    • C01F5/00Compounds of magnesium
    • C01F5/02Magnesia
    • C01F5/06Magnesia by thermal decomposition of magnesium compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01FCOMPOUNDS OF THE METALS BERYLLIUM, MAGNESIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARIUM, RADIUM, THORIUM, OR OF THE RARE-EARTH METALS
    • C01F5/00Compounds of magnesium
    • C01F5/02Magnesia
    • C01F5/06Magnesia by thermal decomposition of magnesium compounds
    • C01F5/08Magnesia by thermal decomposition of magnesium compounds by calcining magnesium hydroxide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00Particle morphology
    • C01P2004/01Particle morphology depicted by an image
    • C01P2004/03Particle morphology depicted by an image obtained by SEM
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00Particle morphology
    • C01P2004/30Particle morphology extending in three dimensions
    • C01P2004/38Particle morphology extending in three dimensions cube-like
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00Particle morphology
    • C01P2004/60Particles characterised by their size
    • C01P2004/61Micrometer sized, i.e. from 1-100 micrometer
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/12Surface area
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/80Compositional purity

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geology (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)

Abstract

Disclosed is a magnesium oxide powder having a cubic shape and a large average particle diameter. Also disclosed is a method for producing such a magnesium oxide powder. Specifically disclosed is a magnesium oxide powder whose particles have a cubic shape when observed with a scanning electron microscope. This magnesium oxide powder has a 50% cumulative particle diameter (D50), as determined by a laser diffraction/scattering particle size distribution measuring method, of not less than 1.0 μm. This powder can be obtained by firing a magnesium oxide precursor in the presence of 0.5-30% by mass of a halide ion relative to the total mass of the precursor in a closed system.

Description

입방체상 산화마그네슘 분말 및 그 제조방법{CUBIC MAGNESIUM OXIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME}Cubic Magnesium Oxide Powder and Manufacturing Method Thereof {CUBIC MAGNESIUM OXIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME}

본 발명은, 입방체상 산화마그네슘 분말 및 그 제조방법에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to a cube-shaped magnesium oxide powder and its manufacturing method.

산화마그네슘(마그네시아)은, 내화물 외에 각종 첨가제나 전자부품 용도, 형광체 원료, 각종 타겟(target)재 원료, 초전도박막 기초용 원료, 터널자기저항소자(tunneling magnetoresistive(TMR) 소자)용 터널장벽 원료, 칼라 플라즈마디스플레이패널(plasma display panel: PDP)용 보호막 원료나, 더욱이 플라즈마디스플레이패널(PDP)용 결정 산화마그네슘층의 원료로도 이용되어 매우 광범위한 용도를 갖는 무기재료로서 주목받고 있다.Magnesium oxide is used for various additives, electronic parts, fluorescent material, target material, superconducting film base material, tunneling magnetoresistive (TMR) element as well as refractory material, It is used as a raw material for a protective film material for a plasma display panel (PDP) and a crystalline magnesium oxide layer for a plasma display panel (PDP), and attracts attention as an inorganic material having a very wide range of uses.

예를 들면, 플라즈마디스플레이패널(PDP)용 결정 산화마그네슘층을 형성하기 위한 원료인 산화마그네슘으로는, 1차 입자의 형상이 입방체상인 고순도 결정 분말이며, 각 결정의 입경이 크고, 더욱이 입도분포가 좁고, 분산성이 우수한 결정 분말이 요구되고 있다.For example, magnesium oxide, which is a raw material for forming a crystal magnesium oxide layer for a plasma display panel (PDP), is a high-purity crystal powder in which the shape of primary particles is cubic, the grain size of each crystal is large, and the particle size distribution is further increased. Narrow, excellent crystal powder is desired.

산화마그네슘 분말의 제조방법으로는, 주로, (1)금속마그네슘의 산화에 의한 기상법(氣相法), (2)수산화산화마그네슘이나 탄산마그네슘 등의 전구체를, 열분해온도 이상의 온도에서 소성함에 의한 열분해법, 및 (3)전융법(電融法)에 의해 얻어진 덩어리를 분쇄하는 방법이 알려져 있다.As a manufacturing method of magnesium oxide powder, mainly the (1) gas phase method by oxidation of magnesium metal, (2) pyrolysis by baking precursors, such as magnesium hydroxide and magnesium carbonate, at the temperature more than pyrolysis temperature, The method and (3) the method of grind | pulverizing the lump obtained by the fusion method are known.

기상법에서는, 고순도 입방체상인 산화마그네슘 분말을 얻을 수 있지만 그 입경은 1㎛ 미만에 머물고 있다(특허문헌1 및 비특허문헌1 참조). 덧붙여, 결정표면에 다수의 미립자가 부착되어 있어 표면이 청정하지 않은 문제와, 입방체상 입자와 비입방체상 미립자가 혼재되어 있어 입방체상 입자만으로 이루어지는 단분산(單分散) 분말이 아닌 문제가 있었다.In the gas phase method, a high-purity cubic magnesium oxide powder can be obtained, but the particle diameter is less than 1 µm (see Patent Document 1 and Non-Patent Document 1). In addition, a large number of fine particles adhered to the crystal surface and the surface was not clean, and there was a problem in that the cubic particles and the non-cubic fine particles were mixed and not a monodisperse powder composed only of the cubic particles.

보다 생산성이 우수한 열분해법으로 제조된 산화마그네슘 분말은, 결정입자의 귀퉁이 또는 모서리가 둥근 모양을 띤 다각형 형상을 갖는 것이어서, 또한 큰 입자를 얻기 어렵다. 이 때문에 대기 중의 탄산가스와 수분 등을 흡착하여, 이것이 산화마그네슘 고유의 특성 발휘를 저해하는 경우가 있었다. 더욱이 대부분의 경우, 입자가 서로 응집하여서 분산성이 나쁜 분말밖에 얻어지지 않았다.Magnesium oxide powder produced by more efficient pyrolysis method has a polygonal shape with rounded corners or corners of crystal grains, and thus it is difficult to obtain large particles. For this reason, carbon dioxide gas, water | moisture content, etc. in air | atmosphere are made to adsorb | suck, and this may hinder the performance of the characteristic inherent in magnesium oxide. Furthermore, in most cases, only particles having poor dispersibility due to agglomeration of the particles with each other were obtained.

이상의 열분해법에 있어서의 결점을 극복하기 위하여, 특허문헌2에서는, 산화마그네슘 전구체 또는 산화마그네슘에 염화물 이온을 혼합한 후 소성하는 방법, 및 염화마그네슘 수용액과 염기성 침전제 용액을 혼합한 후 세정하지 않고 여과하여 소성하는 방법이 기재되어 있다. 해당 문헌의 실시예에서는 상기 소성을 산소기류 내에서 실시하는 것이 기재되어 있다. 이로써 얻어질 수 있는 산화마그네슘 결정은 입방체상이지만 그 입경으로는 불과 0.2㎛ 정도의 것이고, 입자가 서로 응집해 있는 것밖에 얻어지지 않았다(해당 문헌의 도 2(A)).In order to overcome the drawbacks in the above pyrolysis method, Patent Literature 2 discloses a method of mixing a chloride ion with a magnesium oxide precursor or magnesium oxide, followed by calcining, and mixing with an aqueous magnesium chloride solution and a basic precipitant solution and then filtering without washing. The firing method is described. In the examples of this document, the firing is described in an oxygen stream. The magnesium oxide crystals thus obtained are in the form of cubes but are only about 0.2 µm in particle size, and only particles are agglomerated with each other (Fig. 2 (A) of the document).

특허문헌1: 특개평1-282146호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 1-282146

특허문헌2: 특개2006-36544호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-36544

비특허문헌1: 「재료」, 소화 62년11월,제36권,제410호,p.1157-1161Non-Patent Literature 1: "Materials", Nov. 62, Vol. 36, No. 410, pp. 1157-1161

해결하고자 하는 과제Challenge to be solved

본 발명은, 상기 현상을 감안하여 입방체상으로, 또한 입경이 큰 산화마그네슘 분말 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.In view of the above-mentioned phenomenon, an object of the present invention is to provide a magnesium oxide powder having a large particle size and a production method thereof.

과제 해결 수단Challenge solution

본 발명자들은, 상기 과제를 해결하기 위하여 여러 가지 검토를 거듭한 결과, 열분해법에 의해 산화마그네슘 전구체를 소성하여 산화마그네슘 분말을 제조할 때에 즈음하여, 해당 소성을 특정량의 할로겐화물 이온이 존재하는 상태에서, 또한 통상의 소성조건과는 달리 폐쇄계에서 실시함으로써 종래의 제조방법에서는 얻기가 전혀 불가능하였던, 입방체상인 한편 평균입경이 1㎛ 이상으로 매우 큰 산화마그네슘 분말을 제조할 수 있음을 발견하여 본 발명에 이르게 된 것이다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of carrying out various examinations in order to solve the said subject, when calcining a magnesium oxide precursor by a pyrolysis method and manufacturing magnesium oxide powder, this baking is carried out, and a specific amount of halide ion exists. In the state, it was also found that by performing in a closed system, unlike ordinary firing conditions, it was possible to produce magnesium oxide powder having a cube shape and a very large average particle diameter of 1 µm or more, which was impossible to obtain in the conventional manufacturing method. It led to the invention.

즉, 본 발명은, 주사형 전자현미경으로 관찰한 입자형상이 입방체상이고, 또한 레이저 회절 산란식 입도분포측정에 의한 누적 50% 입자경(D50)이 1.0㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 입방체상 산화마그네슘 분말에 관한 것이다. 여기서, 레이저 회절 산란식 입도분포측정에 의한 누적 10% 입자경(D10)과 누적 90%입자경(D90)의 비(D90/D10)가 10.0 이하인 것이 바람직하고, BET(Brunauer, Emmett, Teller) 비표면적이 5.0㎡/g 이하인 것이 바람직하다. 또한, 순도가 99.9질량% 이상인 것이 바람직하다. 상기 입방체상 산화마그네슘 분말은 산화마그네슘 전구체를 상기 전구체 전량에 대하여 0.5~30질량%의 할로겐화물 이온이 존재하는 상태에서, 폐쇄계로 소성함으로써 얻을 수 있는 것이 바람직하다.That is, the present invention is a cube-shaped magnesium oxide powder, characterized in that the particle shape observed by the scanning electron microscope is cubic, and the cumulative 50% particle size (D 50 ) by laser diffraction scattering particle size distribution measurement is 1.0 μm or more. It is about. Here, the ratio (D 90 / D 10 ) of the cumulative 10% particle diameter (D 10 ) and the cumulative 90% particle diameter (D 90 ) by laser diffraction scattering particle size distribution measurement is preferably 10.0 or less, and BET (Brunauer, Emmett, Teller) It is preferable that the specific surface area is 5.0 m <2> / g or less. Moreover, it is preferable that purity is 99.9 mass% or more. It is preferable that the said cube-shaped magnesium oxide powder can be obtained by baking a magnesium oxide precursor in a closed system in the state which 0.5-30 mass% halide ion exists with respect to the said precursor whole quantity.

즉, 본 발명은 주사형 전자현미경으로 관찰한 입자형상이 입방체상이고, 또한 상기 입방체의 한 변의 길이가 4.0㎛보다 큰 것을 특징으로 하는 입방체상 산화마그네슘입자에 관한 것이고, 또한 해당 입방체상 산화마그네슘입자를 포함하는 산화마그네슘 분말에 관한 것이다.That is, the present invention relates to a cubic magnesium oxide particle, wherein the particle shape observed with a scanning electron microscope is cubic, and the length of one side of the cube is larger than 4.0 µm, and the cubic magnesium oxide particle is also present. It relates to a magnesium oxide powder comprising a.

더욱이 본 발명은, 산화마그네슘 전구체를, 상기 전구체 전량에 대하여 0.5~30질량%의 할로겐화물 이온이 존재하는 상태에서, 폐쇄계로 소성하는 것을 특징으로 하는 입방체상 산화마그네슘 분말의 제조방법에 관한 것이다. 상기 산화마그네슘 전구체가 염기성 탄산마그네슘, 수산화마그네슘, 또는 이들의 혼합물인 것이 바람직하다. Furthermore, the present invention relates to a method for producing a cubic magnesium oxide powder, wherein the magnesium oxide precursor is calcined in a closed system in a state where 0.5 to 30% by mass of halide ions is present relative to the total amount of the precursor. It is preferable that the magnesium oxide precursor is basic magnesium carbonate, magnesium hydroxide, or a mixture thereof.

효과effect

본 발명에 따라, 입방체상이고 또한 평균 입경이 큰 산화마그네슘 분말을 얻을 수 있다. 가장 바람직하게는, 본 발명에 의해 (1)입방체상으로 입자형상이 고르고, (2)평균입경이 1㎛ 이상으로 크고, (2)입경이 고르고, (4)미립자가 포함되지 않고 입방체상 결정의 표면이 청정한 한편 평활하고, (5)각각의 결정립이 분리하여 있어 분산성이 우수한 특성을 갖는 산화마그네슘 분말을 제조할 수 있다.According to the present invention, magnesium oxide powder having a cube shape and a large average particle diameter can be obtained. Most preferably, according to the present invention, (1) cube shape is uniform, (2) average particle size is larger than 1 µm, (2) particle size is uniform, and (4) no particulates are included, and the cubic crystal The surface of is clean and smooth, and (5) each crystal grain is separated, and magnesium oxide powder which has the characteristic which is excellent in dispersibility can be manufactured.

발명의 실시를 위한 구체적인 내용Detailed Description of the Invention

본 발명의 산화마그네슘 분말은 1차입자의 형상이 입방체상인 것이다. 이 형상은 주사형 전자현미경에 의해 확인할 수 있다. 또한 「입방체상」이란 기하학적인 의미에서의 엄밀한 입방체를 가리키는 것이 아니고, 도 1 내지 도 5와 같이 현미경 사진을 목시(目視)로 관찰함으로써 대체로 입방체로 인식 가능한 형상을 가리킨다. 본 발명의 산화마그네슘 분말은, 입방체상의 1차 입자가 응집하지 아니하고 각각 분리하고 있으므로, 분산성이 양호한 성질을 가질 수 있다.The magnesium oxide powder of this invention is a cube shape of a primary particle. This shape can be confirmed by a scanning electron microscope. In addition, a "cuboid shape" does not refer to a rigid cube in a geometric sense, but refers to a shape that can be generally recognized as a cube by visually observing a micrograph as shown in FIGS. 1 to 5. Since the magnesium oxide powder of this invention isolate | separates each other without agglomerating a cube-shaped primary particle, it can have a property with favorable dispersibility.

본 발명의 산화마그네슘 분말은, 평균입경이 큰 것이고, 구체적으로는 레이저 회절 산란식 입도분포측정에 따른 누적 50% 입자경(D50)으로 1.0㎛ 이상을 충족하는 것이다. 이 정도로 큰 평균입경을 갖는 입방체상 산화마그네슘 분말은 본 발명자들에 의해 처음으로 발견된 것이다. 상기 D50으로는 1.2㎛ 이상이 바람직하고, 1.5㎛ 이상이 더욱 바람직하다. 본 발명에 따른 제조방법의 범위 내에서 D50가 대략 20㎛ 이하 혹은 10㎛ 이하의 분말을 얻는 것이 가능하다고 생각된다. 또한 D50이란, 메디안 경이며, 입도의 누적 그래프에 있어서 50체적%에 해당하는 입경(㎛)을 말하고, 분체를 어느 입자경 2개로 분할하였을 때, 큰 쪽과 작은 쪽이 같은 양이 되는 입경이다.The magnesium oxide powder of the present invention has a large average particle diameter and specifically satisfies 1.0 µm or more with a cumulative 50% particle size (D 50 ) according to a laser diffraction scattering particle size distribution measurement. The cube-shaped magnesium oxide powder having an average particle diameter of such a great extent was first discovered by the present inventors. As the D 50 is more preferably not less than 1.2㎛ or more preferred, and 1.5㎛. It is thought that it is possible to obtain a powder having a D 50 of approximately 20 µm or less or 10 µm or less within the range of the production method according to the present invention. D 50 is a median diameter and refers to a particle size (μm) corresponding to 50% by volume in a cumulative graph of particle size, and is a particle size in which the larger and smaller sizes are equal when the powder is divided into two particle sizes. .

더욱이 1차 입자가 전체적으로 크고 미분(微粉)을 포함하지 않은 점에 관해서는, 본 발명의 산화마그네슘 분말은 BET법에 의해 측정한 비표면적이 5.0㎡/g 이하인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 4.0㎡/g 이하, 더더욱 바람직하게는 2.5㎡/g 이하, 특히 바람직하게는 1.0㎡/g 이하이다.Furthermore, regarding the fact that the primary particles are large and do not contain fine powder as a whole, the magnesium oxide powder of the present invention preferably has a specific surface area of 5.0 m 2 / g or less measured by the BET method, more preferably 4.0. M 2 / g or less, even more preferably 2.5 m 2 / g or less, particularly preferably 1.0 m 2 / g or less.

본 발명의 산화마그네슘 분말은, 바람직하게는 입방체상의 입자형상이 갖추어져 있어, 입방체상 결정 표면에 미립자가 부착되지 않고 상기 표면이 청정하고 또한 평활한 것이다. 이 때문에 본 발명의 산화마그네슘 분말은 입경이 고르다. 즉, 입도분포가 좁은 것이 바람직하고, 구체적으로는 레이저 회절 산란식 입도분포측정에 따른 누적 10% 입자경(D10)과 누적 90% 입자경(D90)의 비(D90/D10)에서 10.0 이하를 충족하는 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 6.0 이하이고, 더더욱 바람직하게는 4.5 이하이다.The magnesium oxide powder of the present invention is preferably provided with a cubic particle shape, and fine particles do not adhere to the cubic crystal surface, and the surface is clean and smooth. For this reason, the magnesium oxide powder of this invention has an even particle size. That is, it is preferable that the particle size distribution is narrow, and specifically, 10.0 at a ratio (D 90 / D 10 ) of the cumulative 10% particle diameter (D 10 ) and the cumulative 90% particle diameter (D 90 ) according to the laser diffraction scattering particle size distribution measurement. It is preferable to satisfy the following. More preferably, it is 6.0 or less, More preferably, it is 4.5 or less.

본 발명의 산화마그네슘 분말은, 고순도이고, 순도로는 99.9질량% 이상이 바람직하고 99.99질량% 이상이 더욱 바람직하다.The magnesium oxide powder of this invention is high purity, As purity, 99.9 mass% or more is preferable, 99.99 mass% or more is more preferable.

다음에, 본 발명에 따른 산화마그네슘 분말의 제조방법을 설명하기로 한다.Next, a method for producing magnesium oxide powder according to the present invention will be described.

본 발명의 제조방법은 열분해법에 기초한 것이지만, 본 발명에서는 산화마그네슘 전구체를 상기 전구체 전량에 대하여 0.5~30질량%의 할로겐화물 이온이 존재하는 상태에서, 폐쇄계로 소성하는 공정을 실시함으로써 산화마그네슘 분말을 제조한다. 이로써 상술한 여러 특성을 갖는 산화마그네슘 분말을 제조할 수 있다.Although the manufacturing method of this invention is based on the pyrolysis method, in this invention, magnesium oxide powder is performed by performing the process of baking a magnesium oxide precursor in a closed system in the presence of 0.5-30 mass% halide ion with respect to the said precursor whole quantity. To prepare. Thereby, magnesium oxide powder which has the various characteristics mentioned above can be manufactured.

상기 산화마그네슘 전구체로는 종래의 열분해법에 의해 사용되는 전구체이어도 좋고, 특별히 한정되지 않지만 예를 들면, 수산화마그네슘, 염기성 탄산마그네슘, 탄산마그네슘, 수산마그네슘 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 얻어지는 산화마그네슘 분말의 특성이 우수하므로 수산화마그네슘, 염기성 탄산마그네슘, 및 이들의 혼합물이 바람직하다.The magnesium oxide precursor may be a precursor used by a conventional pyrolysis method, and is not particularly limited. Examples thereof include magnesium hydroxide, basic magnesium carbonate, magnesium carbonate and magnesium hydroxide. Among them, magnesium hydroxide, basic magnesium carbonate, and mixtures thereof are preferable because of excellent properties of the obtained magnesium oxide powder.

상기 전구체가 불순물을 많이 포함하면, 얻을 수 있는 산화마그네슘 분말의 형상이 입방체상이 되지 아니하고, 둥근 모양을 띤 다각형상이 되는 경향이 있으므로 전구체의 불순물은 적은 쪽이 바람직하다. 구체적으로 전구체가 포함하는 불순물의 양으로는 열분해법에 의해 산화마그네슘을 생성하였을 때 잔류하는 불순물의 합계량이 할로겐화물 이온을 빼고 0.1질량% 이하인 것이 바람직하고, 0.01질량% 이하인 것이 더욱 바람직하다.When the precursor contains a large amount of impurities, the obtained magnesium oxide powder does not have a cubic shape but tends to have a rounded polygonal shape, so that the impurity of the precursor is smaller. Specifically, the amount of impurities contained in the precursor is preferably 0.1% by mass or less, more preferably 0.01% by mass or less, of the total amount of impurities remaining when magnesium oxide is produced by the thermal decomposition method without the halide ions.

상기 소성은 할로겐화물 이온이 존재하는 상태에서 행한다. 할로겐화물 이온으로는 염화물 이온, 불화물 이온, 취화물(臭化物) 이온, 요오드화물 이온을 들 수 있지만 통상, 염화물 이온이 사용된다. 할로겐화물 이온을 포함하는 화합물의 구체예로는 염산, 염화암모늄, 염화나트륨, 염화칼륨, 염화마그네슘 등을 들 수 있다. The firing is carried out in the presence of halide ions. The halide ions include chloride ions, fluoride ions, emulsified ions, and iodide ions, but chloride ions are usually used. Specific examples of the compound containing halide ions include hydrochloric acid, ammonium chloride, sodium chloride, potassium chloride, magnesium chloride, and the like.

할로겐화물 이온의 존재량으로는, 산화마그네슘 전구체 전량에 대해서 0.5~30질량% 범위이다. 할로겐화물 이온의 존재량이 너무 적으면 본 발명의 효과를 발휘하기에 미치지 못하고, 반대로 너무 많으면 산화마그네슘의 결정이 성장하기 어려워진다. 바람직하게는, 1.0~25질량% 범위이고, 더욱 바람직하게는 10~25질량% 범위이다.As an amount of halide ions, it is the range of 0.5-30 mass% with respect to the magnesium oxide precursor whole quantity. If the amount of halide ions is too small, the effect of the present invention will not be achieved. On the contrary, if the amount of halide ions is too large, crystals of magnesium oxide become difficult to grow. Preferably it is 1.0-25 mass% range, More preferably, it is 10-25 mass% range.

할로겐화물 이온을 포함하는 화합물은 산화마그네슘 전구체 그 자체이어도 좋고, 산화마그네슘 전구체에 포함되어 있는 불순물에 유래하는 것이어도 좋고, 산화마그네슘 전구체를 용액합성법에 의해 제조할 때에 생기는 부생물이어도 좋고, 산화마그네슘 전구체에 대해서 별도로 첨가한 것이어도 좋고, 폐쇄식 로 내의 가스분위기에, 예를 들면 기체의 염화수소 등으로서 첨가한 것이어도 좋다. 또한, 산화마그네슘 전구체에 포함되어 있는 불순물과 산화마그네슘 제조시에 생긴 부생물을 세정 등에 의해 충분히 제거하고, 다시 산화마그네슘 전구체에 또는 가스분위기에 첨가하여도 좋다.The compound containing halide ions may be a magnesium oxide precursor itself, may be derived from impurities contained in the magnesium oxide precursor, may be a by-product produced when the magnesium oxide precursor is prepared by a solution synthesis method, and magnesium oxide The precursor may be added separately, or may be added to the gas atmosphere in a closed furnace as, for example, gaseous hydrogen chloride. In addition, impurities contained in the magnesium oxide precursor and by-products generated during the manufacture of magnesium oxide may be sufficiently removed by washing or the like, and then added to the magnesium oxide precursor or the gas atmosphere.

본 발명에 있어서 산화마그네슘 전구체로는 용액합성으로 얻어진 것이 바람직하다.In the present invention, the magnesium oxide precursor is preferably one obtained by solution synthesis.

산화마그네슘 전구체가 염기성 탄산마그네슘과 수산화마그네슘의 혼합물인 경우에, 해당 전구체를 용액합성법으로 제조하기 위해서는, 예를 들면, (1)염화마그네슘 수용액과 수산화나트륨 수용액을 혼합하여 수산화마그네슘 슬러리를 얻고, (2)해당 슬러리 내의 수산화마그네슘의 일부를 탄산화하여 염기성 탄산마그네슘과 수산화마그네슘을 포함하는 슬러리를 얻고, (3)해당 슬러리를 여과하여 염기성 탄산마그네슘과 수산화마그네슘의 혼합물을 얻는다. 이 혼합물에는, 출발물질인 염화마그네슘 또는 부생물인 염화나트륨으로서 염화물 이온이 포함되어 있다.When the magnesium oxide precursor is a mixture of basic magnesium carbonate and magnesium hydroxide, in order to prepare the precursor by solution synthesis, for example, (1) an aqueous magnesium chloride solution and an aqueous sodium hydroxide solution are mixed to obtain a magnesium hydroxide slurry ( 2) Carbonate a portion of magnesium hydroxide in the slurry to obtain a slurry containing basic magnesium carbonate and magnesium hydroxide, and (3) filter the slurry to obtain a mixture of basic magnesium carbonate and magnesium hydroxide. This mixture contains chloride ions as either magnesium chloride as a starting material or sodium chloride as a by-product.

상기 공정(1)에 있어서 수산화마그네슘 슬러리를 얻은 후, 물로 희석함으로써 해당 슬러리의 농도를 바람직하게는 50~100g/L 범위로, 더욱 바람직하게는 60~90g/L 범위로 조정하면 좋다. 슬러리의 농도를 낮춤으로써 슬러리의 점도를 감소시켜 다음 공정(2)에서의 탄산화반응이 균일하게 진행하도록 하기 위함이다.In the said process (1), after obtaining a magnesium hydroxide slurry, it is good to adjust the density | concentration of this slurry to 50-100 g / L range, More preferably, to 60-90 g / L range by diluting with water. This is to reduce the viscosity of the slurry by lowering the concentration of the slurry so that the carbonation reaction in the next step (2) proceeds uniformly.

상기 공정(2)에 있어서는, 상기 슬러리에 탄산가스를 불어넣음으로써 슬러리 내의 수산화마그네슘의 일부를 탄산화한다. 이 탄산화반응의 온도는 40~80℃가 바람직하다. 이 온도 범위에서는 수산화마그네슘에서 염기성 탄산마그네슘으로의 변화가 신속하게 이루어져 반응효율이 좋다. 더욱이 이 온도범위 내에서는 여과 효율이 우수한 입경을 갖는 염기성 탄산마그네슘과 수산화마그네슘의 혼합물을 얻을 수 있다.In the said process (2), a part of magnesium hydroxide in a slurry is carbonated by blowing carbon dioxide gas into the said slurry. As for the temperature of this carbonation reaction, 40-80 degreeC is preferable. In this temperature range, the transition from magnesium hydroxide to basic magnesium carbonate is rapid, resulting in good reaction efficiency. Moreover, within this temperature range, a mixture of basic magnesium carbonate and magnesium hydroxide having a particle size with excellent filtration efficiency can be obtained.

상기 탄산화반응에서 사용하는 탄산가스의 사용량은, 수산화마그네슘 슬러리 내의 수산화마그네슘의 일부를 염기성 탄산마그네슘으로 전화(轉化)하여, 염기성 탄산마그네슘과 수산화마그네슘의 혼합물을 제공할 수 있는 양으로 한다. 구체적인 탄산가스의 사용량은, 수산화마그네슘 1몰 대하여 0.2~2,0몰 당량인 것이 바람직하다. 이 범위 내에서는 여과 효율이 우수한 염기성 탄산마그네슘과 수산화마그네슘의 혼합물을 효율 좋게 얻는 것이 가능해진다.The amount of carbon dioxide gas used in the carbonation reaction is an amount capable of converting a part of magnesium hydroxide in the magnesium hydroxide slurry into basic magnesium carbonate to provide a mixture of basic magnesium carbonate and magnesium hydroxide. It is preferable that the usage-amount of specific carbon dioxide gas is 0.2-2,0 mol equivalent with respect to 1 mol of magnesium hydroxides. Within this range, it is possible to efficiently obtain a mixture of basic magnesium carbonate and magnesium hydroxide having excellent filtration efficiency.

상기 공정(3)에 있어서는, 상기 공정(2)에서 얻어진 염기성 탄산마그네슘과 수산화마그네슘을 포함하는 슬러리를 여과하여 염기성 탄산마그네슘과 수산화마그네슘의 혼합물을 고체로서 얻는다. 이 고형 혼합물에는 염화물 이온이 포함되어 있으므로, 이것을 그대로 세정하지 않고 건조한 후 후술하는 소성을 하여도 좋고, 이 혼합물을 적절한 양의 물을 사용하여 세정함으로써 케익 내의 염화물 이온의 양을 적정한 레벨로 낮추고 나서 건조 및 소성을 하여도 좋다. 세정을 충분히 해버리면 염화물 이온의 함유량이 너무 낮아져서 본 발명의 효과가 얻어지지 않으므로 세정의 정도를 세정수의 사용량, 세정시간 등에 따라 제어할 필요가 있다. 그러나 충분히 세정을 하여 염화물 이온을 완전히 제거하고 나서 별도로 할로겐화물 이온 함유 화합물을 첨가하여도 좋다.In the step (3), the slurry containing the basic magnesium carbonate and magnesium hydroxide obtained in the step (2) is filtered to obtain a mixture of basic magnesium carbonate and magnesium hydroxide as a solid. Since the solid mixture contains chloride ions, the solid mixture may be dried without washing as it is, and then calcined as described below. The mixture is washed with an appropriate amount of water to lower the amount of chloride ions in the cake to an appropriate level. You may dry and bake. If the washing is sufficiently performed, the content of chloride ions becomes so low that the effect of the present invention cannot be obtained. Therefore, the degree of cleaning needs to be controlled according to the amount of washing water used, the washing time, and the like. However, after the rinse is sufficiently removed to completely remove the chloride ions, a halide ion-containing compound may be added separately.

탄산마그네슘 전구체가 수산화마그네슘인 경우에 상기 전구체를 용액합성법으로 조제하기 위해서는, 예를 들면, (1)염화마그네슘 수용액과 수산화나트륨 수용액을 혼합하여 수산화마그네슘 슬러리를 얻고, (2) 상기 슬러리를 여과하여 고형의 수산화마그네슘을 얻는다. 이 고형물에는, 출발물질인 염화마그네슘 또는 부생물인 염화나트륨으로서 염화물 이온이 포함되어 있다.In the case where the magnesium carbonate precursor is magnesium hydroxide, in order to prepare the precursor by solution synthesis method, for example, (1) an aqueous magnesium chloride solution and an aqueous sodium hydroxide solution are mixed to obtain a magnesium hydroxide slurry, and (2) the slurry is filtered. Solid magnesium hydroxide is obtained. This solid contains chloride ions as magnesium chloride as a starting material or sodium chloride as a by-product.

상기 공정(1)에 있어서 수산화마그네슘 슬러리를 얻은 후, 물로 희석함으로써 상기 슬러리의 농도를 바람직하게는 50~100g/L 범위로, 더욱 바람직하게는 60~90g/L 범위로 조정하고, 더욱이 숙성을 함으로써 해당 슬러리 중의 수산화마그네슘입자를 성장시키는 것이 바람직하다. 이로써 공정(2)에서의 여과효율을 향상시킬 수 있다. 상기 숙성 조건으로는 특별히 한정되지 아니하지만 슬러리를 교반하는 상태에서, 고온에서 일정시간 유지하면 좋다. 숙성온도로는 예를 들면, 80~150℃ 정도, 숙성시간으로는 수분~수시간 정도가 좋다.After the magnesium hydroxide slurry is obtained in the step (1), the concentration of the slurry is preferably adjusted in the range of 50 to 100 g / L, more preferably in the range of 60 to 90 g / L by dilution with water, furthermore, It is preferable to grow the magnesium hydroxide particles in the slurry. Thereby, the filtration efficiency in a process (2) can be improved. Although it does not specifically limit as said aging condition, What is necessary is just to maintain a fixed time at high temperature in the state which stirred a slurry. As aging temperature, about 80-150 degreeC, for aging time, moisture-about several hours are good, for example.

상기 공정(2)에서는, 상기 공정(1)에서 얻어진 수산화마그네슘 슬러리를 여과하여 고형의 수산화마그네슘을 얻는다. 이 고형물에는 염화물 이온이 포함되어 있으므로 이것을 위에서 설명한 바와 같이 처리하면 좋다.In the step (2), the magnesium hydroxide slurry obtained in the step (1) is filtered to obtain solid magnesium hydroxide. Since this solid contains chloride ions, it may be treated as described above.

본 발명의 열분해법에 의한 산화마그네슘의 제조방법에 있어서는, 산화마그네슘 전구체의 소성을, 할로겐화물 이온이 존재하는 상태에서 또한 폐쇄계에서 행할 필요가 있다. 본 발명에 있어서의 폐쇄계란, 소성을 행하는 공간에 존재하는 기체가 실질적으로 외부로 유출되지 않고, 또한 외부로부터 실질적으로 기체가 유입되지 않도록 거의 밀폐된 계를 말하고, 대기와 산소 등의 분위기 하에서 개방하여 또는 이들 기류를 흘리면서 행해지는 통상의 소성방법과는 다르다. 본 발명에서는 폐쇄계에서 소성함으로써 할로겐화물 이온이 외부로 비산하지 않고 소성을 행하는 용기 내에 머물러 산화마그네슘 분말의 결정이 성장하는 과정에 충분하게 개재됨으로써, 평균입경이 매우 큰 입방체상 결정분말을 얻을 수 있다.In the method for producing magnesium oxide by the thermal decomposition method of the present invention, it is necessary to perform firing of the magnesium oxide precursor in a closed system in the presence of halide ions. The closed system in the present invention refers to a system that is almost sealed so that gas present in the space for firing does not substantially flow out, and gas does not substantially flow from outside, and is opened under an atmosphere such as air and oxygen. This is different from the usual firing method performed by or by flowing these air streams. In the present invention, by calcining in a closed system, the halide ions do not scatter to the outside and remain in a baking chamber, and are sufficiently interposed in the process of growing crystals of magnesium oxide powder, thereby obtaining a cubic crystal powder having a very large average particle diameter. .

이 폐쇄계에서의 소성은, 예를 들면, 분위기가스의 유출입이 실질적으로 없는 밀폐식 전기로를 사용하든지 밀폐할 수 있는 도가니에 넣든지 하여 행할 수 있다. 소성시의 온도로는 600℃~1400℃ 정도가 좋고, 1200℃ 정도가 가장 바람직하다. 소성시의 온도가 너무 높으면, 얻어지는 결정이 응집하여 분산성이 나빠지는 경우가 있다. 소성시간으로는 온도에도 따르지만, 통상 1~10시간 정도이다. 예를 들면, 온도가 1200℃ 정도의 경우에는 5시간 정도가 적당하다. 또한 소성을 위하여 승온할 때의 속도로는 특별히 한정되지 아니 하지만 5~10℃/min 정도가 좋다.Firing in this closed system can be performed, for example, by using a sealed electric furnace that is substantially free of inflow and outflow of atmospheric gas, or by placing it in a crucible that can be sealed. As temperature at the time of baking, about 600 degreeC-1400 degreeC is good, and about 1200 degreeC is the most preferable. When the temperature at the time of baking is too high, the obtained crystal | crystallization may aggregate and a dispersibility may worsen. Although it also changes with temperature as baking time, it is about 1 to 10 hours normally. For example, when temperature is about 1200 degreeC, about 5 hours are suitable. In addition, the rate of temperature increase for firing is not particularly limited, but is preferably about 5 to 10 ° C / min.

이 소성시의 분위기로는 특별히 한정되지 아니하지만 예를 들면, 대기, 산소, 질소, 아르곤 등을 들 수 있지만 전구체에 포함되는 불순물을 산화가스로서 제거하는 것이 가능해지도록 대기와, 산소분위기가 바람직하다.Although the atmosphere at the time of this baking is not specifically limited, For example, air, oxygen, nitrogen, argon etc. are mentioned, The atmosphere and oxygen atmosphere are preferable so that the impurity contained in a precursor can be removed as oxidizing gas. .

상기 조건 하에서의 소성에 따라 평균입경이 큰 입방체상 산화마그네슘 분말이 성장하지만, 밀폐 하에서 소성을 행하기 때문에, 상기 할로겐화물 이온 함유 화합물 등의 불순물이 충분히 제거되지 않고 소성 후의 분말에 혼입된다. 이 할로겐화물 이온 함유 화합물의 혼입량을 감소시켜 산화마그네슘 분말의 순도를 높이기 위하여, 본 발명의 제조방법에서는 상기한 폐쇄계에서의 1차 소성 후에 개방계에서 2번째 소성을 더 행하는 것이 바람직하다.Cubic magnesium oxide powder having a large average particle diameter grows with firing under the above conditions, but since firing is carried out under sealing, impurities such as the halide ion-containing compound are not sufficiently removed and mixed into the powder after firing. In order to reduce the amount of the halide ion-containing compound to increase the purity of the magnesium oxide powder, in the production method of the present invention, it is preferable to perform a second firing in an open system after the primary firing in the above closed system.

이 2차 소성은, 통상의 개방계에서 행하는 소성이어도 좋고, 예를 들면, 대기분위기 하에서 분위기가스의 유동이 있는 가스로와, 산소기류 하에서의 전기로 등에서 행할 수 있다. 2차 소성시의 온도, 시간, 및 로 내의 기체로는 할로겐화물 이온 함유 화합물 등의 불순물을 제거할 수 있으면 좋고, 특별히 한정되지 아니하지만 결정성장은 1차 소성에서 이미 완료되어 있으므로 2차 소성의 시간은 비교적 짧게 하여도 좋다.This secondary firing may be performed in a normal open system, and may be performed, for example, in a gas furnace with a flow of atmospheric gas under an atmospheric atmosphere, an electric furnace under an oxygen gas stream, or the like. As the temperature, time, and gas in the furnace during the second firing, impurities such as halide ion-containing compounds may be removed. Although not particularly limited, crystal growth has already been completed in the primary firing, The time may be relatively short.

본 발명의 제조방법에 따라 도 4에 도시한 바와 같은 매우 큰 입경을 가진 입방체상 산화마그네슘입자를 얻을 수 있다. 이 입방체상 입자는 주사형 전자현미경으로 관찰하였을 때에, 입방체의 일변 길이가 4.0㎛보다 커져 있다. 이와 같이 크고, 미립자가 없고, 표면이 청정하고 평활한 입방체상 입자는 지금까지 전혀 보고되어 있지 않다. 본 발명에 따른 제조방법의 범위 내에서, 입방체의 일변 길이가 20㎛ 이하 혹은 10㎛ 이하의 입자를 얻는 것이 가능하다고 생각된다. 해당 입자를 포함하는 산화마그네슘 분말도 본 발명의 범위 내의 것이다.According to the production method of the present invention, it is possible to obtain cubic magnesium oxide particles having a very large particle diameter as shown in FIG. When observed with a scanning electron microscope, this cubic particle has the length of one side of a cube larger than 4.0 micrometers. Such large, fine particles, clean and smooth cubic particles have not been reported at all. Within the range of the manufacturing method which concerns on this invention, it is thought that it is possible to obtain particle | grains whose length of one side of a cube is 20 micrometers or less or 10 micrometers or less. Magnesium oxide powder containing this particle is also in the scope of the present invention.

이하, 실시예를 들어 본 발명을 더욱 상세하게 설명하지만 본 발명은 이들 실시예에 한정되지 아니한다.Hereinafter, although an Example is given and this invention is demonstrated in detail, this invention is not limited to these Examples.

이하의 실시예에서는 아래에 나타낸 순서에 따라 각종 물성 등을 측정했다.In the following Examples, various physical properties and the like were measured in the order shown below.

(1)주사형 전자현미경(SEM) 관찰법(1) Scanning electron microscope (SEM) observation

주사형 전자현미경(상품명: JSM-5410, JEOL제)을 사용하여 SEM 조성상을 촬영하고, 입자형상의 관찰 및 입방체상 산화마그네슘의 한 변의 길이를 측정하였다.The SEM composition image was taken using the scanning electron microscope (brand name: JSM-5410, JEOL make), and the particle shape observation and the length of one side of the magnesium oxide cube were measured.

(2)레이저 회절 산란식 입도분포측정법(2) Laser diffraction scattering particle size distribution measurement

레이저 회절 산란식 입도분포측정장치(상품명: HIRA, 닛기소(日機裝)제)를 사용하여 누적 10% 입자경(D10), 누적 50% 입자경(D50), 누적 90% 입자경(D90)을 측정하였다.10% cumulative particle diameter (D 10 ), 50% cumulative particle diameter (D 50 ), 90% cumulative particle diameter (D 90 ) using a laser diffraction scattering particle size distribution analyzer (trade name: HIRA, manufactured by Nigiso Corporation) ) Was measured.

(3)BET 비표면적측정법(3) BET specific surface area measurement

비표면적측정장치(상품명: Macsorb1210, 마운텍크제)를 사용하여 가스흡착법에 의해 비표면적을 측정하였다.The specific surface area was measured by the gas adsorption method using the specific surface area measuring apparatus (brand name: Macsorb1210, product made by Mountain Tech).

(4)산화마그네슘의 순도측정법(4) measuring the purity of magnesium oxide

산화마그네슘 순도는 100질량%에서 측정한 불순물량의 합계를 공제한 값으로서 산출하였다.Magnesium oxide purity was computed as the value which subtracted the sum total of the impurity amount measured by 100 mass%.

(5)산화마그네슘의 불순물량측정법(5) Determination of impurity content of magnesium oxide

산화마그네슘의 불순물량(Si, Al, Ca, Fe, V, Cr, Mn, Ni, Zn, B, Zr, Cu, Na, K, Cl)은, ICP발광분석장치(상품명: SPS-1700, 세이코인스투르먼트제)를 사용하여 시료를 산으로 용해한 후 측정하였다.The amount of impurities of magnesium oxide (Si, Al, Ca, Fe, V, Cr, Mn, Ni, Zn, B, Zr, Cu, Na, K, Cl) is an ICP luminescence analyzer (trade name: SPS-1700, Seiko) It was measured after dissolving the sample with acid using the instrument).

(6)산화마그네슘 전구체의 할로겐화물량측정법(6) halide amount measurement method of magnesium oxide precursor

산화마그네슘 전구체의 할로겐화물량은, ICP발광분석장치(상품명: SPS-1700, 세이코인스투르먼트제)에 의해 측정하였다.The halide amount of the magnesium oxide precursor was measured by an ICP luminescence analyzer (trade name: SPS-1700, manufactured by Seiko Instruments).

실시예 1Example 1

염화마그네슘(MgCl2) 수용액에 수산화나트륨(NaOH) 수용액을 반응시켜 수산화마그네슘(Mg(OH)2) 슬러리를 얻었다. 이 수산화마그네슘 슬러리를 이온교환수로 슬러리 농도 75g/L로 희석하고, 희석한 수산화마그네슘 슬러리 30L를 100~150rpm 속도로 교반하면서 수증기를 불어넣어 온도를 60℃로 조정하였다. 다음에, 온도를 60℃로 유지하면서 탱크 하부에서부터 CO2농도 100용량%의 탄산가스를 유량 10L/min으로 3시간(0.8몰당량) 불어넣어 일부를 염기성 탄산마그네슘으로 변환하였다.A magnesium hydroxide (Mg (OH) 2 ) slurry was obtained by reacting an aqueous solution of magnesium chloride (MgCl 2 ) with an aqueous solution of sodium hydroxide (NaOH). The magnesium hydroxide slurry was diluted with ion exchange water to a slurry concentration of 75 g / L, and 30 L of the diluted magnesium hydroxide slurry was blown with stirring at a speed of 100 to 150 rpm to adjust the temperature to 60 ° C. Next, a carbon dioxide gas having a CO 2 concentration of 100% by volume was blown at a flow rate of 10 L / min for 3 hours (0.8 molar equivalents) while maintaining the temperature at 60 ° C to convert a portion into basic magnesium carbonate.

이어서, 이 슬러리를 여과하여 얻어진 케익을 이온교환수 20L로 수세하였다. 이후, 해당 케익을 120℃에서 10시간 건조기로 건조하여 전구체를 얻었다. X선회절분석 결과로부터 전구체가 수산화마그네슘과 염기성 탄산마그네슘(화학식: 4MgCO3· MG(OH)2· 8H2O 및 4MgCO3·MG(OH)2· 4H2O)의 혼합물인 것을 알았다. 이 시점에서 상기 전구체에 포함되는 염화물 이온의 함유량을 측정하였을 때 3질량%이었다.Subsequently, the cake obtained by filtering this slurry was washed with 20 L of ion-exchange water. Thereafter, the cake was dried in a dryer at 120 ° C. for 10 hours to obtain a precursor. X-ray diffraction analysis showed that the precursor was a mixture of magnesium hydroxide and basic magnesium carbonate (Formula: 4MgCO 3 · MG (OH) 2 · 8H 2 O and 4MgCO 3 · MG (OH) 2 · 4H 2 O). It was 3 mass% at the time of measuring the content of the chloride ion contained in the said precursor.

다음에, 이 수산화마그네슘과 염기성 탄산마그네슘의 혼합물인 전구체를 대기분위기에서 분위기가스의 유출입이 없는 폐쇄식 전기로로 승온속도 6℃/min로 1200℃까지 가열하고 같은 온도에서 5시간 보관 유지함으로써 소성하여 산화마그네슘 분말을 형성시켰다. 더욱이 이것을 대기 분위기로 분위기가스의 유입이 있는 가스로에서 1200℃에서 1시간 재소성하였다. 얻어진 산화마그네슘 분말을 주사형 전자현미경(15,000배)으로 관찰한 결과를 도 1에 나타내었다. 관찰된 결정의 형상은 거의 전부가 입방체상이고, 입자 형상이 매우 고르다. 또한 입방체상 결정의 일변은, 약 1㎛ 전후이고, D90/D10이 작은 것으로부터 입도분포가 매우 좁음을 알 수 있다. 후술하는 도 9와 달리 결정표면에 미립자가 부착해 있지 않고 결정표면이 평활하고 청정하다. 더욱이 개개의 입방체상 결정립이 잘 분리되어 있다.Next, the precursor, which is a mixture of magnesium hydroxide and basic magnesium carbonate, was calcined by heating to a temperature of 6 ° C./min at a temperature of 6 ° C./min and kept at the same temperature for 5 hours in a closed electric furnace in an air atmosphere, where no atmospheric gas was introduced. Magnesium oxide powder was formed. Furthermore, this was refired for 1 hour at 1200 ° C. in a gas furnace where atmospheric gas was introduced into the atmosphere. The result of observing the obtained magnesium oxide powder with a scanning electron microscope (15,000 times) is shown in FIG. Almost all of the shapes of the crystals observed are cubic, and the particle shape is very even. In addition, univariate cubic crystal phase is from about 1㎛ before and after, it can be seen that D 90 / D 10 is a very narrow particle size distribution from which small. Unlike FIG. 9 described later, fine particles are not attached to the crystal surface, and the crystal surface is smooth and clean. Moreover, the individual cubic grains are well separated.

실시예 2Example 2

수세공정에서의 이온교환수 사용량을 10L로 변경한 것 이외는 실시예1과 동일한 순서로 염기성 탄산마그네슘과 수산화마그네슘의 혼합물인 전구체를 얻었고, 산화마그네슘 분말 또한 얻었다. 다만, 상기 전구체에 포함되는 염화물 이온의 함유량은 8질량%이었다. 얻어진 산화마그네슘 분말을 주사형 전자현미경(15,000배)으로 관찰한 결과를 도 2에 나타내었다. 실시예 1과 비교하면, 입방체상 결정의 일변 이 약 1.5㎛ 정도로 커져 있다.A precursor, which was a mixture of basic magnesium carbonate and magnesium hydroxide, was obtained in the same procedure as in Example 1 except that the amount of ion-exchanged water used in the washing step was changed to 10 L, and magnesium oxide powder was also obtained. However, content of the chloride ion contained in the said precursor was 8 mass%. The result of observing the obtained magnesium oxide powder with a scanning electron microscope (15,000 times) is shown in FIG. Compared with Example 1, one side of the cubic crystal is about 1.5 µm large.

실시예 3Example 3

수세공정을 실시하지 않은 것 이외는 실시예1과 동일한 순서로 염기성 탄산마그네슘과 수산화마그네슘의 혼합물인 전구체를 얻었고, 산화마그네슘 분말 또한 얻었다. 다만, 상기 전구체에 포함되는 염화물 이온의 함유량은 14질량%이었다. 얻어진 산화마그네슘 분말을 주사형 전자현미경(15,000배)으로 관찰한 결과를 도 3에 나타내었다. 실시예 1과 비교하면, 입방체상 결정의 일변이 약 2㎛ 정도로 커져 있다.Except not performing the washing process, the precursor which is a mixture of basic magnesium carbonate and magnesium hydroxide was obtained in the same procedure as Example 1, and magnesium oxide powder was also obtained. However, content of the chloride ion contained in the said precursor was 14 mass%. The result of observing the obtained magnesium oxide powder with a scanning electron microscope (15,000 times) is shown in FIG. Compared with Example 1, one side of the cubic crystal is about 2 µm in size.

실시예 4Example 4

수세공정에서의 이온교환수 사용량을 30L로 변경하고, 수세 후 건조 전의 케익에 대하여 6N 염산을 이온교환수로 약 10배 희석하여 첨가한 것 이외는, 실시예 1과 동일한 순서로 염기성 탄산마그네슘과 수산화마그네슘의 혼합물인 전구체를 얻었고, 산화마그네슘 분말 또한 얻었다. 단, 상기 전구체에 포함되는 염화물 이온의 함유량은 20질량%이었다. 얻어진 산화마그네슘 분말을 주사형 전자현미경(15,000배)으로 관찰한 결과를 도 4에 나타내었다. 입방체상 결정의 일변이 약 4㎛ 정도로 이르고, 매우 큰 입방체상 산화마그네슘입자가 형성되어 있다.The basic magnesium carbonate and basic magnesium carbonate were used in the same procedure as in Example 1 except that the amount of ion-exchanged water used in the washing step was changed to 30 L and 6N hydrochloric acid was diluted by 10 times with ion-exchanged water and added to the cake before washing and washing. A precursor, which is a mixture of magnesium hydroxide, was obtained, and magnesium oxide powder was also obtained. However, content of the chloride ion contained in the said precursor was 20 mass%. The result of observing the obtained magnesium oxide powder with a scanning electron microscope (15,000 times) is shown in FIG. One side of the cubic crystal reaches about 4 mu m, and very large cubic magnesium oxide particles are formed.

실시예 5Example 5

염화마그네슘용액(MgCl2)에 수산화나트륨용액(NaOH)을 반응시켜 수산화마그네슘(Mg(OH)2) 슬러리를 얻었다. 이 수산화마그네슘 슬러리를 이온교환수로 슬러리 농도 75g/L로 희석하고, 희석한 수산화마그네슘 슬러리 30L를 500~600rpm 속도로 교반하면서 오토클레이브(autoclave)에서 온도를 115℃로 유지하고 1시간 수열반응하였다. 이어서 이 슬러리를 여과하여 얻어진 케익을 이온교환수 30L로 수세하였다. 이후 해당 케익을 120℃에서 10시간 건조기로 건조하여 전구체를 얻었다. 이 시점에서, 상기 전구체에 포함되는 염화물 이온의 함유량을 측정하였을 때, 1질량%이었다. 다음에 이 전구체를 대기 분위기에서 분위기가스의 유출입이 없는 폐쇄식 전기로로 승온속도 6℃/min로 1200℃까지 과열하고 같은 온도에서 5시간 유지함으로써 소성하여 산화마그네슘 분말을 생성시켰다. 더욱이 이것을 대기분위기로 분위기가스의 유출입이 있는 가스로에서 1200℃로 1시간 재소성하였다. 얻어진 산화마그네슘 분말을 주사형 전자현미경(15,000배)로 관찰한 결과를 도 5에 나타내었다. 관찰된 결정의 형상은 거의 전부가 입방체상이고, 입자형상이 매우 고르다. 또한 입방체상 결정의 일변은 약 0.5㎛ 전후이고, D90/D10이 작은 것으로부터 입도분포가 매우 좁은 것임을 알 수 있다.A magnesium hydroxide solution (MgCl 2 ) was reacted with sodium hydroxide solution (NaOH) to obtain a magnesium hydroxide (Mg (OH) 2 ) slurry. The magnesium hydroxide slurry was diluted with ion exchange water to a slurry concentration of 75 g / L, and 30 L of the diluted magnesium hydroxide slurry was maintained at 115 ° C. in an autoclave while stirring at a speed of 500 to 600 rpm and hydrothermally reacted for 1 hour. . Subsequently, the cake obtained by filtering this slurry was washed with 30 L of ion-exchange water. The cake was then dried in a dryer at 120 ° C. for 10 hours to obtain a precursor. At this point in time, the content of chloride ions contained in the precursor was measured. Next, the precursor was overheated to 1200 ° C. at a heating rate of 6 ° C./min and maintained at the same temperature for 5 hours in a closed electric furnace in which no atmospheric gas flowed in and out of the atmosphere, thereby producing magnesium oxide powder. Furthermore, this was refired for 1 hour at 1200 ° C. in a gas furnace containing an inflow and outflow of atmospheric gas under an atmospheric atmosphere. The result of observing the obtained magnesium oxide powder with a scanning electron microscope (15,000 times) is shown in FIG. Almost all of the shapes of the crystals observed are cubic, and the particles are very even. In addition, one side of the cubic phase crystal is about 0.5 mu m, and it can be seen that the particle size distribution is very narrow because D 90 / D 10 is small.

비교예 1Comparative Example 1

소성을, 대기분위기로 분위기가스의 유출입이 있는 가스로에서 실시한 것 이외는 실시예1과 동일하게 하여 산화마그네슘 분말을 얻었다. 얻어진 산화마그네슘 분말을 주사형 전자현미경(15,000배)으로 관찰한 결과를 도 6에 나타내었다. 얻어진 산화마그네슘 분말은 결정이 입방체상으로 성장하지 않고, 더욱이 입자경도 작고, 각 입자가 응집되어 있다.The magnesium oxide powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that the firing was carried out in a gas furnace with an inflow and outflow of atmospheric gas under an atmospheric atmosphere. The result of observing the obtained magnesium oxide powder with a scanning electron microscope (15,000 times) is shown in FIG. In the obtained magnesium oxide powder, crystals do not grow in a cubic form, the particle size is also small, and each particle is agglomerated.

비교예 2Comparative Example 2

수세공정에서의 이온교환수 사용량을 50L로 변경한 것 이외는 실시예 1과 동일한 순서로 염기성 탄산마그네슘과 수산화마그네슘의 혼합물인 전구체를 얻었고, 산화마그네슘 분말 또한 얻었다. 다만, 상기 전구체에 포함되는 염화물 이온의 함유량은 0.1질량%이었다. 얻어진 산화마그네슘 분말을 주사형 전자현미경(15,000배)으로 관찰한 결과를 도 7에 나타내었다. 얻어진 산화마그네슘 분말은 결정이 입방체상으로 성장되어 있지 않고, 더욱이 입자경도 작고, 각 입자가 응집되어 있다.A precursor, which was a mixture of basic magnesium carbonate and magnesium hydroxide, was obtained in the same procedure as in Example 1 except that the amount of ion-exchanged water used in the washing step was changed to 50 L, and magnesium oxide powder was also obtained. However, content of the chloride ion contained in the said precursor was 0.1 mass%. The result of observing the obtained magnesium oxide powder with a scanning electron microscope (15,000 times) is shown in FIG. In the obtained magnesium oxide powder, crystals are not grown in a cubic form, the particle size is also small, and each particle is agglomerated.

비교예 3Comparative Example 3

산화마그네슘의 전구체로서, 불순물을 1질량% 정도 포함하는 수산화마그네슘(타테호화학공업주식회사제, 순도 99질량%, 1차입자경 0.3~0.5㎛, 비표면적 30~40㎡/g)을 사용하였다. 함유 염소량은 0.5질량%이었다. 다음에 이 수산화마그네슘을 대기분위기로 분위기가스의 유출입이 없는 폐쇄식 전기로에서 승온속도 6℃/min로 1200℃까지 과열하여 같은 온도에서 5시간 유지함으로써 소성하여 산화마그네슘 분말을 생성시켰다. 더욱이 이것을 대기분위기로 분위기가스의 유출입이 있는 가스로에서 1200℃로 1시간 재소성하였다. 얻어진 산화마그네슘 분말을 주사형 전 자현미경(15,000배)로 관찰한 결과를 도 8에 나타내었다. 얻어진 산화마그네슘이 불순물을 1질량% 정도 포함하고 MgO 순도가 낮은 경우에는, 입자성장이 일어나고 있는 것의 결정형상은 입방체가 아니다.As a precursor of magnesium oxide, magnesium hydroxide (Tateho Chemical Co., Ltd. product, purity 99 mass%, primary particle diameter 0.3-0.5 micrometer, specific surface area 30-40 m <2> / g) containing about 1 mass% of impurities was used. The content of chlorine was 0.5 mass%. Next, the magnesium hydroxide was calcined by superheating to 1200 ° C. at a heating rate of 6 ° C./min at a temperature of 6 ° C./min in a closed electric furnace in which no atmospheric gas flowed in and out of the atmosphere, and then calcining to produce magnesium oxide powder. Furthermore, this was refired for 1 hour at 1200 ° C. in a gas furnace containing an inflow and outflow of atmospheric gas in an atmosphere. The result of observing the obtained magnesium oxide powder with a scanning electron microscope (15,000 times) is shown in FIG. In the case where the obtained magnesium oxide contains about 1% by mass of impurities and the MgO purity is low, the crystal form of particle growth occurring is not a cube.

비교예 4Comparative Example 4

시판의 기상법에 의해 제조된 산화마그네슘 분말을 주사형 전자현미경(15,000배)으로 관찰한 결과를 도 9에 나타내었다. 입방체상 결정이 포함되어 있지만 이와 동시에 미세한 미립자상 결정이 대량으로 부착되어 있어 표면이 청정하다고는 말할 수 없는 것이다.The result of observing the magnesium oxide powder produced by the commercial vapor phase method with the scanning electron microscope (15,000 times) is shown in FIG. It contains a cubic crystal, but at the same time a large amount of fine particulate crystals are attached to the surface can not be said to be clean.

비교예 5Comparative Example 5

시판되는 산화마그네슘 분말을 주사형 전자현미경(15,000배)으로 관찰한 결과를 도 10에 나타내었다. 결정이 입방체상이 아니고, 더욱이 입자경도 작고, 각 입자가 응집되어 있다.The result of observing the commercially available magnesium oxide powder with the scanning electron microscope (15,000 times) is shown in FIG. The crystal is not cubic, the particle size is also small, and each particle is agglomerated.

실시예 1~실시예 5 및 비교예 1~비교예 5의 산화마그네슘 분말의 물성값 및 불순물량을 측정한 결과를 표 1 및 표 2에 나타내었다.Table 1 and Table 2 show the results of measuring the physical property values and the impurity amounts of the magnesium oxide powders of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 5.

[표 1]TABLE 1

Figure 112009046780862-PCT00001
Figure 112009046780862-PCT00001

[표 2]TABLE 2

Figure 112009046780862-PCT00002
Figure 112009046780862-PCT00002

본 발명의 입방체상 산화마그네슘 분말은, 첨가제, 충전재, 전자부품용 원료, 의약품, 연구실에서의 시약, 각종 타겟재 원료, 초전도박막 기초막용 원료, TMR소자용 터널장벽 원료, PDP용 보호막 원료, PDP용 결정 산화마그네슘층 원료 등으로서 유용한 것이다.The cubic magnesium oxide powder of the present invention includes additives, fillers, raw materials for electronic parts, pharmaceuticals, reagents in laboratories, various target materials, superconducting thin film base material, tunnel barrier material for TMR elements, protective film material for PDP, and PDP. It is useful as a raw material for a crystalline magnesium oxide layer.

도 1은 실시예1에서 얻은 산화마그네슘 분말의 전자현미경 사진.1 is an electron micrograph of the magnesium oxide powder obtained in Example 1.

도 2는 실시예2에서 얻은 산화마그네슘 분말의 전자현미경 사진.2 is an electron micrograph of the magnesium oxide powder obtained in Example 2.

도3은 실시예3에서 얻은 산화마그네슘 분말의 전자현미경 사진.Figure 3 is an electron micrograph of the magnesium oxide powder obtained in Example 3.

도 4는 실시예4에서 얻은 산화마그네슘 분말의 전자현미경 사진.4 is an electron micrograph of the magnesium oxide powder obtained in Example 4.

도 5는 실시예5에서 얻은 산화마그네슘 분말의 전자현미경 사진.5 is an electron micrograph of the magnesium oxide powder obtained in Example 5.

도 6은 비교예1에서 얻은 산화마그네슘 분말의 전자현미경 사진.6 is an electron micrograph of the magnesium oxide powder obtained in Comparative Example 1.

도 7은 비교예2에서 얻은 산화마그네슘 분말의 전자현미경 사진.7 is an electron micrograph of the magnesium oxide powder obtained in Comparative Example 2.

도 8은 비교예3에서 얻은 산화마그네슘 분말의 전자현미경 사진.8 is an electron micrograph of the magnesium oxide powder obtained in Comparative Example 3.

도 9는 비교예4에서 얻은 산화마그네슘 분말의 전자현미경 사진.9 is an electron micrograph of the magnesium oxide powder obtained in Comparative Example 4.

도 10은 비교예5에서 얻은 산화마그네슘 분말의 전자현미경 사진.10 is an electron micrograph of the magnesium oxide powder obtained in Comparative Example 5.

Claims (9)

주사형 전자현미경에서 관찰한 입자형상이 입방체상이고, 레이저 회절 산란식 입도분포측정에 의한 누적 50% 입자경(D50)이 1.0㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 입방체상 산화마그네슘 분말.A cubic magnesium oxide powder, characterized in that the particle shape observed in a scanning electron microscope is a cubical shape, and the cumulative 50% particle size (D 50 ) by laser diffraction scattering particle size distribution measurement is 1.0 µm or more. 제1항에 있어서, 레이저 회절 산란식 입도분포측정에 의한 누적 10% 입자경(D10)과 누적 90% 입자경(D90)의 비(D90/D10)가 10.0 이하인 것을 특징으로 하는 입방체상 산화마그네슘 분말.The cubic phase according to claim 1, wherein the ratio (D 90 / D 10 ) of the cumulative 10% particle diameter (D 10 ) and the cumulative 90% particle diameter (D 90 ) by laser diffraction scattering particle size distribution is 10.0 or less. Magnesium oxide powder. 제1항 또는 제2항에 있어서, BET 비표면적이 5.0㎡/g 이하인 것을 특징으로 하는 입방체상 산화마그네슘 분말. The cubic magnesium oxide powder according to claim 1 or 2, wherein the BET specific surface area is 5.0 m 2 / g or less. 제1항 또는 제2항에 있어서, 산화마그네슘 순도가 99.9질량% 이상인 것을 특징으로 하는 입방체상 산화마그네슘 분말. Magnesium oxide purity is 99.9 mass% or more, The cube-shaped magnesium oxide powder of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. 제1항 또는 제2항에 있어서, 산화마그네슘 전구체를 상기 전구체 전량에 대하여 0.5~30질량%의 할로겐화물 이온이 존재하는 상태에서, 폐쇄계에서 소성함으로써 얻어지는 것을 특징으로 하는 입방체상 산화마그네슘 분말. The cubic magnesium oxide powder according to claim 1 or 2, which is obtained by firing a magnesium oxide precursor in a closed system in a state where 0.5 to 30% by mass of halide ions are present relative to the total amount of the precursor. 주사형 전자현미경으로 측정한 입자형상이 입방체상이고, 상기 입방체의 한변의 길이가 4.0㎛보다 큰 것을 특징으로 하는 입방체상 산화마그네슘입자. A cubic magnesium oxide particle, characterized in that the particle shape measured by a scanning electron microscope is cubic, and the length of one side of the cube is larger than 4.0 µm. 청구항 제6항의 입방체상 산화마그네슘 입자를 포함하는 산화마그네슘 분말.Magnesium oxide powder containing the cubic magnesium oxide particle of Claim 6. 산화마그네슘 전구체를 상기 전구체 전량에 대하여 0.5~30질량%의 할로겐화물 이온이 존재하는 상태에서, 폐쇄계에서 소성하는 것을 특징으로 하는 입방체상 산화마그네슘 분말의 제조방법. A magnesium oxide precursor is calcined in a closed system in a state where 0.5 to 30% by mass of halide ions are present with respect to the total amount of the precursor. 제8항에 있어서, 산화마그네슘 전구체가 염기성 탄산마그네슘, 수산화마그네슘, 또는 이것들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 입방체상 산화마그네슘 분말의 제조방법. The method for producing a cubic magnesium oxide powder according to claim 8, wherein the magnesium oxide precursor is basic magnesium carbonate, magnesium hydroxide, or a mixture thereof.
KR1020097016041A 2007-01-30 2008-01-22 Cubic magnesium oxide powder and method for producing the same KR101173728B1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2007-019739 2007-01-30
JP2007019739A JP5016935B2 (en) 2007-01-30 2007-01-30 Cubic magnesium oxide powder and process for producing the same
PCT/JP2008/050783 WO2008093565A1 (en) 2007-01-30 2008-01-22 Cubic magnesium oxide powder and method for producing the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090104088A true KR20090104088A (en) 2009-10-05
KR101173728B1 KR101173728B1 (en) 2012-08-13

Family

ID=39673877

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020097016041A KR101173728B1 (en) 2007-01-30 2008-01-22 Cubic magnesium oxide powder and method for producing the same

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP5016935B2 (en)
KR (1) KR101173728B1 (en)
CN (2) CN101646624A (en)
TW (1) TWI432380B (en)
WO (1) WO2008093565A1 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5476826B2 (en) * 2009-07-14 2014-04-23 堺化学工業株式会社 Magnesium oxide particles, production method thereof, heat dissipating filler, resin composition, heat dissipating grease and heat dissipating coating composition
JP5415215B2 (en) * 2009-10-02 2014-02-12 タテホ化学工業株式会社 Magnesium oxide powder having excellent dispersibility and method for producing the same
KR101193261B1 (en) * 2011-04-12 2012-10-19 엘에스전선 주식회사 Manufacturing method of magnesium oxide particles with controlled size
JP6199881B2 (en) 2012-10-31 2017-09-20 宇部マテリアルズ株式会社 Magnesium oxide powder
US11884553B2 (en) 2020-12-25 2024-01-30 Ube Material Industries, Ltd. Magnesium oxide powder, thermally conductive filler, resin composition, and production method for magnesium oxide powder

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101031581B1 (en) * 2003-09-26 2011-04-27 파나소닉 주식회사 Plasma display panel and method for producing same
JP3980569B2 (en) * 2004-04-19 2007-09-26 宇部マテリアルズ株式会社 Magnesium oxide
JP4873680B2 (en) * 2004-07-22 2012-02-08 独立行政法人物質・材料研究機構 Method for producing cubic magnesia powder
JP4683547B2 (en) * 2004-09-16 2011-05-18 パナソニック株式会社 Plasma display panel
JP5108218B2 (en) * 2005-09-28 2012-12-26 日本化学工業株式会社 Magnesium oxide powder, precursor for magnesium oxide molded body, manufacturing method thereof, magnesium oxide molded body, and magnesium oxide sintered body pellet

Also Published As

Publication number Publication date
CN101646624A (en) 2010-02-10
KR101173728B1 (en) 2012-08-13
CN103964475B (en) 2015-10-21
JP2008184366A (en) 2008-08-14
TWI432380B (en) 2014-04-01
CN103964475A (en) 2014-08-06
TW200844052A (en) 2008-11-16
WO2008093565A1 (en) 2008-08-07
JP5016935B2 (en) 2012-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5016993B2 (en) Magnesium oxide particle aggregate and method for producing the same
TWI529133B (en) Method for producing magnesium hydroxide microparticle and magnesium oxide microparticle
JP5415215B2 (en) Magnesium oxide powder having excellent dispersibility and method for producing the same
WO1993024680A1 (en) PROCESS FOR PRODUCING α-ALUMINA
KR101173728B1 (en) Cubic magnesium oxide powder and method for producing the same
KR101148301B1 (en) Oxide luminophor
US7871595B2 (en) Fine barium titanate particles
TWI386369B (en) Magnesium oxide powder
JP3713758B2 (en) Method for producing iron-containing composite oxide powder
JP5588815B2 (en) Gallium oxide powder
JP5081438B2 (en) Method for producing magnesium oxide
JP2001270775A (en) Method of producing yag transparent sintered body
McCormick et al. Recent developments in mechanochemical nanoparticle synthesis
JP3125067B2 (en) Method for producing transparent yttria sintered body
KR100708882B1 (en) The method for preparing the nano silica crystalline powder using the fumed silica
JPH11189412A (en) Yttrium hydroxide agglomerate and its production
JP2011042549A (en) Indium oxide powder and ito sintered compact

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150629

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180703

Year of fee payment: 9