KR20090070678A - 기화기를 가지는 증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기화기에 반응가스 또는 용제를 공급하여, 액체상태의 소오스 물질의 기화효율을 증가시킨 기화기를 가지는 증착장치에 관한 것으로, 액체상태의 소오스 물질과 반응가스가 공급되어 불완전 반응상태의 혼합가스로 기화되는 기화기; 상기 기화기로부터 상기 혼합가스를 공급받아, 상기 소오스 물질과 상기 반응가스의 완전한 반응에 의해 기판 상에 박막을 증착시키는 공정챔버;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
기화기, 소오스 물질, 반응가스, 용제

Description

기화기를 가지는 증착장치{Depositing Apparatus including Vaporizer}
본 발명은 기화기를 가지는 증착장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로 기화기에 반응가스 또는 용제를 공급하여, 액체상태의 소오스 물질의 기화효율을 증가시킨 기화기를 가지는 증착장치에 관한 것이다.
일반적으로 물질을 박막 형태로 형성하는 방법은 물리적 충돌을 이용하는 스퍼터링 방법과, 기상의 원료가스를 공급하는 증착방법으로 구분된다. 반도체 소자의 고집적화에 따라 조성 및 두께의 균일도와 단차 피복성이 우수한, 기상증착방법을 선호한다. 상기와 같은 기상증착방법은 박막을 형성하는 데 필요한 소오스 가스을 기판이 안착된 반응챔버에 공급함으로써 기판 상에 원하는 박막을 증착하는 방식이다. 그러나 박막형성에 사용되는 소오스 물질이 기체상태가 아닌 액체상태로 존재하는 경우에, 액체상태의 소오스 물질을 기화시킨 후에 반응챔버의 내부의 기판의 표면까지 이송하게 된다. 따라서 반응챔버의 소오스 물질 주입구 근처까지는 소오스 물질을 액체상태로 공급하고, 기화기를 통하여 액체상태의 소오스 물질을 기화시켜 소오스 가스로 공급하는 방법을 사용한다.
그런데, 종래의 기화기는 액상의 소스물질이 완전하게 기화되지 않고, 액체상태와 기체상태의 소오스 물질이 반응챔버에 유입되어 박막 증착 공정을 진행하게 된다. 반응챔버에 유입된 액체상태의 소오스 물질로 인해, 증착박막의 균일성이 저하되거나, 또는 증착박막에 이물질(particle)이 발생하게 된다.
이하에서, 도 1를 참조하여 종래기술의 기화기를 사용하는 증착장치를 설명하면 다음과 같다. 도 1은 종래기술에 따른 기화기를 사용하는 증착장치의 개략도이다.
종래기술에서, 기화기가 설치되는 증착장치는, 기판(도시하지 않음) 상에 박막이 증착시키는 공정을 진행하는 공정챔버(10)와, 액체상태의 소오스 물질(12)을 공정챔버(10)에 공급하기 위한 소오스 공급부(14)와, 소오스 물질(12)을 기체 상태로 변환시켜 공정챔버(10)의 내부로 공급하는 기화기(16)와, 공정챔버(10)에 반응가스를 공급하기 위한 반응가스 공급부(52)와, 액체상태의 소오스 물질(12)을 기화기(16)로 이송시키기 위한 캐리어 가스 공급부(42)로 구성된다.
공정챔버(10)는 박막증착 공정이 진행되도록 진공상태를 유지할 수 있는 밀폐공간이고, 도면에는 도시하지 않았지만 내부공간에는 기판이 안착되는 기판 안치 대와 소오스 가스 및 반응가스를 분배시키는 분배장치가 마련되어 있다. 소오스 공급부(14)는 액체 상태의 소오스 물질(12)이 저장되는 저장탱크(18)와, 소오스 물질(12)을 저장탱크(18)에 공급하는 소오스 물질 공급원(도시되지 않음)과, 저장탱크(18)의 내부에서 소오스 물질(12)을 기화기(16)에 공급될 수 있도록 Ar과 같은 제 1 캐리어 가스를 공급하는 제 1 캐리어 가스 공급원(도시되지 않음)과, 액체 상태의 소오스 물질(12)의 유량을 제어하는 제 1 유량제어기(MFC)(50)로 구성된다.
기화기(16)와 연결되는 캐리어 가스 공급부(42)는 기화기(16)에서 기체 상태로 변환된 소오스 물질을 공급배관을 따라 공정챔버(10)로 공급하기 위한 Ar과 같은 제 2 캐리어 가스 공급원(도시되지 않음)과, 제 2 캐리어 가스의 유량을 제어하는 제 2 유량제어기(MFC)(20)와, 제 2 캐리어 가스를 가열하는 제 1 가열기(22)를 포함한다. 그리고, 공정챔버(10)에는 공급유량이 안정되지 않은 제 2 캐리어 가스를 공정챔버(10)로 공급하지 않고 펌핑 라인(pumping line)(26)을 통하여 트랩장치(24)로 공급한다. 트랩장치(24)에는 진공펌프(도시하지 않음)가 연결된다.
공정챔버(10)에 반응가스를 공급하기 위한 반응가스 공급부(52)는 반응가스 공급원(도시하지 않음)과, 반응가스의 유량을 제어하기 위한 제 3 유량제어기(MFC)(54)와, 반응가스를 가열하기 위한 제 2 가열기(56)를 포함한다. 기화기(16)와 펌핑 라인(26) 사이 및 기화기(16)와 가열기(22) 사이 등에는 필요에 따른 밸브를 장착하여 사용한다.
도 1과 같은 증착장치에서, 액체상태의 소오스 물질로 루테늄(Ru)을 포함한 소오스와 제 1 및 제 2 캐리어 가스로 아르곤(Ar)을 사용하고, 루테늄과 반응하는 반응가스로 산소(O2) 또는 오존(O3)을 사용하여, 루테늄 산화막(RuO2)을 기판 상에 증착한다. 그런데, 루테늄를 포함한 액체상태의 소오스를 기화기(16)에서 100 내지 190℃의 온도에서 기화시켜 공정챔버(10)에 공급하지만 기화효율이 낮아 기판 상에 증착되는 박막에서 헤이즈(Haze) 또는 브리스터(Blister)의 불량이 발생한다.
상기와 같은 종래기술의 문제를 해결하기 위하여, 본 발명은 기화기에서 소오스 물질과 반응가스의 불완전 반응상태로 기화시키고, 공정챔버에서 소오스 물질과 반응가스의 완전한 반응에 의해 기판 상에 양질의 박막을 증착하는 기화기를 가지는 증착장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 기화기에 소오스 물질과 용제를 공급하여, 소오스 물질의 기화효율을 증가시킨 기화기를 가지는 증착장치를 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기화기를 가지는 증착장치는, 액체상태의 소오스 물질과 반응가스가 공급되어 불완전 반응상태의 혼합가스로 기화되는 기화기; 상기 기화기로부터 상기 혼합가스를 공급받아, 상기 소오스 물질과 상기 반응가스의 완전한 반응에 의해 기판 상에 박막을 증착시키는 공정챔버;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기화기를 가지는 증착장치에 있어서, 상기 소오스 물질은 루테늄을 포함한 유기 소오스이고, 상기 반응가스는 산소 또는 오존이고, 상기 박막은 루테늄 또는 루테늄 산화막인 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기화기를 가지는 증착장치에 있어서, 상기 유기 소오스는 Ru[(C2H5)C5H4]2 또는 Ru[(C7H11)(C7H9)]인 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기화기를 가지는 증착장치에 있어서, 상기 액체상태의 소오스 물질은 지르코늄(Zr) 또는 티타늄(Ti)를 포함하고, 상기 반응가스는 산소 또는 질소이고, 상기 박막은 지르코늄 산화막(ZrO2) 또는 티타늄 질화막(TiN)인 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기화기를 가지는 증착장치에 있어서, 상기 기화기 내부의 온도는 100 내지 200℃ 정도이고, 상기 공정챔버의 온도는 250 내지 500℃ 정도인 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기화기를 가지는 증착장치에 있어서, 상기 기화기에서 상기 혼합가스를 상기 공정챔버로 운반하기 위해 캐리어 가스를 사용하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 기화기를 가지는 증착장치는 액체상태의 소오스 물질과 용제가 공급되어 상기 소오스 물질을 소오스 가스로 기화시키는 기화기; 반응가스를 공급하는 반응가스 공급부; 상기 기화기로부터 상기 소오스 가스와 상기 반응가스 공급부로부터 상기 반응가스를 공급받아 상기 소오스 가스와 상기 반응가스의 반응에 의해 기판 상에 박막을 증착시키는 공정챔버;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기화기를 가지는 증착장치에 있어서, 상기 소오스 물질은 루테늄을 포함한 유기 소오스이고, 상기 반응가스는 산소 또는 오존이고, 상기 박막은 루테늄 산화막이고, 상기 용제는 THF(TetraHydroFuran)과 같은 Alcohol계열 물질인 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기화기를 가지는 증착장치에 있어서, 상기 액체상태의 소오스 물질은 지르코늄(Zr) 또는 티타늄(Ti)를 포함하고, 상기 반응가스는 산소 또는 질소이고, 상기 박막은 지르코늄 산화막(ZrO2) 또는 티타늄 질화막(TiN)인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 기화기를 가지는 기판처리장치는 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명은 기화기에서 소오스 물질과 반응가스의 불완전 반응상태로 기화시키고, 공정챔버에서 소오스 물질과 반응가스의 완전한 반응에 의해 기판 상에 결함이 없는 양질의 박막을 증착한다. 또한 기화기에 소오스 물질과 용제를 공급하여, 소오스 물질의 기화효율을 증가시킨다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기화기를 사용하는 증착장치의 개략도 이다. 본 발명의 제 1 실시예에서는 액체상태의 소오스 물질과 캐리어 가스로 각각 루테늄을 포함한 유기 물질과 아르곤을 사용하고, 루테늄과 반응하는 반응가스로 산소 또는 오존을 사용한다. 그리고, 소오스 물질과 반응가스를 기화기에서 불완전 반응상태로 기화시키고, 공정챔버에서 완전한 반응에 의해 기판 상에 양질의 루테늄 산화막을 증착하는 방법을 설명한다.
본 발명의 제 1 실시예에서, 기화기가 설치되는 증착장치는, 소오스 물질이 공급되어 기판(도시하지 않음) 상에 박막이 증착되는 공정챔버(110)와, 액체상태의 소오스 물질(112)을 기화기(116)에 공급하는 소오스 공급부(114)와, 소오스 물질(112)과 반응가스를 불완전한 반응상태로 기화시켜, 공정챔버(110)의 내부로 공급하는 기화기(116)과, 기화기(116)에 반응가스를 공급하기 위한 반응가스 공급부(152)와, 액체상태의 소오스 물질(112)과 반응가스를 기화기(116)로 이송시키기 위한 캐리어 가스 공급부(142)로 구성된다.
공정챔버(110)는 박막증착 공정이 진행되도록 진공상태를 유지할 수 있는 밀폐공간이고, 도면에는 도시하지 않았지만 내부공간에는 기판이 안착되는 기판 안치대와 소오스 가스 및 반응가스를 분배시키는 분배장치가 마련되어 있다. 소오스 공급부(114)는 액체상태의 소오스 물질(112)이 저장되는 저장탱크(118)와, 소오스 물질(112)을 저장탱크(118)에 공급하는 소오스 물질 공급원(도시되지 않음)과, 저장탱크(118)의 내부에서 소오스 물질(112)을 기화기(116)에 공급될 수 있도록 Ar과 같은 제 1 캐리어 가스를 공급하는 제 1 캐리어 가스 공급원(도시되지 않음)과, 액체 상태의 소오스 물질(112)의 유량을 제어하는 제 1 유량제어기(MFC)(150)로 구성된다.
기화기(116)와 연결되는 캐리어 가스 공급부(142)는 기화기(116)에서 기체 상태로 변환된 소오스 물질을 공급배관을 따라 공정챔버(110)로 공급하기 위한 Ar과 같은 제 2 캐리어 가스 공급원(도시되지 않음)과, 제 2 캐리어 가스의 유량을 제어하는 제 2 유량제어기(MFC)(120)와, 제 2 캐리어 가스를 가열하는 제 1 가열기(122)를 포함한다. 그리고, 공급유량이 안정되지 않은 제 2 캐리어 가스를 공정챔버(110)로 공급하지 않고 펌핑 라인(pumping line)(126)을 통하여 트랩장치(124)로 공급한다. 트랩장치(124)에는 진공펌프(도시하지 않음)가 연결된다. 그리고, 펌핑라인(126) 및 기화기(116)와 공정챔버(110)의 연결배관은 다른 부분에 사용하는 배관과 비교하여 2 배의 직경을 가지는 1/4 인치의 배관을 사용한다. 다른 부분의 배관은 1/8인치의 직경을 가진다.
기화기(116)에 반응가스를 공급하기 위한 반응가스 공급부(152)는 반응가스 공급원(도시하지 않음)과, 반응가스의 유량을 제어하기 위한 제 3 유량제어기(MFC)(154)와, 반응가스를 가열하기 위한 제 2 가열기(156)를 포함한다. 그리고 기화기(116)는 내부에 잔류하는 캐리어 가스 또는 소오스 물질을 펌핑 라인(126)으로 용이하게 제거하기 위하여 상부에 인입부를 설치하고, 하부에 배출부를 설치 한다. 기화기(116)와 펌핑라인(126) 사이 및 기화기(116)와 제 1 및 제 2 가열기(122, 156) 사이 등에는 필요에 따른 밸브를 장착하여 사용한다.
도 2와 같은 증착장치에서, 액체상태의 소오스 물질로 Ru[(C2H5)C5H4] 또는 Ru[(C7H11)(C7H9)]와 같은 루테늄 유기 소오스와, 제 1 및 제 2 캐리어 가스로 아르곤(Ar)과, 반응가스로 산소(O2) 또는 오존(O3)을 사용하여, 루테늄 산화막(RuO2)을 기판 상에 증착한다. 플라즈마를 사용하여 공정챔버(110)에서 기판 상에 루테늄을 박막을 증착하는 경우, NH3를 사용한다.
루테늄 유기 소오스와 반응가스인 산소 또는 오존를 기화기(116)에 공급하면, 기화기(116)의 압력과 온도가 낮아, 루테늄과 산소 또는 오존이 완전하게 반응하지 않고, 불안정하게 반응된 혼합가스(mixed gas) 상태가 된다. 기화기(116)로부터 루테늄과 산소 또는 오존의 혼합가스가, 반응에 충분한 온도와 압력조건을 가진 공정챔버(110)의 내부로 공급되어, 루테늄과 산소 또는 오존이 완전한 반응을 일으켜 기판 상에 양질의 루테늄 산화막을 증착한다. 기화기(116)에 유입되는 루테늄 유기 소오스의 유량은 100 내지 1000sccm 정도이고, 캐리어 가스는 200 내지 500sccm을 사용한다. 그리고, 기화기(116)에 공급되는 반응가스와 제 1 및 제 2 캐리어 가스의 비율은 1 내지 100 %이다.
액체상태의 소오스 물질로 지르코늄(Zr) 또는 티타늄(Ti)과, 반응가스로 산소 또는 질소 등을 사용하여, 박막으로 지르코늄 산화막(ZrO2) 또는 티타늄 질화막(TiN) 등을 형성할 수 있다. 공정챔버(110)는 기화기(116)의 내부온도보다 높다. 기화기(116) 내부의 온도는 100 내지 200℃ 정도이고, 바람직하게는 170℃에서 액체상태의 소오스를 기화시킨다. 공정챔버(110)에서 소오스 물질과 반응가스의 반응온도는 250 내지 500℃ 정도이다. 그러나, 기판 상에 선행된 실리콘 산화막 등의 박막이 형성 유무에 따라 반응온도가 다르게 설정할 수 있다. 루테늄 유기 소오스와 산소의 'Ru[(C2H5)C5H4]2 + O2 => Ru + CO2 + H2O + C2H5 + 부산물'과 같은 반응식으로 반응한다.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기화기를 사용하는 증착장치의 개략도이다. 본 발명의 제 2 실시예에서는 액체상태의 소오스 물질로 루테늄을 포함한 유기물질과 캐리어 가스로 아르곤을 사용하고, 루테늄과 반응하는 반응가스로 산소 또는 오존을 사용하다. 그리고, 루테늄 유기 소오스와 함께 루테늄 유기 소오스를 희석시킬 수 있는 용제를 기화기에 공급하여 기화효율을 증가시켜, 기판 상에 루테늄 산화막을 증착하는 방법을 설명한다.
본 발명의 제 2 실시예에서, 기화기가 설치되는 증착장치는, 소오스 물질이 공급되어 기판(도시하지 않음) 상에 박막이 증착되는 공정챔버(210)와, 액체상태의 소오스 물질(212)을 공정챔버(210)에 공급하기 위한 소오스 공급부(214)와, 소오스 물질(212)과 용제(slvent)를 기화시켜 공정챔버(210)의 내부로 공급하는 기화기(216)와, 기화기(216)에 소오스 물질(212)을 희석시키기 위한 용제(solvent)를 공급하기 위한 용제 공급부(260)과, 공정챔버(210)에 반응가스를 공급하기 위한 반응가스 공급부(252)와, 액체상태의 소오스 물질(212)을 기화기(216)로 이송시키기 위한 캐리어 가스 공급부(242)로 구성된다.
공정챔버(210)는 박막증착 공정이 진행되도록 진공상태를 유지할 수 있는 밀폐공간이고, 도면에는 도시하지 않았지만 내부공간에는 기판이 안착되는 기판 안치대와 소오스 가스 및 반응가스를 분배시키는 분배장치가 마련되어 있다. 소오스 공급부(214)는 액체 상태의 소오스 물질(212)이 저장되는 저장탱크(218)와, 소오스 물질(212)을 저장탱크(218)에 공급하는 소오스 물질 공급원(도시되지 않음)과, 저장탱크(218)의 내부에서 소오스 물질(212)을 기화기(216)에 공급될 수 있도록 Ar과 같은 제 1 캐리어 가스를 공급하는 제 1 캐리어 가스 공급원(도시되지 않음)과, 액체 상태의 소오스 물질(212)의 유량을 제어하는 제 1 유량제어기(MFC)(250)로 구성된다.
기화기(216)와 연결되는 캐리어 가스 공급부(242)는 기화기(216)에서 기체 상태로 변환된 소오스 물질을 공급배관을 따라 공정챔버(210)로 공급하기 위한 Ar과 같은 제 2 캐리어 가스 공급원(도시되지 않음)과, 제 2 캐리어 가스의 유량을 제어하는 제 2 유량제어기(MFC)(220)와, 제 2 캐리어 가스를 가열하는 제 1 가열기(222)를 포함한다. 그리고, 공급유량이 안정되지 않은 제 2 캐리어 가스를 공정챔버(210)로 공급하지 않고 펌핑라인(pumping line)(226)을 통하여 트랩장치(224)로 공급한다. 트랩장치(224)에는 진공펌프(도시하지 않음)가 연결된다.
공정챔버(210)에 반응가스를 공급하기 위한 반응가스 공급부(252)는 반응가스 공급원(도시하지 않음)과, 반응가스의 유량을 제어하기 위한 제 3 유량제어기(MFC)(254)와, 반응가스를 가열하기 위한 제 2 가열기(256)를 포함한다. 기화기(216)에 액체상태의 소오스 물질을 희석시키기 위한 용제를 공급하는 용제 공급부(260)는, 용제 공급원(도시하지 않음)과, 용제의 유량을 제어하기 위한 제 4 유량제어기(MFC)(262)와, 용제를 가열하기 위한 제 3 가열기(264)를 포함한다. 그리고 기화기(216)는 내부에 잔류하는 캐리어 가스 또는 소오스 물질을 펌핑라인(226)으로 용이하게 제거하기 위하여 상부에 인입부를 설치하고, 하부에 배출부를 설치한다. 기화기(216)와 펌핑라인(226) 사이, 기화기(216)와 제 1 및 제 3 가열기(222, 264) 사이, 및 공정챔버(210)과 제 2 가열기(256) 사이 등에는 필요에 따라 밸브를 장착하여 사용한다.
도 3과 같은 증착장치에서, 액체상태의 소오스 물질로 루테늄(Ru)을 포함하는 Ru[(C2H5)C5H4] 또는 Ru[(C7H11)(C7H9)]와 같은 루테늄 유기 소오스와, 제 1 및 제 2 캐리어 가스로 아르곤(Ar)과, 반응가스로 산소(O2) 또는 오존(O3)을 사용한다. 그리고 기화기(216)의 내부에서 루테늄 유기 소오스를 희석시키기 위한 용제로 THF와 같은 Alcohol계열 물질을 사용한다. 기화기(216)의 내부에서 용제에 의해 루테늄 유기 소오스가 희석되고, 루테늄 유기 소오스의 입자 간의 거리가 증가하여 기화효율이 증가한다. 기화기(216)에서 사용되는 용제량은 루테늄 유기 소오스의 50 내지 200 % 정도이다. 기화기(216)에 공급되는 용제에 의해서 루테늄 유기 소오스의 기화효율이 증가하여, 공정챔버(210)에서 기화기(216)로부터 공급된 루테늄 유기 소오스와 반응가스 공급부(252)로부터 공급된 산소 또는 오존이 완전하게 반응하여 양질의 루테늄 산화막을 기판 상에 증착할 수 있다. 제 2 실시예에서는 제 1 실시예와 동일하게, 액체상태의 소오스 물질로 지르코늄(Zr) 또는 티타늄(Ti)과, 반응가스로 산소 또는 질소 등을 사용하여, 박막으로 지르코늄 산화막(ZrO2) 또는 티타늄 질화막(TiN) 등을 형성할 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 기화기를 사용하는 증착장치의 개략도
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기화기를 사용하는 증착장치의 개략도
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기화기를 사용하는 증착장치의 개략도

Claims (9)

  1. 액체상태의 소오스 물질과 반응가스가 공급되어 불완전 반응상태의 혼합가스로 기화되는 기화기;
    상기 기화기로부터 상기 혼합가스를 공급받아, 상기 소오스 물질과 상기 반응가스의 완전한 반응에 의해 기판 상에 박막을 증착시키는 공정챔버;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기화기를 가지는 증착장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 소오스 물질은 루테늄을 포함한 유기 소오스이고, 상기 반응가스는 산소 또는 오존이고, 상기 박막은 루테늄 또는 루테늄 산화막인 것을 특징으로 하는 기화기를 가지는 증착장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 유기 소오스는 Ru[(C2H5)C5H4]2 또는 Ru[(C7H11)(C7H9)]인 것을 특징으로 하는 기화기를 가지는 증착장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 액체상태의 소오스 물질은 지르코늄(Zr) 또는 티타늄(Ti)를 포함하고, 상기 반응가스는 산소 또는 질소이고, 상기 박막은 지르코늄 산화막(ZrO2) 또는 티타늄 질화막(TiN)인 것을 특징으로 하는 기화기를 가지는 증착장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 기화기 내부의 온도는 100 내지 200℃ 정도이고, 상기 공정챔버의 온도는 250 내지 500℃ 정도인 것을 특징으로 하는 기화기를 가지는 증착장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 기화기에서 상기 혼합가스를 상기 공정챔버로 운반하기 위해 캐리어 가스를 사용하는 것을 특징으로 하는 기화기를 가지는 증착장치.
  7. 액체상태의 소오스 물질과 용제가 공급되어 상기 소오스 물질을 소오스 가스로 기화시키는 기화기;
    반응가스를 공급하는 반응가스 공급부;
    상기 기화기로부터 상기 소오스 가스와 상기 반응가스 공급부로부터 상기 반응가스를 공급받아 상기 소오스 가스와 상기 반응가스의 반응에 의해 기판 상에 박막을 증착시키는 공정챔버;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기화기를 가지는 증착장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 소오스 물질은 루테늄을 포함한 유기 소오스이고, 상기 반응가스는 산소 또는 오존이고, 상기 박막은 루테늄 산화막이고, 상기 용제는 THF(TetraHydroFuran)과 같은 Alcohol계열 물질인 것을 특징으로 하는 기화기를 가지는 증착장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 액체상태의 소오스 물질은 지르코늄(Zr) 또는 티타늄(Ti)를 포함하고, 상기 반응가스는 산소 또는 질소이고, 상기 박막은 지르코늄 산화막(ZrO2) 또는 티타늄 질화막(TiN)인 것을 특징으로 하는 기화기를 가지는 증착장치.
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