KR20090076535A - 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩 제조방법 및 그에 의한바이오칩 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 바이오칩의 제조방법 및 바이오칩에 관한 것으로서, 기판 상부에 생체물질이 패터닝되어 형성된 바이오칩의 제조방법에 있어서, 상압하에서, 플라즈마발생장치에 제1반응가스를 공급하고, 교류전원을 인가시켜 플라즈마를 발생시키는 제1단계와; 상기 기판 상부에 패터닝된 메시를 안착시키는 제2단계와; 상기 제1반응가스에 의한 상압 플라즈마 발생 영역에 상기 메시가 안착된 기판을 위치시켜, 상압 플라즈마에 의해 상기 기판 상면에 상기 생체물질과 관련된 활성화영역 또는 비활성화영역을 형성시키는 제3단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩 제조방법 및 이에 의해 제조된 바이오칩을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 본 발명은 상압 플라즈마 처리에 의해 기판 상면에 생체물질과 관련된 활성화영역 또는 비활성화영역을 형성시키므로써, 공정이 단순하며, 재현성 및 집적도가 높고, 신속한 제작이 가능한 이점이 있다.
바이오칩 상압 플라즈마 패턴 메시 활성 비활성

Description

상압 플라즈마를 이용한 바이오칩 제조방법 및 그에 의한 바이오칩{manufacturing method of bio-chip and the bio-chip surface-treated by atmosphere plasma}
본 발명은 바이오칩의 제조방법 및 바이오칩에 관한 것으로서, 상압 플라즈마 처리에 의해 기판 상면에 생체물질과 관련된 활성화영역 또는 비활성화영역을 형성시키므로써, 재현성 및 집적도가 높고, 저가로 신속한 제작이 가능한 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩의 제조방법 및 그 제조방법에 의한 바이오칩에 관한 것이다.
일반적으로 바이오칩(bio-chip)이란 효소, 단백질, 항체, DNA(유전자), 미생물, 동식물세포, 신경세포 등과 같은 생체물질과 반도체와 같은 무기물을 조합하여 반도체칩 형태로 만든 혼성소자(hybrid device)이다.
이러한 바이오칩은 유전자 기능연구, 질병관련 유전자 검색, 유전자 발현, 단백질 분포, 반응양상 등을 분석해 낼 수 있는 생물학적 마이크로 칩으로 과학 기술연구 및 신약개발, 임상진단 등의 분야에 혁신적인 기술로 주목받고 있다.
상기 바이오칩은 사용되는 생체물질의 용도, 시스템화 정도 등에 따라 DNA탐 침이 내장된 DNA chip(유전자칩), 효소나 항체, 항원 등의 protein chip(단백질칩), 미생물을 이용한 cell chip(세포칩), 신경세포를 사용한 neuron chip(신경세포칩), 생체삽입용 chip, 시료의 전처리, 생화학 반응, 검출, 자료해석 기능까지 소형 집적화되어 자동 분석기능을 갖는 lab-on-a-chip(실험실칩), 각종 생화학물질의 검출 및 분석기능을 가지는 biosensor(바이오센서) 등으로 구분할 수 있다.
상기 바이오칩에서는 관련 생체물질들을 제한된 영역에 고집적화된 패터닝으로 형성시켜, 생물학적 검색이나 정보처리, 유전정보를 해독할 수 있는 능력을 높이는 일이 특히 중요하다.
종래, 이러한 바이오칩은 다음과 같은 방법으로 제조되고 있다.
먼저, 실리콘이나 유리기판과 같은 표면에 반도체 공정에 많이 사용되는 포토리소그래피(photolithography) 방식이나 E-빔(E-beam) 방식을 이용하여 관련 생체물질들을 기판 상에 합성하는 방법이 있다.
그러나, 이러한 방법은 세정 및 산화, 패터닝, 식각이라는 다단계의 공정을 거쳐야 될 뿐만 아니라, 각 패턴을 갖는 마스크가 필요하게 되어, 바이오칩 제조공정을 복잡하게 하고, 단가를 상승시키고 있다.
또한, 각 공정단계마다 세정(washing)과 마스크 배열(mask aligning) 과정이 필요하고, 고가의 장비가 필요하며, 대량 생산이 어려운 단점이 있다.
상기 방법 이외에도 잉크젯 프린터와 같이 압전 인쇄(piezoelectric printing) 방식이나 PMMA(polymethylmethacrylate0나 PDMS(polydimethylsiloxane) 폴리머를 사용한 도장(stamps) 방식 등이 있으나, 이러한 방법은 시료주입과 인쇄 또는 도장작업시 흔들림, 번짐 현상이 발생하게 되어, 시간이 지나면 패턴이 불규칙하게 되는 단점이 있다.
또한, 상기의 방법들은 다양한 종류, 형태 및 크기의 기판 특히, 플렉시블한 폴리머 기판의 사용시에는 부적절하다. 즉, 기판이 손상되거나, 패턴이 시간에 따라 불규칙하게 되어 적용분야 및 상용화에 제한적이 될 수밖에 없는 실정이다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해, 상압 플라즈마 처리에 의해 기판 상면에 생체물질과 관련된 활성화영역 또는 비활성화영역을 형성시키므로써, 재현성 및 집적도가 높고, 저가로 신속한 제작이 가능한 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩의 제조방법 및 그 제조방법에 의한 바이오칩을 해결하고자 하는 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 기판 상부에 생체물질이 패터닝되어 형성된 바이오칩의 제조방법에 있어서, 상압하에서, 플라즈마발생장치에 제1반응가스를 공급하고, 교류전원을 인가시켜 플라즈마를 발생시키는 제1단계와; 상기 기판 상부에 패터닝된 메시를 안착시키는 제2단계와; 상기 제1반응가스에 의한 상압 플라즈마 발생 영역에 상기 메시가 안착된 기판을 위치시켜, 상압 플라즈마에 의해 상기 기판 상면에 상기 생체물질과 관련된 활성화영역 또는 비활성화영역을 형성시키는 제3단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩 제조방법 및 이에 의해 제조된 바이오칩을 기술적 요지로 한다.
여기에서, 상기 제1반응가스는, 수소, 질소, 아르곤 및 산소 중 어느 하나인 것이 바람직하며, 상기 기판은, 폴리머인 것이 바람직하다.
또한, 기판 상부에 생체물질이 패터닝되어 형성된 바이오칩의 제조방법에 있어서, 상압하에서, 플라즈마발생장치에 제1반응가스를 공급하고, 교류전원을 인가시켜 플라즈마를 발생시키는 제1단계와; 상기 제1반응가스에 의한 상압 플라즈마 발생 영역에 상기 기판을 위치시켜, 상압 플라즈마에 의해 상기 기판 상면에 상기 생체물질과 관련된 활성화영역 또는 비활성화영역을 생성시키는 제2단계와; 상기 제2단계에서의 기판 상부에 패터닝된 메시를 안착시키는 제3단계와; 상압하에서, 플라즈마발생장치에 제2반응가스를 공급하고, 교류전원을 인가시켜 플라즈마를 발생시키는 제4단계와; 상기 제2반응가스에 의한 상압 플라즈마 발생 영역에 상기 메시가 안착된 기판을 위치시켜, 상압 플라즈마에 의해 상기 기판 상면에 상기 제2단계에서 생성된 활성화영역 또는 비활성화영역과 반대되는 활성화영역 또는 비활성화영역을 형성시키는 제5단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩 제조방법 및 이에 의해 제조된 바이오칩을 또 다른 기술적 요지로 한다.
또한, 상기 제1반응가스는 수소를 사용하여 기판 상면에 비활성화영역을 형성시키고, 상기 제2반응가스로 질소, 아르곤 및 산소 중에 적어도 하나를 사용하여 활성화영역을 형성시키는 것이 바람직하며, 상기 기판은, 폴리머인 것이 바람직하다.
상기 과제 해결 수단에 의해 본 발명은 상압 플라즈마 처리에 의해 기판 상면에 생체물질과 관련된 활성화영역 또는 비활성화영역을 형성시키므로써, 공정이 단순하며, 재현성 및 집적도가 높고, 신속한 제작이 가능한 효과가 있다.
또한, 생체물질과 관련된 활성화영역 또는 비활성화영역의 형성은 플라즈마발생장치에 공급되는 반응가스를 바꾸어주는 과정에 의해 이루지므로 그 공정이 극 히 단순할 뿐만 아니라, 단일 장비만을 이용하여 활성화영역 또는 비활성화영역을 형성시키는 것이므로 제작 단가가 저렴해지는 효과가 있다.
또한, 상압 플라즈마에 의해 기판의 표면 처리가 이루어지므로 플렉시블한 폴리머 기판 특히 생분해성 고분자 기판에의 사용이 가능하므로 그 적용분야가 다양하며, 상용화에 실현이 가능한 효과가 있다.
본 발명에서는 플라즈마발생장치로 통상의 RF 방식의 상압 플라즈마발생장치를 사용하며, 이는 일정한 방전공간을 사이에 두고 RF 전원전극 및 접지전극이 대향되게 형성되어, 상기 방전공간에 상압 플라즈마를 발생시키는 장치이다. 이렇게 발생된 상압 플라즈마는 반응가스의 공급압력에 의해 자연스럽게 플라즈마 처리대상물, 여기에서는 바이오칩의 기판이 형성된 곳으로 공급되게 된다.
그리고, 생체물질과 관련된 패터닝이 형성된 메시를 기판 상부에 위치시켜, 이를 상압 플라즈마 발생 영역에 놓아 표면 개질시킨다. 이에 의해 기판에 바이오칩의 생체물질과 관련된 활성화영역 또는 비활성화영역을 형성시키는 것이다.
또는, 반응가스에 의한 플라즈마 표면 처리 후, 기판 상면에 활성화영역 또는 비활성화영역을 형성시킨 다음, 패터닝된 메시를 기판 상부에 안착시키고, 그 다음 다른 반응가스에 의한 플라즈마 표면 처리하여 먼저 형성된 활성화영역 또는 비활성화영역과 반대되는 패터닝을 형성시킬 수도 있다. 즉, 활성화영역이 기판 상면에 먼저 형성되면, 메시에 의해 비활성화영역을 형성시키거나, 비활성화영역이 기판 상면에 먼저 형성되며, 메시에 의해 활성화영역을 형성시키는 것이다.
본 발명에서는 상압 플라즈마발생장치에 공급되는 반응가스의 종류를 달리하여 활성화영역이나 비활성화영역을 형성시킬 수 있다. 상기 반응가스로는 주로 수소, 아르곤, 질소 및 산소 중 어느 하나 또는 이들을 혼합한 가스를 사용한다.
여기에서 바이오칩의 기판상의 활성화영역이라 함은 생체물질이 부착할 수 있는 영역 즉, 생체물질의 부착이 용이한 작용기를 형성된 영역을 말하며, 비활성화영역이라 함은 생체물질이 부착되지 않는 영역 즉, 생체물질의 부착이 용이한 작용기가 형성되지 않은 영역을 말하는 것이다. 사용자는 필요에 의해 단순히 반응가스의 종류를 달리 공급함으로써, 생체물질을 부착시키거나 반대로 탈착시킬 수 있는 패터닝된 바이오칩을 제작하거나, 그 활성화 정도를 조절할 수 있게 되는 것이다.
여기에서, 바이오칩이 DNA칩인 경우에는 상기 생체물질은 DNA 탐침(대상 유전자 DNA의 한 부위(subsequence)와 상보적으로 결합할 수 있는 유전자의 한 부위)이고, 단백질칩인 경우에는 효소나 항체, 항원이며, 세포칩의 경우에는 미생물, 뉴런칩의 경우에는 신경세포가 여기에 해당된다.
또한, 상기 기판은, 유리나 실리콘과 같은 무기물 기판을 사용할 수도 있으며, 플렉시블한 재질의 생분해성인 poly ε-caprolactone(PCL) 필름이나 PES 필름과 같은 고분자 필름을 사용할 수도 있다.
이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하고자 한다.
<제1실시예>
도 1은 본 발명의 제1실시예에 대한 개략적인 공정도를 나타낸 것이다.
본 발명에 따른 제1실시예는 상압하에서 플라즈마발생장치에 제1반응가스로 아르곤 및 수소를 함께 공급하되, 아르곤에 대해 10% 정도의 공급속도로 수소를 공급하고, 45W의 교류전원(RF power)을 인가시켜 수소에 의한 플라즈마를 발생시킨다. 그리고 생체물질과 관련된 패터닝이 형성된 메시를 기판 상부에 위치시켜, 이를 상기 수소에 의한 상압 플라즈마 발생 영역에 놓아 약 5분 동안 표면 개질시켰다.
또한 본 발명의 제1실시예는 바이오칩 중에서 DNA칩을 제조하였으며, 상기 기판은 폴리머 재질의 PES 기판이 사용되며, 메시는 50㎛ X 50㎛ 패턴이 20㎛ 간격을 두고 있다.
상기 수소에 의한 상압 플라즈마를 PES에 처리 결과, 표면의 자연산화막 층이 사라지는 효과(세정효과)를 얻을 수 있으며, 또한 PES 표면에 비극성 기능기가 형성됨으로서, PES 표면에는 생체물질과 관련된 비활성화영역이 형성된다.
사용자는 기판 상면에 비활성화영역과 폴리머 기판 표면의 세정 효과를 얻고자 한다면, 반응가스로 수소 플라즈마를 사용하는 것이 바람직하였다.
그리고 반응가스로 아르곤에 대해 10% 정도의 공급속도로 산소를 공급하여, 산소에 의한 상압 플라즈마를 PES에 처리 결과, 상기 메시에 의해 가려지지 않은 영역은 생체물질과 관련된 활성화영역이 형성되며, 메시에 의해 가려진 영역은 상기 활성화영역에 비해 상대적으로 비활성화영역이 형성되었으며, 전체적으로는 메 시의 패터닝에 대응되는 활성화영역 패턴이 형성되었다.
사용자는 기판 상면에 활성화영역 패턴을 형성시키고자 한다면, 반응가스로 다른 물질을 사용할 수 있으며, 특히 활성화영역의 형성을 위해서는 반응가스로 아르곤+산소, 아르곤+질소, 아르곤을 사용하는 것이 바람직하였다.
<제2실시예>
도 2는 본 발명의 제2실시예에 대한 개략적인 공정도를 나타낸 것이다.
상압하에서 플라즈마발생장치에 제1반응가스로 아르곤에 대해 10% 정도의 공급속도로 수소를 공급하고, 45W의 교류전원(RF power)을 인가시켜 수소에 의한 플라즈마를 발생시킨다. 상기 수소에 의한 플라즈마 발생영역에 기판을 놓아 5분 동안 플라즈마 처리시켜, 전체적으로 기판의 세정 효과와 상면에 비활성화영역을 형성시켰다.
또한 본 발명의 제2실시예는 바이오칩 중에서 단백질칩을 제조하였으며, 상기 기판은 폴리머인 PES 기판이 사용되며, 메시는 50㎛ X 50㎛ 패턴이 20㎛ 간격으로 패터닝이 형성되어 있다.
그 다음, 상기 메시를 기판 상부에 안착시키고, 제2반응가스인 아르곤에 대해 10% 정도 공급속도의 산소에 의한 플라즈마 표면 처리하여 메시에 의해 가려지지 않은 부분은 산소 플라즈마 표면 처리되어 활성화영역이 되며, 메시에 의해 가려진 부분은 수소 플라즈마 표면 처리되어 비활성화영역으로 존재하게 된다.
또한 사용자는 필요에 의해 산소 플라즈마를 먼저 수행하여 활성화영역의 형 성 후, 수소 플라즈마를 수행하여 비활성화영역을 나중에 형성시킬 수도 있다.
도 3은 본 발명의 제2실시예에 따라 수소 플라즈마 처리 후, 패터닝된 메시로부터 산소 플라즈마 처리를 하여 활성화영역 및 비활성화영역이 패터닝되어 형성된 단백질칩을 나타낸 것이다. 활성화영역 즉, 옥사이드층(oxide layer)이 패터닝되어 형성된 기판에 피브로넥틴(fibronectin) 단백질 150㎕/1㎖로 5분간 워싱(PBS washing)을 한 후, 활성화영역에의 단백질 염색 정도를 육안으로 관찰하기 위해 푸른색 염색액(coomassie brilliant blue dye) 처리를 하였다. 이에 의해 단백질이 고정된 활성화영역은 푸른색으로 염색이 된 것을 관찰할 수 있었으며, 이에 의해 산소 플라즈마 처리된 영역은 메시의 패터닝에 따라 활성화영역이 되고, 수소 플라즈마 처리된 영역은 메시의 패터닝에 따라 비활성화영역이 됨을 확인할 수 있었다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따라 활성화영역 및 비활성화영역에 대한 SPM상을 측정한 도면을 나타낸 것이다. 도 4(a)는 수소 플라즈마 처리된 부위 즉, 비활성화영역으로 단백질이 보이지 않으며, 도 4(b)는 산소 플라즈마 처리된 부위 즉, 활성화영역으로 단백질이 많이 관찰되는 것을 알 수 있었다.
따라서, 본원발명은 반응가스의 종류를 달리하여 플라즈마 표면 처리함으로써, 바이오칩의 기판 상에 생체물질과 관련된 활성화영역 또는 비활성화영역을 원하는 패터닝에 따라 용이하게 재현할 수 있으므로, 공정 단계 및 비용을 획기적으로 줄일 수 있는 것이다.
도 1 - 본 발명의 제1실시예에 대한 개략적인 공정도
도 2 - 본 발명의 제2실시예에 대한 개략적인 공정도
도 3 - 본 발명의 제2실시예에 따라 수소 플라즈마 처리 후, 패터닝된 메시로부터 산소 플라즈마 처리를 하여 활성화영역 및 비활성화영역이 패터닝되어 형성된 단백질칩의 개략적인 공정도.
도 4 - 본 발명의 제2실시예에 따라 활성화영역 및 비활성화영역에 대한 SPM상을 측정한 도면을 나타낸 도.

Claims (9)

  1. 기판 상부에 생체물질이 패터닝되어 형성된 바이오칩의 제조방법에 있어서,
    상압하에서, 플라즈마발생장치에 제1반응가스를 공급하고, 교류전원을 인가시켜 플라즈마를 발생시키는 제1단계와;
    상기 기판 상부에 패터닝된 메시를 안착시키는 제2단계와;
    상기 제1반응가스에 의한 상압 플라즈마 발생 영역에 상기 메시가 안착된 기판을 위치시켜, 상압 플라즈마에 의해 상기 기판 상면에 상기 생체물질과 관련된 활성화영역 또는 비활성화영역을 형성시키는 제3단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 제1반응가스는,
    수소, 질소, 아르곤 및 산소 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩 제조방법.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 기판은,
    폴리머인 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩 제조방법.
  4. 기판 상부에 생체물질이 패터닝되어 형성된 바이오칩의 제조방법에 있어서,
    상압하에서, 플라즈마발생장치에 제1반응가스를 공급하고, 교류전원을 인가 시켜 플라즈마를 발생시키는 제1단계와;
    상기 제1반응가스에 의한 상압 플라즈마 발생 영역에 상기 기판을 위치시켜, 상압 플라즈마에 의해 상기 기판 상면에 상기 생체물질과 관련된 활성화영역 또는 비활성화영역을 생성시키는 제2단계와;
    상기 제2단계에서의 기판 상부에 패터닝된 메시를 안착시키는 제3단계와;
    상압하에서, 플라즈마발생장치에 제2반응가스를 공급하고, 교류전원을 인가시켜 플라즈마를 발생시키는 제4단계와;
    상기 제2반응가스에 의한 상압 플라즈마 발생 영역에 상기 메시가 안착된 기판을 위치시켜, 상압 플라즈마에 의해 상기 기판 상면에 상기 제2단계에서 생성된 활성화영역 또는 비활성화영역과 반대되는 활성화영역 또는 비활성화영역을 형성시키는 제5단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩 제조방법.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 제1반응가스는 수소를 사용하여 기판 상면에 비활성화영역을 형성시키고, 상기 제2반응가스로 질소, 아르곤 및 산소 중에 적어도 하나를 사용하여 활성화영역을 형성시키는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩 제조방법.
  6. 제 4항에 있어서, 상기 기판은,
    폴리머인 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩 제조방법.
  7. 상압하에서 플라즈마발생장치에 공급된 반응가스 및 교류전원에 의해 상압 플라즈마 표면 처리되어 생체물질과 관련된 활성화영역 또는 비활성화영역에 대한 패터닝이 형성된 기판을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 반응가스는,
    수소, 질소, 아르곤 및 산소 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩.
  9. 제 7항에 있어서, 상기 기판은,
    폴리머인 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩.
KR1020080002543A 2008-01-09 2008-01-09 상압 플라즈마를 이용한 바이오칩 제조방법 및 그에 의한바이오칩 KR100982655B1 (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5474796A (en) 1991-09-04 1995-12-12 Protogene Laboratories, Inc. Method and apparatus for conducting an array of chemical reactions on a support surface
KR100448880B1 (ko) * 2001-09-28 2004-09-18 김성훈 단백질칩 기판 및 플라즈마를 이용한 단백질칩 기판의제조방법
PL1740950T5 (pl) 2004-04-30 2013-03-29 Vlaamse Instelling Voor Tech Onderzoek Vito Immobilizacja biocząsteczek z zastosowaniem technologii z plazmą atmosferyczną
KR100667298B1 (ko) * 2005-01-10 2007-01-12 삼성전자주식회사 생분자 칩 및 그의 제조 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115323019A (zh) * 2022-08-31 2022-11-11 深圳市曙芯生物科技有限公司 一种高通量基因合成方法

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