KR20090059875A - Electronic ink display device and method for fabricating the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 컬러 일렉트로닉 잉크 표시 장치에 관한 것으로, 특히 제조 공정을 손쉽게 함과 아울러 플렉서블 디스플레이를 구현할 수 있는 컬러 일렉트로닉 잉크 표시 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color electronic ink display device, and more particularly, to a color electronic ink display device capable of facilitating a manufacturing process and implementing a flexible display.
정보화 사회의 발전에 따라, 시각적 정보를 표시하기 위하여 종래의 CRT(Cathode Ray Tube)를 대신하여, PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display Device), LCD(Liquid Crystal Display Device), OLED(Organic Light Emitting Diode)와 같은 평판 표시 장치들에 대한 기술의 개발이 활발해지고 있다.In accordance with the development of the information society, instead of the conventional CRT (Cathode Ray Tube) to display visual information, PDP (Plasma Display Panel), FED (Field Emission Display Device), LCD (Liquid Crystal Display Device), OLED ( The development of technologies for flat panel display devices such as Organic Light Emitting Diodes is being actively promoted.
이와 같이 다양한 평판 표시 장치들 가운데에서도, 종이와 같이 가볍우면서도 적은 소비전력을 사용하는 일렉트로닉 잉크 표시 장치는 새롭게 주목을 받고 있는 차세대 화상 표시 장치이다.Among such various flat panel display devices, an electronic ink display device that uses light power and low power consumption, such as paper, is a new generation of image display devices that are attracting new attention.
일렉트로닉 잉크 표시장치는, 기판 상에 일렉트로닉 잉크 필름 레이어가 형성된 일렉트로닉 잉크 기판을 이용하여 플렉서블 디스플레이(Flexible Display)를 구현하거나, 디지털 페이퍼 표시장치(Digital Paper Display Device ; DPD) 등으로 이용하는 기술이 개발되고 있다.Electronic ink display device is a technology to implement a flexible display (Digital Paper Display Device; DPD) using a electronic ink substrate having an electronic ink film layer formed on the substrate, have.
도1은 흑백 화면을 구현할 수 있는 종래의 모노(Mono) 일렉트로닉 잉크 표시장치의 동작 원리를 설명하기 위한 단면도이다.1 is a cross-sectional view for explaining a principle of operation of a conventional mono electronic ink display device capable of realizing a black and white screen.
참고로 이하의 도면에서 동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다.For reference, like reference numerals in the following drawings refer to like elements.
도1에 도시된 바와 같이, 종래의 모노 일렉트로닉 잉크 표시장치는, 일렉트로닉 잉크 기판(30)과, 각 화소를 구동하기 위한 화소 전극(12)이 구비된 어레이 기판(10)이 서로 대향하여 합착되어 구성된다.As shown in Fig. 1, in the conventional monoelectronic ink display device, the
상기 어레이 기판(10)에는 도시하지는 않았지만, 각 화소 전극을 구동하기 위한 스위칭 소자가 구비된다.Although not shown, the
상기 일렉트로닉 잉크 기판(30)은, 일렉트로닉 잉크 기판 상에 투명 도전물질로 형성된 공통 전극층(33)과, 상기 공통 전극층에 고분자 바인더에 의하여 접착되며 전기 영동 분산액(electrophoretic dispersion fluid)(38)이 주입된 마이크로 캡슐(micro capsule)(36)이 조밀하게 집적된 일렉트로닉 잉크 필름 레이어(electronic ink film layer)(34)로 구성된다. The
상기 마이크로 캡슐안에 주입되어 있는 전기 영동 분산액에는 양전하(positive charge)를 띠는 화이트 피그먼트(white pigment)(37a)와, 음전하(negative charge)를 띠는 블랙 피그먼트(black pigment)(37b)가 분산(dispersion)되어 있다.The electrophoretic dispersion injected into the microcapsules includes a positively charged
따라서, 상기 어레이 기판의 화소 전극과 일렉트로닉 잉크 기판의 공통 전극 층 사이에 형성되는 전계에 의하여, 마이크로 캡슐안에 내장된 피그먼트를 영동시켜 화상을 구현하게 된다.Therefore, an image formed by moving a pigment embedded in a microcapsule is generated by an electric field formed between the pixel electrode of the array substrate and the common electrode layer of the electronic ink substrate.
예를 들면, 상기 화소 전극(12)의 전위가 공통 전극의 전위보다 높은 경우, 상기 마이크로 캡슐 내에서 화소 전극에 가까운 쪽에는 음전하를 띠는 블랙 피그먼트(37b)들이 모이게 된고, 반대로 마이크로 캡슐 내에서 화소 전극에 먼 쪽에는 양전하를 띠는 화이트 피그먼트(37a)들이 모이게 된다. 따라서, 블랙 피그먼트나 화이트 피그먼트에 의해 반사되는 빛을 통해 흑백의 화상을 구현하는 것이 가능하게 된다.For example, when the potential of the
그러나, 이러한 종래의 모노 일렉트로닉 잉크 표시 장치로는, 다양한 컬러 화상을 구현하지 못한다는 단점이 있었다.However, such a conventional mono-electronic ink display device has a disadvantage in that it cannot implement various color images.
이러한 단점을 극복하기 위하여, 모노 일렉트로닉 잉크 표시 장치에 컬러 필터 기판을 부착하여 컬러 화면을 구현한 컬러 일렉트로닉 잉크 표시 장치가 도입되었다.In order to overcome these disadvantages, a color electronic ink display device having a color screen by attaching a color filter substrate to a mono electronic ink display device has been introduced.
도2a 내지 도2c는 종래의 컬러 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법을 도시한 공정 단면도이다.2A to 2C are cross-sectional views showing a manufacturing method of a conventional color electronic ink display device.
먼저, 도2a와 같이, 화소 전극(12) 및 각 화소 전극을 구동하기 위한 스위칭 소자를 포함하는 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 어레이 기판(10)과, 컬러 필터층(22)을 포함하는 컬러 필터 어레이가 형성된 컬러 필터 기판(20)을 준비한다.First, as shown in FIG. 2A, an
도시하지는 않았지만, 상기 어레이 기판에는 서로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차부 에 형성되어 스위칭 소자로 작동하는 박막 트랜지스터가 형성된다.Although not shown, the array substrate includes a gate line and a data line crossing each other to define a pixel region, and a thin film transistor formed at an intersection of the gate line and the data line to operate as a switching element.
또한, 상기 컬러 필터 기판에는 상기 어레이 기판의 화소 영역과 대응되도록 화소 영역을 정의하는 블랙 매트릭스(미도시)가 형성되고, 상기 화소 영역에 상기 컬러 필터가 형성된다.In addition, a black matrix (not shown) defining a pixel region is formed in the color filter substrate so as to correspond to the pixel region of the array substrate, and the color filter is formed in the pixel region.
다음으로, 도2b와 같이, 상기 어레이 기판에 전기 영동 분산액(electrophoretic dispersion fluid)(38)이 주입된 마이크로 캡슐(micro capsule)(36)이 조밀하게 집적된 일렉트로닉 잉크 필름 레이어(electronic ink film layer)(34)를 구비한 일렉트로닉 잉크 기판(30)을 합착한다. 이 때, 상기 일렉트로닉 잉크 기판의 하부 및 상부에는 각각 제 1 접착층(32a) 및 제 2 접착층(32b)이 형성된다.Next, as shown in FIG. 2B, an electronic ink film layer in which a
상기 마이크로 캡슐안에는, 전기 영동 분산액에 분산되어 있어서 전계의 방향에 따라 운동하는 전기 영동성 입자인 화이트 피그먼트(37a) 및 블랙 피그먼트(37b)가 분산되어 있다.In the microcapsule,
또한, 상기 일렉트로닉 잉크 기판 상에는 투명한 도전 물질, 즉 예를 들면 인듐-주석 산화물(Indium-Tin Oxide : ITO)이나 인듐-아연 산화물(Indium-Zinc Oxide) 등으로 이루어진 공통 전극층(33)이 구비된다.In addition, a common
다음으로, 도2c와 같이, 일렉트로닉 잉크 기판이 합착된 어레이 기판 상부에 컬러필터층(22)이 형성된, 컬러 필터 기판(20)을 합착하여 컬러 일렉트로닉 잉크 표시 장치를 완성한다.Next, as shown in FIG. 2C, the
이와 같이 완성된 컬러 일렉트로닉 잉크 표시 장치는, 컬러 필터 기판 쪽에 위치한 관찰자가 컬러 필터를 통과하여 반사되는 빛을 통해 컬러 화면을 인식할 수 있다. In the color electronic ink display device thus completed, an observer located on the color filter substrate side may recognize the color screen through light reflected through the color filter.
그러나, 이와 같은 종래의 컬러 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법은 다음과 같은 문제점이 있다.However, such a conventional method of manufacturing a color electronic ink display device has the following problems.
컬러 일렉트로닉 잉크 표시 장치로 플렉서블(Flexible) 디스플레이를 구현하기 위하여, 플라스틱(plastic) 기판이나 메탈 호일(metal foil)기판 상에 컬러 일렉트로닉 잉크 표시 장치를 제조할 경우에는, 기판이 휘어지는 등의 문제로 인하여 공정을 수행하기 곤란하다는 문제점이 있었다.When manufacturing a color electronic ink display device on a plastic substrate or a metal foil substrate in order to realize a flexible display using the color electronic ink display device, the substrate may be bent due to a problem such as bending of the substrate. There was a problem that the process was difficult to carry out.
따라서, 플렉서블한 컬러 일렉트로닉 잉크 표시 장치를 구현하기 위하여, 글래스 기판 상에 접착제를 이용하여 플라스틱 기판을 부착한 다음 공정을 진행하고, 완성된 후에는 플라스틱 기판을 글래스 기판으로부터 분리하여 제조하였다. 그러나, 이러한 경우에는 플라스틱 기판을 글래스 기판에 접합 및 분리하는 공정이 추가된다는 문제점이 있었다.Therefore, in order to implement a flexible color electronic ink display device, a plastic substrate is attached to the glass substrate using an adhesive on a glass substrate, and then a process is performed. After completion, the plastic substrate is separated from the glass substrate and manufactured. However, in this case, there is a problem in that a process of bonding and separating the plastic substrate to the glass substrate is added.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, The present invention has been made to solve this problem,
글래스 기판을 이용하여 컬러 일렉트로닉 잉크 표시 장치를 제조한 다음, 상기 글래스 기판을 식각하여 글래스를 완전히 제거하거나 박막 형태로만 잔존하도록 하여, 플렉서블한 일렉트로닉 잉크 표시 장치를 구현하는 것을 목적으로 한다.After manufacturing a color electronic ink display apparatus using a glass substrate, the glass substrate is etched to completely remove the glass or remain only in a thin film form, thereby implementing a flexible electronic ink display apparatus.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법은, 글래스 기판 상에 유기막을 형성하는 단계와, 상기 유기막 상에 박막 트랜지스터 어레이 및 컬러 필터 어레이를 동시에 형성하는 단계와, 상기 기판에 일렉트로닉 잉크 필름 레이어를 가지는 일렉트로닉 잉크 기판을 합착하는 단계와, 상기 글래스 기판을 식각하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a method of manufacturing an electronic ink display device according to an exemplary embodiment of the present invention includes forming an organic film on a glass substrate, and simultaneously forming a thin film transistor array and a color filter array on the organic film. And bonding the electronic ink substrate having the electronic ink film layer to the substrate, and etching the glass substrate.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법은, 글래스 기판 상에 유기막을 형성하는 단계와, 상기 유기막 상에 컬러 필터 어레이를 형성하는 단계와, 메탈 호일 기판 상에 박막 트랜지스터 어레이를 형성하는 단계와, 상기 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 메탈 호일 기판 상에 일렉트로닉 잉크 필름 레이어를 가지는 일렉트로닉 잉크 기판을 합착하는 단계와, 상기 일렉트로닉 잉크 기판 상에 상기 글래스 기판을 합착하는 단계와, 상기 글래스 기판을 식각하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an electronic ink display device, including forming an organic film on a glass substrate, forming an array of color filters on the organic film, and forming a metal foil. Forming a thin film transistor array on a substrate, bonding an electronic ink substrate having an electronic ink film layer on the metal foil substrate on which the thin film transistor array is formed, and bonding the glass substrate on the electronic ink substrate. And etching the glass substrate.
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법은, 글래스 기판 상에 COT(color-filter on TFT) 구조를 가지도록 박막 트랜지스터 어레이 및 컬러 필터 어레이를 동시에 형성하여, 합착에 따라 개구율이 감소하는 문제를 줄일 수 있는 효과를 가진다. As described above, in the method of manufacturing the electronic ink display device according to the embodiment of the present invention, the thin film transistor array and the color filter array are simultaneously formed to have a color-filter on TFT (COT) structure on the glass substrate, This has the effect of reducing the problem of decreasing the aperture ratio.
또한, 글래스 기판 상에 박막 트랜지스터 어레이 및 컬러 필터 어레이를 형성한 후 글래스 기판을 식각하여 플렉서블한 일렉트로닉 잉크 표시 장치를 구현함과 아울러 양산성을 높일 수 있으며, 경량화를 구현할 수 있는 효과를 가진다.In addition, after forming a thin film transistor array and a color filter array on the glass substrate, the glass substrate is etched to realize a flexible electronic ink display device, and can also be mass-produced, thereby achieving light weight.
본 발명의 다른 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법은, 역시 양산성을 가지는 플렉서블한 일렉트로닉 잉크 표시 장치를 구현할 수 있음과 아울러, 상대적으로 높은 개구율의 박막 트랜지스터 어레이를 가지는 일렉트로닉 잉크 표시 장치를 설계할 수 있는 효과를 가진다.The manufacturing method of the electronic ink display device according to another embodiment of the present invention can implement a flexible electronic ink display device which is also mass-producible, and has an electronic ink display device having a thin film transistor array having a relatively high aperture ratio. Has an effect that can be designed.
다음으로 본 발명의 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법에 대하여 설명하기로 한다.Next, a manufacturing method of an electronic ink display device according to an embodiment of the present invention will be described.
본 발명의 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법은,Method of manufacturing an electronic ink display device according to an embodiment of the present invention,
글래스 기판 상에 유기막을 형성하는 단계와, 상기 유기막 상에 박막 트랜지스터 어레이 및 컬러 필터 어레이를 동시에 형성하는 단계와, 상기 기판에 일렉트로닉 잉크 필름 레이어를 가지는 일렉트로닉 잉크 기판을 합착하는 단계와, 상기 글래스 기판을 식각하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Forming an organic film on a glass substrate, simultaneously forming a thin film transistor array and a color filter array on the organic film, and bonding an electronic ink substrate having an electronic ink film layer to the substrate, And etching the substrate.
본 발명의 다른 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법은,Method of manufacturing an electronic ink display device according to another embodiment of the present invention,
글래스 기판 상에 유기막을 형성하는 단계와, 상기 유기막 상에 컬러 필터 어레이를 형성하는 단계와, 메탈 호일 기판 상에 박막 트랜지스터 어레이를 형성하는 단계와, 상기 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 메탈 호일 기판 상에 일렉트로닉 잉크 필름 레이어를 가지는 일렉트로닉 잉크 기판을 합착하는 단계와, 상기 일렉트로닉 잉크 기판 상에 상기 글래스 기판을 합착하는 단계와, 상기 글래스 기판을 식각하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Forming an organic film on a glass substrate, forming a color filter array on the organic film, forming a thin film transistor array on a metal foil substrate, and forming a thin film transistor array on the metal foil substrate. Bonding the electronic ink substrate having an electronic ink film layer, bonding the glass substrate onto the electronic ink substrate, and etching the glass substrate.
다음으로 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 제 1 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법에 대하여 첨부된 도면을 참조로 하여 보다 상세 히 설명하기로 한다.Next, a method of manufacturing an electronic ink display device according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
첨부된 도3a 내지 도3d는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법을 도시한 공정 단면도이다.3A to 3D are sectional views showing the manufacturing method of the electronic ink display device according to the first embodiment of the present invention.
먼저, 도3a에서와 같이, 글래스 기판(100)의 전면에 유기막(400)을 형성한다. 상기 유기막으로는, 아크릴(acryl) 계열의 유기 물질 또는 폴리이미드(polyimide) 계열의 유기 물질을 이용하는 것이 가능하며 이에 한정되지는 않는다.First, as shown in FIG. 3A, the
또한, 도시하지는 않았으나, 상기 유기막을 형성하기 이전에 기판 상에 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막과 같은 무기막을 추가로 형성하는 것도 가능할 것이다.In addition, although not shown, it may be possible to further form an inorganic film such as a silicon nitride film or a silicon oxide film on the substrate before forming the organic film.
다음으로, 도3b와 같이, 상기 유기막 상부에 컬러 필터층을 구비하는 박막 트랜지스터 어레이 및 컬러 필터 어레이를 동시에 형성한다.Next, as shown in FIG. 3B, a thin film transistor array and a color filter array including a color filter layer are formed simultaneously on the organic layer.
우선 유기막 상에 도전층을 형성한 다음, 상기 도전층을 식각하여 게이트 라인(미도시) 및 상기 게이트 라인으로부터 분기된 게이트 전극(101)을 형성하고, 상기 게이트 라인 및 게이트 전극을 포함한 기판 전면을 덮도록 게이트 절연막(102)을 형성한다.First, a conductive layer is formed on the organic layer, and then the conductive layer is etched to form a gate line (not shown) and a
이어서 상기 게이트 절연막 상부에 반도체 물질층과 전도층을 차례로 형성한 다음, 상기 반도체 물질층과 전도층을 동시에 패터닝하여 상기 게이트 전극과 중첩되는 반도체층(103)과, 상기 게이트 라인과 게이트 절연막을 사이로 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 라인(미도시)과, 상기 데이터 라인으로부터 분기하여 상기 반도체층과 중첩되는 영역을 가지도록 소스 전극(104a) 및 상기 소스 전극과 이격하여 마주보도록 드레인 전극(104b)을 형성한다.Subsequently, a semiconductor material layer and a conductive layer are sequentially formed on the gate insulating layer, and then the semiconductor material layer and the conductive layer are patterned at the same time to overlap the
이어서, 상기 데이터 라인과, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한 기판 전면을 덮도록 보호막(105)을 형성한다.Subsequently, the
이어서, 상기 보호막 상부에 포토레지스트를 도포한 후, 화소 영역을 노출시키도록 포토레지스트를 패터닝하여 블랙 매트릭스(202)를 형성하고, 마찬가지로 포토레지스트를 도포한 후 패터닝하여서 상기 화소 영역에 컬러 필터층(204)을 형성한다.Subsequently, after the photoresist is applied on the passivation layer, the photoresist is patterned to expose the pixel region, thereby forming a
이어서, 블랙 매트릭스 및 컬러 필터층 상부를 덮도록 평탄화층(206)을 형성하고, 상기 드레인 전극(104b)을 노출시키도록 평탄화층, 블랙 매트릭스층, 및 보호막의 일부를 제거하여 컨택홀을 형성한 다음, 상기 컨택홀을 덮도록 화소 전극(106)을 형성한다.Next, the
다음으로, 도3c와 같이, 상기 박막 트랜지스터 어레이 및 컬러 필터 어레이가 동시에 형성된 글래스 기판의 상부에, 일렉트로닉 잉크 필름 레이어를 가지는 일렉트로닉 잉크 기판을 합착한다.Next, as shown in FIG. 3C, the electronic ink substrate having the electronic ink film layer is bonded to the glass substrate on which the thin film transistor array and the color filter array are formed at the same time.
상기 일렉트로닉 잉크 기판(300)은, 플라스틱 기판과 같이 가요성을 가지는 기판 전면에 형성된 공통 전극층(333)과, 상기 공통 전극층 상에 형성된 일렉트로닉 잉크 필름 레이어(334)와, 상기 일렉트로닉 잉크 레이어 필름을 상기 글래스 기판(100) 상에 합착시키기 위한 접착층(332)을 구비한다.The
상기 일렉트로닉 잉크 필름 레이어(334)는, 전기 영동 분산액(338)이 주입된 마이크로 캡슐(336)이 조밀하게 집적되어 형성되고, 상기 전기 영동 분산액내에는 양전하를 띠는 화이트 피그먼트(337a)와, 음전하를 띠는 블랙 피그먼트(337b)가 분산되어 있다.The electronic
다음으로 도3d와 같이, 합착된 기판에서 글래스 기판을 식각하여 제거한다.Next, as illustrated in FIG. 3D, the glass substrate is etched and removed from the bonded substrate.
이와 같이, 글래스 기판이 식각되어 제거되면 상기 유기막(400)이 표면에 노출된다. 즉, 유기막은 글래스와 다른 식각 선택비를 가짐으로써 에치 스톱층으로 작용하여 어레이 내부가 식각되는 것을 방지함과 아울러 일렉트로닉 잉크 표시 장치 내부로 습기가 침투하는 것을 방지하는 역할을 한다. As such, when the glass substrate is etched and removed, the
특히, 무기막이 추가로 더 형성되어 있는 경우에는 습기 침투를 방지하는 효과를 더욱 현저하게 한다.In particular, when the inorganic film is further formed, the effect of preventing moisture penetration is further remarkable.
또한, 노출된 유기막의 표면에 보호필름(protective film)을 추가로 더 부착하는 것도 가능하다.It is also possible to further attach a protective film to the surface of the exposed organic film.
상기 보호 필름으로는 예를 들면, 폴리카보네이트(PC:polycarbonate), 폴리스티렌(PS:polystyrene), 폴리에테르술폰(PES:polyethersulphone), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET:polyethylene terephthalate), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN:polyethylene naphthalate) 등의 재질로 형성할 수 있으며, 이에 한정되지는 않는다.As the protective film, for example, polycarbonate (PC: polycarbonate), polystyrene (PS: polystyrene), polyether sulfone (PES: polyethersulphone), polyethylene terephthalate (PET: polyethylene terephthalate), polyethylene naphthalate (PEN: polyethylene) naphthalate) and the like, but is not limited thereto.
또한, 상기 보호필름 대신에 유기보호막을 코팅하는 것도 가능할 것이다. In addition, it may be possible to coat the organic protective film instead of the protective film.
한편, 글래스 기판을 식각할 때, 도4에서와 같이, 글래스 기판을 부분적으로만 식각하여 박막 형태의 유리막(100a)만 잔존하도록 글래스 기판을 식각하는 것도 가능할 것이다. 이와 같이, 글래스 기판이 100㎛이하의 두께를 가지는 박막 형태가 되면 플렉서블 디스플레이를 구현하는 것이 가능하게 된다.Meanwhile, when etching the glass substrate, it may be possible to etch the glass substrate so that only the
이와 같이, 박막 형태의 유리막이 존재하면, 외부의 수분 등으로부터 소자를 보호하는 효과가 더욱 향상된다.As described above, when the glass film in the form of a thin film is present, the effect of protecting the device from external moisture or the like is further improved.
역시, 상기 박막 형태의 유리막 상부에 보호필름을 부착하거나 유기보호막을 코팅하는 것도 가능할 것이다.Also, it may be possible to attach a protective film or coat an organic protective film on the glass film in the form of the thin film.
또한, 상기 일렉트로닉 잉크 기판의 상부에도 보호필름을 더 부착하는 것도 가능할 것이다.In addition, the protective film may be further attached to the upper portion of the electronic ink substrate.
이와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법은, 글래스 기판 상에 COT(color-filter on TFT) 구조를 가지도록 박막 트랜지스터 어레이 및 컬러 필터 어레이를 동시에 형성하여, 합착에 따라 개구율이 감소하는 문제를 줄일 수 있는 효과를 가진다. As described above, in the method of manufacturing the electronic ink display device according to the first embodiment of the present invention, the thin film transistor array and the color filter array are simultaneously formed to have a color filter on TFT (COT) structure on a glass substrate, This has the effect of reducing the problem that the aperture ratio is reduced.
또한, 글래스 기판 상에 박막 트랜지스터 어레이 및 컬러 필터 어레이를 형성한 후 글래스 기판을 식각하여 플렉서블한 일렉트로닉 잉크 표시 장치를 구현함과 아울러 양산성을 높일 수 있는 효과를 가진다.In addition, after forming the thin film transistor array and the color filter array on the glass substrate, the glass substrate is etched to realize a flexible electronic ink display device and increase the productivity.
다음으로 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법에 대하여 첨부된 도면을 참조로 하여 설명하기로 한다.Next, a method of manufacturing an electronic ink display device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
첨부된 도5a 내지 도5f는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.5A to 5F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the electronic ink display device according to the second embodiment of the present invention.
먼저, 도5a에 도시된 바와 같이, 글래스 기판(200) 상에 유기막(400)을 형성 한다.First, as shown in FIG. 5A, the
상기 유기막은, 아크릴(acryl) 계열의 유기 물질 또는 폴리이미드(polyimide) 계열의 유기 물질을 이용하는 것이 가능하며 이에 한정되지는 않는다.The organic layer may use an acryl-based organic material or a polyimide-based organic material, but is not limited thereto.
또한, 도시하지는 않았으나, 상기 유기막을 형성하기 이전에 기판 상에 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막과 같은 무기막을 추가로 형성하는 것도 가능할 것이다.In addition, although not shown, it may be possible to further form an inorganic film such as a silicon nitride film or a silicon oxide film on the substrate before forming the organic film.
다음으로, 도5b에 도시된 바와 같이, 상기 유기막(400) 상에 컬러 필터층(222)을 구비하는 컬러 필터 어레이를 형성한다.Next, as shown in FIG. 5B, a color filter array including a
보다 자세히는, 예를 들면, 상기 유기막 상에 포토레지스트를 도포한 후 화소 영역을 정의하도록 블랙 매트릭스(미도시)를 패터닝하여 형성하고, 다시 포토레지스트를 도포한 후 상기 화소 영역을 덮도록 패터닝하여 컬러 필터층(222)을 형성할 수 있다.More specifically, for example, after forming a photoresist on the organic layer and patterning a black matrix (not shown) to define a pixel region, and after applying a photoresist again patterning to cover the pixel region The
또한, 상기 블랙 매트릭스 및 컬러 필터층 상부에 평탄화층(미도시)을 추가로 더 형성하는 것도 가능할 것이다.In addition, it may be possible to further form a planarization layer (not shown) on the black matrix and the color filter layer.
다음으로, 도5c에 도시된 바와 같이, 메탈 호일 기판(100) 상에 화소 전극(106)을 가지는 박막 트랜지스터 어레이를 형성한다.Next, as shown in FIG. 5C, a thin film transistor array having
도시하지는 않았으나, 상기 박막 트랜지스터 어레이를 형성하는 과정에 대하여 보다 자세히 설명하면, 먼저, 메탈 호일 기판(155) 상에 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막과 같은 절연 물질을 증착하여 버퍼막을 형성한다.Although not shown, a process of forming the thin film transistor array will be described in more detail. First, an insulating material such as a silicon nitride film or a silicon oxide film is deposited on the
상기 버퍼막은 예를 들면 산화 실리콘 또는 질화 실리콘과 같은 무기 절연 물질로 형성될 수 있으며, 박막 트랜지스터 어레이를 메탈 호일 기판으로부터 절연시키는 역할을 한다.The buffer layer may be formed of, for example, an inorganic insulating material such as silicon oxide or silicon nitride, and serves to insulate the thin film transistor array from the metal foil substrate.
이어서, 상기 버퍼막 상부에 게이트 라인 및 상기 게이트 라인으로부터 분기된 게이트 전극을 형성하고, 상기 게이트 라인 및 게이트 전극을 포함한 기판 전면을 덮도록 게이트 절연막을 형성한다.Subsequently, a gate line and a gate electrode branched from the gate line are formed on the buffer layer, and a gate insulating layer is formed to cover the entire surface of the substrate including the gate line and the gate electrode.
이어서, 상기 게이트 절연막 상부에 상기 게이트 전극과 중첩되는 영역을 가지는 반도체층과, 상기 게이트 라인과 게이트 절연막을 사이로 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 라인과, 상기 데이터 라인으로부터 분기하여 상기 반도체층 상부에 게이트 전극과 중첩되는 영역을 가지는 소스 전극 및 상기 소스 전극과 이격하여 마주보도록 드레인 전극을 형성한다.Next, a semiconductor layer having a region overlapping the gate electrode on the gate insulating layer, a data line crossing the gate line and the gate insulating layer to define a pixel region, and branching from the data line to the semiconductor layer. A source electrode having a region overlapping with the gate electrode and a drain electrode are formed to face each other while being spaced apart from the source electrode.
이어서, 상기 데이터 라인과 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한 기판 전면을 덮도록 보호막을 형성한 후, 상기 드레인 전극의 일부를 노출시키도록 보호막을 제거하여 컨택홀을 형성한다.Subsequently, a passivation layer is formed to cover the entire surface of the substrate including the data line, the source electrode, and the drain electrode, and then the contact layer is formed by removing the passivation layer to expose a portion of the drain electrode.
이어서, 상기 컨택홀을 덮도록 투명 도전 물질을 증착한 후, 패터닝하여 상기 드레인 전극에 접속되도록 화소 영역에 화소 전극을 형성한다.Subsequently, a transparent conductive material is deposited to cover the contact hole, and then patterned to form a pixel electrode in the pixel region so as to be connected to the drain electrode.
다음으로, 도5d에 도시된 바와 같이, 상기 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 메탈 호일 기판(155)에 일렉트로닉 잉크 필름 레이어(334)를 구비한 일렉트로닉 잉크 기판(300)을 합착한다.Next, as shown in FIG. 5D, the
상기 일렉트로닉 잉크 필름 레이어(334)는, 전기 영동 분산액(338)이 주입된 마이크로 캡슐(336)이 조밀하게 집적되어 형성되고, 상기 전기 영동 분산액내에는 양전하를 띠는 화이트 피그먼트(337a)와, 음전하를 띠는 블랙 피그먼트(337b)가 분산되어 있다.The electronic
또한, 상기 일렉트로닉 잉크 기판은, 기판 전면에 형성된 공통 전극층(333)을 구비한다. 또한, 상기 일렉트로닉 잉크 필름 레이어 상부에는 일렉트로닉 잉크 필름 레이어를 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 기판에 합착시키기 위한 접착층(332)이 구비된다.In addition, the electronic ink substrate includes a
다음으로, 도5e에 도시된 바와 같이, 컬러 필터 어레이가 형성된 글래스 기판(200)을 상기 일렉트로닉 잉크 기판(300)의 상부에 합착한다.Next, as shown in FIG. 5E, the
도시하지는 않았으나, 상기 일렉트로닉 잉크 기판과 글래스 기판 사이에 접착층을 추가로 형성하여 두 기판을 합착하는 것이 가능할 것이다.Although not shown, it may be possible to bond the two substrates by further forming an adhesive layer between the electronic ink substrate and the glass substrate.
다음으로, 도5f에 도시된 바와 같이, 합착된 기판에서 글래스 기판을 식각하여 제거한다.Next, as shown in FIG. 5F, the glass substrate is etched and removed from the bonded substrate.
이와 같이, 글래스 기판이 식각되어 제거되면 상기 유기막(400)이 표면에 노출된다. 즉, 유기막은 글래스와 다른 식각 선택비를 가짐으로써 에치 스톱층으로 작용하여 어레이 내부가 식각되는 것을 방지함과 아울러 일렉트로닉 잉크 표시 장치 내부로 습기가 침투하는 것을 방지하는 역할을 한다. As such, when the glass substrate is etched and removed, the
특히, 무기막이 추가로 더 형성되어 있는 경우에는 습기 침투를 방지하는 효과를 더욱 현저하게 한다.In particular, when the inorganic film is further formed, the effect of preventing moisture penetration is further remarkable.
또한, 노출된 유기막의 표면에 보호필름(protective film)을 추가로 더 부착 하는 것도 가능하다.In addition, it is possible to further attach a protective film on the surface of the exposed organic film.
상기 보호 필름으로는 예를 들면, 폴리카보네이트(PC:polycarbonate), 폴리스티렌(PS:polystyrene), 폴리에테르술폰(PES:polyethersulphone), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET:polyethylene terephthalate), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN:polyethylene naphthalate) 등의 재질로 형성할 수 있으며, 이에 한정되지는 않는다.As the protective film, for example, polycarbonate (PC), polystyrene (PS: polystyrene), polyether sulfone (PES: polyethersulphone), polyethylene terephthalate (PET: polyethylene terephthalate), polyethylene naphthalate (PEN: polyethylene) naphthalate) and the like, but is not limited thereto.
또한, 상기 보호필름 대신에 유기보호막을 코팅하는 것도 가능할 것이다. In addition, it may be possible to coat the organic protective film instead of the protective film.
한편, 글래스 기판을 식각할 때, 도6에서와 같이, 글래스 기판을 부분적으로만 식각하여 박막 형태의 유리막(200a)만 잔존하도록 글래스 기판을 식각하는 것도 가능할 것이다. 이와 같이, 글래스 기판이 100㎛이하의 두께를 가지는 박막 형태가 되면 플렉서블 디스플레이를 구현하는 것이 가능하게 된다.Meanwhile, when etching the glass substrate, the glass substrate may be etched such that only the
역시, 상기 박막 형태의 유리막 상부에 보호필름을 부착하거나 유기보호막을 코팅하는 것도 가능할 것이다.Also, it may be possible to attach a protective film or coat an organic protective film on the glass film in the form of the thin film.
또한, 상기 일렉트로닉 잉크 기판의 상부에도 보호필름을 더 부착하는 것도 가능할 것이다.In addition, the protective film may be further attached to the upper portion of the electronic ink substrate.
또한, 도시하지는 않았으나, 상기 글래스 기판을 식각하는 단계 이전에 메탈 호일 기판에 대하여 보호막을 코팅하거나, 글래스 기판 식각 단계 이후에 제거되는 희생층을 형성하는 것과 같은 부식 방지 처리를 추가로 더 수행할 수 있다.In addition, although not shown, the anti-corrosion treatment may be further performed, such as coating a protective film on the metal foil substrate before the etching of the glass substrate, or forming a sacrificial layer removed after the etching of the glass substrate. have.
이와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법은, 글래스 기판 상에 컬러 필터 어레이를 형성하기 때문에 종래의 공정을 변화시키지 않고서도 일렉트로닉 잉크 표시 장치를 구현할 수 있는 효과를 가진다.As described above, the manufacturing method of the electronic ink display device according to the second embodiment of the present invention has an effect of implementing the electronic ink display device without changing the conventional process since the color filter array is formed on the glass substrate. Have
또한, 글래스 기판을 식각하여 플렉서블한 일렉트로닉 잉크 표시 장치를 구현함과 아울러 양산성을 높일 수 있는 효과를 가진다.In addition, the glass substrate may be etched to realize a flexible electronic ink display device and may have an effect of increasing mass productivity.
다음으로 본 발명의 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시장치에 대하여 설명하기로 한다.Next, an electronic ink display device according to an embodiment of the present invention will be described.
도7a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 단면을 도시한 단면도이다.7A is a cross-sectional view showing a cross section of the electronic ink display device according to the first embodiment of the present invention.
도7a에서와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치는, 박막 트랜지스터 어레이 및 컬러 필터 어레이가 동시에 형성된 유기막(400)과, 상기 유기막과 합착되며 일렉트로닉 잉크 필름 레이어(334)를 가지는 일렉트로닉 잉크 기판으로 구성되는 것을 특징으로 한다.As shown in FIG. 7A, the electronic ink display device according to the first embodiment of the present invention includes an
상기 박막 트랜지스터 어레이는, 유기막 상에 형성된 게이트 전극(101)과, 상기 게이트 전극(101)을 포함한 유기막 전면을 덮도록 형성된 게이트 절연막(102)과, 상기 게이트 절연막 상에 게이트 전극과 중첩되는 영역을 가지도록 형성된 반도체층(103)과, 상기 반도체층 상부에 서로 이격하여 형성된 소스 전극(104a) 및 드레인 전극(104b)과, 상기 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한 기판 전면에 형성된 보호막(105)과, 상기 드레인 전극에 접속되도록 형성된 화소 전극(106)을 포함하여 구성된다.The thin film transistor array may include a
상기 컬러 필터 어레이는, 상기 보호막 상에 형성되어 화소 영역을 노출시키도록 패터닝된 블랙 매트릭스(202)와, 상기 화소 영역을 덮도록 형성된 컬러 필터 층(204)으로 구성되고, 상기 블랙 매트릭스 및 컬러 필터층 상부에 형성되는 평탄화층(206)을 더 포함할 수 있다.The color filter array includes a
상기 화소 전극(106)은 상기 드레인 전극을 노출시키도록 보호막 및 컬러 필터 어레이의 일부가 제거된 보호막을 통해 드레인 전극에 접속되도록 형성된다.The
상기 일렉트로닉 잉크 필름 레이어(334)는, 전기 영동 분산액(338)이 주입된 마이크로 캡슐(336)이 조밀하게 집적되어 형성되고, 상기 전기 영동 분산액내에는 양전하를 띠는 화이트 피그먼트(337a)와, 음전하를 띠는 블랙 피그먼트(337b)가 분산되어 있다.The electronic
또한, 상기 일렉트로닉 잉크 기판은, 기판 전면에 형성된 공통 전극층(333)을 구비한다. 또한, 상기 일렉트로닉 잉크 필름 레이어 상부에는 일렉트로닉 잉크 필름 레이어를 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 기판에 합착시키기 위한 접착층(332)이 구비된다.In addition, the electronic ink substrate includes a
상기 유기막(400)은, 아크릴(acryl) 계열의 유기 물질 또는 폴리이미드(polyimide) 계열의 유기 물질로 형성될 수 있으며 이에 한정되지는 않는다.The
또한, 도시하지는 않았으나, 상기 유기막 하부에 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막과 같은 무기 절연 물질로 이루어진 무기막이 추가로 구비되는 것도 가능하다.Although not shown, an inorganic film made of an inorganic insulating material such as a silicon nitride film or a silicon oxide film may be further provided below the organic film.
또한, 상기 유기막 하부에는 또한, 노출된 유기막을 보호하기 위하여 보호필름(protective film)이 더 구비될 수도 있다. 상기 보호 필름은 예를 들면, 폴리카 보네이트(PC:polycarbonate), 폴리스티렌(PS:polystyrene), 폴리에테르술폰(PES:polyethersulphone), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET:polyethylene terephthalate), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN:polyethylene naphthalate) 등의 재질로 형성할 수 있으며, 이에 한정되지는 않는다.In addition, a protective film may be further provided below the organic layer to protect the exposed organic layer. The protective film is, for example, polycarbonate (PC: polycarbonate), polystyrene (PS: polystyrene), polyethersulphone (PES: polyethersulphone), polyethylene terephthalate (PET: polyethylene terephthalate), polyethylene naphthalate (PEN: polyethylene naphthalate) and the like, but is not limited thereto.
또한, 상기 유기막 하부에는, 보호 필름 대신 코팅된 유기보호막이 더 구비되는 것도 가능할 것이다.In addition, it may be possible to further include an organic protective film coated on the lower portion of the organic film instead of a protective film.
한 편, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치는, 도7b와 같이, 상기 유기막 하부에 박막 형태의 유리막(100a)가 추가로 더 구비되는 것도 가능하며, 역시 상기 박막 형태의 유리막에 부착된 보호필름이나 코팅된 유기보호막을 더 구비하는 것도 가능할 것이다.On the other hand, in the electronic ink display device according to the first embodiment of the present invention, as shown in Figure 7b, it is also possible to further include a
참고로, 상기 박막 형태의 유리막은 100㎛이하의 두께를 가진다.For reference, the thin glass film has a thickness of 100 μm or less.
이와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치는,Thus, the electronic ink display device according to the first embodiment of the present invention,
글래스 기판 상에 COT(color-filter on TFT) 구조 즉, 박막 트랜지스터 어레이 및 컬러 필터 어레이를 동시에 형성된 구조를 가지므로, 합착에 따라 개구율이 감소하는 문제를 줄일 수 있는 효과를 가진다. Since a color-filter on TFT (COT) structure, that is, a thin film transistor array and a color filter array, is formed on the glass substrate at the same time, the aperture ratio may be reduced by bonding.
또한, 글래스 기판이 식각되어 플렉서블한 일렉트로닉 잉크 표시 장치를 구현함과 아울러 양산성을 높일 수 있고, 또한 경량화를 구현하는 것도 가능한 효과를 가진다.In addition, the glass substrate may be etched to realize a flexible electronic ink display device, and the mass productivity may be increased, and the weight may be reduced.
다음으로, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시장치에 대하 여 첨부된 도면을 참조로 하여 설명하기로 한다.Next, an electronic ink display device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도8a는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 단면을 도시한 단면도이다.8A is a cross-sectional view showing a cross section of an electronic ink display device according to a second embodiment of the present invention.
도8a에서와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치는, As shown in Fig. 8A, the electronic ink display device according to the second embodiment of the present invention,
화소 전극(106)을 구비하는 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 메탈 호일 기판(155)과, 상기 메탈 호일 기판과 대향하여 합착되며 일렉트로닉 잉크 필름 레이어(334)를 가지는 일렉트로닉 잉크 기판(300)과, 상기 일렉트로닉 잉크 기판 상에 형성된 유기막(400)과, 상기 유기막 및 일렉트로닉 잉크 기판 사이에 컬러 필터층(222)을 구비하도록 형성된 컬러 필터 레이어를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.A
상기 메탈 호일 기판(155) 상에는, 도시하지는 않았으나 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막과 같은 절연 물질을 증착하여 버퍼막이 구비된다.Although not shown, a buffer film is formed on the
상기 버퍼막은 예를 들면 산화 실리콘 또는 질화 실리콘과 같은 무기 절연 물질로 형성될 수 있으며, 박막 트랜지스터 어레이를 메탈 호일 기판으로부터 절연시키는 역할을 한다.The buffer layer may be formed of, for example, an inorganic insulating material such as silicon oxide or silicon nitride, and serves to insulate the thin film transistor array from the metal foil substrate.
상기 박막 트랜지스터 어레이는, 도시하지는 않았으나, 상기 버퍼막 상에 형성된 게이트 라인과 상기 게이트 라인으로부터 분기하여 형성된 게이트 전극과, 상기 게이트 라인 및 게이트 전극을 포함한 기판 전면을 덮도록 형성된 게이트 절연막과, 상기 게이트 절연막 상에 게이트 전극과 중첩되는 영역을 가지도록 형성된 반도체층과, 상기 게이트 라인과 게이트 절연막을 사이로 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 라인과, 상기 데이터 라인으로부터 분기되어 상기 반도체층 상부에 게이트 전극과 중첩되는 영역을 가지도록 형성된 소스 전극 및 상기 소스 전극과 서로 이격하여 형성된 드레인 전극과, 상기 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한 기판 전면에 형성된 보호막과, 상기 보호막 상에 상기 드레인 전극의 일부를 노출시키도록 보호막의 일부가 제거된 컨택홀을 통해 드레인 전극에 접속되도록 화소 영역에 형성된 화소 전극(106)을 포함하여 구성된다.Although not illustrated, the thin film transistor array may include a gate line formed on the buffer layer and a gate electrode branched from the gate line, a gate insulating layer formed to cover the entire surface of the substrate including the gate line and the gate electrode, and the gate. A semiconductor layer formed to have a region overlapping the gate electrode on the insulating film, a data line crossing the gate line and the gate insulating film to define a pixel region, a branch branched from the data line, and a gate electrode on the semiconductor layer; A source electrode formed to have an overlapping area, a drain electrode formed to be spaced apart from the source electrode, a passivation film formed on the entire surface of the substrate including the source electrode and the drain electrode, and a portion of the drain electrode exposed on the passivation film. Work of shield It is removed through the contact hole so as to be connected to the drain electrode comprises the
상기 컬러 필터 어레이는, 도시하지는 않았으나, 상기 유기막(400) 상에 형성되어 화소 영역을 정의하도록 형성된 블랙 매트릭스와, 상기 화소 영역을 덮도록 형성된 컬러 필터층(222)을 포함하고, 상기 블랙 매트릭스 및 컬러 필터층 상부에평탄화층을 더 구비하는 것도 가능하다.Although not shown, the color filter array may include a black matrix formed on the
상기 일렉트로닉 잉크 필름 레이어(334)는, 전기 영동 분산액(338)이 주입된 마이크로 캡슐(336)이 조밀하게 집적되어 형성되고, 상기 전기 영동 분산액내에는 양전하를 띠는 화이트 피그먼트(337a)와, 음전하를 띠는 블랙 피그먼트(337b)가 분산되어 있다.The electronic
또한, 상기 일렉트로닉 잉크 기판은, 기판 전면에 형성된 공통 전극층(333)을 구비한다. 또한, 상기 일렉트로닉 잉크 필름 레이어 상부에는 일렉트로닉 잉크 필름 레이어를 박막 트랜지스터 어레이가 형성된 기판에 합착시키기 위한 접착층(332)이 구비된다.In addition, the electronic ink substrate includes a
또한, 상기 일렉트로닉 잉크 기판은, 유기막과 대향하는 면에 역시 접착층을 더 구비할 수 있다.In addition, the electronic ink substrate may further include an adhesive layer on a surface facing the organic film.
상기 유기막(400)은, 아크릴(acryl) 계열의 유기 물질 또는 폴리이미드(polyimide) 계열의 유기 물질로 형성될 수 있으며 이에 한정되지는 않는다.The
또한, 도시하지는 않았으나, 상기 유기막의 노출된 일측면에 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막과 같은 무기 절연 물질로 이루어진 무기막이 추가로 구비되는 것도 가능하다.Although not shown, an inorganic film made of an inorganic insulating material such as a silicon nitride film or a silicon oxide film may be additionally provided on the exposed side of the organic film.
또한, 상기 유기막에서 노출된 면에는 또한, 노출된 유기막을 보호하기 위하여 보호필름(protective film)이 더 구비될 수도 있다. 상기 보호 필름은 예를 들면, 폴리카보네이트(PC:polycarbonate), 폴리스티렌(PS:polystyrene), 폴리에테르술폰(PES:polyethersulphone), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET:polyethylene terephthalate), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN:polyethylene naphthalate) 등의 재질로 형성할 수 있으며, 이에 한정되지는 않는다.In addition, a protective film may be further provided on the exposed surface of the organic film to protect the exposed organic film. The protective film is, for example, polycarbonate (PC: polycarbonate), polystyrene (PS: polystyrene), polyether sulfone (PES: polyethersulphone), polyethylene terephthalate (PET: polyethylene terephthalate), polyethylene naphthalate (PEN: polyethylene naphthalate It may be formed of a material such as), but is not limited thereto.
또한, 상기 유기막의 노출된 일측면에는, 보호 필름 대신 코팅된 유기보호막이 더 구비되는 것도 가능할 것이다.In addition, the exposed one side of the organic film, it will be possible to be further provided with an organic protective film coated in place of the protective film.
한 편, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치는, 도8b와 같이, 상기 유기막의 일측면에 박막 형태의 유리막(200a)가 추가로 더 구비되는 것도 가능하며, 역시 상기 박막 형태의 유리막에 부착된 보호필름이나 코팅된 유기보호막을 더 구비하는 것도 가능할 것이다.On the other hand, in the electronic ink display device according to the second embodiment of the present invention, as shown in Figure 8b, it is also possible to further include a
참고로, 상기 박막 형태의 유리막은 100㎛이하의 두께를 가진다.For reference, the thin glass film has a thickness of 100 μm or less.
또한, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치를 설명하면서, 메탈 호일 기판에 일렉트로닉 잉크 기판을 합착한 후 컬러 필터 기판을 합착하였으나, 필요에 따라 합착 순서를 변경하는 것도 가능할 것이다.In addition, while describing the electronic ink display device according to the second embodiment of the present invention, the electronic filter substrate is bonded to the metal foil substrate and then the color filter substrate is bonded. However, the bonding order may be changed as necessary.
이와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치 역시, 공정성을 가지는 플렉서블 일렉트로닉 잉크 표시장치를 구현할 수 있음과 아울러, 글래스가 식각되어 제거되거나 박형화됨으로써 경량화를 구현할 수 있는 효과를 가진다. 또한, COT구조에 비하여 높은 개구율을 가지는 박막 트랜지스터 어레이를 설계할 수 있는 효과를 가진다.As described above, the electronic ink display device according to the second embodiment of the present invention also can implement a flexible electronic ink display device having fairness, and also have the effect of reducing the weight by glass being etched away or removed. In addition, it has the effect of designing a thin film transistor array having a higher aperture ratio than the COT structure.
한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.On the other hand, the present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, it is possible that various substitutions, modifications and changes within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art.
도1은 종래의 모노 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 단면도.1 is a cross-sectional view of a conventional mono electronic ink display device.
도2a 내지 도2c는 종래의 컬러 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 공정 단면도.2A to 2C are cross-sectional views showing a manufacturing method of a conventional color electronic ink display device.
도3a 내지 도3d는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 공정 단면도.3A to 3D are cross-sectional views showing the manufacturing method of the electronic ink display device according to the first embodiment of the present invention.
도4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법에서 글래스 기판을 부분적으로 식각한 경우를 나타낸 단면도.Fig. 4 is a cross-sectional view showing a case where the glass substrate is partially etched in the manufacturing method of the electronic ink display device according to the first embodiment of the present invention.
도5a 내지 도5f는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 공정 단면도.5A to 5F are cross-sectional views showing the manufacturing method of the electronic ink display device according to the second embodiment of the present invention.
도6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 제조 방법에서 글래스 기판을 부분적으로 식각한 경우를 나타낸 단면도.Fig. 6 is a sectional view showing a case where the glass substrate is partially etched in the method of manufacturing the electronic ink display device according to the second embodiment of the present invention.
도7a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 단면도.Fig. 7A is a sectional view of the electronic ink display device according to the first embodiment of the present invention.
도7b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치에서 글래스 기판이 부분적으로 식각된 경우를 나타낸 단면도.Fig. 7B is a sectional view showing a case where the glass substrate is partially etched in the electronic ink display device according to the first embodiment of the present invention.
도8a는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치의 단면도.Fig. 8A is a sectional view of the electronic ink display device according to the second embodiment of the present invention.
도8b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 일렉트로닉 잉크 표시 장치에서 글래스 기판이 부분적으로 식각된 경우를 나타낸 단면도.8B is a sectional view showing a case where the glass substrate is partially etched in the electronic ink display device according to the second embodiment of the present invention.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
10 : 어레이 기판 30 : 제 2 기판10: array substrate 30: second substrate
12, 106 : 화소 전극 34, 334 : 일렉트로닉 잉크 필름 레이어 12, 106:
36, 336 : 마이크로 캡슐 38, 338 : 분산액36, 336:
37a, 337a : 화이트 피그먼트 37b, 337b : 블랙 피그먼트37a, 337a:
32a : 제 1 접착층 32b : 제 2 접착층32a: first
332 : 접착층 20 : 컬러 필터 기판332: adhesive layer 20: color filter substrate
22, 204, 222 : 컬러 필터층 100, 200 : 글래스 기판22, 204, 222:
100a, 200a : 박형화된 유리막 400 : 유기막100a, 200a: thinned glass film 400: organic film
101 : 게이트 전극 102 : 게이트 절연막101: gate electrode 102: gate insulating film
103 : 반도체층 104a : 소스 전극103:
104b : 드레인 전극 105 : 보호막104b: drain electrode 105: protective film
202 : 블랙 매트릭스 206 : 평탄화층202
33, 333 : 공통 전극층 155 : 메탈 호일 기판33, 333: common electrode layer 155: metal foil substrate
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US8542200B2 (en) | 2009-08-26 | 2013-09-24 | Samsung Display Co., Ltd. | Touch sensing electrophoretic display device |
KR20140078182A (en) * | 2012-12-17 | 2014-06-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | The flexible organic light emitting display device and method for fabricating the same |
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