KR20090042767A - 기판이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기립된 기판을 이송하는 기판이송장치에 관한 것이다.

본 발명에 의한 기판이송장치는 기판을 기립된 상태로 이송하는 기판이송부; 및 기립된 상기 기판의 일측면을 향해 기체를 분사하여 국부적으로 발생되는 음압으로 상기 기판을 기립상태로 유지시키는 기립유지수단;을 포함한다.

기판. 기립. 음압. 기체.

Description

기판이송장치{Substrate transfering apparatus}

본 발명은 기립된 기판을 이송하는 기판이송장치에 관한 것이다.

평판디스플레이, 반도체웨이퍼, 포토마스크용 글라스 등에 사용되는 기판은 일련의 처리과정을 거치면서 에칭, 스트립, 린스 등의 과정을 거친 후 세정을 하게 된다.

이러한 제조공정에 있어서 라인간에 기판을 이송하기 위한 이송장치들이 필수적으로 적용되며, 통상적으로는 기판을 수평상태로 이송하는 방법이 사용되고 있다.

최근에는, 제조비용을 줄이기 위하여 대형사이즈의 기판을 채용할 필요성이 대두하였는데, 이러한 대형 사이즈의 기판을 이송하기 위한 공간을, 효율적으로 사용하기 위하여 기판을 수직으로 또는 경사진 상태에서 장치로 투입하는 경향이 있다.

기판의 처리의 균일도는 평판디스플레이 등의 디스플레이 장치의 품질을 결정하는 중요한 요소 중 하나가 되므로, 기판이 균일하게 처리되기 위해서는 처리되는 기판 면의 전면이 노출되는 것이 바람직하다. 그러나 기판을 수직으로 세워 안 정적으로 이송을 하기 위해서는 한 측면에만 지지수단을 설치하는 것 만으로는 부족하고, 지지수단을 기판의 양면에 설치하여야 한다. 따라서, 기판의 일부가 지지롤러 등으로 인하여 가려지게 되어 기판의 처리과정에서 불균일한 처리가 일어날 가능성이 크다. 즉, 종전처럼 지지롤러를 양 측면에 설치하는 경우는 기판 전면이 노출되지 아니하므로 기판에 에칭, 스트립 등의 처리를 하는 동안, 균일한 처리가 어렵고, 양질의 기판을 얻기 어려운 문제가 있었다.

따라서, 기판을 경사진 상태로 장치에 투입하고, 기판의 한쪽 면에만 지지롤러를 구비하는 기판이송장치가 개발되었다. 그러나 이 경우에도 기판이 지지롤러와 접촉식이어야 하므로 기판과 지지롤러가 접촉하는 부분이 손상될 염려가 있고, 기판과 지지롤러 사이에는 인력이 작용하지 않아 이송과정에서 지지롤러의 반대방향으로 조금이라도 기울어지면 기판이 넘어질 위험이 매우 컸다. 기울인 정도를 크게하여 이송하면 안정성은 증가하나, 이 경우에는 수직으로 세워진 경우보다 설치공간이 증가하는 문제점이 있었다.

따라서, 기립된 기판의 이송장치에 있어서, 기판의 한 측면에만 지지수단을 구비하여 기판에 대한 여러 처리가 균일하게 이루어질 수 있도록 하면서도, 기판을 안정적으로 이송할 수 있는 장치의 제공이 절실히 요구된다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서 기판기립유지수단을 기판의 한 측면에만 구비하면서도 기립된 기판을 안정적으로 이송할 수 있는 기판이송장치를 제공함에 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판이송장치는 기판을 기립된 상태로 이송하는 기판이송부; 및 기립된 상기 기판의 일측면을 향해 기체를 분사하여 국부적으로 발생되는 음압으로 상기 기판을 기립상태로 유지시키는 기립유지수단;을 포함한다.

또한 상기 기립유지수단은 상기 기판에 대향하는 면을 가지며, 상기 면으로부터 방사상으로 기체를 분사하는 기체 분사부를 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 기립유지수단을 통하여 기판이 처리되는 동안, 기판이 기립상태를 유지하면서 기판의 한 측면이 전면으로 노출되게 함으로써 기판 처리의 균일도를 높여 양질의 기판을 생산할 수 있다. 또한, 대형기판의 경우는 수평으로 이송하는 경우보다 설치면적을 줄일 수 있으며, 기판과 처리액과의 반응시간을 빠르게 하여 기판처리시간을 단축시킴에 따라 생산성을 향상시킬 수 있다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예의 구성 및 작용 을 설명한다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 의한 실시예는, 기립유지수단(200)과, 기판이송부(100)를 포함한다. 기판(S)는 기판기립유지수단에 의하여 기립된 상태가 유지되며, 기판이송부에 의하여 수평방향으로 이송된다. 또한 상기 기립유지수단(200)은 기립된 상기 기판의 일측면에 설치되는 베이스판(210)과, 상기 베이스판(210)에 복수개 형성되는 기립유지블럭(220)을 포함한다.

먼저 기판이송부(100)는 기립한 기판을 수평방향으로 이동시키는 구성요소이다. 본 실시 예에서는 기판이송부가 회전가능하게 마련된 다수개의 롤러로 구성되며, 이 롤러들이 기판의 하면에 접촉하면서 회전하여, 기판을 수평방향으로 이동시킨다. 본 실시 예에서는 도 1에서 도시한 바와 같이 기판이 롤러로부터 이탈하는 것을 방지하기 위해, 롤러에 홈을 형성한다. 기판이송부는 롤러뿐 아니라, 컨베이어 벨트, 구, 유체분사 등 여러 형태의 기판이송수단에 의한 응용이 가능하다.

상기 기립유지수단(220)은 상기 기판(S)에 대향하는 면을 가지며, 상기 면으로부터 방사상으로 기체를 분사하는 기체 분사부(220c)로 이루어진다.

본 실시예에서 상기 기체분사부(220c)는 기체공급라인(240)을 통해 공급되는 기체를 분사하는 기체분사구(250)와, 상기 기체분사구(250)의 중심부에 위치되는 원뿔형태의 기체기체흐름유도수단(260)을 포함한다. 상기 기체흐름유도수단(260)을 원뿔형태로 형성함으로써 기판(S)과의 사이에 국부적으로 음압이 형성되는 면을 제공할 뿐아니라 기체를 기판을 향하여 방사상으로 분사할 수 있게 된다.

기체흐름유도수단(260)이 설치되지 않으면 기체분사구(250)에서 나오는 기체 는 기판을 향하여 정면으로 분사되는데, 기체의 분사방향을 정면이 아닌 기판과 기체분사구(250) 사이에 이격된 공간으로 빠져나갈 수 있는 측면방향으로 유도하기 위하여 기체흐름유도수단(260)이 설치된다. 즉, 기체분사구(250)의 중앙부에 설치된 기체흐름유도수단(260)에 의해 기체분사구(250)의 중앙부로의 기체의 흐름은 막히게 된다. 따라서, 기체가 정면으로 빠져나가지 못하고 기체흐름유도수단이 설치되지 않은 공간으로만 빠져나가므로 측면방향으로 기체의 흐름이 유도된다. 기체흐름유도수단(260)은 원뿔모양으로 구성될 수도 있고, 기체의 흐름을 측면으로 유도하는 것이면 족하므로 판 형태, 삼각뿔 형태 등 다양한 형태로 응용할 수 있다.

도 2를 참조하여 본 발명에 의한 작동상태를 설명한다.

도시된 바와 같이, 기체공급라인(240)을 통해 공급된 기체를 기립된 기판(S)의 일측면을 향해 분사하게 되면, 기체흐름유도수단(260)을 따라 방사상으로 분사된다.

이 때, 상기 기체흐름유도수단(260)의 표면(방사상으로 분사되는 기체 사이 공간)과 기판 사이에는 국부적으로 음압이 발생되고, 이러한 압력차에 의해 기판은 상기 기체분사부(220c)가 있는 방향으로 힘을 받게 되어 반대방향으로 쓰러지지 않고 기립상태가 유지되는 것이다.

보다 구체적으로 설명하면, 기체흐름유도수단(260)에 의하여 기체의 흐름이 방사상으로 유도됨에 따라 기체가 기판(S)과 기체분사구(250) 사이의 공간에 적체되지 않고 측면으로 신속히 빠져나갈 수 있다. 이로 인해, 상기 기체흐름유도수단(260)의 표면과 기판 사이에 존재하는 기체의 밀도가 낮아지게 되며, 결과적으로 그 부분에서 국부적으로 음압이 발생되는 것이다.

도 1은 본 발명에 의한 기판이송장치를 도시한 것이다.

도 2는 도 1에 도시된 장치의 작동상태를 나타낸 것이다.

Claims (2)

1. 기판을 기립된 상태로 이송하는 기판이송부; 및

   기립된 상기 기판의 일측면을 향해 기체를 분사하여 국부적으로 발생되는 음압으로 상기 기판을 기립상태로 유지시키는 기립유지수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
2. 제2항에 있어서,

   상기 기립유지수단은 상기 기판에 대향하는 면을 가지며, 상기 면으로부터 방사상으로 기체를 분사하는 기체 분사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 기립유지장치.

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