KR20090073872A - 액정표시장치용 약액 공급시스템 및 약액 공급방법 - Google Patents

액정표시장치용 약액 공급시스템 및 약액 공급방법 Download PDF

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KR20090073872A
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Abstract

본 발명은 액정표시장치용 약액 공급시스템 및 약액 공급방법에 관해 개시한다. 개시된 시스템은 약액 공급탱크와, 약액 배출탱크와, 일단이 상기 약액 공급탱크에 연결설치된 메인 공급관과, 상기 메인 공급관으로 부터 분기된 다수개의 제 1서브 공급관과, 상기 제 1서브 공급관에 각각 연결 설치되어, 상기 약액을 공급받아 기판으로 토출하는 헤드와, 상기 메인 공급관과 상기 약액 배출탱크 사이에 연결설치되는 제 1서브 배출관과, 상기 약액 공급탱크와 상기 제 1서브 배출관 사이에 연결설치된 순환관과, 상기 순환관 내에 설치되어, 약액을 순환시키기 위한 약액 순환부와, 상기 헤드에 설치되어, 상기 헤드 내 순환하는 약액의 기포를 제거하기 위한 기포제거부를 구비한다.

Description

액정표시장치용 약액 공급시스템 및 약액 공급방법{A JETTING SYSTEM OF FLUID FOR A LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR JETTING THE SAME}
본 발명은 약액 공급시스템에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 액정표시장치 제조에 사용되는 배향액 등의 소정 약액을 공급하기 위한 액정표시장치용 약액 공급시스템 및 약액 공급방법에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방 송신호를 수신하여 디스플레이 하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
이와 같이 액정표시장치가 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 장점과 배치되는 면이 많이 있다.
따라서, 액정표시장치가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.
이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정표시패널과 상기 액정표시패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정표시패널은 공간을 갖고 합착된 제 1, 제 2 기판과, 상기 제 1, 제 2 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.
여기서, 상기 제 1 기판(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소 영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 상기 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성되어 있다.
그리고, 제 2 기판(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R, G, B 컬러필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성되어 있다.
이와 같은 상기 제 1, 제 2 기판은 스페이서(spacer)에 의해 일정 공간을 갖고 실재(sealant)에 의해 합착되고 상기 두 기판 사이에 액정이 형성된다.
한편, 상기 제 1 기판과 제 2 기판의 마주보는 면에는 각각 배향막이 형성되며, 상기 배향막은 상기 액정층을 배향시키기 위하여 러빙 처리된다.
상기 배향막은 고분자 물질로서, 상기 배향액 재료로는 폴리아미드(Polyamide), 폴리 이미드계 화합물, PVA(Poly Vinyl Alchol), 폴리아믹산(Polyamic Acid)과 같은 물질을 사용하여 배향액을 형성할 수 있으며, PVCH(Poly Vinyl Ciaannamate), PSCN(Poly Siloxane Cinnamate) 또는 CelCN(Cellulose Cinnamate)계 화합물과 같은 광반응성 물질을 사용할 수 있다.
이와 같은 배향막을 기판 상에 코팅하기 위해서는 상기 배향막의 원료인 배향액 등의 약액을 기판 상에 균일하게 형성할 수 있는 약액 공급시스템가 필요하다. 이러한 약액 공급시스템는 스핀(spin), 스프레이(sprey), 인쇄(print) 및 잉크젯(ink jet) 방식과 같은 여러 가지 방식을 통해 약액을 공급할 수 있다.
도 1은 종래의 약액 공급시스템의 개략적인 구성도이다. 또한, 도 2는 도 1의 헤드 부분을 확대한 도면이다. 이하, 도 1 및 도 2를 참고로 하여 상기 여러 약액 공급 방식 중 잉크젯 방식을 채용한 종래 액정표시장치용 약액 공급시스템을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 액정표시장치용 약액 공급시스템는 약액(38)이 저장되어 있는 약액 저장탱크(21)와, 상기 약액 저장탱크(21)로부터 약액(38)을 공급받아 적정량의 약액을 저장하고 외부의 압력에 의해 약액을 공급하는 약액 공급탱크(22)와, 상기 약액 공급탱크(22)로부터 약액을 공급받아 기판(32) 상에 약액을 토출하는 다수개의 헤드(미도시)를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 헤드(미도시)의 하부에는 일방향으로 움직일 수 있는 안착부(31)가 마련된다. 상기 안착부(31)에는 기판(32)이 안착되어 고정된다.
상기 약액 저장탱크(21)와 상기 약액 공급탱크(22) 사이에는 상기 약액 저장탱크(21)에 저장된 약액을 상기 약액 공급탱크(22)로 공급하기 위한 연결관(11)이 설치되어 있다. 그리고, 상기 약액 공급탱크(22)와 각 헤드(미도시) 사이에는 상기 약액 공급탱크(22)에 저장된 약액을 각 헤드(미도시)로 공급하기 위한 메인 공급관(12)이 설치되어 있다.
상기 메인 공급관(12)은 각 헤드(미도시)에 직접 연결되지 않고, 상기 메인 공급관(12) 내에 설치되되, 상기 메인 공급관(12)으로부터 분기된 다수개의 제 1서브 공급관(13)을 통해 각 헤드(미도시)의 일측으로 약액을 공급한다. 또한, 상기 메인 공급관(12)에는 제 1서브 배출관(14)이 연결설치되어 있다. 도 1에는 상기 메인 공급관(12))에는 하나의 제 1서브 배출관(14)이 연결되어 있는 것을 보였으나, 상기 제 1서브 배출관(14)들이 다수개 연결될 수도 있다. 상기 제 1서브 배출관(14)이 다수개일 경우, 상기 제 1서브 배출관(14)들의 일단은 하나의 메인 공급관(12)에 연결되어 합쳐지게 된다. 여기서, 상기 제 1서브 배출관(14)의 타단은 약액 배출탱크(41)에 연결된다.
한편, 도면에 도시되지 않았지만, 상기 메인 공급관(12), 제 1서브 공급관(13), 및 제 1서브 배출관(14)에는 상기 약액의 흐름을 제어하기 위한 밸브가 각 각 설치되어 있다.
상기 헤드(미도시)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 헤드 몸체(51)와, 상기 헤드 몸체(51)의 일단에 설치되어 상기 약액을 공급하는 제 2서브 공급관(55)과, 상기 헤드 몸체(51)의 타단에 설치되어 상기 약액을 배출하는 제 2서브 배출관(57)으로 구성된다. 구체적으로, 상기 헤드 몸체(51) 내에는 약액이 공급되는 공급관(52)이 설치되어 있다. 상기 공급관(52)은 일단이 상기 제 2서브 공급관(55)과 연결설치되어 있고, 타단이 상기 제 2서브 배출관(57)과 연결되어 있다. 또한, 상기 공급관(52)에는 상기 기판(32)과 대응되는 부위에 약액을 분사하기 위한 노즐(미도시)이 연결설치된다.
상기 제 2서브 공급관(55) 및 제 2서브 배출관(57)에는 약액의 흐름을 제어하기 위한 제 1및 제 2밸브(58)(59)들이 각각 설치되어 있다.
한편, 도면에 상세하게는 도시되지 않았지만, 상기 각 헤드(미도시)에 설치된 각각의 제 2서브 공급관(55)은 제 1서브 공급관(13)과 연결되어 있고, 상기 각 헤드(미도시)에 설치된 각각의 제 2서브 배출관(57)은 제 1서브 배출관(14)과 연결설치되어 있다.
상기 구성을 가진 종래의 액정표시장치용 약액 공급시스템를 이용하여 상기 기판(32)에 약액을 공급 공정을 진행하기 이전 또는 이후에 메인 공급관(12) 및 제 1서브 공급관(13) 등의 배관 및 헤드(미도시) 내에 기포를 제거해야 하는 과정을 진행해야 한다. 이는 관리자 등의 부주의 또는 운반 과정에서의 흔들림 등에 기인하여 액상의 약액에 기포가 발생될 수 있기 때문이다.
만약, 이러한 기포가 발생된 약액이 그대로 헤드로 들어가게 되면, 상기 헤드의 피에조(piezo) 진동을 방해하게 되어 약액이 분사되지 않게 될 뿐더러 이러한 기포는 약액과 함께 기판에 전사되어 소성 및 러빙 단계를 거쳐 최종 완성된 배향막에 결함으로 작용하게 되어 액정표시장치의 신뢰성을 크게 위협하는 원인으로 작용하게 된다.
따라서, 이러한 기포를 제거하기 위해, 먼저 상기 메인 공급관(12) 및 제 1서브 공급관(13) 등의 배관 내로 일정압의 질소를 공급하며, 상기 공급된 질소는 제 1서브 공급관(13)과 연결설치된 상기 제 2서브 공급관(55)을 통해 상기 헤드(미도시)(정확히는, 상기 헤드(미도시) 내의 공급관(52)) 내 잔류되어 기포(53)가 발생된 약액을 밀어낸다. 이때, 상기 기포(53)가 발생된 약액(38)은 헤드에 부착된 노즐을 통해 외부로 배출된다. 한편, 상기 기포 제거 공정은 상기 제 1밸브(58)는 열리고 상기 제 2밸브(59)는 닫혀진 상태에서 진행한다. (도 2의 왼쪽 도면 참고)
그러나, 상기 질소 공급만으로 헤드 내 기포를 효과적으로 제거할 수 없으며, 그 대안으로 약액을 공급하는 방법이 채택되었다.
즉, 이 방법은 상술한 질소 대신 상기 메인 공급관(12) 및 제 1서브 공급관(13) 등의 배관 내로 약액을 공급하는 것이다. 이때, 상기 배관 내로 공급된 약액은 상기 제 1서브 공급관(13)과 연결설치된 상기 제 2서브 공급관(55)을 통해 상기 헤드(미도시)(정확히는, 상기 헤드(미도시) 내의 공급관(52)) 내 잔류된 기포(58)가 발생된 약액을 밀어낸다. 여기서, 상기 기포가 발생된 약액은 헤드에 부착된 노즐을 통해 외부로 배출된다. 한편, 상기 기포 제거 공정은 상기 제 1밸 브(58)는 열리고 상기 제 2밸브(59)는 닫혀진 상태에서 진행한다. (도 2의 오른쪽 도면 참고)
그러나, 종래의 약액 공급시스템에서는 이러한 약액 내 기포를 제거하는 작업을 진행할 경우, 기포 제거에 사용되는 약액의 소모량이 많게 되어 약액 구입에 따른 비용이 상승되는 문제점이 있다.
이에 본 발명은 상기 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 약액의 소모없이 기포를 용이하게 제거할 수 있는 약액 공급시스템 및 약액 공급방법을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 약액 공급시스템는 약액 공급탱크와, 약액 배출탱크와, 일단이 상기 약액 공급탱크에 연결설치된 메인 공급관과, 상기 메인 공급관으로 부터 분기된 다수개의 제 1서브 공급관과, 상기 제 1서브 공급관에 각각 연결 설치되어, 상기 약액을 공급받아 기판으로 토출하는 헤드와, 상기 메인 공급관과 상기 약액 배출탱크 사이에 연결설치되는 제 1서브 배출관과, 상기 약액 공급탱크와 상기 제 1서브 배출관 사이에 연결설치된 순환관과, 상기 순환관 내에 설치되어, 약액을 순환시키기 위한 약액 순환부와, 상기 헤드에 설치되어 상기 헤드 내 순환하는 약액의 기포를 제거하기 위한 기포제거부를 구비한다.
상기 약액 순환부는 펌프인 것이 바람직하다.
상기 헤드는 헤드 몸체와, 상기 헤드 몸체의 일단에 설치된 제 2서브 공급관과, 상기 헤드 몸체의 타단에 설치된 제 2서브 배출관을 구비한다.
상기 헤드 내 약액의 기포를 제거하는 작업이 진행될 시에, 상기 제 2서브 공급관에는 질소가 공급되며, 상기 공급된 질소 압력에 의해 상기 헤드 내 약액의 기포가 제거된다.
상기 기포제거부는 상기 제 2서브 배출관에 연결설치된 보조 약액 공급탱크와, 상기 제 2서브 배출관에 연결설치된 개폐용 밸브를 구비한다.
상기 밸브는 상기 헤드 내 약액의 기포를 제거하는 작업이 진행될 시에 오픈되어 상기 보조 약액 공급탱크 내의 약액을 상기 헤드 몸체 내로 공급시키며, 상기 공급된 약액에 의해 상기 기포가 제거된다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 약액 공급방법은, 약액 공급탱크과 액액 배출탱크를 제공하는 단계; 일단이 상기 약액 공급탱크에 메인 공급관을 설치하는 단계; 상기 메인 공급관으로 부터 다수개의 제 1서브 공급관을 분기하는 단계; 상기 제 1서브 공급관에 각각 연결 설치된 헤드를 통해 상기 약액 공급탱크로부터 약액을 공급받아 기판으로 토출시키는 단계; 상기 메인 공급관과 상기 약액 배출탱크 사이에 연결설치되는 제 1서브 배출관과, 상기 약액 공급탱크와 상기 제 1서브 배출관 사이에 연결설치된 순환관내의 약액순환부를 통해 약액을 순환시키기 단계; 및 상기 헤드에 설치된 기포제거부를 통해 상기 헤드 내 순환하는 약액의 기포를 제거하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 기포 제거 작업이 진행되거나 완료된 후에 남은 약액을 폐기처리하지 않고 재사용으로써, 약액의 원가 절감에 유리하다.
또한, 본 발명은 헤드 내의 기포를 완전 제거가 가능함에 따라, 배향막 결함이 방지되어 액정표시장치의 신뢰성을 향상시킨다.
이하, 본 발명에 따른 액정표시장치용 약액 공급시스템에 대해 첨부된 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 약액 공급시스템의 개략적인 구성도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 약액 공급 시스템을 이용하여 기포를 제거하는 과정을 설명하기 위한 것으로서, 도 3의 헤드 부분을 확대한 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 액정표시장치용 약액 공급시스템는 약액(138)이 저장되어 있는 약액 저장탱크(121)와, 상기 약액 저장탱크(121)로부터 약액(138)을 공급받아 적정량의 약액을 저장하고 외부의 압력에 의해 약액을 공급하는 약액 공급탱크(122)와, 상기 약액 공급탱크(122)로부터 약액을 공급받아 기판(132) 상에 약액을 토출하는 다수개의 헤드(미도시)(도면 미도시)를 포함하여 구성된다. 여기서, 상기 헤드(미도시)의 하부에는 일방향으로 움직일 수 있는 안착부(131)가 마련된다. 또한, 상기 안착부(131)에는 기판(132)이 안착되어 고정된다.
상기 약액 저장탱크(121)와 상기 약액 공급탱크(122) 사이에는 상기 약액 저장탱크(121)에 저장된 약액을 상기 약액 공급탱크(122)로 공급하기 위한 연결관(111)이(도면과 불일치) 설치되어 있다. 그리고, 상기 약액 공급탱크(122)와 각 헤드(미도시) 사이에는 상기 약액 공급탱크(122)에 저장된 약액을 각 헤드(미도시)로 공급하기 위한 메인 공급관(미도시)(도면에 미도시)이 설치되어 있다.
상기 메인 공급관(미도시)은 각 헤드(미도시)로 직접 연결되어 있지 않고, 상기 메인 공급관(미도시) 내에 연결설치된 다수개의 제 1서브 공급관(113)(도면에 미도시)을 통해 각 각 헤드(미도시)로 약액을 공급한다. 즉, 상기 메인 공급관(미 도시)은 상기 각 메인 공급관(미도시)으로부터 분기된 다수개의 서브 공급관(113)을 통해 각 헤드(미도시)로 약액을 공급한다. 또한, 상기 메인 공급관(미도시)은 제 1서브 배출관(114)의 일측과 연결설치된다. 한편, 상기 제 1서브 배출관(114)의 타단은 약액 배출탱크(141)에 연결된다.
도면에 도시되지 않았지만, 상기 메인 공급관(미도시), 제 1서브 공급관(113), 및 제 1서브 배출관(114)에는 상기 약액의 흐름을 제어하기 위한 밸브가 더 설치될 수 있다.
상기 약액 공급탱크(122)와 상기 제 1서브 배출관(114) 사이에는 순환관(171)이 설치된다. 또한, 상기 순환관(171)에는 약액을 순환시키기 위한 펌프(173)이 설치된다.
따라서, 상기 순환관(171)을 통해 약액이 다시 약액 공급탱크(122) 내로 공급되며, 공급된 약액은 다시 메인 공급관(미도시) 및 제 1서브 배출관(114)을 통해 헤드(미도시)로 재공급된다.그 결과, 기포 제거 작업이 진행된 후에 약액 배출탱크(141) 내로 버려지는 약액의 손실이 최소화된다.
한편, 상기 헤드(미도시)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 헤드 몸체(152)와, 상기 헤드 몸체(152)에 내설되어 약액이 공급되는 공급관(151)과, 상기 헤드 몸체(152)의 일단에 설치되어 상기 약액을 공급하는 제 2서브 공급관(155)과, 상기 헤드 몸체(152)의 타단에 설치되어 상기 약액을 배출하는 제 2서브 배출관(157)과, 상기 제 2서브 배출관(157)에 연결설치된 보조 약액 공급탱크(191)로 구성된다.
상기 제 2서브 공급관(155) 및 제 2서브 배출관(157)에는 온/오프를 제어하 는 제 1및 제 2밸브(158)(159)들이 설치되어 있다.
또한, 도면에 도시되지 않았지만, 상기 제 2서브 배출관(157)은 제 1서브 배출관(114)과 연결설치되어 있다.
이하에서는, 도 4 및 도 5를 참고로 하여, 상술한 구성을 가진 본 발명에 따른 약액 공급 시스템을 이용하여 기포를 제거하는 과정을 설명한다.
먼저, 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1밸브(158)을 오픈시킨 다음, 상기 제2서브 공급관(155)을 통해 질소를 일정압력으로 공급관(151) 내로 공급한다. 이때, 상기 공급되는 질소 압력에 의해 기포(153a, 153b)는 약액과 함께 제2서브 배출관(157)으로 밀려져 나오게 된다. 이 후, 상기 제2서브 배출관(157) 내의 기포(153b) 및 약액은 보조약액 공급탱크(191)에 모여져 폐기처리된다.
그러나, 이러한 질소 공급에 의해서도 공급관(151) 내의 기포(153b)가 완전히 제거되지 않을 수 있다. 따라서, 이런 경우, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제 2밸브(159)를 오픈시켜 보조 약액 공급탱크(191) 내의 약액을 제 2서브 배출관(157)을 통해 공급관(151) 내로 공급함으로써, 상기 공급된 약액에 의해 기포(153b)가 제 2서브 공급관(155)으로 밀려나오게 된다. 이때, 상기 공급된 약액은 기판으로 분사되지 않고 제 2서브 공급관(155)을 통해 다시 약액 공급탱크(122)로 보내진다.
도 1은 종래 기술에 따른 액정표시장치용 약액 공급시스템의 개략적인 구성도.
도 2는 도 1의 헤드 부분을 확대한 도면.
도 3은 본 발명에 따른 액정표시장치용 약액 공급시스템의 개략적인 구성도.
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 약액 공급 시스템을 이용하여 기포를 제거하는 과정을 설명하기 위한 것으로서, 도 3의 헤드 부분을 확대한 도면.

Claims (12)

  1. 약액 공급탱크와,
    약액 배출탱크와,
    일단이 상기 약액 공급탱크에 연결설치된 메인 공급관과,
    상기 메인 공급관으로 부터 분기된 다수개의 제 1서브 공급관과,
    상기 제 1서브 공급관에 각각 연결 설치되어, 상기 약액을 공급받아 기판으로 토출하는 헤드와,
    상기 메인 공급관과 상기 약액 배출탱크 사이에 연결설치되는 제 1서브 배출관과,
    상기 약액 공급탱크와 상기 제 1서브 배출관 사이에 연결설치된 순환관과,
    상기 순환관 내에 설치되어, 약액을 순환시키기 위한 약액 순환부와,
    상기 헤드에 설치되어, 상기 헤드 내 순환하는 약액의 기포를 제거하기 위한 기포제거부를 포함하는 약액 공급시스템.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 약액 순환부는 펌프인 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 헤드는
    헤드 몸체와,
    상기 헤드 몸체의 일단에 설치된 제 2서브 공급관과,
    상기 헤드 몸체의 타단에 설치된 제 2서브 배출관을 구비하는 약액 공급시스템.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 헤드 내 약액의 기포를 제거하는 작업이 진행 시에, 상기 제 2서브 공급관에는 질소가 공급되며, 상기 공급된 질소 압력에 의해 상기 헤드 내 약액의 기포가 제거되는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템.
  5. 제 3항에 있어서, 상기 기포제거부는
    상기 제 2서브 배출관에 연결설치된 보조 약액 공급탱크와,
    상기 제 2서브 배출관에 연결설치된 개폐용 밸브를 구비하는 약액 공급시스템.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 밸브는 상기 헤드 내 약액의 기포를 제거하는 작업이 진행될 시에 오픈되어 상기 보조 약액 공급탱크 내의 약액을 상기 헤드 몸체 내로 공급시키며, 상기 공급된 약액에 의해 상기 기포가 제거되는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템.
  7. 약액 공급탱크과 액액 배출탱크를 제공하는 단계;
    일단이 상기 약액 공급탱크에 메인 공급관을 설치하는 단계;
    상기 메인 공급관으로 부터 다수개의 제 1서브 공급관을 분기하는 단계;
    상기 제 1서브 공급관에 각각 연결 설치된 헤드를 통해 상기 약액 공급탱크로부터 약액을 공급받아 기판으로 토출시키는 단계;
    상기 메인 공급관과 상기 약액 배출탱크 사이에 연결설치되는 제 1서브 배출관과, 상기 약액 공급탱크와 상기 제 1서브 배출관 사이에 연결설치된 순환관내의 약액순환부를 통해 약액을 순환시키기 단계; 및
    상기 헤드에 설치된 기포제거부를 통해 상기 헤드 내 순환하는 약액의 기포를 제거하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 약액 공급방법.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 약액 순환부는 펌프인 것을 특징으로 하는 약액 공급방법.
  9. 제 7항에 있어서, 상기 헤드는
    헤드 몸체와,
    상기 헤드 몸체의 일단에 설치된 제 2서브 공급관과,
    상기 헤드 몸체의 타단에 설치된 제 2서브 배출관을 구비하는 약액 공급방법.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 헤드 내 약액의 기포를 제거하는 작업이 진행 시에, 상기 제 2서브 공급관에는 질소가 공급되며, 상기 공급된 질소 압력에 의해 상기 헤드 내 약액의 기포가 제거되는 것을 특징으로 하는 약액 공급방법.
  11. 제 7항에 있어서, 상기 기포제거부는
    상기 제 2서브 배출관에 연결설치된 보조 약액 공급탱크와,
    상기 제 2서브 배출관에 연결설치된 개폐용 밸브를 구비하는 약액 공급방법.
  12. 제 11항에 있어서, 상기 밸브는 상기 헤드 내 약액의 기포를 제거하는 작업이 진행될 시에 오픈되어 상기 보조 약액 공급탱크 내의 약액을 상기 헤드 몸체 내로 공급시키며, 상기 공급된 약액에 의해 상기 기포가 제거되는 것을 특징으로 하는 약액 공급방법.
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