KR20090073313A - Transcription plate for forming alignment layer - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 액정표시장치의 배향막 형성을 위한 전사판에 관한 것으로, 더 상세히는 균일한 배향막 형성을 위한 전사판 및 이를 이용한 배향막 형성 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a transfer plate for forming an alignment layer of a liquid crystal display device, and more particularly, to a transfer plate for forming a uniform alignment layer and a method of forming an alignment layer using the same.
최근에 액정표시장치는 소비전력이 낮고, 휴대성이 양호한 기술 집약적이며, 부가가치가 높은 차세대 첨단 디스플레이(display)소자로 각광받고 있다. Recently, liquid crystal displays have been spotlighted as next generation advanced display devices having low power consumption, good portability, high technology value, and high added value.
이러한 액정표시장치 중에서도 각 화소(pixel)별로 전압의 온(on),오프(off)를 조절할 수 있는 스위칭 소자인 박막트랜지스터가 구비된 액티브 매트릭스형 액정표시장치가 해상도 및 동영상 구현능력이 뛰어나 가장 주목받고 있다.Among the liquid crystal display devices, an active matrix liquid crystal display device having a thin film transistor, which is a switching element that can control voltage on and off for each pixel, has the best resolution and video performance. I am getting it.
일반적으로, 액정표시장치는 박막트랜지스터 및 화소전극을 형성하는 어레이 기판 제조 공정과 컬러필터 및 공통 전극을 형성하는 컬러필터 기판 제조 공정을 통해 각각 어레이 기판 및 컬러필터 기판을 형성하고, 이들 두 기판 사이에 액정을 개재하는 셀 공정을 거쳐 완성된다. In general, an LCD device forms an array substrate and a color filter substrate through an array substrate manufacturing process for forming a thin film transistor and a pixel electrode, and a color filter substrate manufacturing process for forming a color filter and a common electrode, and between the two substrates. It completes through the cell process through liquid crystal in the process.
좀 더 자세히, 일반적인 액정표시장치의 분해사시도인 도 1을 참조하여 설명하면, 도시한 바와 같이, 액정층(30)을 사이에 두고 어레이 기판(10)과 컬러필터 기판(20)이 대면 합착된 구성을 갖는데, 이중 하부의 어레이 기판(10)은 투명한 기판(12)의 상면으로 종횡 교차 배열되어 다수의 화소영역(P)을 정의하는 복수개의 게이트 배선(14)과 데이터 배선(16)을 포함하며, 이들 두 배선(14, 16)의 교차지점에는 박막트랜지스터(T)가 구비되어 각 화소영역(P)에 마련된 화소전극(18)과 일대일 대응 접속되어 있다.In more detail, referring to FIG. 1, which is an exploded perspective view of a general liquid crystal display device, as illustrated, the
또한, 상기 어레이 기판(10)과 마주보는 상부의 컬러필터 기판(20)은 투명기판(22)의 하면으로 상기 게이트 배선(14)과 데이터 배선(16) 그리고 박막트랜지스터(T) 등의 비표시영역을 가리도록 각 화소영역(P)을 테두리하는 격자 형상의 블랙매트릭스(25)가 형성되어 있으며, 이들 격자 내부에서 각 화소영역(P)에 대응되게 순차적으로 반복 배열된 적(R), 녹(G), 청(B)색의 컬러필터 패턴(26a, 26b, 26c)을 포함하는 컬러필터층(26)이 형성되어 있으며, 상기 블랙매트릭스(25)와 컬러필터층(26)의 전면에 걸쳐 투명한 공통전극(28)이 구비되어 있다.In addition, the upper
그리고, 도면상에 도시되지는 않았지만, 이들 두 기판(10, 20)은 그 사이로 개재된 액정층(30)의 누설을 방지하기 위하여 가장자리 따라 씰란트(sealant) 등으로 봉함된 상태에서 각 기판(10, 20)과 액정층(30)의 경계부분에는 액정의 분자배열 방향에 신뢰성을 부여하는 상, 하부 배향막이 개재되며, 각 기판(10, 20)의 적어도 하나의 외측면에는 편광판이 구비되어 있다. Although not shown in the drawing, these two
또한, 어레이 기판(10)의 외측면으로는 백라이트(back-light)가 구비되어 빛 을 공급하는 바, 게이트 배선(14)으로 박막트랜지스터(T)의 온(on)/오프(off) 신호가 순차적으로 스캔 인가되어 선택된 화소영역(P)의 화소전극(18)에 데이터배선(16)의 화상신호가 전달되면 이들 사이의 수직전계에 의해 그 사이의 액정분자가 구동되고, 이에 따른 빛의 투과율 변화로 여러 가지 화상을 표시할 수 있다.In addition, a back-light is provided on the outer surface of the
전술한 구성을 갖는 액정표시장치의 제조방법에 대해 간단히 설명한다. The manufacturing method of the liquid crystal display device having the above-described configuration will be briefly described.
우선, 어레이 기판은, 투명한 절연기판에 대해 금속 또는 무기물질의 증착(deposition), 노광(photo-lithography), 현상(develop) 및 식각(etching)공정을 거쳐 게이트 및 데이터 배선과, 이들 두 배선과 연결된 박막트랜지스터(thin film transistor)를 형성하고, 상기 각각의 박막트랜지스터와 연결되는 화소전극을 형성함으로써 완성하고 있다.First, the array substrate is formed by gate, data wiring, two wirings, and the like through a deposition, photo-lithography, development, and etching process of a metal or an inorganic material on a transparent insulating substrate. A thin film transistor connected to each other is formed, and a pixel electrode connected to each of the thin film transistors is formed.
또한, 컬러필터 기판은 상기 어레이 기판과 마주보는 면에 컬러필터층과 공통전극을 형성을 형성함으로써 완성하고 있다. In addition, the color filter substrate is completed by forming a color filter layer and a common electrode on a surface facing the array substrate.
전술한 바와 같이 제작된 어레이 기판 및 컬러필터 기판은, 상기 두 기판 사이에 액정층을 개재한 상태에서 합착하여 하나의 액정패널을 형성하는 셀 공정을 진행하여 액정표시장치로 제품화 된다. The array substrate and the color filter substrate fabricated as described above are manufactured into a liquid crystal display device by performing a cell process of forming a liquid crystal panel by bonding the two substrates with a liquid crystal layer interposed therebetween.
이러한 액정표시장치는 액정의 전기 광학적 효과를 이용한 것이고, 이러한 전기 광학적 효과는 액정 자체의 이방성과 액정의 분자배열 상태에 의해 결정되며, 상기 액정의 분자배열에 대한 제어는 액정표시장치에서의 화상 표시품위를 안정화하는데 큰 영향을 미치게 된다. 따라서, 액정 분자의 초기 배열을 고르게 하기 위해서 배향공정을 진행하게 된다. The liquid crystal display device uses the electro-optical effect of the liquid crystal, and the electro-optic effect is determined by the anisotropy of the liquid crystal itself and the molecular arrangement state of the liquid crystal, and the control of the molecular arrangement of the liquid crystal is an image display in the liquid crystal display device. It will have a big influence on stabilizing dignity. Therefore, an alignment process is performed to even the initial arrangement of liquid crystal molecules.
배향공정은 상기 각각 완성된 어레이 기판 및 컬러필터 기판에 폴리이미드 등의 고분자 물질을 도포하여 배향막을 형성하고, 이의 표면의 고분자 사슬이 일정한 방향성을 갖도록 하기 위해 러빙포라 불리는 특수한 천으로 일정한 방향으로 마찰시켜 상기 배향막 내의 고분자 사슬을 일 방향으로 정렬시킴으로써 액정 분자의 초기배열 상태를 고르게 하는 역할을 하고 있다. In the alignment process, an alignment layer is formed by applying a polymer material such as polyimide to each of the completed array substrate and the color filter substrate, and friction in a predetermined direction with a special cloth called a rubbing cloth so that the polymer chains on the surface thereof have a certain orientation. By aligning the polymer chain in the alignment film in one direction, it serves to even the initial arrangement state of the liquid crystal molecules.
이러한 배향공정을 진행함에 있어서 가장 중요한 요소는 배향막의 두께에 있다. 배향막이 화상을 표시하는 표시영역에 대해 균일한 두께를 가지며 형성되어야 그 후 공정인 러빙 공정을 진행함에 있어 불량이 발생하지 않기 때문이다. The most important factor in carrying out this alignment process is the thickness of the alignment film. This is because the alignment film must be formed with a uniform thickness for the display area displaying the image so that no defect occurs in the subsequent rubbing process.
도 2는 배향막 인쇄 장치에 있어 판동에 장착된 종래의 전사판으로부터 배향액이 기판으로 전사되는 것을 도시한 도면이며, 도 3은 종래의 전사판과 기판이 접촉함으로써 배향액이 전사되어 배향막이 형성된 상태를 도시한 단면도이다.FIG. 2 is a view showing that an alignment liquid is transferred to a substrate from a conventional transfer plate mounted on a plate in an alignment film printing apparatus, and FIG. 3 illustrates that an alignment solution is transferred by contacting a conventional transfer plate and a substrate to form an alignment film. It is sectional drawing which shows the state.
도시한 바와 같이, 전사판(53)을 개재하여 판동(51)과 기판(60)이 접촉된 상태에서 일정한 압력이 가해짐으로써 기판(60)상에 배향액이 전사되고, 따라서 배향막(63)이 형성됨을 알 수 있다. 즉, 배향액을 머금고 있는 전사판(53)이 기판(60)에 접촉하면서 일정한 힘으로 가압되게 되는데, 이때 가압력에 의해 상기 전사판(53)으로부터 기판(60)으로 전사되는 배향액은 그 도포 두께를 일정하게 하기 위해 상하좌우로 퍼져나가게 되며, 전사판(53) 끝단 더욱 정확히는 전사판(53)에서 실질적으로 기판(60)과 접촉하는 패턴부(미도시)의 끝단부에 있어서는 밀려난 배향액이 가압되는 부분이 없게 되는 바, 타영역 대비 매우 두꺼운 형태를 갖게 된다. As shown, the alignment liquid is transferred onto the
즉, 도 3에 도시한 바와 같이, 기판(60) 상에 최종적으로 형성된 배향막(63) 은 판동(미도시)의 회전에 의해 전사판(53)의 패턴부(54)가 기판(60)에 접촉되는 시작부(63a)를 비롯하여 배향액이 밀려남 현상에 의해 끝단부(63b)가 중앙부(63c) 대비 3-4배 정도 더 두껍게 형성되는 문제가 발생하고 있다. 이렇게 중앙부 대비 그 양끝단에서 그 두께가 두꺼운 부분을 설명의 편의상 배향액 마운트(mount)부라 칭한다.That is, as shown in FIG. 3, the
이러한 문제를 해결하기 위해 전사판의 기판과 접촉하는 패턴부에 있어서 그 중앙부과 주변에 대해 서로 다른 메쉬를 갖는 전사판이 제안되었다. In order to solve this problem, a transfer plate having different meshes with respect to the center and the periphery thereof has been proposed in the pattern portion in contact with the substrate of the transfer plate.
도 4는 종래의 중앙부와 주변부에 있어 배향액을 머금는 양을 달리하도록 설계된 전사판의 하나의 패턴부를 도시한 평면도이며, 도 5a와 도 5b는 도 4에 있어 A, B영역을 각각 확대 도시한 평면도이며, 도 6은 도 4를 절단선 Ⅵ-Ⅵ을 따라 절단한 부분에 대한 단면도이다.4 is a plan view showing one pattern portion of a transfer plate designed to vary the amount of alignment liquid in the central and peripheral portions of the related art, and FIGS. 5A and 5B are enlarged views of regions A and B of FIG. 4, respectively. 6 is a cross-sectional view of a portion taken along the cutting line VI-VI of FIG. 4.
도 4에 도시한 바와 같이, 전사판(70)은 패턴부(72)와 바탕부(74)로 나뉘고 있으며, 상기 패턴부(72)는 바탕부(74) 대비 1mm 내지 3mm 더 두꺼운 두께를 가지며 형성되고 있으며, 따라서 상기 패턴부(72)만이 배향액 인쇄 장치를 통해 기판과 접촉함으로써 기판 상에 배향막을 형성하게 된다. As shown in FIG. 4, the
이때 상기 패턴부(72)를 잘 살펴보면 패턴부(72)는 그 테두리를 따라 1mm 내지 3mm 정도의 폭을 갖는 테두리부(72a)와 상기 테두리부(72a) 내측의 중앙부(72b)로 구성되고 있으며, 이들 두 영역(72a, 72b)은 서로 다른 메쉬(mesh)를 이루고 있음을 알 수 있다. 메쉬(mesh)란 가로세로 1인치인 영역에 대해 돌출되어 있는 망점수를 뜻한다. 도 5a와 도 5b를 참조하면 중앙부(72b)에 대해서는 작은 메쉬를 갖고 테두리부(72b)에 대해서는 큰 메쉬를 갖도록 구성되고 있음을 알 수 있다. At this time, if the
또한 도 6을 참조하면, 망점(76)과 망점(76) 사이의 홈부(78)라 정의되는 영역에 대해서도 중앙부(72b)에서의 깊이(d1)보다는 테두리부(72a)에서의 깊이(d2)가 낮게 형성되고 있음을 보이고 있다.Referring also to FIG. 6, the depth d2 at the
이러한 구조를 갖는 전사판(70)을 이용하여 기판 상에 배향막을 형성시는 배양액을 머금는 홈부(78)의 면적 및 깊이 차이에 의해 중앙부(72b)보다는 테두리부(72a)에서 배향액을 머금는 양이 작게되어 기판 상에 형성된 배향막의 마운트부의 높이가 줄어들도록 한 것이다.The amount of the alignment liquid contained in the
하지만, 이렇게 패턴부(72)에 대해 중앙부(72b)와 이를 감싸는 테두리부(72a)에 대해 메쉬 크기를 달리 형성한 전사판(70)을 이용하여 배향막을 형성한다 할지라도 상기 배향막은 여전히 그 중앙부 대비 그 두께가 두꺼운 마운트부가 발생되고 있는 실정이다.However, even when the alignment layer is formed using the
즉, 전사판(70)의 패턴부(72)에 의해 접촉함으로써 형성되는 배향막의 양끝단의 마운트부의 높이를 줄이기 위해 상기 패턴부(70)를 중앙부(72b)와 테두리부(72a) 두 개의 영역으로 나누어 제작하고 있지만, 이러한 구조를 갖는 전사판(70)을 이용하여 배향막을 기판 상에 인쇄하면 상기 배향막의 시작부에 대해서는 어느 정도 마운트부의 높이가 줄어드는 효과가 있지만, 끝단부에 대서는 그 마운트부의 두께가 줄어들지 않고 있는 실정이다. 이는 배향막 인쇄장치를 통한 인쇄방향에 따라 배향액이 패턴부의 끝단으로 밀려나는 유체의 흐름을 고려하지 않았기 때문이다. That is, in order to reduce the height of the mount portions at both ends of the alignment film formed by contacting with the
도 7a와 도 7b는 2영역을 갖는 패턴부를 포함하는 전사판을 이용하여 기판상에 배향막을 인쇄 시 배향막의 인쇄 시작부와 끝단부에서의 두께를 측정한 그래프이다.7A and 7B are graphs of thicknesses at the printing start and end portions of the alignment film when the alignment film is printed on the substrate using a transfer plate including a pattern portion having two regions.
도시한 바와 같이, 전사판 패턴부의 중앙부에 대응하는 영역(도 7a의 좌측 및 도 7b의 우측)은 평균적으로 500Å 내지 1000Å 정도의 두께를 가짐을 알 수 있지만, 시작부(도 7a의 돌출부분)의 경우 그 최대치가 2500Å정도가 되고 있으며, 끝단부(도 7b의 돌출부분)에 있어서는 그 최대치가 4500Å정도의 두께를 갖게 됨을 알 수 있다. As shown, it can be seen that the region corresponding to the center portion of the transfer plate pattern portion (left side of FIG. 7A and right side of FIG. 7B) has an average thickness of about 500 mW to 1000 mW, but the beginning part (protrusion part of FIG. 7A) In the case of the maximum value is about 2500Å, it can be seen that at the end (projection of Figure 7b) the maximum value has a thickness of about 4500Å.
이러한 문제를 해결하고자 전사판의 패턴부에 있어 테두리부의 메쉬를 더욱 크게하여 홈부가 차지하는 영역을 줄이게 되면, 인쇄 시작점에서의 배향막 인쇄 특성이 저하되어 뜯김 등이 발생하고 있는 실정이다. In order to solve such a problem, when the mesh of the edge portion of the pattern portion of the transfer plate is further increased to reduce the area occupied by the groove portion, the alignment film printing characteristics at the printing start point are deteriorated and tearing occurs.
따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 전사판의 구조를 변경하여 기판 상에 인쇄된 배향막의 중앙부와 테두리부에서의 두께의 현격한 차이를 최소화 할 수 있는 전사판을 제공하는 것을 그 목적으로 한다. Accordingly, the present invention is to provide a transfer plate that can minimize the sharp difference in the thickness of the center portion and the edge portion of the alignment film printed on the substrate by changing the structure of the transfer plate to solve the above problems. For that purpose.
본 발명에 따른 배향막 인쇄용 전사판은, 베이스 필름과; 상기 베이스 필름 위에 위치하고, 일측의 제 1 영역과 타측의 제 2 영역과 상기 제 1 및 제 2 영역 사이의 제 3영역으로 나뉘며, 상기 각 영역에는 철부인 다수의 망점이 형성되어 있는 패턴부와; 상기 베이스 필름 위로 상기 패턴부 주변에 상기 패턴부의 두께보다 얇은 두께를 가지며 형성된 바탕부를 포함하며, 각 영역의 전체 면적에 대한 상기 망점 상부면의 면적의 합의 비로 정의되는 개구율이 상기 제 2 영역과 타 영역에서 서로 다른 값을 갖고, 상기 패턴부는 배향막 인쇄장치에 장착되어 기판상에 배향막을 인쇄 시 상기 제 1 영역이 가장 먼저 기판과 접촉하는 것이 특징이다. The transfer plate for orientation film printing which concerns on this invention is a base film; A pattern portion disposed on the base film, divided into a first region on one side, a second region on the other side, and a third region between the first and second regions, and each of which has a plurality of halftones formed as convex portions; A base portion formed with a thickness thinner than the thickness of the pattern portion around the pattern portion over the base film, wherein an opening ratio defined by a ratio of the sum of the area of the upper surface of the dot dot to the total area of each region is different from the second region; In the region having different values, the pattern portion is mounted on the alignment film printing apparatus so that the first region contacts the substrate first when printing the alignment film on the substrate.
상기 제 1 내지 제 3 영역에서의 상기 개구율을 각각 X1, Y1, Z1라 했을 경우, Y1 > X1 ≥ Z1의 관계를 만족하도록 상기 패턴부가 형성된 것이 특징이며, 상기 망점의 단위 면적당 개수를 메쉬로 정의하고, 상기 제 1 내지 제 3 영역에서의 메쉬 크기를 각각 X2, Y2, Z2라 했을 경우, Y2 > X2 ≥ Z2의 관계를 만족하도록 상기 패턴부가 형성된 것이 특징이다. When the aperture ratios in the first to third regions are X1, Y1, and Z1, respectively, the pattern part is formed to satisfy a relationship of Y1> X1 ≥ Z1, and the number of unit dots of the dot is defined as a mesh. When the mesh sizes in the first to third regions are X2, Y2, and Z2, respectively, the pattern portion is formed to satisfy the relationship of Y2> X2? Z2.
또한, 상기 제 1 내지 제 3 영역 각각에 있어 상기 망점 각각의 상부면 면적을 X3, Y3, Z3라 했을 경우, Y3 > X3 ≥ Z3의 관계를 만족하도록 상기 패턴부가 형성된 것이 특징이다. In the case where the upper surface area of each of the dots is X3, Y3, and Z3 in each of the first to third regions, the pattern portion is formed to satisfy the relationship of Y3> X3 ≥ Z3.
또한, 상기 망점 사이의 요부를 홈부로 정의하고, 상기 제 1 내지 제 3 영역에서의 상기 홈부 깊이를 각각 D1, D2, D3라 했을 경우, D2 < D1 ≤ D3의 부등식을 만족하도록 상기 패턴부가 형성된 것이 특징이다. Also, when the recesses between the dots are defined as grooves, and the depths of the grooves in the first to third regions are D1, D2, and D3, respectively, the pattern portions are formed to satisfy an inequality of D2 <D1? Is characteristic.
또한, 상기 제 1 및 제 2 영역은 그 폭이 0.3mm 내지 2mm인 것이 특징이며, 상기 베이스 필름은 폴리에틸렌 필름이며, 상기 바탕부와 패턴부는 광경화성 수지 로 이루어진 것이 특징이다. In addition, the first and the second region is characterized in that the width of 0.3mm to 2mm, the base film is a polyethylene film, the base portion and the pattern portion is characterized by consisting of a photocurable resin.
본 발명의 실시예에 따라 전사판 패턴부의 중앙부와 제 1 및 제 2 에지부 각각에 메쉬 크기 또는 망점 상부면의 면적이 다른 망점 구조를 갖도록 형성한 전사판을 이용하여 기판상에 배향막을 형성하면, 인쇄 방향성이 고려됨으로써 상기 형성된 배향막의 에지부에서의 배향막의 두께가 급격히 증가하는 마운트부의 높이를 줄여, 배향막의 두께 균일도를 향상시키는 효과가 있다. According to the exemplary embodiment of the present invention, when the alignment layer is formed on the substrate by using a transfer plate formed in the center portion of the transfer plate pattern portion and each of the first and second edge portions, the transfer plate is formed to have a mesh structure having different mesh sizes or areas of the top surface of the dots. By considering the printing orientation, the height of the mount portion in which the thickness of the alignment film at the edge portion of the formed alignment film is rapidly increased can be reduced, thereby improving the thickness uniformity of the alignment film.
이러한 배향막의 마운트부의 두께가 줄어듦으로 해서 러빙 불량을 억제 할 수 있으며, 나아가 씰패턴과의 접촉에 의한 뜯김 불량을 더욱 억제하는 효과가 있다. By reducing the thickness of the mount portion of the alignment layer, rubbing defects can be suppressed, and furthermore, tearing defects due to contact with the seal pattern can be further suppressed.
이하 본 발명에 따른 실시예에 의한 배향막 형성용 전사판을 도면을 참조하여 설명한다. Hereinafter, a transfer plate for forming an alignment film according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
본 발명의 특징은 배향막 인쇄장치를 통해 기판에 전사되는 배향막에 있어서 그 중앙부 대비 테두리부의 막두께가 3배 내지 4배 높게 형성되는 것을 억제할 수 있는 전사판을 제공하는 것이다. A feature of the present invention is to provide a transfer plate capable of suppressing the film thickness of the edge portion of the alignment film transferred to the substrate via the alignment film printing apparatus from three times to four times higher than the central portion thereof.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 전사판의 4개의 패턴부에 대한 평면도이며, 도 9a와 도 9b는 도 8의 A영역과 B영역을 각각 확대 도시한 평면도이며, 도 10은 도 8을 절단선 Ⅹ-Ⅹ를 따라 절단한 부분에 대한 단면도이다. 8 is a plan view of four pattern parts of a transfer plate according to an exemplary embodiment of the present invention, FIGS. 9A and 9B are enlarged plan views of regions A and B of FIG. 8, respectively, and FIG. It is sectional drawing about the part cut along the cutting line VIII-VIII.
도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 전사판(110)은 베이스 필름(112)과 상기 베이스 필름 상부로 기판(미도시)과 접촉하여 배향액을 상기 기판(미도시)에 전사시키는 다수의 패턴부(120)와, 상기 다수의 패턴부(120) 주변에 위치한 바탕부(115)로 구성된다. 이때, 본 발명의 가장 특징적인 구성으로써 상기 각 패턴부(120)에 있어서, 배향막 인쇄장치(미도시)에 장착되어 기판(미도시) 상에 배향막을 형성 시 가장 먼저 기판(미도시)과 접촉이 되는 패턴부(120)의 일측 테두리부를 제 1 에지부(EA1), 그리고 이와 반대측에 위치하여 가장 나중에 기판(미도시)과 접촉이 이루어지는 제 2 에지부(EA2)와, 이들 제 1 및 제 2 에지부(EA1, EA2) 사이에 위치한 중앙부(CA)로 구성되며, 제 1 및 제 2 에지부(EA1, EA2)와 상기 중앙부(CA)는 서로 다른 메쉬 크기를 가지며 구성되고 있다. 이때, 상기 제 1 및 제 2 에지부(EA1, EA2)는 그 폭(w)이 각각 0.3mm 내지 2mm가 되는 것이 특징이다. As shown, the
메쉬(mesh)란 가로, 세로 각각 1인치 즉 2.54cm의 정사각형에 형성되는 망점수를 의미한다. 예를들어 400 메쉬 전사판이라 하는 것은 상기 패턴부에 있어 가로, 세로 길이가 각각 2.54cm인 정사각형 영역을 정의하였을 때, 상기 정사각형 안에 400개의 망점이 형성된 전사판을 칭한다.Mesh refers to the number of meshes formed in a square of 1 inch or 2.54 cm in width and length, respectively. For example, a 400 mesh transfer plate refers to a transfer plate in which 400 dots are formed in the square when a square region having a horizontal and vertical length of 2.54 cm is defined in the pattern portion.
또한 본 발명의 실시예에 따른 전사판(110)의 패턴부(120)에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 에지부(EA1, EA2)와 중앙부(CA)는 메쉬 크기 대신에 망점(130) 상부면의 면적 또는 망점(130)의 심도가 서로 다르게 형성되는 것이 특징이다. 여기서, 망점(130)의 개구율이란 각 패턴부(120) 전체 면적 대비 상기 망점(130)의 기판과 접촉하는 상부면(표면)이 차지하는 면적 비를 뜻하며, 망점(130)의 심도는 상기 망점(130)의 높이 또는 망점(130)과 망점(130) 사이에 위치하는 홈부(135)의 깊이를 뜻한다. 이때, 메쉬 크기 또는 망점(130) 상부면의 면적은 상기 제 1 및 제 2 에지부(EA1, EA2)와 중앙부(CA)의 개구율을 결정하게 된다. 즉, 동일한 메쉬 크기를 갖는 경우, 망점(130) 상부면의 면적을 크게 하면 개구율이 증가하게 되며, 이는 개구율과 망점(130) 상부면의 면적이 비례함을 뜻한다. 한편, 동일한 망점(130) 상부면의 면적을 갖는 경우, 메쉬 크기를 증가시키면, 즉 동일면적에 망점(130)의 수를 증가시키면, 개구율이 증가하게 되며, 개구율과 메쉬 크기가 서로 비례함을 의미한다. In addition, in the
상기 패턴부(120)가 배향막 인쇄 장치의 아니록스롤과 접촉함으로서 머금게 되는 배향액에 있어 그 머금는 양은 패턴부(120)의 개구율이 작아질수록, 망점(130)의 심도가 커질수록 더 커지게 되며, 이 경우 기판 상에 형성되는 배향막은 그 두께가 두껍게 형성되게 된다. In the alignment liquid that the
이러한 사실을 바탕으로 하여 본 발명에 따른 배향막 인쇄용 전사판((110))은 그 패턴부(120)가 크게 3개의 영역으로 구성된다. 패턴부(120) 중 인쇄 시 기판과 제일 먼저 닿는 부분의 0.3mm 내지 2mm의 폭을 갖는 제 1 에지부(EA1)에 있어서의 상기 패턴부(120)의 개구율을 x, 중앙부(CA)에 있어서의 상기 패턴부(120)의개구율을 y, 그리고 인쇄 시 기판에 가장 마지막에 닿는 0.3mm 내지 2mm의 폭을 갖는 제 2 에지부(EA2)에 있어서의 상기 패턴부(120)의 개구율을 z라 할 때, z > x ≥ y의 관계가 성립하도록 상기 패턴부(120)가 구성되고 있는 것이 특징이다.Based on this fact, in the
또한, 상기 망점(130)의 심도의 경우는, 제 1 에지부(EA1)와 중앙부(CA)와 제 2 에지부(EA2)에서의 망점의 심도를 각각 D1, D2, D3라 할 때, D3 < D1 ≤ D2의 관계가 성립되도록 형성되고 있는 것이 또 다른 특징이다.In addition, in the case of the depth of the
도 9a 및 도 9b에는, 망점(130)의 크기(s)가 상기 제 1 및 제 2 에지부(EA1, EA2) 및 중앙부(CA)에서 동일한 경우(망점(130)이 원형인 경우가 도시되어 있으며 망점(130) 상부면의 면적은 크기(s)에 비례하게 된다), 메쉬 크기를 달리하는 구성이 도시되어 있다. 즉, 동일한 면적을 기준으로 볼때, 중앙부(CA)에는 가장 적은 수의 망점(130)이 형성되어 있고, 제 2 에지부(EA2)에는 가장 많은 수의 망점(130)이 형성되어 있다. 따라서, 제 2 에지부(EA2)의 개구율이 가장 크며, 중앙부(CA)의 개구율이 가장 작게 된다. 도면에는 제 1 에지부(EA1)의 개구율이 중앙부(CA)보다 큰 경우를 도시하고 있으나, 제 1 에지부(EA1)와 중앙부(CA)의 개구율은 동일할 수 있다.9A and 9B, the case where the size s of the
일례로써 패턴부(120)의 중앙부(CA)는 400 메쉬로 형성된다고 하면, 제 1 에지부(EA1)는 400 메쉬와 같거나 이보다 큰 400 내지 600 메쉬로 형성되며, 제 2 에지부(EA2)에 대해서는 제 1 에지부(EA1)의 메쉬보다 큰 메쉬를 갖도록 형성되는 것이 특징이다. As an example, if the central portion CA of the
도 10에는 서로 다른 망점(130)의 심도를 갖는 패턴부(120)를 포함하고 있는 전사판(110)의 단면도가 도시되어 있다. 전술한 바와 같이, 전사판(110)의 베이스 필름(112) 상에는 바탕부(115), 상기 바탕부(115)보다 큰 높이를 갖는 패턴부(120)가 형성되어 있으며, 상기 패턴부(120)는 제 1 및 제 2 에지부(EA1, EA2)와 그 사 이의 중앙부(CA)로 구성된다. 그리고, 상기 제 1 및 제 2 에지부(EA1, EA2)와 중앙부(CA) 각각에는 철(凸)부인 다수의 망점(130)과, 상기 다수의 망점(130) 사이에 요(凹)부인 다수의 홈부(135)가 형성되어 있다.10 is a cross-sectional view of the
여기서, 상기 망점(130)의 크기(s)는 동일하며 서로 다른 메쉬 크기를 갖는 제 1 및 제 2 에지부(EA1, EA2) 및 중앙부(CA)에 있어서, 제 1 에지부(EA1)의 홈부(135)의 심도(d1)는 상기 제 2 에지부(EA2)의 심도(d3)보다 크고, 상기 중앙부(CA)의 심도(d2)보다 작다. 심도의 크기는 패턴부(120)의 각 영역에서 머금는 배향액의 양 및 형성될 배향막의 두께에 비례하기 때문에, 제 2 에지부(EA2)에 대응하는 배향막의 두께를 가장 작게 할 수 있게 된다.Here, the size s of the
한편, 망점(130)의 심도의 경우, 전사판(110)의 제조 특성상 자유도가 높지않아 임의적으로 조절될 수 없지만, 전사판(110)의 개구율(A/R)과 메쉬에 따른 망점 심도를 변화를 나타낸 그래프인 도 11을 참조하면, 망점 심도의 크기의 변화 추이는 메쉬 크기가 증가할수록 그리고 개구율이 증가할수록 작아지는 경향을 갖게 됨을 알 수 있다. On the other hand, in the case of the depth of the
따라서, 본 발명에 따른 전사판에 있어서, 도 8, 9a, 9b 및 10을 참조하면, 망점(130) 심도는 메쉬 크기 및 개구율에 반비례하는 경향을 갖게 되므로, 메쉬 크기 또는 개구율을 '제 2 에지부(EA2) > 제 1 에지부(EA1) ≥ 중앙부(CA)'순이 되도록 형성하는 경우, 자연적으로 망점 심도는'제 2 에지부(EA2) < 제 1 에지부(EA1) ≤ 중앙부(CA)'순으로 그 크기를 갖게 됨을 알 수 있다. Therefore, in the transfer plate according to the present invention, referring to Figures 8, 9a, 9b and 10, the depth of the
도 12a와 도 12b는 본 발명에 따른 전사판을 장착한 배향막 인쇄 장치를 통 해 기판 상에 배향막을 형성했을 경우, 제 1 에지부와 중앙부의 경계와, 중앙부와 제 2 에지부의 경계에서의 배향막의 두께를 각각 측정한 그래프이다. 12A and 12B show an alignment film at the boundary between the first edge portion and the center portion, and at the boundary between the center portion and the second edge portion, when the alignment film is formed on the substrate through the alignment film printing apparatus equipped with the transfer plate according to the present invention. Is a graph measuring the thickness of each.
우선, 제 1 에지부와 중앙부의 경계에서 배향막의 두께를 나타낸 도 12a를 참조하면, 인쇄 시 가장 먼저 닿은 제 1 에지부에서의 배향막의 두께는 최대치가 2500Å정도가 되고 있으며, 이는 종래와 비교할 때 유사한 수준이라 할 수 있다.First, referring to FIG. 12A, which shows the thickness of the alignment film at the boundary between the first edge portion and the center portion, the thickness of the alignment film at the first edge portion that is first touched upon printing is about 2500 kPa, which is compared with the prior art. It is a similar level.
중앙부와 제 2 에지부의 경계에서 배향막의 두께를 나타낸 도 12b를 참조하면, 인쇄 시 가장 나중에 기판과 접촉하는 제 2 에지부에서의 배향막 두께는 최대치가 3300Å정도가 됨을 알 수 있으며, 이는 종래의 중앙부와 에지부로 패턴부를 달리 설계한 전사판을 이용하여 배향막을 형성한 경우대비 1000Å 정도 더 낮은 두께를 가지고 형성되었음을 알 수 있다. Referring to FIG. 12B, which shows the thickness of the alignment film at the boundary between the center portion and the second edge portion, it can be seen that the thickness of the alignment layer at the second edge portion which is in contact with the substrate at the time of printing reaches a maximum of about 3300
도 13a 및 도 13b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전사판의 패턴부에 대한 부분 확대도이며, 각각 도 8의 A 및 B 부분에 해당된다.13A and 13B are partially enlarged views of a pattern portion of a transfer plate according to another exemplary embodiment of the present invention, and correspond to portions A and B of FIG. 8, respectively.
도시한 바와 같이, 제 1 및 제 2 에지부(EA1, EA2) 및 중앙부(CA)에 있어서 메쉬의 크기는 동일하다. 즉, 동일한 면적에 형성되어 있는 망점(130)의 개수는 동일하다. 반면, 상기 제 1 및 제 2 에지부(EA1, EA2) 및 중앙부(CA)에 있어서 망점(130) 상부면의 면적은 모두 상이하다. 원형의 망점(130)을 보면, 상기 제 1 에지부(EA1)에서의 망점(130)의 크기(s2)는 상기 중앙부(CA)에서의 망점(130)의 크기(s1)보다 크고, 상기 제 1 에지부(EA2)에서의 망점(130)의 크기(s3)보다 작다. 전술한 바와 같이, 망점(130)의 크기는 개구율에 비례하며, 개구율은 형성될 배향막의 두께에 반비례하게 된다. 따라서, 망점(130)의 크기(s3)가 가장 큰 제 1 에지 부(EA2)의 개구율이 가장 크며, 형성될 배향막의 두께는 가장 작게 된다.As shown, the mesh sizes are the same in the first and second edge parts EA1 and EA2 and the center part CA. That is, the number of
위와 같은 구성의 패턴부가 형성된 전사판을 이용하여 배향막을 형성하는 경우, 앞선 도 12a 및 도 12b에서와 동일한 경향을 갖는 배향막을 얻을 수 있게 된다. 즉, 인쇄시 가장 나중에 기판과 접촉하는 제 2 에지부에서의 배향막 두께가 종래보다 작게 되며, 배향막의 두께 균일도가 향상된다.When the alignment film is formed by using the transfer plate on which the pattern portion having the above configuration is formed, the alignment film having the same tendency as in FIGS. 12A and 12B can be obtained. That is, the thickness of the alignment film at the second edge portion which comes into contact with the substrate at the time of printing at last becomes smaller than before, and the thickness uniformity of the alignment film is improved.
이후에는 전술한 구조를 갖는 전사판의 제작 방법에 대해 간단히 설명한다. Hereinafter, the manufacturing method of the transfer plate which has the above-mentioned structure is briefly demonstrated.
배향막 인쇄에 이용되는 전사판은 APR(Asahi kasei Photosensitive Resin)이라고 말하는 광경화성 수지를 베이스 필름이라 불리우는 폴리에틸렌 필름과 접착하여 형성한다. The transfer plate used for alignment film printing is formed by adhering a photocurable resin called APR (Asahi kasei Photosensitive Resin) with a polyethylene film called a base film.
우선, 그 하부에 UV램프가 위치하고, 상기 UV램프 위에 평탄한 표면을 가지며 투명한 석영 또는 크리스탈 재질의 두꺼운 베이스 기판이 구비되며, 상기 베이스 기판에 대응하여 다수의 UV 램프 및 평탄하며 투명한 표면을 갖는 커버를 구비한 노광 장치의 상기 베이스 기판 위에 전사판의 패턴부에 형성될 메쉬 크기에 대응하는 개수의 원형 투과부와 그 이외의 영역은 빛의 투과를 차단하는 차단부로 이루어진 네가티브 필름을 위치시킨다. First of all, a UV lamp is located underneath, a thick base substrate having a flat surface and transparent quartz or crystal material is provided on the UV lamp, and a cover having a plurality of UV lamps and a flat and transparent surface corresponding to the base substrate. On the base substrate of the provided exposure apparatus, a negative number of circular transmissive portions corresponding to the size of the mesh to be formed on the pattern portion of the transfer plate and regions other than the above is placed on the negative film made of a blocking portion that blocks the transmission of light.
패턴부에 있어서의 메쉬 크기가 동일한 경우를 전제로 할 때, 상기 네가티브 필름은 전사판의 패턴부의 중앙부와 제 1 및 제 2 에지부에 대응하는 부분에서 상기 빛을 투과시키는 투과부의 크기가 서로 다르게 형성되어 있는 것이 특징이다. 전사판 패턴부의 제 1 에지부(인쇄 시 가장 먼저 기판과 접촉하는 부분)에 대응하는 부분을 제 1 영역, 중앙부에 대응하는 부분을 제 2 영역, 제 2 에지부(인쇄 시 가장 나중에 기판과 접촉이 이루어지는 부분)에 대응하는 부분을 제 3 영역이라 정의할 때, 즉, 제 2 영역의 원 패턴의 크기가 가장 작고, 제 1 영역의 원 패턴은 중간 크기를 가지며, 제 3 영역의 원 패턴 크기가 가장 크게 형성되고 있는 것이 특징이다. Assuming that the mesh sizes of the pattern portions are the same, the negative film has different sizes of transmission portions for transmitting the light at the center portions of the pattern portions of the transfer plate and the portions corresponding to the first and second edge portions. It is characterized by being formed. A portion corresponding to the first edge portion of the transfer plate pattern portion (the portion that contacts the substrate first when printing), a first region, a portion corresponding to the center portion the second region, and a second edge portion (the last portion contacting the substrate when printing) Is defined as a third region, that is, the size of the circle pattern of the second region is the smallest, the circle pattern of the first region has an intermediate size, and the size of the circle pattern of the third region Is characterized by the largest formation.
이후, 전술한 구조를 갖는 네가티브 필름 위로 광경화성 수지인 APR을 일정한 두께로 도포하여 광경화성 수지층을 형성하고, 상기 광경화성 수지층 위에 폴리에틸렌 재질의 투명한 베이스 필름을 접착시킨다. Subsequently, APR, which is a photocurable resin, is applied to a negative film having the above-described structure in a predetermined thickness to form a photocurable resin layer, and a transparent base film of polyethylene is adhered on the photocurable resin layer.
다음, 상기 베이스 필름이 부착된 광경화성 수지층에 대해 상기 커버를 위치시킨 후, 상기 노광 장치의 베이스 기판 하부 및 상기 커버 내에 위치한 UV 램프를 온(on) 상태로 점등하여 자외선 노광을 실시한다. 이때, 상기 노광장치 하부에 위치한 UV램프를 통해 나온 자외선은 상기 네가티브 필름내의 다수의 원 형태의 투과부를 통해 상기 광경화성 수지층에 도달하게 되고, 이때 상기 광경화성 수지층 중 상기 원 형태의 투과부를 통과하여 자외선이 조사되는 부분은 상기 자외선에 의해 경화된다. 또한, 상기 커버 내부의 UV램프에 의해 베이스 필름이 부착된 부분에 대응해서는 전면에 자외선이 조사되게 되며, 이러한 자외선의 전면 조사에 의해 상기 베이스 필름과 접촉하는 부분이 전면적으로 경화되게 된다. Next, after the cover is positioned with respect to the photocurable resin layer to which the base film is attached, UV exposure is performed by lighting a UV lamp located under the base substrate of the exposure apparatus and in the cover in an on state. In this case, the ultraviolet rays emitted through the UV lamp located under the exposure apparatus reach the photocurable resin layer through the plurality of circular transmission portions in the negative film, and the circular transmission portion of the photocurable resin layer is The portion through which ultraviolet rays are irradiated is cured by the ultraviolet rays. In addition, ultraviolet rays are irradiated to the entire surface in response to the portion where the base film is attached by the UV lamp inside the cover, and the portion contacting the base film is hardened entirely by irradiation of the entire surface of the ultraviolet rays.
이후, 상기 자외선 노광을 마친 광경화성 수지층이 형성된 베이스 필름에 대해 세정을 실시하면, 상기 광경화성 수지층 중 자외선에 반응하여 경화된 부분은 남기고 나머지 광조사가 이루어지지 않은 부분은 세정 시 제거된다. 따라서, 양면에 대해 자외선 조사가 실시된 부분에 대해서는 광경화성 수지층 두께 그대로를 유 지한 상태로 패턴부를 이루며 남게 되고, 커버에 의해 자외선이 조사된 부분은 상기 패턴부보다 얇은 두께를 갖는 바탕부를 이루게 된다. Subsequently, when the base film on which the photocurable resin layer has been subjected to the ultraviolet light exposure is washed, the cured portion of the photocurable resin layer is removed while the remaining photoirradiation is not removed. . Therefore, the portions irradiated with ultraviolet rays on both sides remain to form the pattern portion while maintaining the thickness of the photocurable resin layer, and the portions irradiated with the ultraviolet rays by the cover form the base portion having a thickness thinner than the pattern portions. do.
다음, 상기 전술한 바와같이 세정에 의해 패턴부와 바탕부를 이루게 된 전사판은 건조공정을 통해 건조한 후, 후노광 공정을 진행하여 상기 패턴부와 바탕부의 표면을 더욱 경화시킴으로서 완성되게 된다. Next, as described above, the transfer plate forming the pattern portion and the base portion by washing is completed by drying through a drying process, followed by a post-exposure process to further harden the surface of the pattern portion and the base portion.
전술한 바와같은 공정을 통해 제작된 전사판은 그 패턴부에 있어 중앙부와 제 1 및 제 2 에지부에서 각각 메쉬 또는 망점 상부면의 면적(망점의 크기) 나아가 망점의 심도까지 서로 다른 구조를 이루게 된다. The transfer plate manufactured through the above-described process has a different structure from the center portion and the first and second edge portions to the area of the mesh or the upper surface of the mesh (the size of the dots) and the depth of the dots in the pattern portion, respectively. do.
상기 망점의 크기 및 망점의 심도는 자외선 노광 시, 노광 시간과 네가티브 필름상의 원 패턴의 크기에 의해 결정되게 되며, 네가티브 필름 상에 구현된 원형태의 투과부 크기가 작을수록 망점의 크기가 작아지며, 또한 망점의 심도 또는 홈의 깊이가 깊게 형성된다. The size of the dot and the depth of the dot is determined by the exposure time and the size of the circle pattern on the negative film during ultraviolet exposure, the smaller the size of the dot is the smaller the size of the circular transmission portion implemented on the negative film, In addition, the depth of the dot or the depth of the groove is formed deep.
이후에는 전술한 구조를 갖는 본 발명에 따른 전사판을 이용하여 기판상에 배향막을 형성하는 방법에 대해 간단히 설명한다. Hereinafter, the method for forming the alignment film on the substrate using the transfer plate according to the present invention having the above-described structure will be briefly described.
도 14a 및 14b는 각각 본 발명에 따른 전사판을 장착한 배향막 인쇄장치를 이용하여 기판상에 배향막을 형성하는 공정을 간략히 도시한 도면이다. 14A and 14B are views schematically showing a process of forming an alignment film on a substrate using an alignment film printing apparatus equipped with a transfer plate according to the present invention, respectively.
도시한 바와 같이, 일 실시예에 따른 배향막 인쇄장치(150)는 일방향으로 왕복 운동하는 인쇄 테이블(152)과, 상기 인쇄 테이블(152)과 맞물려 회전하는 판동(155)과 상기 판동(155)상에 장착된 전사판(110)과, 상기 전사판(110)에 배향액(160)을 전사시키는 아니록스롤(158)과, 상기 아니록스롤(158)에 배향액(160)을 고르게 발라주는 닥터롤(165)과, 상기 닥터롤(165)과 아니록스롤(158) 사이에 배향액(160)을 공급하는 디스펜서(168)를 포함하여 구성되고 있으며, 또 다른 인쇄장치는 전술한 구성에서 상기 아니록스롤(158)에 배향액을 고르게 발라주는 닥터롤(165)을 대신하여 닥터 블레이드(169)가 구성되고 있음을 알 수 있다. 상기 닥터롤(165)과 닥터 블레이드(169)는 모두 상기 아니록스롤(158)과 접촉하며 상기 아니록스롤(158)의 표면에 배향액(160)이 고르게 일정한 두께를 갖도록 하는 역할을 하는 것이다. As shown, the alignment
한편, 상기 인쇄 테이블(152)에 기판(170)을 위치시키면, 상기 인쇄 테이블(152)이 일방향으로 일정한 속도로 움직이고, 상기 인쇄 테이블(152)과 맞물려 있는 판동(155)이 등속도로 회전하게 되며, 이때, 상기 판동(155)상에 장착된 전사판(110)이 상기 아니록스롤(158)과 접촉하여 배향액(160)을 상기 전사판(110)에 발라주게 되고, 이러한 상태에서 상기 전사판(110)이 상기 인쇄 테이블(152)상에 위치한 기판(170)과 접촉하며, 상기 전사판(110)에 머금어진 배향액(160)을 상기 기판(170)에 전사시킴으로써 상기 기판(170)상에 배향막(173)이 형성된다. On the other hand, when the
이 경우, 본 발명에 따른 전사판(110)은 기판(170)과 접촉하는 패턴부(미도시)에 있어서 기판(170)과의 접촉이 시작되는 제 1 에지부(미도시)와, 중앙부(미도시)와 그리고 가장 마지막에 접촉하는 제 2 에지부(미도시)에서 각각 그 개구율(메쉬 크기 또는 망점의 크기) 또는 망점의 심도를 달리하고 있는 바, 제 2 에지부(미도시)에 의해 형성되는 배향막 부분에서의 두께가 종래의 이중 구조 패턴부를 갖는 전사판을 이용하여 형성된 배향막 형성 대비 현저히 줄어들게 되어 배향막의 두께 균일도가 향상된다. In this case, the
도 1은 일반적인 액정표시장치의 분해사시도.1 is an exploded perspective view of a general liquid crystal display device.
도 2는 종래의 배향막 인쇄 장치에 있어 판동에 장착된 전사판으로부터 배향액이 기판으로 전사되는 것을 도시한 도면.2 is a view showing that the alignment liquid is transferred to a substrate from a transfer plate mounted on a plate in a conventional alignment film printing apparatus.
도 3은 전사판과 기판이 접촉함으로써 배향막이 형성된 상태를 도시한 단면도.3 is a cross-sectional view showing a state in which an alignment film is formed by contacting a transfer plate and a substrate.
도 4는 종래의 중앙부와 주변부에 있어 배향액을 머금는 양을 달리하도록 설계된 전사판의 하나의 패턴부를 도시한 평면도.4 is a plan view showing one pattern portion of a transfer plate designed to vary the amount of alignment liquid in the central and peripheral portions of the prior art;
도 5a와 도 5b는 도 4에 있어 A, B영역을 각각 확대 도시한 평면도.5A and 5B are plan views showing enlarged areas A and B in FIG. 4, respectively.
도 6은 도 4를 절단선 Ⅵ-Ⅵ을 따라 절단한 부분에 대한 단면도.FIG. 6 is a cross-sectional view of a portion taken along the cutting line VI-VI of FIG. 4. FIG.
도 7a와 도 7b는 2영역을 갖는 패턴부를 포함하는 전사판을 이용하여 기판상에 배향막을 인쇄 시 배향막의 인쇄 시작부와 끝단부에서의 두께를 측정한 그래프.7A and 7B are graphs of measuring thicknesses at the printing start and end portions of an alignment film when the alignment film is printed on a substrate using a transfer plate including a pattern portion having two regions.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 전사판의 4개의 패턴부에 대한 평면도.8 is a plan view of four pattern portions of the transfer plate according to the embodiment of the present invention;
도 9a와 도 9b는 도 8의 A영역과 B영역을 각각 확대 도시한 평면도.9A and 9B are enlarged plan views of regions A and B of FIG. 8, respectively.
도 10은 도 8을 절단선 Ⅹ-Ⅹ를 따라 절단한 부분에 대한 단면도.FIG. 10 is a cross-sectional view of a portion taken along the cutting line VIII-VIII of FIG. 8; FIG.
도 11은 전사판의 개구율과 메쉬에 따른 망점 심도를 변화를 나타낸 그래프.11 is a graph showing a change in the depth of the halftone according to the aperture ratio and the mesh of the transfer plate.
도 12a와 도 12b는 본 발명에 따른 전사판을 장착한 배향막 인쇄장치를 통해 기판 상에 배향막을 형성했을 경우, 제 1 에지부와 중앙부의 경계와, 중앙부와 제 2 에지부의 경계에서의 배향막의 두께를 각각 측정한 그래프. 12A and 12B illustrate an alignment film at the boundary between the first edge portion and the center portion, and at the boundary between the center portion and the second edge portion when the alignment film is formed on the substrate through the alignment film printing apparatus equipped with the transfer plate according to the present invention. Graph measuring each thickness.
도 13a 및 도 13b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전사판의 패턴부 일부에 대한 각각의 평면도.13A and 13B are respective plan views of a portion of a pattern portion of a transfer plate according to another embodiment of the present invention.
도 14a 및 14b는 각각 본 발명에 따른 전사판을 장착한 배향막 인쇄장치를 이용하여 기판상에 배향막을 형성하는 공정을 간략히 도시한 도면.14A and 14B are views schematically showing a process of forming an alignment film on a substrate using an alignment film printing apparatus equipped with a transfer plate according to the present invention, respectively.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
110 : 전사판 115 : 바탕부110: transfer plate 115: the base
120 : 패턴부 CA : (패턴부의)중앙부120: pattern part CA: center part (pattern part)
EA1 : (패턴부의)제 1 에지부 EA2 : (패턴부의)제 2 에지부EA1: first edge portion (pattern portion) EA2: second edge portion (pattern portion)
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