KR20090089525A - Picker cylinder apparatus embedded shock absorber - Google Patents

Picker cylinder apparatus embedded shock absorber Download PDF

Info

Publication number
KR20090089525A
KR20090089525A KR1020080014739A KR20080014739A KR20090089525A KR 20090089525 A KR20090089525 A KR 20090089525A KR 1020080014739 A KR1020080014739 A KR 1020080014739A KR 20080014739 A KR20080014739 A KR 20080014739A KR 20090089525 A KR20090089525 A KR 20090089525A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
piston
shaft
cylinder
vacuum
picker
Prior art date
Application number
KR1020080014739A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100960606B1 (en
Inventor
이희원
Original Assignee
주식회사 에어텍이엔지
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에어텍이엔지 filed Critical 주식회사 에어텍이엔지
Priority to KR1020080014739A priority Critical patent/KR100960606B1/en
Publication of KR20090089525A publication Critical patent/KR20090089525A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100960606B1 publication Critical patent/KR100960606B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/02—Feeding of components
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404—Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
    • H05K13/0408—Incorporating a pick-up tool

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

A picker cylinder device is provided to prevent a chip component from being damaged by buffering the applied transient pressure of a picker cylinder nozzle. A pair of vacuum bushes are arranged inside a cylinder block(10). A piston rod is fixed in the vacuum bush. The vacuum negative pressure is applied to the piston rob through a suction nipple(41). The piston moves back and forth in the cylinder chamber. The spring chamber is positioned in the piston. The piston rod passing through the piston is slid inside a shaft(61). A piston cap prevents the separation of the spring and the shaft cap. A nozzle housing(68) is coupled in an end of the shaft exposed to the outside of the cylinder block.

Description

충격 완충기능을 갖는 편로드 피커실린더 장치{Picker cylinder apparatus embedded shock absorber}Picker cylinder apparatus embedded shock absorber

본 발명은 칩부품 소자들의 픽업 및 이송을 위한 에어석션 기능을 갖는 피커실린더 장치에 관한 것으로 특히 칩부품 소자들의 픽업이송용 에어석션 기능을 갖는 피커실린더 장치에 칩 부품에 대한 과도압력 흡수용 완충장치를 장착시키되 그 완충장치를 실린더실에 내장시킴으로서 별도의 완충샤프트 없이 진공부압 석션샤프트에서 칩 부품에 대한 과도압력 완충기능이 수행되도록 함으로써 단일 샤프트에 의한 피커실린더를 초소형화할 수 있도록 한 충격 완충기능을 갖는 편로드 피커실린더 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a picker cylinder device having an air suction function for pick-up and transfer of chip component elements, and more particularly, to a picker cylinder device having an air suction function for pick-up transfer of chip component elements. The shock absorber function is to mount the shock absorber in the cylinder chamber so that the overpressure shock absorbing function of the chip parts is performed in the vacuum negative pressure suction shaft without a separate shock absorbing shaft. A single rod picker cylinder device having.

반도체 제조공정 및 칩 부품 조립공정 등에서 칩 부품을 이동시키거나 회로기판 등에 실장할 때 에어 석션 기능을 가지는 피커실린더 장치가 이용된다.In a semiconductor manufacturing process and a chip component assembly process, a picker cylinder device having an air suction function is used when moving chip components or mounting them on a circuit board.

칩 부품 피커실린더 장치는 실린더내의 피스톤로드를 작동시키기 위한 에어 흡배기관과 칩 부품 석션을 위한 에어석션관이 결합되어 있어 공압에 의한 피스톤로드의 행정과 에어셕션 노즐의 부압을 이용하여 칩 부품을 픽업 운반한다.The chip part picker cylinder device combines the air intake and exhaust pipe for operating the piston rod in the cylinder and the air suction tube for the chip part suction, so that the chip parts are picked up and transported by using the stroke of the piston rod and the negative pressure of the air suction nozzle. do.

구체적으로, 에어석션을 이용한 반도체 칩 부품의 위치이동 및 적재적소에의 장착에 있어 공압장비 말단부의 피커실린더 노즐은 에어석션을 통해 칩 부품을 부압으로 홀딩하여 정해진 위치로 이동한 다음 그 정해진 위치에 도착했을 때 공기압력을 제거하는 것으로 칩 부품을 원하는 위치에 배치 또는 장착시킨다.Specifically, in the movement of the semiconductor chip parts using the air suction and the mounting in the right place, the picker cylinder nozzles at the end of the pneumatic equipment are held at a negative pressure through the air suction to move to a predetermined position and then to the predetermined position. When arriving, the chip components are placed or mounted in the desired position by removing the air pressure.

여기서 피커실린더는 원통형상의 실린더실 내부를 피스톤로드가 진공압에 의해 상, 하 또는 좌, 우 반복 이동하는 구조를 가지고 있어 피커실린더 내의 피스톤이 장시간 반복적으로 작동하게 될 경우 피스톤의 미세회전에 따른 정위치 변동으로 인해 반도체 칩 부품의 장착위치가 최초의 세팅 위치로부터 벗어나게 되므로 칩 부품의 픽업실패, 이송위치 이탈 및 실장실패를 초래하여 제품불량을 일으키게 된다.Here, the picker cylinder has a structure in which the piston rod is repeatedly moved up, down, left and right by the vacuum pressure inside the cylindrical cylinder chamber, and when the piston in the picker cylinder is repeatedly operated for a long time, Due to the position variation, the mounting position of the semiconductor chip component deviates from the initial setting position, which causes a failure in pick-up, transfer of the transfer position and mounting failure of the chip component, resulting in product defects.

특히, 피커실린더에 인가되는 전진 공기압에 의해 피커노즐이 칩부품을 향해 전진하게 될 때, 해당 칩 부품의 실장위치의 높낮이 변화와 픽업 석션거리의 변화로 인하여 일부 칩 부품에 대해 설정 기준값 보다 현저히 높은 스트로크 압압력이 인가될 수 있고 이러한 기준값 초과의 스트로크 압압력에 의해 칩 부품이 손상되거나 그 실장위치가 정위치를 벗어나는 문제를 일으킬 수 있다.In particular, when the picker nozzle is advanced toward the chip part due to the forward air pressure applied to the picker cylinder, the height of the mounting position of the chip part and the change of the pickup suction distance are significantly higher than the set reference value for some chip parts. Stroke pressing force may be applied, and a stroke pressure exceeding this reference value may cause a problem that the chip component is damaged or its mounting position is out of position.

이러한 피커실린더 장치에서의 과도압력을 완충시키기 위해서 종래에는 칩 부품 픽업용 진공부압을 제공하는 석션샤프트와는 별도로 그 석션샤프트에 인접시켜서 별도의 완충샤프트를 마련하고 이들 석션샤프트와 완충샤프트를 하나의 헤드블록에 결합시켜 과도압력이 피커노즐에 나타나게 되면 헤드블록의 완충샤프트에 장착된 스프링이 과도한 픽업스트로크 압력을 흡수하도록 구성하고 있었다.In order to buffer the excessive pressure in such a picker cylinder device, a separate cushion shaft is provided adjacent to the suction shaft separately from the suction shaft which provides a vacuum negative pressure for picking up the chip parts, and the suction shaft and the buffer shaft are provided as one. When the transient pressure appeared on the picker nozzle when coupled to the head block, the spring mounted on the buffer shaft of the head block was configured to absorb excessive pickup stroke pressure.

그러나 종래의 과도압력 흡수용 피커실린더 장치는 석션샤프트와는 별도로 완충샤프트를 별도로 마련해야 하기 때문에 피커실린더 사이즈 증가와 구조의 복잡화를 초래해 왔다. 즉 칩 부품에 대한 피커노즐의 과다압력 흡수장치는 결국 피커실린더의 소형화를 방해하는 결과를 가져오고 있었다.However, the conventional overpressure absorber picker cylinder device has caused an increase in the size of the picker cylinder and the complexity of the structure because the shock absorber shaft must be provided separately from the suction shaft. In other words, the overpressure absorber of the picker nozzle on the chip component has resulted in the disturbance of miniaturization of the picker cylinder.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로 칩부품 소자들의 픽업이송용 에어석션 기능을 갖는 피커실린더 장치에 칩 부품에 대한 과도압력 흡수용 완충장치를 장착시키되 그 완충장치를 실린더실 내부에 장착시킴으로서 별도의 완충샤프트 없이 단일의 진공부압 석션샤프트만으로 칩 부품에 대한 석션기능과 과도압력 완충기능이 동시에 수행되도록 함으로써 피커실린더의 초소형화를 가능하게 한 충격 완충기능을 갖는 편로드 피커실린더 장치를 제공하는데 있다.The present invention is to solve the problems of the prior art as described above is equipped with a shock absorber for absorbing the excessive pressure for the chip component in the picker cylinder device having the air suction function for the pickup transfer of the chip component elements, the buffer device cylinder chamber Single-sided picker cylinder with shock buffer function that enables the miniaturization of the picker cylinder by mounting the inside so that the suction function and the transient pressure buffer function for the chip parts can be performed simultaneously with only a single vacuum negative pressure suction shaft without a separate buffer shaft. To provide a device.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 편로드 피커실린더 장치는 실린더블록의 내부에 고정 배치되어 실린더실을 형성하는 한 쌍의 진공부시와, 상기 진공부시에 압입 고정되며 그 내부로 석션니플을 통한 진공부압이 인가되는 관형의 피스톤로드와, 전진니플 및 후진니플을 통한 외부의 전, 후진 공기압에 의해 상기 피스톤로드를 가이드 축으로 하여 실린더실 내부를 전, 후진 운동하며 내부에 스프링실을 마련하고 있는 피스톤과, 상기 피스톤을 관통하는 피스톤로드를 내부로 받아들여 슬라이딩 운동하며 그의 일측 선단부에 장착된 샤프트캡에 의해 상기 스프링실내의 스프링이 지지되게 하는 샤프트와, 상기 스프링실내에서 스프링과 샤프트캡의 이탈을 방지하고 또한 전, 후진 유동 가능한 상태로 지지하기 위한 피스톤캡과, 상기 실린더블록의 외부로 노출된 샤프트의 타측선단부에 결합된 노즐하우징을 포함하는 것을 특징으로 한다.The single rod picker cylinder device of the present invention for achieving the above object is a pair of vacuum bushes fixedly arranged inside the cylinder block to form a cylinder chamber, and the vacuum through the suction nipple press-fixed to the vacuum bush A tubular piston rod to which negative pressure is applied, and the piston rod as a guide shaft by external forward and reverse air pressure through the forward nipple and the backward nipple to move the cylinder chamber forward and backward and provide a spring chamber therein. A shaft which receives the piston and the piston rod penetrating through the piston and slides it and supports the spring in the spring chamber by a shaft cap mounted at one end thereof, and the spring and the shaft cap are separated from the spring chamber. And a piston cap for supporting the cylinder in a state capable of moving forward and backward, Portion is characterized in that it comprises a nozzle housing coupled to the other distal end of the shaft exposed.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명은 공압으로 작동하는 피커실린더 장치를 이용하여 회로기판 등에 칩 부품을 연속 실장할 때, 칩 부품의 픽업 및 자동삽입 지형의 변화에 따른 피커실린더 노즐의 과압력이 칩 부품에 가해지는 것을 완충시켜 칩 부품이 손상되는 것을 방지하게 되는 특유의 효과를 나타낸다.As described above, in the present invention, when a chip component is continuously mounted on a circuit board or the like using a pneumatically operated picker cylinder device, the overpressure of the picker cylinder nozzle due to the pick-up of the chip component and the change of the auto-insertion topography is increased. It has a unique effect of preventing the damage to the chip components by buffering the applied to.

특히 본 발명은 과도압력 흡수용 완충장치를 실린더실 내부에 장착시킴으로서 추가적인 완충샤프트 없이 단일의 진공부압 석션샤프트, 즉 편로드만으로 칩 부품에 대한 석션기능과 과도압력 완충기능이 동시에 수행되게 되므로 피커실린더 장치의 초소형화를 가능하게 한다.In particular, the present invention is equipped with a shock absorbing shock absorber and a transient pressure buffering function for the chip components at the same time without the additional shock absorbing shaft by mounting the shock absorbing shock absorber in the cylinder chamber inside the cylinder chamber, so that the picker cylinder Enables miniaturization of the device.

또한 피커실린더를 장시간 작동시키게 되면 실린더실의 피스톤이 회전하여 미세오차를 일으킬 수 있는데 본 발명에서는 실린더캡의 내부에 돌기가이드홈을 마련하고 그 실린더캡 내부를 왕복 슬라이딩 운동하게 되는 샤프트의 바깥쪽으로 돌기를 형성하여 줌으로써 이들의 결합을 통하여 피커실린더의 작동오차가 발생되는 것을 방지할 수 있다.In addition, when the picker cylinder is operated for a long time, the piston of the cylinder chamber may rotate to cause a micro error. In the present invention, a protrusion guide groove is provided in the inside of the cylinder cap and the outside of the shaft is reciprocally sliding inside the cylinder cap. By forming a, it is possible to prevent the operation error of the picker cylinder through the combination thereof.

또한 본 발명은 관형의 피스톤로드(편로드)가 압입 고정되는 진공부시의 중앙에 피스톤로드의 내부 관통홈과 연통하는 석션홈을 마련하고 이 석션홈 둘레에는 확장된 환형홈부를 형성하여 줌으로써 브릿지를 가로질러 관통될 석션에어연통홈과의 매칭 포인트를 확장시킬 수 있어 실린더장치의 설계자유도가 증대시키게 된다.In addition, the present invention provides a bridge by providing a suction groove in communication with the inner through groove of the piston rod in the center of the vacuum bush in which the tubular piston rod (single rod) is press-fit fixed and forming an extended annular groove around the suction groove The matching point with the suction air communication groove to be penetrated across can be extended to increase the design freedom of the cylinder device.

첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 충격완충장치 내장 피커실린더 장치의 외관사시도이다.1 is an external perspective view of a shock absorber built-in picker cylinder device of the present invention.

여기서 보는 바와 같이 본 발명의 충격완충장치 내장 피커실린더 장치는 외관상 실린더블록(10)과 이 실린더블록에 브릿지(30)로 연결되는 니플블록(40)으로 이루어져 있으며 상기 실린더블록(10)의 일측선단부로 노출되어 연장된 샤프트(61)에는 패드(70)를 갖는 노즐하우징(68)과 센서독(67)을 결합시키고 있고 상기 니플블록(40)에는 상기 패드(70)에 진공부압을 만들어주기 위한 석션니플(41)과 실린더 전, 후진 스트로크 작동 제어를 위한 전, 후진니플(43,42)을 장착시키고 있다.As shown here, the shock absorber built-in picker cylinder device of the present invention consists of a cylinder block 10 and a nipple block 40 connected to the cylinder block by a bridge 30, and one side end portion of the cylinder block 10. A nozzle housing 68 having a pad 70 and a sensor dock 67 are coupled to the shaft 61 extended and exposed to the shaft 61, and the nipple block 40 is configured to create a vacuum negative pressure on the pad 70. The suction nipple 41 and the front and reverse nipples 43 and 42 for the control of the forward and backward stroke operation are mounted.

여기서 브릿지(30)는 피커실린더 장치를 자동화 설비에 적정화시키기 위한 구조에 의해 형성된 것으로 그 내부에는 상기 석션니플(41) 및 전, 후진니플(43,42)로 공급되는 공기압이 실린더블록내 실린더실 및 피커노즐에 인가되게 하기 위한 에어관로가 지나가게 된다.Here, the bridge 30 is formed by a structure for optimizing the picker cylinder device in an automated facility, and the air pressure supplied to the suction nipple 41 and the front and reverse nipples 43 and 42 is inside the cylinder chamber in the cylinder block. And an air line for being applied to the picker nozzle.

도 2는 본 발명의 충격완충장치 내장 피커실린더 장치의 내부구조를 설명하기 위한 단면도이고, 도 3은 본 발명의 충격완충장치 내장 피커실린더 장치의 분해사시도이다.Figure 2 is a cross-sectional view for explaining the internal structure of the shock absorber built-in picker cylinder device of the present invention, Figure 3 is an exploded perspective view of the shock absorber built-in picker cylinder device of the present invention.

여기에서 참고되는 것처럼, 실린더블록(10)에는 그 내부에 원통형상의 실린더실(11)과 실린더캡실(12)을 마련하며, 상기 실린더실(11)에는 한 쌍의 진공부시(50,63)가 일정간격을 두고 고정 배치한다.As referred to herein, the cylinder block 10 is provided with a cylindrical cylinder chamber 11 and a cylinder cap chamber 12 therein, and the cylinder chamber 11 has a pair of vacuum bushes (50, 63) Fixed placement at regular intervals.

구체적으로, 상기 진공부시(50)는 볼트홈(25)을 통해 삽입되는 무드볼트로 실린더실(11)의 내측에 고정하며 오링(53)을 삽입하여 기밀을 유지시킨다. 또한 그 의 중앙에는 석션홈을 마련하고 레에는 확장된 환형홈부를 형성하여 상기 브릿지(30)를 가로질러 마련될 에어관로와의 매칭 포인트가 확장되도록 구성한다.Specifically, the vacuum bush 50 is fixed to the inside of the cylinder chamber 11 with a mood bolt inserted through the bolt groove 25 and the O-ring 53 is inserted to maintain the airtight. In addition, a suction groove is provided at the center thereof, and an annular groove portion is formed at the ledge so that a matching point with the air line to be provided across the bridge 30 is expanded.

도 7과 도 8에서 상기 진공부시(50,63)의 상세구조를 나타내고 있는 것처럼, 상기 진공부시(50)는 백업링(50-1)을 가지며 그의 중앙 석션홈에는 진공부압이 인가되는 관형의 피스톤로드(54)를 압입 고정한다. 또 다른 진공부시(63)는 기밀유지를 위한 오링(64)과 관통 로드를 안정된 상태로 지지하기 위한 로드패킹(63-1)을 가진다.As shown in FIGS. 7 and 8, detailed structures of the vacuum bushings 50 and 63, the vacuum bushing 50 has a backup ring 50-1 and a tubular tube in which a vacuum negative pressure is applied to its central suction groove. Press-fit the piston rod 54. Another vacuum bush 63 has an O-ring 64 for hermetic holding and a rod packing 63-1 for supporting the through rod in a stable state.

상기 진공부시(63)은 실린더실(11)과 실린더캡실(12)이 만드는 단턱을 스토퍼로 하여 실린터캡실(12)내에 장착한 후 그 후방측에서 실린더캡(65)을 실린더블록(10)에 결합시키는 것으로 상기 진공부시(63)를 실린더캡실에 장착 고정한다.The vacuum bush (63) is mounted in the cylinder cap chamber (12) with the stopper made by the cylinder chamber (11) and the cylinder cap chamber (12) as a stopper, and then the cylinder cap (65) at the rear side thereof. The vacuum bushing 63 is attached to the cylinder cap chamber by fixing to the cylinder cap chamber.

피스톤로드(54)에는 유동 가능한 피스톤(55)을 장착하여 이 피스톤이 실린더실(11)내부를 전, 후진 스트로크 운동하도록 구성한다.The piston rod 54 is equipped with a movable piston 55 so that the piston moves forward and backward in the cylinder chamber 11.

피스톤(55)의 내부에는 스프링실(57)을 마련하여 여기에 스프링(58)을 장착하고 이 스프링의 복원력은 샤프트캡(59)에 미치도록 배치한다.A spring chamber 57 is provided inside the piston 55 to mount the spring 58 thereon, and the restoring force of the spring extends to the shaft cap 59.

샤프트캡(59)은 피스톤(55)에 결합되는 피스톤캡(60)에 의해 스프링실(57)로부터 이탈되지 못하고 일방향으로만 유동 가능한 상태로 관형의 피스톤로드(54)를 따라 슬라이딩 지지하게 구성한다.The shaft cap 59 is configured to slide along the tubular piston rod 54 in a state in which the shaft cap 59 is movable in only one direction without being separated from the spring chamber 57 by the piston cap 60 coupled to the piston 55. .

또한 상기 피스톤(55)의 바깥쪽 둘레에는 기밀을 위한 오링(56)과 관통로드의 슬라이드 가이드를 위한 로드패킹(55-1)과 고정을 위한 백업링(55-2)이 장착되는 것을 도 9에서 보이고 있다.In addition, the outer circumference of the piston 55 is equipped with an O-ring 56 for airtightness, a rod packing 55-1 for the slide guide of the through rod, and a backup ring 55-2 for fixing. Is showing in.

샤프트(61)는 상기 피스톤(55)을 관통하는 피스톤로드(54)를 내부로 받아들여 슬라이딩 운동하게 구성하며 그의 일측 선단부에 장착된 샤프트캡(59)에 의해 상기 스프링실내(57)의 스프링(58)의 탄력을 받아 저항하도록 구성한다.The shaft 61 is configured to receive the piston rod 54 penetrating the piston 55 therein so as to slide therein, and to have a spring (57) in the spring chamber 57 by a shaft cap 59 mounted at one end thereof. It is configured to resist the elasticity of 58).

상기 실린더블록(10)의 실린더캡(65)을 통하여 외부로 노출된 샤프트(61)의 타측 선단부에는 노즐하우징(68)을 결합시켜 구성한다.The other end of the shaft 61 exposed to the outside through the cylinder cap 65 of the cylinder block 10 is coupled to the nozzle housing 68 is configured.

상기 노즐하우징(68)에는 노즐팁을 장착하며, 아 노즐팁의 선단부에는 고무재 또는 실리콘재의 석션용 패드(70)를 장착한다.The nozzle housing 68 is equipped with a nozzle tip, and the tip of the nozzle tip is equipped with a suction pad 70 of rubber or silicone material.

필요에 따라, 상기 실린더블록(10)의 외부로 노출된 샤프트(61)의 타측 선단부에는 센서독(67)이 추가로 장착될 수 있다.If necessary, the sensor dock 67 may be additionally mounted at the other end portion of the shaft 61 exposed to the outside of the cylinder block 10.

또한 상기 피스톤(55)의 전, 후진 반복동작으로 노즐하우징(68)에 결합될 노즐팁이 미세 회전하여 그 회전각 만큼에 따른 작동오차가 발생하게 되는 것을 방지하기 위해 상기 샤프트(61)의 몸통 일측에 돌기(62)를 마련하고 상기 실린더캡(65)의 내부에는 상기 돌기(62)를 가이드하기 위한 돌기가이드(66)홈을 마련할 수 있다.In addition, the body of the shaft 61 to prevent the nozzle tip to be coupled to the nozzle housing 68 by the forward and backward repetitive motion of the piston 55 to cause the operation error according to the angle of rotation is generated. Providing the projection 62 on one side and the inside of the cylinder cap 65 may be provided with a groove of the projection guide 66 for guiding the projection (62).

도 4a 내지 도 4c는 각각 본 발명 충격완충장치 내장 피커실린더 장치의 석션에어관로, 전진에어관로 및 후진에어관로를 형성하기 위한 에어관로 구성도이다.4A to 4C are diagrams illustrating a suction air pipe, an air pipe for forming a forward air pipe, and a reverse air pipe of the present invention.

도 4a는 패드(70)에서 진공부압이 나타나도록 하기 위한 석션니플(41)에어관로의 구성으로서 브릿지(30)와 니플블록(40)내부에 4개의 에어관로(13,14,15,16)를 만들어 실린더실(11)내 진공부시(50)의 환형홈부와 석션니플(41)이 장착될 에어관로(16)를 연결시킨 것을 보이고 있고, 도 4b는 실린더실(11)의 피스톤(55)을 전진 시키기 위한 관로의 구성으로서 실린더블록(10), 브릿지(30) 및 니플블록(40)의 내부에 4개의 에어관로(17,18,19,20)를 형성한 것을 보이고 있으며, 도 4c는 실린더실(11)의 피스톤(55)을 후진시키기 위한 관로의 구성으로서 실린더블록(10), 브릿지(30) 및 니플블록(40)의 내부에 5개의 에어관로(21,22,23,24,25)를 형성한 것을 보이고 있다.FIG. 4A shows a structure of a suction nipple 41 air pipe for allowing vacuum negative pressure to appear on the pad 70. Four air pipes 13, 14, 15, and 16 are provided inside the bridge 30 and the nipple block 40. To make the annular groove of the vacuum bushing 50 in the cylinder chamber 11 and the air line 16 to which the suction nipple 41 is to be mounted are shown, and FIG. 4B shows the piston 55 of the cylinder chamber 11. As shown in FIG. 4C, four air pipes 17, 18, 19, and 20 are formed inside the cylinder block 10, the bridge 30, and the nipple block 40 as a conduit for advancing the pressure. Five air pipes 21, 22, 23, 24, inside the cylinder block 10, the bridge 30, and the nipple block 40 as a conduit for reversing the piston 55 of the cylinder chamber 11. 25) is shown.

여기서 각 에어관로(13-25)들중 석션니플(41)과 전, 후진니플(43,42)가 결합될 에어관로(16,20,25)를 제외하고 나머지 각 에어관로들의 한쪽에 볼을 삽입하여 기밀이 유지되게 한다.Here, a ball is placed on one side of each of the remaining air conduits except for the air conduits 16, 20 and 25 to which the suction nipple 41 and the front and rear nipples 43 and 42 are coupled. Insert to ensure confidentiality.

이와 같이 구성된 본 발명 충격 완충기능을 갖는 편로드 피커실린더 장치의 동작을 첨부도면을 참고로 하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the accompanying drawings, the operation of the single rod picker cylinder device having a shock absorbing function configured as described above will be described in detail as follows.

먼저, 석션니플(41)을 통해 외부로부터 진공부압이 인가되면 이것은 에어관로(16 내지 13)을 통하여 실린더실(11)의 진공부시(50)의 환형홈부에 나타나게 되며, 이 환형홈부에 나타난 진공부압은 석션홈과 이 석션홈에 압입고정된 피스톤로드(54)와 상기 피스톤로드에 결합된 샤프트(61)와 상기 샤프트에 결합된 노즐하우징(68)과 이 노즐하우징에 장착된 노즐팁을 통해 패드(70)에 나타나게 된다.First, when a vacuum negative pressure is applied from the outside through the suction nipple 41, it appears in the annular groove of the vacuum bush 50 of the cylinder chamber 11 through the air pipe lines 16 to 13, and the vacuum shown in the annular groove is provided. The negative pressure is provided through a suction groove, a piston rod 54 press-fitted to the suction groove, a shaft 61 coupled to the piston rod, a nozzle housing 68 coupled to the shaft, and a nozzle tip mounted to the nozzle housing. Will appear on the pad 70.

도 5a는 본 발명에 따른 충격완충장치 내장 피커실린더 장치의 피스톤 후진상태를 보인것으로, 피스톤(55)이 진공패드(50)쪽으로 이동되어 있다.Figure 5a shows the piston retracted state of the shock absorber built-in picker cylinder device according to the present invention, the piston 55 is moved toward the vacuum pad (50).

이와 같은 상태에서, 전진니플(43)에 외부공압장치로부터 실린더 전진공압이 인가되면 이 전진공압은 에어관로(20-17)를 통해 실린더실(11)의 피스톤(55)과 진공부시(50)사이에 투입되게 되며, 인가되는 공압에 의해 상기 피스톤(55)이 도면상 좌측을 향해 이동하는 것으로 전진동작이 일어난다. 그 결과를 도 5b에 도시하고 있다.In this state, when the cylinder forward air pressure is applied to the forward nipple 43 from the external pneumatic device, the forward air pressure is passed through the air line 20-17 to the piston 55 and the vacuum bush 50 of the cylinder chamber 11. The piston 55 is moved toward the left side in the drawing by the applied pneumatic pressure, and the forward operation occurs. The result is shown in FIG. 5B.

즉, 전진공압에 의해 피스톤(55)가 전진하여 이 피스톤에 결합된 샤프트(61)가 피스톤의 전진 스트로크 거리만큼 전진 이동하게 되고 이것에 의해 샤프트의 선단부에 결합된 노즐하우징(68)내의 노즐팁이 전진 이동하여 패드(70)는 픽업대상물인 칩부품 등에 전진 접근된다.That is, the piston 55 is advanced by the forward pneumatic pressure so that the shaft 61 coupled to the piston is moved forward by the forward stroke distance of the piston, whereby the nozzle tip in the nozzle housing 68 coupled to the front end of the shaft. The advancing movement moves the pad 70 closer to the chip component or the like that is the pickup object.

이후, 석션니플(41)을 통해 진공부압을 인가하면 그 진공부압이 노즐팁에 해당 칩 부품이 픽업된다.Subsequently, when vacuum negative pressure is applied through the suction nipple 41, the corresponding vacuum component is picked up by the nozzle tip.

이때, 피커실린더 장치의 전진스트로크에 의한 노즐팁의 이동거리 이내에 칩 부품 등이 위치하고 있어 패드(70)가 칩 부품에 닿은 조건이면 피스톤의 스트로크에 따른 샤프트(61)의 전진공압력은 충격완충 기능을 갖는 스프링(58)으로 전달되어 이 스프링(58)을 압축한다. 즉, 전진공압에 의한 피스톤의 전진스트로크의 힘은 패드(70)가 픽업대상물체에 닿는 순간 그 초과 전진 압력은 전부 스프링(58)의 완충력으로 흡수되므로 칩부품에 부과되는 불필요한 압력을 제거할 수 있게 되는 것이다(도 5c참조).At this time, if the chip part is located within the moving distance of the nozzle tip by the forward stroke of the picker cylinder device, and the pad 70 is in contact with the chip part, the forward vacuum pressure of the shaft 61 according to the stroke of the piston is shock-absorbing. It is transmitted to a spring 58 having a compression of the spring (58). That is, the force of the forward stroke of the piston by the forward vacuum pressure is absorbed by the buffer force of the spring 58, the excess forward pressure is absorbed by the buffer force of the spring 58 at the moment the pad 70 touches the pickup object can eliminate the unnecessary pressure applied to the chip parts (See FIG. 5C).

이렇게 쇼크업쇼버 기능을 포함한 전진 스트로크 동작과 픽업노즐의 진공부압 인가동작에 의해 칩 부품 등이 패드(70)에 픽업된다.The chip components and the like are picked up by the pad 70 by the forward stroke operation including the shock absorber function and the vacuum negative pressure applying operation of the pickup nozzle.

이어서 후진니풀(42)을 통해 후진제어공압이 투입되면 피스톤(55)이 도면서 우측으로 이동하면서 우선적으로 스프링(58)에 의한 충격완충 거리가 먼저 회복된후 피스톤(55)에 결합된 샤프트(61)가 후진하는 것을 통하여 도 5a와 같은 전진대 기 상태에 도달하게 된다.Subsequently, when the reverse control pneumatic is input through the reverse nipple 42, the piston 55 rotates and moves to the right, and first, the shock buffer distance by the spring 58 is recovered first, and then the shaft coupled to the piston 55 As a result of the backward movement of the terminal 61, a forward standby state as shown in FIG. 5A is reached.

패드(70)에 나타난 진공부압으로 칩 부품을 픽업한 상태에서 피커실린더를 소정의 위치로 이동한 다음 앞에서 설명한 동작의 역으로 전진니플(43)에 전진공압을 투입하고 이어서 석션니플(41)을 통한 진공부압을 제거하면 해당 위치로의 칩 부품 이동을 완료하게 된다. 여기서도 칩 부품 픽업시와 마찬가지로 칩 부품 장착시 지형 오차에 따른 과도압력이 노즐팁에 나타나게 되면 이러한 과도압력은 일정량을 제외하고는 전부 스프링(58)으로 구성된 충격완충장치에 의해 흡수되게 되므로 칩부품의 손상을 방지할 수있게 된다.The picker cylinder is moved to a predetermined position while the chip component is picked up by the vacuum negative pressure shown in the pad 70, and then the forward nipple is applied to the forward nipple 43 in the reverse operation described above, and then the suction nipple 41 is removed. Removing the vacuum underpressure completes the movement of the chip component to the location. Here, as in the case of picking up the chip parts, when the overpressure due to the terrain error appears on the nozzle tip when the chip parts are mounted, the excess pressure is absorbed by the shock absorber composed of the springs 58 except for a certain amount. It is possible to prevent damage.

한편, 전, 후진 스트로크 동작에 따른 상기 피스톤(55)의 반복적인 전, 후진 동작은 미세 회전을 가져와 노즐하우징(68)에 결합될 노즐팁의 작동오차를 유발할 수 있다.On the other hand, repetitive forward and backward movements of the piston 55 according to the forward and backward stroke operations may cause fine rotation to cause an operation error of the nozzle tip to be coupled to the nozzle housing 68.

이러한 문제를 고려하여 본 발명 장치는 상기 샤프트(61)의 몸통 일측에 돌기(62)를 마련하고 상기 실린더캡(65)의 내부에는 상기 돌기(62)를 가이드하기 위한 돌기가이드(66)홈을 마련함으로써 피스톤 미세회전에 따른 피커실린더의 작동각도 오차를 제거하고 있다.In consideration of this problem, the present invention provides a protrusion 62 on one side of the body of the shaft 61 and a groove of the protrusion guide 66 for guiding the protrusion 62 inside the cylinder cap 65. By eliminating the error in the operating angle of the picker cylinder due to the piston micro-rotation.

도 1은 본 발명의 충격 완충기능을 갖는 편로드 피커실린더 장치의 외관사시도이다.1 is an external perspective view of a single rod picker cylinder device having a shock absorbing function of the present invention.

도 2는 본 발명의 충격 완충기능을 갖는 편로드 피커실린더 장치의 내부구조를 설명하기 위한 단면도이다.2 is a cross-sectional view for explaining the internal structure of the single-rod picker cylinder device having a shock absorbing function of the present invention.

도 3은 본 발명의 충격 완충기능을 갖는 편로드 피커실린더 장치의 분해사시도이다.Figure 3 is an exploded perspective view of a single rod picker cylinder device having a shock buffer of the present invention.

도 4a 내지 도 4c는 각각 본 발명 충격 완충기능을 갖는 편로드 피커실린더 장치의 석션에어관로, 전진에어관로 및 후진에어관로를 형성하기 위한 에어관로 구성도이다.4A to 4C are diagrams illustrating a suction air conduit, a forward air conduit, and an air conduit for forming a reverse air conduit of the single rod picker cylinder device having an impact buffer function according to the present invention, respectively.

도 5a 내지 도 5c는 본 발명 충격 완충기능을 갖는 편로드 피커실린더 장치의 작동상태 설명도이다.5A to 5C are explanatory diagrams of an operating state of a single rod picker cylinder device having an impact buffer function according to the present invention.

도 6은 본 발명 장치에 적용된 편로드 샤프트의 상세 구조도이다.6 is a detailed structural diagram of a single rod shaft applied to the apparatus of the present invention.

도 7은 본 발명 장치에 적용된 진공부시의 상세 구조도이다.7 is a detailed structural diagram of a vacuum bush applied to the apparatus of the present invention.

도 8은 본 발명 장치에 적용된 또 다른 진공부시의 상세 구조도이다.8 is a detailed structural diagram of another vacuum bushing applied to the apparatus of the present invention.

도 9는 본 발명 장치에 적용된 피스톤의 상세 구조도이다.9 is a detailed structural diagram of a piston applied to the apparatus of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10 : 실린더블록 11 : 실린더실10: cylinder block 11: cylinder chamber

12 : 실린더캡실 13-25 : 에어관로12: Cylinder cap seal 13-25: Air line

30 : 브릿지 40 : 니플블록30: bridge 40: nipple block

41 : 석션니플 42 : 후진니플41: suction nipple 42: reverse nipple

43 : 전진니플 50,63 : 진공부시43: forward nipple 50,63: vacuum bushing

50-1 : 백업링 53,64 : 오링50-1: Backup ring 53,64: O-ring

54 : 피스톤로드 55 : 피스톤54: piston rod 55: piston

55-1,60-1,63-1 : 로드패킹 57 : 스프링실55-1,60-1,63-1: road packing 57: spring seal

58 : 스프링 59 : 샤프트캡58: spring 59: shaft cap

60 : 피스톤캡 61 : 샤프트60: piston cap 61: shaft

62 : 돌기 65 : 실린더캡62: projection 65: cylinder cap

66 : 돌기가이드홈 67 : 센서독66: projection guide groove 67: sensor dock

68 : 노즐하우징 70 : 패드68: nozzle housing 70: pad

Claims (4)

실린더블록(10)의 내부에 고정 배치되어 실린더실(11)을 형성하는 한 쌍의 진공부시(50,63)와, 상기 진공부시(50)에 압입 고정되며 그 내부로 석션니플(41)을 통한 진공부압이 인가되는 관형의 피스톤로드(54)와, 전진니플(43) 및 후진니플(42)을 통한 외부의 전, 후진 공기압에 의해 상기 피스톤로드를 가이드 축으로 하여 실린더실 내부를 전, 후진 운동하며 내부에 스프링실(57)을 마련하고 있는 피스톤(55)과, 상기 피스톤(55)을 관통하는 피스톤로드(54)를 내부로 받아들여 슬라이딩 운동하며 그의 일측 선단부에 장착된 샤프트캡(59)에 의해 상기 스프링실내(57)의 스프링(58)이 지지되게 하는 샤프트(61)와, 상기 스프링실(57)내에서 스프링(58)과 샤프트캡(59)의 이탈을 방지하고 또한 전, 후진 유동 가능한 상태로 지지하기 위한 피스톤캡(60)과, 상기 실린더블록(10)의 외부로 노출된 샤프트(61)의 타측선단부에 결합된 노즐하우징(68)을 포함하는 것을 특징으로 하는 충격 완충기능을 갖는 편로드 피커실린더 장치.The pair of vacuum bushes 50 and 63 fixedly disposed inside the cylinder block 10 to form the cylinder chamber 11, and the suction nipple 41 is press-fitted and fixed to the vacuum bush 50. Through the piston rod 54 of the tubular to which the vacuum negative pressure is applied, and the external and forward air pressure through the forward nipple 43 and the reverse nipple 42, the piston rod as a guide shaft to move the inside of the cylinder chamber, A piston cap having a spring chamber 57 and a piston rod 54 penetrating the piston 55 inwardly and slidingly received therein, and a shaft cap mounted at one end thereof. 59 prevents the separation of the spring 58 and the shaft cap 59 from the shaft 61 and the spring 58 of the spring chamber 57. , The piston cap 60 for supporting in a state capable of reverse flow, and the cylinder block 10 Rod picker cylinder device having a shock absorbing function, comprising a nozzle housing (68) coupled to the other distal end of the exposed shaft 61 parts. 제1항에 있어서, 상기 실린더블록(10)의 외부로 노출된 샤프트(61)의 타측선단부에는 센서독(67)이 더 장착되는 것을 특징으로 하는 충격 완충기능을 갖는 편로드 피커실린더 장치.2. The single rod picker cylinder device according to claim 1, wherein a sensor dock (67) is further mounted on the other end of the shaft (61) exposed to the outside of the cylinder block (10). 제1항에 있어서, 관형의 피스톤로드(54)가 압입 고정되는 진공부시(50)의 중 앙에는 상기 피스톤로드의 내부 관통홈과 연통하는 석션홈을 마련하고 이 석션홈 둘레에는 확장된 환형홈부를 형성하여 브릿지(30)를 가로질러 마련될 에어관로(13)와의 매칭 포인트를 확장시킨 것을 특징으로 하는 충격 완충기능을 갖는 편로드 피커실린더 장치.According to claim 1, a suction groove in communication with the inner through groove of the piston rod is provided in the center of the vacuum bushing 50, the tubular piston rod 54 is press-fit fixed and expanded around the suction groove Single rod picker cylinder device having a shock-absorbing function, characterized in that to form a portion to extend the matching point with the air line (13) to be provided across the bridge (30). 제1항에 있어서, 전, 후진 스트로크 동작에 따른 상기 피스톤(55)의 반복적인 전, 후진 동작으로 노즐하우징(68)에 결합될 노즐팁의 작동각도 오차를 방지하기 위해 상기 샤프트(61)의 몸통 일측에 돌기(62)를 마련하고 상기 실린더캡(65)의 내부에는 상기 돌기(62)를 가이드하기 위한 돌기가이드(66)홈을 마련한 것을 특징으로 하는 충격 완충기능을 갖는 편로드 피커실린더 장치.The method of claim 1, wherein the shaft 61 of the shaft 61 is prevented in order to prevent an operating angle error of the nozzle tip to be coupled to the nozzle housing 68 by the repeated forward and backward movement of the piston 55 according to the forward and backward stroke movements. Single rod picker cylinder device having a shock-absorbing function characterized in that the projection 62 is provided on one side of the body and the projection guide 66 groove for guiding the projection 62 is provided inside the cylinder cap 65. .
KR1020080014739A 2008-02-19 2008-02-19 Picker cylinder apparatus embedded shock absorber KR100960606B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080014739A KR100960606B1 (en) 2008-02-19 2008-02-19 Picker cylinder apparatus embedded shock absorber

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080014739A KR100960606B1 (en) 2008-02-19 2008-02-19 Picker cylinder apparatus embedded shock absorber

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090089525A true KR20090089525A (en) 2009-08-24
KR100960606B1 KR100960606B1 (en) 2010-06-07

Family

ID=41207651

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080014739A KR100960606B1 (en) 2008-02-19 2008-02-19 Picker cylinder apparatus embedded shock absorber

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100960606B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102545230B1 (en) 2016-11-02 2023-06-19 삼성전자주식회사 Picker assembly and apparatus for picking semiconductor chips using the same

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001203497A (en) 2000-01-21 2001-07-27 Yamaha Motor Co Ltd Surface-mounting device

Also Published As

Publication number Publication date
KR100960606B1 (en) 2010-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7137940B2 (en) gripping device
CN107380292B (en) Three leg formula climbing robots
JP2000084883A (en) Chucking device
KR100840271B1 (en) Picker cylinder apparatus
KR100960606B1 (en) Picker cylinder apparatus embedded shock absorber
KR100502837B1 (en) Apparatus of air-cylinder
US11400605B2 (en) Rotatable cushioning pick-and-place device
JP2010155331A (en) Vacuum-type suction device and robot hand
KR20090089772A (en) Pick-up cylinder
CN210616387U (en) Sucker clamp with buffer device
KR101307310B1 (en) Pick up cylinder for elemnet of semiconductor
CN112135510A (en) High-precision flexible suction head
CN209350758U (en) Inserts feeding device
KR101305486B1 (en) Pickup cylinder provided with a flexible vacuum tube
CN111037538A (en) Underwater three-degree-of-freedom attitude adjustment parallel device
KR101767932B1 (en) Part pickup head for chip mounting apparatus
CN212851672U (en) High-precision flexible suction head
KR102159182B1 (en) Picker
US10337639B2 (en) Apparatus to bias a moveable tube towards a seal
JP2000356204A (en) Hydraulic cylinder
JPH11214897A (en) Electric component conveyance system
CN104692116A (en) Material assembling mechanism
CN111137368B (en) Glass curtain wall climbing mechanism
CN213393286U (en) Air spring
JP7068440B2 (en) Mounting head

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130425

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee