KR20090076027A - Light source apparatus for checking part of object for stereoscopic microscope - Google Patents

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KR20090076027A
KR20090076027A KR1020080001750A KR20080001750A KR20090076027A KR 20090076027 A KR20090076027 A KR 20090076027A KR 1020080001750 A KR1020080001750 A KR 1020080001750A KR 20080001750 A KR20080001750 A KR 20080001750A KR 20090076027 A KR20090076027 A KR 20090076027A
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이구열
이은복
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주식회사 엠비젼
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Abstract

A light source apparatus for checking part of an object for a stereoscopic microscope is provided to allow a user to observe a target by allowing a user to find out an observation place for the target rapidly. A light appliance for confirming the location of a target of the stereoscopic microscope is composed of a light source(3) and a mirror(5). The light source irradiates the light ray on the target of the stereoscopic microscope. The light source is separated from at the center of the view region of the stereoscopic microscope. A mirror is at the center of view finder and changes an optical path of the light. Therefore, it passes through the center of the view finder and progresses down direction.

Description

실체현미경의 피검사물 위치 확인용 광원 장치{LIGHT SOURCE APPARATUS FOR CHECKING PART OF OBJECT FOR STEREOSCOPIC MICROSCOPE}LIGHT SOURCE APPARATUS FOR CHECKING PART OF OBJECT FOR STEREOSCOPIC MICROSCOPE}

본 발명은 실체현미경의 피검사물에 광선을 조사하는 실체현미경의 피검사물 위치 확인용 광원 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a light source device for confirming the position of an inspected object of a stereoscopic microscope for irradiating a light beam to an inspected object of a stereoscopic microscope.

실체현미경은 일반적으로 좌, 우 두 개의 광축을 통해 피검사물(object)을 입체적으로 볼 수 있는 현미경이다. 실체현미경의 중심축으로부터 좌 및 우로 각각 7.5도씩 벌어진 두 개의 광축(光軸)에 의해 정립(正立)한 확대상을 만들고, 이것을 각각의 눈으로 봄으로써 입체감을 얻을 수 있다.The stereomicroscope is generally a microscope in which a subject can be viewed three-dimensionally through two optical axes, left and right. A three-dimensional image can be obtained by creating an enlarged image formed by two optical axes separated by 7.5 degrees from the central axis of the stereoscopic microscope, respectively, by 7.5 degrees.

종래의 실체현미경으로 피검사물을 측정하기 위해서는, 우선, 피검사물의 일부분을 육안으로 관찰한 후, 실체현미경을 통해 측정하고자 하는 위치를 다시 재물대 위에서 찾아야했다.In order to measure the inspected object with a conventional stereoscopic microscope, first, a part of the inspected object was visually observed, and then the position to be measured through the stereoscopic microscope was found again on the stage.

특히, 피검사물의 측정 범위가 넓을 경우, 피검사물의 측정 부위를 잡고 실체현미경을 통해 세부 측정 위치를 찾아야했다.In particular, when the measurement range of the test object was wide, it was necessary to grasp the measurement site of the test object and find the detailed measurement position through a stereoscopic microscope.

그러나 이와 같은 종래의 실체현미경으로는 피검사물의 측정 위치를 찾는데 많은 시간과 노력이 소요되는 문제점이 있었다.However, the conventional stereoscopic microscope has a problem that it takes a lot of time and effort to find the measurement position of the test object.

본 발명은 전술한 바와 같은 문제점들을 해결하기 위해 창출된 것으로서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 사용자가 더 쉽고 빠르게 피검사물의 측정 위치를 찾을 수 있도록 하고, 피검사물을 더 선명히 관찰할 수 있도록 피검사물에 광선을 조사하는 실체현미경의 피검사물 위치 확인용 광원 장치를 제공하는 것이다. The present invention was created to solve the problems described above, the problem to be solved by the present invention is to allow the user to find the measurement position of the test object more easily and quickly, and to examine the test object more clearly The present invention provides a light source device for checking an object to be inspected in a stereoscopic microscope for irradiating light to an object.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 한 실시예에 따른 실체현미경의 피검사물 위치 확인용 광원 장치는 실체현미경의 피검사물에 광선을 조사하는 광원 장치로서, 상기 피검사물(object)에 광선을 비추도록 상기 실체현미경의 시야 영역 중심의 수직 상부에 장착된 광원을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, a light source device for inspecting a position of an object under examination according to an embodiment of the present invention is a light source device for irradiating light to an object under examination of the substance microscope. It includes a light source mounted on the vertical top of the center of the field of view of the stereo microscope to illuminate.

한편, 상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 실체현미경의 피검사물 위치 확인용 광원 장치는 실체현미경의 피검사물에 광선을 조사하는 광원 장치로서, 상기 실체현미경의 관찰 영역 중심의 수직 상부에서 이격되어 장착되는 광원, 그리고 상기 광원에서 나온 광선이 상기 시야 영역의 중심을 통과하여 아래 방향으로 진행하도록 상기 광원에서 나온 광선의 광경로를 바꾸어 주도록 상기 시야 영역의 중심축 상에 놓이는 미러(mirror)를 포함할 수 있다.On the other hand, the light source device for positioning the inspected object of the stereoscopic microscope according to another embodiment of the present invention for achieving the above technical problem is a light source device for irradiating light to the inspected object of the stereoscopic microscope, the center of the observation region of the stereoscopic microscope A light source mounted spaced apart from a vertical upper portion of the light source, and positioned on a central axis of the field of view so as to change the light path of the light beam emitted from the light source such that the light beam from the light source passes downward through the center of the field of view; It may include a mirror.

또한, 상기 광원에서 나온 광선의 광경로에 설치되며 상기 광원에서 나온 광선을 보정하는 렌즈를 더 포함할 수 있다.The light source may further include a lens installed in the optical path of the light beam emitted from the light source and correcting the light beam emitted from the light source.

또한, 대물렌즈의 아래에 배치되며 상기 미러가 부착된 지지대, 그리고 상기 지지대와 상기 대물렌즈 사이에 구비되는 완충제를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a support disposed below the objective lens and having a mirror attached thereto, and a buffer provided between the support and the objective lens.

또한, 아래 방향으로 광선을 조사할 수 있도록 상기 대물렌즈의 둘레에 설치되는 조명기구를 더 포함할 수 있다.In addition, the lighting apparatus may further include a luminaire installed around the objective lens to irradiate a light beam in a downward direction.

또한, 상기 광원이 상기 지지대에 장착될 수 있다.In addition, the light source may be mounted on the support.

또한, 상기 광원은 레이저다이오드(Laser Diode, LD) 또는 발광다이오드(Light Emitting Diode, LED)일 수 있다.In addition, the light source may be a laser diode (LD) or a light emitting diode (LED).

이와 같이, 본 발명에 의하면, 실체현미경에 설치된 광원에서 나온 광선이 피검사물에 조사됨으로써 피검사물의 측정 위치를 더 쉽고 빠르게 확인할 수 있고 이에 따라 실체현미경의 측정에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.As described above, according to the present invention, the light from the light source provided in the stereoscopic microscope is irradiated onto the inspected object, so that the measurement position of the inspected object can be confirmed more easily and quickly, thereby reducing the time required for the measurement of the stereoscopic microscope.

또한, 피검사물을 더 선명히 관찰함으로써 작업 능률을 향상시킬 수 있다.In addition, the work efficiency can be improved by observing the inspected object more clearly.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조로 상세히 설명한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1에는 본 발명의 한 실시예에 광원 장치를 포함하는 실체현미경의 대략적인 구조가 도시되어 있다.1 shows a schematic structure of a stereoscopic microscope including a light source device in one embodiment of the present invention.

실체현미경은 피검사물(object)(O)의 상이 결상되는 접안렌즈(1) 및 피검사물(O)에 가까운 쪽에 배치된 대물렌즈(2)를 포함하도록 구성된다.The stereoscopic microscope is configured to include an eyepiece 1 in which an image of an object O is imaged and an objective lens 2 disposed closer to the object O.

대물렌즈(2)로 확대된 피검사물(O)의 상은 접안렌즈(1)를 통해 더 확대된다. 접안렌즈(1)의 배율에 따라 시야가 바뀌며, 대물렌즈(2)의 배율에 따라 작동거리가 바뀐다.The image of the inspection object O magnified by the objective lens 2 is further magnified through the eyepiece 1. The field of view changes according to the magnification of the eyepiece 1, and the working distance changes according to the magnification of the objective lens 2.

통상, 접안렌즈(1)와 대물렌즈(2)의 사이에는 프리즘(도시되지 않음)이 포함된다. 프리즘은 시야 영역의 중심으로부터 각각 일정 각도만큼씩 벌어진 곳에 배치되며 대물렌즈를 통과한 광선이 각각 프리즘을 거쳐 접안렌즈로 전달된다.Usually, a prism (not shown) is included between the eyepiece 1 and the objective lens 2. The prism is disposed at a predetermined angle from the center of the field of view, and light rays passing through the objective lens are transmitted to the eyepiece through the prism.

대물렌즈(2)는 줌(zoom) 방식으로 자체 교환 없이 배율이 변환될 수 있고, 복수 개의 렌즈의 배열로 형성될 수 있다. 예를 들어, 도 1에 도시된 바와 같이, 대물렌즈(2)는 하나의 공통렌즈(23)와 좌, 우 렌즈(21, 22)로 이루어질 수 있다.The objective lens 2 may be converted in magnification without a self-exchange in a zoom manner, and may be formed in an array of a plurality of lenses. For example, as shown in FIG. 1, the objective lens 2 may include one common lens 23 and left and right lenses 21 and 22.

본 발명의 실시예에 따른 광원 장치는 실체현미경의 피검사물(O)에 광선을 조사하는 광원 장치로서, 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 광원(3)을 포함한다.The light source device according to the embodiment of the present invention is a light source device for irradiating light to the inspection object O of the stereoscopic microscope, and as shown in FIG. 1, the light source device 3 includes a light source 3.

본 발명의 한 실시예에서, 광원(3)은 실체현미경 시야 영역(fov, field of view) 중심의 수직 상부에 장착될 수 있다.In one embodiment of the invention, the light source 3 may be mounted at the vertical top of the center of the field of view (fov).

통상, 접안렌즈(1)와 대물렌즈(2)를 연결하는 통을 경통(R)이라고 하는데, 이 경우, 광원(3)은 경통(R) 내부에 장착될 수 있다.Typically, a barrel connecting the eyepiece 1 and the objective lens 2 is called a barrel (R). In this case, the light source 3 may be mounted inside the barrel (R).

시야 영역은 피검사물(O)에 대해 렌즈를 통하여 포착될 수 있는 영역으로서, 시야 영역의 중심은 현미경의 축(A), 더 명확하게는, 공통렌즈(23)의 중심축(A)이 된다.The field of view is an area that can be captured through the lens with respect to the object O, and the center of the field of view becomes the axis A of the microscope, more specifically, the center axis A of the common lens 23. .

따라서 시야 영역 중심의 수직 상부는 점선 C와 같이 도시될 수 있다. 점선 C로 도시된 부분은 실체현미경의 좌, 우 렌즈(21, 22)를 각각 통과하는 광선에 영향을 주지 않는다. 즉, 광원(3)으로부터 조사된 광선의 광경로는 점선 C의 내부에 있게 되고, 이때, 관찰자는 선명한 피검사물(O)을 관찰할 수 있다.Thus, the vertical top of the center of the viewing area may be shown as dashed line C. FIG. The portion shown by the dotted line C does not affect the light rays passing through the left and right lenses 21 and 22 of the stereo microscope, respectively. That is, the optical path of the light beam irradiated from the light source 3 is inside the dotted line C, and at this time, the observer can observe the clear inspection object (O).

또한, 광원(3)에서 나온 광선의 광경로에는 렌즈(4)가 더 설치될 수 있다. 광원(3)에서 나온 광선이 발산광일 경우, 렌즈(4)를 사용하여 이를 평행광 형태로 보정할 수 있다. 관찰자는 필요에 따라 렌즈(4)를 복수 개 사용함으로써 광선의 크기를 조절할 수 있다.In addition, a lens 4 may be further installed in the optical path of the light beam emitted from the light source 3. If the light emitted from the light source 3 is divergent light, it can be corrected in the form of parallel light using the lens 4. An observer can adjust the magnitude of a light beam by using a plurality of lenses 4 as needed.

도 2를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에서, 광원(3)은 실체현미경 관찰 영역 중심의 수직 상부에서 이격되어 장착될 수 있다.2, in another embodiment of the present invention, the light source 3 may be mounted spaced apart from the vertical upper portion of the center of the stereoscopic microscope viewing area.

즉, 이 경우에는 광선이 피검사물(O)에 직접 낙사(落射)되지 않고 관찰 영역 중심의 수직 상부에서 이격된 지점에서 관찰 영역 중심을 향하여 광선이 조사되고, 다시 반사된 광선이 피검사물(O)에 조사될 수 있다.That is, in this case, the light beam is irradiated toward the center of the observation area at a point spaced apart from the vertical upper portion of the center of the observation area without directly falling down on the test object O, and the reflected light is again reflected by the test object O. Can be investigated).

이와 같이, 광원(3)에서 나온 광선의 광경로를 바꾸어 주기 위해서 미러(mirror)(5)를 설치할 수 있다.In this way, a mirror 5 can be provided to change the optical path of the light beam emitted from the light source 3.

미러(5)는 시야 영역의 중심축(A) 상에 놓일 수 있다. 따라서 광원(3)에서 나온 광선의 광경로는 미러(5)에 반사됨으로써 시야 영역의 중심을 통과하여 아래 방향으로 진행하도록 바뀔 수 있다.The mirror 5 may lie on the central axis A of the viewing area. Thus, the optical path of the light rays emitted from the light source 3 can be changed to reflect downward through the center of the viewing area by being reflected by the mirror 5.

미러(5)는 지지대(6)에 부착될 수 있다. 도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 평판 형태의 지지대(6) 밑면에 접착부재(도시되지 않음)를 사용하여 미러(5)의 일측을 접착시킬 수 있다.The mirror 5 can be attached to the support 6. As shown in FIG. 3, one side of the mirror 5 may be adhered to the bottom of the flat support 6 by using an adhesive member (not shown).

본 실시예에서와 같이, 지지대(6)는 좌, 우 렌즈(21, 22) 사이 거리에 해당하는 수치 이하로 그 폭이 설정될 수 있는데(도 4 참조), 이때, 좌, 우 렌즈(21, 22)의 시야 영역에 영향을 끼치지 않도록 공통렌즈(23)에 최대한 근접하게 설치되는 것이 바람직하다.As in the present embodiment, the width of the support 6 may be set to a value equal to or less than a value corresponding to the distance between the left and right lenses 21 and 22 (see FIG. 4). , 22 is preferably provided as close as possible to the common lens 23 so as not to affect the viewing area of the lens 22.

도 2에 도시되어 있듯이, 좌, 우 렌즈(21, 22)를 통과하는 광선의 광경로(실선)를 고려하면, 지지대(6)가 좌, 우 렌즈(21, 22)의 시야 영역에 영향을 끼치지 않도록 미러(5)가 설치될 수 있는 일종의 사각 영역(D)은 도 4의 점선 D와 같이 도시될 수 있다.As shown in FIG. 2, considering the optical paths (solid lines) of light rays passing through the left and right lenses 21 and 22, the support 6 affects the viewing area of the left and right lenses 21 and 22. A kind of rectangular area D, in which the mirror 5 may be installed so as not to be caught, may be illustrated as a dotted line D of FIG. 4.

상기한 바와 같이, 지지대(6)를 공통렌즈(23)에 최대한 근접하게 설치하다보면, 공통렌즈(23)가 지지대(6)로부터 스트레스(stress)를 받을 수 있다. 이를 완화하기 위해서, 도 3에 도시된 바와 같이, 지지대(6) 윗면, 즉, 지지대(6)와 공통렌즈(23) 사이에 완충제(7)를 구비할 수 있다.As described above, when the support 6 is installed as close as possible to the common lens 23, the common lens 23 may receive stress from the support 6. In order to alleviate this, as illustrated in FIG. 3, a buffer 7 may be provided on the upper surface of the support 6, that is, between the support 6 and the common lens 23.

도 5에는 조명기구(8)가 도시되어 있다. 도 5에 도시되어 있는 바와 같이, 조명기구(8)는 대물렌즈(23)의 둘레에 설치되어 아래 방향으로 광선을 조사할 수 있다. 본 실시예에서는, 조명기구(8)는 링(ring) 형태로 형성될 수 있다.5 shows a luminaire 8. As shown in FIG. 5, the luminaire 8 is installed around the objective lens 23 to irradiate light rays downward. In this embodiment, the luminaire 8 may be formed in the form of a ring.

따라서, 관찰 영역에 더 많은 양의 빛을 조사하여 피검사물(O)을 더 선명하게 관찰할 수 있다. 이러한, 조명기구(8)는 복수의 발광다이오드(Light Emitting Diode, LED)를 포함할 수 있다(도 6 참조).Therefore, the inspection object O can be observed more clearly by irradiating a larger amount of light to the observation area. Such a lighting device 8 may include a plurality of light emitting diodes (LEDs) (see FIG. 6).

한편, 광원(3)은 지지대(6)에 장착될 수 있다. 예를 들면, 도 4에 도시된 바와 같이, 지지대(6)의 점선 L로 도시된 부분에 광원(3)을 장착할 수 있다. 이와 같이, 광원(3), 렌즈(4), 미러(5), 그리고 완충제(7)가 장착된 지지대(6)를 조명기구(8)와 결합시켜 하나의 유닛(unit)으로 구성함으로써 이를 공통렌즈(23) 부분에 부착하여 사용할 수 있다(도 7 참조).On the other hand, the light source 3 may be mounted on the support 6. For example, as shown in FIG. 4, the light source 3 can be mounted at the portion indicated by the dotted line L of the support 6. As such, the light source 3, the lens 4, the mirror 5, and the support 6 on which the buffer 7 is mounted are combined with the luminaire 8 to form a unit so that they are common. It can be attached to the lens 23 part and used (refer FIG. 7).

상기한 바와 같은 본 발명의 실시예들에서, 광원(3)은 레이저다이오드(Laser Diode, LD) 또는 발광다이오드(Light Emitting Diode, LED)일 수 있다.In the embodiments of the present invention as described above, the light source 3 may be a laser diode (LD) or a light emitting diode (LED).

본 발명의 실시예에 따른 광원 장치가 장착된 실체현미경을 사용하여 피검사물을 관찰하기 위해서는, 먼저, 실체현미경의 시야 영역(fov) 중심축과 장착된 광원(예를 들면, LD 또는 LED)으로부터 나온 광선의 광경로를 일치시킬 수 있다. 그러면, 시야 영역 중심에 표시된 광선을 확인할 수 있고, 이를 이용하여 피검사물의 관찰하고자 하는 위치를 더 쉽고 빠르게 찾을 수 있다. 또한, 찾은 관찰 위치에 대해서 정확성을 기하도록 확인 작업을 수행할 수 있다.In order to observe the inspection object using a stereo microscope equipped with a light source device according to an embodiment of the present invention, first, from the center of the field of view (fov) of the stereo microscope and the mounted light source (for example, LD or LED) You can match the light path of the emitted rays. Then, the light ray displayed at the center of the viewing area can be confirmed, and the position to be inspected can be easily and quickly used by using the same. In addition, a check operation may be performed to ensure accuracy with respect to the found observation position.

이상에서 본 발명의 실시예를 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되지 아니하며 본 발명의 실시예로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 용이하게 변경되어 균등한 것으로 인정되는 범위의 모든 변경 및 수정을 포함한다. Although the embodiments of the present invention have been described above, the scope of the present invention is not limited thereto, and the present invention is easily changed and equivalent to those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains. Includes all changes and modifications to the scope of the matter.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 실체현미경의 피검사물 위치 확인용 광원 장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing the structure of a light source device for locating an object under inspection of a stereoscopic microscope according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 실체현미경의 피검사물 위치 확인용 광원 장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.2 is a view schematically showing a structure of a light source device for checking a position of an object under a microscope according to another embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4는 도 2의 미러의 장착 구조를 예시적으로 도시한 도면이다.3 and 4 exemplarily illustrate a mounting structure of the mirror of FIG. 2.

도 5 내지 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 실체현미경의 피검사물 위치 확인용 광원 장치가 조명기구를 구비한 경우를 도시한 도면이다.5 to 7 is a view showing a case in which the light source device for positioning the inspection object of the stereoscopic microscope according to an embodiment of the present invention is provided with a lighting device.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명> <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1...접안렌즈, 2...대물렌즈,1 eyepiece, 2 object lens,

3...광원, 4...렌즈,3 ... light source, 4 ... lens,

5...미러, 6...지지대,5 mirrors, 6 supports,

7...완충제, 8...조명기구.7 buffers, 8 lighting fixtures.

Claims (7)

실체현미경의 피검사물에 광선을 조사하는 조명 장치로서,As a lighting device for irradiating a light beam to an object under examination of a stereo microscope, 상기 피검사물(object)에 광선을 비추도록 상기 실체현미경의 시야 영역 중심의 수직 상부에 장착된 광원을 포함하는 실체현미경의 피검사물 위치 확인용 광원 장치.And a light source device for confirming the position of the inspected object of the stereoscopic microscope, the light source being mounted on a vertical upper portion of the center of the viewing area of the stereoscopic microscope so as to shine a light beam on the object. 실체현미경의 피검사물에 광선을 조사하는 조명 장치로서,As a lighting device for irradiating a light beam to an object under examination of a stereo microscope, 상기 실체현미경의 관찰 영역 중심의 수직 상부에서 이격되어 장착되는 광원, 그리고A light source spaced apart from the vertical upper portion of the center of the observation region of the stereo microscope, and 상기 광원에서 나온 광선이 상기 시야 영역의 중심을 통과하여 아래 방향으로 진행하도록 상기 광원에서 나온 광선의 광경로를 바꾸어 주도록 상기 시야 영역의 중심축 상에 놓이는 미러(mirror)를 포함하는 실체현미경의 피검사물 위치 확인용 광원 장치.Examination of a stereomicroscope, including a mirror placed on the central axis of the field of view so as to change the light path of the beam of light from the light source so that the light beam from the light source passes downward through the center of the field of view; Light source device for object location. 제 1항 또는 제2항에서,The method of claim 1 or 2, 상기 광원에서 나온 광선의 광경로에 설치되며 상기 광원에서 나온 광선을 보정하는 렌즈를 더 포함하는 실체현미경의 피검사물 위치 확인용 광원 장치.And a light source device installed on the optical path of the light beam emitted from the light source, the lens further correcting the light beam emitted from the light source. 제2항에서,In claim 2, 대물렌즈의 아래에 배치되며 상기 미러가 부착된 지지대, 그리고 A support under the objective lens and attached to the mirror, and 상기 지지대와 상기 대물렌즈 사이에 구비되는 완충제를 더 포함하는 실체현미경의 피검사물 위치 확인용 광원 장치.And a buffer provided between the support and the objective lens. 제2항 또는 제4항에서,The method of claim 2 or 4, 아래 방향으로 광선을 조사할 수 있도록 상기 대물렌즈의 둘레에 설치되는 조명기구를 더 포함하는 실체현미경의 피검사물 위치 확인용 광원 장치.The light source device for checking the position of the inspected object of a stereoscopic microscope, further comprising a luminaire provided around the objective lens to irradiate light in a downward direction. 제4항 또는 제5항에서,The method of claim 4 or 5, 상기 광원이 상기 지지대에 장착된 실체현미경의 피검사물 위치 확인용 광원 장치.A light source device for checking the position of the inspected object of the stereoscopic microscope, wherein the light source is mounted on the support. 제1항 또는 제2항에서,The method of claim 1 or 2, 상기 광원은 레이저다이오드(Laser Diode, LD) 또는 발광다이오드(Light Emitting Diode, LED)인 실체현미경의 피검사물 위치 확인용 광원 장치.The light source is a laser diode (LD) or a light emitting diode (Light Emitting Diode, LED) light source device for checking the position of the inspection object of the substance microscope.
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