KR20090000808U - 진공척 - Google Patents

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KR20090000808U
KR20090000808U KR2020070012135U KR20070012135U KR20090000808U KR 20090000808 U KR20090000808 U KR 20090000808U KR 2020070012135 U KR2020070012135 U KR 2020070012135U KR 20070012135 U KR20070012135 U KR 20070012135U KR 20090000808 U KR20090000808 U KR 20090000808U
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지기환
임현철
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세크론 주식회사
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Abstract

진공척이 개시된다. 상기 진공척은 몸체, 제1 웨이퍼 지지대, 제2 웨이퍼 지지부, 제1 흡입관 및 제2 흡입관을 포함한다. 상기 제1 웨이퍼 지지부는 상기 몸체 상부에, 제1 폐곡선을 따라 돌출되어 상기 제1 폐곡선 내부에 제1 공간을 정의한다. 상기 제2 웨이퍼 지지부는 상기 몸체 상부에, 상기 제1 폐곡선 둘레를 감싸는 제2 폐곡선을 따라 돌출되어 상기 제1 페곡선과 상기 제2 폐곡선 사이에 제2 공간을 정의한다. 상기 제1 흡입관은 상기 몸체 내부에 형성되고, 상기 제1 공간과 연결되어 상기 제1 공간에 진공을 형성한다. 상기 제2 흡입관은 상기 제1 흡입관과 연결되지 않도록 상기 몸체 내부에 형성되고, 상기 제2 공간과 연결되어 상기 제2 공간에 진공을 형성한다.
진공, 척, 흡입, 세정, 웨이퍼

Description

진공척{VACUUM CHUCK}
본 고안은 반도체 제조장치에서 사용되는 진공척에 관한 것으로, 보다 상세히는 8인치 웨이퍼 및 12인치 웨이퍼를 동시에 고정시킬 수 있는 진공척에 관한 것이다.
반도체 소자는 웨이퍼 위에 물질막을 형성하는 증착공정, 증착된 물질막을 필요한 형태로 패터닝하는 패터닝 공정, 웨이퍼 상의 불필요한 잔류물질들을 제거하는 세정공정 등, 여러 공정을 통해서 제조된다. 이러한 공정들을 통해서 웨이퍼 상에 형성된 각각의 칩들은 분할되고 패키징되어 반도체 소자가 제조된다.
그런데, 이렇게 제조되는 반도체 소자의 생산성을 증가시키기 위해서, 8인치 웨이퍼에서 12인치 웨이퍼를 사용하는 등 웨이퍼의 크기를 증가시켜 보다 많은 칩을 생산하고 있다.
한편, 웨이퍼 로딩 단계에서 웨이퍼를 프로세스 챔버 내부의 웨이퍼 지지대에 고정시키는 방법은 클램프 등의 실체적인 구조물을 이용하여 고정시키는 방법과 진공을 통해서 웨이퍼 뒷면을 흡착하여 웨이퍼를 고정시키는 방법, 전기적인 압전효과를 이용하여 고정시키는 방법 등, 여러가지 방법이 사용되고 있다.
상기 방법 중에서 진공을 통해서 웨이퍼 뒷면을 흡착하여 웨이퍼를 고정하는데에는 진공척이 사용된다. 이러한 진공척 중에서 8인치 웨이퍼와 12인치 웨이퍼에 동시에 적용가능한 진공척이 있는데, 종래의 8인치, 12인치 겸용 진공척의 경우, 8인치 단독 사용시에는 볼트로 12인치 부분을 완전히 막고 사용을 하고 있어, 세척시 12인치 부분에 공기, 물 또는 공기와 물이 주입되지 않아 12인치 부분이 막히는 경우가 종종 발생한다.
이후, 다시 12인지 부분으로 전환하여 사용하는 경우, 12인치 부분의 흡착력이 떨어지는 문제가 발생한다. 이러한 진공척이 만약, 웨이퍼 그라인더(grinder) 등에 사용되는 경우, 흡착력이 떨어지면 웨이퍼가 고정되지 않아 그라인딩 시에 웨이퍼 에지 부분에 손상이 가해진다.
이하, 도면을 중심으로 보다 상세히 설명한다.
도 1은 종래 진공척에 대한 개략적인 단면도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 진공척(10)은 몸체(15), 상부 몸체(15) 상부에 형성된 제1 웨이퍼 지지부(13), 제2 웨이퍼 지지부(14), 상기 몸체(15) 내부에 형성된 흡입관(17)을 포함한다. 상기 흡입관(17)은 예컨대 삼지창 형상으로 3갈래로 분기되어 중앙의 제1 흡입관(11) 및 좌우측 2개의 제2 흡입관(12)를 형성한다.
상기 제1 웨이퍼 지지부(13)은 8인치 웨이퍼의 외곽부를 지지하고, 상기 제2 웨이퍼 지지부(14)는 12인치 웨이퍼의 외곽부를 지지한다.
12인치 웨이퍼(도시안됨)가 상기 제1 및 제2 웨이퍼 지지부들(13, 14) 위에 놓이게 되면, 진공펌프(210)가 동작하여, 연결관(16)을 통해서, 흡입관(17) 내부의 공기를 흡입하고, 상기 12인치 웨이퍼를 흡착하여 고정된다.
그런데, 8인치 웨이퍼(도시안됨)가 상기 몸체(15) 상부에 놓이게 되면 상기 제2 흡입관(12)은 상기 8인치 웨이퍼(도시안됨)에 의해 커버되지 않아서, 진공펌프(210)가 동작하는 경우에도 상기 8인치 웨이퍼(도시안됨)가 상기 몸체(15)에 고정되지 않는다. 따라서, 8인치 웨이퍼(도시안됨)를 적용하기 위해서는 상기 제2 흡입관(12)을 볼트로 막아 상기 진공척(10)을 사용하게 된다.
이렇게 오랜 시간동안 사용하는 경우, 제2 흡입관(12)에 이물질이 쌓여 막히게 되고, 이후 몸체(15)의 세정시 연결관(16)을 블로잉하더라도, 제1 흡입관을 통해서만 공기, 물 또는 공기와 물이 통하게 되어 이물질이 제거되지 않는다.
따라서, 12인치 웨이퍼(도시안됨)를 다시 사용하게 되면, 제 2 흡입관(12)을 통한 진공흡착이 제대로 이루어지지 않아 흡착력이 떨어져, 웨이퍼 에지부분에 손상이 가해지는 경우가 발생된다.
더욱이, 이러한 진공척(10)이 웨이퍼 그라인더에 사용하게 되는 경우, 웨이퍼에 보다 심각한 손상이 가해질 수 있다.
따라서, 본 고안이 해결하고자 하는 제1 과제는 8인치, 12인치 전환 진공척에서 12인치 부분의 흡착력이 떨어지는 것을 감소시킬 수 있는 진공척을 제공함에 있다.
또한, 본 고안이 해결하고자 하는 제2 과제는 웨이퍼 그라인더 등에서 적용 가능한 상기 진공척을 제공함에 있다.
본 고안의 일 실시예에 따른 진공척은 몸체, 제1 웨이퍼 지지대, 제2 웨이퍼 지지부, 제1 흡입관 및 제2 흡입관을 포함한다. 상기 제1 웨이퍼 지지부는 상기 몸체 상부에, 제1 폐곡선을 따라 돌출되어 상기 제1 폐곡선 내부에 제1 공간을 정의한다. 상기 제2 웨이퍼 지지부는 상기 몸체 상부에, 상기 제1 폐곡선 둘레를 감싸는 제2 폐곡선을 따라 돌출되어 상기 제1 페곡선과 상기 제2 폐곡선 사이에 제2 공간을 정의한다. 상기 제1 흡입관은 상기 몸체 내부에 형성되고, 상기 제1 공간과 연결되어 상기 제1 공간에 진공을 형성한다. 상기 제2 흡입관은 상기 제1 흡입관과 연결되지 않도록 상기 몸체 내부에 형성되고, 상기 제2 공간과 연결되어 상기 제2 공간에 진공을 형성한다.
예컨대, 상기 몸체는 웨이퍼 지지판 및 축을 포함한다. 상기 웨이퍼 지지판은 제1 면과 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 포함하고, 상기 제1 면에 상기 제1 웨이퍼 지지부 및 제2 웨이퍼 지지부가 형성된다. 상기 축은 상기 제2 면의 중심 에서 아래 방향으로 돌출한다.
상기 진공척은 상기 웨이퍼 지지판의 상기 제1 면의 중앙에 형성된 제3 웨이퍼 지지부를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 흡입관 및 제2 흡입관은 상기 웨이퍼 지지판을 통과하여 상기 축의 측면에 형성된 제1 개구 및 제2 개구와 각각 연결된다.
상기 진공척은, 상기 제1 개구 및 제2 개구와 각각 연결된 제1 진공펌프 및 제2 진공펌프를 더 포함할 수 있다.
혹은, 상기 제1 개구 및 제2 개구와 동시에 연결된 하나의 진공펌프를 더 포함할 수도 있다. 이때, 상기 진공척은 제1 분지, 제2 분지 및 제3 분지를 갖는 Y자 형상의 파이프를 더 포함하고, 상기 제1 분지는 상기 제1 개구에, 제2 분지는 상기 제2 개구에, 제3 분지는 상기 진공펌프에 연결된다. 더욱이, 상기 제2 분지에 연결된 개폐부를 더 포함하여, 8인치 웨이퍼 고정시 2분지를 폐쇄할 수 있다.
상기 진공척은 상기 제1 개구 및 제2 개구가 내측에 형성되도록 상기 축을 감싸는 진공 실린더를 더 포함할 수 있다. 상기 진공 실린더와 상기 축은 베이링에 의해 결합될 수 있다.
상기 진공척은 상기 진공 실린더와 연결되어 상기 진공 실린더 내부를 진공으로 만드는 진공펌프를 더 포함한다.
또한, 상기 진공척은 상기 축에 연결되어 상기 축을 회전시키기는 모터를 더 포함한다.
예컨대, 상기 제1 폐곡선 및 제2 폐곡선은 원형일 수 있다. 또한, 상기 제1 폐곡선의 지름은 8인치보다 작고, 상기 제2 폐곡선의 지름은 8인치 내지 12인치의 범위일 수 있다.
상기 진공척은 상기 제2 흡입관을 개폐하기 위한 개폐부를 더 포함할 수 있다.
본 고안에 따르면, 8인치 웨이퍼용 제1 흡입관과 12인치 웨이퍼용 제2 흡입관을 별도로 형성하여, 8인치 웨이퍼 적용시 제1 흡입관을 통해서만 펌핑을 진행함으로써 8인치 웨이퍼를 파지할 수 있으므로, 12인치 웨이퍼용 제2 흡입관을 막지 않아도 된다. 따라서, 세정시 제2 흡입관이 막히는 문제를 해결할 수 있다.
또한 본 고안에 따르면, 진공척을 회전할 수 있도록 하여, 그라인딩 작업이 보다 효율적으로 진행될 수 있다.
본 고안의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다.　 그러나 본 고안은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예를 본 고안의 개시가 완전하도록 하며, 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 고안의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 고안은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.　 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서 사용된 용어들은 실시예들을 설명하기 위한 것으로 본 고안 을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 본 명세서에서 사용되는 '포함한다', 및/또는, '포함하는', '갖는', '구비하는' 등의 표현은 언급된 구성 요소, 단계, 동작 및/또는 소자에 하나 이상의 다른 구성 요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
또한 본 명세서에서 '위', '상', '상부' 또는 '아래' 또는 '하부'로 지칭되는 것은 중간에 다른 구성요소를 개재한 경우를 포함한다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 '중첩'은 하부 구조물과 상부 구조물이 서로 공통된 중심을 갖고 겹쳐져 있는 형상을 나타내고, 하부 구조물과 상부 구조물 사이에 다른 구조물이 개재한 경우를 포함하며, 상부 구조물과 하부 구조물 중 어느 하나의 구조물은 다른 구조물에 완전히 겹쳐지는 것을 의미한다.　 또한 본 명세서에서 사용되는 용어에 대해 다른 정의가 없다면, 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어 포함)는 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다.
실시예 1
도 2는 본 고안의 제1 실시예에 의한 진공척에 대한 평면도이다. 도 3은 도 2의 진공척에 대한 개략적인 단면도이다.
도 2 및 3을 참조하면, 본 발명의 예시적인 제1 실시예에 의한 진공척(100)은 몸체(110), 제1 웨이퍼 지지부(120), 제2 웨이퍼 지지부(130), 제1 흡입관(140) 및 제2 흡입관(150)을 포함한다.
몸체(110)는 웨이퍼 지지판(111) 및 축(112)를 포함한다. 상기 웨이퍼 지지판(111) 및 축(112)는 일체로 형성될 수도 있으며, 별개로 형성되어 결합될 수도 있다.
상기 웨이퍼 지지판(111)은 원형인 웨이퍼의 형상에 따라, 원형의 플레이트 형상을 갖을 수 있다. 바람직하게, 상기 제1 흡입관(140) 및 제2 흡입관(150)이 형성될 수 있도록 충분한 두께를 갖는다.
상기 웨이퍼 지지판(111) 상부에는 상기 제1 웨이퍼 지지부(120) 및 제2 웨이퍼 지지부(130)가 형성된다. 상기 제1 웨이퍼 지지부(120) 및 제2 웨이퍼 지지부(130)는 폐곡선 형상을 갖는다.
상기 제1 웨이퍼 지지부(120)는 예컨대, 상기 웨이퍼 지지판(111)의 중심을 감싸는 가상의 제1 원을 따라서 상기 웨이퍼 지지판(111)으로부터 상부로 돌출된다. 바람직하게 상기 제1 웨이퍼 지지부(120)의 중심과 상기 웨이퍼 지지판(111)의 중심은 일치한다. 상기 제1 웨이퍼 지지부(120)에 둘러쌓여 제1 공간(A)이 정의된다.
상기 제2 웨이퍼 지지부(130)는 예컨대, 상기 제1 웨이퍼 지지부(120)를 감싸는 가상의 제2 원을 따라서 상기 웨이퍼 지지판(111)으로부터 상부로 돌출된다. 바람직하게 상기 제2 웨이퍼 지지부(130)의 중심과 상기 제1 웨이퍼 지지부(120)의 중심은 일치한다. 상기 제1 웨이퍼 지지부(120)의 외측과 상기 제2 웨이퍼 지지부 내측의 토러스 형상의 공간은 제2 공간(B)로 정의된다.
상기 웨이퍼 지지판(111)의 중심에 제3 웨이퍼 지지부(160)가 형성될 수 있 다. 이렇게 웨이퍼 지지판(111)의 중심에 제3 웨이퍼 지지부(160)를 형성하는 경우, 웨이퍼(W) 중심이 처지는 현상을 방지할 수 있다.
상기 제1 웨이퍼 지지부(120), 제2 웨이퍼 지지부(130) 및 제3 웨이퍼 지지부(160)는 상기 웨이퍼 지지판(111)과 일체형으로 형성될 수도 있고, 별개로 제작되어 상기 웨이퍼 지지판(111) 상부에 부착될 수도 있다.
평면적으로 관찰할 때, 상기 제1 웨이퍼 지지부(120)의 지름은 예컨대, 8인치 이하이고, 상기 제2 웨이퍼 지지부(130)의 지름은 예컨대, 8인치 이상, 12인치 이하를 갖는다. 상기 제1 웨이퍼 지지부(120)는 8인치 웨이퍼의 가장자리를 지지하며, 상기 제2 웨이퍼 지지부(130)는 12인치 웨이퍼의 가장자리를 지지한다.
상기 축(112)은 상기 웨이퍼 지지판(111)의 하부를 지지한다. 상기 축(112)은 바람직하게 상기 웨이퍼 지지판(111)의 중심에 연결된다. 상기 축(120)은 예컨대 원통형상을 갖을 수 있다.
상기 축(112)의 측면에는 각각 제1 흡입관(140) 및 제2 흡입관(150)과 연결된 제1 개구(141) 및 제2 개구(151)가 형성된다. 상기 제1 개구(141) 및 제2 개구(151)의 위치는 변경할 수 있음이 자명하다. 예컨대, 상기 제1 개구(141) 및 제2 개구(151)는 상기 축(112)의 하부에 형성될 수도 있다.
상기 제1 흡입관(140)은 상기 제1 공간(A)과 상기 제1 개구(141)를 연결하고, 상기 제2 흡입관(150)은 상기 제2 공간(B)과 상기 제2 개구(151)를 연결한다. 상기 제1 흡입관(140)과 제2 흡입관(150)은 서로 연결되지 않는다.
도 3에서 상기 몸체는 웨이퍼 지지판(111)과 축(112)을 포함하는 것으로 도 시되어 있으나, 상기 축(112)은 웨이퍼 지지판(111)의 높이를 위한 것으로, 생략될 수도 있다. 이 경우, 상기 축(112)의 측면에 형성된 제1 개구(141) 및 제2 개구(151)는 상기 웨이퍼 지지판(111) 하부에 형성된다.
상기 진공척(100)은 제1 진공펌프(210a) 및 제2 진공펌프(210b)를 더 포함한다. 상기 제1 진공펌프(210a)는 상기 제1 개구(141)와 연결되고, 상기 제2 진공펌프(210b)는 상기 제2 개구(151)와 연결된다.
이하, 상기 진공척(100)의 동작을 설명한다.
8인치 웨이퍼(도시안됨)가 상기 제1 웨이퍼 지지부(120) 위에 배치되면, 상기 제1 진공펌프(210a)가 동작한다. 상기 제1 진공펌프(210a)는 상기 제1 공간(A) 내부의 공기를 흡입하여, 제1 공간(A)을 진공으로 만든다. 따라서, 상기 8인치 웨이퍼가 고정된다.
12인치 웨이퍼(W)가 상기 제2 웨이퍼 지지부(130) 위에 배치되면, 상기 제2 진공펌프(210b)가 동작한다. 상기 제2 진공펌프(210b)는 상기 제2 공간(B) 내부의 공기를 흡입하여, 제2 공간(B)을 진공으로 만든다.
따라서, 상기 12인치 웨이퍼(W)가 고정된다. 이때, 상기 12인치 웨이퍼(W)의 고정을 강화시키기 위해서, 상기 제1 진공펌프(210a)가 동시에 동작할 수도 있다. 이경우, 12인치 웨이퍼(W)가 잘못 배치되어 상기 제2 웨이퍼 지지부(130)와 상기 12인치 웨이퍼(W) 틈새로 공기가 새어들어오는 경우에도 웨이퍼(W)가 고정될 수 있다.
또는 상기 제1 진공펌프(210a) 단독으로 동작할 수도 있다.
본 실시예에 의하면, 8인치 웨이퍼에 대한 사용시에도, 12인치 웨이퍼를 위한 제2 흡입관(150)을 막을 필요가 없어 이물질이 쌓이는 것을 방지할 수 있으며, 쌓인 이물질 또한 상기 제2 흡입관(150)을 블로잉(blowing)하여 용이하게 제거할 수 있다.
실시예 2
도 4는 본 고안의 제2 실시예에 의한 진공척에 대한 개략적인 단면도이다.
도 4를 참조하면, 도 4에서 도시된 본 고안의 제2 실시예에 의한 진공척(200)은 진공펌프(210) 및 진공펌프(210)와 상기 축(112)과의 연결관계를 제외하면 도 3에서 도시된 진공척(100)과 실질적으로 동일하다. 따라서, 동일 또는 유사한 구성요소는 동일한 참조부호를 병기하고, 더 이상의 설명은 생략한다.
본 고안의 제2 실시예에 의한 진공척(200)은 도 3에서 도시된 진공척(100)과는 달리 하나의 진공펌프(210)을 포함한다.
상기 진공펌프(210)는 제1 분지(411), 제2 분지(412) 및 제3 분지(413)를 갖는 파이프(410)를 통해서 상기 축(112)과 연결된다. 보다 상세하게 설명하면, 상기 제1 분지(411)는 상기 제1 개구(141)와 연결되고, 상기 제2 분지(412)는 상기 제2 개구(142)와 연결되며, 상기 제3 분지(413)는 상기 진공펌프(210)와 연결된다.
상기 제2 분지는 개폐부(420)를 포함한다.
이하, 상기 진공척(200)의 동작을 설명한다.
8인치 웨이퍼(도시안됨)가 상기 제1 웨이퍼 지지부(120) 위에 배치되면, 상기 개폐부(420)가 상기 제2 분지(412)를 차단하고, 상기 진공펌프(210)가 동작한 다. 상기 진공펌프(210)는 상기 제1 공간(A) 내부의 공기를 흡입하여, 제1 공간(A)을 진공으로 만든다. 따라서, 상기 8인치 웨이퍼가 고정된다.
12인치 웨이퍼(W)가 상기 제2 웨이퍼 지지부(130) 위에 배치되면, 상기 진공펌프(210)가 동작한다. 상기 진공펌프(210)는 상기 제1 공간(A) 및 상기 제2 공간(B) 내부의 공기를 흡입하여, 제1 공간(A) 및 제2 공간(B)을 진공으로 만든다. 따라서, 상기 12인치 웨이퍼(W)가 고정된다. 이경우, 12인치 웨이퍼(W)가 잘못 배치되어 상기 제2 웨이퍼 지지부(130)와 상기 12인치 웨이퍼(W) 틈새로 공기가 새어들어오는 경우에도 웨이퍼(W)가 고정될 수 있다. 한편, 개폐부(420)가 상기 제2 분지(412)를 차단한 상태에서, 상기 진공펌프(210)가 동작할 수도 있다.
도시되지는 않았으나, 상기 제1 분지에 또다른 개폐부를 설치할 수도 있음은 자명하다.
본 실시예에 의하면, 8인치 웨이퍼에 대한 사용시에도, 12인치 웨이퍼를 위한 제2 흡입관(150)을 막을 필요가 없어 이물질이 쌓이는 것을 방지할 수 있으며, 쌓인 이물질 또한 상기 제2 흡입관(150)을 블로잉(blowing)하여 용이하게 제거할 수 있다. 또한 도 3의 실시예에 비해서 진공펌프의 갯수를 줄일 수 있다.
실시예 3
도 5는 본 고안의 제3 실시예에 의한 진공척에 대한 개략적인 단면도이다.
도 5에서 도시된 진공척은 웨이퍼 표면을 매끈하게 그라인딩하는 웨이퍼 그라인더에 적용하기 위한 진공척으로서, 진공척 자체가 웨이퍼를 고정한 상태에서 회전 가능하도록 고안된 것이다.
도 5를 참조하면, 도 5에서 도시된 본 고안의 제2 실시예에 의한 진공척(300)은 진공 실린더(170) 및 진공펌프(210)를 제외하면 도 3에서 도시된 진공척(100)과 실질적으로 동일하다. 따라서, 동일 또는 유사한 구성요소는 동일한 참조부호를 병기하고, 더 이상의 설명은 생략한다.
본 실시예에 의한 진공척(300)은 상기 축을 감싸는 진공실린더(170)을 포함한다. 상기 진공실린더(170)는 상기 제1 및 제2 개구(141, 151)가 내부에 배치되도록 상기 축(112)을 감싼다.
상기 진공실린더(170)와 상기 축(112)는 베어링(190)에 의해서 연결된다. 따라서, 베어링(190)의 외측은 상기 진공실린더(170)에 연결되어 고정되고, 상기 베어링(190)의 내측은 상기 축(112)에 고정된다.
상기 진공실린더(170)의 내부에서 상기 축(112)의 측부에는 개폐부(200)가 설치되어 상기 제2 개구(151)를 개폐할 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 진공실린더(170)의 외부로 상기 제1 개구(141) 및 제2 개구(151)을 연결하는 관이 별도로 설치되어 상기 제2 개구(151)에 연결되는 관에 개폐부가 설치될 수도 있다.
상기 진공실린더(170)는 진공펌프(210)에 연결되고, 상기 축(112)의 단부는 모터(180)에 연결되어 모터(180)가 동작하면, 축(112)이 회전하여 상기 웨이퍼 지지판(111)이 회전한다.
또는 도 4에서 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 개구(141, 151)가 Y 자 형태와 같이 하나의 파이프(410)에 연결되고, 제2 분지에 개폐부(420)를 포함할 수도 있다. 또는 제1 및 제2 개구(141, 151)가 별도의 파이프 및 별도의 진공펌프에 연결 될 수도 있다. 이때, 진공척(300), 파이프 및 진공펌프를 같이 회전시킬 수도 있고, 실링을 통해서 진공척(300) 만을 회전시킬 수도 있다.
이하, 상기 진공척(300)의 동작을 설명한다.
8인치 웨이퍼(도시안됨)가 상기 제1 웨이퍼 지지부(120) 위에 배치되면, 상기 개폐부(200)가 상기 제2 개구(151)를 차단하고, 상기 진공펌프(210)가 동작한다. 상기 진공펌프(210)는 상기 진공실린더(170) 내부 및 상기 제1 공간(A) 내부의 공기를 흡입하여, 제1 공간(A)을 진공으로 만든다. 따라서, 상기 8인치 웨이퍼가 고정된다.
12인치 웨이퍼(W)가 상기 제2 웨이퍼 지지부(130) 위에 배치되면, 상기 진공펌프(210)가 동작한다. 상기 진공펌프(210)는 상기 진공실린더(170) 내부, 상기 제1 공간(A) 및 상기 제2 공간(B) 내부의 공기를 흡입하여, 상기 진공실린더(170) 내부, 제1 공간(A) 및 제2 공간(B)을 진공으로 만든다. 따라서, 상기 12인치 웨이퍼(W)가 고정된다. 이경우, 12인치 웨이퍼(W)가 잘못 배치되어 상기 제2 웨이퍼 지지부(130)와 상기 12인치 웨이퍼(W) 틈새로 공기가 새어들어오는 경우에도 웨이퍼(W)가 고정될 수 있다. 한편, 개폐부(200)가 상기 제2 개구(151)를 차단한 상태에서, 상기 진공펌프(210)가 동작할 수도 있다.
도시되지는 않았으나, 상기 제1 개구(141)에 또다른 개폐부를 설치할 수도 있음은 자명하다.
이러한 동작들은 상기 모터(180)가 회전하면서 진행될 수 있다. 이와같이 모터(180)가 회전하면, 웨이퍼(W)가 상기 제1 및 제2 웨이퍼 지지부(120, 130)에 고정된 채, 회전한다. 웨이퍼 상부의 그라인더(도시안됨)가 내려와 상기 웨이퍼(W) 표면에 접촉한 상태에서, 상기 진공척(300)이 회전하여 웨이퍼(W) 표면이 그라인드된다.
이때, 그라인더(도시안됨)는 고정되어 있을 수도 있고, 상기 진공척(300)의 회전방향과 반대방향으로 회전할 수도 있다.
본 실시예에 의하면, 8인치 웨이퍼에 대한 사용시에도, 12인치 웨이퍼를 위한 제2 흡입관(150)을 막을 필요가 없어 이물질이 쌓이는 것을 방지할 수 있으며, 쌓인 이물질 또한 상기 제2 흡입관(150)을 블로잉(blowing)하여 용이하게 제거할 수 있다. 또한 도 3의 실시예에 비해서 진공펌프의 갯수를 줄일 수 있다. 또한, 웨이퍼 그라인더와 같이, 진공척의 회전이 필요한 반도체 제조장치에 적용될 수도 있다.
도 1은 종래 진공척에 대한 개략적인 단면도이다.
도 2는 본 고안의 제1 실시예에 의한 진공척에 대한 평면도이다.
도 3은 도 2의 진공척에 대한 개략적인 단면도이다.
도 4는 본 고안의 제2 실시예에 의한 진공척에 대한 개략적인 단면도이다.
도 5는 본 고안의 제3 실시예에 의한 진공척에 대한 개략적인 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명>
100, 200, 300: 진공척 110: 몸체
111: 웨이퍼 지지판 112: 축
120: 제1 웨이퍼 지지부 130: 제2 웨이퍼 지지부
140: 제1 흡입관 141: 제1 개구
142: 제2 개구 150: 제2 흡입관
160: 제3 웨이퍼 지지부 170: 진공 실린더
180: 모터 190: 베어링
200: 개폐부 210: 진공펌프

Claims (12)

  1. 몸체;
    상기 몸체 상부에, 제1 폐곡선을 따라 돌출되어 상기 제1 폐곡선 내부에 제1 공간을 정의하는 제1 웨이퍼 지지부;
    상기 몸체 상부에, 상기 제1 폐곡선 둘레를 감싸는 제2 폐곡선을 따라 돌출되어 상기 제1 페곡선과 상기 제2 폐곡선 사이에 제2 공간을 정의하는 제2 웨이퍼 지지부;
    상기 몸체 내부에 형성되고, 상기 제1 공간과 연결되어 상기 제1 공간에 진공을 형성하기 위한 제1 흡입관; 및
    상기 제1 흡입관과 연결되지 않도록 상기 몸체 내부에 형성되고, 상기 제2 공간과 연결되어 상기 제2 공간에 진공을 형성하기 위한 제2 흡입관을 포함하는 진공척.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 몸체는
    제1 면과 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 포함하고, 상기 제1 면에 상기 제1 웨이퍼 지지부 및 제2 웨이퍼 지지부가 형성된 플레이트 형상의 웨이퍼 지지판; 및
    상기 제2 면의 중심에서 아래 방향으로 돌출한 원통형의 축을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척.
  3. 제2 항에 있어서, 상기 웨이퍼 지지판의 상기 제1 면의 중앙에 형성된 제3 웨이퍼 지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척.
  4. 제2 항에 있어서, 상기 제1 흡입관 및 제2 흡입관은 상기 웨이퍼 지지판을 통과하여 상기 축의 측면에 형성된 제1 개구 및 제2 개구와 각각 연결된 것을 특징으로 하는 진공척.
  5. 제4 항에 있어서, 상기 제1 개구 및 제2 개구와 각각 연결된 제1 진공펌프 및 제2 진공펌프를 더 포함하는 진공척.
  6. 제4 항에 있어서, 상기 제1 개구 및 제2 개구와 연결된 진공펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척.
  7. 제6 항에 있어서, 제1 분지, 제2 분지 및 제3 분지를 갖는 Y자 형상의 파이프를 더 포함하고, 상기 제1 분지는 상기 제1 개구에, 제2 분지는 상기 제2 개구에, 제3 분지는 상기 진공펌프에 연결된 것을 특징으로 하는 진공척.
  8. 제7 항에 있어서, 상기 제2 분지에 연결된 개폐부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척.
  9. 제4 항에 있어서, 상기 제1 개구 및 제2 개구가 내측에 형성되도록 상기 축을 감싸는 진공 실린더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척.
  10. 제1 항에 있어서, 상기 제1 폐곡선 및 제2 폐곡선은 원형인 것을 특징으로 하는 진공척.
  11. 상기 제1 항에 있어서, 상기 제1 폐곡선 및 제2 폐곡선은 원형이며, 상기 제1 폐곡선의 지름은 8인치보다 작고, 상기 제2 폐곡선의 지름은 8인치 내지 12인치의 범위인 것을 특징으로 하는 진공척.
  12. 제1 항에 있어서, 상기 제2 흡입관을 개폐하기 위한 개폐부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척.
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