KR20090013722A - 평면 펄스 모터, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 - Google Patents

Abstract

평면 펄스 모터는, 고정자와, 고정자에 대향해서 배치되고, 복수의 코일을 갖는 가동자를 구비한다. 평면 펄스 모터는, 복수의 코일에 흐르는 전류를 제어함으로써 가동자를 수평면상의 제1방향 및 제1방향과 직교하는 제2방향으로 구동가능하다. 고정자는, 제1방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 구성한 복수의 제1볼록부 및 제2방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 구성한 복수의 제2볼록부를 포함한 복수의 볼록부와, 제1방향과 제2방향 중 어느 한쪽에도 자속이 통과하지 않는 복수의 오목부를 갖는다. 상기 복수의 오목부의 각각의 주변에 상기 복수의 볼록부가, 상기 제1방향 및 제2방향으로 규칙적으로 배치된다.

평면 펄스 모터, 노광장치, 고정자, 가동자.

Description

평면 펄스 모터, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법{Planar pulse motor, exposure apparatus, and device manufacturing method}

본 발명은, 평면 펄스 모터, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법에 관한 것이다.

도 6 및 도 7은, 종래의 평면 펄스 모터의 구성을 나타낸다. 가동자(mover)(60)는, 고정자(stator)(1)의 상부에 예를 들면, 약 20마이크로미터 정도 공기에 의해 부상된 상태에서, X방향 및 Y방향으로 이동가능하다. 종래의 평면 펄스 모터에 있어서의 고정자(1)는, 도 7에 나타나 있는 바와 같이, Y방향으로 볼록부(2)와 오목부(3)가 교대로 배치되는 열과, Y방향으로 볼록부(2)가 배치되지 않고 오목부(3)만이 배치되는 열로 구성된다. 상기 2종류의 열은, X방향으로 교대로 설치된다. 볼록부(2)는, X방향 및 Y방향의 쌍방으로 자속을 통과시키는 영역이다. 오목부(3)는, X방향과 Y방향 중 어느 한쪽에도 자속을 통과시키지 않는 영역이다.

종래의 평면 펄스 모터에서는, 고정자(1)의 볼록부(2)와 오목부(3) 사이의 치수 비율은 보통 1 대 1정도다. 따라서, 고정자(1)의 표면에 상기 볼록부(2)의 면 적 비율은 1/4정도다. 그 때문에 종래의 평면 펄스 모터에서는, 가동자(60)의 치선(tooth tip)으로부터 고정자(1)의 볼록부(2)에 흘러 들어오는 자속의 통과 면적이, 단일 축의 리니어 펄스 모터와 비교해서 약 1/2정도로 되어 있고, 자속의 이용 효율이 낮았다. 따라서, 종래의 평면 펄스 모터로는 높은 추진력을 얻는 것이 곤란했다.

본 발명은, 자속이 흐르는 통과 면적이 증대해 추진력이 향상된 평면 펄스 모터를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일 국면에 의하면, 평면 펄스 모터는, 고정자와, 이 고정자에 대향하게 배치된 복수의 코일을 갖는 가동자를 구비하고, 상기 평면 펄스 모터는, 제1방향과 그 제1방향에 직교한 제2방향의 평면에서 상기 가동자를 구동할 수 있다. 상기 고정자는, 제1방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 구성한 제1볼록부와, 제2방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 구성한 제2볼록부와, 상기 제1방향과 상기 제2방향 쌍방으로 자속이 통과 가능한 제3볼록부로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 2개의 서로 다른 형태를 포함하는 복수의 볼록부를 구비한다. 상기 고정자는, 상기 제1방향과 상기 제2방향 중 어느 한쪽에도 자속이 통과 불가능한 복수의 오목부를 더 구비하고, 상기 복수의 볼록부는, 상기 제1방향 및 제2방향으로 상기 복수의 오목부 각각에 인접하게 규칙적으로 배치된다.

본 발명의 다른 국면에 의하면, 평면 펄스 모터에서 사용하기 위한 고정자는, 제1방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 구성한 제1볼록부와, 상기 제1방향에 직교하는 제2방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 구성한 제2볼록부와, 상기 제1방향과 상기 제2방향 쌍방으로 자속이 통과 가능한 제3볼록부로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 2개의 서로 다른 형태를 포함하는 복수의 볼록부를 구비한다. 상기 고정자는, 상기 제1방향과 상기 제2방향 중 어느 한쪽에도 자속이 통과 불가능한 복수의 오목부를 더 구비하고, 상기 복수의 볼록부는, 상기 제1방향 및 제2방향으로 상기 복수의 오목부 각각에 인접하게 규칙적으로 배치된다.

본 발명의 또 다른 특징들 및 국면들은, 첨부된 도면을 참조하여 예시적 실시예들의 아래의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다.

이하, 본 발명의 각 종 예시적 실시예들, 특징들, 및 국면들은, 도면들을 참조하여 상세히 설명하겠다.

[제1 예시적 실시예]

본 발명의 예시적 실시예에 따른 평면 펄스 모터는, 고정자와, 상기고정자에 대향하게(즉, 고정자에 마주 대하게) 배치되고, 복수의 코일을 갖는 가동자를 구비한다. 상기 가동자는, 상기 복수의 코일에 흐르는 전류가 제어 됨으로써 제1방향 및 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 이동가능하다. 본 예시적 실시예에서는 제1방향을 X방향으로 하고 제2방향을 Y방향으로 한다.

도 1은, 본 발명의 제1 예시적 실시예에 따른 고정자(100)의 예를 게시하고 있다. 볼록부(ＸＹ)(4)는, X방향 및 Y방향의 쌍방에 자속이 통과가능한 제3볼록부 영역이다. 오목부(5)는, X방향과 Y방향 중 어느 한쪽에도 자속이 통과하지 않는 영역이다. 볼록부(X) 6은 X방향만 자속이 통과가능한 제1볼록부 영역이며, 볼록부(Y) 7은 Y방향만 자속이 통과가능한 제2볼록부 영역이다. 본 예시적 실시예의 볼록부는, 제1볼록부(6), 제2볼록부(7) 및 제3볼록부(4)를 포함한다. 오목부(5)를 둘러싸는 8개의 영역 중, 오목부(5)에 대하여, X방향에 인접한 2개의 영역에는 볼록부(X) 6이 위치하고, Y방향에 인접하는 2개의 영역에는 볼록부(Y) 7이 위치하고 있다. 3×3 정사각형의 코너에 해당하는 나머지의 4개의 영역에는, 볼록부(ＸＹ) 4가 위치하고 있다. 볼록부와 오목부는, 각 볼록부(4,6,7)와 오목부(5)가 상기의 위치 관계가 되도록, X방향 및 Y방향으로 규칙적으로 배치되어 있다.

도 2a∼도 2c에, 도 1에 나타내는 고정자(100)를 제작하는 방법을 나타낸다. 제1제작 공정에 있어서, 우선, 도 2a의 좌측에 표시되는 베이스(10) 위에 볼록부(ＸＹ)(4)가 종래의 방법과 마찬가지로 배치된 구조체를 준비한다. 베이스(10) 위에 배치된 볼록부(ＸＹ)(4)는, 종래의 고정자와 마찬가지로 얇은 규소강판을 적층 및 가공해서 제작된다. 본 구성에서, 도 6 및 도 7에 도시된 종래의 볼록부(2)와 마찬가지로 X방향 및 Y방향의 양쪽 방향으로 자속을 통과시킬 수 있다. 그렇지만, 보다 얇은 규소강판이 베이스(10) 위에 X방향으로 적층되므로, 자속은 X방향보다 쉽게 Y방향으로 통과할 수 있다. 또한, 종래의 볼록부와 다른 점은, 볼록부(ＸＹ)(4)의 높이가 종래의 고정자보다도 높게 설치되는 점이다. 그리고, 도 2a의 우측에 표시되는 미리 제작해 둔 볼록부(Y)(7)가 열모양으로 형성된 복수의 볼록부(Y)블록(11)을, 구조체의 볼록부(ＸＹ)(4) 사이의 간격에 끼워 넣어서 일체화한다.

볼록부(Y)블록(11)은, 종래의 고정자와 마찬가지로 얇은 규소강판을 적층 및 가공해서 제작되는 것이며, Y방향으로 자속이 통과하기 쉽도록 구성된다. 볼록부(Y)블록(11)은, 그 측면과 밑면에 자기저항층(13)이 설치되어 있고, 볼록부(Y)(7)에의 자속은 볼록부(Y)블록(11)안을 Y방향으로만 흐르도록 구성된다.

제1제작 공정 후 제작된 고정자(100)를, 도 2b의 좌측에 나타낸다. 제2제작 공정에서는, 도 2b의 좌측에 표시되는 블록에, 볼록부(X)(6)와 오목부(5)가 교대로 열모양으로 형성된 볼록부(X)블록(12)을 끼워 넣어서 일체화한다. 볼록부(X)블록(12)도, 종래의 고정자와 마찬가지로 얇은 규소강판을 적층 및 가공해서 제작되는 것이며, X방향에의 자속이 통과하기 쉽도록 설치된다. 볼록부(X)블록(12)은, 그 측면과 밑면에 자기저항층(14)을 설치하고 있고, 볼록부(X)(6)에의 자속은 볼록부(X)블록(12)안을 X방향으로만 흐르도록 구성되어 있다.

제2제작 공정 후 제작된 고정자를, 도 2c에 나타낸다. 그 후, 종래의 고정자와 마찬가지로, 오목부(5)에 수지를 흘려 넣어 표면을 평면 가공함에 의해 고정자(1)가 완성된다.

도 3은, 본 예시적 실시예에 따라 고정자(100)의 자속 통과 면적을 설명하는 도면이다. 도 8은, 도 6에 도시되는 종래의 고정자(1)의 자속통과 면적을 설명하는 도면이다. 본 예시적 실시예에 따른 고정자(100)를 사용할 경우, 종래는 오목부이었던 영역에 볼록부(X)(6)가 배치되었기 때문에, 자속 통과 면적이 약 2배로 증가하고 있는 것을 알 수 있다. 또한, 볼록부(X)(6)가 특히 X방향으로 자속이 쉽게 통과하도록 구성되므로, 자속이 흐르는 통과 면적은 X방향으로 2배 이상으로 할 수 있다. 또한, 도 3에는 X방향으로만 도시되어 있지만, Y방향에 관해서도, 그 형상으로부터 분명하듯이 자속 통과 면적을 약 2배로 한다.

[제2 예시적 실시예]

도 4는 본 발명의 제2 예시적 실시예에 따른 고정자(200)의 예를 도시한 것이다. 볼록부(X)(21)는 X방향으로만 자속이 통과가능한 영역이며, 볼록부(Y)(22)는 Y방향으로만 자속이 통과가능한 영역이다. 오목부(23)는, X방향과 Y방향 중 어느 한쪽에도 자속이 통과하지 않는 영역이다. 또한, 도5a 및 도 5b는, 도 4에 나타내는 고정자(200)를 제작하는 방법을 도시한 도면이다. 우선, 도 5a에 나타내는 제1제작 공정에 있어서, 볼록부(Y)(22)와 홈부가 교대로 형성된 복수의 볼록부(Y)블록(24)을 X방향으로 정렬된다. 이 블록은 함께 접착해서 일체화되어, 볼록부(Y)의 구조체를 형성한다. 이어서, 도 5b에 나타내는 제2제작 공정에 있어서, 복수의 볼록부(Y)블록(24)의 공통인 홈부분에, 볼록부(X)(21)와 오목부(23)가 교대로 열모양으로 형성된 복수의 볼록부(X)블록(25)을 끼워 넣어 접착해서 일체화한다. 그 후, 종래와 같이, 오목부(23)에 수지를 따라 넣고, 표면을 평면가공하여서, 도 4에 도 시되는 고정자(200)가 완성된다. 또한, 볼록부(Y)블록(24) 및 볼록부(X)블록(25)의 측면과 밑면에는, 제1 예시적 실시예와 같이, 자기저항층을 설치하고 있다.

고정자(200)의 볼록부는, 볼록부(X)(21) 및 볼록부(Y)(22)로 구성되어 있다. 오목부(23)의 각각을 둘러싸는 8개의 영역 중, 오목부(23)에 대하여 X방향으로 인접한 2개의 영역에 볼록부(X)(21)가 위치하고, 나머지의 6개의 영역에 볼록부(Y)(22)가 위치하고 있다. 상기 볼록부(Y)블록(24)과 볼록부(X)블록(25)은, 규소강판을 적층 및 가공하여서 제작되고, 블록 25에 대한 X방향과 블록 24에 대한 Y방향으로 쉽게 자속이 통과하고, 블록들의 세트마다 다른 방향으로 자속 누설이 감소되도록 구성된다.

제2 예시적 실시예에 따른 고정자(200)는, 제1 예시적 실시예에 따른 고정자(100)와 비교해서 제조가 간단하고, Y방향의 자속통과 면적은 제1 예시적 실시예와 마찬가지로, 종래의 고정자(1)와 비교해 약 2배가 크다. 그러나, 제2 예시적 실시예에 따른 고정자(200)는, X방향의 자속통과 면적에 관해서는 종래의 고정자(1)와 같다. 제2 예시적 실시예에 따른 고정자(200)는, 예를 들면 주로 Y방향의 추진력이 필요한 평면 펄스 모터에 이롭다.

오목부(23)의 각각을 둘러싸는 8개의 영역 중, 오목부(23)에 대하여 Y방향에 인접한 2개의 영역에 볼록부(Y)(22)가 위치하고, 나머지의 6개의 영역에 볼록부(X)(21)가 위치하는 고정자도 같은 방법으로 제작하는 것이 가능하다.

본 발명의 예시적 실시예에 따른 평면 펄스 모터로서, 이하의 변형 예도 가능하다.

(1) 고정자를 ＸＹ평면상에서 약 45°회전시켜서 배치한다. 이에 따라 X, Y방향으로 가동자를 이동시킬 경우에는, X방향 및 Y방향으로 동시에 구동시킴으로써, 구동 추진력을 √2배씩 증가시킬 수 있다. 이것은, X방향 또는 Y방향으로만 자주 구동되는 평면 리니어 모터에 효과적이다.

(2) 제1 및 제2 예시적 실시예에 있어서의 가동자를 고정측으로 하고 고정자를 가동측으로 한다. 구체적으로는, 제1 및 제2 예시적 실시예의 고정자와 가동자를 상하 반대 배치한 구성이며, 복수의 Ｘ방향 구동용의 코일을 가진 치선군과 복수의 Ｙ방향 구동용의 코일을 가진 치선군을 위로 대향하게 정렬하여 고정한다. 제1 및 제2 예시적 실시예에 있어서의 고정자는, 가동형 고정자 부재로서 고정된 가동자의 치선보다 위에서 구동될 수 있다.

[노광 장치의 예시적 실시예]

도 9는, 본 발명의 예시적 실시예에 따른 평면 펄스 모터를 사용한 노광 장치의 구성을 도시한 도면이다. 노광 장치는, 원판(레티클)R을 위치 결정하는 레티클 스테이지 ＲＳ와, 원판R을 조명하는 조명 광학계ＩＬ과, 기판(웨이퍼)W를 위치 결정하는 기판 스테이지ＷＳ와, 원판R의 패턴을 기판에 투영하는 투영 광학계ＰＬ을 구비할 수 있다.

노광 장치는, 원판R의 패턴을 기판W에 전사하고, 기판W에 도포되어 있는 감광제에 잠상 패턴을 형성하도록 구성된다. 기판 스테이지ＷＳ는, 전술한 평면 펄스 모터를 구동부로서 구비하도록 구성된다. 보다 구체적으로, 기판 스테이지ＷＳ는, 예를 들면, 기판을 위치 결정하는 미동 스테이지 기구A1과, 미동 스테이지 기구A1을 위치 결정하는 조동 스테이지 기구A2를 구비할 수 있다.

미동 스테이지 기구A1은, 기판W를 유지하는 기판 척을 포함한 제1가동자ＦＭ과 제1고정자ＦＳ를 구비한다. 조동 스테이지 기구A2는, 제1고정자ＦＳ를 구동하는 제2가동자ＣＭ과 제2고정자ＣＳ를 구비한다. 조동 스테이지 기구A2는, 구동부로서 상기의 평면 펄스 모터를 구비한다. 다시 말해, 조동 스테이지 기구A2의 제2가동자ＣＭ은, 전술한 가동자를 구비하고, 조동 스테이지 기구A2의 제2고정자ＣＳ는, 전술한 고정자를 구비한다.

기판 스테이지ＷＳ와 같은 위치결정장치는, 노광 장치의 구성부품에 한정되지 않고, 여러 가지의 물체의 위치 결정에 응용될 수 있다. 여기에서, "위치결정장치"란, 물품을 반송하는 반송 장치를 포함한다.

[디바이스 제조의 예시적 실시예]

디바이스(반도체 집적회로소자, 액정표시소자 등)는, 전술한 예시적 실시예에 따른 노광 장치를 사용해서 감광제를 도포한 기판(웨이퍼, 유리 기판 등)을 노광하는 공정과, 그 기판을 현상하는 공정과, 다이싱 및 조립으로 이루어진 다른 종래의 공정을 거쳐서 완성된 디바이스를 제조한다.

본 발명을 예시적 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 본 발명은 상기 개시된 예시적 실시예들에 한정되지 않는다는 것을 알 것이다. 이하의 청구범위는, 상기와 같은 모든 변형, 동등한 구조 및 기능을 포함하도록 아주 넓게 해석해야 한 다.

도 1은, 본 발명의 제1 예시적 실시예에 따른 고정자의 예를 나타내는 도면이다.

도 2a-2c는, 도 1에 나타내는 고정자의 제작 방법을 도시한 도면이다.

도 3은, 도 1에 나타내는 고정자의 자속 통과 면적을 설명하기 위한 도면이다.

도 4는, 본 발명의 제2 예시적 실시예에 따른 고정자의 예를 나타내는 도면이다.

도 5a 및 5b는, 도 4에 나타내는 고정자의 제작 방법을 도시한 도면이다.

도 6은, 종래의 평면 펄스 모터의 구성을 나타내는 사시도다.

도 7은, 도 6에 나타내는 고정자의 구성을 도시한 도면이다.

도 8은, 도 6에 나타내는 고정자의 자속 통과 면적을 설명하기 위한 도면이다.

도 9는, 노광 장치의 구성을 도시한 도면이다.

Claims (21)

1. 고정자와,

   상기 고정자에 대향해서 배치된 복수의 코일을 갖는 가동자를 구비한 평면 펄스 모터로서,

   상기 평면 펄스 모터는, 상기 가동자를 제1방향 및 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 평면에서 구동가능하고,

   상기 고정자는, 제1방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 형성한 제1볼록부와, 제2방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 형성한 제2볼록부와, 상기 제1방향과 상기 제2방향 쌍방으로 자속이 통과 가능한 제3볼록부로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 2개의 서로 다른 형태를 포함하는 복수의 볼록부를 구비하고, 상기 고정자는, 상기 제1방향과 상기 제2방향 중 어느 한쪽에도 자속이 통과 불가능한 복수의 오목부를 더 구비하고,

   상기 복수의 볼록부는, 상기 제1방향 및 제2방향으로 상기 복수의 오목부 각각에 인접하게 규칙적으로 배치된 것을 특징으로 하는 평면 펄스 모터.
2. 제 1 항에 있어서,

   3×3 어레이로 배치된 상기 복수의 오목부의 각각을 둘러싸는 8개의 영역 중, 해당 오목부에 대하여 제1방향으로 인접한 2개의 영역에 상기 제1볼록부가 위치하고,

   상기 제2방향으로 인접한 2개의 영역에 상기 제2볼록부가 위치하고,

   상기 어레이의 코너에 대응한 4개의 영역에 상기 제3볼록부가 위치하도록, 상기 제1볼록부, 상기 제2볼록부, 상기 제3볼록부 및 상기 오목부가 배치된 것을 특징으로 하는 평면 펄스 모터.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 고정자는, 배치해야 할 모든 상기 제3볼록부가 형성된 구조체의 볼록부들 사이의 간격에, 상기 제1볼록부가 열모양으로 형성된 복수의 블록과 상기 제2볼록부가 열모양으로 형성된 복수의 블록이 끼워 넣어져서 일체화된 구조체인 것을 특징으로 하는 평면 펄스 모터.
4. 고정자와,

   상기 고정자에 대향해서 배치된 복수의 코일을 갖는 가동자를 구비한 평면 펄스 모터로서,

   상기 평면 펄스 모터는, 상기 가동자를 제1방향 및 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 평면에서 구동가능하고,

   상기 고정자는, 상기 제1방향만 자속이 통과가능한 복수의 제1볼록부와, 상기 제2방향만 자속이 통과가능한 복수의 제2볼록부와, 상기 제1방향 및 상기 제2방향 중 어느 한쪽에 자속이 통과 불가능한 복수의 오목부를 구비하고,

   3×3 어레이로 배치된 상기 복수의 오목부의 각각을 둘러싸는 8개의 영역 중, 해당 오목부에 대하여 제1방향으로 인접한 2개의 영역에 상기 제1볼록부가 위치하고,

   상기 제1볼록부, 상기 제2볼록부 및 상기 오목부는, 상기 8개의 영역 중 나머지의 6개의 영역에 상기 제2볼록부가 위치하도록 배치된 것을 특징으로 하는 평면 펄스 모터.
5. 고정자와,

   상기 고정자에 대향해서 배치된 복수의 코일을 갖는 가동자를 구비한 평면 펄스 모터로서,

   상기 평면 펄스 모터는, 복수의 코일에 흐르는 전류를 제어함으로써, 상기 가동자를 제1방향과 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 평면에서 구동가능하고,

   상기 고정자는, 제1방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 구성한 복수의 제1볼록부와, 제2방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 구성한 복수의 제2볼록부와, 상기 제1방향과 제2방향 중 어느 한쪽에도 자속이 통과 불가능한 복수의 오목부를 구비하고,

   3×3 어레이로 배치된 상기 복수의 오목부의 각각을 둘러싸는 8개의 영역 중, 해당 오목부에 대하여 제1방향으로 인접한 2개의 영역에 상기 제1볼록부가 위치하고,

   상기 제1볼록부, 상기 제2볼록부 및 상기 오목부는, 상기 8개의 영역 중 나머지의 6개의 영역에 상기 제2볼록부가 위치하도록 배치된 것을 특징으로 하는 평면 펄스 모터.
6. 제 4 항에 있어서,

   상기 고정자는, 배치해야 할 상기 제2볼록부가 형성된 구조체의 볼록부들 사이의 간격에, 상기 제1볼록부와 상기 오목부가 교대로 열모양으로 형성된 복수의 블록이 끼워 넣어져서 일체화된 구조인 것을 특징으로 하는 평면 펄스 모터.
7. 제 5 항에 있어서,

   상기 고정자는, 배치해야 할 상기 제2볼록부가 형성된 구조체의 볼록부들 사이의 간격에, 상기 제1볼록부와 상기 오목부가 교대로 열모양으로 형성된 복수의 블록이 끼워 넣어져서 일체화된 구조체인 것을 특징으로 하는 평면 펄스 모터.
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 제1 및 제2볼록부는, 함께 적층된 복수의 층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 평면 펄스 모터.
9. 제 1 항에 있어서,

   상기 제1 및 제2볼록부는, 자기저항 재료의 층들을 포함한 것을 특징으로 하는 평면 펄스 모터.
10. 제 1 항에 있어서,

    상기 복수의 코일에 흐르는 전류를 제어하는 제어기를 더 구비한 것을 특징으로 하는 평면 펄스 모터.
11. 평면 펄스 모터에서 사용하기 위한 고정자로서, 제1방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 구성한 제1볼록부와, 상기 제1방향에 직교하는 제2방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층 의 부재를 적층하여서 구성한 제2볼록부와, 상기 제1방향과 상기 제2방향 쌍방으로 자속이 통과 가능한 제3볼록부로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 2개의 서로 다른 형태를 포함하는 복수의 볼록부를 구비하고, 상기 고정자는, 상기 제1방향과 상기 제2방향 중 어느 한쪽에도 자속이 통과 불가능한 복수의 오목부를 더 구비하고,

    상기 복수의 볼록부는, 상기 제1방향 및 제2방향으로 상기 복수의 오목부 각각에 인접하게 규칙적으로 배치된 것을 특징으로 하는 고정자.
12. 기판 및 레티클 중 적어도 하나를 위치 결정하는 평면 펄스 모터를 사용한 위치결정장치를 구비한 노광장치로서,

    상기 위치결정장치의 평면 펄스 모터는,

    고정자와,

    상기 고정자에 대향하게 배치된 복수의 코일을 갖는 가동자를 구비하고,

    상기 평면 펄스 모터는, 상기 복수의 코일에 흐르는 전류를 제어함으로써, 상기 고정자에 대하여 상기 가동자를 제1방향 및 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 평면에서 구동 가능하고,

    상기 고정자는, 제1방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 형성한 제1볼록부와, 제2방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 형성한 제2볼록부와, 상기 제1방향 과 상기 제2방향 쌍방으로 자속이 통과 가능한 제3볼록부로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 2개의 서로 다른 형태를 포함하는 복수의 볼록부를 구비하고, 상기 고정자는, 상기 제1방향과 상기 제2방향 중 어느 한쪽에도 자속이 통과 불가능한 복수의 오목부를 더 구비하고,

    상기 복수의 볼록부는, 상기 제1방향 및 제2방향으로 상기 복수의 오목부 각각에 인접하게 규칙적으로 배치된 것을 특징으로 하는 노광 장치.
13. 노광 장치를 사용해서 기판을 노광하는 것,

    상기 노광된 기판을 현상하는 것을 포함한 디바이스 제조방법으로서,

    상기 노광 장치는,

    기판 및 레티클 중 적어도 하나를 위치 결정하는 평면 펄스 모터를 사용한 위치결정장치를 구비하고,

    상기 위치결정장치의 평면 펄스 모터는,

    고정자,

    상기 고정자에 대향하게 배치된 복수의 코일을 갖는 가동자를 구비하고,

    상기 평면 펄스 모터는, 상기 복수의 코일에 흐르는 전류를 제어함으로써, 상기 고정자에 대하여 상기 가동자를 제1방향 및 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 평면에서 구동 가능하고,

    상기 고정자는, 제1방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 형성한 제1볼록부와, 제2방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 형성한 제2볼록부와, 상기 제1방향과 상기 제2방향 쌍방으로 자속이 통과 가능한 제3볼록부로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 2개의 서로 다른 형태를 포함하는 복수의 볼록부를 구비하고, 상기 고정자는, 상기 제1방향과 상기 제2방향 중 어느 한쪽에도 자속이 통과 불가능한 복수의 오목부를 더 구비하고,

    상기 복수의 볼록부는, 상기 제1방향 및 제2방향으로 상기 복수의 오목부 각각에 인접하게 규칙적으로 배치된 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.
14. 평면 펄스 모터로서,

    고정자와,

    상기 고정자에 대향하게 배치된 복수의 코일을 갖는 가동자를 구비하고,

    상기 평면 펄스 모터는, 상기 복수의 코일에 흐르는 전류를 제어함으로써, 상기 고정자에 대하여 상기 가동자를 제1방향 및 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 평면에서 구동 가능하고,

    상기 고정자는, 제1방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 형성한 복수의 제1볼록부와, 제2방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 형성한 복수의 제2볼록부와, 상기 제1방향과 상기 제2방향 쌍방으로 자속이 통과 가능한 복수의 제3볼록부와, 상기 제1방향과 상기 제2방향 중 어느 한쪽에도 자속이 통과 불가능한 오목부를 구비하고, 상기 오목부의 주변에 상기 오목부에 인접해서 2개의 상기 제1볼록부와, 2개의 상기 제2볼록부와, 4개의 상기 제3볼록부가 배치되고,

    상기 2개의 제1볼록부는 상기 제1방향으로 상기 오목부를 끼우고, 상기 2개의 제2볼록부는 상기 제2방향으로 상기 오목부를 끼우고, 상기 4개의 제3볼록부 중 임의의 2개는 상기 제2방향으로 상기 제1볼록부를 끼우고, 상기 4개의 제3볼록부 중 임의의 2개는 상기 제1방향으로 상기 제2볼록부를 끼운 것을 특징으로 하는 평면 펄스 모터.
15. 제 14 항에 있어서,

    상기 오목부와, 상기 제1볼록부와, 상기 제2볼록부와, 상기 제3볼록부는, 상기 제1방향과 상기 제2방향에 평행한 평면에 있어서의 단면형상이 동일형상인 것을 특징으로 하는 평면 펄스 모터.
16. 평면 펄스 모터로서,

    고정자와,

    복수의 코일을 갖고 상기 고정자에 대향해서 배치된 가동자를 구비하고, 상기 평면 펄스 모터는, 상기 복수의 코일에 흐르는 전류를 제어함으로써, 상기 고정 자에 대하여 상기 가동자를 제1방향 및 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 평면에서 구동 가능하고,

    상기 고정자는, 상기 제1방향만 자속이 통과가능한 복수의 제1볼록부와, 상기 제2방향만 자속이 통과가능한 복수의 제2볼록부와, 상기 제1방향 및 상기 제2방향 중 어느 한쪽에 자속이 통과 불가능한 오목부를 구비하고, 상기 오목부의 주변에 상기 오목부에 인접해서 2개의 상기 제1볼록부와, 6개의 상기 제2볼록부가 배치되고,

    상기 2개의 제1볼록부는 상기 제1방향으로 상기 오목부를 끼우고, 2 조의 상기 제1방향으로 직렬로 늘어선 3개의 상기 제2볼록부는 상기 2개의 제1볼록부와 상기 오목부를 끼운 것을 특징으로 하는 평면 펄스 모터.
17. 제 16 항에 있어서,

    상기 오목부, 상기 제1볼록부 및 상기 제2볼록부는, 상기 제1방향과 상기 제2방향에 평행한 평면에 있어서의 단면형상이 동일형상인 것을 특징으로 하는 평면 펄스 모터.
18. 기판 및 레티클 중 적어도 하나를 위치 결정하는 평면 펄스 모터를 사용한 위치결정장치를 구비한 노광장치로서,

    상기 위치결정장치의 평면 펄스 모터는,

    고정자와,

    복수의 코일을 갖고 상기 고정자에 대향해서 배치된 가동자와,

    상기 복수의 코일에 흐르는 전류를 제어하는 제어기를 구비하고,

    상기 평면 펄스 모터는, 상기 복수의 코일에 흐르는 전류를 제어함으로써, 상기 고정자에 대하여 상기 가동자를 제1방향 및 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 평면에서 구동 가능하고,

    상기 고정자는, 상기 제1방향만 자속이 통과가능한 복수의 제1볼록부와, 상기 제2방향만 자속이 통과가능한 복수의 제2볼록부와, 상기 제1방향 및 상기 제2방향의 쌍방에 자속이 통과가능한 복수의 제3볼록부와, 상기 제1방향과 상기 제2방향 중 어느 한쪽에도 자속 통과 불가능한 오목부를 구비하고, 상기 오목부의 주변에 상기 오목부에 인접해서 2개의 상기 제1볼록부와, 2개의 상기 제2볼록부와, 4개의 상기 제3볼록부가 배치되고,

    상기 2개의 제1볼록부는 상기 제1방향으로 상기 오목부를 끼우고, 상기 2개의 제2볼록부는 상기 제2방향으로 상기 오목부를 끼우고, 상기 4개의 제3볼록부 중 임의의 2개는 상기 제2방향으로 상기 제1볼록부를 끼우고, 상기 4개의 제3볼록부 중 임의의 2개는 상기 제1방향으로 상기 제2볼록부를 끼운 것을 특징으로 하는 노광 장치.
19. 기판 및 레티클 중 적어도 하나를 위치 결정하는 평면 펄스 모터를 사용한 위치결정장치를 구비한 노광 장치로서,

    상기 위치결정장치의 평면 펄스 모터는,

    고정자와,

    복수의 코일을 갖고 상기 고정자에 대향해서 배치되는 가동자를 구비하고,

    상기 평면 펄스 모터는, 상기 복수의 코일에 흐르는 전류를 제어함으로써, 상기 고정자에 대하여 상기 가동자를 제1방향 및 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 평면에서 구동가능하고,

    상기 고정자는, 제1방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 형성한 복수의 제1볼록부와, 제2방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 형성한 복수의 제2볼록부와, 상기 제1방향과 상기 제2방향 중 어느 한쪽에도 자속이 통과 불가능한 오목부를 구비하고, 상기 오목부의 주변에 상기 오목부에 인접해서 2개의 상기 제1볼록부와 6개의 상기 제2볼록부가 배치되고,

    상기 2개의 제1볼록부는 상기 제1방향으로 상기 오목부를 끼우고, 2조의 상기 제1방향으로 직렬로 늘어선 3개의 상기 제2볼록부는 상기 2개의 제1볼록부와 상기 오목부를 끼운 것을 특징으로 하는 노광 장치.
20. 노광 장치를 사용해서 기판을 노광하는 것,

    상기 노광된 기판을 현상하는 것을 포함한 디바이스 제조 방법으로서,

    상기 노광 장치는,

    기판 및 레티클 중 적어도 하나를 위치 결정하는 평면 펄스 모터를 사용한 위치결정장치를 구비하고,

    상기 위치결정장치의 평면 펄스 모터는,

    고정자와,

    복수의 코일을 갖고 상기 고정자에 대향해서 배치되는 가동자를 구비하고,

    상기 평면 펄스 모터는, 상기 복수의 코일에 흐르는 전류를 제어함으로써, 상기 고정자에 대하여 상기 가동자를 제1방향 및 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 평면에서 구동가능하고,

    상기 고정자는, 제1방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 형성한 복수의 제1볼록부와, 제2방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 형성한 복수의 제2볼록부와, 상기 제1방향 및 상기 제2방향의 쌍방에 자속이 통과가능한 복수의 제3볼록부와, 상기 제1방향과 상기 제2방향 중 어느 한쪽에도 자속이 통과 불가능한 오목부를 구비하고, 상기 오목부의 주변에 상기 오목부에 인접해서 2개의 상기 제1볼록부와, 2개의 상기 제2볼록부와, 4개의 상기 제3볼록부가 배치되고,

    상기 2개의 제1볼록부는 상기 제1방향으로 상기 오목부를 끼우고, 상기 2개의 제2볼록부는 상기 제2방향으로 상기 오목부를 끼우고, 4개의 상기 제3볼록부 중 임의의 2개는 상기 제2방향으로 상기 제1볼록부를 끼우고, 4개의 상기 제3볼록부 중 임의의 2개는 상기 제1방향으로 상기 제2볼록부를 끼우는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조 방법.
21. 노광 장치를 사용해서 기판을 노광하는 것,

    상기 노광된 기판을 현상하는 것을 포함한 디바이스 제조 방법으로서,

    상기 노광 장치는,

    기판 및 레티클 중 적어도 하나를 위치 결정하는 평면 펄스 모터를 사용한 위치결정장치를 구비하고,

    상기 위치결정장치의 평면 펄스 모터는,

    고정자와,

    복수의 코일을 갖고 상기 고정자에 대향해서 배치되는 가동자를 구비하고,

    상기 평면 펄스 모터는, 상기 복수의 코일에 흐르는 전류를 제어함으로써, 상기 고정자에 대하여 상기 가동자를 제1방향 및 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 평면에서 구동 가능하고,

    상기 고정자는, 제1방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 형성한 복수의 제1볼록부와, 제2방향만 자속이 통과가능한 자성재료로 이루어진 복수의 층의 부재를 적층하여서 형성한 복수의 제2볼록부와, 상기 제1방향과 상기 제2방향 중 어느 한쪽에도 자속이 통과 불가능한 오목부를 구비하고, 상기 오목부의 주변에 상기 오목부에 인접해서 2개의 상기 제1볼록부와 6 개의 상기 제2볼록부가 배치되고,

    상기 2개의 상기 제1볼록부는 상기 제1방향으로 상기 오목부를 끼우고, 2조의 상기 제1방향으로 직렬로 늘어선 3개의 상기 제2볼록부는 상기 2개의 제1볼록부와 상기 오목부를 끼우는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조 방법.

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