KR20090030084A - 미세유동장치 - Google Patents

미세유동장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20090030084A
KR20090030084A KR1020070095412A KR20070095412A KR20090030084A KR 20090030084 A KR20090030084 A KR 20090030084A KR 1020070095412 A KR1020070095412 A KR 1020070095412A KR 20070095412 A KR20070095412 A KR 20070095412A KR 20090030084 A KR20090030084 A KR 20090030084A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
microfluidic device
substrate
adhesive tape
chamber
polymer
Prior art date
Application number
KR1020070095412A
Other languages
English (en)
Inventor
박진성
남궁각
이영선
이주원
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020070095412A priority Critical patent/KR20090030084A/ko
Priority to US12/056,311 priority patent/US20090074623A1/en
Publication of KR20090030084A publication Critical patent/KR20090030084A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N35/00—Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502707—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L7/00—Heating or cooling apparatus; Heat insulating devices
    • B01L7/52—Heating or cooling apparatus; Heat insulating devices with provision for submitting samples to a predetermined sequence of different temperatures, e.g. for treating nucleic acid samples
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/48—Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/12—Specific details about manufacturing devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0848—Specific forms of parts of containers
    • B01L2300/0851—Bottom walls
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/16—Surface properties and coatings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/18—Means for temperature control
    • B01L2300/1805—Conductive heating, heat from thermostatted solids is conducted to receptacles, e.g. heating plates, blocks
    • B01L2300/1827—Conductive heating, heat from thermostatted solids is conducted to receptacles, e.g. heating plates, blocks using resistive heater

Abstract

본 발명은, 기판; 상기 기판의 저면에 음각(陰刻)된 그루브(groove)에 의해 형성된, 유체가 수용될 수 있는 챔버(chamber); 및, 상기 기판의 저면에 부착되는 점착 테이프;를 구비하고, 상기 점착 테이프는 폴리머 필름과, 상기 폴리머 필름 상에 도포된 실리콘 수지(silicone) 계열의 점착제를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세유동장치를 제공한다.

Description

미세유동장치{Microfluidic device}
본 발명은 미세유체공학(microfluidics)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 소량의 생화학 유체를 이용하여 생화학 반응을 수행하고, 그 결과를 검출할 수 있는 미세유동장치에 관한 것이다.
미세유체공학 분야에서 혈액, 소변 등의 생화학 유체를 이용하여 생화학 반응을 수행하며, 그 반응 결과를 검출하는 등의 생화학 유체를 이용한 다양한 기능들을 수행할 수 있는 미세유동장치에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 상기 미세유동장치는 예컨대, 랩온어칩(lab-on-a-chip)이라고 불리우는 칩(chip) 형태의 소자를 포함할 수도 있고, 랩온어디스크(lab-on-a-disk)라고 불리우는 회전 가능한 디스크(disk) 형태의 소자를 포함할 수도 있다. 상기 미세유동장치에는 유체가 수용되는 챔버(chamber)와 상기 챔버에 연결된 채널(channel)이 구비된다.
도 1은 종래의 PCR(polymerase chain reaction)용 미세유동장치의 일 예를 도시한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 미세유동장치(10)는 서로 접착된 하판(11) 및 상판(15)과, 내부에 형성된 챔버(20)를 구비한다. 상기 미세유동장치(10)는 챔버(20) 에 수용된 생화학 유체를 이용하여 PCR(polymerase chain reaction)을 수행하는데 사용되는 미세유동장치로서, 소위 "PCR 칩(chip)" 이라고도 불리운다. PCR 수행을 위해서는 상기 미세유동장치(10)에 수용된 생화학 유체를 정확한 주기에 따라 가열해 주어야 하므로, PCR 수행 과정은 "써멀 사이클링(thermal cycling) 과정" 이라고도 불리운다. 상기 미세유동장치(10)를 이용한 PCR 과정은 튜브에 생화학 유체를 주입하고 PCR을 수행하는 전통적인 PCR 과정에 비하여 빠른 시간 내에 PCR을 끝낼 수 있기 때문에 상기 미세유동장치(10)의 이용이 증대되고 있다.
상기 미세유동장치(10)의 하판(11)은 빠르고 정확한 주기에 따른 열전도가 가능하도록 열전도도가 우수한 실리콘(Si)으로 이루어진다. 또한, 형광 검출법에 의해 상기 챔버(20)에 수용된 생화학 유체에서 일어나고 있는 PCR 결과를 검출할 수 있도록 상기 미세유동장치(10)의 상판(15)은 투명한 글래스(glass)로 이루어진다. 상기 형광 검출법은 생화학 반응의 진행 정도에 따라 생화학 유체에서 발광(發光)하는 형광 신호를 검출하여 생화학 반응의 진행 정도를 실시간으로 파악할 수 있는 검출 방법이다. 그런데, 상술한 바와 같이 상기 종래의 미세유동장치(10)는 실리콘(Si)으로 이루어진 하판(11)과 글래스(glass)로 이루어진 상판을 사용하여야 하므로, 제조 비용이 증대된다는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 제조 비용이 절감됨과 동시에 빠르고 정확한 열전도가 가능한 미세유동장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판; 상기 기판의 저면에 음각(陰刻)된 그루브(groove)에 의해 형성된, 유체가 수용될 수 있는 챔버(chamber); 및, 상기 기판의 저면에 부착되는 점착 테이프;를 구비하고, 상기 점착 테이프는 폴리머 필름과, 상기 폴리머 필름 상에 도포된 실리콘 수지(silicone) 계열의 점착제를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세유동장치를 제공한다.
바람직하게는, 상기 미세유동장치는 상기 기판의 저면에 음각된, 상기 챔버와 연결되는 채널(channel)을 더 구비할 수 있다.
바람직하게는, 상기 미세유동장치는 상기 채널에 연결되고 상기 기판의 상면으로 개방된, 유체를 주입하기 위한 인렛홀(inlet hole) 또는, 유체 주입시 챔버 내부의 공기를 외부로 배출시키기 위한 아웃렛홀(outlet hole)을 더 구비할 수 있다.
바람직하게는, 상기 기판은 폴리머로 이루어질 수 있다.
바람직하게는, 상기 폴리머는 PDMS(polydimethylsiloxane), PP(polypropylene), PC(polycarbonate), PE(polyethylene), PET(polyethylene terephthalate), PMMA(polymethylmethacrylate (acrylic)), COC(cyclic olefin copolymer), 실리콘 수지(silicone) 및, 우레탄 수지(urethane resin)로 이루어진 그룹 가운데 선택된 어느 하나일 수 있다.
바람직하게는, 상기 점착 테이프의 폴리머 필름은 PP(polypropylene), PC(polycarbonate), PE(polyethylene), PET(polyethylene terephthalate), PMMA(polymethylmethacrylate (acrylic)) 및, COC(cyclic olefin copolymer)로 이루어진 그룹 가운데 선택된 어느 하나로 이루어질 수 있다.
바람직하게는, 상기 점착 테이프의 두께는 30 내지 100 ㎛ 일 수 있다.
바람직하게는, 상기 미세유동장치는 생화학 유체의 PCR(polymerase chain reaction)에 사용되는 것일 수 있다.
바람직하게는, 상기 기판은 PCR 반응을 광학적 방법을 통하여 실시간으로 검출할 수 있도록 투명할 수 있다.
본 발명의 미세유동장치는 생화학 반응에 사용되는 미세유동장치를 제조함에 있어 고가(高價)의 실리콘 웨이퍼(Si wafer)를 사용하지 않고, 폴리머 기반의 미세유동장치를 제조할 수 있어 제조비용이 절감된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미세유동장치를 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미세유동장치를 도시한 사시도이 고, 도 3은 도 2의 A-A'를 따라 절개하여 도시한 단면도이며, 도 4는 도 3의 B를 확대하여 도시한 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미세유동장치(100)는 기판(101)과, 상기 기판(101)의 저면에 음각(陰刻)된 그루브(groove)에 의해 형성된 챔버(chamber, 105) 및 채널(channel, 106)과, 상기 기판(101)의 저면에 부착되는 점착 테이프(110)를 구비한다. 상기 미세유동장치(100)는 PCR 반응(Polymerase Chain Reaction)을 수행할 수 있게 고안된 것으로, 바람직하게는 상기 기판(101)은 실리콘(Si)이나 유리(glass)보다 저렴하고 가공이 용이한 폴리머(polymer)로 이루어질 수 있다. 상기 기판(101)의 소재로 사용되는 폴리머는 PDMS(polydimethylsiloxane), PP(polypropylene), PC(polycarbonate), PE(polyethylene), PET(polyethylene terephthalate), PMMA(polymethylmethacrylate (acrylic)), COC(cyclic olefin copolymer), 실리콘 수지(silicone) 또는, 우레탄 수지(urethane resin)일 수 있다. 또한, 상기 기판(101)은 PCR 반응을 광학적 방법을 통하여 실시간으로 검출할 수 있도록 투명하다.
상기 기판(101)에 형성된 챔버(105) 및 채널(106)은 편평한 기판의 저면을 기계 가공하여 형성할 수도 있고, 상기 챔버(105) 및 채널(106)에 대응되는 구조물을 구비한 기판(101) 형성용 몰드(mold, 미도시)에 유동 상태의 수지(resin)를 주입하고 경화하여 형성할 수도 있다. 상기 챔버(105)는 생화학 유체의 PCR 반응(polymerase chain reaction)이 유도되고, 그 반응 결과를 형광 검출할 수 있는 장소이며, 상기 채널(106)은 상기 챔버(105)와 연결되어 있다.
상기 기판(101)에는 상기 채널(106)과 연결되며, 기판(101)의 상면으로 개방된 인렛홀(inlet hole, 107) 및 아웃렛홀(outlet hole, 108)이 형성되어 있다. 상기 인렛홀(107)은 미세유동장치(100) 내부로 생화학 유체를 주입하기 위한 것이고, 상기 아웃렛홀(108)은 유체 주입시 챔버(105) 내부의 공기를 외부로 배출시키기 위한 것이다. 상기 인렛홀(107) 및 아웃렛홀(108)은 기판(101)을 기계 가공하여 형성할 수 있다.
상기 점착 테이프(110)는 상기 기판(101)의 저면을 덮어 상기 챔버(105), 채널(106), 인렛홀(107) 및, 아웃렛홀(108)이 상기 기판(101)의 저면 측으로 개방되지 않도록 한다. 이에 따라 인렛홀(107)을 통해 미세유동장치(100) 내부로 주입된 생화학 유체(미도시)는 아래로 흘러내리지 않고 채널(106)과 챔버(105)에 수용될 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 점착 테이프(110)는 폴리머 필름(111)과, 상기 폴리머 필름(111) 상에 도포된 실리콘 수지(silicone) 계열의 점착제(112)를 구비한다. 상기 폴리머 필름(111)은 플렉서블(flexible)하며, PP(polypropylene), PC(polycarbonate), PE(polyethylene), PET(polyethylene terephthalate), PMMA(polymethylmethacrylate (acrylic)) 또는, COC(cyclic olefin copolymer)로 이루어질 수 있다.
상기 점착제(112)가 생화학 유체에 포함된 물질과 반응을 야기하거나 생화학 유체에 포함된 물질을 점착시키면, 만족할 만한 생화학 반응이 일어나지 않거나 생 화학 반응의 결과를 측정하기 어렵게 된다. 따라서, 상기 점착제(112)는 생화학 유체에 포함된 물질들과의 반응성이 거의 없는 실리콘 수지 계열 물질로 이루어진다.
도 3을 다시 참조하면, 종래 기술에 대한 설명에서 상술한 바와 같이, PCR 수행 과정은 "써멀 사이클링(thermal cycling) 과정" 이라고도 불리며, 빠르고 정확한 주기에 따른 열전도가 가능하도록 종래에는 마이크로 히터(30, 도 3 참조)와 접촉되는 하판(11, 도 1 참조)은 실리콘(Si)으로 이루어진다. 상기 실리콘(Si)은 열전도도 k 가 157 W/m/K 로서, 폴리머에 비해 매우 높다. 따라서, 본 발명 미세유동장치(100)의 점착 테이프(110)의 두께(D2)를 종래의 실리콘 하판(11)의 저면에서 챔버(20) 바닥까지의 두께(D1, 도 1 참조)와 동일하게 설정하면 PCR에 사용되는 미세유동장치를 만들 수 없다. 결론적으로, 상기 두께(D1)보다 훨씬 얇은, 점착 테이프(110)의 적절한 두께(D2)가 존재한다.
정상 상태가 아닌 과도 상태의 열전도 방정식(transient heat conduction equation)을 무차원화(non-dimensionalization)하여 나타내면 하기의 수학식 1과 같으며, 하기 수학식 1에서 무차원 계수는 수학식 2와 같이 정의된다.
Figure 112007067980854-PAT00001
Figure 112007067980854-PAT00002
Figure 112007067980854-PAT00003
Figure 112007067980854-PAT00004
, ,
여기서, L2/α 는 열전도 시간 스케일(conduction time scale)이다. 상기 L은 히터(heater)와 접촉하는 열전도체의 두께이고, α는 열확산도(thermal duffusivity)이다. 상기 열전도 시간 스케일은 하기의 수학식 3으로 정의된다.
Figure 112007067980854-PAT00005
Figure 112007067980854-PAT00006
여기서, k는 히터와 접촉하는 열전도체의 열전도도(thermal conductivity)이고, ρ는 상기 열전도체의 밀도(density)이고, Cp 는 상기 열전도체의 비열(specific heat)이다.
실리콘(Si)으로 이루어진 종래 미세유동장치(10, 도 1 참조)의 하판(11)의 열전도 시간 스케일과 본 발명 미세유동장치(100)의 점착 테이프(110)의 열전도 시간 스케일이 크게 차이나지 않도록 상기 점착 테이프(110)의 두께(D2)를 설정해 주면, 열전도도 k 의 큰 차이에 불구하고 PCR 에 사용 가능한 본 발명의 미세유동장치(100)를 제조할 수 있다.
본 발명의 발명자는 상기 수학식 3을 적용하여 점착 테이프(110)의 폴리머 필름(111, 도 4 참조)의 소재로 통상적으로 사용되는 COC(cyclic olefin copolymer)의 두께에 따른 열전도 시간 스케일을 계산해 보았다. COC의 열전도도 k는 0.135 W/m/K 이고, 밀도 ρ는 1020 kg/m3 이고, 비열 Cp은 1000 J/kg/K 이다. 그러므로, 점착 테이프(110)의 두께(D2)를 10 ㎛ 에서 100 ㎛ 까지 변경하였을 때, 열전도 시간 스케일은 0.756 msec 에서 18.9 msec 까지 변경되었다.
한편, 종래의 미세유동장치(10, 도 1 참조)에서 하판(11)의 챔버(20) 아래의 두께(D1)는 350 ㎛ 이고, 열전도도 k는 157 W/m/K 이고, 밀도 ρ는 2329 kg/m3 이고, 비열 Cp은 700 J/kg/K 이므로, 열전도 시간 스케일은 1.27 msec 이다.
비교해보면, 본 발명 미세유동장치(100)의 점착 테이프(110)의 두께(D2)가 10 ㎛ 정도일 때에는 종래 미세유동장치(10, 도 1 참조)에 비해 열전도 시간 스케일이 양호하나 물리적 강도가 너무 약하여 생화학 반응시의 고온·고압의 조건을 견딜 수 없으며, 매우 주의 깊은 취급을 필요로 한다. 실험을 통하여 점착 테이프(110)의 두께(D2)가 30 ㎛ 이상이면 PCR 등의 생화학 반응 시의 조건을 견딜 수 있는 물리적 강도를 갖는 것으로 파악되었다. 한편, 상기 점착 테이프(110)의 두께(D2)가 100 ㎛ 보다 두꺼우면 열전도 시간 스케일이 너무 커서 종래의 미세유동장치(10, 도 1 참조)와 대등한 시간 내에 PCR을 완료할 수 없다. 따라서, 상기 점착 테이프(110)의 두께는 30 ㎛ 내지 100 ㎛ 인 것이 바람직하다.
본 발명 미세유동장치(100)의 챔버(105)에서 일어나는 PCR 반응은 상기 챔 버(105)에 수용된 생화학 유체에서 발광되는 형광 신호를 검출하여 실시간으로 분석할 수 있다. 이와 같이 형광 신호를 검출하여 생화학 반응을 분석하는 방법을 소위 형광 검출법이라고 한다. PCR 반응의 분석에 사용되는 형광 검출법은, PCR 반응으로 생성된 이중나선(double stranded) DNA에 결합(binding)했을 때 형광을 방출하는 SYBR Green I 등의 염료(dye)를 이용하는 방법, DNA 시퀀스(sequence)를 프로브(probe)로 하고 이 프로브 양 끝의 형광단(fluorophore)과 발광억제단(quencher) 사이의 결합이 절단되면서 형광이 나오는 현상을 이용하는 방법 등 다양한 방법이 개발되어 있다. PCR 반응의 형광 검출법은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에게 알려진 지식으로서 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 발명자는 상기 형광 검출법을 통하여 종래의 미세유동장치(10, 도 1 참조)와 점착 테이프(110)의 두께(D2)가 70 ㎛ 인 본 발명의 미세유동장치(100)에 대해 PCR 반응을 분석해 본 결과 유사한 분석 결과를 얻을 수 있었으며, 이를 통하여 본 발명의 미세유동장치(100)가 PCR 반응 분석에 적용 가능함을 검증하였다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
도 1은 종래의 PCR(polymerase chain reaction)용 미세유동장치의 일 예를 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미세유동장치를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 A-A'를 따라 절개하여 도시한 단면도이다.
도 4는 도 3의 B를 확대하여 도시한 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
30 ...마이크로 히터 100 ...미세유동장치
101 ...기판 105 ...챔버
106 ...채널 107 ...인렛홀
108 ...아웃렛홀 110 ...점착 테이프
111 ... 폴리머 필름 112 ...점착제

Claims (9)

  1. 기판;
    상기 기판의 저면에 음각(陰刻)된 그루브(groove)에 의해 형성된, 유체가 수용될 수 있는 챔버(chamber); 및,
    상기 기판의 저면에 부착되는 점착 테이프;를 구비하고,
    상기 점착 테이프는 폴리머 필름과, 상기 폴리머 필름 상에 도포된 실리콘 수지(silicone) 계열의 점착제를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세유동장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 기판의 저면에 음각된, 상기 챔버와 연결되는 채널(channel)을 더 구비한 것을 특징으로 하는 미세유동장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 채널에 연결되고 상기 기판의 상면으로 개방된, 유체를 주입하기 위한 인렛홀(inlet hole) 또는 유체 주입시 챔버 내부의 공기를 외부로 배출시키기 위한 아웃렛홀(outlet hole)을 더 구비한 것을 특징으로 하는 미세유동장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 기판은 폴리머로 이루어진 것을 특징으로 하는 미세유동장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 폴리머는 PDMS(polydimethylsiloxane), PP(polypropylene), PC(polycarbonate), PE(polyethylene), PET(polyethylene terephthalate), PMMA(polymethylmethacrylate (acrylic)), COC(cyclic olefin copolymer), 실리콘 수지(silicone) 및, 우레탄 수지(urethane resin)로 이루어진 그룹 가운데 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 미세유동장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 점착 테이프의 폴리머 필름은 PP(polypropylene), PC(polycarbonate), PE(polyethylene), PET(polyethylene terephthalate), PMMA(polymethylmethacrylate (acrylic)) 및, COC(cyclic olefin copolymer)로 이루어진 그룹 가운데 선택된 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 미세유동장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 점착 테이프의 두께는 30 내지 100 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 미세유동장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 미세유동장치는 생화학 유체의 PCR(polymerase chain reaction)에 사용되는 것을 특징으로 하는 미세유동장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 기판은 PCR 반응을 광학적 방법을 통하여 실시간으로 검출할 수 있도록 투명한 것을 특징으로 하는 미세유동장치.
KR1020070095412A 2007-09-19 2007-09-19 미세유동장치 KR20090030084A (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070095412A KR20090030084A (ko) 2007-09-19 2007-09-19 미세유동장치
US12/056,311 US20090074623A1 (en) 2007-09-19 2008-03-27 Microfluidic device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070095412A KR20090030084A (ko) 2007-09-19 2007-09-19 미세유동장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20090030084A true KR20090030084A (ko) 2009-03-24

Family

ID=40454676

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070095412A KR20090030084A (ko) 2007-09-19 2007-09-19 미세유동장치

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20090074623A1 (ko)
KR (1) KR20090030084A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101141248B1 (ko) * 2009-10-22 2012-05-04 전남대학교산학협력단 공기방울 제거 및 유체 주입/제거를 위한 미세 유체칩용 소자

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8715446B2 (en) * 2004-10-13 2014-05-06 Rheonix, Inc. Latent solvent-based microfluidic apparatus, methods, and applications
DE102008001969A1 (de) * 2008-05-26 2009-12-03 Hilti Aktiengesellschaft Handgeführtes elektrisch betriebenes Eintreibgerät
ES2672201T3 (es) 2008-07-16 2018-06-13 Children's Medical Center Corporation Dispositivo de imitación de órganos con microcanales y métodos de uso
US8748180B2 (en) 2009-07-29 2014-06-10 Cornell University Microfluidic device for pharmacokinetic-pharmacodynamic study of drugs and uses thereof
US20110143378A1 (en) * 2009-11-12 2011-06-16 CyVek LLC. Microfluidic method and apparatus for high performance biological assays
CA2781556C (en) 2009-11-23 2015-05-19 Cyvek, Inc. Method and apparatus for performing assays
US9700889B2 (en) 2009-11-23 2017-07-11 Cyvek, Inc. Methods and systems for manufacture of microarray assay systems, conducting microfluidic assays, and monitoring and scanning to obtain microfluidic assay results
WO2013134745A1 (en) 2012-03-08 2013-09-12 Cyvek, Inc Portable microfluidic assay devices and methods of manufacture and use
US9855735B2 (en) 2009-11-23 2018-01-02 Cyvek, Inc. Portable microfluidic assay devices and methods of manufacture and use
US10065403B2 (en) 2009-11-23 2018-09-04 Cyvek, Inc. Microfluidic assay assemblies and methods of manufacture
US9759718B2 (en) 2009-11-23 2017-09-12 Cyvek, Inc. PDMS membrane-confined nucleic acid and antibody/antigen-functionalized microlength tube capture elements, and systems employing them, and methods of their use
US10022696B2 (en) 2009-11-23 2018-07-17 Cyvek, Inc. Microfluidic assay systems employing micro-particles and methods of manufacture
US9500645B2 (en) 2009-11-23 2016-11-22 Cyvek, Inc. Micro-tube particles for microfluidic assays and methods of manufacture
KR101737121B1 (ko) * 2010-12-21 2017-05-17 엘지전자 주식회사 마이크로 유체 시스템
AU2012223526B2 (en) 2011-02-28 2017-03-09 President And Fellows Of Harvard College Cell culture system
CN106552682B (zh) 2011-03-22 2020-06-19 西维克公司 微流体装置以及制造方法和用途
JP5797926B2 (ja) * 2011-04-21 2015-10-21 株式会社エンプラス 流体取扱装置およびその製造方法ならびに流体取扱システム
WO2013086486A1 (en) 2011-12-09 2013-06-13 President And Fellows Of Harvard College Integrated human organ-on-chip microphysiological systems
JP2014097485A (ja) * 2012-10-18 2014-05-29 Enplas Corp 液体取扱装置
WO2015013332A1 (en) 2013-07-22 2015-01-29 President And Fellows Of Harvard College Microfluidic cartridge assembly
US11119093B2 (en) 2013-12-20 2021-09-14 President And Fellows Of Harvard College Low shear microfluidic devices and methods of use and manufacturing thereof
EP3169626A4 (en) 2014-07-14 2018-04-04 President and Fellows of Harvard College Systems and methods for improved performance of fluidic and microfluidic systems
WO2017019542A1 (en) 2015-07-24 2017-02-02 President And Fellows Of Harvard College Radial microfluidic devices and methods of use
US10228367B2 (en) 2015-12-01 2019-03-12 ProteinSimple Segmented multi-use automated assay cartridge
US20220399796A1 (en) * 2021-06-14 2022-12-15 International Business Machines Corporation Device for actuating a physical object by magnetically driven fluid flow

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6561208B1 (en) * 2000-04-14 2003-05-13 Nanostream, Inc. Fluidic impedances in microfluidic system
US7027683B2 (en) * 2000-08-15 2006-04-11 Nanostream, Inc. Optical devices with fluidic systems
US6418968B1 (en) * 2001-04-20 2002-07-16 Nanostream, Inc. Porous microfluidic valves
US7198759B2 (en) * 2002-07-26 2007-04-03 Applera Corporation Microfluidic devices, methods, and systems
US20080233011A1 (en) * 2007-03-23 2008-09-25 3M Innovative Properties Company Microfluidic devices

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101141248B1 (ko) * 2009-10-22 2012-05-04 전남대학교산학협력단 공기방울 제거 및 유체 주입/제거를 위한 미세 유체칩용 소자

Also Published As

Publication number Publication date
US20090074623A1 (en) 2009-03-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20090030084A (ko) 미세유동장치
US7410617B2 (en) Sample handling plate
KR20090074397A (ko) 미세유동장치 및 이의 제조방법
US9777317B2 (en) Microfluidic PCR device
US9480982B2 (en) Reactor for the quantitative analysis of nucleic acids
US20190134639A1 (en) Rapid thermal cycling for sample analyses and processing
KR100773552B1 (ko) 미세유체 반응 용기, 이의 제조 방법 및, 이를 이용한미세유체 반응 방법
EP3463668B1 (en) Rapid thermal cycling for sample analyses and processing
US9539571B2 (en) Method to increase detection efficiency of real time PCR microarray by quartz material
KR101513273B1 (ko) 회전형 pcr 장치 및 pcr 칩
JP5077953B2 (ja) マイクロチップ
JP4351171B2 (ja) バイパススロットを備えたプロセスチャンバーを有する試料処理装置及びプロセスチャンバー内の試料物質の処理方法
WO2006098435A1 (ja) 検出チップ及びこれを用いた物質の検出方法
JP2010213649A (ja) 生体試料反応容器及び生体試料反応方法
KR101321912B1 (ko) 탄성 밸브 및 이를 구비한 미세유동 장치
US20090291025A1 (en) Microchip And Method Of Using The Same
WO2003036298A2 (en) Closed substrate platforms suitable for analysis of biomolecules
EP3368685B1 (en) Fluidic card for analysis of biochips
US11648563B2 (en) Method and system for heating and temperature measurement using patterned thin films
JP5177533B2 (ja) マイクロチップ
JP2006346626A (ja) 反応チップ
JP6049446B2 (ja) マイクロチップ
TWI579564B (zh) Microfluidic transmission and detection of the wafer structure of biological samples
JP2006345807A (ja) 反応チップ
TWI639705B (zh) 多工試片裝置及其操作方法

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid