KR20090051184A - 자동화된 테스트 및 특성화 데이터 분석 방법 및 장치 - Google Patents

자동화된 테스트 및 특성화 데이터 분석 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 플라즈마 프로세싱 시스템에 설치되도록 구성된 컴포넌트를 테스트하는 방법에 관한 것이다. 이 방법은, 생산 시스템 제어 소프트웨어를 나타내는 시스템 제어 소프트웨어 패키지 (SCS), 컴퓨터 네트워크를 통해 데이터베이스로부터 사양 데이터를 획득하도록 구성된 데이터 관리자 모듈, 컴포넌트를 테스트하도록 설계된 테스트들의 세트를 실행하도록 구성된 테스트 관리자 모듈, 테스트들의 세트를 SCS 에 제공하도록 구성된 SCS 인터페이스 엔진, 및 컴포넌트의 테스트로부터 획득된 테스트 데이터를 분석하기 위해, 컴퓨터-구현 데이터 분석 툴을 제공하도록 구성된 데이터 분석 모듈을 포함하는, 자동화된 테스트 및 특성화 (ATAC) 픽스쳐를 제공하는 단계를 포함한다. 또한, 이 방법은, ATAC 픽스쳐를 컴포넌트에 커플링하여, 테스트들의 세트 및 사양 데이터의 적어도 일부를 이용하여 ATAC 픽스쳐 내의 SCS 가 컴포넌트를 테스트할 수 있게 하는 단계를 포함한다.
Figure P1020097004073
플라즈마 프로세싱 시스템, ATAC 픽스쳐, 데이터 관리자 모듈, SCS 인터페이스 엔진, 데이터 분석 모듈, 테스트 관리자 모듈

Description

자동화된 테스트 및 특성화 데이터 분석 방법 및 장치{AUTOMATED TEST AND CHARACTERIZATION DATA ANALYSIS METHODS AND ARRANGEMENT}
발명의 배경
플라즈마 프로세싱에서의 진보가 반도체 산업에서의 성장에 대비하고 있다. (플라즈마 클러스터 툴과 같은) 플라즈마 프로세싱 시스템이 고객의 사이트에서 셋업되기 전에, 일련의 품질 관리 테스트들이 수행될 수도 있다. 이러한 품질 관리 테스트들로부터의 데이터가 차후 분석을 위해 수집 및 저장될 수도 있다.
일반적으로, 다수의 품질 관리 테스트들은, 플라즈마 클러스터 툴이 제조업자로부터 고객에게 전송되기 전에 플라즈마 클러스터 툴과 그 플라즈마 클러스터 툴의 다양한 컴포넌트들에 대해 수행될 수도 있다. 여기에 설명된 것처럼, 플라즈마 클러스터 툴은, 복수의 모듈들 (예를 들어, 프로세싱 모듈, 전송 모듈 등) 을 가질 수도 있고 복수의 서브시스템들 (예를 들어, RF 매치, 가스 박스, TCP 매치, 바이어스 매치 등) 을 가질 수도 있는 플라즈마 프로세싱 시스템을 지칭한다. 설명의 용이함을 위해, "컴포넌트" 란 용어는, 플라즈마 클러스터 툴 내의 극소 또는 복수-부품 어셈블리를 지칭하기 위해 이용될 것이다. 따라서, 일 컴포넌트는, 하나의 가스 라인처럼 단순할 수도 있고, 또는 전체 프로세스 모듈처럼 복잡할 수도 있다. (프로세스 모듈과 같은) 복수-부품 컴포넌트는, 다른 복수-부품 또는 극소 컴포넌트들로부터 형성될 수도 있는, (진공 시스템, 가스 시스템, 전력 공급 시스템 등과 같은) 다른 복수-부품 컴포넌트들로부터 형성될 수도 있다.
플라즈마 클러스터 툴의 다양한 컴포넌트들은 2 이상의 파티 (party) 에 의해 제조될 수도 있다. 예를 들어, 캘리포니아, 프리몬트 소재의 램 리써치 코포레이션과 같은 플라즈마 클러스터 툴의 제조업자는 보통, 플라즈마 클러스터 툴의 제조 시에 다수의 제 3 자 공급자들로부터의 컴포넌트들을 이용한다. 사실상, 이러한 실행은, 제조업자의 관심 분야 밖에 있는 업무들 또는 전문적 기술을 다른 회사들에 위임하면서 회사들이 그들의 강점에 집중할 수 있게 하기 때문에 반도체 프로세싱 장비 분야에 있어서 통례적이다.
일반적으로, 컴포넌트들에 대한 표준의 테스트 프레임워크는 존재하지 않는다. 테스트들은, 제조업자에 의해, 및/또는 제 3 자에 의해 수행될 수도 있다. 내부적으로 수행된 테스트들은, 제조업자에게 테스트 방법에 대한 일부 제어를 허용한다. 그러나, 제 3 자에게 아웃소싱될 수도 있는 테스트들은, 수행되고 있는 테스트들에 대해 제조업자가 제한받게 하거나 또는 제어할 수 없게 한다.
설명을 용이하게 하기 위해, 도 1a 는, 프로세스 모듈 (102) 및 전송 모듈 (111) 을 가진 플라즈마 클러스터 툴의 일 예를 도시한다. 프로세스 모듈 (102) 내에는, 컴포넌트들 (106 및 108) (예를 들어, 가스 박스 및 RF 매치) 이 있다. 프로세스 모듈 (102) 에는, 프로세스 모듈 (102) 전체가 테스트될 수 있게 할 수도 있는 테스트 픽스쳐 (112) (예를 들어, LamWorks) 가 부속된다. 부가적인 테스트 픽스쳐들 (예를 들어, LamWorks-기반 테스트 픽스쳐 (104) 및 Nyker Labview 테스트 픽스쳐 (110)) 이 컴포넌트들 (106 및 108) 에 부속된다.
여기에 설명된 것처럼, 테스트 픽스쳐는, 시뮬레이팅된 프로세싱 환경에서 컴포넌트가 테스트되도록 허용하는 소프트웨어 인터페이스를 가진 하드웨어를 지칭한다. 예를 들어, AC/DC 박스에 대한 테스트 픽스쳐는, 테스터로 하여금, 배선 접속, 전력 컴포넌트들 등을 테스트할 수 있게 할 수도 있다. 일부 경우에, 테스트 픽스쳐는 컴포넌트에 대해 존재하지 않을 수도 있다. 도 1a 에 있어서, 테스트 픽스쳐는 전송 모듈 (111) 에 대해 이용가능하지 않다. 따라서, 전송 모듈 (111) 의 테스트는 문서 절차들 (paper procedures) 을 이용하여 수동으로 수행되어야 할 수도 있다. 문서 절차들의 경우, 테스트의 품질은, 테스터의 기량 및 재량에 의존할 수도 있다. 더욱이, 문서 절차들은, 테스터의 해석의 영향을 받기 쉬울 수도 있다. 일부 경우에 있어서, 테스터가 반드시 모든 단계들을 완전히 수행해야 하는 것은 아니다. 다른 경우에 있어서, 테스터는 데이터를 위조할 수도 있다. 따라서, 테스트 결과가 일치하지 않고 무결성이 결여될 수도 있다.
도 1b 는, 도 1a 내의 컴포넌트들 및 이러한 컴포넌트들과 관련된 테스트 구성의 차트를 나타낸다. 프로세스 모듈 (102) 에 대해, 제조업자에 의해 내부적으로 생산된 테스트 픽스쳐 (112) (예를 들어, LamWorks) 가 부속된다. 제조업자에 의해 창작된 테스트 픽스쳐들을 이용하여 수행되는 테스트들은, 이용될 수도 있는 테스트 방법의 일부 제어를 제조업자에게 허용할 수도 있다. 일 예에서, 제조업자는, 각각의 테스트 픽스쳐가 컴포넌트들을 테스트하는데 이용할 수도 있는 제어 로직을 결정할 수도 있다. 또한, 각각의 테스트 픽스쳐가 그 테스트 픽스 쳐 상의 (예를 들어, SQL 데이터베이스 내의) 데이터를 로깅 및 저장할 수도 있기 때문에, 제조업자는, 수집되는 데이터의 전자 버전에 액세스하여 제조업자에게 분석을 위한 데이터를 조작할 능력을 허용할 수도 있다. 그러나, 리포팅, 또는 리포트로의 액세스는 인트라넷 또는 문서 출력 (paper printout) 으로 제한될 수도 있다.
다른 예에서, 컴포넌트 (106) (예를 들어, RF 매치) 에 부속된 테스트 픽스쳐 (104) (예를 들어, LamWorks) 는 내부적으로 창작되지만 컴포넌트를 테스트하기 위해 제 3 자에게 오프 사이트로 전송될 수도 있다. 제조업자가 테스트 픽스쳐들을 제공할 수도 있지만, 그 제조업자는 일반적으로, 제 3 자에 의해 오프 사이트로 수행될 수도 있는 테스트들에 대해 제한받거나 또는 제어할 수 없다. 또한, 제조업자는, 오프 사이트로 수행된 테스트들에 대한 테스트 데이터에 쉽게 액세스할 수 없다. 대신에, 제조업자는, 테스트 데이터의 문서 출력 또는 이미지 카피만을 수신할 수도 있다.
일부 상황에서, 테스트는 제 3 자 공급자들에 의해 창작될 수도 있는 테스트 픽스쳐들을 이용하여 수행될 수도 있다. 일 예에서, 컴포넌트 (108) (예를 들어, 가스 박스) 에 부속된 테스트 픽스쳐 (110) (예를 들어, LabView 를 이용한 Nyker) 는 제 3 자에 의해 창작될 수도 있다. 테스트 픽스쳐들이 제 3 자에 의해 창작되기 때문에, 제조업자들은, 테스트 픽스쳐들에 대해 이용될 수도 있는 제어 로직에 대해 제어하지 못할 것이다. 이러한 상황에서, 제조업자들은 보통, 제 3 자 공급자들에 의해 창작된 테스트 픽스쳐들을 이용하는 테스터들에 의존하여 충분한 테스트들을 수행하고 그 컴포넌트들에 대한 관련 데이터를 수집한다. 또한, 제조업자들은 보통, 특히, 데이터가 제조업자에게 문서 또는 이미지 포맷으로 제공된다면 오프 사이트로 수행된 테스트 데이터로의 액세스를 제한받을 수도 있다. 그 결과, 제조업자는, 분석을 위해 데이터를 조작하는 어려움을 경험할 수도 있다.
일반적으로, 제어 시스템은, 테스트 및 생산 환경 중에 상이한 제어 로직을 이용할 수도 있다. 그 결과, 테스트 환경은, 생산 환경에서 일어날 수도 있는 것을 반복할 수 없을 수도 있다. 예를 들어, 플라즈마 클러스터 툴이 제조되고 있을 때 제어 시스템에서 변화들이 발생하고 있는 것은 드문 일이 아니다. 그러나, 이 변화들이 항상 모든 테스터들에게 전해지는 것은 아니다. 그 결과, 테스터들은, 생산 환경을 닮은 환경을 만들기 위한 데이터를 전부 갖지 못할 수도 있다. 또한, 다양한 컴포넌트들에 있어서 변화들이 있을 수도 있지만, 제조업자는 그 변화들을 수용하도록 통지받지 않았을 수도 있다. 그 결과, 플라즈마 클러스터 툴이 필드 내에 있을 때까지는 변화들이 눈에 띄지 않을 수도 있다.
일부 경우에, 전송 모듈 (111) 과 같은 컴포넌트는, 그 컴포넌트와 관련된 테스트 픽스쳐를 갖지 않을 수도 있다. 테스트 픽스쳐들이 없는 상황에서, 테스터는 컴포넌트에 대해 테스트를 수행하기 위해 문서 절차들에 의존해야 할 수도 있다. 이런 상황에 대한 테스트 방법은, 보통, 테스터의 기량 및 지식에 의존한다. 더욱이, 문서 절차들은 테스터에 의한 해석의 영향을 받기 쉬울 수도 있다. 또한, 테스터가 반드시 모든 단계들을 완전히 수행하는 것은 아니다. 따라서, 수집된 데이터는 테스터의 재량에 의존할 수도 있다. 예를 들어, 테스터는, 완전한 테스트를 수행하지 않도록 (이를 테면, 단계들 중 일부 단계를 생략) 선택할 수도 있고, 또는 테스터는, 테스트를 무시하고 데이터를 위조하도록 선택할 수도 있다. 따라서, 테스트 결과가 일치하지 않을 수도 있고 무결성이 결여될 수도 있다. 제조업자들은, 특히 테스트 데이터가 문서 상에 저장될 수도 있기 때문에, 테스트 데이터의 정확도를 확인하는데 어려움이 있을 수도 있다.
다양한 테스트 방법들이 이용될 수도 있기 때문에, 제조업자들은, 그들의 고객들에게, 플라즈마 클러스터 툴 및 컴포넌트를 테스트할 때 일관된 품질이 사용된다는 보장을 제공할 수 없을 수도 있다. 테스트 표준이 없다면, 수집될 수도 있는 데이터는, 테스트 방법 및 테스터에 따라 본질 (substance) 및 품질에서 다를 수도 있다. 또한, 테스트가 보통, 그/그녀가 테스트하고 있는 컴포넌트로 제한되기 때문에 통합된 테스트가 가능하지 않다. 또한, 테스트로부터 산출되는 리포트들은 포맷 및 본질에 의해 변할 수도 있다. 일 예에서, 제조업자들은, 테스트가 내부적으로 행해지면 전자 테스트 데이터에 액세스할 수도 있다. 다른 예에서, 제조업자들은, 테스트가 오프 사이트로 행해지면 테스트 데이터의 문서 카피 또는 이미지 카피에만 액세스할 수도 있다.
테스트 데이터가 데이터 분석을 위해 쉽게 조작될 수 있는 포맷으로 존재하지 않을 수도 있다는 것을 가정하면, 제조업자들은, 테스트 데이터를 분석하는 것에 전념하는데 이용가능한 리소스들 또는 시간을 갖지 않을 수도 있다. 따라서, 문제가 명백하지 않은 경우, 테스트 데이터는, 생산 환경에서 문제가 일어나지 않는다면 분석되지 않을 수도 있다. 그때까지도, 데이터를 분석하는데 효과적인 툴의 결여는, 압도적인 업무 및 추적능력 (traceability) 의 문제의 해소를 시도하게 할 수도 있다.
발명의 요약
본 발명은, 일 실시형태에서, 생산 시스템 제어 소프트웨어를 이용하여 생산 중에 제어되는 플라즈마 프로세싱 시스템에 설치되도록 구성된 제 1 컴포넌트를 테스트하는 방법에 관한 것이다. 이 방법은, 자동화된 테스트 및 특성화 (ATAC; Automated Test and Characterization) 픽스쳐를 제공하는 단계를 포함한다. ATAC 픽스쳐는, 적어도, 생산 시스템 제어 소프트웨어를 나타내는 제 1 시스템 제어 소프트웨어 패키지 ("제 1 SCS") 를 포함한다. 또한, ATAC 픽스쳐는, 적어도, 컴퓨터 네트워크를 통해 제 1 데이터베이스로부터 사양 데이터 (specification data) 를 획득하도록 구성된 데이터 관리자 모듈을 포함한다. ATAC 픽스쳐는, 적어도, 제 1 SCS 를 이용하여, 제 1 컴포넌트를 테스트하도록 설계된 테스트들의 세트를 실행하도록 구성된 테스트 관리자 모듈을 더 포함한다. 더욱이, ATAC 픽스쳐는, 적어도 테스트들의 세트를 제 1 SCS 에 제공하도록 구성된 SCS 인터페이스 엔진을 포함한다. 또한, ATAC 픽스쳐는, 적어도, 제 1 컴포넌트의 테스트로부터 획득된 테스트 데이터를 분석하기 위해, 컴퓨터-구현 데이터 분석 툴을 사용자에게 제공하도록 구성된 데이터 분석 모듈을 더 포함한다. 또한, 이 방법은, ATAC 픽스쳐를 제 1 컴포넌트에 커플링하여, 테스트들의 세트 및 사양 데이터의 적어도 일부를 이용하여 ATAC 픽스쳐 내의 제 1 SCS 가 제 1 컴포넌트를 테스트할 수 있게 하는 단계를 포함한다. 제 1 컴포넌트를 테스트하는 동안 존재하지 않는 플라즈마 프로세싱 시스템의 미싱 컴포넌트 (missing component) 들은, 미싱 컴포넌트들을 시뮬레이팅하기 위해 스텁 아웃 (stub out) 되어, 마치 미싱 컴포넌트들이 제 1 컴포넌트를 테스트하는 동안 존재하는 것처럼 제 1 SCS 를 이용하여 제 1 컴포넌트가 시뮬레이팅된 환경에서 테스트되도록 허용한다.
다른 실시형태에서, 본 발명은, 생산 시스템 제어 소프트웨어를 이용하여 생산 중에 제어되는 플라즈마 프로세싱 시스템에 설치되도록 구성되는 제 1 컴포넌트를 테스트하기 위해 구성된 테스트 픽스쳐에 관한 것이다. 테스트 픽스쳐는, 생산 시스템 제어 소프트웨어를 나타내는 제 1 시스템 제어 소프트웨어 패키지 ("제 1 SCS") 를 포함한다. 또한, 테스트 픽스쳐는, 컴퓨터 네트워크를 통해 제 1 데이터베이스로부터 사양 데이터를 획득하도록 구성된 데이터 관리자 모듈을 포함한다. 테스트 픽스쳐는, 제 1 SCS 를 이용하여, 제 1 컴포넌트를 테스트하도록 설계된 테스트들의 세트를 실행하도록 구성된 테스트 관리자 모듈을 더 포함한다. 더욱이, 테스트 픽스쳐는, 적어도 테스트들의 세트를 제 1 SCS 에 제공하도록 구성된 SCS 인터페이스 엔진을 포함한다. 또한, 테스트 픽스쳐는, 제 1 컴포넌트의 테스트로부터 획득된 테스트 데이터를 분석하기 위해, 컴퓨터-구현 데이터 분석 툴을 사용자에게 제공하도록 구성된 데이터 분석 모듈을 더 포함한다. 테스트 픽스쳐는, 제 1 컴포넌트에 커플링될 때, 테스트들의 세트 및 사양 데이터의 적어도 일부를 이용하여 테스트 픽스쳐 내의 제 1 SCS 가 제 1 컴포넌트를 테스트할 수 있게 하도록 구성된다. 제 1 컴포넌트를 테스트하는 동안 존재하지 않는 생산 플라즈마 프로세싱 시스템의 미싱 컴포넌트들은, 미싱 컴포넌트들을 시뮬레이팅하기 위해 스텁 아웃되어, 마치 미상 컴포넌트들이 테스트 컴포넌트를 테스트하는 동안 존재하는 것처럼 제 1 SCS 를 이용하여 제 1 컴포넌트가 시뮬레이팅된 환경에서 테스트되도록 허용한다.
또 다른 실시형태에서, 본 발명은, 생산 시스템 제어 소프트웨어를 이용하여 생산 중에 제어되는 플라즈마 프로세싱 시스템에 설치되도록 구성된 제 1 컴포넌트를 테스트하는 방법에 관한 것이다. 이 방법은, 자동화된 테스트 및 특성화 (ATAC) 픽스쳐를 제공하는 단계를 포함한다. ATAC 픽스쳐는, 제 1 컴포넌트가 컴퓨터 네트워크를 통해 데이터베이스로부터 ATAC 픽스쳐에 의해 획득된 사양 데이터 및 테스트들의 세트로 테스트될 수 있도록, 플라즈마 프로세싱 시스템을 시뮬레이팅하도록 구성된다. 또한, 이 방법은, 제 1 컴포넌트의 테스트를 용이하게 하기 위해 ATAC 픽스쳐를 제 1 컴포넌트에 커플링하는 단계를 포함한다. 이 방법은, 제 1 컴포넌트를 테스트들의 세트 및 사양 데이터로 테스트하는 단계를 더 포함한다. 더욱이, 이 방법은, ATAC 픽스쳐를 이용하여 제 1 컴포넌트의 테스트로부터 획득된 테스트 데이터를 분석하여, 통지를 트리거링하는 조건을 검출하는 단계를 포함한다. 제 1 컴포넌트를 테스트하는 동안 존재하지 않는 플라즈마 프로세싱 시스템의 미싱 컴포넌트들은, 미싱 컴포넌트들을 시뮬레이팅하기 위해 스텁 아웃되어, 제 1 컴포넌트가 시뮬레이팅된 환경에서 테스트되도록 허용한다.
본 발명의 이들 특징들 및 다른 특징들은, 본 발명의 상세한 설명 및 첨부 도면들과 함께 이하 더 상세히 설명될 것이다.
도면의 간단한 설명
본 발명은, 첨부 도면의 도들에서 제한이 아닌 일 예로서 도시되며, 동일한 참조 부호들은 유사한 엘리먼트들을 나타낸다.
도 1a 는, 설명을 용이하게 하기 위해 프로세스 모듈 및 전송 모듈을 가진 플라즈마 클러스터 툴의 일 예를 나타낸 도면이다.
도 1b 는, 도 1a 의 컴포넌트들 및 이러한 컴포넌트들과 관련된 테스트 구성의 차트를 나타낸다.
도 2a 는, 본 발명의 일 실시형태에서, 부속된 ATAC 테스트 픽스쳐들을 가진 플라즈마 클러스터 툴을 나타낸 도면이다.
도 2b 는, 본 발명의 일 실시형태에서, ATAC 테스트 프레임워크의 구성을 나타낸 도면이다.
도 3 은, 일 실시형태에서, ATAC 시스템을 이용하여 플라즈마 클러스터 툴의 컴포넌트를 테스트하는 단순화된 플로우차트를 나타낸다.
도 4 는, 일 실시형태에서, 데이터베이스와 관련하여 ATAC 시스템의 전체 환경의 단순화된 도면을 나타낸다.
도 5 는, 일 실시형태에서, 데이터 분석 모듈의 블록도를 나타낸다.
도 6 및 도 7 은, 일 실시형태에서, 데이터 분석 모듈에 의해 생성된 차트의 일 예를 나타낸다.
도 8 은, 일 실시형태에서, ATAC 시스템을 이용하여 문제 해결을 수행하는 단순화된 흐름도를 나타낸다.
실시형태들의 상세한 설명
이제, 본 발명은, 첨부 도면에 도시된 것처럼 본 발명의 몇몇 실시형태들을 참조하여 상세히 설명될 것이다. 다음의 설명에서, 다수의 특정 세부사항들이 본 발명의 완전한 이해를 제공하기 위하여 기술된다. 그러나, 당업자는, 본 발명이 이러한 특정 세부사항의 일부 또는 전부 없이도 실시될 수도 있음을 알 것이다. 다른 경우에, 널리 공지된 프로세스 단계들 및/또는 구조들은, 본 발명을 불필요하게 모호하게 하지 않기 위하여 상세히 설명되지 않는다.
방법들 및 기술들을 포함하는 다양한 실시형태들이 이하 설명된다. 본 발명이, 신규한 기술의 실시형태들을 실행시키기 위한 컴퓨터 판독가능 명령들이 저장되는 컴퓨터 판독가능 매체를 포함하는 제조 물품들을 포함할 수도 있다는 것을 명심해야 한다. 컴퓨터 판독가능 매체는, 예를 들어, 반도체, 자기, 광-자기, 광학, 또는 컴퓨터 판독가능 코드를 저장하기 위한 다른 형태의 컴퓨터 판독가능 매체를 포함할 수도 있다. 또한, 본 발명은, 본 발명의 실시형태들을 실시하기 위한 장치들을 포함할 수도 있다. 이러한 장치는, 본 발명의 실시형태들에 속하는 업무들을 실행하기 위해, 전용된, 및/또는 프로그램가능한 회로들을 포함할 수도 있다. 이러한 장치의 예로는, 적절히 프로그래밍될 때 범용 컴퓨터 및/또는 전용된 컴퓨팅 디바이스를 포함하고, 본 발명의 실시형태들에 속하는 다양한 업무들에 적합한 컴퓨터/컴퓨팅 디바이스와 전용된/프로그램가능한 회로들의 조합을 포함할 수도 있다.
본 발명의 실시형태들에 따라, 플라즈마 클러스터 툴과 같이, 플라즈마 프로 세싱 시스템을 테스트하기 위해 테스트 방법 및 데이터 수집의 표준화를 가능하게 하는 테스트 장치가 제공되어 있다. 테스트 프레임워크 (또는, 자동화된 테스트 및 특성화 (ATAC) 시스템으로 다르게 공지됨) 와 시스템 제어 소프트웨어 (SCS) 는 생산 환경을 시뮬레이팅한다. ATAC 시스템을 이용하여, 제조업자는, 테스트 방법 및 사양의 제어를 유지할 수도 있다.
이 문서에서, 다양한 구현들이 플라즈마 클러스터 툴을 이용하여 설명될 수도 있다. 그러나, 본 발명은, 플라즈마 클러스터 툴로 제한되지 않고, 임의의 플라즈마 프로세싱 시스템이 이용될 수도 있다.
예를 들어, 플라즈마 클러스터 툴 및 그 플라즈마 클러스터 툴의 다양한 컴포넌트들이 테스트되고 있는 상황을 고려하자. 일 실시형태에서, 테스터는, ATAC 시스템을 이용하여, 테스트되고 있지 않은 컴포넌트들을 스텁 아웃함으로써 제품을 시뮬레이팅할 수도 있다. 테스트 환경이 생산 환경과 흡사하기 때문에, 테스트는 하드웨어 레벨에서만 수행되지 않는다. 대신에, 전체 플라즈마 클러스터 툴 및 그 플라즈마 클러스터 툴의 시스템 제어 소프트웨어 (SCS) 는 통합된 단위로 (on an integrated basis) 테스트될 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시형태에서, ATAC 시스템은, 테스트 중에 수집된 데이터를 실시간에 가까운 환경에서 제조업자 시스템으로 송신할 수도 있다. 그 결과, 제조업자는, 테스트 데이터에 액세스하기 쉬울 수도 있다.
이미 언급된 것처럼, ATAC 시스템은, 플라즈마 클러스터 툴, 및 생산 중에 그 플라즈마 클러스터 툴을 제어하는 SCS 를 가진 플라즈마 클러스터 툴의 컴포넌 트들을 테스트하는 테스트 장치이다. ATAC 시스템은, 플라즈마 클러스터 툴의 컴포넌트에 속하는 사양 데이터 (예를 들어, 테스트 방법, 테스트 사양 및 관련 테스트 사양 데이터) 를 획득하는 데이터 관리자 모듈을 포함할 수도 있다. 이런 방식으로, 각각의 유형의 컴포넌트들에 대한 테스터들은, 그 테스터들이 내부 테스터들인지, 또는 제 3 자 벤더들을 위해 일하는지에 관계없이, 동일한 사양 데이터를 이용할 수도 있다.
데이터 관리자 모듈은, 컴퓨터 네트워크에 액세스함으로써 사양 데이터를 획득할 수도 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 컴퓨터 네트워크는, 인터넷 및/또는 제조업자 정보 기술 인프라구조를 나타낸다. 일 실시형태에서, 데이터 관리자는, 닷넷 (.net) 인프라구조 내에 구현될 수도 있는데, 이 닷넷 인프라구조는, 워싱턴, 레드몬드 소재의 마이크로소프트사에 의해 제공 및/또는 유지된다. 또한, 동일한 데이터 관리자는, 테스트들의 완료 시에 테스트 픽스쳐로부터의 테스트 결과 데이터 및/또는 파일들을 제조업자의 중앙 테스트 데이터 보관 서버로 전송할 수도 있다.
또한, ATAC 시스템은, 컴포넌트를 테스트하기 위한 테스트들의 세트를 실행하도록 구성된 테스트 관리자 모듈을 포함할 수도 있다. 여기에 설명된 것처럼, 테스트들의 세트는, 하나의 테스트 또는 다수의 테스트를 포함할 수도 있다. 테스트들의 세트는, 데이터 관리자 모듈에 의해 다운로드된 테스트 사양 및 관련 테스트 사양 데이터를 포함할 수도 있다. 실행된 테스트들의 수는, 테스터에 의해 결정될 수도 있다. 테스트 관리자 모듈을 이용하여, 동일한 테스트 방법 이 모든 테스터들에게 공급될 수도 있다.
또한, ATAC 시스템은, 테스트들의 세트를 플라즈마 클러스터 툴의 SCS 로 전달하도록 구성된 SCS 인터페이스를 포함할 수도 있다. SCS 인터페이스 엔진은, 테스트 스크립트에서 코딩되는 커맨드들을 프로세싱할 수도 있고, 커맨드들을 SCS 로 배급 (issue) 할 수도 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, SCS 인터페이스 엔진은, 스몰토크, 즉, 객체-지향 프로그래밍 언어를 이용하여 구현될 수도 있다. 스몰토크에 관한 정보는, www.smalltalk.org 에서 확인할 수 있다. 테스트 스크립트는, 커맨드들에 이어 ATAC 커맨드 신택스로 구성되는 평문 파일들로 기입될 수도 있다.
데이터 관리자 모듈, 테스트 관리자 모듈, 및 SCS 인터페이스 엔진은, 호스트 컴퓨터 내에 상주할 수도 있는데, 이는 또한, 생산 중에 플라즈마 클러스터 툴을 제어하는 SCS 를 포함할 수도 있다. 이들 상이한 부품들은, 컴포넌트를 테스트하고 테스트 결과를 수집하는 환경을 만들기 위해 함께 작동할 수도 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 테스트 결과들은, 컴퓨터 네트워크를 통해 제조업자의 테스트 데이터 보관 서버로 (적절한 소프트웨어 및/또는 하드웨어 컴포넌트를 이용하여) 전송될 수도 있다. 보관 서버 상에 저장된 테스트 결과들은, 권한부여된 사람에게 액세스가능할 수도 있다.
플라즈마 클러스터 툴은, 많은 컴포넌트들을 가질 수도 있다. 부품들 중 일부는 내부적으로 생산될 수도 있는 한편, 다른 컴포넌트들은 공급자들에게 아웃소싱될 수도 있다. 테스터들이 컴포넌트들을 테스트하기 위해 내부적으로 및 외부적으로 이용하는 테스트 프레임워크는, ATAC 시스템이다. 컴포넌트에 대해 테스트를 수행하기 위해, 테스터는, 그 테스터가 내부적으로 위치되는지 또는 외부적으로 위치되는지에 관계없이, ATAC 테스트 픽스쳐를 테스트되는 컴포넌트에 연결할 수도 있다. ATAC 테스트 픽스쳐는, 여기에 설명된 것처럼, 내장된 ATAC 시스템을 갖는 테스트 픽스쳐이다. 일단, 테스트되는 컴포넌트가 ATAC 텍스트 픽스쳐에 연결되면, 테스터는, 제조업자 사이트에 액세스하고 테스트되고 있는 컴포넌트를 나타낼 수도 있다. 플라즈마 클러스터 툴에서 발견될 수도 있는 다른 툴들은 스텁 아웃 (예를 들어, 이러한 컴포넌트들이 존재하고 동작하는 것처럼 시뮬레이팅) 될 수도 있다.
정확한 테스트 사양 및 방법은, ATAC 시스템에 다운로드된다. 테스트가 시작되고, 테스트로부터 수집된 데이터는, 제조업자의 테스트 데이터 보관 서버로 (테스트가 수행되고 있는 동안 테스터에 의한 요구가 있는 즉시, 또는 테스트가 완료될 때 한꺼번에) 언로드된다. 데이터는 이제 분석을 위해 제조업자, 테스터들, 및 공급자들에게 쉽게 이용가능하다. 더욱이, 데이터는 또한, 문제가 일어날 때 필드 엔지니어 및 고객에게 이용가능하다.
테스트하는 동안 수집될 수도 있는 과다한 데이터를 분석하기 위해, 데이터 분석 모듈은, 제조업자의 중앙 테스트 데이터 보관 서버 (예를 들어, ATAC 수집 데이터베이스) 에 접속될 수도 있다. 데이터 분석 모듈은, 통계적 프로세스 제어 (SPC) 로직을 가진 사용자 인터페이스를 포함할 수도 있다. 사용자 인터페이스를 이용함으로써, 사용자는, ATAC 수집 데이터베이스 상에 저장된 테스트 데이터를 질의하고, 사용하기 쉬운 리포트들을 생성할 수도 있다. 일 실시형태에서, 커스텀 룰 데이터베이스는 또한, 사용자로 하여금, 리포트들 및 차트들의 구성을 순간의 리포트들을 나타내는데 추후 이용될 수도 있는 템플릿으로 보관하도록 허용하는 데이터 분석 모듈에 접속될 수도 있다. 또한, 커스텀 룰 데이터베이스는, 사용자로 하여금, 변화들이 테스트 결과들에서 발생하는 시스템에 의해 사용자가 통지받는 조건들을 구성하도록 허용하는 통지 룰들을 포함할 수도 있다.
본 발명의 특징들 및 이점들은, 다음에 오는 도면들 및 설명들을 참조로 더 잘 이해될 수도 있다. 도 2a 는, 부속된 ATAC 테스트 픽스쳐들을 가진 플라즈마 클러스터 툴의 일 예를 도시한다. 플라즈마 클러스터 툴은, 프로세스 모듈 (210) 및 전송 모듈 (202) 을 나타낸다. 전송 모듈 (202) 내에는, 제어 래크 (control rack; 204), 진공 전송 모듈 (Vacuum Transfer Module; VTM; 206), 및 대기 전송 모듈 (Atmospheric Transfer Module; ATM; 208) 이 있다. VTM (206) 및 ATM (208) 에는 ATAC 테스트 픽스쳐들 (232 및 230) 이 각각 부속된다. 이 예에서, 제어 래크 (204) 에 대한 ATAC 테스트 픽스쳐는 나타나 있지 않다. 제어 래크 (204) 는, 제어 컴퓨터 및 전력 분배 하드웨어가 상주하는 곳이다. 본 발명의 일 실시형태에서, ATAC 테스트 픽스쳐는, 모든 컴포넌트들에 대해 존재할 수도 있지만, 충분히 복잡한 기능성 및/또는 제어 로직 (예를 들어, 제어 래크) 이 없는 컴포넌트들은 ATAC 테스트 픽스쳐를 필요로 하지 않을 수도 있다.
프로세스 모듈 (210) 내에, 존재할 수도 있는 컴포넌트들은, (ATAC 테스트 픽스쳐 (234) 를 가진) TCP 매치 (218), (ATAC 테스트 픽스쳐 (236) 를 가진) 바이 어스 매치 (220), (ATAC 테스트 픽스쳐 (238) 를 가진) 가스 박스 (222), (ATAC 테스트 픽스쳐 (240) 를 가진) 바이어스 전극 (214), 및 (ATAC 테스트 픽스쳐 (242) 를 가진) 탑 플레이트 (216) 를 포함한다 (그러나, 이들로 제한되지 않는다). 또한, 프로세스 모듈 (210) 에 부속된 ATAC 테스트 픽스쳐 (212) 가 있다. ATAC 테스트 픽스쳐들을 제외하고는, 클러스터 툴의 이들 및 다른 주요 컴포넌트들이 당업계에 널리 공지된다. 따라서, 이들 주요 컴포넌트들은 본원의 세부사항에 열거 또는 설명되지 않을 것이다.
도 2b 는, 본 발명의 일 실시형태에서, ATAC 테스트 프레임워크의 구성을 나타낸다. 메인 호스트 컴퓨터 (252) 는, 그 메인 호스트 컴퓨터 상에서 구동하는 시스템 제어 소프트웨어 (SCS; 254) 를 갖는다. SCS (254) 는, 생산 환경에서 플라즈마 클러스터 툴에 대해 구현되는 것과 동일한 시스템 제어 소프트웨어이다. 그 결과, 테스트들은, 시뮬레이팅된 생산 환경의 이익들을 가진채 수행된다.
또한, 메인 호스 컴퓨터 (252) 상에 데이터 관리자 모듈 (256) 이 상주하고 있다. 데이터 관리자 모듈 (256) 은, 인터넷을 경유하고 있을 수도 있는 경로 (253) 를 통해, 메인 호스트 컴퓨터 (252) 및 테스트 데이터 보간 서버 (예를 들어, 웹 서버 (266)) 로 사양 데이터가 로드되도록 하고 그 메인 호스트 컴퓨터 (252) 및 테스트 데이터 보간 서버 (예를 들어, 웹 서버 (266)) 로부터 결과 테스트 데이터가 언로드되도록 하는 데이터 전송 에이전트이다. 웹 서버 (266) 상에 상주하는 ATAC 웹 서비스 (268) 는, 안전한 인터넷 환경을 구현한다. 따라 서, ATAC 웹 서비스 (268) 로의 액세스를 획득하기 위해, 사용자는, 인증 데이터 (예를 들어, 사용자명 및 패스워드) 를 제공해야 한다.
데이터 관리자 모듈 (256) 이 제조업자로부터 사양 데이터를 검색하길 원한다면, 경로 (253) 를 통해 ATAC 웹 서비스 (268) 로 요청이 행해질 수도 있다. ATAC 웹 서비스 (268) 는, 경로 (255) 를 통해 파일 서버 (262) 로부터, 및/또는 경로 (257) 를 통해 데이터베이스 서버 (264) 로부터 사양 데이터를 검색할 수도 있다. 예를 들어, 파일 서버 (262) 상에 파일로서 레시피들이 저장될 수도 있다. 한편, 커패시턴스의 최소값 및 최대값이 데이터베이스 (264) 상에 저장될 수도 있다. 일 실시형태에서, 파일 서버 (262) 및 데이터베이스 서버 (264) 는, 제조업자 내부 인프라구조 상에 상주할 수도 있다. 사양 데이터는, 경로 (253) 를 통해 데이터 관리자 모듈 (256) 로 전송될 수도 있다. 데이터 관리자 모듈 (256) 은, 사양 데이터를 (경로 (259) 를 통해) 파일 시스템 (262) 내에 및 (경로 (261) 를 통해) 데이터베이스 (260) 내에 저장할 수도 있다. 파일 시스템 (262) 및 데이터베이스 (260) 는, 메인 호스트 컴퓨터 (252) 상에 로컬로 위치된다.
또한, 메인 호스트 컴퓨터 (252) 상에 테스트 관리자 모듈 (258) 이 상주하고 있다. 테스터는, 테스트 관리자 모듈 (258) 을 이용하여 테스트되고 있는 컴포넌트에 대한 테스트 시나리오를 선택 (예를 들어, 표준 테스트를 수행, 문제 해결 (troubleshooting) 을 수행, 진단을 수행 등) 한다. 각각의 테스트 시나리오에 대해, 이용가능할 수도 있는 테스트들의 세트 (예를 들어, 테스트 기능성) 이 있다. 테스트들의 세트는, 하나 이상의 테스트들을 포함할 수도 있다. 테스터는, 테스트들의 전부 또는 일부를 수행하도록 선택할 수도 있다. 테스트 시나리오들 및 테스트들의 세트는, ATAC 웹 서비스 (268) 로부터 데이터 관리자 모듈 (256) 에 의해 다운로드되고 파일 시스템 (262) 및 데이터베이스 (260) 내에 저장된 테스트 사양 및 관련 테스트 사양 데이터로부터 유도된다. 테스트 관리자 모듈 (258) 은, 일 실시형태에서, (캘리포니아, 마운틴 뷰 소재의 선 마이크로시스템즈사로부터 입수가능한) JavaTM 에서 구현될 수도 있다.
일단, 테스트 시퀀스가 활성화되면, 테스트 관리자 모듈 (258) 은, 경로 (267) 를 통해 SCS 인터페이스 엔진 (269) 과 상호작용할 수도 있다. SCS 인터페이스 엔진 (269) 은, 테스트들의 세트를 플라즈마 클러스터 툴의 SCS (254) 로 전달할 수도 있다. SCS 인터페이스 엔진 (269) 은, 테스트 스크립트에서 코딩되는 커맨드들을 프로세싱하고 커맨드들을 SCS (254) 로 배급할 수도 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, SCS 인터페이스 엔진 (269) 은, 스몰토크, 즉, 객체-지향 프로그래밍 언어를 이용하여 구현될 수도 있다.
테스트 결과들은, 파일 시스템 (262) 및 데이터베이스 (260) 상에 수집 및 보관될 수도 있다. 파일 시스템 (262) 내에 보간될 수도 있는 테스트 결과들의 일 예는 데이터 로그 파일이다. 데이터베이스 (260) 내에 보관될 수도 있는 테스트 결과들의 예들은, 프로세스 모듈에서의 압력 측정치들이다.
테스트 결과들은, 테스트가 수행된 직후, 테스트 시나리오가 완료된 직후, 또는 모든 테스트들이 컴포넌트들에 대해 수행된 직후 ATAC 웹 서비스 (268) 에 언로드될 수도 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 테스트 관리자 모듈 (258) 은, 테스트 결과들이 ATAC 웹 서비스 (268) 에 언로드될 때 셧다운될 수도 있다. 테스트 관리자 모듈 (258) 은, 잠재적인 데이터가 충돌하는 것을 방지하기 위해 셧다운될 수도 있다. 테스트 결과들을 언로드하기 위해, 데이터 관리자 모듈 (256) 은, 파일 시스템 (262) 및 데이터베이스 (260) 내에 저장된 테스트 결과들을 검색하고, 그 테스트 결과들을, 파일 서버 (262) 및 데이터베이스 서버 (264) 내에 테스트 결과들을 저장할 수도 있는 ATAC 웹 서비스 (268) 에 언로드할 수도 있다.
테스트 결과들은, 그 결과들이 ATAC 웹 서비스 (268) 에 언로드되자마자 액세스가능할 수도 있고, 데이터 뷰어 (예를 들어, ATAC 웹 리포터 (270)), 즉, 사용자가 데이터를 보고 리포트를 생성하도록 허용할 수도 있는 리포트 애플리케이션을 이용하여 보여질 수도 있다. 권한부여된 액세스를 승인받은 사용자들은 테스트 결과들에 액세스할 수도 있다.
도 3 은, 일 실시형태에서, ATAC 시스템을 이용하여 플라즈마 클러스터 툴의 컴포넌트를 테스트하는 단순화된 흐름도를 나타낸다. 도 3 은, 도 2b 와 관련하여 설명된다. 프로세스 모듈 (210) 내의 컴포넌트들 (이를 테면, 바이어스 전극 (214), TCP 매치 (218), 바이어스 매치 (220), 가스 박스 (222), 또는 탑 플레이트 (216)) 중 하나가 테스트되어야 할 수도 있는 상황을 고려하자. ATAC 테스트 픽스쳐는, 테스트되어야 하는 컴포넌트에 접속될 수도 있다. 예를 들어, 메인 호스트 컴퓨터 (252) 는, 프로세스 모듈 (210) 및 그의 컴포넌트들을 제 어하는 컴퓨터 (250) (예를 들어, VME) 에 접속된다. 일단, 내장된 ATAC 시스템을 가진 메인 호스트 컴퓨터 (252) 가 컴퓨터 (250) 에 접속되면, ATAC 시스템은, 테스트 프레임워크 및 인터페이스를 제공할 수도 있다.
제 1 단계 302 에서, 데이터 관리자 모듈을 개시한다. 컴포넌트의 테스트를 시작하기 위해, 컴퓨터 (250) 는, 경로 (251) 를 통해 메인 호스트 컴퓨터 (252) 와 통신하여 테스트 프로세스를 개시하고 데이터 관리자 모듈 (256) 을 개시할 수도 있다.
다음 단계 304 에서, 테스터는, 사양 데이터가 업데이트될 수 있게 하는 버튼을 누른다. 데이터 관리자 모듈 (256) 은, 제조업자의 컴퓨터 네트워크 (예를 들어, ATAC 웹 서비스 (268)) 와 접속하고, 모든 사양 데이터 (예를 들어, 일 실시형태에서 상이한 버전들의 사양 데이터) 를 다운로드할 수도 있다. 이미 언급된 것처럼, 컴퓨터 네트워크 (예를 들어, ATAC 웹 서비스 (268)) 로의 액세스는, 일단 테스터가 인증 정보 (예를 들어, 사용자명 및 패스워드) 를 제공한다면 승인받을 수도 있다. 일 실시형태에서, 컴포넌트의 테스트가 다수 회 수행된다면, 차후 다운로드 시에는, 사양 데이터의 차이점들만이 다운로드될 수도 있다.
사양 데이터를 데이터 관리자 모듈 (256) 에 다운로드하기 위해, 컴퓨터 네트워크 (예를 들어, ATAC 웹 서비스 (268)) 는, 파일 서버 (262) 및 데이터베이스 서버 (264) 로부터 사양 데이터를 검색한다. 파일 서버 (262) 및 데이터베이스 서버 (264) 로부터 검색되는 사양 데이터는, 데이터 관리자 모듈 (256) 에 다운로드되고 파일 시스템 (262) 및 데이터베이스 (260) 내에 저장될 수도 있다.
일단, 사양 데이터가 업데이트되었다면, 사용자는, 컴포넌트에 관한 식별 정보 (예를 들어, 일련 번호, 장비 ID 등) 를 입력할 수도 있고, 다음 단계 306 에서 사양 데이터의 버전을 선택할 수도 있다. 다음 단계 308 에서, 선택된 사양 데이터의 버전은, 모든 런타임 디렉토리들에 카피됨으로써 적용될 수도 있다. 다음 단계 310 에서, 테스터는, 컴포넌트에 대해 특정인 옵션들을 구성할 수도 있다. 예를 들어, 가스 박스는, 그 가스 박스가 가질 수도 있는 가스 라인들의 개수 (예를 들어, 12 개의 가스 라인), 그 가스 박스가 가질 수도 있는 박스들의 개수 (예를 들어, 16 개의 박스들), 또는 가스 박스가 가질 수도 있는 공급 라인들의 개수 (예를 들어, 이중의 가스 공급 여부) 에 기초하여 구성된다.
다음 단계 312 에서, 테스터는, 테스트 관리자 모듈을 개시하여 테스트 시나리오(들)를 선택한다 (단계 314). 일 예에서, 테스터는, 가스 박스에 대해 표준의 테스트들의 세트를 수행하길 원한다. 일단, 테스트 시나리오가 선택되면, 그 테스트 시나리오와 관련된 테스트들의 세트가 테스터에게 이용가능해질 수도 있다. 다음 단계 316 에서, 테스터는, 실행될 테스트들을 선택할 수도 있다. 일 예에서, 가스 박스에 대한 표준의 테스트들의 세트는, 수행될 수 있는 40 가지의 테스트들을 포함할 수도 있다. 그 40 가지의 테스트들 중, 테스터는, 전부 또는 선택된 소수개만을 실행하도록 선택할 수도 있다. 테스트 관리자 모듈 (258) 은, 파일 시스템 (262) 내에 그리고 데이터베이스 (260) 내에 저장된 사양 데이터를 이용하여 실행될 테스트 시나리오 및 테스트들의 세트를 선택할 수도 있다.
다음 단계 318 에서, 각각의 테스트가 실행된다. SCS 인터페이스 엔진 (269) 은, 테스트 관리자 모듈 (258) 과 통신하여 테스트 시퀀스를 검색할 수도 있다. SCS 인터페이스 엔진 (269) 은, 테스트 스크립트에서 코딩되는 커맨드들을 프로세싱할 수도 있고, 커맨드들을 SCS (254) 에 배급하여 테스트를 시작할 수도 있다. 검색된 정보에 기초하여, SCS (254) 는, 테스트되고 있지 않은 모든 컴포넌트들을 스텁 아웃하고 테스트 시퀀스를 개시할 수도 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, SCS 인터페이스 엔진 (269) 은, 스몰토크, 즉, 객체-지향 프로그래밍 언어를 이용하여 구현될 수도 있다.
각각의 테스트 중에 수집된 데이터는, 테스트 관리자 모듈 (258) 을 통해 파일 시스템 (262) 및 데이터베이스 (260) 로 전송될 수도 있다. 다음 단계 320 에서, 부가적인 테스트들이 요구된다면, 테스터는, 단계 316 으로 복귀하고 새로운 테스트를 선택할 수도 있다. 이 프로세스는, 테스터가 수행하길 원하는 모든 테스트들이 완료될 때까지 계속될 수도 있다. 일단, 모든 테스트들이 완료되면, 테스터는, 다음 단계 322 에서 테스트 관리자 모듈을 셧다운할 수도 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 테스트 결과들은, 테스트의 완료 후에, 또는 테스트 시나리오의 완료 후에 ATAC 웹 서비스 (268) 에 언로드될 수도 있다. 예를 들어, 테스트 시나리오에 대해 수행되고 있는 40 가지의 테스트들이 있다. 각각의 테스트의 마지막에, 테스터는, 테스트 관리자 모듈을 셧다운하여 데이터를 언로드할 수도 있다. 테스터가 테스트 관리자 모듈을 다시 개시할 때, 시스템은, 테스터에게, 각각의 테스트의 상태 및 테스트를 계속할 기회를 제공할 수도 있 다. 그 결과, 보다 빈번히 테스트 결과들을 언로드할 능력이, 테스터 및 테스트 결과들에 관심이 있을 수도 있는 다른 사람들로 하여금, 분석이 수행되도록 허용하고 문제 해결이 발생하도록 허용할 수도 있는, 테스트 결과들에 실시간에 가까운 액세스를 가능하게 할 수도 있다.
다음 단계 324 에서, 데이터 관리자 모듈은, 데이터의 언로드를 시작하도록 활성화될 수도 있다 (단계 326). 예를 들어, 데이터 관리자 모듈 (256) 은, 파일 시스템 (262) 및 데이터베이스 (260) 로부터 테스트 결과들을 검색할 수도 있고, 테스트 결과들을 ATAC 웹 서비스 (268) 로 전송할 수도 있다. 테스트 결과들은, 파일 서버 (262) 및 데이터베이스 서버 (264) 에 저장될 수도 있고, 그 테스트 결과들을 보도록 권한부여된 임의의 사용자 (예를 들어, 필드 엔지니어들, 공급자들, 고객들 등) 에게 액세스가능할 수도 있다. 다음 단계 328 에서, 컴포넌트에 대한 테스트가 완료되고, 테스터는, ATAC 웹 리포터 (270) 를 이용하여 데이터를 볼 수도 있다.
도 4 는, 일 실시형태에서, 데이터베이스와 관련하여 ATAC 시스템의 전체 환경의 단순화된 도면을 나타낸다. 예를 들어, 벤더들 (402, 404, 및 406) 이 ATAC 시스템 (408) 을 이용하여 테스트 결과들을 수집중이고 데이터 업스트림을 ATAC 시스템 (408) 을 통해 ATAC 수집 데이터베이스 (410) 로 전송중인 상황을 고려하자. 데이터는, ATAC 수집 데이터베이스 (410) 상에 저장되고, 이는 차후 분석을 위해 이용가능하다. 저장되는 데이터의 과다로, 데이터 분석 모듈은, 판독가능한 리포트들 및 차트들로 수집된 테스트 데이터를 조작할 필요가 있다.
도 5 는, 일 실시형태에서, 데이터 분석 모듈의 블록도를 나타낸다. 데이터 분석 모듈 (502) 은, ATAC 수집 데이터베이스 (504) 에 접속된다. 일 실시형태에서, 커스텀 데이터베이스 (506) 는 또한 데이터 분석 모듈 (502) 에 접속될 수도 있다.
일 실시형태에서, 데이터 분석 모듈 (502) 은, 통계적 프로세스 제어 (SPC) 백엔드 (510) 를 포함할 수도 있다. SPC 백엔드로, ATAC 수집 데이터베이스 (504) 상에 저장된 테스트 데이터에 대해 통계적 분석이 수행될 수도 있다. 데이터를 검색 및 분석하기 위해 사용자에게 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공하도록, 데이터 분석 모듈 (502) 은, 사용자 인터페이스 (512) 를 포함할 수도 있다. 사용자 인터페이스 (512) 로, 사용자는, SPC 백엔드 (510) 에 액세스하여, ATAC 수집 데이터베이스 (504) 상에 저장된 테스트 데이터를 질의할 수도 있다. 질의의 결과는, 커스텀 룰 데이터베이스 (506) 에 액세스함으로써 사용자에 의해 구성될 수도 있는 사용하기 쉬운 리포트들 및 차트들에 나타내질 수도 있다.
커스텀 룰 데이터베이스 (506) 는, 일 실시형태에서, 파일 저장 영역 및 SQL 데이터베이스를 포함할 수도 있다. 파일 저장 영역은, 리포트들 및 차트들이 생성 및 커스터마이즈될 수도 있는 방법에 대한 룰들을 포함할 수도 있다. 커스텀 룰 데이터베이스 (506) 를 이용함으로써, 사용자는, 사용자가 추후 적용을 위해 보관할 수도 있는 차트들 및 리포트들의 템플릿들을 생성할 수도 있다. 다른 실시형태에서, 커스텀 룰 데이터베이스 (506) 는, 통지 정보가 상주할 수도 있는 데이터베이스를 더 포함할 수도 있다.
일 실시형태에서, 사용자는, 일정한 활동들이 발생할 때를 통지받길 원할 수도 있다. 데이터 분석 모듈 (502) 의 자동 통지 (514) 를 이용함으로써, 사용자는, 일정한 활동들에 대해 통지받을 수도 있다. 통지에 대한 룰들을 정의하기 위해, 자동 통지는, 커스텀 룰 데이터베이스 (506) 에 액세스할 수도 있다. 상기 언급된 것처럼, 커스텀 룰 데이터베이스 (506) 는, 사용자로 하여금, 그 사용자가 테스트 결과들에 변화들이 발생했다는 것을 시스템에 의해 통지받는 조건들을 구성하도록 허용하는 통지 룰들을 포함할 수도 있다. 일 예에서, 사용자는, 시스템이 사용자에게, 전송 모듈의 컴포넌트에 대한 테스트 데이터가 사전 결정된 비율을 넘어 변화할 때를 통지할 수도 있는 자동 통지 룰을 설정할 수도 있다. 이 자동 통지 룰이 트리거링될 때, 사용자는 통지받는다. 일 실시형태에서, 리포트는, 테스트 데이터에서의 변화를 나타내는 소정의 템플릿을 이용하여 생성될 수도 있다.
도 6 및 도 7 은, 일 실시형태에서, 생성될 수도 있는 차트들의 타입들을 나타낸다. 도 6 은, 위치 오프셋을 가진 컴포넌트의 그래프를 도시한다. 이 예에서, 이벤트는, 위치 오프셋의 트렌드를 변화하게 한 2005년 10월 한달 동안 발생했다. 데이터 분석 모듈로, 사용자는, 자동 통지 피쳐를 이용하여 사용자에게 도 6 에 도시된 것과 유사한 변화를 경고하며, 이로써, 제조 프로세싱 시 시프트를 검출할 수도 있다.
다른 예에서, 도 7 은, 컴포넌트의 내열성 값들의 차트의 일 예를 나타낸다. 이 예에서, 내열성 값들의 트렌드는 서서히 상승하고 있다. 하루 단위로, 사용자는, 향상하는 트렌드를 식별할 수 없을 수도 있지만, 데이터 분석 모듈로, 사용자는, 그래프 상에 내열성 값들을 플롯하고 신속하게 트렌드를 식별할 수도 있다. 또한, 사용자는, 현재의 트렌드를 이용하여 장래의 테스트 결과들을 예측할 수도 있고, 그 예측을 이용하여 고장을 막을 수도 있다.
도 6 과 도 7 모두는, 컴포넌트들이 고객의 사이트로 전송되기 전에 문제를 야기할 수도 있는 변화들을 검출하는데 데이터 분석 모듈이 이용될 수도 있는 방법의 예를 나타낸다. 일 실시형태에서, 데이터 분석 모듈과 같은 유효하면서 효과적인 분석 툴로, 제조업자들은 고장이 생기는 것을 막을 수 있을 뿐만 아니라 테스트 결과들에 대해 양호한 제어를 제공하기 위하여 테스트 표준을 변형시킬 수도 있다. 일 예에서, 범위의 상한 및 하한이, 컴포넌트들이 양호해지도록 효과적으로 협폭일 수 있다면, 고객의 사이트에서 보다 적은 하드웨어 고장이 생길 수도 있다.
다음의 예는, ATAC 수집 데이터베이스 상에 저장된 테스트 데이터를 이용하여 문제 해결이 수행되는 방법을 도시하며, 그 데이터는, 테스트 데이터를 보도록 권한부여된 자에게 쉽게 액세스가능하다. 도 8 은, 일 실시형태에서, ATAC 시스템을 이용하여 문제 해결을 수행하는 단순화된 흐름도를 나타낸다. 예를 들어, 플라즈마 클러스터 툴이 필드 엔지니어에 의해 고객의 사이트에서 셋업되고 있는 상황을 고려하자. 제 1 단계 802 에서, 플라즈마 클러스터 툴이 가진 문제가 고객 사이트에서 조우될 수도 있다. 일 예에서, 셋업 시에, 플라즈마 클러스터 툴은, VCI 무-플라즈마 (no-plasma) 테스트를 통과하지 않는다. VCI 는, 프로세싱 모듈의 전압 제어 방식을 모니터링하는 프로세싱 모듈에 대한 디바이스이다. VCI 무-플라즈마 테스트는, 기울기가 설정된 범위 내에 있는 것을 요구할 수도 있다. 그러나, 고객 사이트에서의 테스트 결과들은, 스펙트럼의 하단에 있을 수도 있다.
다음 단계 804 에서, 사용자 (예를 들어, 필드 엔지니어) 는, ATAC 웹 사이트로 로깅할 수도 있다. 다음 단계 806 에서, 사용자는, 사용자명 및 패스워드를 입력하여 ATAC 웹 사이트에 액세스할 수도 있다. 다음 단계 808 에서, 사용자는, 테스트 결과들을 ATAC 로부터 검색할 수도 있다. 다음 단계 810 에서, 사용자는, 테스트 데이터를 분석함으로써 문제 해결을 수행할 수도 있다. 데이터 분석 모듈을 이용함으로써, 사용자는, ATAC 수집 데이터베이스를 질의하여 VCI 무-플라즈마 테스트에 대한 테스트 데이터를 수집할 수 있다. 분석 시에, 필드 엔지니어는, 테스트 중에, 기울기가 (기울기가 범위 내에 있었더라도) 이미 스펙트럼의 하단을 향하여 가고 있다는 것을 검출할 수 있다. 또한, 필드 엔지니어는, 동일 구성과 관련된 테스트 데이터를 분석할 수도 있고, 기울기가 아래로 가기 시작했을 때를 결정할 수도 있다. 그 데이터에 기초하여, 필드 엔지니어는, 그 시간 중에 발생한 이벤트에 대해 문제를 추적할 수도 있다. 추가 조사 시에, 문제가 전극을 공급한 공급자들에게 다시 추적될 수도 있다. ATAC 웹 서비스를 통해 쉽게 이용가능한 데이터로, 필드 엔지니어는, 신속하게 문제를 정확하게 지적할 수도 있다. 과거에는, 분석이 수주 또는 수개월이 걸릴지도 모른다.
본 발명의 실시형태들로부터 알 수 있는 것처럼, ATAC 시스템은, 표준의 테 스트 프레임워크를 준비하여, 테스트가 부정확하게 수행될 가능성을 상당히 감소시킨다. 테스트를 표준화함으로써, 제조업자는 이제, 고객의 사이트에서 셋업된 플라즈마 프로세싱 시스템이 제조업자에 의해 승인된 테스트 방법 및 사양에 따라 테스트되는 것을 보장할 수도 있다. 또한, ATAC 시스템은, 데이터의 실시간에 가까운 언로드를 허용하기 때문에, 데이터를 액세스하도록 권한부여된 자는 이제 테스트 결과에 액세스하기가 쉬워 데이터 분석 및 문제 해결을 수행한다.
본 발명은 몇몇 실시형태들의 관점에서 설명되었지만, 본 발명의 범위 내에 있는 변경물, 치환물, 및 등가물이 있다. 또한, 발명의 명칭, 요약, 개요는 편의를 위해 여기에 제공되며, 여기서 특허청구범위를 해석하기 위해 이용될 필요는 없다. 또한, 본 출원에서, "n" 개의 세트는, 그 세트 내의 하나 이상의 "n" 을 지칭한다. 또한, 본 발명의 방법들 및 장치들을 구현하는 다수의 대안의 방식들이 존재한다는 것을 알아야 한다. 따라서, 다음의 첨부된 청구항은 본 발명의 진실된 사상 및 범위 내에 있는 이러한 변경물, 치환물, 및 등가물 모두를 포함하는 것으로 해석되는 것으로 의도된다.

Claims (23)

  1. 생산 시스템 제어 소프트웨어를 이용하여 생산 중에 제어되는 플라즈마 프로세싱 시스템에 설치되도록 구성된 제 1 컴포넌트를 테스트하는 방법으로서,
    자동화된 테스트 및 특성화 (ATAC) 픽스쳐를 제공하는 단계로서, 상기 ATAC 픽스쳐는, 적어도, 상기 생산 시스템 제어 소프트웨어를 나타내는 제 1 시스템 제어 소프트웨어 패키지 ("제 1 SCS"), 컴퓨터 네트워크를 통해 제 1 데이터베이스로부터 사양 데이터 (specification data) 를 획득하도록 구성된 데이터 관리자 모듈, 상기 제 1 SCS 를 이용하여, 상기 제 1 컴포넌트를 테스트하도록 설계된 테스트들의 세트를 실행하도록 구성된 테스트 관리자 모듈, 적어도 상기 테스트들의 세트를 상기 제 1 SCS 에 제공하도록 구성된 SCS 인터페이스 엔진, 및 상기 제 1 컴포넌트의 테스트로부터 획득된 테스트 데이터를 분석하기 위해, 컴퓨터-구현 데이터 분석 툴을 사용자에게 제공하도록 구성된 데이터 분석 모듈을 포함하는, 상기 ATAC 픽스쳐를 제공하는 단계; 및
    상기 ATAC 픽스쳐를 상기 제 1 컴포넌트에 커플링하여, 상기 테스트들의 세트 및 상기 사양 데이터의 적어도 일부를 이용하여 상기 ATAC 픽스쳐 내의 상기 제 1 SCS 가 상기 제 1 컴포넌트를 테스트할 수 있게 하는 단계를 포함하며,
    상기 제 1 컴포넌트를 테스트하는 동안 존재하지 않는 상기 플라즈마 프로세싱 시스템의 미싱 컴포넌트 (missing component) 들은, 상기 미싱 컴포넌트들을 시뮬레이팅하기 위해 스텁 아웃 (stub out) 되어, 마치 상기 미싱 컴포넌트들이 상기 제 1 컴포넌트를 테스트하는 동안 존재하는 것처럼 상기 제 1 SCS 를 이용하여 상기 제 1 컴포넌트가 시뮬레이팅된 환경에서 테스트되도록 허용하는, 테스트 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 컴퓨터 네트워크는 인터넷을 나타내는, 테스트 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 사양 데이터는, 벤더들 중 누가 상기 제 1 컴포넌트와 동일한 유형인 컴포넌트들의 테스트를 실제로 수행하는지에 관계없이, 상기 제 1 컴포넌트와 동일한 유형인 상기 컴포넌트들을 테스트하기 위해 상기 벤더들에 의해 이용되는 데이터를 나타내는, 테스트 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 데이터베이스는, 웹 서버를 이용하여 상기 테스트 관리자 모듈에 액세스가능하게 되는, 테스트 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 사양 데이터는, 벤더들 중 누가 상기 제 1 컴포넌트와 동일한 유형인 컴포넌트들의 테스트를 실제로 수행하는지에 관계없이, 상기 제 1 컴포넌트와 동일한 유형인 상기 컴포넌트들을 테스트하는 상기 벤더들 모두를 위해 상기 플라즈마 프로세싱 시스템의 제조업자에 의해 제공되는, 테스트 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 데이터 관리자 모듈을 이용하여, 상기 제 1 컴포넌트의 테스트로부터 테스트 결과들을 획득하고, 후속 분석을 위해 상기 테스트 결과들을 인터넷을 통해 제 2 데이터베이스에 업로드하는 단계를 더 포함하는, 테스트 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 테스트 결과들은, 벤더들 중 누가 상기 제 1 컴포넌트와 동일한 유형인 컴포넌트들의 테스트를 실제로 수행하는지에 관계없이, 상기 제 1 컴포넌트와 동일한 유형인 상기 컴포넌트들을 테스트하는 상기 벤더들 모두에 대해 일치하는 소정의 포맷을 이용하여 저장되는, 테스트 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 SCS 는, 상기 생산 시스템 제어 소프트웨어의 정확한 카피 (exact copy) 를 나타내는, 테스트 방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 데이터 분석 모듈은 또한, 통지 이벤트를 트리거링하는 조건을 찾기 위해 상기 테스트 데이터를 모니터링하도록 구성되는, 테스트 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 데이터 분석 모듈은, 상기 통지 이벤트를 트리거링하는 조건이 충족된다면 통지를 송신하도록 구성된 자동-통지 (auto-notification) 모듈을 더 포함하는, 테스트 방법.
  11. 생산 시스템 제어 소프트웨어를 이용하여 생산 중에 제어되는 플라즈마 프로세싱 시스템에 설치되도록 구성되는 제 1 컴포넌트를 테스트하기 위해 구성된 테스트 픽스쳐로서,
    상기 생산 시스템 제어 소프트웨어를 나타내는 제 1 시스템 제어 소프트웨어 패키지 ("제 1 SCS");
    컴퓨터 네트워크를 통해 제 1 데이터베이스로부터 사양 데이터 (specification data) 를 획득하도록 구성된 데이터 관리자 모듈;
    상기 제 1 SCS 를 이용하여, 상기 제 1 컴포넌트를 테스트하도록 설계된 테스트들의 세트를 실행하도록 구성된 테스트 관리자 모듈;
    적어도 상기 테스트들의 세트를 상기 제 1 SCS 에 제공하도록 구성된 SCS 인터페이스 엔진; 및
    상기 제 1 컴포넌트의 테스트로부터 획득된 테스트 데이터를 분석하기 위해, 컴퓨터-구현 데이터 분석 툴을 사용자에게 제공하도록 구성된 데이터 분석 모듈을 포함하며,
    상기 테스트 픽스쳐는, 상기 제 1 컴포넌트에 커플링될 때, 상기 테스트들의 세트 및 상기 사양 데이터의 적어도 일부를 이용하여 상기 테스트 픽스쳐 내의 상기 제 1 SCS 가 상기 제 1 컴포넌트를 테스트할 수 있게 하도록 구성되며,
    상기 제 1 컴포넌트를 테스트하는 동안 존재하지 않는 상기 생산 플라즈마 프로세싱 시스템의 미싱 컴포넌트들은, 상기 미싱 컴포넌트들을 시뮬레이팅하기 위해 스텁 아웃 (stub out) 되어, 마치 상기 미싱 컴포넌트들이 상기 제 1 컴포넌트를 테스트하는 동안 존재하는 것처럼 상기 제 1 SCS 를 이용하여 상기 제 1 컴포넌트가 시뮬레이팅된 환경에서 테스트되도록 허용하는, 테스트 픽스쳐.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 컴퓨터 네트워크는 인터넷을 나타내는, 테스트 픽스쳐.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 사양 데이터는, 벤더들 중 누가 상기 제 1 컴포넌트와 동일한 유형인 컴포넌트들의 테스트를 실제로 수행하는지에 관계없이, 상기 제 1 컴포넌트와 동일한 유형인 상기 컴포넌트들을 테스트하는 상기 벤더들에 의해 이용되는 데이터를 나타내는, 테스트 픽스쳐.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 데이터베이스는, 웹 서버를 이용하여 상기 테스트 관리자 모듈에 액세스가능하게 되는, 테스트 픽스쳐.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 사양 데이터는, 벤더들 중 누가 상기 제 1 컴포넌트와 동일한 유형의 컴포넌트들의 테스트를 실제로 수행하는지에 관계없이, 상기 제 1 컴포넌트와 동일한 유형인 상기 컴포넌트들을 테스트하는 상기 벤더들 모두를 위해 상기 플라즈마 프로세싱 시스템의 제조업자에 의해 제공되는, 테스트 픽스쳐.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 데이터 관리자 모듈은 또한, 상기 제 1 컴포넌트의 테스트로부터 테스트 결과들을 획득하고, 후속 분석을 위해 상기 테스트 결과들을 인터넷을 통해 제 2 데이터베이스에 업로드하도록 구성되는, 테스트 픽스쳐.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 테스트 결과들은, 벤더들 중 누가 상기 제 1 컴포넌트와 동일한 유형인 컴포넌트들의 테스트를 실제로 수행하는지에 관계없이, 상기 제 1 컴포넌트와 동일한 유형인 상기 컴포넌트들을 테스트하는 상기 벤더들 모두에 대해 일치하는 소정의 포맷을 이용하여 저장되는, 테스트 픽스쳐.
  18. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 SCS 는, 상기 생산 시스템 제어 소프트웨어의 정확한 카피 (exact copy) 를 나타내는, 테스트 픽스쳐.
  19. 제 11 항에 있어서,
    상기 데이터 분석 모듈은 또한, 통지 이벤트를 트리거링하는 조건을 찾기 위해 상기 테스트 데이터를 모니터링하도록 구성되는, 테스트 픽스쳐.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 데이터 분석 모듈은, 상기 통지 이벤트를 트리거링하는 조건이 충족된다면 통지를 송신하도록 구성된 자동-통지 (auto-notification) 모듈을 더 포함하는, 테스트 픽스쳐.
  21. 생산 시스템 제어 소프트웨어를 이용하여 생산 중에 제어되는 플라즈마 프로세싱 시스템에 설치되도록 구성된 제 1 컴포넌트를 테스트하는 방법으로서,
    자동화된 테스트 및 특성화 (ATAC) 픽스쳐를 제공하는 단계로서, 상기 ATAC 픽스쳐는, 컴퓨터 네트워크를 통해 데이터베이스로부터 상기 ATAC 픽스쳐에 의해 획득된 사양 데이터 (specification data) 및 테스트들의 세트를 이용하여 상기 제 1 컴포넌트가 테스트될 수 있도록 플라즈마 프로세싱 시스템을 시뮬레이팅하도록 구성되는, 상기 ATAC 픽스쳐를 제공하는 단계;
    상기 ATAC 픽스쳐를 상기 제 1 컴포넌트에 커플링하여, 상기 제 1 컴포넌트 의 테스트를 용이하게 하는 단계;
    상기 제 1 컴포넌트를 상기 테스트들의 세트 및 상기 사양 데이터로 테스트하는 단계; 및
    상기 ATAC 픽스쳐를 이용하여 상기 제 1 컴포넌트의 테스트로부터 획득된 테스트 데이터를 분석하여 통지를 트리거링하는 조건을 검출하는 단계를 포함하며,
    상기 제 1 컴포넌트를 테스트하는 동안 존재하지 않는 상기 플라즈마 프로세싱 시스템의 미싱 컴포넌트들은, 상기 미싱 컴포넌트들을 시뮬레이팅하기 위해 스텁 아웃 (stub out) 되어, 마치 상기 미싱 컴포넌트들이 상기 제 1 컴포넌트를 테스트하는 동안 존재하는 것처럼 상기 제 1 컴포넌트가 시뮬레이팅된 환경에서 테스트되도록 허용하는, 테스트 방법.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 컴퓨터 네트워크는 인터넷을 나타내는, 테스트 방법.
  23. 제 21 항에 있어서,
    상기 제 1 데이터베이스는, 웹 서버를 이용하여 테스트 관리자 모듈에 액세스가능하게 되는, 테스트 방법.
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