KR20090059286A - 오존수혼합액 공급장치 및 방법, 그리고 이를 구비하는기판 처리 설비 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 오존수혼합액을 공급하는 장치에 있어서,처리액을 공급하는 처리액 공급라인과,오존수를 공급하는 오존수 공급라인, 그리고상기 처리액 공급라인 및 상기 오존수 공급라인 각각으로부터 처리액 및 오존을 공급받아 인라인 혼합방식으로 상기 처리액 및 상기 오존수를 혼합시켜 오존수혼합액을 생성하는 혼합 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 오존수혼합액 공급장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 오존수혼합액 공급장치는,상기 혼합라인에 의해 생성되는 오존수혼합액을 공급받는 매니폴드와,상기 매니폴드로부터 기판 처리 공정이 수행되는 공정유닛으로 오존수혼합액을 공급하는 분배라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오존수혼합액 공급장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 오존수 공급장치는,상기 처리액 공급라인 및 상기 오존수 공급라인으로부터 상기 혼합 라인으로의 처리액 및 오존의 공급을 개방 및 차단하도록, 상기 혼합라인에 설치되는 혼합 밸브와,상기 혼합라인을 따라 흐르는 처리액 및 오존이 서로 혼합되도록, 상기 혼합라인 상에 설치되는 스테이틱 믹서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오존수혼합액 공급장치.
- 기판 처리 공정을 수행하는 복수의 공정유닛들과,처리유체를 저장하는 처리유체 저장유닛과,상기 처리유체 저장유닛으로부터 처리유체를 공급받아 오존수혼합액을 생성하는 오존수혼합액 생성유닛, 그리고상기 오존수혼합액 생성유닛에서 생성된 오존수혼합액을 상기 공정유닛으로 분배하는 오존수혼합액 분배유닛을 포함하되,상기 오존수혼합액 생성유닛은,처리액을 공급하는 처리액 공급라인과,오존을 공급하는 오존수 공급라인과,상기 처리액 공급라인 및 상기 오존수 공급라인 각각으로부터 처리액 및 오존을 공급받아 인라인 혼합방식으로 상기 처리액 및 상기 오존수를 혼합시켜 오존수혼합액을 생성하는 혼합 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
- 제 4 항에 있어서,상기 오존수혼합액 공급장치는,상기 혼합라인에 의해 생성되는 오존수혼합액을 공급받는 매니폴드와,상기 매니폴드로부터 상기 공정유닛으로 오존수혼합액을 공급하는 분배라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
- 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 오존수 공급장치는,상기 처리액 공급라인 및 상기 오존수 공급라인으로부터 상기 혼합 라인으로의 처리액 및 오존의 공급을 개방 및 차단하도록, 상기 혼합라인에 설치되는 혼합밸브와,상기 혼합라인을 따라 흐르는 처리액 및 오존이 서로 혼합되도록, 상기 혼합라인 상에 설치되는 스테이틱 믹서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
- 제 6 항에 있어서,상기 공정유닛은,기판을 수평상태로 지지하는 스핀척과,상기 스핀척에 놓여진 기판상으로 오존수혼합액을 공급하는 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
- 처리액과 오존수를 혼합하여 오존수혼합액을 생성한 후 생성된 오존수혼합액 의 농도를 측정하여 측정된 오존수혼합액의 농도가 기설정된 농도값을 만족하면, 기판 처리 공정이 수행되는 공정유닛으로 공급하되,상기 처리액과 오존수의 혼합은,인라인 혼합방식으로 수행되는 것을 특징으로 하는 오존수혼합액 공급방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 처리액과 오존수의 혼합은,상기 처리액과 상기 오존수가 흐르는 라인 상에 혼합밸브 및 스테이틱 믹서를 설치하여 수행되는 것을 특징으로 하는 오존수혼합액 공급방법.
- 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 공정유닛은,매엽식으로 기판을 세정하는 장치인 것을 특징으로 하는 오존수혼합액 공급방법.
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