KR20090040834A - 롱아크형 방전 램프 및 롱아크형 방전 램프를 구비한 자외선 조사기 - Google Patents

Abstract

방전 램프의 점등 구동 시에 발광관이 파열되었다고 해도, 냉각 재킷까지 파손되는 것을 회피하기 위한 구성을 구비한 롱아크형 방전 램프 및 롱아크형 방전 램프를 구비한 자외선 조사기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

발광부에 형성된 밀폐 공간 내에, 한 쌍의 전극이 서로 이간되어 배치됨과 더불어 발광 물질이 봉입된 발광관과, 당해 발광관의 직경방향 바깥쪽에 발광관의 관축을 따라 상기 발광부에 접촉 내지는 근접하여 배치된 보호관을 구비하는 롱아크형 방전 램프에 있어서, 상기 보호관의 직경방향 바깥쪽에는 파편 포착체가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

롱아크형 방전 램프 및 롱아크형 방전 램프를 구비한 자외선 조사기{LONG-ARC TYPE DISCHARGE LAMP AND ULTRAVIOLET IRRADIATION APPARATUS COMPRISING LONG-ARC TYPE DISCHARGE LAMP}

본 발명은, 잉크나 도료의 건조, 수지의 경화 처리에 사용하는 광화학 반응용 장치의 자외선 조사 광원이나, 반도체 기판이나 액정 디플레이용의 액정 기판을 노광하는 데에 사용하는 노광 장치의 자외선 조사 광원으로서 이용되는 롱아크형 방전 램프에 관한 것이다.

이 종류의 자외선 조사용 광원은, 방전 램프가 점등 시에 과도하게 고온 상태가 되는 것을 회피하기 위해, 예를 들면 특허 문헌 1에 개시되어 있는 바와 같이, 내부에 냉각액을 순환시키기 위한 유로를 구비하는 수냉 재킷을 방전 램프의 직경방향의 주위에 배치하고, 당해 수냉 재킷의 내부에 냉각액을 유통시킴으로써 방전 램프를 냉각하면서 점등 구동하는 것이 일반적으로 알려져 있다.

도 11은, 종래의 수냉 재킷을 구비하는 자외선 조사용 광원의 구성의 개략을 도시한 단면도이다. 자외선 조사용 광원은, 자외선을 방사하는 직관형상의 방전 램프(A)와, 방전 램프(A)의 직경방향 바깥쪽을 둘러싸도록 설치된 수냉 재킷(B)을 구비하는 것이다. 방전 램프(A)는, 양단의 단자로부터 전력이 공급되어 점등하고, 발광관으로부터 열선과 자외선을 방사한다. 수냉 재킷(B)은, 석영 유리제의 내관(C) 및 외관(D)을 단부로 봉한 이중관 형상을 갖는 것으로서, 외관(D)의 양단 부근에는, 그 내측에 냉각액을 흐르게 하기 위한 급수구(E), 배수구(F)가 접속되어 있다. GA, GB는 돌기부, H는 열선을 흡수하는 저융점 유리제의 관형상 필터, IA, IB는 걸림 볼록부, JA, JB는 관형상 스페이서이다.

도 11에 나타내어지는 자외선 조사 장치에 있어서는, 급수구(E)로부터 도입된 냉각액이 내관(C)과 내관(D) 사이의 공간을 통과하여 배수구(F)로부터 배출됨으로써, 방전 램프(A)의 발광관이 냉각된 상태로 점등 구동된다.

그러나, 이 종류의 자외선 조사용 광원에 있어서는, 방전 램프(A)의 적산 점등 시간이 길어지면, 방전 램프(A)의 발광관에 자외선 왜곡이 축적되어 기계적 강도가 저하하기 때문에, 발광관이 점등 시에 있어서의 고압 상태에 견딜 수 없어져 파손되는 일이 종종 있다. 그 때문에, 종래의 자외선 조사용 광원에 있어서는, 방전 램프의 점등 구동 시에 있어서의 발광관 내의 압력이 상압보다 현저하게 높기 때문에, 방전 램프(A)의 발광관이 파열되면, 발광관의 주위에 배치되어 있는 수냉 재킷(B)을 향해 발광관의 유리조각이 비산되고, 당해 비산된 유리조각의 충격을 받아 수냉 재킷(B)이 파손된다는 문제가 발생하는 것이 판명되었다.

이와 같이 비산된 발광관의 파편의 영향을 받아 수냉 재킷(B)이 파손되면, 수냉 재킷(B)의 내부를 순환하고 있는 냉각액이 노광 장치 등의 내부로 누출되게 되어, 노광 장치의 내부에 탑재되어 있는 정밀 기기가, 냉각액에 침지됨으로써 손 상되어 버린다는 문제가 발생한다.

최근에 있어서는, 반도체 기판이나 액정 디스플레이용의 액정 기판 등의 제조 공정에 있어서의 스루풋을 향상시키기 위해 노광 처리를 신속하게 행하는 것이 필요해짐에 따라, 방전 램프에 대해 발광관으로부터 방사되는 자외선의 방사 강도를 높은 것으로 하는 것이 요구되고 있다. 이러한 요구에 대해, 발광관 내에 봉입되는, 예를 들면 수은 등의 발광 물질의 봉입량을 늘리는 것이 필요해지고 있기 때문에, 방전 램프의 점등 구동 시에 발광관 내가 과잉으로 고압 상태가 되어, 종래보다 더욱 발광관의 파열이 발생하기 쉬워지고 있으므로, 상기한 수냉 재킷의 파손이라는 문제가 발생하기 쉬워지고 있는 것이라고 생각된다.

[특허 문헌 1: 일본국 특허 제3651094호]

이상으로부터, 본 발명은, 방전 램프의 점등 구동 시에 발광관이 파열되었다고 해도, 냉각 재킷까지 파손되는 것을 회피하기 위한 구성을 구비한 롱아크형 방전 램프 및 롱아크형 방전 램프를 구비한 자외선 조사기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 발광부에 형성된 밀폐 공간 내에, 한 쌍의 전극이 서로 이간되어 배치됨과 더불어 발광 물질이 봉입된 발광관과, 당해 발광관의 직경방향 바깥쪽에 발광관의 관축을 따라 상기 발광부에 접촉 내지는 근접하여 배치된 보호관을 구비하는 롱아크형 방전 램프에 있어서, 상기 보호관의 직경방향 바깥쪽에는, 파편 포착체가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 롱아크형 방전 램프는, 상기 파편 포착체가, 상기 보호관의, 상기 발광부에 접촉 내지는 근접하고 있는 개소로부터 이간되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 롱아크형 방전 램프는, 상기 보호관이, 상기 발광관의 외표면에 접촉 내지는 근접하여 배치되는, 상대적으로 외경이 작은 소경부의 단부에, 상기 발광관의 외표면으로부터 이간되어 배치되는, 상대적으로 외경이 큰 대경부가 연속되어 있고, 당해 대경부의 외표면에 상기 파편 포착체가 고정되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 롱아크형 방전 램프는, 상기 보호관이 직관형상으로 형성되어 있고, 당해 보호관의 외표면에는, 당해 보호관과 상기 파편 포착체를 이간시키기 위한 환상의 스페이서가 고정되어 있는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명의 롱아크형 방전 램프는, 발광부에 형성된 밀폐 공간 내에, 한 쌍의 전극이 서로 이간되어 배치됨과 더불어 발광 물질이 봉입된 발광관과, 당해 발광관의 직경방향 바깥쪽에 발광관의 관축을 따라 상기 발광부에 접촉하여 배치된 보호관을 구비하는 롱아크형 방전 램프에 있어서, 도전성을 갖는 파편 포착체가, 상기 보호관의 상기 발광부에 접촉하는 개소의 외표면에 접촉하여 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 롱아크형 방전 램프는, 상기 파편 포착체가 그물형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 롱아크형 방전 램프는, 상기 파편 포착체가 크롬을 함유하는 스테인리스로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명의 자외선 조사기는, 상기 롱아크형 방전 램프가, 냉각액을 순환시키기 위한 유로를 구비하는 냉각 재킷의 내부에 수용되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 자외선 조사기는, 상기 파편 포착체와 상기 냉각 재킷의 사이에, 파편 포착체를 지지하기 위한 복수의 지지체가, 서로 이간되어 파편 포착체의 길이방향으로 순차적으로 나열되도록 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 자외선 조사기는, 상기 파편 포착체가, 상기 보호관의, 상 기 냉각 재킷의 유로 내에 임출(臨出)되어 있는 개소의 전체 길이에 걸쳐 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 롱아크형 방전 램프에 의하면, 보호관의 직경방향 바깥쪽에 파편 포착체가 설치되어 있어, 발광관 및 보호관이 파손됨으로써 비산된 파편이 파편 포착체에 의해 확실하게 포착되므로, 당해 방전 램프를 냉각 재킷의 내부에 배치함으로써, 냉각 재킷에 대해 파편이 격돌하는 것을 방지할 수 있기 때문에, 냉각 재킷이 파손된다는 문제를 해결할 수 있다.

또한, 본 발명의 롱아크형 방전 램프에 의하면, 파편 포착체가, 보호관의, 발광관의 발광부에 접촉 내지는 근접하고 있는 개소로부터 이간되어 배치되어 있으므로, 이하의 효과를 기대할 수 있다.

파편 포착체가, 보호관의, 발광관의 발광부에 접촉 내지는 근접하고 있는 개소에 접하고 있는 경우를 상정한다. 이 경우에 있어서, 파편 포착체는, 발광부로부터 방사되는 광을 흡수하거나, 혹은 보호관 및 발광관으로부터의 열 전달을 받음으로써 고온 상태가 된다. 그 때문에, 고온 상태가 된 파편 포착체로부터의 열 전달을 받음으로써 보호관의 온도가 불균일해짐에 따라, 보호관에 접촉 내지는 근접하여 배치되어 있는 발광관의 발광부의 온도까지도 불균일해지는 결과, 방전 램프의 수명에 악영향을 줄 우려가 있다.

그런데, 파편 포착체가, 보호관의, 발광관의 발광부에 접촉 내지는 근접하고 있는 개소로부터 이간되어 배치됨으로써, 보호관의 온도 및 발광관의 발광부의 온 도가 모두 균일해지므로, 방전 램프의 수명에 악영향을 주는 것을 확실하게 회피할 수 있다.

또한, 상기 보호관이, 상기 발광관의 외표면에 접촉 내지는 근접하여 배치되는, 상대적으로 외경이 작은 소경부의 단부에, 상기 발광관의 외표면으로부터 이간되어 배치되는, 상대적으로 외경이 큰 대경부가 연속되어 있고, 당해 대경부의 외표면에 상기 파편 포착체가 고정되어 있으므로, 파편 포착체가 보호관의 외표면으로부터 이간된 상태로, 파편 포착체를 보호관에 대해 용이하게 고정할 수 있다.

또한, 상기 보호관이 직관형상으로 형성되어 있고, 당해 보호관의 외표면에는, 당해 보호관과 상기 파편 포착체를 이간시키기 위한 환상의 스페이서가 고정되어 있으므로, 파편 포착체가 보호관의 외표면으로부터 이간된 상태로 파편 포착체를 보호관에 대해 용이하게 고정할 수 있다.

또, 도전성을 갖는 파편 포착체가, 상기 보호관의 상기 발광부에 접촉하는 개소의 외표면에 접촉하여 설치되어 있는 경우는, 보호관의 파편 포착체가 설치된 개소에 있어서의 대전을 균일하게 할 수 있으므로, 보호관의 외표면에 흑색 물질이 편재하여 부착되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 롱아크형 방전 램프의 관축방향에 있어서의 조도 분포를 일정하게 유지할 수 있다.

또한, 파편 포착체를 그물형상으로 함으로써, 발광관 및 보호관의 파편이 광범위에 걸쳐 비산되었다고 해도, 이들 파편을 보다 확실하게 포착할 수 있다.

또한, 파편 포착체가 크롬을 함유하는 스테인리스에 의해 구성됨으로써, 파편 포착체 중의 금속 이온이 냉각 재킷 내를 순환하고 있는 냉각액 중에 용출되는 것을 확실하게 회피할 수 있다.

또, 본 발명의 자외선 조사기에 의하면, 상기 롱아크형 방전 램프가 냉각액을 순환시키기 위한 유로를 구비하는 냉각 재킷의 내부에 수용되어 있으므로, 방전 램프의 점등 구동 시에 냉각 재킷 내에 냉각액을 순환시킴으로써, 발광부에 접촉 내지는 근접하여 배치되어 있는 보호관을 통해 발광관을 냉각할 수 있다.

또한, 상기 파편 포착체와 상기 냉각 재킷의 사이에, 파편 포착체를 지지하기 위한 복수의 지지체가, 서로 이간되어 파편 포착체의 길이방향으로 순차적으로 나열되도록 배치됨으로써, 파편 포착체의 전체 길이가 긴 경우에도, 파편 포착체가 연직방향 아래쪽으로 휘어지는 것을 방지할 수 있으므로, 냉각 재킷에 파편 포착체가 접촉되는 것을 방지할 수 있다. 이에 의해, 방전 램프가 파손되었을 때에 비산되는 발광관 및 보호관의 파편을 포착함으로써 파편 포착체가 충격을 받았다고 해도, 그 충격이 파편 포착체를 통해 냉각 재킷에 대해 전파되는 일이 없으므로, 냉각 재킷이 파손되는 것을 확실하게 회피할 수 있다.

또, 파편 포착체가, 상기 보호관의, 상기 냉각 재킷의 유로 내에 임출되어 있는 개소의 전체 길이에 걸쳐 설치되어 있으므로, 발광관이 파열됨에 따라 보호관이 파열된 경우에도, 이들 파편이 파편 포착체에 의해 확실하게 포착되기 때문에, 냉각 재킷에 접속되어 있는 흡인 기구 등의 기기의 내부에 발광관 및 보호관의 파편이 흘러들어가는 것을 방지할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 롱아크형 방전 램프의 구성의 개략을 도시한 길이방향의 전체 단면도 및 직경방향의 단면도이다. 도 2는, 도 1에 나타낸 롱아크형 방전 램프의 일단측을 확대하여 도시한 일부 확대 단면도이다. 도 3은, 본 발명의 자외선 조사기의 구성의 개략을 설명하는 길이방향의 전체 단면도이다. 도 4는, 냉각 재킷의 구성의 개략을 도시한 길이방향의 단면도이다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 롱아크형 방전 램프(1)(이하, 간단히 방전 램프라고도 한다)는, 발광관(10)과 보호관(20)이, 각각의 중심축이 일치하도록 발광관(10)의 직경방향 바깥쪽에 보호관(20)이 배치된 이중관 구조로서, 보호관(20)에 대해 그물형상의 파편 포착체(30)가 설치되어 있다.

발광관(10)은, 예를 들면 석영 유리 등의 자외선을 투과하는 재료로 구성되어 있는 것으로, 밀폐 공간(S)을 갖는 직관형상의 발광부(11)와, 당해 발광부(11)의 양단에 연속되는 막대형상의 시일링부(12, 12)를 구비하고 있다. 발광부(11)의 밀폐 공간(S)에는, 텅스텐으로 이루어진 한 쌍의 전극(13, 13)이, 서로 이간되어 발광관(10)의 관축 상에 있어서 대향하여 배치되어 있음과 더불어, 예를 들면 수은 등의 발광 물질과 희가스가 봉입되어 있다. 발광부(11)의 밀폐 공간(S) 내에는, 수은과 희가스가, 밀폐 공간(S) 내에 있어서의 수은 밀도가 0.002mg/mm³ 이상이 되고, 또한 밀폐 공간(S) 내에 있어서의 희가스의 압력이 0.1기압 정도가 되도록 봉입되어 있다. 시일링부(12)는, 몰리브덴으로 이루어진 금속박(14, 14)이 발광관(10)의 관축을 따라 신장되도록 매설됨으로써, 소위 쉬링크 시일법에 의해 기밀하게 시일링되어 있다. 금속박(14)은, 선단측에 전극(13)의 기단부가 접속됨과 더 불어, 기단측에 시일링부(12)의 바깥으로 신장되는 외부 리드(15)의 선단부가 접속되어 있다.

발광관(10)은, 발광부(11)의 양단부에 시일링부(12, 12)를 향해 점차 외경이 작아지도록 슬로프부(11A, 11A)가 형성되어 있고, 이 슬로프부(11A, 11A)에 시일링부(12, 12)가 연속되어 있다. 이 슬로프부(11A)에 대향하여, 한 쌍의 전극(13, 13)의 각각이 배치되어 있다.

보호관(20)은, 예를 들면 석영 유리 등의 자외선을 투과하는 물질에 의해 구성되어 있는 것으로, 외경이 작게 형성된 직관형상의 소경부(21)와, 당해 소경부(21)의 양단에 연속하여 형성된, 소경부(21)에 비해 상대적으로 외경이 큰 직관형상의 대경부(22, 22)를 구비하고 있다. 소경부(21)는, 그 관축방향의 양단부에 대경부(22, 22)를 향해 점차 외경이 커지도록 슬로프부(21A, 21A)가 그 전체 둘레에 걸쳐 형성되어 있고, 이 슬로프부(21A, 21A)에 대경부(22, 22)가 연속되어 있다. 이와 같이, 보호관(20)에 대경부(22)를 형성하는 것은, 후술하는 바와 같이, 파편 포착체(30)를 대경부(22)에 고정함으로써, 파편 포착체(30)를 소경부(21)로부터 이간하여 배치하기 쉽도록 하기 위해서이다.

이와 같이 구성된 보호관(20)은, 발광관(10)의 직경방향 바깥쪽에, 소경부(21)가 발광부(11)에 접촉 내지는 근접한 상태로, 슬로프부(21A, 21A)가 발광부(11)에 형성된 슬로프부(11A, 11A)에 대향함과 더불어, 대경부(22, 22)가 시일링부(12, 12)에 대향하여 배치되어 있다. 이에 의해, 보호관(20)의 슬로프부(21A, 21A)와, 발광관(10)의 슬로프부(11A, 11A)의 사이, 및 대경부(22, 22)와 시일링 부(12, 12)의 사이에, 각각 둘레방향에 걸쳐 환상의 공극이 형성되어 있다.

보호관(20)이 발광부(11)에 접촉 내지는 근접함으로써, 후술하는 보호관(20)의 직경방향 바깥쪽에 부착된 냉각 재킷의 내부에 냉각액을 순환시켰을 때에, 발광부(11)의 열이 보호관(20)의 소경부(21)를 통해 냉각액 중에 배열(排熱)되므로, 발광부(11)를 효율적으로 냉각할 수 있다. 냉각 효율을 고려하면, 소경부(21)와 발광부(11)는, 적어도 100μm 이하, 바람직하게는 50μm 이하의 거리를 두고 이간되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같이, 보호관(20)의 슬로프부(21A, 21A)와, 발광관(10)의 슬로프부(11A, 11A)의 사이에 도 2에 나타낸 바와 같이 환상의 공극(K)이 형성됨으로써, 발광부(11)에 있어서 전극(13, 13)의 직경방향에 면하고 있는 슬로프부(11A, 11A)가 냉각되기 어려워지므로, 전극(13, 13)과 슬로프부(11A)의 사이에 개재하는 공간 영역(SA)에 미증발의 수은이 축적되는 것에 기인하여 발광부(11)로부터 방사되는 자외선의 방사 강도가 저하한다는 문제점의 발생을 방지할 수 있다.

보호관(20)에는, 그 관축방향의 양단에 형성된 개구의 각각을 막도록 베이스 부재(23, 23)가 끼워 넣어져 고정되어 있다. 베이스 부재(23)는, 예를 들면 세라믹스 등의 절연 재료로 이루어진 것이고, 직경방향의 중앙 부분에 형성된 관통구멍에, 시일링부(12)의 바깥쪽으로 신장된 외부 리드(15)의 일부분이 삽통되며, 그 기단측의 단면이 외부 리드(15)의 기단측의 단면과 동일 평면 상에 위치한 상태로 외부 리드(15)가 고정되어 있다.

파편 포착체(30)는, 원통 형상을 갖는 그물형상으로 형성되어 있고, 그 중심 축이 발광관(10), 보호관(20)의 각각의 관축 상에 위치하도록 보호관(20)에 고정되어 있다. 상세하게는, 파편 포착체(30)는, 보호관(20)의 소경부(21)에 대향하는 부위가 소경부(21)로부터 이간됨과 더불어, 그 중심축방향의 양단부(30A, 30A)가 보호관(20)의 대경부(22, 22)의 외표면에 접촉한 상태로, 환상의 탄성 부재(31)에 의해 보호관(20)에 대해 고정되어 있다. 또한, 파편 포착체(30)는, 발광부(11)뿐만 아니라 시일링부(12, 12)도 파손된 경우를 고려하여, 금속박(14)의 기단부(14A)에 비해 파편 포착체(30)의 길이방향의 단부(30A, 30A)가, 보호관(20)의 관축방향에 있어서의 외단부측에 배치되어 있는 것이 바람직하다.

이러한 파편 포착체(30)는, 예를 들면 크롬을 함유하는 스테인리스 등의 금속에 의해 구성되어 있다. 이렇게 함으로써, 후술하는 냉각 재킷 중을 순환하는 냉각액 중에 파편 포착체(30)를 구성하는 금속이 용출되는 것을 방지할 수 있다.

이러한 방전 램프는, 한 쌍의 외부 리드(15, 15)에 도시 생략의 급전 장치를 접속하여, 예를 들면, 6A, 420V, 2500W의 점등 조건으로 점등 구동됨으로써, 발광부(11)의 바깥쪽에 파장 250-400nm의 자외광이 방사된다. 또, 요오드화철 등을 봉입한 롱아크 메탈핼라이드 램프여도 되고, 그 경우에는, 350-450nm의 방사가 강화된다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 자외선 조사기(3)는, 방전 램프(1)와, 방전 램프(1)의 직경방향 바깥쪽에 설치된 냉각 재킷(40)에 의해 구성되고, 보호관(20)의 외주면과 냉각 재킷(40)의 내주면의 사이에, 보호관(20)의 관축방향으로 냉각액을 순환시키기 위한 유로(L)를 구비하고 있다.

냉각 재킷(40)은, 도 4에 나타낸 바와 같이 발광관(10) 및 보호관(20)의 관축과 동축에 배치되는 직관형상의 관형상 부재(41)와, 단면이 L자형상으로 형성되어 있고, 관형상 부재(41)의 양단에 고정된 유로 구성체(42, 42)에 의해 구성되어 있다. 관형상 부재(41)는, 발광부(11)로부터 방사되는 자외선을 투과할 수 있는 물질에 의해 구성되어 있고, 예를 들면 석영 유리에 의해 구성되어 있다. 유로 구성체(42)는, 관형상 부재(41)의 양단에 고정되는 관형상 부재 고정부(42A)와, 보호관(20)의 대경부(22)의 단부에 고정되는, 관형상 부재 고정부(42A)보다 상대적으로 외경이 작은 보호관 고정부(42B)를 구비하고 있다. 관형상 부재 고정부(42A, 42A)는, O링(43)을 통해 관형상 부재(41)의 양단에 각각 고정되어 있다. 보호관 고정부(42B, 42B)는, O링(43)을 통해 보호관(20)의 대경부(22, 22)에 각각 고정된다.

상기 도면에 나타낸 자외선 조사기(3)에 의하면, 관형상 부재(41)의 관축방향의 단부가 관형상 부재 고정부(42A)에 고정됨과 더불어, 관형상 부재(41)의 양단부를 넘어 신장되는 보호관(20)의 관축방향의 단부가 보호관 고정부(42B)에 고정되어 있다. 이와 같이, 냉각 재킷(40)은, 관형상 부재(41)와 그 양단에 고정되어 있는 한 쌍의 유로 구성체(42, 42)에 의해 나뉘어진, 냉각액을 순환시키기 위한 유로(L)가 형성되어 있고, 도면 중의 화살표로 나타낸 바와 같이, 한쪽의 유로 구성체(42)로부터 도입된 냉각액이 보호관(20)의 외주면을 따라 통과한 후에 다른 쪽의 유로 구성체(42)로부터 배출되도록 되어 있다. 냉각액으로서는, 예를 들면, 비저항 1∼10MΩ·cm의 순수(純水)를 사용한다.

이러한 자외선 조사기(3)에 있어서는, 방전 램프(1)의 한 쌍의 외부 리 드(15, 15)에 접속된 급전 장치(도시 생략)에 의해, 한 쌍의 전극(13, 13) 사이에 고전압이 인가되어, 전극(13, 13) 사이에 방전이 발생함으로써, 방전 램프(1)가 점등 구동된다. 방전 램프(1)를 점등 구동한 후에, 한쪽의 유로 구성체(42)로부터 냉각 재킷(40)의 내부에 냉각액을 도입함과 더불어, 보호관(20)의 관축방향을 따라 냉각액을 통과시킴으로써, 보호관(20)을 통해 발광부(11)를 냉각한다.

이상과 같은 롱아크형 방전 램프에 있어서는, 적산 점등 시간이 길어져 발광관(10)에 자외선 왜곡이 축적됨으로써, 점등 구동 시에 발광관(10)이 파열됨과 더불어 보호관(20)이 파열되는 경우가 있다. 이 경우에, 본 발명의 방전 램프에 의하면, 보호관(20)의 직경방향 바깥쪽에 파편 포착체(30)가 배치되어 있으므로, 도 3에 나타낸 냉각 재킷(40)의 관형상 부재(41)를 향해 발광관(10)이나 보호관(20)의 파편이 비산되었다고 해도, 당해 파편이 파편 포착체(30)에 의해 확실하게 포착되기 때문에, 냉각 재킷(40)의 관형상 부재(41)를 파손시킬 우려가 없다. 따라서, 본 발명의 방전 램프를 이용한 자외선 조사기(3)에 의하면, 냉각 재킷(40) 내의 유로(L)를 순환하고 있는 냉각액이 누출될 염려가 없어, 주변 기기에 악영향을 주는 일이 없다.

특히, 발광부(11)의 밀폐 공간(S) 내에 0.002mg/mm³ 이상의 수은이 봉입되어 있고, 점등 구동 시의 밀폐 공간(S) 내에 있어서의 압력이 2기압 이상이 되는 롱아크형 방전 램프(1)에 있어서는, 발광부(11) 내에 발생하는 방전 아크로부터 방사되는 자외선의 방사 강도가 커져 발광부(11)에 자외선 왜곡이 축적되기 쉽고, 또 밀 폐 공간(S)이 방전 램프의 점등 구동 시에 고압 상태가 되어, 발광관(10)이 파손되기 쉬운 상태로 되어 있으므로, 본 발명의 파편 포착체(30)를 설치하는 것이 필요해진다.

또한, 본 발명의 롱아크형 방전 램프에 있어서는, 파편 포착체(30)는, 보호관(20)의 대경부(22)에 접촉하여 고정되고, 발광부(11)에 접촉 내지는 근접하는 보호관(20)의 소경부(21)에 접촉하는 일이 없도록 배치되어 있으므로, 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다. 즉, 파편 포착체(30)가 보호관(20)의 소경부(21)로부터 이간됨으로써, 소경부(21) 및 발광부(11)의 온도를 불균일하게 하지 않고, 또 소경부(21) 부근에 있어서 냉각 재킷(40) 내를 순환하는 냉각액의 흐름이 불균일해지는 일이 없기 때문에, 소경부(21) 및 발광부(11)의 온도가 불균일해지는 것을 회피할 수 있다. 따라서, 본 발명의 롱아크형 방전 램프에 있어서는, 소경부(21) 및 발광부(11)의 온도가 불균일해지는 것에 기인하여, 보호관(20) 및 발광관(10)이 파손되는 것을 확실하게 회피할 수 있다.

다음으로, 본 발명의 롱아크형 방전 램프의 다른 실시 형태, 및 본 발명에 따른 자외선 조사기의 다른 실시 형태에 대해, 도 5 내지 도 8을 이용하여 설명한다. 도 5는, 본 발명의 롱아크형 방전 램프의 다른 실시 형태를 설명하기 위한 길이방향의 단면도 및 직경방향의 단면도이다. 도 6은, 본 발명의 롱아크형 방전 램프의 다른 실시 형태를 설명하기 위한 길이방향의 단면도이다. 도 7 및 도 8은, 본 발명에 따른 자외선 조사기의 다른 실시 형태를 설명하기 위한 길이방향의 단면도이다. 또한, 도 5 내지 도 8에 있어서는, 도 1 내지 도 4와 공통되는 구성에 대 해서는 동일한 부호를 붙임으로써 설명을 생략하고 있다.

도 5에 나타낸 롱아크형 방전 램프(5)는, 발광관(10)의 직경방향 바깥쪽에, 둥근 환상의 직경방향 단면을 갖는 직관형상의 보호관(50)이 배치됨과 더불어, 보호관(50)의 직경방향 바깥쪽에 원통형상을 갖는 그물형상의 파편 포착체(30)가 배치됨으로써 구성되어 있다. 직관형상의 보호관(50)의 외주면에는, 직경방향의 단면이 둥근 환상으로 형성된 스페이서(52)가 고정되어 있다. 이러한 스페이서(52)를 파편 포착체(30)와 보호관(50)의 사이에 개재시킴으로써, 보호관(50)의 외주면에 파편 포착체(30)가 접촉되는 일이 없도록, 파편 포착체(30)를 보호관(50)으로부터 이간하여 배치할 수 있다.

이러한 도 5에 나타낸 롱아크형 방전 램프(5)에 있어서는, 도 1 내지 도 4에 나타낸 것과 실질적으로 동일한 효과를 기대할 수 있다. 또한, 직관형상의 보호관(50)과 스페이서(52)를 병용함으로써, 파편 포착체(30)를 보호관(50)으로부터 이간하여 배치할 수 있기 때문에, 도 1 내지 도 4에 나타낸 것과 같이 보호관의 관축방향의 양단에 대경부를 형성할 필요가 없고, 방전 램프를 용이하게 제조할 수 있으므로, 제조에 필요한 비용을 저감할 수 있다.

도 6에 나타낸 롱아크형 방전 램프(6)는, 도 5에 나타낸 것과 동일하게, 발광관(10)의 직경방향 바깥쪽에, 둥근 환상의 직경방향 단면을 갖는 직관형상의 보호관(50)이 배치됨과 더불어, 보호관(50)의 직경방향 바깥쪽에 원통형상을 갖는 그물형상의 파편 포착체(60)가 배치됨으로써 구성되어 있다. 파편 포착체(60)는, 발광관(10)의 시일링부(12)에 대향하는 개소가 함몰됨으로써, 직경방향 안쪽을 향해 신장되는 환상 돌기부(61)가 원주방향의 전체에 걸쳐 형성되어 있다. 이와 같이, 파편 포착체(60)에 환상 돌기부(61)를 설치함으로써, 보호관(50)의 외주면에 파편 포착체(60)가 접촉되는 일이 없도록, 파편 포착체(60)를 보호관(50)으로부터 이간하여 배치할 수 있다.

이러한 도 6에 나타낸 롱아크형 방전 램프(6)에 있어서는, 도 5에 나타낸 것과 실질적으로 동일한 효과를 기대할 수 있다. 또한, 미리 환상 돌기부(61)를 형성해 둔 원통형상의 파편 포착체(60)의 내부에 직관형상의 보호관(50)을 삽입한다는 간단한 작업에 의해 방전 램프(6)를 제조할 수 있으며, 도 5에 나타낸 것과 같이 스페이서와 같은 파편 포착체와는 물리적으로 별체인 부재를 이용할 필요가 없으므로, 방전 램프의 제조에 필요한 공정을 더욱 간략화할 수 있다.

도 7에 나타낸 자외선 조사기(7)는, 그물형상의 파편 포착체(30)와 냉각 재킷(40)의 관형상 부재(41)의 사이에, 파편 포착체(30)의 중심축방향의 중앙이 연직방향으로 휘어지는 것을 방지하기 위해, 직경방향의 단면이 둥근 환상으로 형성된 복수의 지지체(32)가 설치되어 있다. 복수의 지지체(32)는, 그 내주면이 원통형상의 파편 포착체(30)의 외주면에 접촉한 상태로, 서로 이간되어 파편 포착체(30)의 길이방향으로 순차적으로 나열되도록 배치되어 있다. 각 지지체(32)는, 그 외주면이 냉각 재킷(40)의 관형상 부재(41)의 내주면에 접촉하고 있어도 되고, 또는 그 외주면이 관형상 부재(41)의 내주면으로부터 이간되어 있어도 되며, 요는, 파편 포착체(30)와 관형상 부재(41)의 사이에 개재하도록 배치되어 있으면 된다.

즉, 복수의 지지체(32)는, 반드시 파편 포착체(30)에 부착할 필요는 없으며, 냉각 재킷(40)의 관형상 부재(41)의 내주면에 고정할 수도 있다.

도 7에 나타낸 바와 같은 자외선 조사기(7)에 있어서는, 도 1 내지 도 4에 나타내어진 것과 실질적으로 동일한 효과를 기대할 수 있다. 또한, 도 7에 나타낸 형태에 의하면, 파편 포착체(30)의 길이방향의 각 단부(30A, 30A)가 보호관(20)의 대경부(22)의 각 단부에 고정되어 있고, 또한 파편 포착체(30)의 길이방향의 전체 길이가 큰 경우에도, 파편 포착체(30)가 연직방향 아래쪽으로 휘어지는 것을 방지할 수 있으므로, 파편 포착체(30)가 냉각 재킷의 관형상 부재(41)의 내주면에 접촉할 우려가 없다. 이렇게 함으로써, 방전 램프(1)가 파손되었을 때에 비산되는 발광관(10) 및 보호관(20)의 파편을 포착함으로써 파편 포착체(30)가 충격을 받았다고 해도, 그 충격이 파편 포착체(30)를 통해 냉각 재킷(40)의 관형상 부재(41)에 대해 전파되는 일이 없으므로, 냉각 재킷(40)이 파손되는 것을 확실하게 회피할 수 있다.

도 8에 나타낸 자외선 조사기(8)는, 도 1 내지 도 4에 나타낸 것과 동일한 구성을 갖는, 발광관(10), 보호관(20), 파편 포착체(30) 및 냉각 재킷(40)을 구비하고 있고, 원통형상을 갖는 그물형상의 파편 포착체(30)가 한 쌍의 유로 구성체(42, 42)에 고정되어 있는 구성이다. 각 유로 구성체(42)는, 보호관(20)의 대경부(22)의 외단부측의 내벽면에, 대경부(22)와 평행하게 신장되는 원통형상의 유지부(42C)를 구비하고 있다. 유지부(42C)에는, 파편 포착체(30)의 단부(30A, 30A)의 두께에 적합한 크기의 환상 홈부가, 유지부(42C)의 원주방향의 전체에 걸쳐 형성되어 있다. 원통형상의 파편 포착체(30)는, 그 단부(30A, 30A)를 유지부(42C, 42C) 에 대해 끼워 넣음으로써, 유로 구성체(42, 42)에 고정되어 있다.

도 8에 나타낸 자외선 조사기(8)는, 도 3에 나타낸 것과 실질적으로 동일한 효과를 기대할 수 있고, 또한 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다. 즉, 상기 도면에 나타낸 파편 포착체(30)는, 관형상 부재(41), 유로 구성체(42, 42)에 의해 나뉘어진 유로(L) 내로 돌출하도록 신장되어 있는 유지부(42C)에 끼워 넣어져 있고, 유로(L) 내에 임출된 보호관(20)의 관축방향의 전체 길이에 대응하여 파편 포착체(30)가 설치되어 있다. 그 때문에, 방전 램프(1)의 점등 구동 시에 발광관(10)이 파열됨에 따라 보호관(20)이 파열된 경우에도, 유로 구성체(42)의 끝에 연결되어 있는 펌프 등의 냉각액 순환 기구를 향해 비산하려고 하는 파편을, 파편 포착체(30)에 의해 확실하게 포착할 수 있어, 냉각액 순환 기구에 파편이 들어가는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

전술한 바와 같이, 보호관(20)(50)의 온도와, 발광관(10)의 발광부(11)의 온도를 균일하게 하는 것을 고려한 경우는, 롱아크형 방전 램프의 파편 포착체(30)가, 보호관(20)(50)의 발광부(11)에 접촉 내지는 근접하고 있는 개소로부터 이간되어 있는 것이 바람직하다.

한편, 이하에 설명하는 바와 같이, 냉각 재킷과 함께 사용하는 롱아크형 방전 램프에 있어서는, 냉각 매체 중에 함유되는 금속 불순물이 냉각 매체에 노출되는 보호관의 외표면에 부착됨으로써, 당해 불순물에 의해 램프로부터 방사되는 광이 흡수되어, 피처리물의 피조사면 상에 있어서의 방사 조도가 저하하는 문제점이 생길 우려가 있다. 이러한 문제점을 해소하는 것을 고려한 경우는, 후술하는 바와 같이, 파편 포착체가 보호관의 외표면에 접촉되어 있는 것이 바람직하다.

파편 포착체를 보호관의 외표면에 접촉시킬지의 여부는, 롱아크형 방전 램프의 용도·목적에 따라 적절히 선택할 수 있다.

도 9는, 본 발명의 롱아크형 방전 램프의 다른 실시 형태를 설명하기 위한, 길이방향의 전체 단면도이다. 도 9에 있어서는, 설명이 중복되는 것을 피하기 위해, 도 5와 공통되는 구성에 대해서는 도 5와 동일한 부호를 붙이고 있다.

도 9에 나타낸 롱아크형의 방전 램프(9)는, 발광관(10)과, 발광부(11)의 외경과 대체로 동일한 내경을 갖는 원통형상의 보호관(50)이 동축 상에 배치됨으로써 이중관 구조로 되어 있다. 보호관(50)은, 발광부(11)의 외표면에 접촉하여 배치되어 있다.

보호관(50)에는, 원통형상을 갖는 그물형상의 파편 포착체(30)가, 환상의 탄성 부재(31)에 의해 보호관(50)의 외표면에 접촉하여 배치되어 있다. 파편 포착체(30)는, 보호관(50)의 전체 길이에 걸쳐 배치될 필요는 없고, 후술하는 바와 같이, 보호관(50)의 발광부(11)에 접촉하는 개소의 외표면에 접촉하고 있으면 된다.

파편 포착체(30)는, 예를 들면 크롬을 함유하는 스테인리스 등의 금속에 의해 구성되며, 도전성을 갖고 있다. 크롬을 함유하는 스테인리스 등의 금속에 의해 구성됨으로써, 냉각 재킷을 순환하는 냉각액 중에 파편 포착체(30)를 구성하는 금속이 용출될 우려가 없다.

도 10은, 도 9에 나타낸 롱아크형 방전 램프를 구비한 자외선 조사기의 개략을 설명하는 길이방향의 전체 단면도이다. 도 10에 있어서는, 설명이 중복되는 것 을 피하기 위해, 도 3, 4와 공통되는 구성에 대해서는 도 3, 4와 동일한 부호를 붙이고 있다.

도 10에 나타낸 자외선 조사기는, 도 4에 나타낸 냉각 재킷과 동일한 구성을 갖는 냉각 재킷(40)을 구비하고 있다. 도 10에 나타낸 자외선 조사기는, 관형상 부재(41)의 관축방향의 단부가 관형상 부재 고정부(42A)에 고정됨과 더불어, 관형상 부재(41)의 양단부를 넘어 신장되는 보호관(50)의 관축방향의 단부가 보호관 고정부(42B)에 고정되어 있다. 이와 같이, 냉각 재킷(40)은, 관형상 부재(41)와 그 양단에 고정되어 있는 한 쌍의 유로 구성체(42, 42)에 의해 나뉘어진, 냉각액을 순환시키기 위한 유로(L)가 형성되어 있고, 도면 중의 화살표로 나타낸 바와 같이, 한쪽의 유로 구성체(42)로부터 도입된 냉각액이 보호관(50)의 외주면을 따라 통과한 후에 다른 쪽의 유로 구성체(42)로부터 배출되도록 되어 있다. 냉각액으로서는, 예를 들면, 비저항 1∼10MΩ·cm의 순수를 사용한다.

도 9에 나타낸 롱아크형 방전 램프는, 발광관(10)이 파열됨과 더불어 보호관(20)이 파열되는 경우에도, 보호관(20)의 직경방향 바깥쪽에 파편 포착체(30)가 배치되어 있으므로, 냉각 재킷(40)의 관형상 부재(41)를 향해 발광관(10)이나 보호관(20)의 파편이 비산되었다고 해도, 당해 파편이 파편 포착체(30)에 의해 확실하게 포착되어, 냉각 재킷(40)의 관형상 부재(41)를 파손시킬 우려가 없다.

또한, 도 9에 나타낸 롱아크형 방전 램프는, 도전성을 갖는 파편 포착체(30)가 보호관(50)의 외표면에 접촉하여 배치됨으로써, 냉각 매체 중에 함유되는 금속 불순물이 보호관(50)의 외표면에 국소적으로 부착되는 것을 확실하게 방지할 수 있 으므로, 피처리체의 피조사면에 있어서의 방사 조도를 균일하게 할 수 있다. 상세하게는, 이하에 설명한다.

롱아크형 방전 램프의 점등 시에 있어서는, 전극(13, 13) 사이에서 방전이 발생해 발광 금속이 분해되거나 하여 발광부(11)의 내부에 플라즈마가 형성되고, 플라즈마 중의 전자가 발광부(11)를 향해 튀어 오름으로써, 발광부(11)가 대전한다고 생각된다.

보호관(50)에 있어서는, 발광부(11)와 보호관(50)이 미소한 간극이 개재된 상태로 점접촉 또는 선접촉하고 있으므로, 길이방향에 있어서의 대전량이 균일해지지 않는다고 생각된다. 왜냐하면, 발광부(11)와 보호관(50)이 접촉하고 있는 곳에서는 보호관(50)으로의 대전량이 적은 반면, 발광부(11)와 보호관(50)의 사이에 간극이 있는 곳에서는 보호관(50)으로의 대전량이 많기 때문이다.

이 종류의 냉각 재킷과 함께 사용하는 롱아크형 방전 램프에 의하면, 냉각 매체 중에 함유되는 금속 불순물 이온(예를 들면, 수돗물 중에 포함되는 금속 이온)이, 대전된 보호관(50)의 외표면으로 끌어당겨져, 흑색의 금속 불순물이 보호관(50)의 외표면에 부착된다.

상기한 바와 같이, 롱아크형 방전 램프의 보호관(50)의 대전량이 균일하지 않은 상태에서 냉각 재킷 내에 냉각 매체를 흐르게 한 경우는, 금속 불순물이 보호관(50)의 외표면 중에서 대전량이 많은 곳에 우선적으로 부착됨으로써, 점등 시간의 경과와 함께 다량의 흑색의 금속 불순물이 보호관(50)의 외표면에 국소적으로 부착되게 된다.

그 때문에, 발광부(11)로부터 출사되는 광이 보호관(50)에 부착된 금속 불순물에 흡수됨으로써, 피처리체의 피조사면에 있어서의 방사 조도 분포의 균일성이 손상된다고 생각된다.

본 발명의 롱아크형 방전 램프는, 전술한 바와 같이, 도전성을 갖는 파편 포착체(30)가 보호관(50)의 외표면에 접촉하여 배치되어 있으므로, 보호관(50)의 파편 포착체(30)에 접촉하는 영역에 있어서 보호관(50)으로의 대전량을 균일하게 할 수 있다. 따라서, 본 발명의 롱아크형 방전 램프는, 금속 불순물이 보호관(50)의 외표면에 대해 고르게 퇴적되므로, 피처리체의 피조사면에 있어서의 방사 조도가 국소적으로 저하하지 않고, 당해 피조사면에 있어서의 방사 조도 분포를 균일하게 할 수 있다.

이상으로부터, 파편 포착체(30)는, 보호관(50)의 발광부(11)에 접촉하는 영역에 있어서의 대전량을 균일하게 하기 위해, 보호관(50)의 당해 영역에 대해 설치되어 있으면 된다.

도 1은 본 발명의 롱아크형 방전 램프의 구성의 개략을 도시한 길이방향의 전체 단면도이다.

도 2는 도 1에 나타낸 롱아크형 방전 램프의 일단측을 확대하여 도시한 일부 확대 단면도이다.

도 3은 본 발명의 자외선 조사기의 구성의 개략을 설명하는 길이방향의 전체 단면도이다.

도 4는 냉각 재킷의 구성의 개략을 도시한 길이방향의 단면도이다.

도 5는 본 발명의 롱아크형 방전 램프의 다른 실시 형태를 설명하기 위한 길이방향의 단면도 및 직경방향의 단면도이다.

도 6은 본 발명의 롱아크형 방전 램프의 다른 실시 형태를 설명하기 위한 길이방향의 단면도이다.

도 7은 본 발명에 따른 자외선 조사기의 다른 실시 형태를 설명하기 위한 길이방향의 단면도이다.

도 8은 본 발명에 따른 자외선 조사기의 다른 실시 형태를 설명하기 위한 길이방향의 단면도이다.

도 9는 본 발명의 롱아크형 방전 램프의 다른 실시 형태를 설명하기 위한 길이방향의 전체 단면도이다.

도 10은 도 9에 나타낸 롱아크형 방전 램프를 구비한 자외선 조사기의 개략을 설명하는 길이방향의 전체 단면도이다.

도 11은 종래의 수냉 재킷을 구비하는 자외선 조사용 광원의 구성의 개략을 도시한 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 롱아크형 방전 램프 3 : 자외선 조사기

10 : 발광관 11 : 발광부

12 : 시일링부 13 : 전극

14 : 금속박 15 : 외부 리드

20 : 보호관 21 : 소경부

22 : 대경부 23 : 베이스 부재

30 : 파편 포착체 31 : 탄성 부재

32 : 지지체 40 : 냉각 재킷

41 : 관형상 부재 42 : 유로 구성체

5 : 롱아크형 방전 램프 50 : 보호관

52 : 스페이서 6 : 롱아크형 방전 램프

60 : 파편 포착체 61 : 환상 돌기부

Claims (10)

1. 발광부에 형성된 밀폐 공간 내에, 한 쌍의 전극이 서로 이간되어 배치됨과 더불어 발광 물질이 봉입된 발광관과, 당해 발광관의 직경방향 바깥쪽에 발광관의 관축을 따라 상기 발광부에 접촉 내지는 근접하여 배치된 보호관을 구비하는 롱아크형 방전 램프에 있어서,

   상기 보호관의 직경방향 바깥쪽에는, 파편 포착체가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 롱아크형 방전 램프.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 파편 포착체가, 상기 보호관의 상기 발광부에 접촉 내지는 근접하고 있는 개소로부터 이간되어 있는 것을 특징으로 롱아크형 방전 램프.
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 보호관은, 상기 발광부의 외표면에 접촉 내지는 근접하여 배치되는, 상대적으로 외경이 작은 소경부의 단부에, 상기 발광관의 외표면으로부터 이간되어 배치되는, 상대적으로 외경이 큰 대경부가 연속되어 있고, 당해 대경부의 외표면에 상기 파편 포착체가 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 롱아크형 방전 램프.
4. 청구항 1에 있어서,

   상기 보호관이 직관형상으로 형성되어 있고, 당해 보호관의 외표면으로부터 상기 파편 포착체를 이간시키기 위한 환상의 스페이서가, 당해 보호관의 외표면에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 롱아크형 방전 램프.
5. 발광부에 형성된 밀폐 공간 내에, 한 쌍의 전극이 서로 이간되어 배치됨과 더불어 발광 물질이 봉입된 발광관과, 당해 발광관의 직경방향 바깥쪽에 발광관의 관축을 따라 상기 발광부에 접촉하여 배치된 보호관을 구비하는 롱아크형 방전 램프에 있어서,

   도전성을 갖는 파편 포착체가, 상기 보호관의 상기 발광부에 접촉하는 개소의 외표면에 접촉하여 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 롱아크형 방전 램프.
6. 청구항 1 또는 5에 있어서,

   상기 파편 포착체가 그물형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 롱아크형 방전 램프.
7. 청구항 1 또는 5에 있어서,

   상기 파편 포착체가 크롬을 함유하는 스테인리스로 이루어지는 것을 특징으로 하는 롱아크형 방전 램프.
8. 청구항 1 내지 7 중 어느 한 항에 기재된 롱아크형 방전 램프가, 냉각액을 순환시키기 위한 유로를 구비하는 냉각 재킷의 내부에 수용되어 있는 것을 특징으로 하는 자외선 조사기.
9. 청구항 8에 있어서,

   상기 파편 포착체와 상기 냉각 재킷의 사이에는, 파편 포착체를 지지하기 위한 복수의 지지체가, 서로 이간되어 파편 포착체의 길이방향으로 순차적으로 나열되도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 자외선 조사기.
10. 청구항 8에 있어서,

    상기 파편 포착체가, 상기 보호관의, 상기 냉각 재킷의 유로 내에 임출(臨出)되어 있는 개소의 전체 길이에 걸쳐 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 자외선 조사기.

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