KR20050042644A - 액정표시장치의 제조장치 및 방법 - Google Patents

액정표시장치의 제조장치 및 방법 Download PDF

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송현호
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 기포 발생에 의한 잉크젯 헤드의 막힘을 방지할 수 있도록 한 액정표시장치의 제조장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치는 기판이 안착되는 인쇄 테이블과, 상기 기판 상에 배향액을 인쇄하기 위한 다수의 잉크젯 헤드와, 상기 배향액이 수용된 용기와, 상기 용기가 로딩되는 탱크와, 상기 탱크에 로딩된 상기 용기와 상기 다수의 잉크젯 헤드 사이에 설치되어 상기 용기의 배향액을 상기 다수의 헤드 잉크젯 헤드 각각에 공급하는 다수의 공급관을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이러한, 본 발명은 외부로부터 배향액이 수용된 용기가 로딩되는 공급 탱크로부터 다수의 배향액 공급관을 경유하여 다수의 잉크젯 헤드 각각에 배향액을 직접공급함으로써 기포로 인한 다수의 잉크젯 헤드의 노즐의 막힘 현상을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명은 공급 탱크의 세정력을 강화로 인한 불량요소를 제거함과 아울러 공급 탱크의 관리를 용이하게 할 수 있다.

Description

액정표시장치의 제조장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FABRICATION LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}
본 발명은 액정표시장치의 제조장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 기포 발생에 의한 잉크젯 헤드의 막힘을 방지할 수 있도록 한 액정표시장치의 제조장치 및 방법에 관한 것이다.
통상적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 비디오신호에 따라 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열되어진 액정패널에 비디오신호에 해당하는 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여, 액정표시장치는 액정셀들이 액티브 매트릭스(Active Matrix) 형태로 배열된 액티브 영역과 액티브 영역의 액정셀들을 구동하기 위한 구동회로들을 포함하게 된다.
도 1을 참조하면, 통상적인 액정표시장치는 상부기판(11) 상에 순차적으로 형성된 블랙 매트릭스(20), 컬러필터(16), 공통전극(14) 및 배향막(12)으로 구성되는 상판과; 하부기판(1) 상에 순차적으로 형성된 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)와, 화소전극(22) 및 배향막(10)으로 구성되는 하판과; 상판과 하판 사이에 형성된 스페이서(24)와, 상판 및 하판(24) 사이의 공간에 주입되는 액정(도시되지 않음)을 구비한다.
하판의 TFT는 게이트 라인(도시하지 않음)에서 돌출된 게이트 전극(25), 데이터 라인(도시하지 않음)에서 돌출된 소스 전극(28) 및 접촉홀(23)을 통해 화소 전극(22)에 접속된 드레인 전극(30)을 구비한다. 또한, TFT는 게이트 전극(25)과 소스 전극(28) 및 드레인 전극(30)의 절연을 위한 게이트 절연막(6)과, 게이트 전극(25)에 공급되는 게이트전압에 의해 소스 전극(28)과 드레인 전극(30)간에 도통채널을 형성하기 위한 반도체층(26, 27)을 더 구비한다. 이러한 TFT는 게이트라인으로부터의 게이트신호에 응답하여 데이터라인으로부터의 데이터신호를 선택적으로 화소전극(22)에 공급한다. TFT를 통해 공급되는 데이터신호와 공통전극(14)에 공급되는 공통전압(Vcom)의 전압차에 의해 액정이 회전하게 되며 액정의 회전 정도에 따라서 광투과량이 결정된다. 화소 전극(22)은 데이터라인과 게이트라인에 의해 분할된 셀영역에 위치하며 광투과율이 높은 투명전도성물질로 이루어진다. 화소 전극(22)은 하부기판(1) 전면에 도포되는 보호막(8) 위에 형성되며, 보호막(8)에 형성된 접촉홀(23)을 통해 드레인 전극(30)과 전기적으로 접속된다. 화소 전극(22)이 형성된 하부기판(1) 상부에 배향막(10)을 도포한 후 러빙공정을 수행하여 하판이 완성된다.
상판은 상부기판(11) 상에 TFT 형성영역과 대응되는 블랙 매트릭스(20)를 형성하여 컬러필터(16)가 형성될 셀영역을 마련한다. 블랙 매트릭스(20)는 빛샘을 방지함과 아울러 외부광을 흡수하여 콘트라스트를 높이는 역할을 한다. 컬러필터(16)는 블랙 매트릭스(20)에 의해 분리된 영역에 형성된다. 컬러필터(16)는 특정파장의 광을 선택적으로 투과시킴으로써 R, G, B 색상을 구현한다. 공통전극(14)에는 액정의 움직임을 제어하기 위한 공통전압(Vcom)이 공급되며, 공통전극(14) 상에 배향막(12)을 형성한 후 러빙공정을 수행함으로써 상판이 완성된다.
이와 같이, 별도의 공정을 통해 완성된 상판과 하판 중 어느 하나의 기판에 분사노즐을 사용하여 구 형상의 스페이서(24)를 산포한다. 이후, 상판과 하판을 정위치시켜 합착한 후 액정을 주입하여 봉지함으로써 액정표시장치를 완성한다.
이와 같은, 액정표시장치에서 상판 및 하판 각각에 형성되는 배향막(10, 12)은 도 2에 도시된 바와 같은 잉크젯 방식의 배향막 형성장치에 의해 형성된다.
도 2를 참조하면, 일반적인 잉크젯 방식의 배향막 형성장치는 액정표시장치의 상판 및 하판(이하, "기판"이라 함)(52) 중 어느 하나가 로딩되어 안착되는 인쇄 테이블(50)과, 인쇄 테이블(50)에 안착된 기판(52) 상에 잉크젯 방식을 이용하여 배향액(70)을 상기 기판(52) 상에 인쇄하는 다수의 잉크젯 헤드(54)와, 다수의 잉크젯 헤드(54) 각각에 배향액(70)을 공급하는 공급 탱크(80)와, 외부로부터 배향액(70)이 수용된 용기(62)를 공급받아 용기(62)에 수용된 배향액(70)을 질소(N2) 가스에 의해 가압하여 공급 탱크(80)로 공급하는 압력 탱크(60)를 구비한다. 이 때, 배향액(70)으로는 열에 강하고, 화학적 안정성과 신뢰성이 높은 폴리- 이미드(Poly-Imide)가 사용된다.
압력 탱크(60)의 내부에는 외부로부터 배향액(70)이 수용된 용기(62)가 공급된다. 압력 탱크(60)의 상부에는 외부로부터 질소 가스가 공급되는 가스 공급관(64)과, 다수의 잉크젯 헤드(54)로부터 배향액(70)이 회수되어 공급되는 회수관(94) 및 용기(62)에 수용되는 배향액(70)이 제 1 가스 공급관(64)으로부터 공급되는 질소 가스에 의해 공급 탱크(80)로 가압되는 제 1 배향액 공급관(66)이 설치된다.
제 1 가스 공급관(64)에는 외부로부터 공급되는 질소 가스의 공급여부를 구속하기 위한 제 1 밸브(76)가 설치된다. 제 1 배향액 공급관(66)에는 압력 탱크(60)로부터 가압되어 공급 탱크(80)로 공급되는 배향액(70)을 필터링하기 위한 필터(74)와, 필터(74)로 공급되는 배향액(70)의 공급여부를 구속하기 위한 제 2 밸브(78)가 설치된다.
이러한, 압력 탱크(60)는 제 1 가스 공급관(64)을 통해 공급되는 질소 가스의 압력을 이용하여 용기(62)에 수용된 배향액(70)을 제 1 배향액 공급관(66)을 통해 공급 탱크(80)로 공급한다. 이 때, 필터(74)는 제 1 배향액 공급관(66)을 통해 공급 탱크(80)로 공급되는 배향액(70)에 포함되는 대략 7㎛ 정도의 이물을 필터링하게 된다.
공급 탱크(80)는 압력 탱크(60)의 가압에 의해 제 1 배향액 공급관(66)을 통해 공급되는 배향액(70)이 수용된다. 이러한, 공급 탱크(80)의 상부에는 제 1 배향액 공급관(66)과, 다수의 잉크젯 헤드(54) 각각에 접속된 다수의 제 2 배향액 공급관(90a, 90b, 90c) 및 공급 탱크(80)에 공급된 배향액(70)을 다수의 제 2 배향액 공급관(90a, 90b, 90c)으로 공급하기 위한 질소 가스가 공급되는 제 2 가스 공급관(84)이 설치된다.
제 2 가스 공급관(84) 상에는 외부로부터 공급되는 질소 가스의 공급여부를 구속하기 위한 제 3 밸브(82)가 설치된다. 다수의 제 2 배향액 공급관(90a, 90b, 90c) 각각에는 공급 탱크(80)로부터 다수의 잉크젯 헤드(54) 각각에 공급되는 배향액(70)의 공급여부를 구속하기 위한 제 4 밸브(92a, 92b, 92c) 각각 설치된다.
이러한, 공급 탱크(80)는 제 2 가스 공급관(84)를 통해 공급되는 질소 가스를 이용하여 내부에 수용된 배향액(70)을 다수의 제 2 배향액 공급관(90a, 90b, 90c)으로 가압하여 다수의 잉크젯 헤드(54) 각각에 공급하게 된다.
다수의 잉크젯 헤드(54) 각각은 압전소자와 배향액 수용부 내에 포함된 배향액(70)을 분사하기 위한 도시하지 않은 노즐(Nozzle)이 형성된다. 압전소자에 전압이 인가되면 물리적인 압력이 발생되어 배향액 수용부와 노즐 사이의 유로가 수축, 이완을 반복하는 모세관 현상이 나타난다. 이 모세관 현상에 의해 공급 탱크(80)로부터 다수의 제 2 배향액 공급관(90a, 90b, 90c) 각각을 경유하여 용기에 공급된 배향액(70)은 노즐을 통해 기판(52) 상에 분사된다.
또한, 다수의 잉크젯 헤드(54) 각각에는 압전소자에 전압을 인가하기 위한 케이블(56)과, 용기에 공급된 배향액(70)을 회수하여 압력 탱크(60)로 회수하기 위한 회수관(94)이 설치된다. 회수관(94) 상에는 다수의 잉크젯 헤드(54) 각각으로부터 회수관(94)을 통해 회수되는 배향액(70)의 회수여부를 구속하기 위한 제 5 밸브(96)가 설치된다.
이와 같은, 종래의 배향막 형성장치를 이용한 배향막 형성방법은 외부로부터 배향액(70)이 수용된 용기(62)를 압력 탱크(60)의 내부에 로딩시킨다. 그런 다음, 제 1 가스 공급관(64)을 통해 압력 탱크(60)에 질소 가스를 공급하여 용기(62)의 내부에 수용된 배향액(70)을 제 1 배향액 공급관(66)을 통해 공급 탱크(80)에 공급한다. 이 때, 배향액(70)은 제 1 배향액 공급관(66) 상에 설치된 필터(74)에 의해 필터링되어 제 1 배향액 공급관(66)을 통해 공급 탱크(80)에 공급된다.
이어서, 제 2 가스 공급관(84)을 통해 공급 탱크(80)에 질소 가스를 공급하여 공급 탱크(80)에 공급된 배향액(70)을 다수의 제 2 배향액 공급관(90a, 90b, 90c)을 통해 다수의 잉크젯 헤드(54) 각각에 공급한다. 이와 동시에 다수의 잉크젯 헤드(54) 각각에 케이블(56)을 통해 전압을 공급함으로써 공급 탱크(80)로부터 다수의 잉크젯 헤드(54) 각각에 공급되는 배향액(70)은 노즐을 통해 기판(52) 상에 인쇄된다.
이와 같은, 종래의 잉크젯 방식을 이용한 배향액 형성장치 및 방법은 배향액(70)을 압력 탱크(60)에 공급하고, 다시 압력 탱크(60)에 공급된 배향액(70)을 공급 탱크(80)로 공급 및 공급 탱크(80)에서 다수의 잉크젯 헤드(54) 각각으로의 공급시 질소 가스를 이용하여 가압하게 된다. 이에 따라, 질소 가스의 가압에 의한 배향액(70)의 거품에 의한 기포가 발생하게 된다. 이러한, 기포로 인하여 다수의 잉크젯 헤드(54) 각각의 노즐이 일시적인 막힘 현상이 발생하게 된다. 따라서, 노즐의 일시적인 막힘 현상으로 인하여 기판(52) 상의 특정부분에 배향액(70)이 인쇄되지 않는 문제점이 있으며, 거품을 제거하기 위한 장시간 대기시키는 안정화 시간이 필요하게 된다.
또한, 종래의 잉크젯 방식의 배향액 형성장치 및 방법은 압력 탱크(60) 및 공급 탱크(80)로 이원화되어 있기 때문에 배향액(70)의 교환시 탱크(60, 80) 각각에 배향액(70)의 잔존에 의한 세정의 어려움 및 잔존하는 배향액(70)과 새로이 공급되는 배향액(70)이 혼합되어 배향액(70)의 품질이 저하되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 기포 발생에 의한 잉크젯 헤드의 막힘을 방지할 수 있도록 한 액정표시장치의 제조장치 및 방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치는 기판이 안착되는 인쇄 테이블과, 상기 기판 상에 배향액을 인쇄하기 위한 다수의 잉크젯 헤드와, 상기 배향액이 수용된 용기와, 상기 용기가 로딩되는 탱크와, 상기 탱크에 로딩된 상기 용기와 상기 다수의 잉크젯 헤드 사이에 설치되어 상기 용기의 배향액을 상기 다수의 헤드 잉크젯 헤드 각각에 공급하는 다수의 공급관을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 액정표시장치의 제조장치는 상기 다수의 잉크젯 헤드 각각과 상기 탱크 사이에 설치되어 상기 다수의 잉크젯 헤드 각각의 상기 배향액을 회수하여 상기 탱크로 공급하는 다수의 회수관과, 상기 다수의 회수관 상에 설치되어 상기 회수되는 상기 배향액의 회수여부를 구속하는 밸브를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 액정표시장치의 제조장치는 외부로부터의 질소 가스를 공급하는 상기 탱크에 공급하는 가스 공급관과, 상기 가스 공급관에 설치되어 상기 질소 가스의 공급여부를 구속하는 밸브를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 액정표시장치의 제조장치에서 상기 다수의 잉크젯 헤드 각각은 상기 다수의 공급관으로부터의 상기 배향액이 공급되는 배향액 수용부와, 상기 배향액 수용부에 공급된 상기 배향액을 상기 기판에 인쇄하는 노즐과, 외부로부터 인가되는 전압에 의해 상기 배향액 수용부와 상기 노즐 사이의 유로가 형성시키는 압전소자를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 액정표시장치의 제조장치는 상기 다수의 공급관 각각에 설치되어 상기 배향액의 공급여부를 구속하는 밸브를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 액정표시장치의 제조장치는 상기 다수의 공급관 각각에 설치되어 상기 배향액에 포함되는 이물 및 기포를 제거하는 필터를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조방법은 인쇄 테이블에 기판이 안착시키는 단계와, 상기 기판 상에 배향액을 인쇄하기 위한 다수의 잉크젯 헤드를 마련하는 단계와, 상기 배향액이 수용된 용기를 마련하는 단계와, 상기 용기가 탱크에 로딩시키는 단계와, 상기 탱크에 질소 가스를 공급하여 상기 배향액을 상기 다수의 잉크젯 헤드 각각에 공급하여 상기 배향액을 상기 기판 상에 인쇄하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 액정표시장치의 제조방법에서 상기 인쇄하는 단계는 상기 질소 가스의 가압에 의해 상기 다수의 잉크젯 헤드 각각의 배향액 수용부에 상기 배향액을 공급하는 단계와, 상기 다수의 잉크젯 헤드 각각에 포함되는 압전소자에 전압을 인가하는 단계와, 상기 압전소자에 인가되는 전압에 의해 상기 배향액 수용부와 상기 배향액을 분사하는 노즐 사이에 모세관 현상에 의한 유로를 형성시키는 단계와, 상기 유로를 통해 공급되는 배향액을 상기 노즐을 이용하여 상기 기판 상에 인쇄하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 액정표시장치의 제조방법은 상기 다수의 잉크젯 헤드 각각에 공급되는 상기 배향액에 포함되는 이물 및 기포를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치는 액정표시장치의 상판 및 하판(이하, "기판"이라 함)(152) 중 어느 하나가 로딩되어 안착되는 인쇄 테이블(150)과, 인쇄 테이블(150)에 안착된 기판(152) 상에 잉크젯 방식을 이용하여 배향액(170)을 상기 기판(152) 상에 인쇄하는 다수의 잉크젯 헤드(154)와, 외부로부터 배향액(170)이 수용된 용기(162)를 공급받아 용기(162)에 수용된 배향액(170)을 질소(N2) 가스에 의해 가압하여 다수의 잉크젯 헤드(154) 각각에 배향액(170)을 공급하는 공급 탱크(180)를 구비한다. 이 때, 배향액(170)으로는 열에 강하고, 화학적 안정성과 신뢰성이 높은 폴리- 이미드(Poly-Imide)가 사용된다.
공급 탱크(180)는 내부에는 외부로부터 배향액(170)이 수용된 용기(162)가 공급된다. 이러한, 공급 탱크(180)의 상부에는 다수의 잉크젯 헤드(154)로부터 배향액(170)이 회수되어 공급되는 회수관(194)과, 다수의 잉크젯 헤드(154) 각각에 접속된 다수의 배향액 공급관(190a, 190b, 190c)과, 공급 탱크(180)에 공급된 배향액(170)을 다수의 배향액 공급관(190a, 190b, 190c)으로 공급하기 위한 질소 가스가 공급되는 가스 공급관(184)을 구비한다.
가스 공급관(184) 상에는 외부로부터 공급되는 질소 가스의 공급여부를 구속하기 위한 제 1 밸브(182)가 설치된다. 다수의 배향액 공급관(190a, 190b, 190c) 각각에는 공급 탱크(180)로부터 다수의 잉크젯 헤드(154) 각각에 공급되는 배향액(170)의 공급여부를 구속하기 위한 제 2 밸브(192a, 192b, 192c) 각각 설치된다.
이러한, 공급 탱크(180)는 가스 공급관(184)을 통해 공급되는 질소 가스를 이용하여 내부에 수용된 배향액(170)을 다수의 배향액 공급관(190a, 190b, 190c)으로 가압하여 다수의 잉크젯 헤드(154) 각각에 공급하게 된다.
다수의 잉크젯 헤드(154) 각각은 압전소자와 배향액 수용부 내에 공급된 배향액(170)을 분사하기 위한 도시하지 않은 노즐(Nozzle)이 형성된다. 압전소자에 전압이 인가되면 물리적인 압력이 발생되어 배향액 수용부와 노즐 사이의 유로가 수축, 이완을 반복하는 모세관 현상이 나타난다. 이 모세관 현상에 의해 공급 탱크(180)로부터 다수의 배향액 공급관(190a, 190b, 190c) 각각을 경유하여 용기에 공급된 배향액(170)은 노즐을 통해 기판(152) 상에 분사된다.
또한, 다수의 잉크젯 헤드(154) 각각에는 압전소자에 전압을 인가하기 위한 케이블(156)과, 용기에 공급된 배향액(170)을 회수하여 공급 탱크(180)로 회수하기 위한 회수관(194)이 설치된다. 회수관(194) 상에는 다수의 잉크젯 헤드(154) 각각으로부터 회수관(194)을 통해 회수되는 배향액(170)의 회수여부를 구속하기 위한 제 3 밸브(196)가 설치된다.
이와 같은, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치 및 방법은 외부로부터 배향액(170)이 수용된 용기(162)를 공급 탱크(180)의 내부에 로딩시킨다. 그런 다음, 가스 공급관(184)을 통해 공급 탱크(180)에 질소 가스를 공급하여 용기(162)의 내부에 수용된 배향액(170)을 다수의 배향액 공급관(190a, 190b, 190c)을 통해 다수의 잉크젯 헤드(154) 각각에 공급한다. 이와 동시에 다수의 잉크젯 헤드(154) 각각에 케이블(156)을 통해 전압을 공급함으로써 공급 탱크(180)로부터 다수의 잉크젯 헤드(154) 각각에 공급되는 배향액(170)은 노즐을 통해 기판(152) 상에 인쇄된다.
이와 같은, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치 및 방법은 용기(162)에 수용된 배향액(70)을 직접 다수의 배향액 공급관(190a, 190b, 190c)을 통해 다수의 잉크젯 헤드(154) 각각에 공급함으로써 기포 발생의 요소를 최소화할 수 있다. 이로 인하여, 본 발명은 기포로 인한 다수의 잉크젯 헤드(54) 각각의 노즐이 일시적인 막힘 현상을 최소화할 수 있다. 따라서, 본 발명은 기포를 제거하기 위한 장시간의 대기시키는 안정화 시간이 필요없으므로 공정시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치 및 방법은 배향액(170)의 교환시 공급 탱크(180) 내부의 용기(162) 만을 교환함으로써 종래에서와 같은 배향액(170)의 혼합을 방지할 수 있다.
한편 도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치는 도 3에 도시된 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치에서 다수의 배향액 공급관(190a, 190b, 190c) 각각에 설치되는 필터(174a, 174b, 174c)를 제외하고는 동일한 구성요소들을 구비한다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치에서 필터(174a, 174b, 174c)는 공급 탱크(180)로부터 다수의 배향액 공급관(190a, 190b, 190c) 각각으로 공급되는 배향액(170)의 이물 및 기포를 필터링하게 된다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치는 필터(174a, 174b, 174c)를 이용하여 다수의 잉크젯 헤드(154)에 공급되는 기포를 제거함으로써 기포로 인한 노즐의 막힘 현상을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치 및 방법은 외부로부터 배향액이 수용된 용기가 로딩되는 공급 탱크로부터 다수의 배향액 공급관을 경유하여 다수의 잉크젯 헤드 각각에 배향액을 직접공급함으로써 기포로 인한 다수의 잉크젯 헤드의 노즐의 막힘 현상을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명은 공급 탱크의 세정력을 강화로 인한 불량요소를 제거함과 아울러 공급 탱크의 관리를 용이하게 할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.
도 1은 일반적인 액정표시장치의 단면을 나타내는 단면도.
도 2는 도 1에 도시된 배향막을 형성하기 위한 배향막 형성장치를 나타내는 블록도.
도 3은 배향액을 액정표시장치에 인쇄하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치를 나타내는 블록도.
도 4는 배향액을 액정표시장치에 인쇄하기 위한 본 발명의 다른 실시 예에 따른 액정표시장치의 제조장치를 나타내는 블록도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1 : 하부기판 6,104 : 게이트 절연막
8 : 보호막 10, 12 : 배향막
11 : 상부기판 14 : 공통전극
16 : 컬러필터 22 : 화소전극
23 : 접촉홀 24 : 스페이서
25 : 게이트전극 26, 27 : 반도체층
28 : 소스전극 30 : 드레인 전극
50, 150 : 인쇄 테이블 52, 152 : 기판
54, 154 : 잉크젯 헤드 56, 156 : 케이블
60 : 압력 탱크 62, 162 : 용기
64, 84, 184 : 가스 공급관 74, 174 : 필터
70, 170 : 배향액 80, 180 : 공급 탱크
90a, 90b, 90c, 190a, 190b, 190c : 배향액 공급관
94, 194 : 회수관

Claims (9)

  1. 기판이 안착되는 인쇄 테이블과,
    상기 기판 상에 배향액을 인쇄하기 위한 다수의 잉크젯 헤드와,
    상기 배향액이 수용된 용기와,
    상기 용기가 로딩되는 탱크와,
    상기 탱크에 로딩된 상기 용기와 상기 다수의 잉크젯 헤드 사이에 설치되어 상기 용기의 배향액을 상기 다수의 헤드 잉크젯 헤드 각각에 공급하는 다수의 공급관을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 잉크젯 헤드 각각과 상기 탱크 사이에 설치되어 상기 다수의 잉크젯 헤드 각각의 상기 배향액을 회수하여 상기 탱크로 공급하는 다수의 회수관과,
    상기 다수의 회수관 상에 설치되어 상기 회수되는 상기 배향액의 회수여부를 구속하는 밸브를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    외부로부터의 질소 가스를 공급하는 상기 탱크에 공급하는 가스 공급관과,
    상기 가스 공급관에 설치되어 상기 질소 가스의 공급여부를 구속하는 밸브를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 잉크젯 헤드 각각은,
    상기 다수의 공급관으로부터의 상기 배향액이 공급되는 배향액 수용부와,
    상기 배향액 수용부에 공급된 상기 배향액을 상기 기판에 인쇄하는 노즐과,
    외부로부터 인가되는 전압에 의해 상기 배향액 수용부와 상기 노즐 사이의 유로가 형성시키는 압전소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 공급관 각각에 설치되어 상기 배향액의 공급여부를 구속하는 밸브를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 다수의 공급관 각각에 설치되어 상기 배향액에 포함되는 이물 및 기포를 제거하는 필터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
  7. 인쇄 테이블에 기판이 안착시키는 단계와,
    상기 기판 상에 배향액을 인쇄하기 위한 다수의 잉크젯 헤드를 마련하는 단계와,
    상기 배향액이 수용된 용기를 마련하는 단계와,
    상기 용기가 탱크에 로딩시키는 단계와,
    상기 탱크에 질소 가스를 공급하여 상기 배향액을 상기 다수의 잉크젯 헤드 각각에 공급하여 상기 배향액을 상기 기판 상에 인쇄하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 인쇄하는 단계는,
    상기 질소 가스의 가압에 의해 상기 다수의 잉크젯 헤드 각각의 배향액 수용부에 상기 배향액을 공급하는 단계와,
    상기 다수의 잉크젯 헤드 각각에 포함되는 압전소자에 전압을 인가하는 단계와,
    상기 압전소자에 인가되는 전압에 의해 상기 배향액 수용부와 상기 배향액을 분사하는 노즐 사이에 모세관 현상에 의한 유로를 형성시키는 단계와,
    상기 유로를 통해 공급되는 배향액을 상기 노즐을 이용하여 상기 기판 상에 인쇄하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 다수의 잉크젯 헤드에 공급되는 상기 배향액에 포함되는 이물 및 기포를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
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