KR20090001675U - 테스트핸들러용 셋플레이트 - Google Patents

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Abstract

본 고안은 테스트핸들러용 셋플레이트에 관한 것으로, 셋플레이트에 고객트레이가 적절히 안착된 상태에서 지지될 수 있도록 함으로써, 픽앤플레이스장치에 의해 고객트레이에 적재된 반도체소자를 픽킹할 시에 픽킹작업이 원활히 이루어질 수 있도록 하는 기술이 개시된다.
테스트핸들러, 셋플레이트

Description

테스트핸들러용 셋플레이트{SET PLATE FOR TEST HANDLER}
본 고안은 반도체소자 검사장비인 테스트핸들러에서 로딩 또는 언로딩공간에 위치된 고객트레이가 놓여지는 셋플레이트에 관한 것이다.
생산된 반도체소자는 테스터에 의해 테스트된 후 양품과 불량품으로 나뉜 후 양품만이 출하되는데, 테스터에 의한 테스트공정을 지원하기 위해 테스트핸들러라 불리는 자동화 검사장비가 이용되고 있다. 이러한 테스트핸들러는 로딩공간상에서 고객트레이로부터 테스트트레이로 반도체소자들을 로딩시킨 후 테스트트레이에 적재된 상태로 반도체소자의 테스트를 지원한 다음 언로딩공간상에서 테스트트레이로부터 빈 고객트레이로 반도체소자들을 언로딩시킨다.
일반적으로 고객트레이는 셋플레이트에 안착된 상태로 로딩공간 또는 언로딩공간상에 위치된다. 이러한 셋플레이트는 하강 가능하게 구비되는데, 도1에 도시된 바와 같이, 셋플레이트(100)가 베이스판(BP)으로부터 하강된 상태에서 트랜스퍼(TF, 대한민국 등록특허 제10-0715469호 참조)에 의해 셋플레이트(100)에 안착된 고객트레이(미도시)의 교체가 이루어진다. 그리고 고객트레이의 교체가 완료되면 셋플레이트(100)가 상승하게 됨으로써 고객트레이를 로딩공간 또는 언로딩공간 상 에 위치시킬 수 있게 된다.
도2는 종래의 셋플레이트(100)에 대한 사시도이다.
셋플레이트(100)는, 도2에 도시된 바와 같이 플레이트(110) 및 복수의 지지돌기(121 내지 128)를 포함하여 구성된다.
플레이트(110)는 고객트레이(CT)가 안착될 수 있도록 비교적 넓은 안착면적을 가진다.
복수의 지지돌기(121 내지 128)는 플레이트(110) 상에 안착된 고객트레이(CT)의 측면을 지지함으로써 고객트레이(CT)의 적절한 안착상태를 유지시킨다. 이러한 복수의 지지돌기(121 내지 128)에는 고객트레이(CT)의 좌우 측면을 지지하기 위한 4개의 지지돌기(121 내지 124)와 고객트레이의 전후 측면을 지지하기 위한 4개의 지지돌기(125 내지 128)가 포함된다.
대개의 경우 지지돌기(121 내지 128)는 상방으로 뾰족한 원뿔형상인데, 이는 고객트레이(CT)가 상방에서 하방으로 놓여질 때, 고객트레이(CT)가 플레이트(110) 상에 적절히 안착될 수 있도록 안내하기 위함이다.
한편, 고객트레이(CT)는, 도3에 과장하여 도시한 바와 같이, 제조사에 따라 또는 적재하는 반도체소자의 종류에 따라 전후 및 좌우 길이에 편차(x, y)를 가질 수 있다. 참고로, 고객트레이(CT)의 전후 및 좌우 길이는 표준화되어 있지만, 모든 제조사의 고객트레이가 정확히 동일한 전후 및 좌우 길이를 가지는 것은 아니고, 적재되는 반도체소자의 종류에 따라 각 고객트레이는 다른 전후 및 좌우 길이를 가지는 경우도 있다.
만일 서로 마주 대응하는 지지돌기(121 내지 128) 간의 간격이 임의의 제조사에서 제조된 고객트레이(도3의 CT1)의 좌우 길이(a) 및 전후 길이(c)에 맞추어진 상태로 위치되어 있다면, 좌우 길이 및 전후 길이가 각각 b 및 d인 다른 제조사에서 제조된 고객트레이(도3의 CT2)가 적용된 경우에는, 개념적인 정단면을 과장되게 도시한 도4에서 참조되는 바와 같이, 안착간격이 확보되지 못하여 고객트레이(CT2)가 플레이트(110) 면에 적절히 밀착된 상태로 안착되지 못하고 기울어진 불량한 안착상태를 가지게 된다. 그리고 그 반대의 경우에는, 개념적인 정단면을 과장되게 도시한 도5에서 참조되는 바와 같이, 고객트레이(CT1)의 측면들이 서로 마주 대응하는 지지돌기(121, 122)들에 의해 적절히 지지되지 못하여 안착상태가 흐트러질 수 있게 된다. 이와 같은 예들이 발생하게 되면, 픽앤플레이스장치(PICK AND PLACE APPARATUS)에 의해 고객트레이에 적재된 반도체소자를 픽킹(PICKING)하거나 고객트레이에 반도체소자를 적재시키는 작업이 원활히 이루어지지 않게 된다.
따라서 종래에는 지지돌기 등의 지지구조를 이동가능하게 구비시키고 실린더를 이용하여 지지구조를 이동시킬 수 있도록 하여 지지구조들 간의 간격, 즉, 고객트레이가 안착될 수 있는 안착간격을 조절함으로써 다양한 규격의 고객트레이에 적절히 대응될 수 있도록 하고 있었다.
그러나 제조사가 다른 고객트레이가 테스트핸들러로 공급되는 것은 어쩌다가 간혹 일어날 수 있는 일이고, 테스트되는 반도체소자의 종류를 바꾸는 경우도 자주 일어나지 않는다. 그러한 경우를 위해 실린더까지 적용하여 안착간격을 조절한다는 것은 셋플레이트의 제작단가를 상승시킨다는 점에서 무리가 있는 기술이다.
본 고안의 목적은 편심핀을 이용하여 고객트레이의 안착간격을 조절할 수 있는 셋플레이트에 관한 기술을 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 테스트핸들러용 셋플레이트는, 고객트레이가 안착될 수 있는 플레이트; 및 상기 플레이트에 안착된 고객트레이를 지지함으로써 고객트레이의 안착상태를 유지시키는 복수의 지지핀; 을 포함하고, 상기 복수의 지지핀 중 적어도 하나의 지지핀은, 상기 플레이트에 탈착가능하게 마련되며, 장착상태에 따라 고객트레이의 안착간격이 조절될 수 있는 것을 특징으로 한다.
상기 적어도 하나의 지지핀의 장착상태를 고정시키기 위한 고정핀; 을 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.
상기 적어도 하나의 지지핀은, 상기 플레이트에 형성된 다각형상의 삽입홈에 삽입되는, 평단면이 다각형상인 고정단; 및 상기 삽입홈의 상단보다 돌출되어 고객트레이의 측면을 지지함으로써 고객트레이의 안착상태를 유지시키는 지지단; 을 포함하며, 상기 고정단의 평단면상의 중심에서 상기 지지단의 둘레까지의 거리가 적어도 일 지점에서는 다른 것을 더 구체적인 특징으로 한다.
상기 지지단은 평단면이 원형이며, 상기 고정단과 상기 지지단의 평단면의 중심은 평면도상에서 일치하지 않는 것을 더욱 더 구체적인 특징을 환다.
위와 같은 본 고안에 따른 테스트핸들러용 셋플레이트에 의하면 탈착 가능하게 구비되는 지지핀의 장착상태에 따라 안착간격이 조절될 수 있기 때문에 셋플레이트의 생산단가를 저감시킬 수 있게 된다.
이하에서는 상술한 바와 같은 본 고안에 따른 테스트핸들러용 셋플레이트(이하 ‘셋플레이트’라 약칭함)에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더 상세히 설명한다.
도6은 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 셋플레이트(600)에 대한 일부 분해 사시도이다.
본 실시예에 따른 셋플레이트(600)는, 도6에 도시된 바와 같이, 플레이트(610), 복수(8개)의 지지핀(621 내지 628) 및 복수(8개)의 고정핀(632, 634, 637, 638, 나머진 도시가 생략됨) 등을 포함하여 구성된다. 이하의 구성에 대한 설명에서는 부호 622의 지지핀이 구비되는 부위(나머지 부호의 지지핀이 구비되는 부위도 동일한 구성을 가짐)를 주로 발췌하여 설명한다.
플레이트(610)는 고객트레이가 안착될 수 있게끔 비교적 넓은 안착면적을 가지며, 그 변 측으로는 후술될 지지핀(622)을 삽입시키기 위한 사각형상의 삽입홈(611b)이 형성되어 있다. 그리고 삽입홈(611b)의 측방으로는 후술될 고정핀(632)을 삽입시키기 위한 고정홈(612b)이 삽입홈(611b)에 연통된 상태에서 측방향으로 형성되어 있다.
지지핀(622)은 플레이트(610)에 안착된 고객트레이의 측면을 지지함으로써 고객트레이의 안착상태를 유지시키기 위해 구비된다. 참고로 복수의 지지핀(621 내지 628)에는, 고객트레이의 좌측면을 각각 지지하기 위한 부호 621 및 623의 지지핀, 고객트레이의 우측면을각각 지지하기 위한 부호 622 및 624의 지지핀, 고객트레이의 전측면을 각각 지지하기 위한 부호 625 및 627의 지지핀, 고객트레이의 후측면을 각각 지지하기 위한 부호 626 및 628의 지지핀이 포함된다.
지지핀(622)은, 도7에 확대도시된 바와 같이, 고정단(61) 및 지지단(62)으로 구성되어 있다.
고정단(61)은 삽입홈(611b)에 삽입됨으로써 지지핀(622)이 플레이트(610)에 장착될 수 있도록 하기 위한 것으로, 그 평단면이 삽입홈(611b)의 형상에 대응되는 사각형상이다.
지지단(62)은, 지지핀(622)이 플레이트(610)에 장착되었을 시에, 삽입홈(611b)의 상단보다 돌출되어 고객트레이의 측면을 지지함으로써 고객트레이의 안착상태를 유지시킨다. 이러한 지지단(62)은 상방으로 뾰족한 원뿔형상이어서 그 평단면이 원형이다.
위와 같은 지지핀(622)에 대하여 과장되게 도시한 도8의 개념적인 평면도 및 도9의 개념적인 정단면도를 참조하여 더 자세히 설명한다.
도8에서 참조하는 바와 같이 고정단(61)의 평단면상의 중심(C1)과 지지단(62)의 평단면상의 중심(C2)은 일정한 간격(e)을 가지게 구현됨으로써, 고정단(61)의 평단면상의 중심(C1)과 지지단(62)의 평단면상의 중심(C2)은 평면도(도8) 상에서 상호 일치하지 않게 된다. 즉, 지지단(62)이 고정단(61)의 평단면상의 중심(C1)에서 일측으로 편심되도록 형성되어 있기 때문에, 고정단(61)의 평단면상의 중심(C1)에서 지지단(62)의 둘레까지의 거리(R)가 일정하지 않고 가변적이게 된다.
따라서 도9의 (a) 및 (b)에서 참조되는 바와 같이, 지지핀(621, 622)의 장착상태에 따라서 지지단(62)들 간의 간격, 즉, 고객트레이를 안착시키기 위해 확보되는 안착간격이 a 또는 b로 선택적으로 좁혀지거나 넓혀질 수 있게 되는 것이다.
그리고 다시 도6에서 참조되는 바와 같이, 고정핀(632)은, 고정홈(612b)에 끼워지는데, 고정홈(612b)에 끼워지면서 삽입홈(611b)에 삽입된 상태에 있는 지지핀(622)의 고정단(61) 측면에 압력을 가하게 된다. 이 압력은 고정단(61)과 삽입홈(611b) 측벽 사이, 고정단(61)과 고정핀(632) 사이에 강한 마찰력이 생기게 하여 지지핀(622)이 삽입홈(611b)에 삽입된 상태에서 고정될 수 있도록 한다.
계속하여 상기한 바와 같은 구성을 가지는 도6의 셋플레이트(600)에 대한 정단면도를 개념적으로 도시한 도10 이하를 참조하여 도6의 셋플레이트(600)에 대한 사용상태를 설명한다.
도10에는 현재 CT1이 적절히 안착되어질 수 있도록 지지핀(621, 622)이 삽입홈(611a, 611b)에 장착된 상태를 보여주고 있다. 즉 고객트레이(CT1)의 좌측단을 지지하는 지지핀(621)과 고객트레이(CT1)의 우측단을 지지하는 지지핀(622) 간의 간격이 고객트레이(CT1)의 좌우 길이인 a를 유지하도록 되어 있다.
도10과 같은 상태 즉, 부호 621 및 622로 표현된 지지핀의 지지단(62)의 장측이 서로 마주보도록 한 상태에서, 만일 공급하고자 하는 고객트레이가 CT2로 교 체되어져야 한다면, 작업자는 고정핀(632) 및 지지핀(622)을 플레이트(610)로부터 순차적으로 탈거시킨 후 지지단(62)의 단측이 서로 마주보도록 하여 삽입홈(611a, 611b)에 삽입시킨 후 고정핀(632)을 고정홈(612b)에 삽입함으로써 지지핀(621, 622)들의 지지단(62)들 간의 간격이 고객트레이의 좌우 길이인 b를 유지하도록 한다. 즉, 도11과 같은 상태가 되게 한다. 따라서 도11과 같은 상태로 지지핀(621, 622)이 플레이트(610)에 장착된 셋플레이트(600)는 안착간격이 고객트레이(CT2)의 좌우 길이와 동일한 b가 되기 때문에 부호 CT2의 고객트레이가 셋플레이트(600)적절히 안착될 수 있게 된다.
한편, 상기한 실시예에서는 사각형상의 삽입홈(611b)과 평단면이 사각형상인 고정단(61)으로 구현하고 있지만, 고정단의 평단면 형상을 다양화함으로써 지지단들 간의 간격조정이 더 다양하게 이루어지도록 구현하는 것도 얼마든지 가능할 수 있다. 예를 들어, 육각형상의 삽입홈과 평단면이 육각형상인 고정단을 구현하게 되면 더 세밀한 간격조정일 이루어질 수 있게 되는 것이다. 그리고 여기서 삽입홈 및 고정단의 평단면 형상을 다각형상으로 구현한 이유는 플레이트에 장착된 지지핀의 회전을 방지하여 안착간격이 안정적으로 유지될 수 있도록 하기 위함이다.
그리고, 상기한 실시예에서는 상방으로 뾰족한 원뿔형상이고 그 평단면이 원형인 지지단(62)을 형성하고 있다. 하지만 상방으로 뾰족한 다각뿔형상이고 그 평단면이 다각형인 지지단을 형성할 수도 있을 것이다. 단, 지지단과 고정단의 평단면은 크기가 다른 같은 다각형이고 각 변이 평면도상에서 서로 평행하여야 한다.
또한, 위의 실시예에서는 모든 지지핀이, 플레이트로부터 탈착 가능하고, 고 정단으로부터 편심되게 형성된 구성적 특징을 가지는 것을 예정하고 있다. 그러나 좌측면 또는 우측면 중 어느 일 측면을 지지하기 위한 지지핀과 전측면 또는 후측면 중 어느 일 측면을 지지하기 위한 지지핀 만이 위에서 설명된 구성적 특징을 가지도록 구현하는 것도 가능하며, 가장 단순하게는 어느 하나의 지지핀만이 위에서 설명된 구성적 특징을 가지도록 구현하는 것도 가능하다.
그리고, 상술한 실시예에서는 지지핀을 고정하기 위해 고정핀의 사용을 예정하고 있다. 하지만 지지핀의 고정단의 외경과 삽입홈의 내경에 차이가 크게 나지 않을 경우, 고정핀을 생략해도 고정에 문제는 없다.
물론, 본 고안은 고정단의 평단면상의 중심에서 지지단의 둘레까지의 거리가 적어도 일 지점에서 다르다면, 지지핀의 장착상태에 따라 안착간격이 조절될 수 있게 된다. 따라서 비록 상술한 본 고안에 대한 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 고안의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 고안이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 고안의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
도1은 일반적인 테스트핸들러에서 셋플레이트의 작동을 설명하기 위한 참조도이다.
도2는 종래의 셋플레이트에 대한 사시도이다.
도3은 제조사마다 다른 규격을 가지는 고객트레이를 설명하기 위한 참조도이다.
도4 및 도5는 종래의 셋플레이트에 대한 문제점을 설명하기 위한 참조도이다.
도6은 본 고안의 실시예에 따른 셋플레이트에 대한 사시도이다.
도7은 도6에 적용된 지지핀에 대한 사시도이다.
도8은 도7의 지지핀에 대한 개념적인 평면도이다.
도9는 도8의 지지핀이 적용된 상태에서 고객트레이의 안착간격의 조절상태를 설명하기 위한 참조도이다.
도10 및 도11은 도6의 셋플레이트에 대한 개념적인 사용 상태도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
600 : 셋플레이트
610 : 플레이트
611a, 611b : 삽입홈
612b : 고정홈
621, 622, 623, 624, 625, 626, 627, 628 : 지지핀
61 : 고정단 62 : 지지단
632, 634, 637, 638 : 고정핀

Claims (3)

  1. 고객트레이가 안착될 수 있는 플레이트; 및
    상기 플레이트에 안착된 고객트레이를 지지함으로써 고객트레이의 안착상태를 유지시키는 복수의 지지핀; 을 포함하고,
    상기 복수의 지지핀 중 적어도 하나의 지지핀은, 상기 플레이트에 탈착가능하게 마련되며, 장착상태에 따라 고객트레이의 안착간격이 조절될 수 있는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 셋플레이트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 지지핀은,
    상기 플레이트에 형성된 다각형상의 삽입홈에 삽입되는, 평단면이 다각형상인 고정단; 및
    상기 삽입홈의 상단보다 돌출되어 고객트레이의 측면을 지지함으로써 고객트레이의 안착상태를 유지시키는 지지단; 을 포함하며,
    상기 고정단의 평단면상의 중심에서 상기 지지단의 둘레까지의 거리가 적어도 일 지점에서는 다른 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 셋플레이트.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 지지단은 평단면이 원형이며,
    상기 고정단과 상기 지지단의 평단면의 중심은 평면도상에서 일치하지 않는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 셋플레이트.
KR2020070013692U 2007-08-17 2007-08-17 테스트핸들러용 셋플레이트 KR200445512Y1 (ko)

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