KR20090062481A - Particle protector - Google Patents

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Abstract

A dust collecting filter for a vacuum gauge is provided to prevent malfunction of the vacuum gauge by filtering foreign material included in the air flowing in the vacuum gauge. A dust collecting filter(100) for a vacuum gauge comprises a filter housing(110) to which a first connector(116) and a second connector(118) are connected to rotate, a compartment plate(120) installed on a protrusion(113) to partition off an installation space(111), a pair of dust collecting plates(130) forming an air passage between with the installation space, a pair of connecting plates(140) with apertures(141) and coupling holes(143) on the inner side, and a coupling pin(150) whose both ends are fixed to the coupling holes. The filter housing provides a travel path of vacuum pressure a chamber and the vacuum gauge. The dust collecting plate removes foreign material in the air traveling in a vacuum state.

Description

진공게이지용 집진필터{Particle Protector}Dust collection filter for vacuum gauges {Particle Protector}

본 발명은 집진필터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 챔버 내의 진공도를 측정할 수 있도록 설치된 진공게이지와 챔버 사이 또는 상기 챔버와 연결된 배기라인에 진공게이지로 유입되는 공기 중의 부산물을 여과하기 위한 집진필터를 연결설치함으로써, 진공게이지로 청정공기만이 유입되도록 하여 진공게이지의 오염을 방지함과 동시에 진공게이지의 오작동을 미연에 방지할 수 있도록 하고, 교환주기가 연장됨으로써, 진공게이지의 교체로 인한 공정중단 시간을 최소화하여 주어, 제품 생산성이 저하되는 문제현상을 최소화할 수 있도록 한 진공게이지용 집진필터에 관한 것이다.The present invention relates to a dust collecting filter, and more particularly, a dust collecting filter for filtering by-products in the air flowing into the vacuum gauge between the vacuum gauge and the chamber installed to measure the degree of vacuum in the chamber or the exhaust line connected to the chamber. By connecting and installing, only the clean air flows into the vacuum gauge to prevent contamination of the vacuum gauge and prevent malfunction of the vacuum gauge in advance, and the replacement cycle is extended, so that the process stops due to the replacement of the vacuum gauge. The present invention relates to a dust collecting filter for a vacuum gauge, which minimizes time and minimizes a problem of product productivity.

일반적으로 진공압 게이지는 진공 공급 라인에 설치되어 라인에 공급되는 진공의 크기를 센싱하여 진공의 압력을 작업자에게 알리는 장치를 말한다.In general, the vacuum pressure gauge is a device installed in the vacuum supply line to sense the size of the vacuum supplied to the line to inform the worker of the vacuum pressure.

예를 들어 CVD장비나 드라이 에치(Dry etch)장비와 같은 반도체 장비의 챔버 내부 압력은 반도체 제조과정에서 중요한 공정 인자이므로 챔버와 연결된 배기관에 진공게이지(Vacuum sensor)를 부착하여 챔버 내부의 압력이 일정한 상태를 유지하도록 제어한다.For example, the pressure inside the chamber of semiconductor equipment, such as CVD equipment or dry etch equipment, is an important process factor in the semiconductor manufacturing process. Therefore, a vacuum gauge is attached to the exhaust pipe connected to the chamber to maintain a constant pressure inside the chamber. Control to maintain state.

이러한 진공게이지의 측정부가 얇은 막 형태로 된 정전센서(Capacitance Manometer)나 열전자 방출을 이용하는 써모 커플 게이지(Thermo Couple Gauge) 또는 피라니 게이지(Pirani Gauge)나 이온발생 및 전달도를 이용한 센서등을 설치한다.The measuring unit of the vacuum gauge has a thin film-type capacitive manometer, a thermo couple gauge using pyroelectric emission or a piranha gauge, or a sensor using ion generation and transmission. do.

도 1은 종래의 진공게이지의 사용상태를 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a state of use of a conventional vacuum gauge.

도 1을 참조하면, 챔버(20)와 연결된 배기관(30)에는 챔버(20) 내부의 진공압을 센싱하기 위한 진공게이지(10)가 설치된다.Referring to FIG. 1, a vacuum gauge 10 for sensing a vacuum pressure inside the chamber 20 is installed in an exhaust pipe 30 connected to the chamber 20.

이에 따라, 상기 챔버(20) 내부의 진공도는 진공게이지(10)에 의해 측정된 값을 통해 진공펌프를 제어하여 챔버(20) 내부의 진공도가 프로세서 진행시 설정된 압력으로 유지할 수 있게 한다.Accordingly, the degree of vacuum inside the chamber 20 controls the vacuum pump through the value measured by the vacuum gauge 10 so that the degree of vacuum inside the chamber 20 can be maintained at a set pressure when the processor proceeds.

그러나 이와 같은 종래 진공게이지는 실사용 시 다음과 같은 문제점이 있었다.However, such a conventional vacuum gauge had the following problems in practical use.

종래 진공게이지는 설치 후, 소정기간이 경과하면 진공압 측정결과에 오차가 발생하여 여러 단계의 공정들이 일제히 중단되어 이에 따른 제품생산에 손실이 발생하는 문제점이 있었다. After the installation of the conventional vacuum gauge, an error occurs in the result of measuring the vacuum pressure after a predetermined period of time, there is a problem that the process of several steps are stopped at once, resulting in a loss in the production of the product.

즉, 종래 진공게이지는 챔버 내의 공기 중에 포함된 부산물들이 진공게이지의 측정부 표면에 축적되어 게이지의 반응을 방해하기 때문이다.That is, the conventional vacuum gauge is because by-products contained in the air in the chamber accumulate on the surface of the measuring unit of the vacuum gauge to interfere with the reaction of the gauge.

본 발명은 상술한 종래 문제점을 감안하여 안출한 것으로, 그 목적은 챔버 내의 진공도를 측정할 수 있도록 설치된 진공게이지와 챔버 사이 또는 챔버와 연결된 배기라인에 진공게이지로 유입되는 공기 중의 부산물을 여과하기 위한 집진필터를 연결설치함으로써, 진공게이지로 청정공기만이 유입되도록 하여 진공게이지의 오염을 방지함과 동시에 진공게이지의 오작동을 미연에 방지할 수 있도록 한 진공게이지용 집진필터를 제공한다.The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and an object thereof is to filter a by-product of air introduced into a vacuum gauge between a vacuum gauge and a chamber or an exhaust line connected to the chamber to measure the degree of vacuum in the chamber. By connecting and installing the dust collecting filter, the vacuum gauge provides a dust collecting filter for vacuum gauge, which prevents contamination of the vacuum gauge and prevents malfunction of the vacuum gauge.

또한, 본 발명의 다른 목적은 진공게이지를 오차 없이 장기간 사용할 수 있도록 하여 그 교환 주기를 연장함으로써, 진공게이지의 교체로 인한 공정중단 시간을 최소화하여 주어, 제품생산성이 저하되는 문제현상을 최소화할 수 있도록 한 진공게이지용 집진필터를 제공한다.In addition, another object of the present invention is to extend the replacement cycle by allowing the vacuum gauge to be used for a long time without error, thereby minimizing the process down time due to the replacement of the vacuum gauge, it is possible to minimize the problem phenomenon that product productivity is deteriorated A dust collecting filter for a vacuum gauge is provided.

상기 목적을 달성시키기 위한 본 발명은 The present invention for achieving the above object

진공압 상태의 챔버 일측에 설치되어 챔버 내의 진공도를 측정하기 위한 진공게이지에 있어서, In the vacuum gauge for measuring the degree of vacuum in the chamber is installed on one side of the chamber in a vacuum state,

상기 진공게이지와 챔버 사이에는 진공게이지로 유입되는 공기의 흐름방향을 변환하여 그 이동로에 공기 중의 부산물을 축적시켜 여과하기 위한 집진필터가 연결설치된다.A dust collecting filter is installed between the vacuum gauge and the chamber to change the flow direction of air flowing into the vacuum gauge and to accumulate and filter by-products in the air in the moving path.

한편, 상기 집진필터는 On the other hand, the dust collecting filter

서로 대칭되게 분할형성되어 용접된 관형태로 내측에 설치공간이 형성되고, 상기 설치공간의 외주면에 설치공간과 연통된 걸림턱이 형성되며, 양측에 너트홈을 갖는 제1 연결커넥터와 볼트부를 갖는 제2 연결커넥터가 단턱에 의해 걸림을 취해 힌지회전 가능하도록 연결된 필터하우징과,The installation space is formed in the inner side in the form of welded tubularly divided and symmetrical to each other, the engaging jaw communicating with the installation space is formed on the outer circumferential surface of the installation space, and has a first connection connector and a bolt portion having a nut groove on both sides A filter housing connected to the second connecting connector to be latched by a step and to rotate in a hinge;

상기 설치공간을 구획할 수 있도록 상기 걸림턱에 연결설치되며, 내측에 관통공과 복수개의 체결공이 형성된 구획판과,A partition plate connected to the locking jaw so as to partition the installation space and having a through hole and a plurality of fastening holes formed therein;

상기 구획판의 양측에 연결공을 갖는 스페이서에 의해 이격되어 대칭되게 설치되며, 일측에 이동하는 공기 중의 이물질이 적층될 수 있도록 유입홈과, 상기 유입홈에 적층된 이물질이 이탈되지 않도록 거름망이 안착되는 홈부와, 연결홈과 링홈이 서로 다른 내경으로 일체로 형성되고, 상기 연결홈의 측벽에 복수개의 결합공이 형성되어, 상기 설치공간보다 작은 외경으로 설치공간과의 사이에 공기이동로가 구비된 한 쌍의 집진플레이트와,It is installed symmetrically spaced apart by a spacer having a connection hole on both sides of the partition plate, the inlet groove so that foreign matter in the air moving on one side can be stacked, and the strainer is seated so as not to be separated from the foreign matter stacked in the inlet groove The groove part and the connection groove and the ring groove are integrally formed with different inner diameters, and a plurality of coupling holes are formed on the sidewalls of the connection grooves, and an air movement path is provided between the installation spaces with an outer diameter smaller than the installation space. A pair of dust collecting plates,

상기 홈부에 안착된 거름망을 고정할 수 있도록 연결홈에 삽입연결되며, 내측에 개구공과 복수개의 설치공이 형성된 한 쌍의 연결플레이트 및 A pair of connection plates inserted into and connected to the connection grooves to fix the strainer seated on the groove part, and having opening holes and a plurality of installation holes inside the grooves;

상기 구획판과 집진플레이트 및 연결플레이트를 설치공간 내에서 연결고정할 수 있도록 상기 체결공과 연결공과 결합공 및 설치공에 삽입연결되어 양단부가 상기 설치공에 고정된 체결핀을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.Preferably, the partition plate, the dust collecting plate, and the connecting plate are inserted and connected to the fastening hole, the connecting hole, the coupling hole, and the installation hole so as to secure the connection in the installation space. Do.

본 발명에 따르면, 챔버 내의 진공도를 측정할 수 있도록 설치된 진공게이지와 챔버 사이에 또는 상기 챔버와 연결된 배기라인에 진공게이지로 유입되는 공기 중의 부산물을 여과하기 위한 집진필터를 연결설치함으로써, 진공게이지로 청정공기만이 유입되도록 하여 진공게이지의 오염을 방지함과 동시에 진공게이지의 오작동을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, a vacuum gauge is installed between a vacuum gauge installed to measure the degree of vacuum in the chamber and a dust collecting filter for filtering by-products in the air flowing into the vacuum gauge in an exhaust line connected to the chamber. Only clean air is introduced to prevent contamination of the vacuum gauge and at the same time prevent malfunction of the vacuum gauge.

또한, 진공게이지를 오차 없이 장기간 사용할 수 있도록 하여 그 교환 주기를 연장함으로써, 진공게이지의 교체로 인한 공정중단 시간을 최소화하여 주어, 제품생산성이 저하되는 문제현상을 최소화할 수 있는 효과가 있다.In addition, by extending the replacement cycle by allowing the vacuum gauge to be used for a long time without error, by minimizing the process down time due to the replacement of the vacuum gauge, there is an effect that can minimize the problem phenomenon that the product productivity is reduced.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a dust collecting filter for a vacuum gauge according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터를 나타낸 분해사시도이며, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터를 나타낸 요부단면도이다.2 is a perspective view showing a dust collecting filter for vacuum gauge according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 3 is an exploded perspective view showing a dust collecting filter for vacuum gauge according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 4 is a preferred view of the present invention A sectional view showing the main parts of a dust collecting filter for a vacuum gauge according to the embodiment.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 챔버(20) 내의 진공도를 측정하기 위한 진공게이지(10)와 챔버(20)의 사이에는 챔버(20)에서 진공게이지(10)로 유입되는 공기 중의 부산물을 여과하기 위한 집진필터(100)가 연결설치된다.2 to 4, by-products in the air flowing into the vacuum gauge 10 from the chamber 20 are filtered between the vacuum gauge 10 and the chamber 20 for measuring the degree of vacuum in the chamber 20. Dust collector filter 100 for connecting is installed.

이때, 상기 챔버(20)에는 배기관(30)이 연결설치되며, 상기 배기관(30)의 단부에는 나선(35)을 갖는 제1 연결링(36)이 힌지회전 가능하게 연결된다.In this case, an exhaust pipe 30 is connected to the chamber 20, and a first connection ring 36 having a spiral 35 is hingedly connected to an end of the exhaust pipe 30.

또한, 상기 진공게이지(10)는 그 단부에 제2 연결링(32)이 힌지회전 가능하게 연결되며, 상기 제2 연결링(32)의 내주면에는 나선홈(31)이 형성된다.In addition, the vacuum gauge 10 has a second connection ring 32 is hingedly connected to the end thereof, the spiral groove 31 is formed on the inner peripheral surface of the second connection ring (32).

한편, 상기 집진필터(100)는 상기 챔버(20)와 진공게이지(10) 사이에서 진공압의 이동로를 제공하는 필터하우징(110), 구획판(120), 진공압상태로 이동중인 공기중의 이물질을 제거하기 위한 집진플레이트(130), 연결플레이트(140) 및 이들을 긴밀히 연결고정하기 위한 체결핀(150)을 포함하여 구성된다.On the other hand, the dust collecting filter 100 is the filter housing 110, partition plate 120, which provides a moving path of the vacuum pressure between the chamber 20 and the vacuum gauge 10, the air moving in a vacuum pressure state It comprises a dust collecting plate 130 for removing the foreign matter, the connection plate 140 and a fastening pin 150 for connecting and fixing them closely.

상기 필터하우징(110)은 서로 대칭되게 분할형성되어 용접된 관형태로 내측에 단면이 원형을 갖는 설치공간(111)이 형성되고, 상기 설치공간(111)의 외주면에 설치공간(111)과 연통된 걸림턱(113)이 일체로 형성된다. The filter housing 110 is formed to be symmetrically divided to form an installation space 111 having a circular cross section inside in the form of a welded tube, communicating with the installation space 111 on the outer circumferential surface of the installation space 111. The engaging jaw 113 is integrally formed.

이때, 상기 필터하우징(110)의 양측 외주면에는 단턱(119)이 돌출형성되며, 상기 단턱(119)에는 너트홈(115)을 갖는 제1 연결커넥터(116)와 볼트부(117)를 갖는 제2 연결커넥터(118)가 걸림을 취해 힌지회전 가능하도록 연결된다.At this time, the stepped 119 is formed on both outer peripheral surfaces of the filter housing 110, and the stepped 119 has a first connection connector 116 having a nut groove 115 and a bolt part 117. 2 connection connector 118 is caught to be connected to the hinge rotatable.

여기서, 상기 제1 연결커넥터(116)는 배기관(30) 측으로, 제2 연결커넥터(118)는 진공게이지(10) 측으로 연결되는 것이 바람직하다.Here, the first connection connector 116 is preferably connected to the exhaust pipe 30 side, the second connection connector 118 is connected to the vacuum gauge 10 side.

한편, 상기 구획판(120)은 그 내측에 관통공(121)이 형성되고, 상기 관통공(121)의 인접한 외측에는 복수개의 체결공(123)이 일체로 형성된다.Meanwhile, the partition plate 120 has a through hole 121 formed therein, and a plurality of fastening holes 123 are integrally formed at an adjacent outer side of the through hole 121.

이때, 상기 구획판(120)은 상기 설치공간(111)을 구획할 수 있도록 상기 걸림턱(113)에 연결설치된다.In this case, the partition plate 120 is connected to the locking step 113 to partition the installation space 111.

상기 집진플레이트(130)는 상기 구획판(120)의 양측에 이격되어 대칭되게 설치된다.The dust collecting plate 130 is spaced apart from both sides of the partition plate 120 and is installed symmetrically.

이때, 상기 집진플레이트(130)는 그 일측에 이동하는 공기중의 이물질이 적층될 수 있도록 유입홈(133)이 형성되고, 상기 유입홈(133)의 단부에는 상기 유입 홈(133)과 연통되어 유입홈(133) 보다 더 큰 내경을 갖는 홈부(135)가 형성되며, 상기 홈부(135)에는 유입홈(133)에 적층된 이물질이 이탈되지 않도록 거름망(134)이 안착된다.At this time, the dust collecting plate 130 has an inlet groove 133 is formed so that the foreign matter in the air moving on one side is formed, the end of the inlet groove 133 is in communication with the inlet groove 133 A groove 135 having an inner diameter larger than that of the inflow groove 133 is formed, and the strain net 134 is seated in the groove 135 so that foreign substances stacked in the inflow groove 133 are not separated.

또한, 상기 홈부(135)의 단부에는 상기 홈부(135)와 연통되어 홈부(135) 보다 더 큰 내경을 갖는 연결홈(136)이 형성되며, 상기 연결홈(136)의 측벽에는 상기 체결공(123)과 동일선상을 이루는 복수개의 결합공(138)이 형성된다.In addition, a connection groove 136 is formed at the end of the groove 135 to communicate with the groove 135 to have an inner diameter larger than that of the groove 135, and the fastening hole may be formed at a sidewall of the connection groove 136. A plurality of coupling holes 138 forming the same line as 123 is formed.

이때, 상기 집진플레이트(130)는 상기 설치공간(111) 보다 작은 외경으로 이루어져, 집진플레이트(130)와 설치공간(111) 사이에는 공기이동로(139)가 구비된다.At this time, the dust collecting plate 130 has an outer diameter smaller than the installation space 111, the air movement path 139 is provided between the dust collecting plate 130 and the installation space 111.

또한, 서로 대칭되게 설치된 집진플레이트(130)의 폭은 공기의 유동이 가능하도록 설치공간(111)의 폭보다 작은 폭을 갖는 것이 바람직하다. In addition, the width of the dust collecting plate 130 is installed symmetrically to each other preferably has a width smaller than the width of the installation space 111 to enable the flow of air.

또한, 상기 집진플레이트(130)와 구획판(120) 사이에는 연결공(131)을 갖는 스페이서(132)가 개재되어 집진플레이트(130)와 구획판(120) 사이가 스페이서(132)의 길이만큼 이격되게 설치된다.In addition, a spacer 132 having a connection hole 131 is interposed between the dust collecting plate 130 and the partition plate 120 such that the distance between the dust collecting plate 130 and the partition plate 120 is equal to the length of the spacer 132. It is installed spaced apart.

이에, 상기 스페이서(132)의 연결공(131)은 상기 체결공(123)과 결합공(138)에 연통을 이루게 된다.Thus, the connection hole 131 of the spacer 132 is in communication with the fastening hole 123 and the coupling hole 138.

이에, 상기 유입홈(133)을 통해 1차 여과되어 공기이동로(139)로 이동하는 공기 중의 이물질은 상기 링홈(137)에 적층됨으로써, 2차 여과를 이루게 된다.Thus, foreign matter in the air that is primarily filtered through the inlet groove 133 and moved to the air movement path 139 is stacked in the ring groove 137 to achieve secondary filtration.

한편, 상기 연결플레이트(140)는 상기 홈부(135)에 안착된 거름망(134)을 고정할 수 있도록 연결홈(136)에 삽입연결된다.On the other hand, the connection plate 140 is inserted into the connection groove 136 to be fixed to the sieve 134 seated in the groove 135.

이때, 상기 연결플레이트(140)는 그 내측에 개구공(141)이 형성되고, 상기 개구공(141)의 외측에는 상기 결합공(138)과 동일선상을 이루는 복수개의 설치공(143)이 형성된다.In this case, the connection plate 140 has an opening hole 141 formed therein, and a plurality of installation holes 143 forming the same line as the coupling hole 138 is formed outside the opening hole 141. do.

또한, 상기 체결핀(150)은 상기 구획판(120)과 집진플레이트(130) 및 연결플레이트(140)를 설치공간(111) 내에서 연결고정할 수 있도록 상기 체결공(123)과 연결공(131)과 결합공(138) 및 설치공(143)에 삽입연결되어 양단부가 상기 설치공(143)에 고정된다.In addition, the fastening pin 150 is connected to the fastening hole 123 and the connection hole so that the partition plate 120 and the dust collecting plate 130 and the connecting plate 140 can be fixed in the installation space 111 ( 131 and the coupling hole 138 and the installation hole 143 are inserted and connected to both ends are fixed to the installation hole 143.

이때, 상기 설치공(143)과 체결핀(150) 사이는 용접에 의해 고정되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the installation hole 143 and the fastening pin 150 are fixed by welding.

또한, 상기 필터하우징(110)의 외주면에는 챔버(20)에서 진공게이지(10)로 이동하는 공기의 온도변화를 방지할 수 있도록 설치공간(111)을 보온하기 위한 발포실리콘(160)이 도포된다.In addition, the outer peripheral surface of the filter housing 110 is coated with a foamed silicon 160 for insulating the installation space 111 to prevent the temperature change of the air moving from the chamber 20 to the vacuum gauge 10 .

이에 따라, 상기 챔버(20) 내의 고온의 공기는 설치공간(111)을 통과하면서 열을 빼앗기지 않아 측정조건의 변화 없이 진공게이지(10)가 진공압을 측정할 수 있게 된다.Accordingly, the high temperature air in the chamber 20 does not lose heat while passing through the installation space 111 so that the vacuum gauge 10 can measure the vacuum pressure without changing the measurement conditions.

이에, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터는 챔버 내의 진공도를 측정할 수 있도록 설치된 진공게이지와 챔버 사이에 진공게이지로 유입되는 공기 중의 부산물을 여과하기 위한 집진필터를 연결설치함으로써, 진공게이지로 청정공기만이 유입되도록 하여 진공게이지의 오염을 방지함과 동시에 진공게이지의 반응을 기민하게 수행할 수 있도록 하여 제조공정이 원활히 이루어질 수 있 도록 한 것으로, 이에 따른 작용효과를 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.Accordingly, the dust collecting filter for vacuum gauge according to a preferred embodiment of the present invention by connecting the dust collecting filter for filtering the by-products in the air flowing into the vacuum gauge between the vacuum gauge and the chamber installed to measure the degree of vacuum in the chamber, Only the clean air is introduced into the vacuum gauge to prevent contamination of the vacuum gauge and to perform the reaction of the vacuum gauge promptly, so that the manufacturing process can be performed smoothly. This will be described in detail.

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터의 설치상태를 나타낸 요부단면도이고, 도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터의 동작관계를 타나낸 사용상태도이다.FIG. 5 is a sectional view showing main parts of an installation state of a dust collecting filter for a vacuum gauge according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a use state diagram showing an operation relationship of a dust collecting filter for a vacuum gauge according to a preferred embodiment of the present invention. .

도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 필터하우징(110)의 일단을 챔버(20)의 배기관(30)에 연통되게 위치시키고, 타단을 상기 진공게이지(10)에 연통되게 위치시킨다.5 and 6, one end of the filter housing 110 is positioned in communication with the exhaust pipe 30 of the chamber 20, and the other end is positioned in communication with the vacuum gauge 10.

이후, 상기 제2 연결커넥터(118)의 볼트부(117)를 제2 연결링(32)의 나선홈(31)에 볼트체결하고, 상기 제1 연결커넥터(116)의 너트홈(115)에 제 연결링(36)의 나선(35)을 볼트체결한다. 이에 따라, 상기 진공게이지용 집진필터(100)는 진공게이지(10)와 챔버(20) 사이에서 긴밀한 연결관계를 이루게 된다.Thereafter, the bolt part 117 of the second connection connector 118 is bolted to the spiral groove 31 of the second connection ring 32, and the nut groove 115 of the first connection connector 116 is connected thereto. The screw 35 of the coupling ring 36 is bolted. Accordingly, the dust collecting filter 100 for the vacuum gauge has a close connection between the vacuum gauge 10 and the chamber 20.

이에, 상기 진공게이지(10)로 유입되는 공기는 필터하우징(110)을 통해 상기 설치공간(111)으로 유입되며, 그 공기 중에 분포하는 이물질은 거름망(134)을 통과하여 유입홈(133)의 표면에 밀착되어 적층된다.Thus, the air flowing into the vacuum gauge 10 is introduced into the installation space 111 through the filter housing 110, the foreign matter distributed in the air passes through the strainer 134 of the inlet groove 133 It adheres to the surface and is stacked.

이와 같이 유입홈(133)에 적층된 이물질들은 서로 응결되고, 응결된 이물질은 거름망(134)에 의해 유입홈(133)에서 이탈되지 않게 된다.In this way, foreign matters stacked in the inlet groove 133 are condensed with each other, and the condensed foreign substances are not separated from the inlet groove 133 by the strainer 134.

또한, 상기 유입홈(133)에서 1차 여과된 공기는 링홈(137)을 통과하는 과정에서 이물질이 링홈(137) 표면에 밀착되어 2차 여과되며, 1,2차에 걸쳐 여과된 공기는 공기이동로(139)를 통해 설치공간(111) 내부로 유입된다.In addition, the primary filtered air in the inlet groove 133 is secondly filtered while the foreign matter is in close contact with the surface of the ring groove 137 in the course of passing through the ring groove 137, the air filtered through the first and second air is air It is introduced into the installation space 111 through the moving path (139).

이후, 상기 설치공간(111) 내부로 유입된 여과된 공기는 구획판(120)의 관통 공(121)을 통해 대칭되게 설치된 집진플레이트(130)의 배면을 경유하여 공기이동로(139)를 통해 진공게이지(10)로 유입된다.Thereafter, the filtered air introduced into the installation space 111 passes through the air movement path 139 via the rear surface of the dust collecting plate 130 symmetrically installed through the through hole 121 of the partition plate 120. It is introduced into the vacuum gauge (10).

이에 따라, 진공게이지(10)로 유입되는 공기 중의 이물질은 집진필터(100)를 통해 여과되어 진공게이지로 청정공기만이 유입되도록 함으로써, 진공게이지의 오염을 방지함과 동시에 진공게이지의 반응을 기민하게 수행할 수 있도록 하여 제조공정이 원활히 이루어질 수 있도록 한다.Accordingly, foreign matters in the air flowing into the vacuum gauge 10 are filtered through the dust collecting filter 100 to allow only clean air to flow into the vacuum gauge, thereby preventing contamination of the vacuum gauge and simultaneously reacting the reaction of the vacuum gauge. It can be done so that the manufacturing process can be performed smoothly.

도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터의 다른 설치예를 나타낸 단면도이다.7 is a cross-sectional view showing another example of installation of a dust collecting filter for a vacuum gauge according to a preferred embodiment of the present invention.

도 7에 도시된 바와 같이 본 발명의 집진필터(100)은 그 실시예에 따라 상기 챔버(20)와 연결된 배기라인(S)에 설치될 수도 있다.As shown in FIG. 7, the dust collecting filter 100 of the present invention may be installed in the exhaust line S connected to the chamber 20 according to the embodiment.

도 1은 종래의 진공게이지의 사용상태를 나타낸 단면도,1 is a cross-sectional view showing a state of use of a conventional vacuum gauge,

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터를 나타낸 사시도,2 is a perspective view showing a dust collecting filter for a vacuum gauge according to a preferred embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터를 나타낸 분해사시도,3 is an exploded perspective view showing a dust collecting filter for a vacuum gauge according to a preferred embodiment of the present invention,

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터를 나타낸 요부단면도,4 is a sectional view showing the main parts of a dust collecting filter for a vacuum gauge according to a preferred embodiment of the present invention;

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터의 설치상태를 나타낸 요부단면도,5 is a sectional view showing the main parts of an installed state of a dust collecting filter for a vacuum gauge according to a preferred embodiment of the present invention;

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터의 동작관계를 타나낸 사용상태도 및6 is a use state diagram showing the operation relationship of the dust collecting filter for vacuum gauge according to a preferred embodiment of the present invention and

도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터의 다른 설치예를 나타낸 단면도이다.7 is a cross-sectional view showing another example of installation of a dust collecting filter for a vacuum gauge according to a preferred embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 진공게이지 20 : 챔버10: vacuum gauge 20: chamber

110 : 필터하우징 111 : 설치공간110: filter housing 111: installation space

120 : 구획판 121 : 관통공120: partition plate 121: through hole

130 : 집진플레이트 134 : 거름망130: dust collecting plate 134: sieve

140 : 연결플레이트 141 : 개구공140: connecting plate 141: opening hole

150 : 체결핀 160 : 발포실리콘150: fastening pin 160: foamed silicone

Claims (4)

진공압 상태의 챔버(20) 일측에 설치되어 챔버(20) 내의 진공도를 측정하기 위한 진공게이지(10)에 있어서, In the vacuum gauge 10 is installed on one side of the chamber 20 in a vacuum state to measure the degree of vacuum in the chamber 20, 상기 진공게이지(10)와 챔버(20) 사이에는 진공게이지(10)로 유입되는 공기의 흐름방향을 변환하여 그 이동로에 공기 중의 부산물을 축적시켜 여과하기 위한 집진필터(100)가 연결설치됨을 특징으로 하는 진공게이지용 집진필터.Between the vacuum gauge 10 and the chamber 20, the dust collecting filter 100 for converting the flow direction of the air flowing into the vacuum gauge 10 to accumulate by-products in the air in the movement path is filtered A dust collecting filter for vacuum gauge, characterized in that. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 집진필터(100)는 The dust collecting filter 100 서로 대칭되게 분할형성되어 용접된 관형태로 내측에 설치공간(111)이 형성되고, 상기 설치공간(111)의 외주면에 설치공간(111)과 연통된 걸림턱(113)이 형성되며, 양측에 너트홈(115)을 갖는 제1 연결커넥터(116)와 볼트부(117)를 갖는 제2 연결커넥터(118)가 단턱(119)에 의해 걸림을 취해 힌지회전 가능하도록 연결된 필터하우징(110)과,The installation space 111 is formed on the inner side in the form of a welded tube formed symmetrically to each other, the locking step 113 is formed in communication with the installation space 111 on the outer peripheral surface of the installation space 111, both sides The first connecting connector 116 having the nut groove 115 and the second connecting connector 118 having the bolt portion 117 are caught by the step 119 and the filter housing 110 connected to the hinge rotatably. , 상기 설치공간(111)을 구획할 수 있도록 상기 걸림턱(113)에 연결설치되며, 내측에 관통공(121)과 복수개의 체결공(123)이 형성된 구획판(120)과,A partition plate 120 connected to the hooking jaw 113 to partition the installation space 111 and having a through hole 121 and a plurality of fastening holes 123 formed therein; 상기 구획판(120)의 양측에 연결공(131)을 갖는 스페이서(132)에 의해 이격되어 대칭되게 설치되며, 일측에 이동하는 공기 중의 이물질이 적층될 수 있도록 유입홈(133)과, 상기 유입홈(133)에 적층된 이물질이 이탈되지 않도록 거름망(134) 이 안착되는 홈부(135)와, 연결홈(136)과 링홈(137)이 서로 다른 내경으로 일체로 형성되고, 상기 연결홈(136)의 측벽에 복수개의 결합공(138)이 형성되어, 상기 설치공간(111)보다 작은 외경으로 설치공간(111)과의 사이에 공기이동로(139)가 구비된 한 쌍의 집진플레이트(130)와,Spaced by the spacer 132 having a connection hole 131 on both sides of the partition plate 120 is installed symmetrically, the inlet groove 133 and the inlet so that foreign matter in the air moving to one side can be stacked, The groove 135 to which the sieve 134 is seated and the connection groove 136 and the ring groove 137 are integrally formed with different inner diameters so that the foreign matter stacked in the groove 133 is not separated, and the connection groove 136 A plurality of coupling holes 138 are formed on the side wall of the), and a pair of dust collecting plates 130 provided with an air moving path 139 between the installation space 111 with an outer diameter smaller than the installation space 111. )Wow, 상기 홈부(135)에 안착된 거름망(134)을 고정할 수 있도록 연결홈(136)에 삽입연결되며, 내측에 개구공(141)과 복수개의 설치공(143)이 형성된 한 쌍의 연결플레이트(140) 및 A pair of connection plates inserted into and connected to the connection groove 136 to fix the sieve 134 seated in the groove 135 and having an opening hole 141 and a plurality of installation holes 143 therein. 140) and 상기 구획판(120)과 집진플레이트(130) 및 연결플레이트(140)를 설치공간(111) 내에서 연결고정할 수 있도록 상기 체결공(123)과 연결공(131)과 결합공(138) 및 설치공(143)에 삽입연결되어 양단부가 상기 설치공(143)에 고정된 체결핀(150)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 진공게이지용 집진필터.The fastening hole 123 and the connection hole 131 and the coupling hole 138 to fix the partition plate 120 and the dust collecting plate 130 and the connecting plate 140 in the installation space 111 and Dust collecting filter for vacuum gauge, characterized in that the insertion hole is connected to the installation hole (143) comprises a fastening pin (150) fixed at both ends of the installation hole (143). 제 1항 또는 제 2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 필터하우징(110)의 외주면에는 챔버(20)에서 진공게이지(10)로 이동하는 공기의 온도변화를 방지할 수 있도록 설치공간(111)을 보온하기 위한 발포실리콘(160)이 도포됨을 특징으로 하는 진공게이지용 집진필터.The outer peripheral surface of the filter housing 110 is characterized in that the foamed silicon 160 for insulating the installation space 111 to prevent the temperature change of the air moving from the chamber 20 to the vacuum gauge 10 is coated Dust collecting filter for vacuum gauge 제 1항 또는 제 2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 집진필터(100)는 챔버(20)와 연결된 배기라인(S)에 더 설치됨을 특징으로 하는 진공게이지용 집진필터.The dust collecting filter 100 is a vacuum gauge dust collecting filter, characterized in that further installed in the exhaust line (S) connected to the chamber (20).
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