KR20090070590A - Apparatus and method of testing injection nozzle - Google Patents

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Abstract

An apparatus and a method for testing an injection nozzle are provided to improve test reliability and to reduce a test time by testing the defect of the injection hole using the light. An injection nozzle test apparatus(200) tests an injection hole(110) for injecting the fluid in an injection nozzle(100). A light emitting member(220) provides the light to the injection hole. A screen(240) is arranged to face the injection hole and the light passing through the injection hole is inputted. The image corresponding to the light passing through the injection hole is displayed on the screen. The light emitting member emits the light with a beam type. The light emitted from the light emitting member is a laser beam. An alignment mark for displaying the incident position of the light passing through the injection hole is formed on the screen.

Description

분사노즐 검사장치 및 그 방법{APPARATUS AND METHOD OF TESTING INJECTION NOZZLE}Injection nozzle inspection apparatus and its method {APPARATUS AND METHOD OF TESTING INJECTION NOZZLE}

본 발명은 반도체 소자 제조용 장치의 분사 노즐을 검사하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 소자 제조용 유체를 공급하는 분사 노즐의 불량 여부를 검사하는 분사노즐 검사장치 및 그 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for inspecting spray nozzles of a device for manufacturing semiconductor devices, and more particularly, to a spray nozzle inspecting apparatus for inspecting whether a spray nozzle for supplying fluid for manufacturing semiconductor devices is defective or a method thereof.

일반적으로, 반도체 소자는 증착, 이온주입, 현상, 그리고 세정 등의 공정을 통해 제조된다. 반도체 소자를 제조하는 장치 중 하나인 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition : CVD) 장치는 기판 표면에 소정의 박막을 형성한다.In general, semiconductor devices are manufactured through processes such as deposition, ion implantation, development, and cleaning. Chemical Vapor Deposition (CVD) apparatus, which is one of devices for manufacturing a semiconductor device, forms a predetermined thin film on the surface of a substrate.

고밀도 플라스마 화학기상 증착장치(High Density Plasma Chemical Vapor Deposition apparatus : 이하, 'HDPCVD 장치')는 이러한 화학기상증착 장치 중 하나로서, 공정 가스를 고주파(Radio Frequency : RF)에 의해 여기시켜 저온에서 박막을 기판 표면에 증착시킨다.High Density Plasma Chemical Vapor Deposition apparatus (HDPCVD apparatus) is one of such chemical vapor deposition apparatus, which excites a process gas by radio frequency (RF) to form a thin film at low temperature. Deposit on the substrate surface.

구체적으로, HDPCVD 장치는 화학기상증착이 이루어지는 공간을 제공하는 챔버, 반응가스를 공급하는 가스링, 및 챔버에 구비된 기판에 반응가스를 분사하는 다수의 분사노즐을 구비한다. 가스링은 링 형상을 갖고, 기판의 상측에 위치하며, 평면상에서 볼 때 기판을 둘러싼다. 분사노즐은 가스링에 결합되어 가스링으로부터 반응가스를 공급받는다. 분사노즐의 내부에는 가스링으로부터의 반응가스가 유입되는 분사홀이 형성된다.Specifically, the HDPCVD apparatus includes a chamber for providing a space for chemical vapor deposition, a gas ring for supplying a reaction gas, and a plurality of injection nozzles for injecting a reaction gas to a substrate provided in the chamber. The gas ring has a ring shape, is located above the substrate, and surrounds the substrate in plan view. The injection nozzle is coupled to the gas ring and receives a reaction gas from the gas ring. An injection hole into which the reaction gas from the gas ring flows is formed in the injection nozzle.

분사노즐은 분사홀의 크기 및 그 형상에 따라 반응가스의 양과 반응가스가 제공되는 위치가 달라진다. 따라서, 분사홀이 비정상적으로 형성될 경우, 분사노즐로부터 반응가스가 정상적으로 분사되지 못하므로, 박막이 불균일하게 형성된다.The injection nozzle has a different amount of reaction gas and a position where the reaction gas is provided depending on the size and shape of the injection hole. Therefore, when the injection hole is abnormally formed, since the reaction gas is not normally injected from the injection nozzle, the thin film is formed nonuniformly.

이를 방지하기 위해, 분사노즐의 제조가 완료되면 분사홀의 불량 여부를 검사한다. 일반적으로, 분사노즐 검사는 분사홀에 물과 같은 액체를 제공하여 분사노즐로부터 액체가 정상적으로 분사되는지 여부를 검사한다.In order to prevent this, when the manufacture of the injection nozzle is completed, inspect whether the injection hole is defective. In general, the injection nozzle inspection provides a liquid such as water to the injection hole to check whether the liquid is normally injected from the injection nozzle.

이와 같이, 액체를 이용하여 분사홀의 불량 여부를 검사하므로, 검사 후에 베이킹 장치를 이용하여 분사노즐을 건조시키는 과정이 추가된다.As such, since the injection holes are inspected for defects using the liquid, a process of drying the injection nozzles using a baking apparatus is added after the inspection.

본 발명의 목적은 검사 시간을 단축시킬 수 있는 분사노즐 검사 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a spray nozzle inspection apparatus that can shorten the inspection time.

또한, 본 발명의 목적은 상기한 분사노즐 검사장치를 이용하여 분사노즐을 검사하는 방법을 제공하는 것이다.It is also an object of the present invention to provide a method for inspecting a spray nozzle using the spray nozzle inspection apparatus described above.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 유체를 분사하기 위한 분사노즐의 분사홀을 검사하는 분사노즐 검사장치는, 발광부재 및 스크린으로 이루어진다.An injection nozzle inspection apparatus for inspecting an injection hole of an injection nozzle for injecting a fluid according to one feature for realizing the above object of the present invention comprises a light emitting member and a screen.

발광부재는 상기 분사홀에 광을 제공한다. 스크린은 상기 분사홀과 마주하게 배치되고, 상기 분사홀을 통과한 광이 입사되며, 상기 분사홀을 통과한 광에 대응하는 상이 표시된다.The light emitting member provides light to the injection hole. The screen is disposed to face the injection hole, the light passing through the injection hole is incident, and an image corresponding to the light passing through the injection hole is displayed.

구체적으로, 상기 발광 부재는 빔 형태의 광, 예컨대, 레이저 빔을 출사한다.Specifically, the light emitting member emits light in the form of a beam, for example, a laser beam.

또한, 분사노즐 검사장치는 상기 분사노즐을 고정하는 제1 고정부재를 더 포함한다.In addition, the injection nozzle inspection apparatus further comprises a first fixing member for fixing the injection nozzle.

또한, 분사노즐 검사장치는 상기 발광 부재를 고정시키고, 상기 발광 부재로부터 출사된 광과 상기 분사홀과의 수평을 맞추는 제2 고정부재를 더 포함한다.In addition, the injection nozzle inspection apparatus further includes a second fixing member for fixing the light emitting member and leveling the light emitted from the light emitting member with the injection hole.

또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 분사노즐 검사 방법은 다음과 같다.Further, the injection nozzle inspection method in one feature for realizing the above object of the present invention is as follows.

먼저, 상기 분사노즐에 광을 제공하고, 상기 분사홀을 경유한 광이 상기 광이 스크린에 입사되어 상기 스크린에 상기 광에 대응하는 상이 표시된다. 상기 스크린에 표시된 상을 이용하여 상기 분사홀의 불량 여부를 판단한다.First, light is provided to the injection nozzle, and light passing through the injection hole is incident on the screen so that an image corresponding to the light is displayed on the screen. It is determined whether the injection hole is defective by using the image displayed on the screen.

여기서, 상기 광은 빔 형태로 제공되고, 상기 스크린에 표시된 상은 상기 분사홀을 통과한 광의 횡단면과 동일하다.Here, the light is provided in the form of a beam, and the image displayed on the screen is the same as the cross section of the light passing through the injection hole.

구체적으로, 상기 분사홀의 불량 여부를 판단하는 단계는, 상기 스크린에 표시된 상의 크기와 형상이 상기 분사홀의 크기 및 형상과 각각 동일한지 비교한다.Specifically, in determining whether the injection hole is defective, the size and shape of the image displayed on the screen is compared with the size and shape of the injection hole, respectively.

또한, 상기 스크린의 정렬 마크와 상기 스크린에 표시된 상 간의 위치 관계에 따라 상기 분사홀의 불량 여부를 판단한다.In addition, it is determined whether the injection hole is defective according to the positional relationship between the alignment mark of the screen and the image displayed on the screen.

상술한 본 발명에 따르면, 분사노즐 검사장치는 광을 이용하여 분사홀의 불량 여부를 검사하므로, 검사 시간을 단축시키고, 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있다.According to the present invention described above, since the injection nozzle inspection apparatus inspects whether the injection hole is defective by using light, the inspection time can be shortened and the inspection reliability can be improved.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 분사노즐 검사장치를 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 분사노즐을 나타낸 사시도이다.1 is a view showing the injection nozzle inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view showing the injection nozzle shown in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 분사노즐 검사장치(200)는 분사노 즐(100)을 고정시키는 제1 고정부재(210), 광을 발생하는 발광부재(220), 상기 발광부재(220)를 고정시키는 제2 고정부재(230, 및 스크린(240)을 포함한다.1 and 2, the injection nozzle inspection apparatus 200 of the present invention includes a first fixing member 210 for fixing the injection nozzle 100, a light emitting member 220 for generating light, and the light emitting member. And a second fixing member 230 and a screen 240 for fixing the 220.

구체적으로, 상기 분사노즐(100)은 일 방향으로 연장된 로드 형상을 갖고, 내부에 유체가 공급되는 분사홀(110)이 형성된다. 상기 분사홀(110)은 상기 분사노즐(100)의 길이 방향으로 연장되어 형성되고, 횡단면이 원 형상을 갖는다. 상기 유체는 상기 분사홀(110)을 통해 외부로 배출된다. 상기 분사노즐(100)은 상기 유체가 유입되는 단부에 상기 유체를 공급하는 장치와 결합하기 위한 나사산(120)이 형성된다.In detail, the injection nozzle 100 has a rod shape extending in one direction, and an injection hole 110 through which a fluid is supplied is formed. The injection hole 110 extends in the longitudinal direction of the injection nozzle 100 and has a circular cross section. The fluid is discharged to the outside through the injection hole 110. The injection nozzle 100 is formed with a thread 120 for coupling with the device for supplying the fluid to the end in which the fluid is introduced.

상기 분사노즐(100)은 상기 제1 고정부재(210)에 안착된다.The injection nozzle 100 is seated on the first fixing member 210.

도 3은 도 1에 도시된 제1 고정부재를 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 1에 도시된 분사노즐과 제1 고정부재 간의 결합관계를 나타낸 단면도이며, 도 5는 도 1에 도시된 발광부재와 제2 고정부재 간의 결합관계를 나타낸 단면도이다.3 is a perspective view illustrating the first fixing member shown in FIG. 1, FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a coupling relationship between the injection nozzle and the first fixing member illustrated in FIG. 1, and FIG. 5 is a light emitting member illustrated in FIG. 1. And a cross-sectional view showing a coupling relationship between the second fixing member.

도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 제1 고정부재(210)는 상기 분사노즐(100)을 일부분 지지하고, 상면에 상기 분사노즐(100)이 삽입되는 제1 삽입홈(211)이 형성된다. 상기 제1 삽입홈(211)은 상기 분사노즐(100)의 길이 방향으로 연장되어 형성되고, 상기 분사노즐(100)의 일부분이 삽입된다. 본 발명의 일례로, 상기 제1 삽입홈(211)은 'V'자 형상을 갖는다.3 and 4, the first fixing member 210 partially supports the injection nozzle 100 and has a first insertion groove 211 in which the injection nozzle 100 is inserted. . The first insertion groove 211 is formed extending in the longitudinal direction of the injection nozzle 100, a portion of the injection nozzle 100 is inserted. In one example of the present invention, the first insertion groove 211 has a 'V' shape.

한편, 상기 분사노즐(100)의 입력단 측에는 상기 발광부재(220)가 구비된다. 상기 발광부재(220)는 상기 광이 출사되는 출사면(221)이 상기 분사노즐(100)의 분사홀(110)과 마주하고, 상기 광을 상기 분사홀(110)에 제공한다. 본 발명의 일례 로, 상기 발광부재(220)는 직진성을 갖는 빔 형태의 광, 예컨대, 레이저 빔 또는 전자빔을 출사한다.On the other hand, the light emitting member 220 is provided on the input end side of the injection nozzle (100). The light emitting member 220 has an emission surface 221, from which the light is emitted, faces the injection hole 110 of the injection nozzle 100, and provides the light to the injection hole 110. In one example of the present invention, the light emitting member 220 emits light having a linearity, for example, a laser beam or an electron beam.

도 1 및 도 5를 참조하면, 상기 발광부재(220)는 상기 제2 고정부재(230)에 안착된다. 상기 제2 고정부재(230)는 상기 발광부재(220)를 지지하여 상기 발광부재(220)의 출사면(221)과 상기 분사홀(110) 간의 수평을 맞춘다. 상기 제2 고정부재(230)의 상면에는 상기 발광부재(220)가 삽입되는 제2 삽입홈(231)이 형성된다. 상기 제2 삽입홈(231)은 상기 발광부재(220)를 부분적으로 삽입하고, 상기 발광부재(220)를 고정한다. 본 발명의 일례로, 상기 제2 삽입홈(231)은 'V'자 형상을 갖는다.1 and 5, the light emitting member 220 is seated on the second fixing member 230. The second fixing member 230 supports the light emitting member 220 to level the emission surface 221 of the light emitting member 220 with the injection hole 110. A second insertion groove 231 into which the light emitting member 220 is inserted is formed on an upper surface of the second fixing member 230. The second insertion groove 231 partially inserts the light emitting member 220 and fixes the light emitting member 220. In one example of the present invention, the second insertion groove 231 has a 'V' shape.

상기 제2 고정부재(230)는 상기 제1 고정부재(210)를 사이에 두고 상기 스크린(240)과 마주한다. 상기 스크린(240)은 상기 제1 고정부재(210)에 고정된 분사노즐(100)의 출력단 측에 위치한다. 상기 스크린(240)은 상기 분사홀(110)과 마주하게 배치되고, 상기 발광부재(220)로부터 출사된 광이 상기 분사홀(110)을 경유하여 입사된다. 상기 광이 상기 스크린(240)에 입사되면, 상기 스크린(240)에는 상기 광의 횡단면에 대응하는 상이 표시된다. 이렇게 상기 스크린(240)에 표시된 상을 이용하여 상기 분사홀(110)의 불량 여부를 판단한다.The second fixing member 230 faces the screen 240 with the first fixing member 210 interposed therebetween. The screen 240 is located at the output end side of the injection nozzle 100 fixed to the first fixing member 210. The screen 240 is disposed to face the injection hole 110, and the light emitted from the light emitting member 220 is incident through the injection hole 110. When the light is incident on the screen 240, an image corresponding to the cross section of the light is displayed on the screen 240. Thus, by using the image displayed on the screen 240 determines whether the injection hole 110 is defective.

이와 같이, 상기 분사노즐 검사장치(200)는 상기 광을 이용하여 상기 분사홀(110)의 불량 여부를 검사하므로, 검사가 완료된 후에 상기 분사노즐(100)을 건조시킬 필요가 없고, 상기 스크린(240)에 표시된 상을 통해 상기 분사홀(110)의 형상과 크기를 정확하게 인지할 수 있다. 이에 따라, 검사 시간이 단축되고, 검사의 신뢰성이 향상된다.As such, since the injection nozzle inspection apparatus 200 inspects whether the injection hole 110 is defective by using the light, there is no need to dry the injection nozzle 100 after the inspection is completed, and the screen ( The shape and size of the injection hole 110 may be accurately recognized through the image displayed at 240. This shortens the inspection time and improves the reliability of the inspection.

도 6은 도 1에 도시된 제1 고정부재의 다른 일례를 나타낸 도면이고, 도 7은 도 6에 도시된 제1 고정부재와 발광부재 간의 결합관계를 나타낸 도면이다.FIG. 6 is a diagram illustrating another example of the first fixing member shown in FIG. 1, and FIG. 7 is a diagram illustrating a coupling relationship between the first fixing member and the light emitting member illustrated in FIG. 6.

도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 제1 고정부재(250)는 측면에 상기 분사노즐(100)의 입력단이 삽입되는 결합홀(251)이 형성된다. 상기 결합홀(251)을 정의하는 면에는 나사산이 형성되고, 상기 결합홀(251)의 나사산은 상기 분사노즐(100)의 나사산(120)산과 결합하여 상기 분사노즐(100)을 상기 제1 고정부재(250)에 고정한다.6 and 7, the first fixing member 250 of the present invention has a coupling hole 251 into which an input end of the injection nozzle 100 is inserted. A thread is formed on a surface defining the coupling hole 251, and the thread of the coupling hole 251 is coupled to the thread 120 of the injection nozzle 100 to fix the injection nozzle 100 to the first fixing part. It is fixed to the member 250.

이하, 도면을 참조하여 상기 분사홀(110)의 불량 여부를 검사하는 과정을 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a process of checking whether the injection hole 110 is defective will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 8은 도 1에 도시된 분사노즐 검사장치를 이용하여 분사노즐을 검사하는 과정을 나타내는 도면이고, 도 9는 도 8에 도시된 분사노즐을 통과한 광이 스크린에 입사되는 과정을 나타낸 부분 사시도이다.FIG. 8 is a view illustrating a process of inspecting a spray nozzle using the spray nozzle inspection apparatus illustrated in FIG. 1, and FIG. 9 is a partial perspective view illustrating a process of injecting light passing through the spray nozzle illustrated in FIG. 8 into a screen. to be.

도 8 및 도 9를 참조하면, 먼저, 상기 발광부재(220)를 상기 제2 고정부재(230)의 제2 삽입홈(231)에 안착시키고, 상기 분사노즐(100)을 상기 제1 고정부재(210)의 제1 삽입홈(211)에 안착시킨다.8 and 9, first, the light emitting member 220 is seated in the second insertion groove 231 of the second fixing member 230, and the injection nozzle 100 is placed in the first fixing member. It is seated in the first insertion groove (211) of (210).

이어, 상기 발광부재(220)는 상기 광(TL)을 상기 분사노즐(100)에 제공하고, 상기 광(TL)은 상기 분사노즐(100)의 분사홀(110)을 통해 상기 스크린(240)에 입사된다.Subsequently, the light emitting member 220 provides the light TL to the spray nozzle 100, and the light TL passes through the spray hole 110 of the spray nozzle 100. Is incident on.

상기 스크린(240)의 표시면에는 상기 분사홀(110)의 정상 여부를 판별하기 위한 정렬 마크(241)가 형성된다. 즉, 상기 정렬 마크(241)와 상기 광(TL)에 의해 상기 스크린(240) 상에 표시된 상 간의 위치관계에 따라 상기 분사홀(110)의 정상 여부를 판별한다. 본 발명의 일례로, 상기 정렬 마크(241)는 원형의 링 형상을 갖는다.An alignment mark 241 is formed on the display surface of the screen 240 to determine whether the injection hole 110 is normal. That is, it is determined whether the injection hole 110 is normal according to the positional relationship between the alignment mark 241 and the image displayed on the screen 240 by the light TL. In one example of the present invention, the alignment mark 241 has a circular ring shape.

도 10a는 상기 분사홀(110)을 통과한 광(TL)이 상기 정렬 마크(241) 안에 입사된 경우를 나타내고, 도 10b는 상기 분사홀(110)를 통과한 광(TL)이 상기 정렬 마크(241) 이외의 영역에 입사된 경우를 나타낸다.10A illustrates a case where light TL passing through the injection hole 110 is incident into the alignment mark 241, and FIG. 10B illustrates light TL passing through the injection hole 110 through the alignment mark. The case where incident on an area other than 241 is entered is shown.

도 8 및 도 10a를 참조하면, 상기 분사홀(110)을 통과한 광(TL)의 횡단면에 대응하는 상(TLI)이 상기 정렬 마크(241) 안에 표시되고, 상기 분사홀(110)의 횡단면과 동일한 원 형상으로 표시되며, 상기 분사노즐(100)의 출력단에 대응하는 상기 분사홀(110)의 지름과 동일한 지름을 갖는다.8 and 10A, an image TLI corresponding to a cross section of the light TL passing through the injection hole 110 is displayed in the alignment mark 241, and a cross section of the injection hole 110 is provided. Is shown in the same circular shape and has the same diameter as the diameter of the injection hole 110 corresponding to the output end of the injection nozzle (100).

이와 같이, 상기 스크린(240)에 표시된 상(TLI)이 상기 분사홀(110)과 동일한 형상과 동일한 지름을 갖고 상기 정렬 마크(241) 안에 위치하는 경우, 상기 분사홀(110)은 정상으로 판정된다.As such, when the image TLI displayed on the screen 240 is located in the alignment mark 241 having the same shape and the same diameter as the injection hole 110, the injection hole 110 is determined to be normal. do.

반면, 도 10b에 도시된 바와 같이, 상기 스크린(240)에 표시된 상(TLI)이 상기 정렬 마크(241) 외측에 위치하고 그 형상이 상기 분사홀(110)의 횡단면과 다를 경우, 상기 분사홀(110)은 불량으로 판정된다.On the other hand, as shown in Figure 10b, when the image (TLI) displayed on the screen 240 is located outside the alignment mark 241 and the shape is different from the cross section of the injection hole 110, the injection hole ( 110 is determined to be bad.

이와 같이, 상기 분사노즐 검사장치(100)는 상기 광(TL)을 이용하여 상기 분사홀(110)의 불량 여부를 판단하므로, 검사 후 건조와 같은 사후 처리가 필요 없 고, 검사를 통과한 분사노즐(100)은 곧 바로 공정 설비에 적용될 수 있다. 이에 따라, 검사 시간이 단축되고, 생산성이 향상되며, 제조 원가가 절감된다.As such, the injection nozzle inspection apparatus 100 determines whether the injection hole 110 is defective by using the light TL, and thus does not require post-processing such as drying after inspection, and injection that passes the inspection. The nozzle 100 may be immediately applied to the process equipment. This reduces inspection time, improves productivity, and reduces manufacturing costs.

또한, 상기 스크린(240)에 표시된 상기 광(TL)의 횡단면 상을 통해 상기 분사홀(110)의 크기 및 그 형상을 정확하고 손쉽게 파악할 수 있으므로, 검사의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.In addition, since the size and shape of the injection hole 110 can be accurately and easily grasped through the cross section of the light TL displayed on the screen 240, the reliability of the inspection can be improved.

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described with reference to the embodiments above, those skilled in the art will understand that the present invention can be variously modified and changed without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. Could be.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 분사노즐 검사장치를 나타낸 도면이다.1 is a view showing the injection nozzle inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 분사노즐을 나타낸 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view illustrating the injection nozzle shown in FIG. 1. FIG.

도 3은 도 1에 도시된 제1 고정부재를 나타낸 사시도이다.3 is a perspective view illustrating the first fixing member illustrated in FIG. 1.

도 4는 도 1에 도시된 분사노즐과 제1 고정부재 간의 결합관계를 나타낸 단면도이다.4 is a cross-sectional view showing a coupling relationship between the injection nozzle and the first fixing member shown in FIG.

도 5는 도 1에 도시된 발광부재와 제2 고정부재 간의 결합관계를 나타낸 단면도이다.5 is a cross-sectional view illustrating a coupling relationship between the light emitting member and the second fixing member illustrated in FIG. 1.

도 6은 도 1에 도시된 제1 고정부재의 다른 일례를 나타낸 도면이다.6 is a view illustrating another example of the first fixing member shown in FIG. 1.

도 7은 도 6에 도시된 제1 고정부재와 발광부재 간의 결합관계를 나타낸 도면이다.FIG. 7 is a view illustrating a coupling relationship between the first fixing member and the light emitting member illustrated in FIG. 6.

도 8은 도 1에 도시된 분사노즐 검사장치를 이용하여 분사노즐을 검사하는 과정을 나타내는 도면이다.8 is a view illustrating a process of inspecting a spray nozzle using the spray nozzle inspecting apparatus shown in FIG. 1.

도 9는 도 8에 도시된 분사노즐을 통과한 광이 스크린에 입사되는 과정을 나타낸 부분 사시도이다.FIG. 9 is a partial perspective view illustrating a process in which light passing through the spray nozzle illustrated in FIG. 8 is incident on a screen.

도 10a 및 도 10b는 분사홀을 통과한 광이 스크린에 입사된 상태를 나타낸 도면이다.10A and 10B are views illustrating a state in which light passing through the injection hole is incident on the screen.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 분사노즐 110 : 분사홀100: injection nozzle 110: injection hole

200 : 분사노즐 검사장치 210 : 제1 고정부재200: injection nozzle inspection device 210: first fixing member

220 : 발광부재 230 : 제2 고정부재220: light emitting member 230: second fixing member

240 : 스크린240: screen

Claims (12)

분사노즐에서 유체를 분사하기 위한 분사홀을 검사하는 분사노즐 검사 장치에 있어서,In the injection nozzle inspection apparatus for inspecting the injection hole for injecting fluid from the injection nozzle, 상기 분사홀에 광을 제공하는 발광 부재; 및A light emitting member providing light to the injection hole; And 상기 분사홀과 마주하게 배치되고, 상기 분사홀을 통과한 광이 입사되며, 상기 분사홀을 통과한 광에 대응하는 상이 표시되는 스크린을 포함하는 것을 특징으로 하는 분사노즐 검사장치.And a screen disposed to face the injection hole, the light passing through the injection hole being incident, and displaying an image corresponding to the light passing through the injection hole. 제1항에 있어서, 상기 발광 부재는 빔 형태의 광을 출사하는 것을 특징으로 하는 분사노즐 검사장치.The injection nozzle inspection apparatus according to claim 1, wherein the light emitting member emits light in the form of a beam. 제2항에 있어서, 상기 발광 부재로부터 출사된 광은 레이저 빔인 것을 특징으로 하는 분사노즐 검사장치.The injection nozzle inspection apparatus according to claim 2, wherein the light emitted from the light emitting member is a laser beam. 제2항에 있어서, 상기 스크린은 상기 분사홀을 통과한 광의 정상적인 입사 위치를 표시하는 정렬 마크가 형성된 것을 특징으로 하는 분사노즐 검사장치.The injection nozzle inspection apparatus according to claim 2, wherein the screen has an alignment mark indicating a normal incidence position of light passing through the injection hole. 제1항에 있어서, 상기 분사노즐을 고정하는 제1 고정부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분사노즐 검사장치.According to claim 1, wherein the injection nozzle inspection apparatus further comprises a first fixing member for fixing the injection nozzle. 제5항에 있어서, 상기 제1 고정부재는 상면에 상기 분사노즐이 안착되는 삽입홈이 형성된 것을 특징으로 하는 분사노즐 검사장치.The injection nozzle inspection apparatus according to claim 5, wherein the first fixing member has an insertion groove in which the injection nozzle is mounted. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제1 고정부재는 상기 분사노즐의 제1 단부가 삽입되는 결합홀을 갖고,The first fixing member has a coupling hole into which the first end of the injection nozzle is inserted, 상기 결합홀을 정의하는 면과 상기 분사노즐의 제1 단부에는 각각 나사산이 형성된 것을 특징으로 하는 분사노즐 검사장치.Injection nozzle inspection apparatus characterized in that the thread is formed on the surface defining the coupling hole and the first end of the injection nozzle, respectively. 제1항에 있어서, 상기 발광 부재를 고정시키고, 상기 발광 부재로부터 출사된 광과 상기 분사홀과의 수평을 맞추는 제2 고정부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분사노즐 검사장치.The injection nozzle inspection apparatus according to claim 1, further comprising: a second fixing member which fixes the light emitting member and makes a level between the light emitted from the light emitting member and the injection hole. 분사노즐에서 유체를 분사하기 위한 분사홀을 검사하는 분사노즐 검사 방법에 있어서,In the injection nozzle inspection method for inspecting the injection hole for injecting fluid from the injection nozzle, 상기 분사노즐에 광을 제공하는 단계;Providing light to the jet nozzle; 상기 분사홀을 경유한 광이 상기 광이 스크린에 입사되어 상기 스크린에 상기 광에 대응하는 상이 표시되는 단계; 및The light passing through the injection hole is incident on the screen to display an image corresponding to the light on the screen; And 상기 스크린에 표시된 상을 이용하여 상기 분사홀의 불량 여부를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 분사노즐 검사방법.And determining whether the injection hole is defective by using an image displayed on the screen. 제9항에 있어서, 상기 광은 빔 형태로 제공되는 것을 특징으로 하는 분사노즐 검사방법.10. The method of claim 9, wherein the light is provided in the form of a beam. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 스크린에 표시된 상은 상기 분사홀을 통과한 광의 횡단면과 동일하고,The image displayed on the screen is the same as the cross section of the light passing through the injection hole, 상기 분사홀의 불량 여부를 판단하는 단계는, 상기 스크린에 표시된 상의 크기와 형상이 상기 분사홀의 크기 및 형상과 각각 동일한지 비교하는 것을 특징으로 하는 분사노즐 검사방법.The determining of whether the injection hole is defective may include comparing the size and shape of the image displayed on the screen with the size and shape of the injection hole, respectively. 제11항에 있어서, 상기 분사홀의 불량 여부를 판단하는 단계는, 상기 스크린의 정렬 마크와 상기 스크린에 표시된 상 간의 위치 관계에 따라 상기 분사홀의 불량 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 분사노즐 검사방법.The method of claim 11, wherein the determining of whether the injection hole is defective comprises determining whether the injection hole is defective according to a positional relationship between an alignment mark of the screen and an image displayed on the screen.
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