KR20090029956A - Apparatus and method of producting carbon nano tube - Google Patents

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Abstract

A carbon nanotube manufacturing device is provided to prevent erasure of metallic catalyst by preventing metal catalyst particle of small size from being ejected through an exhaust pipe, to improve productivity and to cut down manufacturing cost. A carbon nanotube manufacturing device(100) includes: a reactor(110) providing reaction space in which the carbon nanotube is generated by reacting metallic catalyst and source gas; and a spreader plate(140) equipped in the reaction space and dispersing source gas. The reaction space is segmented into the first reaction space(RS1) having the spreader and the second reaction space(RS2) positioned on a top of the first reaction space.

Description

탄소나노튜브 제조장치 및 그 방법{APPARATUS AND METHOD OF PRODUCTING CARBON NANO TUBE}Carbon nanotube manufacturing apparatus and method thereof {APPARATUS AND METHOD OF PRODUCTING CARBON NANO TUBE}

본 발명은 탄소나노튜브 제조장치 및 그 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 금속 촉매 입자를 유동시켜 탄소나노튜브를 생성하기 위한 탄소나노튜브 제조장치 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a carbon nanotube manufacturing apparatus and a method thereof, and more particularly, to a carbon nanotube manufacturing apparatus and method for producing carbon nanotubes by flowing metal catalyst particles.

탄소나노튜브(Carbon Nanotubes : CNTs)는, 서로 이웃하는 세 개의 탄소 원자가 육각형의 벌집 무늬로 결합되어 탄소 평면을 이루고 탄소 평면이 원통형으로 말려서 튜브 형상으로 이루어진 것을 말한다.Carbon nanotubes (CNTs) are three adjacent carbon atoms joined together in a hexagonal honeycomb pattern to form a carbon plane and the carbon plane is rolled into a cylindrical shape to form a tube.

탄소나노튜브는 그 구조에 따라 금속적인 도전성 또는 반도체적인 도전성을 나타내며, 여러 기술 분야에 폭넓게 응용될 수 있어 미래의 신소재로 각광을 받고 있다. 예컨대, 탄소나노튜브는 이차 전지, 연료 전지 또는 수퍼 커패시터와 같은 전기 화학적 저장 장치의 전극, 전자파 차폐, 전계 방출 디스플레이, 또는 가스 센서 등에 적용 가능하다.Carbon nanotubes exhibit metallic or semiconducting conductivity depending on their structure, and can be widely applied in various technical fields. For example, carbon nanotubes are applicable to electrodes of electrochemical storage devices such as secondary batteries, fuel cells or supercapacitors, electromagnetic shielding, field emission displays, or gas sensors.

탄소나노튜브는 고온의 반응기 안에 금속 촉매 입자와 탄화수소 계열의 소스 가스를 분산 및 반응시켜서 생성된다. 즉, 금속 촉매는 소스 가스에 의해 반응기 안을 부유하면서 소스 가스와 반응하여 탄소나노튜브를 성장시킨다. 탄소나노튜브를 생성하는 동안, 소스 가스는 지속적으로 반응기에 주입되고, 반응기 안의 가스는 소스 가스의 원활한 흐름을 위해서 반응기 상면에 형성된 배기홀을 통해 배기장치로 배출된다.Carbon nanotubes are produced by dispersing and reacting metal catalyst particles with a hydrocarbon-based source gas in a high temperature reactor. That is, the metal catalyst reacts with the source gas while growing the carbon nanotubes while floating in the reactor by the source gas. During the production of the carbon nanotubes, the source gas is continuously injected into the reactor, and the gas in the reactor is discharged through the exhaust hole formed in the upper surface of the reactor for smooth flow of the source gas.

그러나, 금속 촉매 입자들 중 그 크기가 작은 입자들은 소스 가스와 반응하기도 전에 배기홀을 통해 배기장치에 흡입되므로, 금속 촉매가 유실된다.However, the smaller particles of the metal catalyst particles are sucked into the exhaust device through the exhaust holes before reacting with the source gas, so that the metal catalyst is lost.

본 발명의 목적은 금속 촉매의 유실을 방지할 수 있는 탄소나노튜브 제조장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention to provide a carbon nanotube manufacturing apparatus that can prevent the loss of the metal catalyst.

또한, 본 발명의 목적은 상기한 탄소나노튜브 제조장치를 이용하여 탄소나노튜브를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.It is also an object of the present invention to provide a method for producing carbon nanotubes using the carbon nanotube manufacturing apparatus described above.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 탄소나노 튜브 제조장치는, 반응기 및 분산판으로 이루어진다.Carbon nanotube manufacturing apparatus according to one feature for realizing the above object of the present invention, the reactor and the dispersion plate.

반응기는 금속촉매와 소스가스가 서로 반응하여 탄소나노튜브가 생성되는 반응공간을 제공하고, 분산판은 상기 반응공간에 구비되어 상기 소스가스를 분산시킨다. 상기 반응공간은 상기 분산판이 구비된 제1 반응공간과 상기 제1 반응공간의 상부에 위치하는 제2 반응공간으로 구획되며, 상기 반응기는 상기 제1 반응공간에 대응하는 폭이 상기 분산판으로부터 상측으로 갈수록 점차 넓어진다.The reactor provides a reaction space in which the metal catalyst and the source gas react with each other to generate carbon nanotubes, and a dispersion plate is provided in the reaction space to disperse the source gas. The reaction space is partitioned into a first reaction space provided with the dispersion plate and a second reaction space located above the first reaction space, and the reactor has a width corresponding to the first reaction space above the dispersion plate. It gradually widens as you go.

또한, 상기 반응기는 상기 제2 반응공간에 대응하는 폭이 상기 제1 반응공간에 대응하는 최대폭보다 크거나 같다.In addition, the reactor has a width corresponding to the second reaction space is greater than or equal to a maximum width corresponding to the first reaction space.

한편, 상기 배기구는 상기 상면의 단부에 위치한다.On the other hand, the exhaust port is located at the end of the upper surface.

탄소나노튜브 제조장치는 상기 반응기의 외측벽에 인접하게 구비되고, 상기 반응기를 가열하는 히팅부를 더 포함한다. 상기 히팅부는 상기 제1 반응공간에 대응하는 제1 영역과 상기 제2 반응공간에 대응하는 제2 영역이 서로 다른 온도를 갖 고, 상기 제1 영역의 온도가 상기 제2 영역의 온도보다 높다.Carbon nanotube manufacturing apparatus is provided adjacent to the outer wall of the reactor, and further comprises a heating unit for heating the reactor. The heating unit has a different temperature between the first region corresponding to the first reaction space and the second region corresponding to the second reaction space, and the temperature of the first region is higher than the temperature of the second region.

또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 탄소나노 튜브 제조방법은 다음과 같다. 먼저, 반응기 내부에 금속촉매와 소스가스를 제공한다. 상기 반응기의 하부영역과 상부영역 간의 소스가스 속력차를 증가시켜 상기 금속촉매를 입자 크기에 따라 분리하여 서로 다른 영역에서 부유시킨다.상기 소스가스와 상기 금속촉매가 반응하여 탄소나노튜브를 생성한다.In addition, the carbon nanotube manufacturing method according to one feature for realizing the above object of the present invention is as follows. First, a metal catalyst and a source gas are provided inside the reactor. The source gas velocity difference between the lower region and the upper region of the reactor is increased to separate the metal catalyst according to the particle size and suspended in different regions. The source gas and the metal catalyst react to generate carbon nanotubes.

상기 금속촉매를 부유시키는 과정은, 상기 반응기의 폭을 하단부로부터 상단부로 갈수록 폭을 증가시켜 상대적으로 크기가 큰 금속촉매 입자들은 상기 소스가스의 상기 반응기의 하부 영역에서 부유시키고, 크기가 작은 금속촉매 입자들은 상기 반응기의 상부 영역에서 부유시킨다.In the floating of the metal catalyst, the width of the reactor increases from the lower end to the upper end so that the relatively large metal catalyst particles are suspended in the lower region of the reactor of the source gas, and the small metal catalyst Particles are suspended in the upper region of the reactor.

이러한 본 발명에 따른 탄소나노튜브 제조장치 및 그 방법에 의하면, 반응기 의 하부폭은 축소시키고, 상부폭은 확대시켜 상기 반응기의 상부영역과 하부영역 간의 소스가스 속력차를 증가시킨다. 이에 따라, 반응기의 하부영역에서는 상대적으로 입자 크기가 큰 금속촉매 입자가 부유되고, 상부영역에서는 상대적으로 입자 크기가 작은 금속촉매 입자가 부유된다. 따라서, 탄소나노튜브 제조장치는 작은 크기의 금속촉매 입자가 배기구를 통해 배출되는 것을 방지하므로, 금속촉매의 유실을 방지하고, 제조 원가를 절감하며, 생산성을 향상시킬 수 있다.According to the carbon nanotube manufacturing apparatus and method thereof according to the present invention, the lower width of the reactor is reduced, the upper width is increased to increase the source gas speed difference between the upper region and the lower region of the reactor. Accordingly, the metal catalyst particles having a relatively large particle size are suspended in the lower region of the reactor, and the metal catalyst particles having a relatively small particle size are suspended in the upper region. Therefore, the carbon nanotube manufacturing apparatus prevents the small size of the metal catalyst particles from being discharged through the exhaust port, thereby preventing the loss of the metal catalyst, reducing the manufacturing cost, and improving the productivity.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하 게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 탄소나노튜브 제조장치를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a carbon nanotube manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 탄소나노튜브(Carbon Nanotubes : CNTs) 제조장치(100)는 반응기(110), 촉매 공급노즐(120), 소스가스 라인(130), 분산판(140), 제1 및 제2 히팅부(151, 152), 및 회수라인(160)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the apparatus for manufacturing carbon nanotubes (CNTs) according to the present invention 100 includes a reactor 110, a catalyst supply nozzle 120, a source gas line 130, a dispersion plate 140, The first and second heating units 151 and 152 and the recovery line 160 are included.

구체적으로, 상기 반응기(110)는 바디부(111) 및 커버부(112)로 이루어진다. 상기 바디부(111)는 상면이 개구된 원통 형상을 갖고, 열에 강한 재질, 예컨대, 스테인레스로 이루어진다. 상기 바디부(111)는 소스가스(SG)가 예열되는 예열공간(PHS) 및 탄소나노튜브(CNT)의 제조 공정이 이루어지는 반응 공간(RS)을 제공하고, 상기 반응 공간(RS)은 제1 반응 공간(RS1) 및 상기 제1 반응 공간(RS1)의 상부에 위치하는 제2 반응 공간(RS2)으로 구획된다.In detail, the reactor 110 includes a body 111 and a cover 112. The body portion 111 has a cylindrical shape with an upper surface opened and is made of a material resistant to heat, for example, stainless steel. The body part 111 provides a reaction space RS in which a preheating space PHS in which the source gas SG is preheated and a carbon nanotube CNT is manufactured, and the reaction space RS is formed in a first manner. It is divided into a reaction space RS1 and a second reaction space RS2 positioned above the first reaction space RS1.

상기 바디부(111)의 상부에는 상기 커버부(112)가 구비된다. 상기 커버부(112)는 상기 바디부(111)와 결합하여 상기 바디부(111)를 밀폐시킨다. 상기 커버부(112)에는 금속촉매(MC)와 소스가스(SG)의 반응에 의해 형성된 배기가스(EG)를 외부로 배출하는 배기구(112a)가 형성된다. 상기 배기구(112a)는 배기장치(미도시)에 연결되어 상기 배기가스(EG)를 상기 배기 장치에 제공한다.The cover part 112 is provided on the body part 111. The cover part 112 is coupled to the body part 111 to seal the body part 111. The cover part 112 is provided with an exhaust port 112a for discharging the exhaust gas EG formed by the reaction of the metal catalyst MC and the source gas SG to the outside. The exhaust port 112a is connected to an exhaust device (not shown) to provide the exhaust gas EG to the exhaust device.

상기 배기구(112a)는 상기 커버부(112) 상면의 단부에 형성되어 상기 금속촉매(MC)가 상기 배기구(112a)를 통해 유실되는 것을 방지한다. 즉, 상기 반응공간(RS)에 유입된 상기 소스가스(SG)의 유속은 상기 반응공간(RS)의 중앙부로부터 상기 반응기(110)의 측벽으로 갈수록 점차 감소한다. 따라서, 상기 커버부(112)의 중앙부보다 단부측의 유속이 상대적으로 작으므로, 상기 금속촉매(MC)의 유실을 방지하고, 상기 배기가스(EG)을 효율적으로 배출할 수 있다.The exhaust port 112a is formed at an end of the upper surface of the cover part 112 to prevent the metal catalyst MC from being lost through the exhaust port 112a. That is, the flow rate of the source gas SG introduced into the reaction space RS gradually decreases from the central portion of the reaction space RS toward the side wall of the reactor 110. Therefore, since the flow velocity at the end side is relatively smaller than the center portion of the cover portion 112, the loss of the metal catalyst MC can be prevented and the exhaust gas EG can be discharged efficiently.

상기 바디부(111)는 상기 금속촉매(MC)를 제공하는 상기 촉매 공급노즐(120)과 연결된다. 상기 촉매 공급노즐(120)의 출력단은 상기 바디부(111)의 측벽을 관통하여 상기 제1 반응공간(RS1)에 구비되고, 상기 금속촉매(MC)를 상기 제1 반응공간(RS1)에 제공한다. 여기서, 상기 금속촉매(MC)로는 자성체를 갖는 유기금속 화합물, 예컨대, 철(Fe), 코발트, 니켈 등이 이용된다. The body part 111 is connected to the catalyst supply nozzle 120 for providing the metal catalyst MC. An output end of the catalyst supply nozzle 120 penetrates a side wall of the body 111 and is provided in the first reaction space RS1 to provide the metal catalyst MC to the first reaction space RS1. do. Here, as the metal catalyst MC, an organometallic compound having a magnetic body, for example, iron (Fe), cobalt, nickel, or the like is used.

한편, 상기 소스가스 라인(130)은 상기 바디부(111)의 하부에 구비된다. 이 실시예에 있어서, 상기 탄소나노튜브 제조장치(100)는 하나의 소스가스 라인(130)을 구비하나, 상기 소스가스 라인(130)의 개수는 상기 반응기(110)의 크기에 따라 증가할 수도 있다.On the other hand, the source gas line 130 is provided below the body portion 111. In this embodiment, the carbon nanotube manufacturing apparatus 100 is provided with one source gas line 130, the number of the source gas line 130 may increase with the size of the reactor 110. have.

상기 소스가스 라인(130)은 상기 바디부(111)의 바닥면에 결합되고, 상기 소스가스(SG)를 상기 바디부(111)로 제공한다. 여기서, 상기 소스가스(SG)로는 탄화수소 계열 가스, 예컨대, 아세틸렌, 에틸렌, 메탄, 수소 가스 등이 이용된다. 상기 바디부(111)의 바닥면에는 상기 소스가스 라인(130)과 일대일 대응하여 소스 공급홀(111a)이 형성된다. 상기 소스가스(SG)는 상기 소스가스 라인(130)으로부터 상기 소스 공급홀(111a)을 통해 상기 예열공간(PHS)으로 유입된다.The source gas line 130 is coupled to the bottom surface of the body portion 111 and provides the source gas SG to the body portion 111. Here, as the source gas (SG), a hydrocarbon-based gas such as acetylene, ethylene, methane, hydrogen gas, or the like is used. The source supply hole 111a is formed on the bottom surface of the body 111 in one-to-one correspondence with the source gas line 130. The source gas SG is introduced into the preheating space PHS from the source gas line 130 through the source supply hole 111a.

한편, 상기 분산판(140)은 상기 제1 반응공간(RS1)과 상기 예열공간(PHS)의 경계부에 구비된다. 상기 분산판(140)은 상기 바디부(111)의 바닥면으로부터 이격되어 상기 바닥면과 마주하고, 상기 촉매 공급노즐(120)의 아래에 배치된다. 상기 분산판(140)은 상기 소스가스(SG)를 균일하게 분산시키는 다수의 분산홀(141)을 갖는다. 즉, 상기 소스가스(SG)는 상기 소스가스 라인(130)으로부터 상기 예열공간(PHS)으로 유입되고, 상기 예열공간(PHS)에 유입된 소스가스(SG)는 상기 분산홀들(141)을 통해 상기 제1 반응공간(RS1)에 분산된다.On the other hand, the dispersion plate 140 is provided at the boundary between the first reaction space (RS1) and the preheating space (PHS). The dispersion plate 140 is spaced apart from the bottom surface of the body portion 111 to face the bottom surface and is disposed below the catalyst supply nozzle 120. The distribution plate 140 has a plurality of distribution holes 141 for uniformly dispersing the source gas (SG). That is, the source gas SG is introduced into the preheating space PHS from the source gas line 130, and the source gas SG introduced into the preheating space PHS is connected to the dispersion holes 141. It is dispersed in the first reaction space (RS1) through.

상기 분산판(140)의 상부로 유입된 상기 금속촉매(MC)는 상기 분산홀들(141)을 통해 유입된 소스가스(SG)에 의해 상기 반응공간(RS)을 부유하면서 상기 소스가스(SG)와 반응한다. 이에 따라, 상기 금속촉매(MC)에 상기 탄소나노튜브(CNT)가 성장된다.The metal catalyst MC introduced into the upper portion of the distribution plate 140 floats the reaction space RS by the source gas SG introduced through the distribution holes 141, and the source gas SG. React). Accordingly, the carbon nanotubes (CNT) are grown on the metal catalyst (MC).

이와 같이, 상기 탄소나노튜브(CNT)는 상기 금속촉매(MC)가 상기 반응공간(RS)을 부유하면서 생성되기 때문에, 상기 금속촉매(MC)의 부유가 활성화될수록 상기 탄소나노튜브(CNT)의 성장이 활성화된다.As such, since the carbon nanotubes (CNT) are generated while the metal catalyst (MC) is suspended in the reaction space (RS), as the floating of the metal catalyst (MC) is activated, the carbon nanotubes (CNT) Growth is activated.

상기 금속촉매(MC)의 부유 정도는 상기 소스가스(SG)의 압력에 따라 조절되며, 상기 소스가스(SG)는 상기 금속촉매(MC)의 입자 크기에 따라 결정된다. 일반적으로, 상기 금속촉매(MC)의 입자 크기는 약 0.6㎛ 내지 약 300㎛로서, 입자 분포도가 넓다. 따라서, 상기 소스가스(SG)는 중간 크기의 금속촉매 입자를 기준으로 그 압력이 결정된다. 이에 따라, 상대적으로 작은 금속촉매 입자들은 상기 소스가 스(SG)의 압력에 의해 상기 배기구(112a)로 배출될 수 있다.The degree of floating of the metal catalyst MC is adjusted according to the pressure of the source gas SG, and the source gas SG is determined according to the particle size of the metal catalyst MC. In general, the particle size of the metal catalyst (MC) is about 0.6㎛ to about 300㎛, the particle distribution is wide. Therefore, the pressure of the source gas SG is determined based on the metal catalyst particles of medium size. Accordingly, relatively small metal catalyst particles may be discharged to the exhaust port 112a by the pressure of the source gas SG.

이를 방지하기 위해, 상기 반응기(110)는 상기 금속촉매(MC)의 입자 크기에 따라 영역을 분리하여 상기 금속촉매(MC)를 부유시킨다.In order to prevent this, the reactor 110 separates a region according to the particle size of the metal catalyst MC to float the metal catalyst MC.

구체적으로, 상기 바디부(111)는 상기 제1 반응공간(RS1)에 대응하는 폭(W1)이 상기 분산판(140)으로부터 상측으로 갈수록 점차 증가한다. 즉, 상기 바디부(111)는 상기 제1 반응공간(RS1)을 정의하는 측벽이 지면에 대해 소정 각도(θ)로 기울어지게 형성되므로, 상기 제1 반응공간(RS1)의 폭이 하부로부터 상부로 갈수록 점차 증가한다. 본 발명의 일례로, 상기 제1 반응공간(RS1)을 정의하는 측벽의 기울기(θ)는 상기 지면에 대해 약 30도 내지 약 40도이다.Specifically, the body portion 111 gradually increases as the width W1 corresponding to the first reaction space RS1 moves upward from the dispersion plate 140. That is, since the sidewalls defining the first reaction space RS1 are formed to be inclined at a predetermined angle θ with respect to the ground, the body part 111 has a width of the first reaction space RS1 extending from the bottom to the top. It gradually increases as you go. In an example of the present invention, the inclination θ of the side wall defining the first reaction space RS1 is about 30 degrees to about 40 degrees with respect to the ground.

또한, 상기 바디부(111)는 상기 제2 반응공간(RS2)에 대응하는 폭(W2)이 균일하게 형성되고, 상기 제1 반응공간(RS1)에 대응하는 최대폭과 동일한 폭을 갖는다.In addition, the body 111 has a width W2 corresponding to the second reaction space RS2 uniformly formed, and has a width equal to a maximum width corresponding to the first reaction space RS1.

이와 같이, 상기 반응공간(RS)은 상부로 갈수록 그 폭이 확장되므로, 하부영역과 상부영역 간의 압력차가 커진다. 즉, 베르누이의 정리(Bernoulli's theorem)에 의하면, 유체는 좁은 통로를 흐를 때 속력이 증가하고, 넓은 통로를 흐를 때 속력이 감소한다. 또한, 유체의 속력이 증가하면 압력이 낮아지고, 반대로 감소하면 압력이 높아진다.As described above, since the width of the reaction space RS increases toward the upper portion, the pressure difference between the lower region and the upper region increases. In other words, according to Bernoulli's theorem, fluid increases in velocity through narrow passages and decreases in velocity through wide passages. Also, increasing the speed of the fluid lowers the pressure, and conversely decreasing the pressure increases the pressure.

이러한 베르누이의 정리에 따라, 상기 제1 반응공간(RS1)의 하부로 갈수록 상기 소스가스(SG)의 속력이 증가하여 압력이 낮아지고, 상기 제2 반응공간(RS2)은 상기 제1 반응공간(RS1)보다 상기 소스가스(SG)의 속력이 감소하여 소스가스(SG)의 압력이 높아진다. 이에 따라, 상기 금속촉매(MC) 중 크기가 큰 금속촉매 입자들은 상기 제1 반응공간(RS1)에서 부유하고, 크기가 작은 금속촉매 입자들은 상기 제2 반응공간(RS2)에서 부유한다.According to Bernoulli's theorem, the pressure of the source gas SG increases as the pressure goes down toward the lower portion of the first reaction space RS1, and the second reaction space RS2 becomes the first reaction space ( The speed of the source gas SG is lower than that of RS1, so that the pressure of the source gas SG is increased. Accordingly, the large metal catalyst particles in the metal catalyst MC are suspended in the first reaction space RS1, and the small metal catalyst particles are suspended in the second reaction space RS2.

이와 같이, 상기 반응기(110)는 상기 금속촉매 입자들의 크기에 따라 분리하여 서로 다른 속력의 소스가스(SG)로 부유시키므로, 작은 크기의 금속촉매 입자가 상기 배기구(112a)를 통해 배출되는 것을 방지한다.As such, the reactor 110 is separated according to the sizes of the metal catalyst particles and suspended in source gas SG of different speeds, thereby preventing the small size metal catalyst particles from being discharged through the exhaust port 112a. do.

이에 따라, 상기 반응기(110)는 상기 탄소나노튜브(CNT)의 성장을 활성화시키고, 생산성을 향상시키며, 제조 원가를 절감한다.Accordingly, the reactor 110 activates the growth of the carbon nanotubes (CNT), improves productivity, and reduces manufacturing costs.

또한, 상기 제1 반응공간(RS1)의 하부폭이 종래보다 감소하므로, 상기 분산판(140)의 직경(DD)이 종래보다 감소한다. 이에 따라, 상기 금속촉매(MC)를 종래와 동일한 양으로 공급하더라도, 상기 분산판(140)에 적재되는 금속촉매층의 높이가 증가하므로, 금속촉매층의 팽창률이 상승하고, 가스 활용률이 상승하며, 상기 탄소나노튜브(CNT)의 순도가 향상된다.In addition, since the lower width of the first reaction space RS1 is smaller than in the prior art, the diameter DD of the dispersion plate 140 is reduced in comparison with the prior art. Accordingly, even when the metal catalyst MC is supplied in the same amount as before, since the height of the metal catalyst layer loaded on the dispersion plate 140 increases, the expansion rate of the metal catalyst layer increases, and the gas utilization rate increases. Purity of carbon nanotubes (CNT) is improved.

한편, 상기 바디부(111)의 외측벽에는 상기 제1 및 제2 히팅부(151, 152)가 구비된다. 상기 제1 및 제2 히팅부(151, 152)는 상기 바디부(111)를 가열하여 상기 제1 반응 공간(RS1)의 온도를 적정 온도로 유지시킨다. 구체적으로, 상기 제1 히팅부(151)는 상기 예열공간(PHS)과 대응하는 영역에 구비되고, 상기 예열공간(PHS)의 온도를 적정 온도로 상승시킨다. 이에 따라, 상기 예열공간(PHS)으로 유입된 소스가스(SG)기 가열된다.Meanwhile, the first and second heating parts 151 and 152 are provided on the outer wall of the body part 111. The first and second heating units 151 and 152 heat the body 111 to maintain the temperature of the first reaction space RS1 at an appropriate temperature. Specifically, the first heating unit 151 is provided in a region corresponding to the preheating space PHS, and raises the temperature of the preheating space PHS to an appropriate temperature. As a result, the source gas SG introduced into the preheating space PHS is heated.

상기 제2 히팅부(152)는 상기 반응공간(RS)과 대응하는 영역에 구비되고, 상 기 반응공간(RS)의 온도를 상기 탄소나노튜브(CNT)의 성장을 활성화하기 위한 적정 온도로 유지시킨다. 여기서, 상기 바디부(111)는 상기 제1 반응공간(RS1)의 측벽이 소정각도로 기울어지므로, 하부로 갈수록 상기 제2 히팅부(152)와의 이격 거리가 증가하고, 상기 제2 히팅부(152)로부터의 열 전도율이 감소된다.The second heating unit 152 is provided in a region corresponding to the reaction space RS, and maintains the temperature of the reaction space RS at an appropriate temperature for activating growth of the carbon nanotubes CNT. Let's do it. Here, since the sidewall of the first reaction space RS1 is inclined at a predetermined angle, the body part 111 has a separation distance from the second heating part 152 as it goes downward, and the second heating part ( Thermal conductivity from 152 is reduced.

이를 감안하여, 상기 제2 히팅부(152)는 상기 제1 반응공간(RS1)에 대응하는 제1 영역(A1)의 온도와 상기 제2 반응공간(RS2)에 대응하는 제2 영역(A2)의 온도를 서로 다르게 조절된다. 즉, 상기 제2 히팅부(152)는 상기 제1 영역(A1)의 온도를 상기 제2 영역(A2)의 온도보다 높게 설정하여 상기 제1 반응공간(RS1)와 상기 제2 반응공간(RS2) 간의 온도를 동일하게 형성한다.In consideration of this, the second heating unit 152 has a temperature of the first region A1 corresponding to the first reaction space RS1 and a second region A2 corresponding to the second reaction space RS2. The temperature is adjusted differently. That is, the second heating unit 152 sets the temperature of the first region A1 higher than the temperature of the second region A2 so that the first reaction space RS1 and the second reaction space RS2 are set. The temperature between them is formed equally.

한편, 상기 반응 공간(RS)에 형성된 상기 탄소나노튜브(CNT)는 상기 회수 라인(160)을 통해 외부로 배출된다. 즉, 상기 회수 라인(160)은 상기 바디부(111) 측벽에 연결되고, 상기 탄소나노튜브(CNT)가 흡입되는 입력단이 상기 제1 반응 공간(RS1)에 구비되어 상기 분산판(140)의 상부에 배치된다. 상기 회수 라인(160)은 상기 탄소나노튜브(CNT)가 성장된 금속촉매를 상기 반응기(110)로부터 제공받아 외부의 탄소나노튜브 포집 장치(미도시)에 제공한다.Meanwhile, the carbon nanotubes CNT formed in the reaction space RS are discharged to the outside through the recovery line 160. That is, the recovery line 160 is connected to the side wall of the body part 111, and an input terminal through which the carbon nanotubes CNT are sucked is provided in the first reaction space RS1 so that the distribution plate 140 may be formed. Is placed on top. The recovery line 160 receives the metal catalyst in which the carbon nanotubes (CNT) are grown from the reactor 110 and provides an external carbon nanotube collecting device (not shown).

이하, 도면을 참조하여 상기 탄소나노튜브 제조장치(100)에서 상기 탄소나노튜브(CNT)가 생성되는 과정을 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a process of generating the carbon nanotubes (CNT) in the carbon nanotube manufacturing apparatus 100 will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 및 도3은 도 1에 도시된 탄소나노튜브 제조장치에서 탄소나노튜브를 제조하는 공정 과정을 나타낸 도면이다.2 and 3 are views showing a process of manufacturing carbon nanotubes in the carbon nanotube manufacturing apparatus shown in FIG.

도 2를 참조하면, 먼저, 상기 제1 및 제2 히팅부(151, 152)는 상기 반응기(110)를 가열하여 상기 제1 반응 공간(RS1)의 온도를 적정 온도, 예컨대, 약 섭씨 600도 이상으로 상승 및 유지시킨다.Referring to FIG. 2, first, the first and second heating units 151 and 152 heat the reactor 110 to adjust the temperature of the first reaction space RS1 to an appropriate temperature, for example, about 600 degrees Celsius. Rise and hold above.

상기 촉매 공급노즐(120)은 상기 금속 촉매(MC)를 상기 바디부(111)에 제공하고, 이에 따라, 상기 분산판(140)의 상면에 금속촉매층(MCL)이 형성된다. 여기서, 상기 바디부(111)는 상기 분산판(140)이 위치하는 부분의 폭이 종래보다 감소하므로, 상기 금속촉매층(MCL)의 두께가 상승한다. 따라서, 상기 금속촉매층(MCL)의 팽창율을 상승시키고, 상기 탄소나노튜브(CNT)의 순도를 향상시키며, 가스 활용율을 향상시킨다.The catalyst supply nozzle 120 provides the metal catalyst MC to the body part 111, whereby a metal catalyst layer MCL is formed on the upper surface of the dispersion plate 140. Here, since the width of the portion where the dispersion plate 140 is located in the body portion 111 is smaller than in the related art, the thickness of the metal catalyst layer MCL increases. Therefore, the expansion rate of the metal catalyst layer (MCL) is increased, the purity of the carbon nanotubes (CNT) is improved, and the gas utilization rate is improved.

도 3을 참조하면, 상기 소스가스 라인(130)은 상기 소스 가스(SG)를 상기 바디부(111)에 제공한다. 상기 소스 가스(SG)는 상기 가스 공급홀(111a)을 통해 상기 예열공간(PHS)으로 유입되고, 상기 분산판(140)의 분산홀들(141)을 통해 상기 반응공간(RS)으로 유입된다. 여기서, 상기 소스 가스(SG)는 상기 분산판(140) -> 상기 반응공간(RS)의 상부영역 -> 상기 바디부(111)의 측벽 -> 상기 반응공간(RS)의 하부영역 순으로 이동하면서 순환한다.Referring to FIG. 3, the source gas line 130 provides the source gas SG to the body 111. The source gas SG flows into the preheating space PHS through the gas supply hole 111a and flows into the reaction space RS through the distribution holes 141 of the distribution plate 140. . Here, the source gas SG is moved in the order of the dispersion plate 140-> the upper region of the reaction space (RS)-> the side wall of the body portion 111-> the lower region of the reaction space (RS). Circulate.

상기 분산판(140)의 상면에 증착된 금속촉매(MC)는 상기 분산홀들(141)을 통과한 소스가스(SG)에 의해 상기 제1 반응공간(RS1)과 상기 제2 반응공간(RS2)을 부유하면서 상기 소스가스(SG)와 반응하여 상기 탄소나노튜브(CNT)를 성장시킨다.The metal catalyst MC deposited on the upper surface of the dispersion plate 140 is formed of the first reaction space RS1 and the second reaction space RS2 by the source gas SG passing through the dispersion holes 141. ) And grows the carbon nanotubes (CNT) by reacting with the source gas (SG) while suspended.

구체적으로, 상기 금속촉매(MC) 중 크기가 큰 입자들(MCP1)은 상기 제2 반응 공간(RS)에 비해 상대적으로 상기 소스가스(SG)의 속력이 높은 상기 제1 반응공 간(RS1)에서 부유한다. 반면, 크기가 작은 입자들(MCP2)은 상기 제1 반응공간(RS1) 보다 상기 소스가스(SG)의 속력이 낮은 상기 제2 반응공간(RS2)에서 부유한다.In detail, the large particles MCP1 of the metal catalyst MC have a higher velocity of the source gas SG than the second reaction space RS. Is rich in. On the other hand, the small particles MCP2 are suspended in the second reaction space RS2 having a lower speed of the source gas SG than the first reaction space RS1.

이와 같이, 상기 금속촉매(MC)는 입자들의 크기에 따라 분리되어 서로 다른속력의 소스가스에 의해 부유되므로, 상기 반응기(110)는 상기 작은 크기의 입자들(MCP2)이 상기 배기구(112a)를 통해 배출되는 것을 방지한다. 이에 따라, 상기 탄소나노튜브 제조장치(100)는 상기 금속촉매(MC)의 손실을 방지하고, 생산성을 향상시키며, 제조 원가를 절감할 수 있다.As such, the metal catalyst MC is separated according to the size of the particles and suspended by source gas having different speeds, so that the reactor 110 has the small size particles MCP2 open the exhaust port 112a. To prevent it from being discharged. Accordingly, the carbon nanotube manufacturing apparatus 100 may prevent the loss of the metal catalyst MC, improve productivity, and reduce manufacturing cost.

한편, 상기 탄소나노튜브(CNT)를 생성하는 동안, 상기 반응공간(RS)에 생성된 상기 배기가스(EG)는 상기 반응기(110) 상면의 상기 배기구(112a)를 통해 상기 배기 장치로 흡입된다.On the other hand, while generating the carbon nanotubes (CNT), the exhaust gas (EG) generated in the reaction space (RS) is sucked into the exhaust device through the exhaust port 112a on the upper surface of the reactor (110). .

상기 탄소나노튜브(CNT)의 생성이 완료되면, 상기 탄소나노튜브가 성장된 금속촉매는 상기 회수라인(160)을 통해 상기 탄소나노튜브 포집장치로 유입된다.When the production of the carbon nanotubes (CNT) is completed, the metal catalyst on which the carbon nanotubes are grown is introduced into the carbon nanotube collecting device through the recovery line 160.

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described with reference to the embodiments above, those skilled in the art will understand that the present invention can be variously modified and changed without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. Could be.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 탄소나노튜브 제조장치를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a carbon nanotube manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도3은 도 1에 도시된 탄소나노튜브 제조장치에서 탄소나노튜브를 제조하는 공정 과정을 나타낸 도면이다.2 and 3 are views showing a process of manufacturing carbon nanotubes in the carbon nanotube manufacturing apparatus shown in FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 탄소나노튜브 제조장치 110 : 반응기100: carbon nanotube manufacturing apparatus 110: reactor

120 : 촉매 공급노즐 130 : 소스가스 라인120: catalyst supply nozzle 130: source gas line

140 : 분산판 151, 152 : 히팅부140: dispersion plate 151, 152: heating unit

160 : 회수라인160: recovery line

Claims (9)

금속촉매와 소스가스가 서로 반응하여 탄소나노튜브T)가 생성되는 반응공간을 제공하는 반응기; 및A reactor providing a reaction space in which the metal catalyst and the source gas react with each other to generate carbon nanotubes T); And 상기 반응공간에 구비되어 상기 소스가스를 분산시키는 분산판을 포함하고,A dispersion plate provided in the reaction space to disperse the source gas, 상기 반응공간은 상기 분산판이 구비된 제1 반응공간과 상기 제1 반응공간의 상부에 위치하는 제2 반응공간으로 구획되며,The reaction space is partitioned into a first reaction space provided with the dispersion plate and a second reaction space located above the first reaction space. 상기 반응기는 상기 제1 반응공간에 대응하는 폭이 상기 분산판으로부터 상측으로 갈수록 점차 넓어지는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 제조장치.The reactor is a carbon nanotube manufacturing apparatus, characterized in that the width corresponding to the first reaction space gradually increases toward the upper side from the dispersion plate. 제1항에 있어서, 상기 반응기는 상기 제2 반응공간에 대응하는 폭이 상기 제1 반응공간에 대응하는 최대폭보다 크거나 같은 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 제조장치.The apparatus of claim 1, wherein a width corresponding to the second reaction space is greater than or equal to a maximum width corresponding to the first reaction space. 제1항에 있어서, 상기 반응기의 측벽은 상기 제1 반응공간을 정의하는 부분이 지면에 대해 30도 내지 40도 기울어진 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 제조장치.The apparatus of claim 1, wherein the sidewall of the reactor is inclined at 30 ° to 40 ° with respect to the ground. 제1항에 있어서, 상기 배기구는 상기 상면의 단부에 위치하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 제조장치.The apparatus of claim 1, wherein the exhaust port is positioned at an end of the upper surface. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 반응기의 외측벽에 인접하게 구비되고, 상기 반응기를 가열하는 히팅부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 제조장치.It is provided adjacent to the outer wall of the reactor, the carbon nanotube manufacturing apparatus further comprises a heating unit for heating the reactor. 제5항에 있어서, 상기 히팅부는 상기 제1 반응공간에 대응하는 제1 영역과 상기 제2 반응공간에 대응하는 제2 영역의 온도가 서로 다른 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 제조장치.The apparatus of claim 5, wherein the heating unit has a temperature different from a temperature of the first region corresponding to the first reaction space and the second region corresponding to the second reaction space. 제6항에 있어서, 상기 히팅부는 상기 제1 영역의 온도가 상기 제2 영역의 온도보다 높은 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 제조장치.The carbon nanotube manufacturing apparatus of claim 6, wherein the heating unit has a temperature of the first region higher than a temperature of the second region. 반응기 내부에 금속촉매와 소스가스를 제공하는 단계;Providing a metal catalyst and a source gas inside the reactor; 상기 반응기의 하부영역과 상부영역 간의 소스가스 속력차를 증가시켜 상기 금속촉매를 입자 크기에 따라 분리하여 서로 다른 영역에서 부유시키는 단계; 및Increasing the source gas velocity difference between the lower region and the upper region of the reactor to separate the metal catalyst according to the particle size and to float in different regions; And 상기 소스가스와 상기 금속촉매가 반응하여 탄소나노튜브를 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 제조방법.And producing carbon nanotubes by reacting the source gas with the metal catalyst. 제8항에 있어서, 상기 금속촉매를 부유시키는 단계는,The method of claim 8, wherein the floating of the metal catalyst, 상기 반응기의 폭을 하단부로부터 상단부로 갈수록 증가시켜 상대적으로 크 기가 큰 금속촉매 입자들은 상기 소스가스의 상기 반응기의 하부 영역에서 부유시키고, 크기가 작은 금속촉매 입자들은 상기 반응기의 상부 영역에서 부유시키는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 제조방법.The width of the reactor is increased from the lower end to the upper end so that relatively large metal catalyst particles are suspended in the lower region of the reactor of the source gas, and small metal catalyst particles are suspended in the upper region of the reactor. Carbon nanotube manufacturing method characterized in that.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101135767B1 (en) * 2010-02-03 2012-04-16 고려대학교 산학협력단 Method of manufacturing carbon nano tube with sea urchin shape, conductive filler-polymer composite materials and composite separator for fuel cell using the metal-polymer composite materials
WO2021112511A1 (en) * 2019-12-06 2021-06-10 주식회사 엘지화학 System and method for producing carbon nanotubes
KR20230072865A (en) * 2021-11-18 2023-05-25 재단법인 한국탄소산업진흥원 Equipment for synthesizing carbon nanotube

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1141250C (en) 2001-05-25 2004-03-10 清华大学 Process and reactor for continuously preparing nm carbon tubes with fluidized bed
JP3816017B2 (en) 2002-03-27 2006-08-30 大阪瓦斯株式会社 Tubular carbon material production apparatus, production equipment, and carbon nanotube production method
JP3771881B2 (en) * 2002-08-19 2006-04-26 三菱重工業株式会社 Method and apparatus for producing carbon nanofiber
JP4410010B2 (en) 2004-03-26 2010-02-03 東邦瓦斯株式会社 Method for producing nanocarbon material

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101135767B1 (en) * 2010-02-03 2012-04-16 고려대학교 산학협력단 Method of manufacturing carbon nano tube with sea urchin shape, conductive filler-polymer composite materials and composite separator for fuel cell using the metal-polymer composite materials
WO2021112511A1 (en) * 2019-12-06 2021-06-10 주식회사 엘지화학 System and method for producing carbon nanotubes
CN114040814A (en) * 2019-12-06 2022-02-11 株式会社Lg化学 System and method for producing carbon nanotubes
US11993516B2 (en) 2019-12-06 2024-05-28 Lg Chem, Ltd. System and method for producing carbon nanotubes
KR20230072865A (en) * 2021-11-18 2023-05-25 재단법인 한국탄소산업진흥원 Equipment for synthesizing carbon nanotube

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