KR20090086526A - Actuator - Google Patents

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타케시 고가와
타케시 야노
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나미키 세이미츠 호오세키 가부시키가이샤
유겐가이샤 메카노 트랜스포머
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Abstract

Provided is an actuator which can be reduced in size and thickness while keeping the moving distance of a mechanical element or an optical element sufficient. The unidirectional displacement, as outputted from a drive member (1) such as a piezoelectric element, is transmitted, while being enlarged in displacement, to a movable member (3) by a displacement enlarging mechanism (2) of a specific constitution, which includes a plurality levers (20a and 20b) arranged along the displacement transmitting direction, stationary portions (21a and 21b) for supporting those levers (20a and 20b), fulcrum joint portions (22a and 22b) made elastically deformable for forming the fulcrums of the levers, and elastically deformable joint portions (23a and 23b) for establishing the points of force of the levers. Although the size and thickness are reduced, the actuator can retain a large extent of movement for the movable member (3). ® KIPO & WIPO 2009

Description

액츄에이터{ACTUATOR}Actuator {ACTUATOR}

본 발명은, 소형 정밀 기기의 기계 요소나 광학 요소 등의 구동 수단으로서 매우 적합한 액츄에이터에 관한 것이다.The present invention relates to an actuator that is very suitable as a driving means such as a mechanical element or an optical element of a small precision instrument.

휴대 전화기 등의 휴대 단말에 내장된 카메라 모듈에는, 통상의 전자 카메라(디지털 카메라)와 동일하게, 고속·고정밀도인 오토 포커스 기능이나 줌 기능이 요구된다.The camera module incorporated in a portable terminal such as a cellular phone requires a high-speed, high-precision autofocus function and a zoom function similarly to a normal electronic camera (digital camera).

이들 기능을 실현하려면, 카메라 모듈의 렌즈군을 광축 방향으로 고속·고정밀도로 이동시킬 필요가 있으며, 그것을 위한 기구와 구동 수단이 필요하게 되는데, 특히 최근의 휴대 단말은 소형화·박형화(thinning)가 진행되고 있어, 이 때문에 상기 카메라 모듈이나 그 구성 부품에도 소형화·박형화가 요구된다.In order to realize these functions, it is necessary to move the lens group of the camera module at high speed and high precision in the optical axis direction, and a mechanism and driving means for it are required. For this reason, miniaturization and thinning are also required for the said camera module and its components.

카메라 모듈의 렌즈 이동용의 액츄에이터로서는, 나사식 회전 기구를 구비한 것이 일반적으로 알려져 있지만, 이런 종류의 기구는, 기계적 슬라이딩을 수반하기 때문에 에너지 손실이 크고, 게다가 마찰에 의해 마모분(粉)이 생기기 쉬운 난점이 있다. 또한, 소형화·박형화하기 어렵다는 구조상의 제약도 있다. 이 때문에 전력 절약, 고정밀도, 극소화·박형화 등이 요구되는 최근의 휴대 단말용 렌즈 이동 기구에는 적용할 수 없다.It is generally known that an actuator for lens movement of a camera module is provided with a screw-rotating mechanism. However, this type of mechanism has a large energy loss due to mechanical sliding, and also wears due to friction. There is an easy difficulty. In addition, there are structural restrictions that it is difficult to reduce the size and thickness. For this reason, it cannot be applied to the lens shift mechanism for the portable terminal of recent years which requires power saving, high precision, miniaturization, and thinning.

또한, 예를 들면, 특허문헌 1에는, 렌즈를 지지한 가동부를, 고정부에 대하여 판스프링 등의 탄성 부재를 통하여 상하동 가능하게 외팔보(cantilever) 형상으로 지지시킴과 아울러, 가동부와 고정부 사이에, 상기 탄성 부재를 변형 가능해지도록 형상기억합금을 설치한 액츄에이터가 개시되어 있다.For example, Patent Literature 1 supports a movable part supporting a lens in a cantilever shape so as to be movable up and down through an elastic member such as a leaf spring with respect to the fixed part, and between the movable part and the fixed part. An actuator provided with a shape memory alloy to deform the elastic member is disclosed.

또한, 특허문헌 2에는, 렌즈 홀더를 렌즈 광축과 평행하게 배치된 가이드축과 구동축을 따라서 이동 가능하게 형성하고, 렌즈 홀더에 탑재된 압전소자(piezoelectric element)를 여자(勵磁)하여 상기 구동축에 구동력(굽힘 진동에 의한 진행파)을 부여함으로써, 렌즈 홀더를 가이드축과 구동축을 따라서 이동시키도록 한 액츄에이터가 개시되어 있다.In addition, Patent Document 2 discloses that a lens holder is formed to be movable along a guide shaft and a drive shaft arranged in parallel with a lens optical axis, and a piezoelectric element mounted on the lens holder is excited to provide a drive shaft. An actuator is disclosed in which a lens holder is moved along a guide shaft and a drive shaft by applying a driving force (a traveling wave due to bending vibration).

[특허문헌 1] 일본공개특허공보 2002-130114호[Patent Document 1] Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2002-130114

[특허문헌 2] 일본공개특허공보 2006-106797호[Patent Document 2] Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2006-106797

(발명의 개시)(Initiation of invention)

(발명이 해결하고자 하는 과제)(Tasks to be solved by the invention)

그러나, 특허문헌 1, 2에 개시되어 있는 액츄에이터는, 모두 구조상의 제약으로 인해, 렌즈의 이동 거리를 충분히 확보하기에는 렌즈 이동 방향에서의 장치 두께(액츄에이터 높이)가 커져, 휴대 단말용 렌즈 이동 기구에 요구되는 극소화·박형화 등에 충분히 대응할 수 없다는 문제가 있다.However, the actuators disclosed in Patent Literatures 1 and 2 both have a large device thickness (actuator height) in the lens moving direction in order to sufficiently secure the moving distance of the lens due to structural limitations. There is a problem that it cannot sufficiently cope with the required miniaturization and thinning.

따라서 본 발명의 목적은, 소형 정밀 기기의 기계 요소나 광학 요소 등의 구동 수단에 적용한 경우에, 기계 요소나 광학 요소 등의 이동 거리를 충분히 확보하면서, 소형화·박형화가 가능한 액츄에이터를 제공하는 것에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an actuator that can be miniaturized and thinned while sufficiently securing a moving distance of a mechanical element or an optical element when applied to a drive means such as a mechanical element or an optical element of a small precision instrument. .

(과제를 해결하기 위한 수단)(Means to solve the task)

본 발명자들은, 소형 정밀 기기의 기계 요소나 광학 요소 등의 구동 수단에 적용한 경우에, 기계 요소나 광학 요소 등의 이동 거리를 충분히 확보하면서 소형화·박형화가 가능한 액츄에이터 기구에 대하여 검토를 거듭한 결과, 압전 소자 등의 구동 부재로부터 출력되는 일축방향의 변위(unidirectional displacement)를, 변위 전달 방향을 따라서 배치되는 복수의 레버(지렛대)를 구비한 특정 구조의 변위 확대 기구로 가동 부재에 전달함으로써, 상기 과제를 해결할 수 있음을 발견했다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result, when the present inventors apply to the drive means, such as a mechanical element and an optical element of a small precision apparatus, as a result of the examination about the actuator mechanism which can be reduced in size and thickness while ensuring sufficient moving distance of a mechanical element or an optical element, The said subject by transmitting unidirectional displacement output from drive members, such as a piezoelectric element, to a movable member with the displacement expansion mechanism of the specific structure provided with the some lever (row lever) arrange | positioned along the displacement transmission direction. Found that can be solved.

본 발명은, 이러한 인식에 기초하여 이루어진 것으로, 이하를 요지로 하는 것이다.This invention is made | formed based on such recognition, and makes the following a summary.

[1] 입력되는 에너지량에 따른 변형량으로 변형하고, 상기 변형을 일축방향으로의 변위로서 출력하는 구동 부재(1)와, 상기 구동 부재(1)로부터 출력된 변위를 변위량을 확대시키면서 가동 부재(3)까지 전달하여 당해 가동 부재(3)를 변위 동작시키는 변위 확대 기구(2)를 구비한 액츄에이터로서,[1] A drive member 1 which deforms into a deformation amount corresponding to the amount of energy input and outputs the deformation as a displacement in the uniaxial direction, and a movable member while the displacement output from the drive member 1 is expanded. An actuator provided with a displacement expanding mechanism (2) for transmitting up to 3) and displacing the movable member (3),

상기 변위 확대 기구(2)는, 변위 전달 방향을 따라 배치되는 복수의 레버(20)와, 당해 레버(20)를 지지하는 고정부(21)를 구비하고,The displacement expansion mechanism 2 includes a plurality of levers 20 arranged along the displacement transmission direction, and a fixing portion 21 supporting the levers 20,

각 레버(20)는, 레버의 지지점을 형성하는 탄성 변형 가능한 지지점용 결합부(22)를 통하여 고정부(21)에 결합됨으로써 고정부(21)에 지지됨과 아울러, 인접하는 레버(20) 사이 및 변위 전달 방향의 최상류측 레버(20)와 구동 부재(1)의 변위 출력부(100) 사이는, 레버의 역점(力點; point of force)을 형성하는 탄성 변형 가능한 역점용 결합부(23)로 결합되고,Each lever 20 is supported by the fixing part 21 by being coupled to the fixing part 21 through the elastically deformable support point coupling part 22 which forms the support point of a lever, and is adjacent to the adjacent lever 20. And an elastically deformable coupling point 23 for forming a point of force of the lever between the most upstream lever 20 in the displacement transmission direction and the displacement output portion 100 of the driving member 1. ),

변위 전달 방향의 최하류측 레버(20)의 선단측 부분을 상기 가동 부재(3)에 연결 또는 걸어맞춰, 당해 최하류측 레버(20)의 변위에 의해 가동 부재(3)를 변위 동작시키도록 한 것을 특징으로 하는 액츄에이터.The front end side portion of the most downstream lever 20 in the displacement transfer direction is connected or engaged with the movable member 3 so that the movable member 3 is displaced by the displacement of the most downstream lever 20. Actuator characterized in that.

[2] 상기 [1]의 액츄에이터에 있어서, 변위 전달 방향의 최상류측 레버(20)는, 그 기단측 부분이, 지지점용 결합부(22)를 통하여 고정부(21)에 결합됨과 아울러, 역점용 결합부(23)를 통하여 구동 부재(1)의 변위 출력부(100)에 결합되고, 상기 최상류측 레버(20) 이외의 레버(20)는, 그 기단측 부분이, 지지점용 결합부(22)를 통하여 고정부(21)에 결합됨과 아울러, 역점용 결합부(23)를 통하여 인접하는 다른 레버(20)의 선단측 부분에 결합되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.[2] In the actuator according to the above [1], the most upstream side lever 20 in the displacement transmission direction has its proximal end portion coupled to the fixed portion 21 via a coupling portion 22 for the support point, It is coupled to the displacement output part 100 of the drive member 1 via the coupling part 23, and the lever 20 other than the said upstream lever 20 is the base end part, The coupling part for supporting points ( Actuator, characterized in that coupled to the fixing portion (21) through the 22, and coupled to the front end side portion of the other lever (20) adjacent through the anti-spot coupling portion (23).

[3] 상기 [2]의 액츄에이터에 있어서, 복수의 레버(20) 중 적어도 1개의 레버(20)의 기단측 부분에 결합되는 지지점용 결합부(22)와 역점용 결합부(23)는, 당해 레버(20)의 길이의 1/4 이상의 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.[3] In the actuator according to the above [2], the support point engaging portion 22 and the reverse coupling portion 23 coupled to the proximal end portion of at least one lever 20 of the plurality of levers 20 are: An actuator having a length of at least 1/4 of the length of the lever (20).

[4] 상기 [1]∼[3] 중 어느 하나의 액츄에이터에 있어서, 변위 확대 기구(2)가, 금속 또는/및 수지로 이루어지는 성형체 또는/및 적층체로 구성되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.[4] The actuator according to any one of the above [1] to [3], wherein the displacement expanding mechanism (2) is formed of a molded body and / or a laminated body made of metal or / and resin.

[5] 상기 [1]∼[4] 중 어느 하나의 액츄에이터에 있어서, 복수의 레버(20) 중 변위 전달 방향의 최하류측 레버(20)에 결합된 지지점용 결합부(22)와 역점용 결합부(23)의 병렬 방향이, 당해 최하류측 레버(20)보다도 상류측의 레버(20)의 변위면에 대하여 직교하고 있는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.[5] The actuator of any one of the above [1] to [4], wherein the coupling portion 22 for the support point and the reverse point are coupled to the lowest lever 20 in the displacement transmission direction among the plurality of levers 20. The actuator in the parallel direction of the engaging part 23 is orthogonal to the displacement surface of the lever 20 on the upstream side than the said downstreammost lever 20. An actuator characterized by the above-mentioned.

[6] 상기 [5]의 액츄에이터에 있어서, 구동 부재(1)와 변위 확대 기구(2)가, 평면적으로 가동 부재(3)를 외부에서 둘러싸는 상태로 배치되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.[6] The actuator according to the above [5], wherein the driving member (1) and the displacement expanding mechanism (2) are arranged in a state of enclosing the movable member (3) in the plane.

[7] 상기 [6]의 액츄에이터에 있어서, 변위 확대 기구(2)는 제1 및 제2 레버(20)를 구비하고, 가동 부재(3)는 구동 부재(1)와 제1 레버(20)와 제2 레버(20)에 의해, 적어도 3방면이 둘러싸여 있는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.[7] The actuator of [6], wherein the displacement magnification mechanism 2 includes first and second levers 20, and the movable member 3 includes a drive member 1 and a first lever 20. And at least three sides are surrounded by the second lever (20).

[8] 상기 [1]∼[4] 중 어느 하나의 액츄에이터에 있어서, 복수의 각 레버(20)에 결합된 지지점용 결합부(22)와 역점용 결합부(23)의 병렬 방향이, 당해 레버(20)보다도 상류측의 레버(20)의 변위면과 평행인 것을 특징으로 하는 액츄에이터.[8] The actuator of any one of the above [1] to [4], wherein the parallel direction of the support point engaging portion 22 and the reverse point engaging portion 23 coupled to each of the plurality of levers 20 corresponds. An actuator, which is parallel to the displacement plane of the lever 20 on the upstream side of the lever 20.

[9] 상기 [8]의 액츄에이터에 있어서, 변위 확대 기구(2)는 제1 및 제2 레버(20)를 구비하고, 당해 제1 및 제2 레버(20)와 구동 부재(1)가, 상기 제2 레버(20)의 지지점용 결합부(22)가 결합된 고정부(21)를 3방면에서 둘러싸고 있는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.[9] The actuator according to the above [8], wherein the displacement expanding mechanism 2 includes first and second levers 20, and the first and second levers 20 and the driving member 1 include: Actuator, characterized in that surrounding the fixing portion (21) coupled to the support portion coupling portion 22 of the second lever (20) in three directions.

[10] 상기 [1]∼[9] 중 어느 하나의 액츄에이터에 있어서, 레버(20)의 선단부(p1)와 당해 레버(20)에 결합된 지지점용 결합부(22)의 길이 방향 중심(p2)을 연결하는 직선(L)의 길이의 전(全) 레버의 합계가, 구동 부재(1)의 변위 출력 방향에서의 길이 이상인 것을 특징으로 하는 액츄에이터.[10] The actuator of any one of [1] to [9], wherein the longitudinal center p1 of the lever 20 and the longitudinal center of the coupling point 22 for the support point engaged with the lever 20 are p2. The sum total of all the levers of the length of the straight line L which connects) is more than the length in the displacement output direction of the drive member 1, The actuator characterized by the above-mentioned.

[11] 입력되는 에너지량에 따른 변형량으로 변형하고, 상기 변형을 일축방향으로의 변위로서 양단으로부터 출력하는 구동 부재(1)와, 상기 구동 부재(1)로부터 출력된 변위를 변위량을 확대시키면서 가동 부재(3)까지 전달하여 당해 가동 부재(3)를 변위 동작시키는 변위 확대 기구(2)를 구비한 액츄에이터로서,[11] A drive member 1 which deforms into a deformation amount corresponding to an input energy amount and outputs the deformation from both ends as a displacement in one axial direction, and moves the displacement output from the drive member 1 while expanding the displacement amount. An actuator provided with a displacement expanding mechanism (2) for transmitting to the member (3) and displacing the movable member (3),

상기 변위 확대 기구(2)는, 변위 전달 방향을 따라서 배치되는 복수의 레버(20)로 이루어지는 한 쌍의 레버군(X, Y)과, 상기 레버(20)를 지지하는 고정부(21)와, 양 레버군(X, Y)의 변위 전달 방향의 최하류측 레버(20)와 가동 부재(3)를 연결하는 길이 방향에서 탄성 변형 가능한 연결 부재(24)를 구비하고,The displacement expansion mechanism 2 includes a pair of lever groups X and Y made up of a plurality of levers 20 arranged along the displacement transmission direction, a fixing portion 21 supporting the levers 20, and And a connecting member 24 which is elastically deformable in the longitudinal direction connecting the lowest lever 20 and the movable member 3 in the displacement transmission direction of both lever groups X and Y,

각 레버(20)는, 레버의 지지점을 형성하는 탄성 변형 가능한 지지점용 결합부(22)를 통하여 고정부(21)에 결합됨으로써 고정부(21)에 지지됨과 아울러, 인접하는 레버(20) 사이 및 변위 전달 방향의 최상류측 레버(20)와 구동 부재(1)의 변위 출력부(100) 사이는, 레버의 역점을 형성하는 탄성 변형 가능한 역점용 결합부(23)로 결합되고, Each lever 20 is supported by the fixing part 21 by being coupled to the fixing part 21 through the elastically deformable support point coupling part 22 which forms the support point of a lever, and is adjacent to the adjacent lever 20. And between the most upstream lever 20 in the displacement transmission direction and the displacement output portion 100 of the drive member 1 with an elastically deformable coupling portion 23 that forms an inversion of the lever,

한 쌍의 레버군(X, Y)의 변위 전달 방향의 최하류측 레버(20)의 선단측 부분과 가동 부재(3)가 연결 부재(24)로 연결되고, 양 최하류측 레버(20)의 변위에 의해 연결 부재(24)를 통하여 가동 부재(3)를 변위 동작시키도록 한 것을 특징으로 하는 액츄에이터.The distal end portion of the lowest lever 20 in the displacement transfer direction of the pair of lever groups X and Y and the movable member 3 are connected by the connecting member 24, and both the most downstream levers 20 are connected. And the movable member (3) is displaced through the connecting member (24) by the displacement of the actuator.

[12] 상기 [11]의 액츄에이터에 있어서, 하기 (ⅰ)∼(ⅲ) 중 어느 일 형태로서, 한 쌍의 레버군(X, Y)의 변위 전달 방향의 최하류측 레버(20)의 선단측 부분과 가동 부재(3)가 연결 부재(24)로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.[12] In the actuator according to the above [11], in any one of the following (i) to (v), the tip of the most downstream side lever 20 in the displacement transfer direction of the pair of lever groups X and Y; An actuator, characterized in that the side portion and the movable member (3) are connected by a connecting member (24).

(ⅰ) 한 쌍의 연결 부재(24)가, 가동 부재(3)의 양측부와 양 최하류측 레버(20)의 선단측 부분을 각각 연결하고, 양 최하류측 레버(20)의 선단측 부분끼리가 접근·분리되는 변위를 행함으로써 가동 부재(3)를 변위 동작시킴.(Iv) A pair of connecting members 24 connect the both side portions of the movable member 3 and the tip side portions of the two most downstream levers 20, respectively, and the tip side of the two most downstream levers 20, respectively. The movable member 3 is displaced by performing displacement in which parts approach and separate.

(ⅱ) 연결 부재(24)가 양 최하류측 레버(20)의 선단측 부분을 연결함과 아울러, 연결 부재(24)의 중간부가 가동 부재(3)에 결합되고, 양 최하류측 레버(20)의 선단측 부분끼리가 접근·분리되는 변위를 행함으로써 가동 부재(3)를 변위 동작시킴.(Ii) while the connecting member 24 connects the front end side portions of both of the most downstream lever levers 20, the intermediate portion of the connecting member 24 is coupled to the movable member 3, and the two most downstream levers ( The movable member 3 is displaced by displacing the tip portions of 20) to approach and separate.

(ⅲ) 한 쌍의 연결 부재(24)가, 고정부(21)와 양 최하류측 레버(20)의 선단측 부분에 각각 가설(架設)되고, 양 연결 부재(24)의 중간부가 가동 부재(3)의 양측부에 각각 연결 또는 걸어맞춰지고, 양 최하류측 레버(20)의 선단측 부분이 상기 고정부(21)에 대하여 접근·분리되는 변위를 행함으로써 가동 부재(3)를 변위 동작시킴.(Iii) A pair of connecting members 24 are hypothesized at the distal end portions of the fixed portion 21 and the two most downstream levers 20, respectively, and the intermediate portions of both connecting members 24 are movable members. The movable member 3 is displaced by connecting or engaging the two side portions of (3), respectively, and displacing the tip-side portions of the two most downstream levers 20 toward and away from the fixing portion 21. Operation.

[13] 상기 [11] 또는 [12]의 액츄에이터에 있어서, 각 레버군(X, Y)에 있어서, 변위 전달 방향의 최상류측 레버(20)는, 그 기단측 부분이, 지지점용 결합부(22)를 통하여 고정부(21)에 결합됨과 아울러, 역점용 결합부(23)를 통하여 구동 부재(1) 양단의 각 변위 출력부(100)에 각각 결합되고, 상기 최상류측 레버(20) 이외의 레버(20)는, 그 기단측 부분이, 지지점용 결합부(22)를 통하여 고정부(21)에 결합됨과 아울러, 역점용 결합부(23)를 통하여 인접하는 다른 레버(20)의 선단측 부분에 결합되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.[13] In the actuator according to the above [11] or [12], in each lever group (X, Y), the most upstream side lever 20 in the displacement transmission direction has a proximal end portion of a support point engaging portion ( 22 is coupled to the fixed portion 21, and through the reverse point coupling portion 23, respectively coupled to the respective displacement output portion 100 on both ends of the drive member (1), other than the most upstream lever 20 Lever 20 has a proximal end portion thereof coupled to the fixed portion 21 via a support point coupling portion 22, and a tip of the other lever 20 adjacent to each other via a backlash coupling portion 23. Actuator, characterized in that coupled to the side portion.

[14] 상기 [13]의 액츄에이터에 있어서, 각 레버군(X, Y)에 있어서, 복수의 레버(20) 중의 적어도 1개의 레버(20)의 기단측 부분에 결합되는 지지점용 결합부(22)와 역점용 결합부(23)는, 당해 레버(20)의 길이의 1/4 이상의 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.[14] In the actuator according to the above [13], in each lever group (X, Y), a support point coupling portion 22 engaged with a proximal end portion of at least one lever 20 of the plurality of levers 20 is used. ) And the focus point coupling portion (23) has a length of 1/4 or more of the length of the lever (20).

[15] 상기 [11]∼[14] 중 어느 하나의 액츄에이터에 있어서, 변위 확대 기구(2) 또는 연결 부재(24)를 제외한 변위 확대 기구(2)가, 금속 또는/및 수지로 이루어지는 성형체 또는/및 적층체로 구성되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.[15] The actuator according to any one of [11] to [14], wherein the displacement expanding mechanism 2 except for the displacement expanding mechanism 2 or the connecting member 24 includes a molded body made of metal or resin and / or And / or a laminate.

[16] 상기 [11]∼[15] 중 어느 하나의 액츄에이터에 있어서, 한 쌍의 레버군(X, Y)은, 복수의 레버(20)의 평면적인 형상 및 배치가 선대칭 또는 점대칭인 것을 특징으로 하는 액츄에이터.[16] The actuator of any one of [11] to [15], wherein the pair of lever groups X and Y have a planar shape and arrangement of the plurality of levers 20 in line or symmetry. Actuator.

[17] 상기[11]∼[16] 중 어느 하나의 액츄에이터에 있어서, 각 레버군(X, Y)에 있어서, 레버(20)의 선단부(p1)와 당해 레버(20)에 결합된 지지점용 결합부(22)의 길이 방향 중심(p2)을 연결하는 직선(L)의 길이의 전(全) 레버의 합계가, 구동 부재(1)의 변위 출력 방향에서의 길이 이상인 것을 특징으로 하는 액츄에이터.[17] The actuator of any one of the above [11] to [16], in each of the lever groups (X, Y), for a tip portion p1 of the lever 20 and a support point coupled to the lever 20. An actuator, characterized in that the total of all the levers of the length of the straight line L connecting the longitudinal centers p2 of the engaging portion 22 is equal to or greater than the length in the displacement output direction of the drive member 1.

[18] 상기 [1]∼[17] 중 어느 하나의 액츄에이터에 있어서, 구동 부재(1)가, 압전 소자, 자왜(磁歪; magnetoscrictive) 소자, 형상기억합금재 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액츄에이터.[18] The actuator according to any one of [1] to [17], wherein the drive member 1 is any one of a piezoelectric element, a magnetoscrictive element, and a shape memory alloy material. .

[19] 변위 전달 방향의 최하류측 레버(20)의 선단측 부분을 렌즈 홀더(3)에 연결 또는 걸어맞춰, 당해 최하류측 레버(20)의 변위에 의해 렌즈 홀더(3)를 변위 동작시키도록 한 것을 특징으로 하는, 상기 [1]∼[18]에 기재된 액츄에이터를 이용한 렌즈 액츄에이터.[19] The distal end of the lowermost lever 20 in the displacement transfer direction is connected to or engaged with the lens holder 3 to displace the lens holder 3 by the displacement of the lowest downstream lever 20. The lens actuator using the actuator as described in said [1]-[18] characterized by the above-mentioned.

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

본 발명의 액츄에이터는, 구동 부재로부터 출력되는 일축방향의 변위를, 변위 전달 방향을 따라서 배치되는 복수의 레버를 구비한 특정 구조의 변위 확대 기구로 가동 부재에 전달하는 구조이기 때문에, 소형 또는 박형 구조이면서 가동 부재의 큰 이동량을 확보할 수 있다. 이 때문에 기계 요소나 광학 요소 등의 이동 거리를 충분히 확보하면서, 소형화·박형화가 가능한 액츄에이터로 할 수 있다. 또한, 변위 확대 기구는 기계적 접점이 없기 때문에 마모가 거의 없고, 에너지 손실도 작기 때문에 액츄에이터의 수명이나 에너지 효율의 향상도 실현할 수 있다.Since the actuator of the present invention is a structure that transmits the displacement in the uniaxial direction output from the drive member to the movable member with a displacement expanding mechanism having a specific structure having a plurality of levers disposed along the displacement transmission direction, the actuator is compact or thin. In addition, a large amount of movement of the movable member can be secured. For this reason, it can be set as the actuator which can be reduced in size and thickness, while ensuring the moving distance of a mechanical element, an optical element, etc. sufficiently. In addition, since the displacement expansion mechanism has no mechanical contact, there is almost no wear, and the energy loss is small, so that the life of the actuator and the improvement of energy efficiency can also be realized.

도 1은 본 발명의 액츄에이터의 일 실시 형태를 나타내는 전체 사시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The whole perspective view which shows one Embodiment of the actuator of this invention.

도 2는 도 1의 실시 형태의 분해 사시도이다.FIG. 2 is an exploded perspective view of the embodiment of FIG. 1. FIG.

도 3은 도 1의 실시 형태에 있어서 가동 부재를 제거한 상태로 나타내는 사시도이다.FIG. 3 is a perspective view showing the movable member in the embodiment shown in FIG. 1. FIG.

도 4는 도 1의 실시 형태의 평면도이다.4 is a plan view of the embodiment of FIG. 1.

도 5는 도 1의 실시 형태의 기능(작동 형태)을 나타내는 설명도이다.It is explanatory drawing which shows the function (operation form) of embodiment of FIG.

도 6은 본 발명의 액츄에이터의 다른 실시 형태를 나타내는 사시도이다.Fig. 6 is a perspective view showing another embodiment of the actuator of the present invention.

도 7은 도 6의 실시 형태의 측면도이다.7 is a side view of the embodiment of FIG. 6.

도 8은 도 6의 실시 형태에 있어서의 가동 부재를 부착한 상태의 사시도이다.It is a perspective view of the state which attached the movable member in embodiment of FIG.

도 9는 본 발명의 액츄에이터의 다른 실시 형태를 나타내는 사시도이다.Fig. 9 is a perspective view showing another embodiment of the actuator of the present invention.

도 10은 도 9의 실시 형태의 측면도이다.10 is a side view of the embodiment of FIG. 9.

도 11은 도 9의 실시 형태에 있어서의 가동 부재를 부착한 상태의 사시도이다.It is a perspective view of the state which attached the movable member in embodiment of FIG.

도 12는 본 발명의 액츄에이터의 다른 실시 형태를 나타내는 사시도이다.It is a perspective view which shows another embodiment of the actuator of this invention.

도 13은 도 12의 실시 형태의 평면도이다.FIG. 13 is a plan view of the embodiment of FIG. 12.

도 14는 도 12의 실시 형태의 측면도이다.14 is a side view of the embodiment of FIG. 12.

도 15는 본 발명의 액츄에이터의 다른 실시 형태를 나타내는 평면도이다.It is a top view which shows another embodiment of the actuator of this invention.

도 16은 도 15의 실시 형태에 있어서의 가동 부재를 부착한 상태의 평면도이다.It is a top view of the state which attached the movable member in embodiment of FIG.

도 17은 도 15의 실시 형태에 있어서의 가동 부재를 부착한 상태의 모식(schematic) 측면도이다.It is a schematic side view of the state which attached the movable member in embodiment of FIG.

도 18은 본 발명의 액츄에이터의 다른 실시 형태를 나타내는 사시도이다.It is a perspective view which shows another embodiment of the actuator of this invention.

도 19는 도 18의 실시 형태의 측면도이다.19 is a side view of the embodiment of FIG. 18.

도 20은 도 18의 실시 형태에 있어서의 가동 부재를 부착한 상태의 사시도이다.It is a perspective view of the state which attached the movable member in embodiment of FIG.

도 21은 본 발명의 액츄에이터의 다른 실시 형태를 나타내는 사시도이다.It is a perspective view which shows another embodiment of the actuator of this invention.

도 22는 도 21의 실시 형태의 평면도이다.22 is a plan view of the embodiment of FIG. 21.

도 23은 도 21의 실시 형태에 있어서의 가동 부재를 부착한 상태의 사시도이다.It is a perspective view of the state which attached the movable member in embodiment of FIG.

도 24는 본 발명의 액츄에이터의 다른 실시 형태를 나타내는 사시도이다.24 is a perspective view showing another embodiment of the actuator of the present invention.

도 25는 도 24의 실시 형태의 평면도이다.25 is a plan view of the embodiment of FIG. 24.

도 26은 도 24의 실시 형태에 있어서의 가동 부재를 부착한 상태의 사시도이다.It is a perspective view of the state which attached the movable member in embodiment of FIG.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

1 : 구동 부재1: drive member

2 : 변위 확대 기구2: displacement expansion mechanism

3 : 가동 부재3: movable member

4 : 연결 부재4 connection member

5, 6 : 누름용 스프링5, 6: pressing spring

7 : 기체(器體)7: gas

20a, 20b : 레버20a, 20b: lever

21, 21a∼21j : 고정부21, 21a to 21j: fixed part

22a, 22b : 지지점용 결합부22a, 22b: coupling portion for the support point

23a, 23b : 역점용 결합부23a, 23b: coupling part for power point

24 : 연결 부재24: connection member

25 : 부분25: part

30 : 본체30: main body

31, 32, 33 : 부착부31, 32, 33: Attachment

100 : 변위 출력부100: displacement output unit

200 : 단부(段部)200: end

201 : 제1 변부(邊部)201: first edge part

202 : 제2 변부202: second edge part

220, 221 : 옆걸침부220, 221: side hook

240 : 고(高)강성부240: high rigidity part

241 : 평탄부241: flat part

242 : 지지부242 support

243 : 강성 부재243: rigid member

245 : 본체245: main body

246 : 지지판부246: support plate

X, Y : 레버군X, Y: Lever group

도 1∼도 5는, 본 발명의 액츄에이터의 일 실시 형태를 나타내는 것으로, 휴대 단말의 렌즈 모듈에 내장되는 렌즈 액츄에이터에 적용한 경우를 나타내고 있다. 도 1은 전체 사시도, 도 2는 분해 사시도, 도 3은 가동 부재를 제거한 상태로 나타내는 사시도, 도 4는 동일하게 평면도, 도 5는 기능(작동 형태)을 나타내는 설명도이다. 도면에 있어서, 부호(3)는 액츄에이터가 변위 동작시켜야 할 가동 부재이며, 본 실시 형태에서는 렌즈 홀더이다.1 to 5 show an embodiment of the actuator of the present invention, and show a case where the present invention is applied to a lens actuator incorporated in a lens module of a portable terminal. 1 is an overall perspective view, FIG. 2 is an exploded perspective view, FIG. 3 is a perspective view showing a state in which a movable member is removed, FIG. 4 is a plan view similarly, and FIG. 5 is an explanatory view showing a function (operation form). In the drawing, reference numeral 3 denotes a movable member to which the actuator is to be displaced, and in this embodiment is a lens holder.

액츄에이터는, 입력되는 에너지량에 따른 변형량으로 변형하고, 이 변형을 일축방향으로의 변위로서 출력하는 구동 부재(1)와, 이 구동 부재(1)로부터 출력된 변위를 변위량을 확대시키면서 상기 가동 부재(3)까지 전달하여 가동 부재(3)를 변위 동작시키는 변위 확대 기구(2)를 구비하고 있다.The actuator deforms to the amount of deformation in accordance with the amount of energy input, and outputs the deformation as a displacement in the uniaxial direction, and the movable member while expanding the amount of displacement output from the drive member 1. Displacement expansion mechanism 2 which transmits to (3) and displaces movable member 3 is provided.

본 실시 형태에서는, 액츄에이터를 될 수 있는 한 박형화하기 위해, 구동 부재(1)와 변위 확대 기구(2)가 평면적으로 가동 부재(3)를 외부에서 둘러싸는 구조, 바꿔 말하면, 가동 부재(3)의 외주부에 구동 부재(1)와 변위 확대 기구(2)를 배치한 구조로 하고 있다. 이러한 구조에서는, 중앙의 스페이스를 가동 부재(3)의 수용 스페이스로 하여 액츄에이터의 박형화를 도모할 수 있을 뿐만 아니라, 변위 확대 기구(2)를 구성하는 레버(지렛대)의 길이를 충분히 확보할 수 있기 때문에, 큰 변위 확대량을 얻는 데에 있어 유리하다. 또한, 예를 들면, 렌즈 액츄에이터에 적용한 경우에, 렌즈의 광축을 방해하는 부재가 없기 때문에, 소형화·박형화에 특히 유리하다.In this embodiment, in order to make the actuator as thin as possible, the structure in which the drive member 1 and the displacement expansion mechanism 2 surround the movable member 3 in the plane, in other words, the movable member 3 The drive member 1 and the displacement enlargement mechanism 2 are arrange | positioned at the outer peripheral part of the structure. In such a structure, the center space can be used as the accommodation space of the movable member 3, and the actuator can be thinned, and the length of the lever (lever) constituting the displacement expanding mechanism 2 can be sufficiently secured. Therefore, it is advantageous in obtaining a large displacement expansion amount. In addition, for example, when applied to a lens actuator, since there is no member that obstructs the optical axis of the lens, it is particularly advantageous for miniaturization and thinning.

상기 구동 부재(1)는, 입력되는 에너지량에 따른 변형량으로 변형하고, 이 변형을 일축방향으로의 변위로서 출력할 수 있는 것이면 특별히 종류는 따지지 않아, 예를 들면, 압전 소자, 자왜 소자, 형상기억합금재 등을 이용할 수 있다. 압전 소자란 인가된 구동 전압에 따라 치수 왜곡(distortion)을 발생시키는 소자이며, 자왜 소자란 외부로부터 자계를 걸음으로써 변위를 발생시키는 소자이다. 이들 구동 부재는, 전기나 열 등의 에너지량에 따른 변형량으로 변형하여, 일축방향으로의 변위로서 출력할 수 있다. 단, 이들 중에서도, 전기로부터 직접 변위를 취출하는 구동 구조를 갖는다는 점에서 특히 압전 소자가 바람직하여, 본 실시 형태의 구동 부재(1)도 압전 소자로 구성되어 있다.The drive member 1 is not particularly limited as long as it deforms into a deformation amount corresponding to the amount of energy input, and the deformation can be output as a displacement in the uniaxial direction. For example, piezoelectric elements, magnetostrictive elements, shapes Memory alloy materials and the like. Piezoelectric elements are elements that generate dimensional distortion in accordance with an applied driving voltage, and magnetostrictive elements are elements that generate displacement by applying a magnetic field from the outside. These drive members can be deformed to the amount of deformation in accordance with the amount of energy such as electricity or heat and output as a displacement in the uniaxial direction. However, among these, a piezoelectric element is especially preferable at the point which has a drive structure which takes out a displacement directly from electricity, and the drive member 1 of this embodiment is also comprised from a piezoelectric element.

본 발명의 구동 부재(1)(압전 소자)는 사각 기둥 형상을 갖고, 그 길이 방향으로 치수 왜곡(변위)을 일으켜, 이 치수 왜곡을 선단의 변위 출력부(100)로부터 일축방향으로 출력한다. 또한, 예를 들면, 구동 부재(1)로서 자왜 소자를 사용하는 경우에는, 별도 자계를 발생하는 기구를 형성함으로써, 동일한 작용을 얻을 수 있다.The drive member 1 (piezoelectric element) of the present invention has a rectangular columnar shape, causes dimensional distortion (displacement) in the longitudinal direction thereof, and outputs the dimensional distortion from the displacement output part 100 at the tip end in the uniaxial direction. For example, when using the magnetostrictive element as the drive member 1, the same effect | action can be acquired by providing the mechanism which generate | occur | produces a magnetic field separately.

또한, 구동 부재(1)는, 후술하는 고정부(21a)에 고정되거나, 또는 액츄에이터 전체를 지지하는 기체(器體)에 고정된다.In addition, the drive member 1 is fixed to the fixing part 21a mentioned later, or it is fixed to the base body which supports the whole actuator.

휴대 단말의 카메라 모듈에 적용하는 극소형의 압전 소자로부터 출력할 수 있는 일축방향의 변위량은, 적층 타입에서 통상 수백ppm 정도로서, 본 발명에서는 이러한 변위량을 수십∼백배 정도로 확대하여 가동 부재(3)까지 전달해, 가동 부재(3)를 변위 동작시키는 것을 목표로 하고 있다.The amount of displacement in the uniaxial direction which can be output from the micro piezoelectric element applied to the camera module of the portable terminal is usually several hundred ppm in the stacking type. It aims at transmitting and displacing the movable member 3.

상기 변위 확대 기구(2)는, 변위 전달 방향을 따라 배치되는 복수의 레버(20)와, 이 레버(20)를 지지하는 고정부(21)를 구비하지만, 본 실시 형태의 변위 확대 기구(2)는, 수평 방향에 있어서, 구동 부재(1)의 선단(변위 출력부)에 구동 부재(1)의 길이 방향에 대하여 90°의 관계로 접속된 제1 레버(20a)(최상류측 레버)와, 이 제1 레버(20a)의 선단에 레버(20a)의 길이 방향에 대하여 90°의 관계로 접속된 제2 레버(20b)(최하류측 레버)를 구비하고, 가동 부재(3)는 구동 부재(1)와 제1 레버(20a)와 제2 레버(20b)에 의해, 3방면이 ㄷ자 형상으로 둘러싸인 구조로 되어 있다.Although the said displacement expansion mechanism 2 is equipped with the some lever 20 arrange | positioned along the displacement transmission direction, and the fixing part 21 which supports this lever 20, the displacement expansion mechanism 2 of this embodiment ) Is the first lever 20a (upstream side lever) connected to the tip (displacement output part) of the drive member 1 in a horizontal direction in a 90 ° relationship with respect to the longitudinal direction of the drive member 1. And a second lever 20b (lowest-side lever) connected at a distal end of the first lever 20a in a 90 ° relationship with respect to the longitudinal direction of the lever 20a, and the movable member 3 is driven. By the member 1, the 1st lever 20a, and the 2nd lever 20b, three sides are surrounded by the c-shape.

또한, 상기 고정부(21)로서는, 구동 부재(1)의 외측 위치에 구동 부재(1)와 평행하게 설치된 고정부(21a)와, 제2 레버(20b)의 하측에 레버(20b)와 평행하게 설치된 고정부(21b)가 형성되고, 이들 고정부(21a, 21b)는, 액츄에이터 전체를 지지 하는 기체에 고정된다.Moreover, as the said fixing | fixed part 21, the fixed part 21a provided in parallel with the drive member 1 in the outer position of the drive member 1, and parallel to the lever 20b under the 2nd lever 20b. The fixed part 21b provided so that it may be formed is provided, and these fixed parts 21a and 21b are fixed to the base body which supports the whole actuator.

본 실시 형태를 포함하여 이하에 서술하는 본 발명의 각 실시 형태에서는, 변위 확대 기구(2)를 구성하는 각 레버(20)는, 탄성 변형 가능한 판 형상의 지지점용 결합부(22)와 역점용 결합부(23)에 의해 지지되고 그리고 변위되어지는 구조로 되어 있지만, 이들 지지점용 결합부(22)와 역점용 결합부(23)는 모두 판 형상이기 때문에, 레버(20)가 작동할 때의 가로 진동이 적고, 이 때문에 변위 확대 기구(2)에 의한 변위의 전달·확대를 안정되게 행하게 할 수 있다.In each embodiment of the present invention described below, including the present embodiment, each lever 20 constituting the displacement expanding mechanism 2 has a plate-shaped engaging portion 22 for supporting points and an inverted point that are elastically deformable. Although the structure is supported and displaced by the engaging portion 23, since both of the supporting portion coupling portion 22 and the reverse coupling portion 23 are plate-shaped, when the lever 20 is operated, Since there is little lateral vibration, it can make it possible to stably transmit and enlarge the displacement by the displacement expansion mechanism 2.

본 실시 형태에 있어서, 상기 제1 레버(20a)는 사각 기둥 형상을 갖고, 그 기단측 부분이 레버의 지지점을 형성하는 탄성 변형 가능한 판 형상의 지지점용 결합부(22a)를 통하여 상기 고정부(21a)의 선단에 결합되고, 이에 따라 고정부(21a)에 지지되어 있다. 또한, 지지점용 결합부(22a)의 결합 위치보다도 조금 레버 선단측쪽의 위치에 있어서, 레버(20a)의 기단측 부분과 구동 부재(1)의 변위 출력부(100)(구동 부재 선단) 사이는, 레버의 역점을 형성하는 탄성 변형 가능한 판 형상의 역점용 결합부(23a)로 결합되어 있다.In the present embodiment, the first lever 20a has a rectangular columnar shape, and the fixing portion (a) is provided through a plate-shaped support point-coupling portion 22a that is elastically deformable, the proximal end portion of which forms a support point of the lever. It is coupled to the tip of 21a) and is thus supported by the fixing portion 21a. In addition, the position between the proximal end portion of the lever 20a and the displacement output portion 100 (drive member tip) of the drive member 1 is slightly lower than the engagement position of the support point engaging portion 22a. And an elastically deformable plate-shaped inverse coupling portion 23a forming the inverse of the lever.

상기 지지점용 결합부(22a)와 역점용 결합부(23a)는 비교적 짧은 판 형상으로, 각각 제1 레버(20a)의 길이 방향에 대하여 직각으로 결합되어 있다.The support point coupling portion 22a and the reverse point coupling portion 23a have a relatively short plate shape, and are coupled at right angles to the longitudinal direction of the first lever 20a, respectively.

상기 제2 레버(20b)도 사각 기둥 형상을 갖고, 그 기단측 부분이, 지지점용 결합부(22b)를 통하여 하방의 고정부(21b)에 결합됨과 아울러, 역점용 결합부(23b)를 통하여 상기 제1 레버(20a)의 선단측 부분에 결합되어 있다.The second lever 20b also has a rectangular pillar shape, and the proximal end portion thereof is coupled to the lower fixing portion 21b through the support point coupling portion 22b and through the reverse point coupling portion 23b. It is engaged with the front end side part of the said 1st lever 20a.

상기 지지점용 결합부(22b)와 역점용 결합부(23b)는 비교적 긴 판 형상으로, 각각의 일단부가 레버(20b)의 기단측 부분에 대하여 레버(20b)의 길이 방향을 따르도록 결합되어 있다. 또한, 역점용 결합부(23b)의 타단부는 레버(20a)의 길이 방향에 대하여 직각으로 결합되고, 또한, 지지점용 결합부(22b)의 타단부는 고정부(21b)에 결합되어 있다.The supporting point coupling portion 22b and the anti-point coupling portion 23b have a relatively long plate shape, and each end portion thereof is coupled to the proximal end portion of the lever 20b along the longitudinal direction of the lever 20b. . In addition, the other end of the coupling portion 23b for power point is coupled at right angles to the longitudinal direction of the lever 20a, and the other end of the coupling portion 22b for the support point is coupled to the fixing portion 21b.

본 발명의 변위 확대 기구(2)에서는, 복수의 레버(20) 중 적어도 1개의 레버(20)의 기단측 부분에 결합되는 지지점용 결합부(22)와 역점용 결합부(23)는, 당해 레버(20)의 길이의 1/4 이상, 바람직하게는 1/3 이상, 더욱 바람직하게는 1/2 이상의 길이를 갖는 것이 바람직하다. 이와 같이 지지점용 결합부(22)와 역점용 결합부(23)의 길이를 충분히 크게 함으로써, 이들 결합부의 강성을 확보하면서 큰 변형량을 얻을 수 있고, 나아가서는 변위 확대 기구(2)의 변위 확대량을 크게 할 수 있기 때문이다. 본 실시 형태에서는, 상기 제2 레버(20b)의 기단측 부분에 결합된 지지점용 결합부(22b)와 역점용 결합부(23b)가 레버(20b)의 길이의 1/2 정도의 길이를 갖고 있다.In the displacement magnification mechanism 2 of the present invention, the coupling point 22 for support point and the coupling point 23 for power point, which are coupled to the proximal end portion of at least one lever 20 of the plurality of levers 20, are provided. It is preferred to have a length of at least 1/4, preferably at least 1/3, more preferably at least 1/2 of the length of the lever 20. By sufficiently increasing the lengths of the support point coupling part 22 and the anti-point coupling part 23 in this manner, a large deformation amount can be obtained while securing the rigidity of these coupling parts, and further, the displacement expansion amount of the displacement expanding mechanism 2. Because it can be enlarged. In the present embodiment, the support point engaging portion 22b and the anti-pointing engaging portion 23b coupled to the proximal end portion of the second lever 20b have a length of about 1/2 of the length of the lever 20b. have.

여기에서, 본 실시 형태의 변위 확대 기구(2)는, 구동 부재(1)의 수평 방향의 변위를 수직 방향으로 변환하여 가동 부재(3)에 전달하는 것으로, 이 변위 방향의 변환을 행하기 위해, 레버(20b)(변위 전달 방향의 최하류측 레버)에 결합된 지지점용 결합부(22b)와 역점용 결합부(23b)의 병렬 방향(도 3의 화살표 (α)방향)이, 당해 레버(20b)의 상류측의 레버(20a)의 변위면(도 3의 화살표 (β)방향에서의 변위면)에 대하여 직교하는 구조로 되어 있다.Here, the displacement expansion mechanism 2 of this embodiment converts the horizontal displacement of the drive member 1 to a vertical direction, and transmits it to the movable member 3, in order to change this displacement direction. The parallel direction (arrow (α) direction in FIG. 3) of the support point engaging portion 22b and the reverse coupling portion 23b coupled to the lever 20b (lowestmost lever in the displacement transmission direction) corresponds to the lever. It is a structure orthogonal to the displacement surface (displacement surface in the arrow (beta) direction of FIG. 3) of the lever 20a of the upstream of 20b.

상기 제2 레버(20b)(변위 전달 방향의 최하류측 레버)의 선단측 부분은 가동 부재(3)에 연결 또는 걸어맞춰져, 이 레버(20b)의 변위에 의해 가동 부재(3)를 변위 동작시키도록 되어 있다. 본 실시 형태에서는, 가동 부재(3)인 렌즈 홀더는, 링 형상의 본체(30)의 상단에 판 형상의 부착부(31)가 튀어나와 형성되어 있으며, 이 부착부(31)가 레버(20b)의 상면에 맞닿은 상태에서, 양자가 ㄷ자 형상의 연결 부재(4)(판스프링)로 클램프됨으로써 연결되어 있다. 그 외, 부호(5, 6)는 가동 부재(3)(렌즈 홀더)의 상부 및 하부를 눌러, 이것을 지지하기 위한 누름용 스프링이다.The front end side portion of the second lever 20b (lowest-side lever in the displacement transmission direction) is connected to or engaged with the movable member 3 to displace the movable member 3 by the displacement of the lever 20b. It is supposed to be. In this embodiment, the lens holder which is the movable member 3 is formed by the plate-shaped attachment part 31 protruding from the upper end of the ring-shaped main body 30, and this attachment part 31 is the lever 20b. Both sides are connected by clamping by the U-shaped connecting member 4 (plate spring) in the state which abuts on the upper surface of the (). In addition, reference numerals 5 and 6 are pressing springs for pressing the upper and lower portions of the movable member 3 (lens holder) to support them.

본 발명의 변위 확대 기구(2)에서는, 변위 확대량을 될 수 있는 한 크게 하기 위해, 복수의 레버(20)의 전장(全長)을 길게 하는 것이 바람직하여, 구체적으로는 도4 에 나타내는 바와 같이, 각 레버(20(20a, 20b))의 선단부(p1)와 각 레버(20(20a, 20b))의 기단측 부분에 결합된 지지점용 결합부(22(22a, 22b))의 길이 방향 중심(p2)을 연결하는 직선(L)의 길이의 전(全) 레버의 합계가, 구동 부재(1)의 변위 출력 방향으로의 길이 이상인 것이 바람직하다.In the displacement magnification mechanism 2 of the present invention, in order to increase the displacement magnification amount as much as possible, it is preferable to lengthen the entire length of the plurality of levers 20, specifically, as shown in FIG. 4. , The longitudinal center of the support point coupling portion 22 (22a, 22b) coupled to the distal end p1 of each lever 20 (20a, 20b) and the proximal end portion of each lever 20 (20a, 20b). It is preferable that the sum total of all the levers of the length of the straight line L which connects (p2) is more than the length in the displacement output direction of the drive member 1.

상기 변위 확대 기구(2)는, 금속(예를 들면, 스테인리스강) 또는/및 수지로 이루어지는 성형체 또는/및 적층체로 구성된다. 이 적층체란, 박판을 적층시킨 것이다. 변위 확대 기구(2)는, 전체를 일체 성형된 성형체나 적층체로 구성해도 좋지만, 본 실시 형태에서는 고정부(21a)와 제1 레버(20a)의 주요부가 일체 성형체 또는 일체 적층체로 구성됨과 아울러, 고정부(21b)와 제2 레버(20b)와 제1 레버(20a)의 선단측의 부분(25)이 일체 성형체 또는 일체 적층체로 구성되고, 부분(25)이 레버(20a)의 선단측에 고착됨으로써, 변위 확대 기구(2)가 구성되어 있 다.The displacement expansion mechanism 2 is composed of a molded body and / or a laminate made of metal (for example, stainless steel) or resin. This laminate is a laminate of thin plates. Although the displacement expansion mechanism 2 may be comprised by the molded object and laminated body which integrally formed the whole, in this embodiment, the main part of the fixing part 21a and the 1st lever 20a is comprised by the integrally molded object or integral laminated body, The fixed part 21b, the part 25 of the front end side of the 2nd lever 20b, and the 1st lever 20a consists of an integral molded object or an integral laminated body, and the part 25 is connected to the front end side of the lever 20a. By fixation, the displacement magnification mechanism 2 is comprised.

변위 확대 기구(2)를 구성하는 레버(20)는, 변위 전달 방향을 따라서 3개 이상 형성해도 좋아, 예를 들면, 본 실시 형태의 예에서는, 제1 레버(20a)와 제2 레버(20b)의 사이에, 제1 레버(20a)와 동일한 원리의 레버를 1개 이상 형성해도 좋다.Three or more levers constituting the displacement expanding mechanism 2 may be formed along the displacement transmission direction. For example, in the example of the present embodiment, the first lever 20a and the second lever 20b are provided. ), One or more levers having the same principle as the first lever 20a may be formed.

도 5는 본 실시 형태의 액츄에이터의 기능(작동 형태)을 나타내는 것이다.5 shows the function (operation mode) of the actuator of the present embodiment.

구동 부재(1)인 압전 소자에 소정의 구동 전압이 인가되면, 치수 왜곡에 의해 화살표 (A)방향으로 신장하여, 변위 출력부(100)로부터 일축방향의 변위가 역점용 결합부(23a)를 통하여 제1 레버(20a)로 출력된다(즉, 레버(20a)를 누른다). 이에 따라 제1 레버(20a)는, 지지점용 결합부(22a)를 변형시키면서 이것을 지지점으로 하여 화살표 (B)방향으로 회전이동한다. 이 제1 레버(20a)의 회전이동에 의해, 제2 레버(20b)의 역점용 결합부(23b)가 화살표 (C)방향으로 인장되고, 이에 따라 제2 레버(20b)는, 지지점용 결합부(22b)를 변형시키면서 이것을 지지점으로 하여 화살표 (D)방향으로 회전이동(상방으로 회전이동)한다. 따라서, 이 제2 레버(20b)의 선단에 연결된 가동 부재(3)도 상방으로 변위(상승)한다. 당연히, 구동 부재(1)인 압전 소자가 화살표 (A)방향에서 축소하면, 상기와 반대의 동작에 의해 가동 부재(3)가 하방으로 변위(하강)한다. 그리고, 이상과 같은 변위 확대 기구(2)에 의한 변위 전달의 과정에서, 구동 부재(1)로부터 출력된 변위가 확대(증폭)되어, 구동 부재(1)의 출력 변위량의 수십 배 이상(경우에 따라서는 100배 이상)의 변위량이 가동 부재에 전달된다.When a predetermined driving voltage is applied to the piezoelectric element, which is the driving member 1, it extends in the direction of the arrow A due to the dimensional distortion, so that the displacement in the uniaxial direction from the displacement output portion 100 causes the inverse coupling portion 23a to move. Is output to the first lever 20a (ie, the lever 20a is pressed). As a result, the first lever 20a rotates in the direction of the arrow B with the support point 22a as the support point while deforming the engaging portion 22a for the support point. By the rotational movement of the first lever 20a, the stationary engaging portion 23b of the second lever 20b is tensioned in the direction of the arrow C, whereby the second lever 20b is engaged with the supporting point. While deforming the portion 22b, it is rotated (rotated upward) in the direction of the arrow D using this as the support point. Therefore, the movable member 3 connected to the distal end of the second lever 20b is also displaced upward. Naturally, when the piezoelectric element which is the drive member 1 shrinks in the direction of the arrow A, the movable member 3 is displaced (falls) downward by the operation opposite to the above. And in the process of the displacement transmission by the displacement expansion mechanism 2 as mentioned above, the displacement output from the drive member 1 expands (amplifies), and is several ten times or more of the output displacement amount of the drive member 1 (in the case of Therefore, the displacement amount of 100 times or more is transmitted to the movable member.

도 6∼도 8은, 본 발명의 액츄에이터의 다른 실시 형태를 나타내는 것으로, 휴대 단말의 렌즈 모듈에 내장되는 렌즈 액츄에이터에 적용한 경우를 나타내고 있다. 도 6은 사시도, 도 7은 측면도, 도 8은 가동 부재를 부착한 상태로 나타내는 사시도이다. 도면에 있어서, 부호(3)는 액츄에이터가 변위 동작시켜야 할 가동 부재로서, 본 실시 형태에서는 렌즈 홀더이다.6 to 8 show another embodiment of the actuator of the present invention, and show a case where the present invention is applied to a lens actuator incorporated in a lens module of a portable terminal. FIG. 6 is a perspective view, FIG. 7 is a side view, and FIG. 8 is a perspective view showing a state in which a movable member is attached. In the drawing, reference numeral 3 denotes a movable member to which the actuator is to be displaced, and in this embodiment is a lens holder.

앞에서 예시한 도 1∼도 5의 실시 형태는, 액츄에이터를 평면적으로 될 수 있는 한 박형화하기 위해, 가동 부재(3)의 외주부에 구동 부재(1)와 변위 확대 기구(2)를 배치한 구조로 한 것이지만, 본 실시 형태는, 액츄에이터의 설치 면적을 최대한 작게 하기 위해 세로형으로 하고, 그리고 변위가 동일한 면상(面上)에서 전달·확대되도록 한 것이다.1 to 5 exemplified above have a structure in which the driving member 1 and the displacement expanding mechanism 2 are arranged on the outer circumference of the movable member 3 in order to reduce the actuator to be as thin as possible. Although it is one thing, in this embodiment, in order to make the installation area of an actuator as small as possible, it was made to be vertical, and it was made to transmit and enlarge on the same surface with displacement.

이 액츄에이터도, 입력되는 에너지량에 따른 변형량으로 변형하고, 이 변형을 일축방향으로의 변위로서 출력하는 구동 부재(1)와, 이 구동 부재(1)로부터 출력된 변위를 변위량을 확대시키면서 상기 가동 부재(3)까지 전달하여, 가동 부재(3)를 변위 동작시키는 변위 확대 기구(2)를 구비하고 있다.The actuator is also deformed into a deformation amount corresponding to the amount of energy input, and the drive member 1 outputs this deformation as a displacement in the uniaxial direction, and the displacement output from the drive member 1 is expanded while the displacement amount is increased. It is provided with the displacement expansion mechanism 2 which transmits to the member 3, and makes the movable member 3 displace operation.

상기 구동 부재(1)는, 도 1∼도 5의 실시 형태와 동일하게 압전 소자로 구성되어 있다. 이 구동 부재(1)(압전 소자)는 사각 기둥 형상을 갖고, 그 길이 방향으로의 치수 왜곡(변위)을 일으켜, 이 치수 왜곡을 선단의 변위 출력부(100)로부터 일축방향으로 출력한다.The said drive member 1 is comprised with the piezoelectric element like embodiment of FIGS. The drive member 1 (piezoelectric element) has a rectangular columnar shape, causes dimensional distortion (displacement) in the longitudinal direction thereof, and outputs the dimensional distortion from the displacement output part 100 at the tip end in the uniaxial direction.

상기 변위 확대 기구(2)는, 변위 전달 방향을 따라 배치되는 복수의 레버(20)와, 이 레버(20)를 지지하는 고정부(21)를 구비하고 있다. 이 고정부(21) 는, 적당한 간격을 갖는 상하 수평인 고정부(21c, 21d)와, 이들 고정부(21c, 21d)를 그 일부에서 연결하는 고정부(21e)를 갖고 있다. 본 실시 형태의 구동 부재(1)는, 상하의 고정부(21c, 21d) 사이에 위치하고, 그 후단부를 통하여 고정부(21e)에 수평 형상으로 지지되어 있다. 상기 고정부(21c, 21d)는, 구동 부재(1)와의 사이에 간극을 형성하여, 구동 부재(1)의 상하에 각각 평행하게 위치하고 있다. 상측의 고정부(21c)는 구동 부재(1)보다도 길이가 길다. 또한, 고정부(21)는 액츄에이터 전체를 지지하는 기체에 고정된다.The displacement expanding mechanism 2 includes a plurality of levers 20 arranged along the displacement transmission direction, and a fixing portion 21 supporting the levers 20. This fixing | fixed part 21 has the up-and-down horizontal fixing | fixed part 21c, 21d with a suitable space | interval, and the fixed part 21e which connects these fixing | fixed part 21c, 21d by the one part. The drive member 1 of this embodiment is located between the upper and lower fixing parts 21c and 21d, and is supported by the fixing part 21e in a horizontal shape through the rear end part. The said fixing | fixed part 21c, 21d forms a clearance gap with the drive member 1, and is located in parallel in the upper and lower sides of the drive member 1, respectively. The upper fixing part 21c is longer in length than the drive member 1. In addition, the fixing part 21 is fixed to the base body which supports the whole actuator.

본 실시 형태의 변위 확대 기구(2)는, 세로 방향에 있어서, 구동 부재(1)의 선단(변위 출력부)에 구동 부재(1)의 길이 방향에 대하여 90°의 관계로 접속되고, 상방으로 신장(extend)하는 제1 레버(20a)(최상류측 레버)와, 이 제1 레버(20a)의 선단에 레버(20a)의 길이 방향에 대하여 90°의 관계로 접속되어, 구동 부재(1)와 거의 평행인 상태에서 수평으로 신장하는 제2 레버(20b)(최하류측 레버)를 구비하고 있다.Displacement expansion mechanism 2 of this embodiment is connected to the front-end | tip (displacement output part) of drive member 1 in 90 degree with respect to the longitudinal direction of drive member 1 in the longitudinal direction, and is upwards. The 1st lever 20a (upstream-side lever) which extends, and the tip of this 1st lever 20a are connected by 90 degrees with respect to the longitudinal direction of the lever 20a, and the drive member 1 It is provided with the 2nd lever 20b (lowest-side lever) extended horizontally in the substantially parallel state.

상기 제1 레버(20a)는 비교적 짧고, 그 기단측 부분이, 레버의 지지점을 형성하는 탄성 변형 가능한 판 형상의 지지점용 결합부(22a)를 통하여 상기 고정부(21d)의 선단에 결합되고, 이에 따라 고정부(21d)에 지지되어 있다. 또한, 지지점용 결합부(22a)의 결합 위치보다도 조금 레버 선단측쪽의 위치에 있어서, 레버(20a)의 기단측 부분과 구동 부재(1)의 변위 출력부(100)(구동 부재 선단) 사이는, 레버의 역점을 형성하는 탄성 변형 가능한 판 형상의 역점용 결합부(23a)로 결합되어 있다.The first lever 20a is relatively short, and its proximal end portion is coupled to the distal end of the fixing portion 21d via an elastically deformable plate-shaped support point engaging portion 22a forming a support point of the lever. This is supported by the fixing part 21d. In addition, the position between the proximal end portion of the lever 20a and the displacement output portion 100 (drive member tip) of the drive member 1 is slightly lower than the engagement position of the support point engaging portion 22a. And an elastically deformable plate-shaped inverse coupling portion 23a forming the inverse of the lever.

상기 지지점용 결합부(22a)와 역점용 결합부(23a)는, 각각 제1 레버(20a)의 길이 방향에 대하여 직각으로 결합되어 있다.The support point coupling part 22a and the anti-point coupling part 23a are respectively coupled at right angles to the longitudinal direction of the first lever 20a.

상기 제2 레버(20b)는 비교적 긴 사각 기둥 형상을 갖고, 고정부(21c)의 상방에 배치되어 있다. 이 제2 레버(20b)는, 그 기단측 부분이, 지지점용 결합부(22b)를 통하여 고정부(21c)의 선단부에 결합됨과 아울러, 역점용 결합부(23b)를 통하여 상기 제1 레버(20a)의 선단측 부분에 결합되어 있다.The second lever 20b has a relatively long rectangular pillar shape and is disposed above the fixing portion 21c. The second lever 20b has its proximal end portion coupled to the distal end of the fixed portion 21c via the support point engaging portion 22b, and the first lever (20b) through the inverse coupling part 23b. It is engaged with the front end side part of 20a).

상기 지지점용 결합부(22b)와 역점용 결합부(23b)는 비교적 긴 판 형상으로, 각각의 일단부가 레버(20b)의 기단측 부분에 대하여 레버(20b)의 길이 방향을 따르도록 결합되어 있다. 또한, 역점용 결합부(23b)의 타단부는 레버(20a)의 길이 방향에 대하여 직각으로 결합되고, 또한, 지지점용 결합부(22b)의 타단부는 고정부(21c)에 결합되어 있다. 본 실시 형태에서는, 상기 제2 레버(20b)의 기단측 부분에 결합된 지지점용 결합부(22b)와 역점용 결합부(23b)가 레버(20b)의 길이의 1/2 이상의 길이를 갖고 있다.The supporting point coupling portion 22b and the anti-point coupling portion 23b have a relatively long plate shape, and each end portion thereof is coupled to the proximal end portion of the lever 20b along the longitudinal direction of the lever 20b. . In addition, the other end of the coupling portion 23b for power point is coupled at right angles to the longitudinal direction of the lever 20a, and the other end of the coupling portion 22b for the support point is coupled to the fixing portion 21c. In the present embodiment, the support point engaging portion 22b and the reverse coupling portion 23b coupled to the proximal end portion of the second lever 20b have a length of 1/2 or more of the length of the lever 20b. .

이 제2 레버(20b)와 이것에 결합된 지지점용 결합부(22b) 및 역점용 결합부(23b)는, 고정부(21c)와 간극을 형성하여 평행하게 배치되어 있다.The second lever 20b, the support point engaging portion 22b and the reverse point engaging portion 23b coupled to the second lever 20b are arranged in parallel with the gap between the fixed portion 21c.

여기에서, 본 실시 형태의 변위 확대 기구(2)는, 변위가 동일한 면상에서 전달·확대되도록 하기 위해, 제2 레버(20b)(변위 전달 방향의 최하류측 레버)에 결합된 지지점용 결합부(22b)와 역점용 결합부(23b)의 병렬 방향이, 당해 레버(20b)의 상류측의 레버(20a)의 변위면과 평행인 구조로 되어 있다. 또한, 이러한 구조에 있어서, 제1 레버(20a)와 제2 레버(20b)와 구동 부재(1)가, 제2 레버(20b)의 지 지점용 결합부(22b)가 결합된 고정부(21c)를, 간극을 형성하면서 3방면에서 둘러싼 콤팩트한 구조(접이식 구조)로 되어 있다.Here, the displacement expansion mechanism 2 of this embodiment is a coupling part for support points engaged with the 2nd lever 20b (lowest-side lever of a displacement transmission direction) so that a displacement may be transmitted and expanded on the same surface. The parallel direction of 22b and the inverse coupling part 23b is a structure parallel to the displacement surface of the lever 20a of the upstream of the said lever 20b. Moreover, in this structure, the fixing part 21c in which the 1st lever 20a, the 2nd lever 20b, and the drive member 1 were couple | bonded with the engagement part 22b for the support point of the 2nd lever 20b. ) Is a compact structure (foldable structure) enclosed in three directions while forming a gap.

상기 제2 레버(20b)(변위 전달 방향의 최하류측 레버)의 선단측 부분은 가동 부재(3)에 연결 또는 걸어맞춰져서, 이 레버(20b)의 변위에 의해 가동 부재(3)를 변위 동작시키도록 되어 있다. 본 실시 형태에서는, 가동 부재(3)인 렌즈 홀더는, 중앙에 렌즈 부착공을 갖는 판 형상의 본체(30)의 상단에 부착부(32)가 튀어나와 형성되어 있으며, 이 부착부(32)가 레버(20b)의 상면에 연결(고정)되어 있다.The tip side portion of the second lever 20b (lowest-side lever in the displacement transmission direction) is connected to or engaged with the movable member 3 to displace the movable member 3 by the displacement of the lever 20b. It is supposed to work. In this embodiment, in the lens holder which is the movable member 3, the attachment part 32 protrudes and is formed in the upper end of the plate-shaped main body 30 which has a lens attachment hole in the center, The attachment part 32 Is connected (fixed) to the upper surface of the lever 20b.

변위 확대 기구(2)를 구성하는 레버(20)는, 변위 전달 방향을 따라서 3개 이상 형성해도 좋아, 예를 들면, 본 실시 형태의 예에서는, 제1 레버(20a)와 제2 레버(20b)의 사이에, 제1 레버(20a)와 동일한 원리의 레버를 1개 이상 형성해도 좋다.Three or more levers constituting the displacement expanding mechanism 2 may be formed along the displacement transmission direction. For example, in the example of the present embodiment, the first lever 20a and the second lever 20b are provided. ), One or more levers having the same principle as the first lever 20a may be formed.

또한, 구동 부재(1), 변위 확대 기구(2) 등에 관한 그 외의 구성에 대해서는, 도 1∼도 5의 실시 형태와 동일하며, 앞서 서술한 바와 같기 때문에, 상세한 설명은 생략한다.In addition, about the other structure regarding the drive member 1, the displacement expansion mechanism 2, etc., it is the same as that of embodiment of FIGS. 1-5, and since it is as above-mentioned, detailed description is abbreviate | omitted.

본 실시 형태의 액츄에이터에서는, 구동 부재(1)인 압전 소자에 소정의 구동 전압이 인가되면 치수 왜곡에 의해 화살표 (A)방향으로 신장하고, 변위 출력부(100)로부터 일축방향의 변위가 역점용 결합부(23a)를 통하여 제1 레버(20a)에 출력된다(즉, 레버(20a)를 누른다). 이에 따라 제1 레버(20a)는, 지지점용 결합부(22a)를 변형시키면서 이것을 지지점으로 하여 외측 방향(화살표 (B)방향)으로 회전이동한다. 이 제1 레버(20a)의 회전이동에 의해, 제2 레버(20b)의 역점용 결 합부(23b)가 화살표 (C)방향으로 인장되어, 이에 따라 제2 레버(20b)는, 지지점용 결합부(22b)를 변형시키면서 이것을 지지점으로 하여 상방(화살표 (D)방향)으로 회전이동한다. 따라서, 이 제2 레버(20b)의 선단에 연결된 가동 부재(3)도 상방으로 변위(상승)한다. 당연히, 구동 부재(1)인 압전 소자가 화살표 (A)방향으로 축소하면, 상기와 반대의 동작에 의해 가동 부재(3)가 하방으로 변위(하강)한다. 그리고, 이상과 같은 변위 확대 기구(2)에 의한 변위 전달의 과정에서, 구동 부재(1)로부터 출력된 변위가 확대(증폭)되어, 구동 부재(1)의 출력 변위량의 수십 배 이상(경우에 따라서는 100배 이상)의 변위량이 가동 부재에 전달된다.In the actuator of the present embodiment, when a predetermined driving voltage is applied to the piezoelectric element that is the driving member 1, the actuator extends in the direction of the arrow A due to dimensional distortion, and the displacement in the uniaxial direction from the displacement output section 100 is used for the reverse point. It is output to the 1st lever 20a through the engaging part 23a (that is, presses the lever 20a). As a result, the first lever 20a rotates in the outward direction (arrow (B) direction) while deforming the engaging portion 22a for the supporting point as the supporting point. By the rotational movement of the first lever 20a, the stationary joint 23b of the second lever 20b is tensioned in the direction of the arrow C, whereby the second lever 20b is coupled to the support point. While deforming the portion 22b, this is rotated upwardly (in the direction of the arrow D) with this as the support point. Therefore, the movable member 3 connected to the distal end of the second lever 20b is also displaced upward. Naturally, when the piezoelectric element which is the drive member 1 shrinks in the direction of the arrow A, the movable member 3 is displaced (falls) downward by the operation opposite to the above. And in the process of the displacement transmission by the displacement expansion mechanism 2 as mentioned above, the displacement output from the drive member 1 expands (amplifies), and is several ten times or more of the output displacement amount of the drive member 1 (in the case of Therefore, the displacement amount of 100 times or more is transmitted to the movable member.

도 9∼도 11은, 본 발명의 액츄에이터의 다른 실시 형태를 나타내는 것으로, 도 6∼도 8의 실시 형태의 변형예이다. 도 9는 사시도, 도 10은 측면도, 도 11은 가동 부재를 부착한 상태로 나타내는 사시도이다.9-11 shows another embodiment of the actuator of the present invention and is a modification of the embodiment of FIGS. 6-8. FIG. 9 is a perspective view, FIG. 10 is a side view, and FIG. 11 is a perspective view showing a state in which a movable member is attached.

이 실시 형태는, 도 6∼도 8의 실시 형태에 대하여, 제2 레버(20b)와 이것을 지지하는 고정부(21d)의 구조에 특징이 있다. 즉, 제2 레버(20b)는 도 6∼도 8의 실시 형태보다도 길이가 길어, 구동 부재(1)의 길이 이상의 길이를 갖고 있다. 이 레버(20b)의 중간부(본 실시 형태에서는 길이 방향의 거의 중앙부)의 상부에는 단부(200)가 형성되고, 이 단부(200)가 형성된 길이 방향 중간부와 제1 레버(20a)의 선단측 부분이 역점용 결합부(23b)로 결합되어 있다. 한편, 고정부(21c)의 길이는 구동 부재(1)의 길이보다도 상당히 짧고(바람직하게는, 구동 부재(1)의 길이의 2/3∼1/2 정도), 이러한 고정부(21c)의 선단과 레버(20b)의 기단측 부분이, 레버(20b)와 거의 평행인 지지점용 결합부(22b)로 결합되어 있다.This embodiment is characterized by the structure of the 2nd lever 20b and the fixing part 21d which supports this with respect to embodiment of FIGS. 6-8. That is, the second lever 20b has a length longer than the embodiment of Figs. 6 to 8 and has a length equal to or greater than the length of the drive member 1. An end portion 200 is formed at an upper portion of the middle portion (nearly the center portion in the longitudinal direction in this embodiment) of the lever 20b, and the longitudinal middle portion on which the end portion 200 is formed and the tip of the first lever 20a. The side part is joined by the emphasis point coupling part 23b. On the other hand, the length of the fixing portion 21c is considerably shorter than the length of the driving member 1 (preferably about 2/3 to 1/2 of the length of the driving member 1), The tip end and the proximal end portion of the lever 20b are engaged by a coupling point 22b for a support point that is substantially parallel to the lever 20b.

이러한 실시 형태는, 제2 레버(20b)가 길고, 그리고 역점용 결합부(23b) 및 지지점용 결합부(22b)도 충분히 길기 때문에(레버(20b)의 길이의 거의 1/2 정도), 변위 확대량을 크게 취할 수 있는 이점이 있다.In this embodiment, since the second lever 20b is long, and the power point coupling portion 23b and the support point coupling portion 22b are sufficiently long (around 1/2 of the length of the lever 20b), the displacement There is an advantage that the amount of enlargement can be large.

또한, 도 6∼도 8의 실시 형태만큼 콤팩트하지는 않지만, 이 본 실시 형태의 변위 확대 기구(2)도, 제1 레버(20a)와 제2 레버(20b)와 구동 부재(1)가, 제2 레버(20b)의 지지점용 결합부(22b)가 결합된 고정부(21c)를, 간극을 형성하면서 3방면에서 둘러싼 콤팩트한 구조(접이식 구조)로 되어 있다.Although not as compact as the embodiment of FIGS. 6 to 8, the first and second levers 20a, 20b and the drive member 1 also include the displacement expanding mechanism 2 according to the present embodiment. The fixed part 21c to which the support part coupling part 22b of the 2 lever 20b was couple | bonded is made into the compact structure (foldable structure) which enclosed in three directions, forming a clearance gap.

그 외의 구성 및 기본적인 기능은 도 6∼도 8의 실시 형태와 동일하다.Other configurations and basic functions are the same as those in the embodiments of FIGS. 6 to 8.

도 12∼도 14는, 본 발명의 액츄에이터의 다른 실시 형태를 나타내는 것으로, 도 1∼도 5의 실시 형태의 변형예이다. 도 12는 사시도, 도 13은 평면도, 도 14는 측면도이다.12-14 shows another embodiment of the actuator of the present invention and is a modification of the embodiment of FIGS. 1-5. 12 is a perspective view, FIG. 13 is a plan view, and FIG. 14 is a side view.

본 실시 형태도, 액츄에이터를 될 수 있는 한 박형화하기 위해, 구동 부재(1)와 변위 확대 기구(2)가 평면적으로 가동 부재(3)를 외부에서 둘러싸는 구조, 즉, 가동 부재(3)의 외주부에 구동 부재(1)와 변위 확대 기구(2)를 배치한 구조로 되어 있다.Also in this embodiment, in order to make the actuator as thin as possible, the structure in which the drive member 1 and the displacement expansion mechanism 2 surround the movable member 3 in the plane, that is, of the movable member 3 It has a structure which arrange | positioned the drive member 1 and the displacement expansion mechanism 2 to an outer peripheral part.

또한, 구동 부재(1)는, 후술하는 고정부(21a)에 고정되거나, 또는 액츄에이터 전체를 지지하는 기체에 고정된다.In addition, the drive member 1 is fixed to the fixed part 21a mentioned later, or fixed to the base body which supports the whole actuator.

상기 변위 확대 기구(2)는, 변위 전달 방향을 따라서 배치되는 복수의 레버(20)와, 이 레버(20)를 지지하는 고정부(21)를 구비하지만, 본 실시 형태의 변위 확대 기구(2)는, 수평 방향에 있어서, 구동 부재(1)의 선단(변위 출력부)에 구동 부재(1)의 길이 방향에 대하여 90°의 관계로 접속된 제1 레버(20a)(최상류측 레버)와, 이 제1 레버(20a)의 선단에 레버(20a)의 길이 방향에 대하여 90°의 관계로 접속된 제2 레버(20b)(최하류측 레버)를 구비하고, 가동 부재(3)가 구동 부재(1)와 제1 레버(20a)와 제2 레버(20b)에 의해, 3방면이 ㄷ자 형상으로 둘러싸인 구조로 되어 있다.Although the said displacement expansion mechanism 2 is equipped with the some lever 20 arrange | positioned along the displacement transmission direction, and the fixing part 21 which supports this lever 20, the displacement expansion mechanism 2 of this embodiment ) Is the first lever 20a (upstream side lever) connected to the tip (displacement output part) of the drive member 1 in a horizontal direction in a 90 ° relationship with respect to the longitudinal direction of the drive member 1. And a second lever 20b (lowest-side lever) connected to the distal end of the first lever 20a in a 90 ° relationship to the longitudinal direction of the lever 20a, and the movable member 3 is driven. By the member 1, the 1st lever 20a, and the 2nd lever 20b, three sides are surrounded by the c-shape.

또한, 상기 고정부(21)로서는, 구동 부재(1)의 내측 위치에 구동 부재(1)와 평행하게 설치된 고정부(21a)와, 제2 레버(20b)의 내측에 레버(20b)와 평행하게 설치된 고정부(21b)가 형성되어, 이들 고정부(21a, 21b)를 포함하는 고정부(21)는 액츄에이터 전체를 지지하는 기체에 고정된다.Moreover, as the said fixing | fixed part 21, the fixed part 21a provided in parallel with the drive member 1 in the inner position of the drive member 1, and in parallel with the lever 20b inside the 2nd lever 20b. The fixing part 21b provided so that it may be formed is fixed, and the fixing part 21 containing these fixing parts 21a and 21b is fixed to the base body which supports the whole actuator.

상기 제1 레버(20a)는 사각 기둥 형상을 갖고, 그 기단측 부분이, 레버의 지지점을 형성하는 탄성 변형 가능한 판 형상의 지지점용 결합부(22a)를 통하여 상기 고정부(21a)의 선단에 결합되고, 이에 따라 고정부(21a)에 지지되어 있다. 또한, 지지점용 결합부(22a)의 결합 위치보다도 조금 레버 후단부쪽의 위치에 있어서, 레버(20a)의 기단측 부분과 구동 부재(1)의 변위 출력부(100)(구동 부재 선단) 사이는, 레버의 역점을 형성하는 탄성 변형 가능한 판 형상의 역점용 결합부(23a)로 결합되어 있다. 이상과 같은 레버(20a)에 대한 지지점용 결합부(22a)와 역점용 결합부(23a)의 결합 위치 관계는, 도 1∼도 5의 실시 형태와 반대이다. 상기 지지점용 결합부(22a)와 역점용 결합부(23a)는 비교적 짧은 판 형상으로, 각각 제1 레버(20a)의 길이 방향에 대하여 직각으로 결합되어 있다.The first lever 20a has a rectangular columnar shape, and its proximal end portion is provided at the tip end of the fixing portion 21a through an elastically deformable plate-shaped support point engaging portion 22a forming a support point of the lever. And are thus supported by the fixing portion 21a. Moreover, at the position of the lever rear-end part rather than the engagement position of the support part coupling part 22a, between the base end side part of the lever 20a, and the displacement output part 100 (drive member tip) of the drive member 1, Is coupled by a plate-shaped reinforcement engaging portion 23a that is elastically deformable to form the reinforcement point of the lever. The engagement position relationship between the support point engaging portion 22a and the reverse point engaging portion 23a with respect to the lever 20a as described above is opposite to the embodiment of FIGS. 1 to 5. The support point coupling portion 22a and the reverse point coupling portion 23a have a relatively short plate shape, and are coupled at right angles to the longitudinal direction of the first lever 20a, respectively.

상기 제2 레버(20b)도 사각 기둥 형상을 갖고, 그 기단측 부분이, 지지점용 결합부(22b)를 통하여 고정부(21b)의 레버(20a)쪽의 단부에 결합됨과 아울러, 역점용 결합부(23b)를 통하여 상기 제1 레버(20a)의 선단측 부분에 결합되어 있다.The second lever 20b also has a rectangular columnar shape, and the proximal end portion thereof is coupled to the end portion of the lever 20a side of the fixing portion 21b via the coupling point coupling portion 22b, and is coupled to the reverse point. It is coupled to the front end side part of the said 1st lever 20a via the part 23b.

상기 지지점용 결합부(22b)와 역점용 결합부(23b)는 비교적 긴 판 형상으로, 각각의 일단부가 레버(20b)의 기단측 부분에 대하여 레버(20b)의 길이 방향을 따르도록 결합되어 있다. 또한, 역점용 결합부(23b)의 타단부는 레버(20a)의 길이 방향에 대하여 직각으로 결합되고, 또한, 지지점용 결합부(22b)의 타단부는 고정부(21b)에 옆걸침부(220)를 통하여 결합되어 있다.The supporting point coupling portion 22b and the anti-point coupling portion 23b have a relatively long plate shape, and each end portion thereof is coupled to the proximal end portion of the lever 20b along the longitudinal direction of the lever 20b. . In addition, the other end of the coupling portion 23b for power point is coupled at a right angle with respect to the longitudinal direction of the lever 20a, and the other end of the coupling portion 22b for the support point is laterally hooked to the fixing portion 21b. Combined through).

본 실시 형태에서는, 상기 제2 레버(20b)의 기단측 부분에 결합된 지지점용 결합부(22b)와 역점용 결합부(23b)가, 레버(20b)의 길이 이상의 길이를 갖고 있다.In the present embodiment, the support point engaging portion 22b and the reverse point engaging portion 23b coupled to the proximal end portion of the second lever 20b have a length equal to or greater than the length of the lever 20b.

또한, 도 1∼도 5의 실시 형태와 동일하게, 본 실시 형태의 변위 확대 기구(2)는, 구동 부재(1)의 수평 방향의 변위를 수직 방향으로 변환하여 가동 부재(3)에 전달하는 것으로, 이 변위 방향의 변환을 행하기 위해, 레버(20b)(변위 전달 방향의 최하류측 레버)에 결합된 지지점용 결합부(22b)와 역점용 결합부(23b)의 병렬 방향이, 당해 레버(20b)의 상류측의 레버(20a)의 변위면에 대하여 직교하는 구조로 되어 있다.In addition, similar to the embodiment of FIGS. 1 to 5, the displacement expanding mechanism 2 of the present embodiment converts the horizontal displacement of the drive member 1 in the vertical direction and transmits it to the movable member 3. In order to change the displacement direction, the parallel direction of the support point engaging portion 22b and the reverse point engaging portion 23b coupled to the lever 20b (lowest-side lever in the displacement transmission direction) corresponds. It has a structure orthogonal to the displacement surface of the lever 20a on the upstream side of the lever 20b.

상기 제2 레버(20b)(변위 전달 방향의 최하류측 레버)의 선단측 부분은, 도 1∼도 5의 실시 형태와 동일하게, 가동 부재(3)에 연결 또는 걸어맞춰져서, 이 레버(20b)의 변위에 의해 가동 부재(3)를 변위 동작시키도록 되어 있다.The front end side part of the said 2nd lever 20b (lowest-side lever of a displacement transmission direction) is connected or engaged with the movable member 3 similarly to embodiment of FIGS. 1-5, and this lever ( The movable member 3 is displaced by the displacement of 20b).

변위 확대 기구(2)를 구성하는 레버(20)는, 변위 전달 방향을 따라서 3개 이상 형성해도 좋아서, 예를 들면, 본 실시 형태의 예에서는, 제1 레버(20a)와 제2 레버(20b)의 사이에 제1 레버(20a)와 동일한 원리의 레버를 1개 이상 형성해도 좋다.Three or more levers constituting the displacement expanding mechanism 2 may be formed along the displacement transmission direction. For example, in the example of the present embodiment, the first lever 20a and the second lever 20b are used. You may provide one or more levers of the same principle as the 1st lever 20a between ().

또한, 구동 부재(1), 변위 확대 기구(2) 등에 관한 그 외의 구성에 대해서는, 도 1∼도 5의 실시 형태와 동일하며, 앞서 서술한 바와 같기 때문에 상세한 설명은 생략한다.In addition, about the other structure regarding the drive member 1, the displacement expansion mechanism 2, etc., it is the same as that of embodiment of FIGS. 1-5, and since it is as above-mentioned, detailed description is abbreviate | omitted.

본 실시 형태의 액츄에이터에서는, 구동 부재(1)인 압전 소자에 소정의 구동 전압이 인가되면 치수 왜곡에 의해, 화살표 (A)방향으로 신장하여, 변위 출력부(100)로부터 일축방향의 변위가 역점용 결합부(23a)를 통하여 제1 레버(20a)로 출력된다(즉, 레버(20a)를 누른다). 여기에서, 역점용 결합부(23a)는 지지점용 결합부(22a)보다도 레버 후단측에 결합되어 있기 때문에, 제1 레버(20a)는 지지점용 결합부(22a)를 변형시키면서 이것을 지지점으로 하여 내측 방향(화살표 (B)방향)으로 회전이동한다. 이 제1 레버(20a)의 회전이동에 의해, 제2 레버(20b)의 역점용 결합부(23b)가 제2 레버(20b) 방향(화살표 (C)방향)으로 밀려나와, 이에 따라 제2 레버(20b)는 지지점용 결합부(22b)를 변형시키면서 이것을 지지점으로 하여 상방(화살표 (D)방향)으로 회전이동한다. 따라서, 이 제2 레버(20b)의 선단에 연결된 가동 부재(3)도 상방으로 변위(상승)한다. 당연히, 구동 부재(1)인 압전 소자가 화살표 (A)방향으로 축소하면, 상기와 반대의 동작에 의해 가동 부재(3)가 하방으로 변위(하강)한다. 그리고, 이상과 같은 변위 확대 기구(2)에 의한 변위 전달의 과정에서, 구동 부재(1)로부터 출력된 변위가 확대(증폭)되어, 구동 부재(1)의 출력 변위량의 수십 배 이상(경우에 따라서는 100배 이상)의 변위량이 가동 부재에 전달된다.In the actuator of the present embodiment, when a predetermined drive voltage is applied to the piezoelectric element that is the drive member 1, the actuator extends in the direction of the arrow A by dimensional distortion, and the displacement in the uniaxial direction from the displacement output unit 100 is inverted. It outputs to the 1st lever 20a through the dragon coupling part 23a (that is, presses the lever 20a). Here, since the inverse coupling portion 23a is coupled to the rear end side of the lever than the coupling portion coupling portion 22a, the first lever 20a deforms the support portion coupling portion 22a and uses the inner side thereof as a supporting point. Rotate in the direction (arrow (B) direction). By the rotational movement of the first lever 20a, the inverse coupling portion 23b of the second lever 20b is pushed in the direction of the second lever 20b (arrow (C) direction), whereby the second The lever 20b rotates upwards (arrow D direction) using this as the support point while deforming the engaging portion 22b for the support point. Therefore, the movable member 3 connected to the distal end of the second lever 20b is also displaced upward. Naturally, when the piezoelectric element which is the drive member 1 shrinks in the direction of the arrow A, the movable member 3 is displaced (falls) downward by the operation opposite to the above. And in the process of the displacement transmission by the displacement expansion mechanism 2 as mentioned above, the displacement output from the drive member 1 expands (amplifies), and is several ten times or more of the output displacement amount of the drive member 1 (in the case of Therefore, the displacement amount of 100 times or more is transmitted to the movable member.

도 15∼도 17은, 본 발명의 액츄에이터의 다른 실시 형태를 나타내는 것으로, 휴대 단말의 렌즈 모듈에 내장되는 렌즈 액츄에이터에 적용한 경우를 나타내고 있다. 도 15는 평면도, 도 16은 가동 부재를 부착한 상태로 나타내는 평면도, 도 17은 가동 부재를 부착한 상태로 나타내는 모식 측면도이다. 도면에 있어서, 부호(3)는 액츄에이터가 변위 동작시켜야 할 가동 부재로서, 본 실시 형태에서는 렌즈 홀더이다.15 to 17 show another embodiment of the actuator of the present invention and show a case where the present invention is applied to a lens actuator incorporated in a lens module of a portable terminal. FIG. 15 is a plan view, FIG. 16 is a plan view of the movable member attached, and FIG. 17 is a schematic side view of the movable member attached. In the drawing, reference numeral 3 denotes a movable member to which the actuator is to be displaced, and in this embodiment is a lens holder.

이 액츄에이터도, 입력되는 에너지량에 따른 변형량으로 변형하고, 이 변형을 일축방향으로의 변위로서 출력하는 구동 부재(1)와, 이 구동 부재(1)로부터 출력된 변위를 변위량을 확대시키면서 상기 가동 부재(3)까지 전달하여 가동 부재(3)를 변위 동작시키는 변위 확대 기구(2)를 구비하는 것이지만, 이 변위 확대 기구(2)는, 변위 전달 방향을 따라서 배치되는 복수의 레버(20)로 이루어지는 한 쌍의 레버군(X, Y)과, 상기 레버(20)를 지지하는 고정부(21)와, 양 레버군(X, Y)의 변위 전달 방향의 최하류측 레버(20)와 가동 부재(3)를 연결하는 길이 방향에서 탄성 변형 가능한 연결 부재(24)를 구비한다.The actuator is also deformed into a deformation amount corresponding to the amount of energy input, and the drive member 1 outputs this deformation as a displacement in the uniaxial direction, and the displacement output from the drive member 1 is expanded while the displacement amount is increased. Although it comprises the displacement expansion mechanism 2 which transmits to the member 3 and displaces the movable member 3, this displacement expansion mechanism 2 is provided with the several lever 20 arrange | positioned along the displacement transmission direction. A pair of lever groups (X, Y), a fixing portion (21) supporting the lever (20), and the lowest lever (20) in the displacement transfer direction of both lever groups (X, Y). The connecting member 24 which can be elastically deformed in the longitudinal direction which connects the member 3 is provided.

본 실시 형태도, 도 1∼도 5의 실시 형태와 동일하게, 액츄에이터를 될 수 있는 한 박형화하기 위해, 구동 부재(1)와 변위 확대 기구(2)가 평면적으로 가동 부재(3)를 외부에서 둘러싸는 구조, 즉 가동 부재(3)의 외주부에 구동 부재(1)와 변위 확대 기구(2)를 배치한 구조로 하고 있다. 앞서 서술한 바와 같이, 이러한 구조에서는, 중앙의 스페이스를 가동 부재(3)의 수용 스페이스로 하여 액츄에이터 의 박형화를 도모할 수 있을 뿐만 아니라, 변위 확대 기구(2)를 구성하는 레버(지렛대)의 길이를 충분히 확보할 수 있기 때문에, 큰 변위 확대량을 얻는 데에 있어 유리하다. 또한, 예를 들면, 렌즈 액츄에이터에 적용한 경우에, 렌즈의 광축을 방해하는 부재가 없기 때문에 소형화·박형화에 특히 유리하다.1 to 5, the driving member 1 and the displacement expanding mechanism 2 planarly move the movable member 3 from the outside in order to reduce the thickness of the actuator as much as possible. The drive member 1 and the displacement expansion mechanism 2 are arranged in an outer circumferential portion of the movable member 3. As described above, in such a structure, not only can the actuator be thinned by using the center space as the accommodation space of the movable member 3, but also the length of the lever (lever) constituting the displacement expanding mechanism 2. Since it is possible to secure sufficiently, it is advantageous in obtaining a large displacement enlargement amount. In addition, when applied to a lens actuator, for example, there is no member that obstructs the optical axis of the lens, which is particularly advantageous for miniaturization and thinning.

한편, 앞에서 예시한 각 실시 형태에 대한 본 실시 형태의 액츄에이터의 특징은, 좌우 한 쌍의 레버군(X, Y)을 가짐으로써 가동 부재(3)를 안정되게 지지하여 변위 동작시킬 수 있는 점, 레버(20)뿐만 아니라 탄성 변형 가능한 연결 부재(24)도 변위 확대 기능을 갖기 때문에, 그만큼 전체의 변위 확대량을 크게 할 수 있는 점 등을 들 수 있다.On the other hand, the characteristic of the actuator of this embodiment with respect to each embodiment illustrated above is that the movable member 3 can be stably supported and displaced by having the left and right pair of lever groups X and Y, Since not only the lever 20 but also the elastically deformable connection member 24 has a displacement enlargement function, the point which can enlarge the whole displacement enlargement by that much is mentioned.

상기 구동 부재(1)는, 도 1∼도 5의 실시 형태에서 서술한 바와 같아, 본 실시 형태의 구동 부재(1)도 압전 소자로 구성되어 있다. 본 발명의 구동 부재(1)(압전 소자)는 사각 기둥 형상을 갖고, 그 길이 방향으로 치수 왜곡(변위)을 일으켜, 이 치수 왜곡을 양단의 변위 출력부(100)로부터 일축방향으로 출력한다. 또한, 이 구동 부재(1)는 액츄에이터 전체를 지지하는 기체에 고정된다.The drive member 1 is as described in the embodiment of FIGS. 1 to 5, and the drive member 1 of the present embodiment is also composed of a piezoelectric element. The drive member 1 (piezoelectric element) of the present invention has a rectangular columnar shape, causes dimensional distortion (displacement) in the longitudinal direction thereof, and outputs the dimensional distortion from the displacement output unit 100 at both ends in the uniaxial direction. Moreover, this drive member 1 is fixed to the base body which supports the whole actuator.

상기 고정부(21)는 액츄에이터의 중앙부에 설치되고, 그 상방에 가동 부재(3)가 배치된다. 상기 구동 부재(1)는 상기 고정부(21)의 측부에 배치된다. 이 고정부(21)는 액츄에이터 전체를 지지하는 기체에 고정된다.The fixing part 21 is provided in the center part of the actuator, and the movable member 3 is arrange | positioned above it. The drive member 1 is arranged on the side of the fixing part 21. This fixing part 21 is fixed to the base body which supports the whole actuator.

상기 한 쌍의 레버군(X, Y)은 복수의 레버(20)의 평면적인 형상 및 배치가 액츄에이터 중심에 대하여 선대칭으로, 최하류측 레버(20)가 연결 부재(24)를 통하여 가동 부재(3)를 양측으로부터 지지하는 구조로 되어 있다.The pair of lever groups X and Y have a planar shape and arrangement of the plurality of levers 20 in line symmetry with respect to the center of the actuator, and the lowermost lever 20 is connected to the movable member 24 through the connecting member 24. 3) is supported from both sides.

각 레버군(X, Y)은, 수평 방향에 있어서, 구동 부재(1)의 일단(변위 출력부)에 접속된 제1 레버(20a)(최상류측 레버)와, 이 제1 레버(20a)의 선단에 접속된 제2 레버(20b)(최하류측 레버)를 구비하고 있다.Each lever group X and Y is the 1st lever 20a (uppermost side lever) connected to the one end (displacement output part) of the drive member 1, and this 1st lever 20a in a horizontal direction. The 2nd lever 20b (lowest-side lever) connected to the front-end | tip of this invention is provided.

상기 제1 레버(20a)는 길이 방향으로 L자 형상으로 구성되고(도면중, 201은 L자 형상의 제1 변부, 202는 동일하게 제2 변부), 양 레버군(X, Y)의 L자 형상의 레버(20a)가 대문형 형상을 이루도록 배치되어 있다. 각 레버군(X, Y)에 있어서, 제1 레버(20a)는, 그 기단측 부분이, 레버의 지지점을 형성하는 탄성 변형 가능한 판 형상의 지지점용 결합부(22a)를 통하여 상기 고정부(21)에 결합되고, 이에 따라 고정부(21)에 지지되어 있다. 또한, 지지점용 결합부(22a)의 결합 위치보다도 조금 레버 후단쪽의 위치에 있어서, 레버(20a)의 기단측 부분과 구동 부재(1)의 각 단의 변위 출력부(100) 사이는, 레버의 역점을 형성하는 탄성 변형 가능한 판 형상의 역점용 결합부(23a)로 결합되어 있다.The first lever 20a is formed in an L shape in the longitudinal direction (in the drawing, 201 is an L-shaped first side, 202 is a second side similarly), and L of both lever groups X and Y The magnetic lever 20a is arranged to form a gate shape. In each lever group (X, Y), the 1st lever 20a has the said fixed part (a base part side part) through the engaging part 22a of the plate-shaped support point which can be deformed and forms the support point of a lever. 21, and is thus supported by the fixing portion 21. Further, at a position slightly behind the lever than the engagement position of the support point engaging portion 22a, between the proximal end portion of the lever 20a and the displacement output portion 100 of each stage of the driving member 1, the lever An elastically deformable plate-shaped inverse coupling portion 23a for forming the inversion is coupled.

상기 지지점용 결합부(22a)와 역점용 결합부(23a)는 비교적 짧은 판 형상으로, 각각 제1 레버(20a)의 L자 형상의 제1 변부(201)의 길이 방향에 대하여 직각으로 결합되어 있다.The support point coupling portion 22a and the anti-point coupling portion 23a have a relatively short plate shape, and are respectively coupled at right angles to the longitudinal direction of the L-shaped first edge portion 201 of the first lever 20a. have.

상기 제2 레버(20b)는, 수평 방향에 있어서, 제1 레버(20a)의 제1 변부(201)의 내측에 당해 제1 변부의 일부와 평행하게 배치되고, 그 기단측 부분이, 지지점용 결합부(22b)를 통하여 고정부(21)에 결합됨과 아울러, 역점용 결합부(23b)를 통하여 상기 제1 레버(20a)의 선단측 부분에 결합되어 있다.The said 2nd lever 20b is arrange | positioned in parallel with a part of the said 1st edge part inside the 1st edge part 201 of the 1st lever 20a in a horizontal direction, The base end part is for a support point It is coupled to the fixed portion 21 through the engaging portion 22b, and is coupled to the front end side portion of the first lever 20a through the inverse coupling portion 23b.

상기 지지점용 결합부(22b)와 역점용 결합부(23b)는 비교적 긴 판 형상으로, 제1 레버(20a)의 제2 변부(202)의 내측에 당해 제2 변부(202)와 평행하게 배치되어, 각각의 일단부가 레버(20b)의 기단측 부분에 대하여 레버(20b)의 길이 방향과 직각으로 결합되어 있다. 또한, 역점용 결합부(23b)의 타단부는 레버(20a)의 선단에 옆걸침부(221)를 통하여 결합되고, 또한, 지지점용 결합부(22b)의 타단부는, 구동 부재(1)와는 반대측의 고정부(21)의 측부에 결합되어 있다.The support point coupling portion 22b and the anti-point coupling portion 23b have a relatively long plate shape and are disposed in parallel with the second edge portion 202 inside the second edge portion 202 of the first lever 20a. Each end portion is coupled to the proximal end portion of the lever 20b at right angles to the longitudinal direction of the lever 20b. In addition, the other end of the coupling portion 23b for power point is coupled to the tip of the lever 20a via the side hook portion 221, and the other end of the coupling portion 22b for the support point is different from the driving member 1. It is engaged with the side part of the fixing part 21 of the opposite side.

상기 제2 레버(20b)의 기단측 부분에 결합된 지지점용 결합부(22b)와 역점용 결합부(23b)는, 레버(20b)의 길이와 거의 동일한 길이를 갖고 있다.The support point coupling part 22b and the anti-point coupling part 23b coupled to the proximal end portion of the second lever 20b have a length substantially the same as the length of the lever 20b.

각 레버군(X, Y)의 제2 레버(20b)(변위 전달 방향의 최하류측 레버)의 선단측 부분과 가동 부재(3)는 길이 방향에서 탄성 변형 가능한 연결 부재(24)로 각각 연결되고, 가동 부재(3)는 레버(20b)와 연결 부재(24)로 양측에서 지지되어 있다.The front end side portion and the movable member 3 of the second lever 20b (lowest-side lever in the displacement transmission direction) of each lever group X and Y are connected to the connecting member 24 which is elastically deformable in the longitudinal direction, respectively. The movable member 3 is supported from both sides by the lever 20b and the connecting member 24.

상기 연결 부재(24)는 판스프링 등의 탄성 변형 가능한 부재로 구성되어, 길이 방향의 중간부에는 좌굴(buckling) 방지용의 고(高)강성부(240)(다른 부분보다도 강성이 높은 부분)가 형성되어, 주로 이 고강성부(240)의 양측 부분이 탄성 변형하도록 구성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 양 레버군(X, Y)의 최하류측 레버(20b)의 선단측 부분끼리가 접근·분리되는 변위를 행함으로써, 연결 부재(24)가 탄성 변형하면서 가동 부재(3)를 밀어올리거나 또는 밀어내려 가동 부재(3)를 상하로 변위 동작시킨다.The connecting member 24 is composed of an elastically deformable member such as a leaf spring, and a high rigid portion 240 (a portion having higher rigidity than other portions) for preventing buckling is formed in the middle portion of the longitudinal direction. Thus, both sides of the high rigidity portion 240 are mainly configured to elastically deform. In the present embodiment, the movable member 3 is elastically deformed while the connecting member 24 is elastically deformed by performing a displacement in which the front end side portions of the most downstream lever 20b of both lever groups X and Y are approached and separated. Push up or down to move the movable member 3 up and down.

본 실시 형태에 있어서도, 각 레버군(X, Y)에 있어서, 각 레버(20(20a, 20b))의 선단부(p1)와 각 레버(20(20a, 20b)의 기단측 부분에 결합된 지지점용 결합부(22(22a, 22b))의 길이 방향 중심(p2)을 연결하는 직선(L)의 길이의 전 레버의 합계가, 구동 부재(1)의 변위 출력 방향에서의 길이 이상인 것이 바람직하다.Also in this embodiment, in each lever group X and Y, the support couple | bonded with the front-end | tip part p1 of each lever 20 (20a, 20b), and the base end side part of each lever 20 (20a, 20b). It is preferable that the sum total of all the levers of the length of the straight line L connecting the longitudinal center p2 of the spot engagement part 22 (22a, 22b) is more than the length in the displacement output direction of the drive member 1. .

또한, 변위 확대 기구(2)의 레버군(X, Y)을 구성하는 레버(20)는, 변위 전달 방향을 따라서 3개 이상 형성해도 좋아, 예를 들면, 본 실시 형태의 예에서는, 제1 레버(20a)와 제2 레버(20b)의 사이에, 제1 레버(20a)와 동일한 원리의 레버를 1개 이상 형성해도 좋다.In addition, you may form three or more levers 20 which comprise the lever group X, Y of the displacement expansion mechanism 2 along a displacement transmission direction, For example, in the example of this embodiment, it is 1st One or more levers having the same principle as the first lever 20a may be formed between the lever 20a and the second lever 20b.

또한, 구동 부재(1), 변위 확대 기구(2) 등에 관한 그 외의 구성에 대해서는, 도 1∼도 5의 실시 형태와 동일하며, 앞서 서술한 바와 같기 때문에, 상세한 설명은 생략한다.In addition, about the other structure regarding the drive member 1, the displacement expansion mechanism 2, etc., it is the same as that of embodiment of FIGS. 1-5, and since it is as above-mentioned, detailed description is abbreviate | omitted.

본 실시 형태의 액츄에이터에서는, 구동 부재(1)인 압전 소자에 소정의 구동 전압이 인가되면 치수 왜곡에 의해 화살표 (A)방향으로 신장하여, 구동 부재(1) 양단의 변위 출력부(100)로부터 일축방향의 변위가 역점용 결합부(23a)를 통하여 양 레버군(X, Y)의 제1 레버(20a)로 각각 출력된다(즉, 레버(20a)를 누른다). 여기에서 역점용 결합부(23a)는 지지점용 결합부(22a)보다도 레버 후단측에 결합되어 있기 때문에, 제1 레버(20a)는 지지점용 결합부(22a)를 변형시키면서 이것을 지지점으로 하여 내측 방향(화살표 (B)방향)으로 회전이동한다. 이 제1 레버(20a)의 회전이동에 의해, 제2 레버(20b)의 역점용 결합부(23b)가 화살표 (C)방향으로 인장되고, 이에 따라 제2 레버(20b)는, 지지점용 결합부(22b)를 변형시키면서 이것을 지지점으로 하여 외측 방향(화살표 (D)방향)으로 회전이동한다. 이에 따라 양 연결 부재(24)가 외측으로 인장되기 때문에, 이 연결 부재(24)에 지지된 가동 부재(3)가 하방으로 변위(하강)한다. 당연히, 구동 부재(1)인 압전 소자가 화살표 (A)방향으 로 축소하면, 상기와 반대의 동작에 의해 가동 부재(3)가 상방으로 변위(상승)한다. 그리고, 이상과 같은 변위 확대 기구(2)에 의한 변위 전달의 과정에서, 구동 부재(1)로부터 출력된 변위가 확대(증폭)되어, 구동 부재(1)의 출력 변위량의 수십배 이상(경우에 따라서는 100배 이상)의 변위량이 가동 부재에 전달된다.In the actuator of the present embodiment, when a predetermined driving voltage is applied to the piezoelectric element that is the driving member 1, the actuator extends in the direction of the arrow A due to dimensional distortion, and thus, from the displacement output unit 100 across the driving member 1. Displacement in the uniaxial direction is outputted to the 1st lever 20a of both lever groups X and Y, respectively (that is, presses the lever 20a) via the inverse coupling part 23a. In this case, since the inverse coupling portion 23a is coupled to the rear end side of the lever than the coupling portion coupling portion 22a, the first lever 20a deforms the coupling portion 22a for the supporting point, and makes the support point in the inward direction. Rotate in the direction of the arrow (B). By the rotational movement of the first lever 20a, the stationary engaging portion 23b of the second lever 20b is tensioned in the direction of the arrow C, whereby the second lever 20b is engaged with the supporting point. While deforming the portion 22b, it is rotated in the outward direction (arrow (D) direction) as the support point. Since both connecting members 24 are pulled outward by this, the movable member 3 supported by this connecting member 24 displaces (falls) downward. Naturally, when the piezoelectric element which is the drive member 1 shrinks in the direction of the arrow A, the movable member 3 is displaced (rising) upward by the operation opposite to the above. And in the process of the displacement transmission by the displacement expansion mechanism 2 as mentioned above, the displacement output from the drive member 1 expands (amplifies), and is several times more than the output displacement amount of the drive member 1 (in some cases, 100 times or more) is transmitted to the movable member.

도 18∼도 20은, 본 발명의 액츄에이터의 다른 실시 형태를 나타내는 것으로, 휴대 단말의 렌즈 모듈에 내장되는 렌즈 액츄에이터에 적용한 경우를 나타내고 있다. 도 18은 사시도, 도 19는 측면도, 도 20은 가동 부재를 부착한 상태로 나타내는 사시도이다. 도면에 있어서, 부호(3)는 액츄에이터가 변위 동작시켜야 할 가동 부재로서, 본 실시 형태에서는 렌즈 홀더이다.18 to 20 show another embodiment of the actuator of the present invention, and show a case where the present invention is applied to a lens actuator incorporated in a lens module of a portable terminal. 18 is a perspective view, FIG. 19 is a side view, and FIG. 20 is a perspective view showing a state in which a movable member is attached. In the drawing, reference numeral 3 denotes a movable member to which the actuator is to be displaced, and in this embodiment is a lens holder.

도 15∼도 17의 실시 형태와 동일하게, 이 액츄에이터도, 입력되는 에너지량에 따른 변형량으로 변형하여, 이 변형을 일축방향으로의 변위로서 출력하는 구동 부재(1)와, 이 구동 부재(1)로부터 출력된 변위를, 변위량을 확대시키면서 상기 가동 부재(3)까지 전달하여 가동 부재(3)를 변위 동작시키는 변위 확대 기구(2)를 구비함과 아울러, 이 변위 확대 기구(2)는, 변위 전달 방향을 따라서 배치되는 복수의 레버(20)로 이루어지는 한 쌍의 레버군(X, Y)과, 상기 레버(20)를 지지하는 고정부(21)와, 양 레버군(X, Y)의 변위 전달 방향의 최하류측 레버(20)와 가동 부재(3)를 연결하는 길이 방향에서 탄성 변형 가능한 연결 부재(24)를 구비한다.Similarly to the embodiment of FIGS. 15 to 17, the actuator also deforms to a deformation amount corresponding to the input energy amount, and outputs this deformation as a displacement in the uniaxial direction, and this driving member 1 The displacement expansion mechanism 2 further comprises a displacement magnification mechanism 2 which transfers the displacement output from the movement to the movable member 3 while expanding the displacement amount and displaces the movable member 3. A pair of lever groups X and Y consisting of a plurality of levers 20 arranged along the displacement transmission direction, a fixing portion 21 supporting the levers 20, and both lever groups X and Y The connecting member 24 which is elastically deformable in the longitudinal direction which connects the lever 20 and the movable member 3 of the most downstream side of the displacement transmission direction of the is provided.

따라서, 도 1∼도 14에 든 각 실시 형태에 대한 본 실시 형태의 액츄에이터의 특징도, 한 쌍의 레버군(X, Y)을 가짐으로써 가동 부재(3)를 안정되게 지지하여 변위 동작시킬 수 있는 점, 레버(20)뿐만 아니라 탄성 변형 가능한 연결 부재(24) 도 변위 확대 기능을 갖기 때문에, 그만큼 전체의 변위 확대량을 크게 할 수 있는 점 등이다. 단, 앞에서 예시한 도 15∼도 17의 실시 형태는, 액츄에이터를 평면적으로 박형화할 수 있는 구조로 한 것이지만, 본 실시 형태는 액츄에이터의 설치 면적을 작게 하기 위해 세로형으로 한 것이다.Therefore, the characteristic of the actuator of this embodiment with respect to each embodiment shown in FIGS. 1-14 also has a pair of lever groups X and Y, and can hold | maintain the movable member 3, and can carry out a displacement operation. In addition, since the connection member 24 which can deform | transform not only the lever 20 but the elastic deformation | transformation also has a displacement enlargement function, it is the point which can enlarge the whole displacement enlargement by that much. However, although the embodiment of FIGS. 15-17 mentioned above was made into the structure which can thin an actuator in plane, this embodiment is made vertical in order to reduce the installation area of an actuator.

또한, 도 15∼도 17의 실시 형태에서는, 한 쌍의 레버군(X, Y)의 복수의 레버(20)의 평면적인 형상 및 배치를 선대칭으로 한 것에 대하여, 이것을 세로 방향에서 점대칭으로 하고 있다.In addition, in embodiment of FIGS. 15-17, what made the planar shape and arrangement | positioning of the some lever 20 of a pair of lever group X and Y into linear symmetry, and makes this the point symmetry in the vertical direction. .

상기 구동 부재(1)는, 도 1∼도 5의 실시 형태에서 서술한 바와 같아, 본 실시 형태의 구동 부재(1)도 압전 소자로 구성되어 있다. 본 발명의 구동 부재(1)(압전 소자)는 사각 기둥 형상을 갖고, 그 길이 방향으로 치수 왜곡(변위)을 일으켜, 이 치수 왜곡을 양단의 변위 출력부(100)로부터 일축방향으로 출력한다. The drive member 1 is as described in the embodiment of FIGS. 1 to 5, and the drive member 1 of the present embodiment is also composed of a piezoelectric element. The drive member 1 (piezoelectric element) of the present invention has a rectangular columnar shape, causes dimensional distortion (displacement) in the longitudinal direction thereof, and outputs the dimensional distortion from the displacement output unit 100 at both ends in the uniaxial direction.

상기 고정부(21)는, 구동 부재(1)의 하방에 위치하는 고정부(21f)와 구동 부재(1)의 상방에 위치하는 고정부(21g)를 갖는다. 상기 고정부(21f, 21g)는 구동 부재(1)와의 사이에 간극을 형성하여, 구동 부재(1)의 상하에 각각 평행하게 위치하고 있다.The fixing portion 21 has a fixing portion 21f positioned below the driving member 1 and a fixing portion 21g positioned above the driving member 1. The fixing portions 21f and 21g form a gap between the driving member 1 and are positioned in parallel above and below the driving member 1, respectively.

또한, 고정부(21f)는 액츄에이터 전체를 지지하는 기체에 고정된다. 한편, 고정부(21g)는 직접 혹은 연결부를 통하여 고정부(21f)에 연결됨으로써 액츄에이터 전체를 지지하는 기체에 고정되어도 좋고, 양 레버군(X, Y)의 지지점용 결합부(22b)에 양측 지지 형상으로 지지되도록 해도 좋다.Moreover, the fixing part 21f is fixed to the base body which supports the whole actuator. On the other hand, the fixing portion 21g may be fixed to the base supporting the entire actuator by being connected to the fixing portion 21f directly or through a connecting portion, and both sides of the supporting portion coupling portion 22b of both lever groups X and Y. You may make it support by a support shape.

상기 한 쌍의 레버군(X, Y)은, 복수의 레버(20)의 형상 및 배치가 액츄에이 터 중심에 대하여 점대칭이며, 최하류측 레버(20)끼리가 연결 부재(24)로 연결되어, 이 연결 부재(24)에 가동 부재(3)가 지지되는 구조로 되어 있다.In the pair of lever groups X and Y, the shape and arrangement of the plurality of levers 20 are point symmetric with respect to the center of the actuator, and the most downstream levers 20 are connected to each other by the connecting member 24. The movable member 3 is supported by this connecting member 24.

각 레버군(X, Y)은, 세로 방향에 있어서, 구동 부재(1)의 각 일단(변위 출력부)에 구동 부재(1)의 길이 방향에 대하여 90°의 관계로 접속되어 상방으로 신장하는 제1 레버(20a)(최상류측 레버)와, 이 제1 레버(20a)의 선단에 레버(20a)의 길이 방향에 대하여 90°의 관계로 접속되어 구동 부재(1)와 거의 평행인 상태에서 수평으로 신장하는 제2 레버(20b)(최하류측 레버)를 구비하고 있다.Each lever group X and Y is connected to each end (displacement output part) of the drive member 1 in the longitudinal direction in a 90 ° relationship with respect to the longitudinal direction of the drive member 1 and extends upward. In a state in which the first lever 20a (upstream side lever) is connected to the distal end of the first lever 20a in a 90 ° relationship with respect to the longitudinal direction of the lever 20a and is substantially parallel to the drive member 1. The 2nd lever 20b (lowest-side lever) extended horizontally is provided.

각 레버군(X, Y)에 있어서, 제1 레버(20a)는, 그 기단측 부분이 레버의 지지점을 형성하는 탄성 변형 가능한 판 형상의 지지점용 결합부(22a)를 통하여 상기 고정부(21f)의 단부에 결합되고, 이에 따라 고정부(21f)에 지지되어 있다. 또한, 지지점용 결합부(22a)의 결합 위치보다도 조금 레버 선단쪽의 위치에 있어서, 레버(20a)의 기단측 부분과 구동 부재(1)의 각 단부의 변위 출력부(100) 사이는, 레버의 역점을 형성하는 탄성 변형 가능한 판 형상의 역점용 결합부(23a)로 결합되어 있다.In each lever group X and Y, the 1st lever 20a is 21f of said fixing | fixed parts via the plate-shaped support point engaging part 22a of the elastically deformable which the base end part forms the support point of a lever. Is coupled to the end of the c) and is supported by the fixing portion 21f. In addition, the lever is positioned between the proximal end portion of the lever 20a and the displacement output portion 100 at each end of the drive member 1 at a position slightly closer to the lever end position than the engagement position of the support point coupling portion 22a. An elastically deformable plate-shaped inverse coupling portion 23a for forming the inversion is coupled.

상기 지지점용 결합부(22a)와 역점용 결합부(23a)는 비교적 짧은 판 형상으로, 각각 제1 레버(20a)의 길이 방향에 대하여 직각으로 결합되어 있다.The support point coupling portion 22a and the reverse point coupling portion 23a have a relatively short plate shape, and are coupled at right angles to the longitudinal direction of the first lever 20a, respectively.

상기 제2 레버(20b)는, 구동 부재 길이 방향에 있어서의 각각의 레버군(X, Y)의 레버(20a) 배치측의 단부와는 반대측의 단부에 있어서, 고정부(21g)의 상방에 배치되어 있다.The second lever 20b is located above the fixing portion 21g at an end portion on the side opposite to the end portion on the side of the lever 20a arrangement of the lever groups X and Y in the drive member longitudinal direction. It is arranged.

이 제2 레버(20b)는, 그 기단측 부분이, 지지점용 결합부(22b)를 통하여 고 정부(21g)의 단부(구동 부재 길이 방향에 있어서의 각각의 레버군(X, Y)의 레버(20a) 배치측의 단부)에 결합됨과 아울러, 역점용 결합부(23b)를 통하여 상기 제1 레버(20a)의 선단측 부분에 결합되어 있다.This second lever 20b has a proximal end portion of which is the lever of the end of the fixing part 21g (the lever groups X and Y in the drive member longitudinal direction) via the engaging portion 22b for the support point. (20a) is coupled to the front end side portion of the first lever 20a via the coupling portion 23b for stiffness.

상기 지지점용 결합부(22b)와 역점용 결합부(23b)는 비교적 긴 판 형상으로, 각각의 일단부가 레버(20b)의 기단측 부분에 대하여 레버(20b)의 길이 방향을 따르도록 결합되어 있다. 또한, 역점용 결합부(23b)의 타단부는 레버(20a)의 길이 방향에 대하여 직각으로 결합되고, 또한, 지지점용 결합부(22b)의 타단부는 고정부(21g)에 결합되어 있다.The supporting point coupling portion 22b and the anti-point coupling portion 23b have a relatively long plate shape, and each end portion thereof is coupled to the proximal end portion of the lever 20b along the longitudinal direction of the lever 20b. . In addition, the other end of the coupling portion 23b for power point is coupled at right angles to the longitudinal direction of the lever 20a, and the other end of the coupling portion 22b for the support point is coupled to the fixing portion 21g.

상기 제2 레버(20b)의 기단측 부분에 결합된 지지점용 결합부(22b)와 역점용 결합부(23b)는, 레버(20b)의 길이의 수배 정도의 길이를 갖고 있다.The support point coupling portion 22b and the anti-point coupling portion 23b coupled to the proximal end portion of the second lever 20b have a length of several times the length of the lever 20b.

제2 레버(20b)와 이것에 결합된 지지점용 결합부(22b) 및 역점용 결합부(23b)는, 고정부(21g)와 간극을 형성하여 평행하게 배치되어 있다.The second lever 20b, the support point engaging portion 22b and the reverse point engaging portion 23b coupled thereto are arranged in parallel to form a gap with the fixed portion 21g.

본 실시 형태에서는, 제1 레버(20a)와 제2 레버(20b)와 구동 부재(1)가, 제2 레버(20b)의 지지점용 결합부(22b)가 결합된 고정부(21g)를, 간극을 형성하면서 3방면에서 둘러싼 콤팩트한 구조(접이식 구조)로 되어 있다.In this embodiment, the 1st lever 20a, the 2nd lever 20b, and the drive member 1 make the fixed part 21g which the coupling | bonding part 22b for support points of the 2nd lever 20b couple | bonded, It has a compact structure (foldable structure) that surrounds in three directions while forming a gap.

각 레버군(X, Y)의 제2 레버(20b)(변위 전달 방향의 최하류측 레버)의 선단측 부분끼리가 길이 방향으로 탄성 변형 가능한 연결 부재(24)로 연결되고, 이 연결 부재(24)의 중간부가 가동 부재(3)에 결합되어 있다.The front end side portions of the second lever 20b (lowest-side lever in the displacement transmission direction) of each lever group X and Y are connected to the connecting member 24 which is elastically deformable in the longitudinal direction, and the connecting member ( The intermediate portion of 24 is coupled to the movable member 3.

상기 연결 부재(24)는 판스프링 등의 탄성 변형 가능한 부재로 이루어지며, 길이 방향에 있어서 극히 작은 경사를 갖는 산 형상으로 구성되어, 길이 방향 중앙 부의 정부(頂部)에 평탄부(241)를 갖고 있다. 이 연결 부재(24)의 양단이, 각 레버군(X, Y)의 제2 레버(20b)(변위 전달 방향의 최하류측 레버)의 선단측 부분에 결합되어 양자를 연결하고 있다.The connecting member 24 is made of an elastically deformable member such as a leaf spring, and is formed in a mountain shape having an extremely small inclination in the longitudinal direction, and has a flat portion 241 at the top of the central portion in the longitudinal direction. have. Both ends of the connecting member 24 are coupled to the front end side portion of the second lever 20b (lowest-side lever in the displacement transmission direction) of the lever groups X and Y to connect them.

본 실시 형태에서는, 가동 부재(3)인 렌즈 홀더는, 중앙에 렌즈 부착 구멍을 갖는 판 형상의 본체(30)의 상단에 부착부(32)가 튀어나와 형성되어 있어, 이 부착부(32)가 상기 연결 부재(24)의 길이 방향 중앙의 평탄부(241)에 연결(고정)되어 있다.In this embodiment, in the lens holder which is the movable member 3, the attachment part 32 protrudes and is formed in the upper end of the plate-shaped main body 30 which has a lens attachment hole in the center, and this attachment part 32 Is connected (fixed) to the flat portion 241 in the longitudinal center of the connecting member 24.

본 실시 형태에서는, 양 레버군(X, Y)의 최하류측 레버(20a)의 선단측 부분끼리가 접근·분리되는 변위를 행함으로써, 연결 부재(24)가 탄성 변형하여 그 평탄부(241)의 높이가 변화하여, 여기에 지지된 가동 부재(3)를 상하로 변위 동작시킨다.In this embodiment, the connecting member 24 elastically deforms and the flat part 241 by performing the displacement which the front-end side parts of the most downstream lever 20a of both lever groups X and Y approach and isolate | separate. ), The height changes, and the movable member 3 supported here is displaced up and down.

변위 확대 기구(2)의 각 레버군(X, Y)을 구성하는 레버(20)는, 변위 전달 방향을 따라서 3개 이상 형성해도 좋아, 예를 들면, 본 실시 형태의 예에서는, 제1 레버(20a)와 제2 레버(20b)의 사이에, 제1 레버(20a)와 동일한 원리의 레버를 1개 이상 형성해도 좋다.Three or more levers 20 constituting the lever groups X and Y of the displacement expanding mechanism 2 may be formed along the displacement transmission direction. For example, in the example of the present embodiment, the first lever One or more levers having the same principle as the first lever 20a may be formed between the 20a and the second lever 20b.

또한, 구동 부재(1), 변위 확대 기구(2) 등에 관한 그 외의 구성에 대해서는, 도 1∼도 5의 실시 형태와 동일하며, 앞서 서술한 바와 같기 때문에, 상세한 설명은 생략한다.In addition, about the other structure regarding the drive member 1, the displacement expansion mechanism 2, etc., it is the same as that of embodiment of FIGS. 1-5, and since it is as above-mentioned, detailed description is abbreviate | omitted.

본 실시 형태의 액츄에이터에서는, 구동 부재(1)인 압전 소자에 소정의 구동 전압이 인가되면 치수 왜곡에 의해 화살표 (A)방향으로 신장하여, 구동 부재(1) 양 단의 변위 출력부(100)로부터 일축방향의 변위가 역점용 결합부(23a)를 통하여 양 레버군(X, Y)의 제1 레버(20a)에 각각 출력된다(즉, 레버(20a)를 누른다). 이에 따라 제1 레버(20a)는, 지지점용 결합부(22a)를 변형시키면서 이것을 지지점으로 하여 외측 방향(화살표 (B)방향)으로 회전이동한다. 이 제1 레버(20a)의 회전이동에 의해, 제2 레버(20b)의 역점용 결합부(23b)가 화살표 (C)방향으로 인장되고, 이에 따라 제2 레버(20b)는, 지지점용 결합부(22b)를 변형시키면서 이것을 지지점으로 하여 화살표 (D)방향으로 회전이동한다. 이에 따라 연결 부재(24)의 양단간의 거리가 줄어들기 때문에 연결 부재(24)가 탄성 변형하여 평탄부(241)의 높이가 상승하고, 여기에 연결된 가동 부재(3)가 상방으로 변위(상승)한다. 당연히, 구동 부재(1)인 압전 소자가 화살표 (A)방향에서 축소하면, 상기와 반대의 동작에 의해 가동 부재(3)가 하방으로 변위(하강)한다. 그리고, 이상과 같은 변위 확대 기구(2)에 의한 변위 전달의 과정에서, 구동 부재(1)로부터 출력된 변위가 확대(증폭)되어, 구동 부재(1)의 출력 변위량의 수십배 이상(경우에 따라서는 100배 이상)의 변위량이 가동 부재에 전달된다.In the actuator of this embodiment, when a predetermined drive voltage is applied to the piezoelectric element which is the drive member 1, it extends in the direction of arrow A by dimensional distortion, and the displacement output part 100 of both ends of the drive member 1 is extended. The displacement in the uniaxial direction is outputted to the first lever 20a of both lever groups X and Y, respectively (that is, the lever 20a is pushed) through the coupling portion 23a for the inverse direction. As a result, the first lever 20a rotates in the outward direction (arrow (B) direction) while deforming the engaging portion 22a for the supporting point as the supporting point. By the rotational movement of the first lever 20a, the stationary engaging portion 23b of the second lever 20b is tensioned in the direction of the arrow C, whereby the second lever 20b is engaged with the supporting point. While deforming the portion 22b, it is rotated in the direction of the arrow D with this as the supporting point. As a result, the distance between both ends of the connecting member 24 is reduced, so that the connecting member 24 is elastically deformed and the height of the flat part 241 is increased, and the movable member 3 connected thereto is displaced upwards. do. Naturally, when the piezoelectric element which is the drive member 1 shrinks in the direction of the arrow A, the movable member 3 is displaced (falls) downward by the operation opposite to the above. And in the process of the displacement transmission by the displacement expansion mechanism 2 as mentioned above, the displacement output from the drive member 1 expands (amplifies), and is several times more than the output displacement amount of the drive member 1 (in some cases, 100 times or more) is transmitted to the movable member.

도 21∼도 23은, 본 발명의 액츄에이터의 다른 실시 형태를 나타내는 것으로, 도 18∼도 20의 실시 형태의 변형예이다. 도 21은 사시도, 도 22는 평면도, 도 23은 가동 부재를 부착한 상태로 나타내는 사시도이다. 도면에 있어서, 부호(3)는 액츄에이터가 변위 동작시켜야 할 가동 부재로서, 본 실시 형태에서는 렌즈 홀더이다.21-23 shows other embodiment of the actuator of this invention, and is a modification of the embodiment of FIGS. 18-20. FIG. 21 is a perspective view, FIG. 22 is a plan view, and FIG. 23 is a perspective view showing a state in which a movable member is attached. In the drawing, reference numeral 3 denotes a movable member to which the actuator is to be displaced, and in this embodiment is a lens holder.

이 실시 형태의 구동 부재(1)와 변위 확대 기구(2)는, 도 18∼도 20의 실시 형태의 것을 가로형으로 하고, 그리고 연결 부재(24)의 구성을 바꾼 것이다.The drive member 1 and the displacement magnification mechanism 2 of this embodiment make the thing of the embodiment of FIGS. 18-20 horizontally, and changed the structure of the connection member 24. As shown in FIG.

이 액츄에이터도, 입력되는 에너지량에 따른 변형량으로 변형하여, 이 변형을 일축방향으로의 변위로서 출력하는 구동 부재(1)와, 이 구동 부재(1)로부터 출력된 변위를 변위량을 확대시키면서 가동 부재(3)까지 전달하여 가동 부재(3)를 변위 동작시키는 변위 확대 기구(2)를 구비함과 아울러, 이 변위 확대 기구(2)는, 변위 전달 방향을 따라서 배치되는 복수의 레버(20)로 이루어지는 한 쌍의 레버군(X, Y)과, 상기 레버(20)를 지지하는 고정부(21)와, 양 레버군(X, Y)의 변위 전달 방향의 최하류측 레버(20)와 가동 부재(3)를 연결하는 길이 방향으로 탄성 변형 가능한 연결 부재(24)를 구비한다.The actuator also deforms to a deformation amount corresponding to the amount of energy input, and outputs this deformation as a displacement in the uniaxial direction, and a movable member while expanding the displacement amount from the displacement output from this drive member 1. The displacement expanding mechanism 2 is provided with a plurality of levers 20 arranged along the displacement transmission direction, further comprising a displacement expanding mechanism 2 that transmits up to (3) and displaces the movable member 3. A pair of lever groups (X, Y), a fixing portion (21) supporting the lever (20), and the lowest lever (20) in the displacement transfer direction of both lever groups (X, Y). The connecting member 24 which can elastically deform in the longitudinal direction which connects the member 3 is provided.

상기 구동 부재(1)는, 도 1∼도 5의 실시 형태에서 서술한 바와 같아, 본 실시 형태의 구동 부재(1)도 압전 소자로 구성되어 있다. 본 발명의 구동 부재(1)(압전 소자)는 사각 기둥 형상을 갖고, 그 길이 방향으로 치수 왜곡(변위)을 일으켜, 이 치수 왜곡을 양단의 변위 출력부(100)로부터 일축방향으로 출력한다.The drive member 1 is as described in the embodiment of FIGS. 1 to 5, and the drive member 1 of the present embodiment is also composed of a piezoelectric element. The drive member 1 (piezoelectric element) of the present invention has a rectangular columnar shape, causes dimensional distortion (displacement) in the longitudinal direction thereof, and outputs the dimensional distortion from the displacement output unit 100 at both ends in the uniaxial direction.

상기 고정부(21)는, 구동 부재(1)의 폭 방향 양측에 위치하는 고정부(21h, 21i)와, 가동 부재의 설치 스페이스를 사이에 두고 레버(20)와 대향하여 위치하는 고정부(21j)를 갖는다. 상기 고정부(21h, 21i)는, 구동 부재(1)와의 사이에 간극을 형성하여, 구동 부재(1)의 양측에 각각 평행하게 위치하고 있다. 이들 고정부(21h, 21i) 중 적어도 고정부(21h)는 액츄에이터 전체를 지지하는 기체(7)에 고정된다.The fixing portion 21 is a fixing portion 21h, 21i located on both sides in the width direction of the driving member 1, and a fixing portion positioned opposite to the lever 20 with the installation space of the movable member therebetween ( 21j). The fixing portions 21h and 21i form a gap between the driving member 1 and are located parallel to both sides of the driving member 1, respectively. At least the fixing portion 21h of these fixing portions 21h and 21i is fixed to the base 7 that supports the entire actuator.

상기 한 쌍의 레버군(X, Y)은, 복수의 레버(20)의 형상 및 배치가 액츄에이 터 중심에 대하여 점대칭으로, 최하류측 레버(20)에 연결 부재(24)가 연결되어, 이 연결 부재(24)에 가동 부재(3)가 지지되는 구조로 되어 있다.In the pair of lever groups X and Y, the shape and arrangement of the plurality of levers 20 are point symmetrical with respect to the center of the actuator, and the connecting member 24 is connected to the most downstream lever 20, The movable member 3 is supported by this connecting member 24. As shown in FIG.

각 레버군(X, Y)은, 수평 방향에 있어서, 구동 부재(1)의 각 일단(변위 출력부)에 구동 부재(1)의 길이 방향에 대하여 90°의 관계로 접속되는 제1 레버(20a)(최상류측 레버)와, 이 제1 레버(20a)의 선단에 레버(20a)의 길이 방향에 대하여 90°의 관계로 접속되는 제2 레버(20b)(최하류측 레버)를 구비하고 있다.Each lever group (X, Y) is a 1st lever (connected to 90 degrees with respect to the longitudinal direction of the drive member 1 to each end (displacement output part) of the drive member 1 in a horizontal direction ( 20a (upstream-side lever) and the 2nd lever 20b (lowest-side lever) connected to the front-end | tip of this 1st lever 20a by 90 degrees with respect to the longitudinal direction of the lever 20a, have.

각 레버군(X, Y)에 있어서, 제1 레버(20a)는, 그 기단측 부분이 레버의 지지점을 형성하는 탄성 변형 가능한 판 형상의 지지점용 결합부(22a)를 통하여 상기 고정부(21h)의 단부에 결합되고, 이에 따라 고정부(21h)에 지지되어 있다. 또한, 지지점용 결합부(22a)의 결합 위치보다도 조금 레버 선단쪽의 위치에 있어서, 레버(20a)의 기단측 부분과 구동 부재(1)의 각 단부의 변위 출력부(100) 사이는, 레버의 역점을 형성하는 탄성 변형 가능한 판 형상의 역점용 결합부(23a)로 결합되어 있다.In each lever group (X, Y), the 1st lever 20a has the said fixed part 21h via the plate-shaped support point engaging part 22a of the elastically deformable part whose base end side forms the support point of a lever. Is coupled to the end of the c) and is supported by the fixing portion 21h. In addition, the lever is positioned between the proximal end portion of the lever 20a and the displacement output portion 100 at each end of the drive member 1 at a position slightly closer to the lever end position than the engagement position of the support point coupling portion 22a. An elastically deformable plate-shaped inverse coupling portion 23a for forming the inversion is coupled.

상기 지지점용 결합부(22a)와 역점용 결합부(23a)는 비교적 짧은 판 형상으로, 각각 제1 레버(20a)의 길이 방향에 대하여 직각으로 결합되어 있다.The support point coupling portion 22a and the reverse point coupling portion 23a have a relatively short plate shape, and are coupled at right angles to the longitudinal direction of the first lever 20a, respectively.

상기 제2 레버(20b)는, 구동 부재 길이 방향에 있어서의 각각의 레버군(X, Y)의 레버(20a) 배치측의 단부와는 반대측의 단부에 있어서, 고정부(21i)의 외측에 배치되어 있다.The second lever 20b is located on the outer side of the fixing portion 21i at an end portion on the side opposite to the end portion on the side of the lever 20a arrangement of the lever groups X and Y in the drive member longitudinal direction. It is arranged.

이 제2 레버(20b)는, 그 기단측 부분이, 지지점용 결합부(22b)를 통하여 고정부(21i)의 단부(구동 부재 길이 방향에 있어서의 각각의 레버군(X, Y)의 레 버(20a) 배치측의 단부)에 결합됨과 아울러, 역점용 결합부(23b)를 통하여 상기 제1 레버(20a)의 선단측 부분에 결합되어 있다.The second lever 20b has a base end portion of which is provided with a lever of the end of the fixing portion 21i (the lever groups X and Y in the longitudinal direction of the driving member) via the engaging portion 22b for the support point. It is coupled to the burr 20a (end of the arrangement side), and is coupled to the front end side portion of the first lever 20a via the inverse coupling portion 23b.

상기 지지점용 결합부(22b)와 역점용 결합부(23b)는 비교적 긴 판 형상으로, 각각의 일단부가 레버(20b)의 기단측 부분에 대하여 레버(20b)의 길이 방향을 거의 따르도록 결합되어 있다. The support point coupling portion 22b and the reverse point coupling portion 23b have a relatively long plate shape and are coupled such that one end thereof substantially follows the longitudinal direction of the lever 20b with respect to the proximal end portion of the lever 20b. have.

상기 제2 레버(20b)의 기단측 부분에 결합된 지지점용 결합부(22b)와 역점용 결합부(23b)는, 레버(20b)의 길이의 2배 정도의 길이를 갖고 있다.The support point coupling part 22b and the anti-point coupling part 23b coupled to the proximal end portion of the second lever 20b have a length approximately twice that of the lever 20b.

레버군(X, Y)의 제2 레버(20b)(변위 전달 방향의 최하류측 레버)의 선단측 부분과 고정부(21j)와의 사이에는, 길이 방향으로 탄성 변형 가능한 한 쌍의 연결 부재(24)가 가설(架設)되어 있다.A pair of connecting members which can be elastically deformed in the longitudinal direction between the tip end portion of the second lever 20b (lowest-side lever in the displacement transmission direction) of the lever groups X and Y and the fixing portion 21j ( 24 is hypothesized.

이 연결 부재(24)는 판스프링 등의 탄성 변형 가능한 부재로 이루어져, 길이 방향에 있어서 작은 경사를 갖는 산 형상으로 구성되고, 길이 방향 중앙부의 정부에 지지부(242)를 갖고 있다. This connecting member 24 consists of an elastically deformable member, such as a leaf spring, is comprised in the shape of a mountain which has a small inclination in the longitudinal direction, and has the support part 242 in the front part of a longitudinal center part.

이 연결 부재(24)는 산의 정부가 위로 향하도록, 레버(20b)의 선단측 부분과 고정부(21j) 사이에 걸쳐져 있다. 또한, 연결 부재(24)의 길이 방향에는 간격을 두고 좌굴 방지용의 강성 부재(243)가 부착되어, 연결 부재(24)는 주로 이 강성 부재(243) 이외의 부분에서 탄성 변형한다.This connecting member 24 is spanned between the front end side portion of the lever 20b and the fixing portion 21j so that the top of the mountain faces upward. Moreover, the stiffening member 243 for buckling prevention is attached in the longitudinal direction of the connection member 24, and the connection member 24 mainly elastically deforms in parts other than this rigid member 243. As shown in FIG.

본 실시 형태에서는, 가동 부재(3)인 렌즈 홀더는, 링 형상의 본체(30)의 양측에 부착부(33)가 튀어나와 형성되어 있어, 이 부착부(33)가 상기 연결 부재(24)의 길이 방향 중앙의 지지부(242)에 연결 또는 걸어맞춰짐으로써, 가동 부재(3)가 연결 부재(24)에 의해 지지되어 있다.In this embodiment, as for the lens holder which is the movable member 3, the attachment part 33 protrudes and is formed in the both sides of the ring-shaped main body 30, and this attachment part 33 is the said connection member 24. The movable member 3 is supported by the connecting member 24 by being connected or engaged with the support part 242 of the longitudinal center of the.

본 실시 형태에서는, 양 레버군(X, Y)의 제2 레버(20b)의 선단측 부분이 고정부(21j)에 대하여 접근·분리되는 변위를 행함으로써, 연결 부재(24)가 탄성 변형하여 그 지지부(242)의 높이가 변화하여, 여기에 지지된 가동 부재(3)를 상하로 변위 동작시킨다.In this embodiment, the connection member 24 elastically deforms by performing the displacement which the front end side part of the 2nd lever 20b of both lever groups X and Y approaches and isolate | separates with respect to the fixing part 21j, The height of the support part 242 changes, and the movable member 3 supported here is displaced up and down.

변위 확대 기구(2)의 각 레버군(X, Y)을 구성하는 레버(20)는, 변위 전달 방향을 따라서 3개 이상 형성해도 좋아, 예를 들면, 본 실시 형태의 예에서는, 제1 레버(20a)와 제2 레버(20b)의 사이에, 제1 레버(20a)와 동일한 원리의 레버를 1개 이상 형성해도 좋다.Three or more levers 20 constituting the lever groups X and Y of the displacement expanding mechanism 2 may be formed along the displacement transmission direction. For example, in the example of the present embodiment, the first lever One or more levers having the same principle as the first lever 20a may be formed between the 20a and the second lever 20b.

또한, 구동 부재(1), 변위 확대 기구(2) 등에 관한 그 외의 구성에 대해서는, 도 1∼도 5의 실시 형태와 동일하며, 앞서 서술한 바와 같기 때문에, 상세한 설명은 생략한다.In addition, about the other structure regarding the drive member 1, the displacement expansion mechanism 2, etc., it is the same as that of embodiment of FIGS. 1-5, and since it is as above-mentioned, detailed description is abbreviate | omitted.

본 실시 형태의 액츄에이터에서는, 구동 부재(1)인 압전 소자에 소정의 구동 전압이 인가되면 치수 왜곡에 의해 화살표 (A)방향으로 신장하고, 구동 부재(1) 양단의 변위 출력부(100)로부터 일축방향의 변위가 역점용 결합부(23a)를 통하여 양 레버군(X, Y)의 제1 레버(20a)로 각각 출력된다(즉, 레버(20a)를 누른다). 이에 따라 제1 레버(20a)는, 지지점용 결합부(22a)를 변형시키면서 이것을 지지점으로 하여 외측 방향(화살표 (B)방향)으로 회전이동한다. 이 제1 레버(20a)의 회전이동에 의해, 제2 레버(20b)의 역점용 결합부(23b)가 화살표 (C)방향으로 인장되고, 이에 따라 제2 레버(20b)는, 지지점용 결합부(22b)를 변형시키면서 이것을 지지점으 로 하여 화살표 (D)방향으로 회전이동한다. 이에 따라 제2 레버(20b)의 선단측 부분과 고정부(21j) 사이의 거리가 줄어들기 때문에 연결 부재(24)가 탄성 변형하여 지지부(242)의 높이가 상승하여, 여기에 지지된 가동 부재(3)가 상방으로 변위(상승)한다. In the actuator of this embodiment, when a predetermined drive voltage is applied to the piezoelectric element which is the drive member 1, it extends in the direction of arrow A by dimensional distortion, and from the displacement output part 100 of both ends of the drive member 1, Displacement in the uniaxial direction is outputted to the 1st lever 20a of both lever groups X and Y, respectively (that is, presses the lever 20a) via the inverse coupling part 23a. As a result, the first lever 20a rotates in the outward direction (arrow (B) direction) while deforming the engaging portion 22a for the supporting point as the supporting point. By the rotational movement of the first lever 20a, the stationary engaging portion 23b of the second lever 20b is tensioned in the direction of the arrow C, whereby the second lever 20b is engaged with the supporting point. While deforming the portion 22b, it is rotated in the direction of the arrow D with this as the support point. As a result, the distance between the distal end portion of the second lever 20b and the fixing portion 21j is reduced, so that the connecting member 24 elastically deforms and the height of the supporting portion 242 rises, thereby supporting the movable member. (3) is displaced upward.

당연히, 구동 부재(1)인 압전 소자가 화살표 (A)방향으로 축소하면, 상기와 반대의 동작에 의해 가동 부재(3)가 하방으로 변위(하강)한다. 그리고, 이상과 같은 변위 확대 기구(2)에 의한 변위 전달의 과정에서, 구동 부재(1)로부터 출력된 변위가 확대(증폭)되고, 구동 부재(1)의 출력 변위량의 수십배 이상(경우에 따라서는 100배 이상)의 변위량이 가동 부재로 전달된다.Naturally, when the piezoelectric element which is the drive member 1 shrinks in the direction of the arrow A, the movable member 3 is displaced (falls) downward by the operation opposite to the above. And in the process of the displacement transmission by the displacement expansion mechanism 2 as mentioned above, the displacement output from the drive member 1 expands (amplifies), and is several times more than the output displacement amount of the drive member 1 (in some cases, 100 times or more) is transmitted to the movable member.

도 24∼도 26은, 본 발명의 액츄에이터의 다른 실시 형태를 나타내는 것으로, 도 21∼도 23의 실시 형태의 변형예이다. 도 24는 사시도, 도 25는 평면도, 도 26은 가동 부재를 부착한 상태로 나타내는 사시도이다. 24 to 26 show another embodiment of the actuator of the present invention, which is a modification of the embodiment of FIGS. 21 to 23. 24 is a perspective view, FIG. 25 is a plan view, and FIG. 26 is a perspective view of a movable member attached thereto.

이 실시 형태는, 도 21∼도 23의 실시 형태와는 다른 형식의 연결 부재(24)(길이 방향에서 탄성 변형 가능한 연결 부재(24))를 이용한 것이다. 이 연결 부재(24)는, 본체(245)가 판스프링 등의 탄성 변형 가능한 부재로 이루어지고, 길이 방향에 있어서 작은 경사를 갖는 산 형상으로 구성됨과 아울러, 길이 방향 중앙부의 정부에 탄성 변형 가능한 지지판부(246)가 돌출형성된 구조를 갖고 있다. 또한, 연결 부재(24)의 본체(245)의 일부에는 좌굴 방지용의 강성 부재(243)가 부착되어, 본체(245)는 주로 이 강성 부재(243) 이외의 부분에서 탄성 변형한다.This embodiment uses the connection member 24 (connection member 24 which can be elastically deformed in a length direction) different from the embodiment of FIGS. 21-23. The connecting member 24 has a main body 245 made of an elastically deformable member such as a leaf spring, and is formed in a mountain shape having a small inclination in the longitudinal direction, and supports the elastically deformable part of the central portion in the longitudinal direction. The plate part 246 has a structure which protruded. In addition, a part of the main body 245 of the connecting member 24 is attached to the rigid member 243 for preventing buckling, and the main body 245 mainly elastically deforms at a portion other than the rigid member 243.

한 쌍의 연결 부재(24)는 산의 정부가 서로 대향하도록 하여, 양 레버군(X, Y)의 제2 레버(20b)의 선단측 부분과 고정부(21j)와의 사이에 가설되어 있다. 이 상태에서, 양 연결 부재(24)의 지지판부(246)는, 비스듬히 상방을 향하도록 하여 대향하고 있다. 그리고, 가동 부재(3)의 본체(30) 양측의 부착부(33)가 연결 부재(24)의 길이 방향 중앙의 지지판부(246)에 연결 또는 걸어맞춰짐으로써, 가동 부재(3)가 연결 부재(24)에 의해 지지되어 있다.The pair of connecting members 24 are arranged between the front end side portions of the second lever 20b of both lever groups X and Y and the fixing portion 21j so that the peaks of the mountain face each other. In this state, the support plate portions 246 of the two connecting members 24 face each other upwardly at an angle. And the movable member 3 is connected by attaching or engaging the attachment part 33 of the main body 30 both sides of the movable member 3 to the support plate part 246 of the longitudinal center of the connection member 24. It is supported by the member 24.

본 실시 형태에서는, 양 레버군(X, Y)의 제2 레버(20b)의 선단측 부분이 고정부(21j)에 대하여 접근·분리되는 변위를 행함으로써, 양 연결 부재(24)의 정부끼리가 접근·분리되고, 이에 수반하여 지지판부(246)가 탄성 변형하면서 가동 부재(3)를 밀어올리거나 또는 밀어내려, 가동 부재(3)를 상하로 변위 동작시킨다.In this embodiment, the front ends of both connecting members 24 are moved by performing a displacement in which the tip end portion of the second lever 20b of both lever groups X and Y approaches and separates from the fixing portion 21j. When the support plate 246 elastically deforms, the movable member 3 is pushed up or pushed down, and the movable member 3 is displaced up and down with this approach and separation.

Claims (19)

입력되는 에너지량에 따른 변형량으로 변형하고, 상기 변형을 일축방향으로의 변위로서 출력하는 구동 부재(1)와, 상기 구동 부재(1)로부터 출력된 변위를 변위량을 확대시키면서 가동 부재(3)까지 전달하여 상기 가동 부재(3)를 변위 동작시키는 변위 확대 기구(2)를 구비한 액츄에이터로서,The drive member 1 deforms to the deformation amount corresponding to the amount of energy input and outputs the deformation as a displacement in the uniaxial direction, and the displacement output from the drive member 1 to the movable member 3 while expanding the displacement amount. An actuator having a displacement expanding mechanism (2) which transmits and displaces the movable member (3), 상기 변위 확대 기구(2)는, 변위 전달 방향을 따라 배치되는 복수의 레버(20)와, 상기 레버(20)를 지지하는 고정부(21)를 구비하고,The displacement expansion mechanism 2 includes a plurality of levers 20 arranged along the displacement transmission direction, and a fixing portion 21 supporting the levers 20, 각 레버(20)는, 레버의 지지점을 형성하는 탄성 변형 가능한 지지점용 결합부(22)를 통하여 고정부(21)에 결합됨으로써 고정부(21)에 지지됨과 아울러, 인접하는 레버(20) 사이 및 변위 전달 방향의 최상류측 레버(20)와 구동 부재(1)의 변위 출력부(100) 사이는, 레버의 역점(力點)을 형성하는 탄성 변형 가능한 역점용 결합부(23)로 결합되고,Each lever 20 is supported by the fixing part 21 by being coupled to the fixing part 21 through the elastically deformable support point coupling part 22 which forms the support point of a lever, and is adjacent to the adjacent lever 20. And between the most upstream lever 20 in the displacement transmission direction and the displacement output portion 100 of the drive member 1 by an elastically deformable stationary engaging portion 23 that forms the stationary point of the lever, , 변위 전달 방향의 최하류측 레버(20)의 선단측 부분을 상기 가동 부재(3)에 연결 또는 걸어맞춰, 상기 최하류측 레버(20)의 변위에 의해 가동 부재(3)를 변위 동작시키도록 한 것을 특징으로 하는 액츄에이터.The front end side portion of the downstreammost lever 20 in the displacement transmission direction is connected or engaged with the movable member 3 to displace the movable member 3 by the displacement of the downstreammost lever 20. Actuator characterized in that. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 변위 전달 방향의 최상류측 레버(20)는, 그 기단측 부분이, 지지점용 결합부(22)를 통하여 고정부(21)에 결합됨과 아울러, 역점용 결합부(23)를 통하여 구동 부재(1)의 변위 출력부(100)에 결합되고, 상기 최상류측 레버(20) 이외의 레버(20)는, 그 기단측 부분이, 지지점용 결합부(22)를 통하여 고정부(21)에 결합됨과 아울러, 역점용 결합부(23)를 통하여 인접하는 다른 레버(20)의 선단측 부분에 결합되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.The most upstream side lever 20 of the displacement transmission direction has its proximal end portion coupled to the fixed portion 21 via the support point engaging portion 22, and the drive member 1 via the reverse point engaging portion 23. And a lever 20 other than the most upstream lever 20, the proximal end portion of which is coupled to the fixed portion 21 through the coupling portion 22 for the support point. In addition, the actuator, characterized in that coupled to the front end side portion of the other lever (20) adjacent through the coupling point for 23. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 복수의 레버(20) 중 적어도 1개의 레버(20)의 기단측 부분에 결합되는 지지점용 결합부(22)와 역점용 결합부(23)는, 상기 레버(20)의 길이의 1/4 이상의 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.A support point engaging portion 22 and a reverse coupling portion 23 coupled to the proximal end portion of at least one lever 20 of the plurality of levers 20 are 1/4 or more of the length of the lever 20. An actuator having a length. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 변위 확대 기구(2)가, 금속 또는/및 수지로 이루어지는 성형체 또는/및 적층체로 구성되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.Actuator characterized in that the displacement expanding mechanism (2) is composed of a molded body and / or a laminate made of metal or resin. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 복수의 레버(20) 중 변위 전달 방향의 최하류측 레버(20)에 결합된 지지점용 결합부(22)와 역점용 결합부(23)의 병렬 방향이, 상기 최하류측 레버(20)보다도 상류측의 레버(20)의 변위면에 대하여 직교하고 있는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.Among the plurality of levers 20, the parallel direction of the support point engaging portion 22 and the reverse point engaging portion 23 coupled to the most downstream lever 20 in the displacement transfer direction is greater than that of the least downstream lever 20. The actuator is orthogonal to the displacement plane of the lever 20 on the upstream side. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 구동 부재(1)와 변위 확대 기구(2)가, 평면적으로 가동 부재(3)를 외부에서 둘러싸는 상태로 배치되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.An actuator, characterized in that the drive member (1) and the displacement magnification mechanism (2) are arranged in a state of surrounding the movable member (3) in a plane. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 변위 확대 기구(2)는 제1 및 제2 레버(20)를 구비하고, 가동 부재(3)는 구동 부재(1)와 제1 레버(20)와 제2 레버(20)에 의해, 적어도 3방면이 둘러싸여 있는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.The displacement magnification mechanism 2 has a first and a second lever 20, and the movable member 3 is at least 3 by the drive member 1, the first lever 20, and the second lever 20. Actuator characterized in that the sides are surrounded. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 복수의 각 레버(20)에 결합된 지지점용 결합부(22)와 역점용 결합부(23)의 병렬 방향이, 상기 레버(20)보다도 상류측의 레버(20)의 변위면과 평행인 것을 특징으로 하는 액츄에이터.The parallel direction of the support point engaging portion 22 and the reverse point engaging portion 23 coupled to the plurality of levers 20 is parallel to the displacement plane of the lever 20 on the upstream side of the lever 20. Actuator characterized by the above-mentioned. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 변위 확대 기구(2)는 제1 및 제2 레버(20)를 구비하고, 상기 제1 및 제2 레버(20)와 구동 부재(1)가, 상기 제2 레버(20)의 지지점용 결합부(22)가 결합된 고정부(21)를 3방면에서 둘러싸고 있는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.Displacement expansion mechanism 2 is provided with the 1st and 2nd lever 20, The said 1st and 2nd lever 20 and the drive member 1 are the coupling parts for the support point of the said 2nd lever 20. Actuator characterized in that it surrounds the fixing portion (21) to which the 22 is coupled in three directions. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 9, 레버(20)의 선단부(p1)와 상기 레버(20)에 결합된 지지점용 결합부(22)의 길이 방향 중심(p2)을 연결하는 직선(L)의 길이의 전(全) 레버의 합계가, 구동 부재(1)의 변위 출력 방향에서의 길이 이상인 것을 특징으로 하는 액츄에이터.The sum of all the levers of the length of the straight line L connecting the distal end portion p1 of the lever 20 and the longitudinal center p2 of the support point engagement portion 22 coupled to the lever 20 And an actuator which is equal to or greater than the length in the displacement output direction of the drive member (1). 입력되는 에너지량에 따른 변형량으로 변형하고, 상기 변형을 일축방향으로의 변위로서 양단으로부터 출력하는 구동 부재(1)와, 상기 구동 부재(1)로부터 출력된 변위를 변위량을 확대시키면서 가동 부재(3)까지 전달하여 상기 가동 부재(3)를 변위 동작시키는 변위 확대 기구(2)를 구비한 액츄에이터로서,The driving member 1 is deformed to the amount of deformation in accordance with the amount of energy input and outputs the deformation from both ends as a displacement in the uniaxial direction, and the movable member 3 is expanded while the displacement amount is output from the displacement output from the drive member 1. Actuator having a displacement expanding mechanism (2) for transmitting the up to) to displace the movable member (3), 상기 변위 확대 기구(2)는, 변위 전달 방향을 따라서 배치되는 복수의 레버(20)로 이루어지는 한 쌍의 레버군(X, Y)과, 상기 레버(20)를 지지하는 고정부(21)와, 양 레버군(X, Y)의 변위 전달 방향의 최하류측 레버(20)와 가동 부재(3)를 연결하는 길이 방향에서 탄성 변형 가능한 연결 부재(24)를 구비하고,The displacement expansion mechanism 2 includes a pair of lever groups X and Y made up of a plurality of levers 20 arranged along the displacement transmission direction, a fixing portion 21 supporting the levers 20, and And a connecting member 24 which is elastically deformable in the longitudinal direction connecting the lowest lever 20 and the movable member 3 in the displacement transmission direction of both lever groups X and Y, 각 레버(20)는, 레버의 지지점을 형성하는 탄성 변형 가능한 지지점용 결합부(22)를 통하여 고정부(21)에 결합됨으로써 고정부(21)에 지지됨과 아울러, 인접하는 레버(20) 사이 및 변위 전달 방향의 최상류측 레버(20)와 구동 부재(1)의 변위 출력부(100) 사이는, 레버의 역점을 형성하는 탄성 변형 가능한 역점용 결합부(23)로 결합되고, Each lever 20 is supported by the fixing part 21 by being coupled to the fixing part 21 through the elastically deformable support point coupling part 22 which forms the support point of a lever, and is adjacent to the adjacent lever 20. And between the most upstream lever 20 in the displacement transmission direction and the displacement output portion 100 of the drive member 1 with an elastically deformable coupling portion 23 that forms an inversion of the lever, 한 쌍의 레버군(X, Y)의 변위 전달 방향의 최하류측 레버(20)의 선단측 부분과 가동 부재(3)가 연결 부재(24)로 연결되고, 양 최하류측 레버(20)의 변위에 의해 연결 부재(24)를 통하여 가동 부재(3)를 변위 동작시키도록 한 것을 특징으로 하는 액츄에이터.The distal end portion of the lowest lever 20 in the displacement transfer direction of the pair of lever groups X and Y and the movable member 3 are connected by the connecting member 24, and both the most downstream levers 20 are connected. And the movable member (3) is displaced through the connecting member (24) by the displacement of the actuator. 제11항에 있어서,The method of claim 11, 하기 (ⅰ)∼(ⅲ) 중 어느 일 형태로서, 한 쌍의 레버군(X, Y)의 변위 전달 방향의 최하류측 레버(20)의 선단측 부분과 가동 부재(3)가 연결 부재(24)로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.In any one of the following (i)-(v), the front end side part and the movable member 3 of the downstreammost lever 20 of the pair of lever groups X and Y in the displacement transmission direction are connected to a connecting member ( Actuator, characterized in that connected to 24). (ⅰ) 한 쌍의 연결 부재(24)가, 가동 부재(3)의 양측부와 양 최하류측 레버(20)의 선단측 부분을 각각 연결하고, 양 최하류측 레버(20)의 선단측 부분끼리가 접근·분리되는 변위를 행함으로써 가동 부재(3)를 변위 동작시킴.(Iv) A pair of connecting members 24 connect the both side portions of the movable member 3 and the tip side portions of the two most downstream levers 20, respectively, and the tip side of the two most downstream levers 20, respectively. The movable member 3 is displaced by performing displacement in which parts approach and separate. (ⅱ) 연결 부재(24)가 양 최하류측 레버(20)의 선단측 부분을 연결함과 아울러, 연결 부재(24)의 중간부가 가동 부재(3)에 결합되고, 양 최하류측 레버(20)의 선단측 부분끼리가 접근·분리되는 변위를 행함으로써 가동 부재(3)를 변위 동작시킴.(Ii) while the connecting member 24 connects the front end side portions of both of the most downstream lever levers 20, the intermediate portion of the connecting member 24 is coupled to the movable member 3, and the two most downstream levers ( The movable member 3 is displaced by displacing the tip portions of 20) to approach and separate. (ⅲ) 한 쌍의 연결 부재(24)가, 고정부(21)와 양 최하류측 레버(20)의 선단측 부분에 각각 가설되고, 양 연결 부재(24)의 중간부가 가동 부재(3)의 양측부에 각각 연결 또는 걸어맞춰지고, 양 최하류측 레버(20)의 선단측 부분이 상기 고정부(21)에 대하여 접근·분리되는 변위를 행함으로써 가동 부재(3)를 변위 동작시킴.(Iii) A pair of connecting members 24 are installed on the front end side portions of the fixed portion 21 and the two most downstream levers 20, respectively, and the intermediate portions of both connecting members 24 are movable members 3. The movable member (3) is displaced by connecting or engaging the two side portions of the lever, respectively, and displacing the front end portions of the two most downstream levers (20) toward and away from the fixing portion (21). 제11항 또는 제12항에 있어서,The method according to claim 11 or 12, wherein 각 레버군(X, Y)에 있어서, 변위 전달 방향의 최상류측 레버(20)는, 그 기단측 부분이, 지지점용 결합부(22)를 통하여 고정부(21)에 결합됨과 아울러, 역점용 결합부(23)를 통하여 구동 부재(1) 양단의 각 변위 출력부(100)에 각각 결합되고, 상기 최상류측 레버(20) 이외의 레버(20)는, 그 기단측 부분이, 지지점용 결합부(22)를 통하여 고정부(21)에 결합됨과 아울러, 역점용 결합부(23)를 통하여 인접하는 다른 레버(20)의 선단측 부분에 결합되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.In each lever group X and Y, the most upstream side lever 20 of the displacement transmission direction couples the base end side to the fixed part 21 via the support part coupling part 22, It is coupled to each displacement output part 100 of the both ends of the drive member 1 via the engaging part 23, The lever 20 other than the said most upstream side lever 20, The proximal end part engages for a support point Actuator, characterized in that coupled to the fixed portion (21) through the portion 22, and coupled to the front end side portion of the other lever (20) adjacent through the anti-spot coupling portion (23). 제13항에 있어서,The method of claim 13, 각 레버군(X, Y)에 있어서, 복수의 레버(20) 중의 적어도 1개의 레버(20)의 기단측 부분에 결합되는 지지점용 결합부(22)와 역점용 결합부(23)는, 상기 레버(20)의 길이의 1/4 이상의 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.In each lever group (X, Y), the support point coupling part 22 and the power point coupling part 23 coupled to the proximal end portion of at least one lever 20 of the plurality of levers 20 are described above. Actuator, characterized in that having a length of 1/4 or more of the length of the lever (20). 제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 11 to 14, 변위 확대 기구(2) 또는 연결 부재(24)를 제외한 변위 확대 기구(2)가, 금속 또는/및 수지로 이루어지는 성형체 또는/및 적층체로 구성되는 것을 특징으로 하는 액츄에이터.An actuator, characterized in that the displacement expanding mechanism (2) except for the displacement expanding mechanism (2) or the connecting member (24) is formed of a molded body and / or a laminate made of metal or / and resin. 제11항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 11 to 15, 한 쌍의 레버군(X, Y)은, 복수의 레버(20)의 평면적인 형상 및 배치가 선대칭 또는 점대칭인 것을 특징으로 하는 액츄에이터.The pair of lever groups (X, Y) are actuators, characterized in that the planar shape and arrangement of the plurality of levers 20 are line symmetry or point symmetry. 제11항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 11 to 16, 각 레버군(X, Y)에 있어서, 레버(20)의 선단부(p1)와 상기 레버(20)에 결합된 지지점용 결합부(22)의 길이 방향 중심(p2)을 연결하는 직선(L)의 길이의 전(全) 레버의 합계가, 구동 부재(1)의 변위 출력 방향에서의 길이 이상인 것을 특징으로 하는 액츄에이터.In each lever group (X, Y), a straight line (L) connecting the front end portion (p1) of the lever 20 and the longitudinal center (p2) of the engaging portion 22 for the support point coupled to the lever 20 The total of all the levers of the length of the actuator is more than the length in the displacement output direction of the drive member (1). 제1항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 17, 구동 부재(1)가, 압전 소자, 자왜 소자(magnetoscrictive element), 형상기억합금재 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액츄에이터.The actuator (1) is any one of a piezoelectric element, a magnetostrictive element, and a shape memory alloy material. 변위 전달 방향의 최하류측 레버(20)의 선단측 부분을 렌즈 홀더(3)에 연결 또는 걸어맞춰, 상기 최하류측 레버(20)의 변위에 의해 렌즈 홀더(3)를 변위 동작시키도록 한 것을 특징으로 하는, 제1항 내지 제18항 중 어느 한 항에 기재된 액츄에이터를 이용한 렌즈 액츄에이터.The tip side portion of the most downstream lever 20 in the displacement transfer direction is connected or engaged with the lens holder 3 so that the lens holder 3 is displaced by the displacement of the most downstream lever 20. A lens actuator using the actuator according to any one of claims 1 to 18.
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