KR20080102985A - Dust-removal device - Google Patents

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KR20080102985A
KR20080102985A KR1020080046568A KR20080046568A KR20080102985A KR 20080102985 A KR20080102985 A KR 20080102985A KR 1020080046568 A KR1020080046568 A KR 1020080046568A KR 20080046568 A KR20080046568 A KR 20080046568A KR 20080102985 A KR20080102985 A KR 20080102985A
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adhesive roll
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KR1020080046568A
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가쓰오 고마쓰
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가부시키가이샤 레이욘 고교
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B11/00Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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    • B08B7/0028Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by adhesive surfaces

Abstract

A dust removing device is provided to prevent damage to parts or abnormal wear despite load over normal standard is exerted on an adhesive roll. A dust removing device comprises an adhesive rubber roller(4), contacting with each other with the surface of the flat board type material and adsorbing the dust; a drive motor(29) rotating the adhesive rubber roller; and a transfer mechanism(9) delivering the power of the drive motor to the adhesive rubber roller. The transfer mechanism comprises a drive side magnetic member(37) connected to the drive motor, formed like about disc type; and a follower side magnetic member(38) facing to the drive side magnetic member at regular interval, formed like about disc type of which diameter is smaller than that of the drive side magnetic member.

Description

제진장치{DUST-REMOVAL DEVICE}Vibration damper {DUST-REMOVAL DEVICE}

본 발명은 평판형 부재의 표면에 부착된 먼지를 제거하는 제진장치(除塵裝置)에 관한 것이다.The present invention relates to a vibration suppression apparatus for removing dust adhering to the surface of a flat member.

종래로부터, 전자부품이 실장(實裝)되는 프린트 기판과 액정 패널(液晶 panel) 등의 각종 기판, 또는 기판의 원재료로 되는 시트형 부재 등의 평판형 부재의 표면에 부착된 먼지를 제거하는 제진장치가 알려지고 있다(예를 들면, 특허 문헌 1을 참조).Conventionally, a vibration damping apparatus for removing dust adhering to the surface of various types of substrates such as printed boards and liquid crystal panels on which electronic components are mounted, or flat members such as sheet-like members made of raw materials of the substrates. Is known (see Patent Document 1, for example).

이 특허 문헌 1에 기재된 제진장치는, 평판형 부재의 상면에 맞닿아 상면에 부착된 먼지를 흡착하는 점착롤과, 평판형 부재의 하면에 맞닿아 하면에 부착된 먼지를 흡착하는 점착롤과, 2개의 점착롤을 회전구동하는 모터를 구비하고 있으며, 평판형 부재를 반송하면서 먼지 제거를 진행하고 있다. 또, 특허문헌 1에 기재된 제진장치에서는, 복수의 톱니바퀴(齒車)가 조합되어 구성된 기어(gear) 집합체를 통하여 구동모터의 동력이 점착롤에 전달되고 있다.The vibration damping device described in Patent Document 1 includes an adhesive roll for adsorbing dust adhering to the upper surface of the flat plate member, an adhesive roll for adsorbing dust adhering to the lower surface of the flat member; A motor for rotating two adhesive rolls is provided, and dust is removed while conveying a flat member. Moreover, in the vibration damping apparatus of patent document 1, the power of a drive motor is transmitted to the adhesion roll through the gear assembly comprised by combining the several gear.

특허 문헌 1: 일본특허공개 2004-17008호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-17008

특허 문헌 1에 기재된 제진장치에서는, 복수의 톱니바퀴가 조합되어 구성된 기어 집합체를 통하여 구동모터의 동력이 점착롤에 전달되고 있다. 따라서, 톱니바퀴의 맞물림 부분으로부터 먼지가 발생할 우려가 있다. 또, 먼지의 제거를 진행하고 있을 때, 점착롤 등에 상정(想定) 외의 부하(負荷)가 걸려 점착롤이 로크(lock)된 상태로 되면, 모터로부터 기어 집합체 등에 과부하가 전달되어 기어 집합체를 구성하는 톱니바퀴 등의 부품의 손상 혹은 이상마모(異常磨耗) 등의 좋지 않은 상태가 발생할 우려가 있다. 따라서, 장치가 장시간 정지하거나, 부품의 교환빈도가 높아지는 문제가 발생할 우려가 있다.In the damping apparatus described in Patent Document 1, the power of the drive motor is transmitted to the pressure-sensitive adhesive roll through a gear assembly formed by combining a plurality of gears. Therefore, there exists a possibility that dust may generate | occur | produce from the engagement part of a gear. When the dust is being removed, if a load other than the assumed load is applied to the adhesive roll and the adhesive roll is locked, an overload is transmitted from the motor to the gear assembly or the like to form a gear assembly. There is a possibility that an unfavorable condition such as damage or abnormal wear of parts such as gears may occur. Therefore, there exists a possibility that a problem may arise that an apparatus stops for a long time or the frequency of replacement of parts becomes high.

여기서, 본 발명의 과제는 먼지의 발생을 억제하는 동시에, 점착롤 등에 상정 외의 부하가 걸리는 사태가 발생하여도 부품의 손상 혹은 이상마모 등을 방지하는 것이 가능한 제진장치를 제공하는 것이다.    An object of the present invention is to provide a vibration suppression apparatus capable of suppressing the occurrence of dust and preventing damage to the parts or abnormal wear even when an unexpected load is applied to the adhesive roll or the like.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 평판형 부재를 반송하면서 평판형 부재의 표면에 부착된 먼지를 제거하는 제진장치는, 평판형 부재의 표면에 맞닿아 먼지를 흡착하는 점착롤과, 점착롤을 회전구동하는 구동모터와, 구동모터의 동력을 점착롤에 전달하는 전달기구를 포함하고 있으며, 전달기구는 원판형으로 형성되고 구동모터에 연결되는 구동측 자기부재와, 구동측 자기부재보다 직경이 작은 원판형으로 형성되고 소정 간격을 두고 구동측 자기부재와 대향하는 종동측 자기부재를 포함하고, 구동측 자기부재는 구동측 자기부재의 회전중심을 중심으로 하여 원판형 혹은 원환형으로 형성된 구동측 착자부(着磁部)를 포함하고, 종동측 자기부재는 종동측 자기부재의 회전중심을 중심으로 하여 구동측 착자부보다 직경이 작은 원판형 혹은 원환형으로 형성된 종동측 착자부를 포함하고 있으며, 구동측 자기부재와 종동측 자기부재는, 구동측 자기부재와 종동측 자기부재의 대향방향(對向方向)으로부터 볼 때 구동측 착자부와 종동측 착자부가 겹치도록 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the said subject, the vibration damping apparatus which removes the dust adhering to the surface of a flat board member while conveying the flat board member of this invention is an adhesive roll which abuts on the surface of a flat board member, and adsorbs dust, and an adhesive roll. It includes a drive motor for rotating the drive, and a transmission mechanism for transmitting the power of the drive motor to the adhesive roll, the transmission mechanism is formed in a disc shape and connected to the drive motor and the drive side magnetic member, the diameter of the drive side magnetic member It is formed in the shape of a small disk and includes a driven magnetic member facing the driving side magnetic member at predetermined intervals, wherein the driving side magnetic member is formed in a circular or annular shape centering on the rotational center of the driving side magnetic member. A disk or circle having a smaller side diameter than the driving side magnetizing member, including a side magnetizing part, and a driven magnetic member having a center of rotation of the driven magnetic member. And a driven side magnetizing member formed in a shape, wherein the driving side magnetic member and the driven magnetic member are driven from the driving side magnetizing member and the driven side as viewed from the opposing direction of the driving magnetic member and the driven magnetic member. It is characterized by the magnetizing part being arrange | positioned so that it may overlap.

본 발명의 제진장치에서, 구동모터의 동력을 점착롤에 전달하는 전달기구는, 원판형으로 형성되고 구동모터에 연결되는 구동측 자기부재와, 구동측 자기부재보다 직경이 작은 원판형으로 형성되고 소정 간격을 두고(소정 틈을 통하여) 구동측 자기부재와 대향하는 종동측 자기부재를 포함하고 있다. 즉, 본 발명의 전달기구에는 먼지의 발생원인으로 될 수 있는 톱니바퀴의 맞물림 부분 등이 존재하지 않는다. 따라서, 본 발명에서는 먼지의 발생을 억제할 수 있다.In the vibration suppression apparatus of the present invention, the transmission mechanism for transmitting the power of the drive motor to the pressure-sensitive adhesive roll is formed in a disc shape and a drive side magnetic member connected to the drive motor, and a disc shape smaller in diameter than the drive side magnetic member. A driven side magnetic member facing the drive side magnetic member at predetermined intervals (via a predetermined gap) is included. That is, in the transmission mechanism of the present invention, there is no engagement portion of the cog wheel or the like that may cause dust. Therefore, in this invention, generation | occurrence | production of dust can be suppressed.

또한, 본 발명에서는 소정 틈을 통하여 대향하는 구동측 자기부재와 종동측 자 기부재를 통해 전달기구가 구성되어 있기 때문에, 점착롤 등에 상정 외의 부하가 걸리는 사태가 발생하면, 구동측 자기부재와 종동측 자기부재의 사이에는 미끄러짐이 생긴다. 따라서, 제진장치를 구성하는 부품의 손상과 이상마모 등을 방지할 수 있다. 또, 점착롤 등에 상정 외의 부하가 걸리는 사태가 발생하여도, 반송중의 평판형 부재의 손상을 방지할 수 있다.In addition, in the present invention, since the transmission mechanism is constituted by the driving magnetic member and the driven magnetic member facing each other through the predetermined gap, when an unexpected load is applied to the adhesive roll or the like, the driving magnetic member and the longitudinal Slip occurs between the ipsilateral magnetic members. Therefore, damage to the parts constituting the vibration damping apparatus, abnormal wear, and the like can be prevented. Moreover, even if the situation which loads other than assumed by the adhesive roll etc. generate | occur | produces, the damage of the flat plate member in conveyance can be prevented.

또한, 본 발명에서는 대략 원판형의 구동측 자기부재와 종동측 자기부재가 소정 틈을 통하여 대향 배치되어 있다. 따러서, 원통형으로 형성된 구동측 자기부재와 종동측 자기부재를 직경방향에서 대향시켜 사용하는 경우와 비교하여, 구동모터로부터 점착롤에 충분한 구동력을 전달할 수 있다.In the present invention, the substantially disk-shaped drive side magnetic member and the driven side magnetic member are arranged to face each other through a predetermined gap. Therefore, a sufficient driving force can be transmitted from the driving motor to the pressure-sensitive adhesive roll as compared with the case where the drive-side magnetic member and the driven-side magnetic member formed in a cylindrical shape are opposed to each other in the radial direction.

본 발명에 있어서, 제진장치는 점착롤로서 평판형 부재의 일방의 표면에 맞닿는 제1 점착롤과, 평판형 부재의 타방의 표면에 맞닿는 제2 점착롤을 포함하고, 종동측 자기부재로서 제1 점착롤에 연결되는 제1 종동측 자기부재와, 제2 점착롤에 연결되는 제2 종동측 자기부재를 포함하고, 제1 종동측 자기부재는 종동측 착자부로서 제1 종동측 착자부를 포함하고, 제2 종동측 자기부재는 종동측 착자부로서 제2 종동측 착자부를 포함하며, 제1 종동측 자기부재는 제1 종동측 착자부가 구동측 착자부의 직경방향 외측으로부터 구동측 착자부에 겹치도록 배치되고, 제2 종동측 자기부재는 제2 종동측 착자부가 구동측 착자부의 직경방향 내측으로부터 구동측 착자부에 겹치도록 배치되어 있는 것이 좋다.In the present invention, the vibration damping apparatus includes a first adhesive roll that abuts on one surface of the plate-like member as an adhesive roll, and a second adhesive roll that abuts on the other surface of the plate-shaped member, and includes a first magnetic member as the driven magnetic member. A first driven magnetic member connected to the adhesive roll, and a second driven magnetic member connected to the second adhesive roll, wherein the first driven magnetic member includes a first driven magnetized portion as the driven magnetized portion The second driven magnetic member includes a second driven magnetized portion as the driven magnetized portion, and the first driven magnetic member includes a first driven magnetized portion driven from the radially outer side of the driven magnetized portion. It is arrange | positioned so that it may overlap with a magnetic part, and it is good that the 2nd driven side magnetic member is arrange | positioned so that a 2nd driven side magnetizing part may overlap with a driving side magnetizing part from the radial inside of a driving side magnetizing part.

이렇게 구성하면, 제1 종동측 자기부재와 제2 종동측 자기부재를 다른 방향으로 회전시킬 수 있다. 따라서, 평판형 부재의 표면의 제진을 진행할 때, 1개의 구동측 자기부재를 통하여 평판형 부재의 일방의 표면에 맞닿는 제1 점착롤과 평판형 부재의 타방의 표면에 맞닿는 제2 점착롤을 적당하게 회전시킬 수 있다.In this configuration, the first driven magnetic member and the second driven magnetic member can be rotated in different directions. Therefore, when advancing the surface of the flat member, the first adhesive roll which abuts on one surface of the flat member and the second adhesive roll which abuts on the other surface of the flat member are suitable through one driving side magnetic member. Can be rotated.

본 발명에 있어서, 제진장치는 2개의 제1 점착롤과 2개의 제2 점착롤을 포함하는 동시에, 각각 제1 점착롤에 연결되는 2개의 제1 종동측 자기부재와 각각 제2 점착롤에 연결되는 2개의 제2 종동측 자기부재를 포함하고, 2개의 제1 종동측 자기 부재 및 2개의 제2 종동측 자기부재는 1개의 구동측 자기부재에 대향하여 있는 것 이 좋다. 이렇게 구성하면, 4개의 점착롤을 1개의 구동모터를 통하여 구동할 수 있기 때문에, 제진장치의 구성을 간소화할 수 있다.In the present invention, the vibration suppression apparatus includes two first adhesive rolls and two second adhesive rolls, and is connected to two first driven magnetic members and second adhesive rolls respectively connected to the first adhesive rolls. It is preferable to include two second driven magnetic members, and the two first driven magnetic members and the two second driven magnetic members are opposed to the one driving side magnetic member. In such a configuration, since the four pressure-sensitive adhesive rolls can be driven through one driving motor, the configuration of the vibration damper can be simplified.

본 발명에 있어서, 구동측 자기부재는 점착롤의 회전축에 고정되는 동시에, 제 진장치는 점착롤을 점착롤의 회전축의 축방향에 직교하는 방향으로 안내하는 리니어 부쉬(linear bush)를 포함하는 것이 좋다. 이렇게 구성하면, 종동측 자기부재와 구동측 자기부재의 사이에 자기적인 흡인력이 발생하고 있는 상황에서 평판형 부재의 표면에 부착된 먼지를 제거할 때, 혹은 점착롤의 유지보수(maintenance) 등을 진행할 때, 점착롤을 점착롤의 회전축의 축방향에 직교하는 방향으로 이동시키는 경우에도, 점착롤의 이동저항을 경감하여 점착롤을 원활하게 이동시킬 수 있다.In the present invention, the drive-side magnetic member is fixed to the rotary shaft of the adhesive roll, and the vibration damping device includes a linear bush for guiding the adhesive roll in a direction orthogonal to the axial direction of the rotary shaft of the adhesive roll. good. In such a configuration, when the dust attached to the surface of the flat member is removed in a situation where a magnetic attraction force is generated between the driven magnetic member and the driving magnetic member, or maintenance of the adhesive roll is performed. When advancing, even if it moves a sticking roll in the direction orthogonal to the axial direction of the rotating shaft of a sticking roll, the sticking roll can be smoothly moved by reducing the movement resistance of the sticking roll.

본 발명에 있어서, 제진장치는 구동측 자기부재와 종동측 자기부재의 간격을 조 정하기 위한 간격조정기구를 포함하는 것이 좋다. 이렇게 구성하면, 구동측 자기부 재로부터 종동측 자기부재에 전달이 가능한 동력(토크)을 필요에 따라 조정할 수 있다.In the present invention, the vibration isolator preferably comprises a gap adjusting mechanism for adjusting the gap between the driving magnetic member and the driven magnetic member. With this arrangement, the power (torque) which can be transmitted from the driving side magnetic member to the driven magnetic member can be adjusted as necessary.

본 발명에 있어서, 제진장치는 구동모터 및 구동측 자기부재가 설치되는 고정 프레임과, 점착롤 및 종동측 자기부재가 설치되는 동시에 고정 프레임에 대하여 출납이 가능한 가동 프레임과, 고정 프레임과 가동 프레임의 사이에 배치되는 충격흡수기구를 포함하는 것이 좋다. 이렇게 구성하면, 예를 들면, 점착롤의 유지보수를 진해하기 위하여 고정 프레임으로부터 인출된 가동 프레임을 다시 고정 프레임내부에 밀어 넣을 경우에 증가하는 구동측 자기부재와 종동측 자기부재 사이의 자기 흡인력 및 가동 프레임측에 발생되는 운동에너지를 흡수 감쇠시킬 수 있다.In the present invention, the vibration isolator comprises a fixed frame on which the drive motor and the drive side magnetic member are installed, a movable frame capable of putting in and out of the fixed frame at the same time that the adhesive roll and the driven magnetic member are installed, and the fixed frame and the movable frame. It is good to include a shock absorbing device disposed between. With this arrangement, for example, the magnetic attraction force between the driving magnetic member and the driven magnetic member increases when the movable frame drawn out from the fixing frame is pushed back into the fixing frame in order to increase the maintenance of the adhesive roll. The kinetic energy generated on the movable frame side can be absorbed and attenuated.

이상과 같이, 본 발명의 제진장치는 먼지의 발생을 억제하는 동시에, 점착롤 등에 상정 외의 부하가 걸리는 사태가 발생하여도 부품의 손상 혹은 이상마모 등을 방지할 수 있다.As described above, the vibration suppression apparatus of the present invention can suppress the generation of dust and prevent damage to the parts or abnormal wear even when a situation in which an unexpected load is applied to the adhesive roll or the like occurs.

이하, 도면에 의거하여 본 발명의 실시형태에 대하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described based on drawing.

(제진장치의 개략구성) (Schematic Configuration of Vibration Control Device)

도 1은 본 발명의 실시형태에 관계되는 제진장치(1)의 개략구성을 정면으로부터 설명하기 위한 도면이다. 도 2는 도 1의 E-E단면의 개략구성을 설명하기 위한 도면이다. 또, 이하의 설명에서는 도 1의 왼쪽을 “좌측”, 도 1의 오른쪽을 “우측”, 도 1의 위쪽을 “상측”, 도 1의 아래쪽을 “하측”, 도 1의 지면 앞쪽을 “앞측”, 도 1의 지면 안쪽을 “뒤측”으로 한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure for demonstrating the schematic structure of the damping apparatus 1 which concerns on embodiment of this invention from the front. 2 is a view for explaining a schematic configuration of the E-E cross section of FIG. In the following description, the left side of FIG. 1 is "left", the right side of FIG. 1 is "right", the upper part of FIG. 1 is "upper", the lower part of FIG. 1 is "lower", and the front of the ground of FIG. ", The inside of the paper of FIG. 1 shall be" rear side ".

본 형태의 제진장치(1)는, 전자부품이 실장되는 프린트 기판과 액정 패널 등 의 각종 기판, 혹은 기판의 원재료로 되는 시트형 부재 등의 평판형 부재(2)의 표면에 부착된 먼지를 제거하기 위한 장치이다. 구체적으로는, 제진장치(1)는 평판형 부재(2)를 우측으로부터 좌측에 향하여 반송하면서 평판형 부재(2)의 표면에 부착된 먼지를 제거하기 위한 장치이다.The vibration suppression apparatus 1 of this embodiment removes the dust adhering to the surface of the flat board member 2, such as the printed circuit board on which an electronic component is mounted, various board | substrates, such as a liquid crystal panel, or sheet-like member which becomes a raw material of a board | substrate. It is a device for. Specifically, the vibration damping apparatus 1 is an apparatus for removing the dust adhering to the surface of the flat plate member 2, conveying the flat plate member 2 from the right side to the left side.

이 제진장치(1)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 평판형 부재(2)의 상면에 맞닿아 먼지를 흡착하는 4개의 제1 점착롤(4)과, 평판형 부재(2)의 하면에 맞닿아 먼지를 흡착하는 4개의 제2 점착롤(5)과, 점착 테이프가 감기는 동시에 2개의 제1 점착롤(4)에 맞닿아 제1 점착롤(4)에 부착된 먼지를 제거하는 2개의 제1 점착 테이프롤(6)과, 점착 테이프가 감기는 동시에 2개의 제2 점착롤(5)에 맞닿아 제2 점착롤(5)에 부착된 먼지를 제거하는 2개의 제2 점착 테이프롤(7)과, 평판형 부재(2)를 반송하는 복수의 반송롤(8)과, 제1 점착롤(4) 및 제2 점착롤(5) 등을 회전구동하기 위한 회전구동 전달기구부(9)를 포함하고 있다. 본 형태의 제진장치(1)에서는, 평판형 부재(2)의 상하 양면의 먼지 제거가 진행된다. 또, 이하에서는 제1 점착롤(4) 및 제2 점착롤(5)을 합쳐 표시할 경우에는 점착롤(4,5)로 표기한다.As shown in FIGS. 1 and 2, the vibration damping apparatus 1 includes four first adhesive rolls 4 which contact the upper surface of the flat member 2 and adsorb dust, and the flat member 2. Four second adhesive rolls 5 adhering to the lower surface of the substrate and adsorbing the dust, and the adhesive tape is wound and the two first adhesive rolls 4 are in contact with each other. Two first adhesive tape rolls 6 to be removed and two second adhesive tapes to be wound together and two second adhesive rolls 5 to remove dust adhered to the second adhesive roll 5 at the same time. Rotation drive transmission for rotationally driving the adhesive tape roll 7, the plurality of conveying rolls 8 for conveying the flat plate member 2, the first adhesive roll 4, the second adhesive roll 5, and the like. The mechanism part 9 is included. In the damping apparatus 1 of this embodiment, dust removal of the upper and lower surfaces of the flat member 2 advances. In addition, below, when displaying together the 1st adhesive roll 4 and the 2nd adhesive roll 5, it expresses with the adhesive rolls 4 and 5. FIG.

또한, 제진장치(1)는 제1 점착롤(4)이 외주면에 고정된 회전축(11)과, 회전축 (11)의 단부측을 회전 가능하게 지지하는 베어링 블록(12)(도 2를 참조)과, 제2 점착롤(5)이 외주면에 고정된 회전축(13)과, 회전축(13)의 단부 측을 회전 가능하게 지지하는 베어링 블록(14)(도 2를 참조)과, 제1 점착 테이프롤(6)이 외주면에 고정된 회전축(15)과, 회전축(15)의 단부를 회전 가능하게 지지하는 베어링 블록(16)과, 제2 점착 테이프롤(7)이 외주면에 고정된 회전축(17)과, 회전축 (17)의 단부를 회전 가능하게 지지하는 베어링 블록(18)과, 반송롤(8)이 외주면에 고정된 회전축(19)과, 제1 점착 테이프롤(6)을 상하방향으로 이동시키는 에어 실린더(air cylinder)(21)와, 제2 점착 테이프롤(7)을 상하방향으로 이동시키는 에어 실린더(22)와, 전후방향의 양면 측에 배치되는 본체 프레임(23)과, 본체 프레임(23)에 대하여 출납 가능한 가동 프레임(24)을 포함하고 있다.In addition, the vibration damping apparatus 1 has the rotating shaft 11 to which the 1st adhesion roll 4 was fixed to the outer peripheral surface, and the bearing block 12 which rotatably supports the end side of the rotating shaft 11 (refer FIG. 2). And a rotating shaft 13 on which the second adhesive roll 5 is fixed to the outer circumferential surface, a bearing block 14 (see FIG. 2) rotatably supporting the end side of the rotating shaft 13, and a first adhesive tape. The rotating shaft 15 with the roll 6 fixed to the outer circumferential surface, the bearing block 16 for rotatably supporting the end of the rotating shaft 15, and the rotating shaft 17 with the second adhesive tape roll 7 fixed to the outer circumferential surface. ), The bearing block 18 for rotatably supporting the end of the rotating shaft 17, the rotating shaft 19 on which the conveying roll 8 is fixed to the outer circumferential surface, and the first adhesive tape roll 6 in the vertical direction. An air cylinder 21 for moving, an air cylinder 22 for moving the second adhesive tape roll 7 in the vertical direction, a main body frame 23 disposed on both sides in the front and rear directions, With respect to the body frame 23 it includes a cashier movable frame 24.

점착롤(4,5)은 표면에 점착력이 있는 실리콘(silicon) 고무 등의 고무 부재를 통하여 형성되었다. 제1 점착롤(4)과 제2 점착롤(5)은 상하방향에서 대향하여 배치되어 있으며, 평판형 부재(2)가 제1 점착롤(4)과 제2 점착롤(5)의 사이를 통과하도록 구성되어 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 형태에서는 4개의 제1 점착롤(4)이 소정 간격을 둔 상태에서 좌우방향에서 인접하게 배치되어 있다. 마찬가지로, 4개의 제2 점착롤(5)이 좌우방향에서 소정 간격을 둔 상태에서 인접하게 배치되어 있다.The adhesive rolls 4 and 5 were formed through rubber members, such as silicone rubber, which is adhesive on the surface. The first adhesive roll 4 and the second adhesive roll 5 are disposed to face each other in the vertical direction, and the flat member 2 is disposed between the first adhesive roll 4 and the second adhesive roll 5. It is configured to pass through. As shown in FIG. 1, in this embodiment, the four first adhesive rolls 4 are arranged adjacent to each other in the left and right directions at predetermined intervals. Similarly, four 2nd adhesion rolls 5 are arrange | positioned adjacently at the predetermined space | interval in the left-right direction.

제1 점착롤(4)의 회전축(11)을 지지하는 베어링 블록(12) 및 제2 점착롤(5)의 회전축(13)을 지지하는 베어링 블록(14)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 전후방향의 양면측 에 배치되어 있다. 베어링 블록(14)은 가동 프레임(24)에 고정되어 있다. 베어링 블록(12)은 도 2에 도시된 바와 같이, 압축 코일스프링(25)을 통하여 베어링 블록(14)에 연결되어 있다. 또, 베어링 블록(12)은 후술할 리니어 가이드(linear guide)(36)에 안내되어 상하방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 베어링 블록(12)의 상세한 구성에 대해서는 후술한다.The bearing block 12 supporting the rotating shaft 11 of the first adhesive roll 4 and the bearing block 14 supporting the rotating shaft 13 of the second adhesive roll 5 are as shown in FIG. 2. It is arranged on both sides of the front and rear direction. The bearing block 14 is fixed to the movable frame 24. The bearing block 12 is connected to the bearing block 14 via a compression coil spring 25, as shown in FIG. Moreover, the bearing block 12 is guided by the linear guide 36 mentioned later, and can move to an up-down direction. The detailed structure of the bearing block 12 is mentioned later.

제1 점착 테이프롤(6) 및 제2 점착 테이프롤(7)에는 점착 테이프의 점착면이 표면 측을 향하도록 점착 테이프가 감겨 있다. 제1 점착 테이프롤(6) 및 제2 점착 테이프롤(7)은 각각 제1 점착롤(4), 제2 점착롤(5)에 맞닿아 제1 점착롤(4), 제2 점착롤(5)에 부착된 먼지를 제거하도록 구성되어 있으며, 제1 점착 테이프롤(6) 및 제2 점착 테이프롤(7)의 점착력이 저하하면, 점착 테이프가 순차적으로 벗겨진다.The adhesive tape is wound around the 1st adhesive tape roll 6 and the 2nd adhesive tape roll 7 so that the adhesive surface of an adhesive tape may face the surface side. The first adhesive tape roll 6 and the second adhesive tape roll 7 abut the first adhesive roll 4 and the second adhesive roll 5, respectively, so that the first adhesive roll 4 and the second adhesive roll ( It is comprised so that the dust attached to 5) may be removed, and when the adhesive force of the 1st adhesive tape roll 6 and the 2nd adhesive tape roll 7 falls, an adhesive tape will peel off sequentially.

제1 점착 테이프롤(6)은 제1 점착롤(4)보다 상측에 배치되고, 제2 점착 테이프롤(7)은 제2 점착롤(5)보다 하측에 배치되어 있다. 또, 좌우방향에서, 제진장치(1)의 좌우방향의 중심위치보다 우측 혹은 좌측에 배치된 2개의 제1 점착롤(4)의 축중심 간의 대략 중심위치와 제1 점착 테이프롤(6)의 축중심이 일치하도록 제1 점착 테이프롤(6)이 배치되고, 제진장치(1)의 좌우방향의 중심위치보다 우측 혹은 좌측에 배치된 2개의 제2 점착롤(5)의 축중심 간의 대략 중심위치와 제2 점착 테이프롤(7)의 축중심이 일치하도록 제2 점착 테이프롤(7)이 배치되어 있다.The first adhesive tape roll 6 is disposed above the first adhesive roll 4, and the second adhesive tape roll 7 is disposed below the second adhesive roll 5. Moreover, in the left-right direction, the substantially center position between the axial centers of the two 1st adhesive rolls 4 arrange | positioned to the right or left rather than the center position of the vibration damping apparatus 1 of the left-right direction of the 1st adhesive tape roll 6, The first adhesive tape roll 6 is arrange | positioned so that an axis center may correspond, and is substantially centered between the axis centers of the 2nd 2nd adhesive roll 5 arrange | positioned to the right or left rather than the center position in the left-right direction of the damping apparatus 1. The 2nd adhesive tape roll 7 is arrange | positioned so that a position and the axial center of the 2nd adhesive tape roll 7 may correspond.

베어링 블록(16,18)은 전후방향의 양면 측에 배치되어 있다. 또, 에어 실린더(21,22)도 전후방향의 양면 측에 배치되어 있다. 베어링 블록(16)에는 에어 실린더(21)의 로드(rod)가 설치되고, 베어링 블록(18)에는 에어 실린더(22)의 로드가 설치되어 있다.Bearing blocks 16 and 18 are arranged on both sides in the front-rear direction. Moreover, the air cylinders 21 and 22 are also arrange | positioned at the both sides of the front-back direction. The bearing block 16 is provided with a rod of the air cylinder 21, and the bearing block 18 is provided with a rod of the air cylinder 22.

평판형 부재(2)의 표면에 부착된 먼지 제거를 진행할 때, 에어 실린더(21)의 헤드(head) 측에 압축공기가 공급되어 에어 실린더(21)의 로드가 하측 방향으로 돌출하고, 제1 점착 테이프롤(6)은 베어링 블록(16)과 같이 하강한다. 잠시 후, 도 1의 실선으로 나타낸 바와 같이, 제1 점착 테이프롤(6)이 제1 점착롤(4)에 맞닿고, 제1 점착롤(4)은 제1 점착 테이프롤(6)과 같이 제2 점착롤(5)에 맞닿을 때까지 하강한다.When the dust adhering to the surface of the flat member 2 is removed, compressed air is supplied to the head side of the air cylinder 21 so that the rod of the air cylinder 21 protrudes downward, and the first The adhesive tape roll 6 descends like the bearing block 16. After a while, as shown by the solid line in FIG. 1, the first adhesive tape roll 6 abuts on the first adhesive roll 4, and the first adhesive roll 4 is like the first adhesive tape roll 6. It descends until it contacts the 2nd adhesion roll 5.

또한, 이때 에어 실린더(22)의 헤드 측에 압축공기가 공급되어 에어 실린더 (22)의 로드가 상측 방향으로 돌출한다. 그러면, 도 1의 실선으로 나타낸 바와 같이, 제2 점착 테이프롤(7)은 제2 점착롤(5)에 맞닿을 때까지 베어링 블록(18)과 같이 상승한다.At this time, compressed air is supplied to the head side of the air cylinder 22 so that the rod of the air cylinder 22 protrudes upward. Then, as shown by the solid line of FIG. 1, the 2nd adhesive tape roll 7 rises like the bearing block 18 until it contacts the 2nd adhesive roll 5.

이렇게, 제1 점착 테이프롤(6)이 제1 점착롤(4)에 맞닿는 동시에 제1 점착롤 (4)이 제2 점착롤(5)에 맞닿고, 또 제2 점착 테이프롤(7)이 제2 점착롤(5)에 맞닿 은 상태에서 평판형 부재(2)의 표면에 부착된 먼지가 제거된다. 구체적으로는, 회전구동 전달기구부(9)를 통하여 점착롤(4,5)이 구동되는 동시에 미도시된 구동모터를 통하여 반송롤(8)이 구동되어 평판형 부재(2)가 제1 점착롤(4)과 제2 점착롤(5)의 사이를 통과하는 것을 통하여, 평판형 부재(2)의 표면에 부착된 먼지가 제거된다. 이때, 제1 점착롤(4) 및 제1 점착 테이프롤(6)은 평판형 부재(2)의 두께에 따라 상측 방향으로 이동한다.In this way, the first adhesive tape roll 6 abuts on the first adhesive roll 4 while the first adhesive roll 4 abuts on the second adhesive roll 5, and the second adhesive tape roll 7 Dust adhering to the surface of the plate-like member 2 in the state of contact with the second adhesive roll 5 is removed. Specifically, the adhesive rolls 4 and 5 are driven through the rotational drive transmission mechanism 9 and at the same time, the conveying roll 8 is driven through a drive motor not shown so that the flat member 2 is the first adhesive roll. The dust adhering to the surface of the flat plate-like member 2 is removed by passing between the 4 and the second adhesive roll 5. At this time, the first adhesive roll 4 and the first adhesive tape roll 6 move upward in accordance with the thickness of the flat member 2.

또한, 이때 에어 실린더(21,22)의 헤드 측에는 압축공기가 공급되어 있다. 따라서, 제1 점착 테이프롤(6)은 소정의 힘으로 제1 점착롤(4)에 맞닿고, 제2 점착 테이프롤(7)은 소정의 힘으로 제2 점착롤(5)에 맞닿아 있다. 따라서, 회전구동 전달기구부(9)를 통하여 회전하는 제1 점착롤(4), 제2 점착롤(5)의 회전에 따라 제1점착 테이프롤(6), 제2 점착 테이프롤(7)도 회전한다. 제1 점착 테이프롤(6), 제2 점착 테이프롤(7)이 회전하면, 제1 점착롤(4), 제2 점착롤(5)에 부착된 먼지가 제1 점착 테이프롤(6), 제2 점착 테이프롤(7)을 통하여 제거된다.At this time, compressed air is supplied to the head side of the air cylinders 21 and 22. Accordingly, the first adhesive tape roll 6 abuts on the first adhesive roll 4 with a predetermined force, and the second adhesive tape roll 7 abuts on the second adhesive roll 5 with a predetermined force. . Accordingly, the first adhesive tape roll 6 and the second adhesive tape roll 7 also rotate as the first adhesive roll 4 and the second adhesive roll 5 rotate through the rotation drive transmission mechanism 9. Rotate When the 1st adhesive tape roll 6 and the 2nd adhesive tape roll 7 rotate, the dust adhered to the 1st adhesive roll 4 and the 2nd adhesive roll 5 will become the 1st adhesive tape roll 6, It removes through the 2nd adhesive tape roll 7.

한편, 평판형 부재(2)의 표면에 부착된 먼지의 제거가 종료되면, 에어 실린더(21)의 로드측에 압축공기가 공급되어, 에어 실린더(21)의 로드가 안으로 들어간다. 로드가 안으로 들어가면, 제1 점착 테이프롤(6)은 베어링 블록(16)과 같이 상승한다(도 1의 이점쇄선 참조). 제1 점착 테이프롤(6)이 상승하면, 제1 점착롤(4)은 압축 코일스프링(25)의 부세력(付勢力)을 통하여 상승한다. 또, 에어 실린더 (22)의 로드측에 압축공기가 공급되어, 에어 실린더(22)의 로드가 안으로 들어간 다. 로드가 안으로 들어가면, 제2 점착 테이프롤(7)은 베어링 블록(18)과 같이 하 강 한다(도 1의 이점쇄선 참조).On the other hand, when the removal of the dust adhering to the surface of the flat member 2 is complete | finished, compressed air is supplied to the rod side of the air cylinder 21, and the rod of the air cylinder 21 enters inside. As the rod enters, the first adhesive tape roll 6 rises like the bearing block 16 (see the dashed line in FIG. 1). When the 1st adhesive tape roll 6 rises, the 1st adhesive roll 4 rises through the biasing force of the compression coil spring 25. As shown in FIG. Moreover, compressed air is supplied to the rod side of the air cylinder 22, and the rod of the air cylinder 22 enters inside. When the rod enters in, the second adhesive tape roll 7 descends like the bearing block 18 (see the dashed line in FIG. 1).

반송롤(8)은 평판형 부재(2)의 하면에 맞닿도록 제진장치(1)의 우단측 및 좌단측에 배치되어 있다. 이 반송롤(8)은 미도시된 구동모터에 연결되어 있으며, 이 구동모터를 통하여 회전구동된다. 또한, 반송롤(8)의 회전축(19)은 본체 프레임(23)에 고정된 후술할 고정 프레임(32)에 설치된 베어링(26)을 통하여 회전 가능하게 지지되어 있다(도 3 참조).The conveying roll 8 is arrange | positioned at the right end side and the left end side of the damping apparatus 1 so that the conveyance roll 8 may contact the lower surface of the flat plate-shaped member 2. The conveying roll 8 is connected to a drive motor, not shown, and is driven to rotate through this drive motor. In addition, the rotating shaft 19 of the conveying roll 8 is rotatably supported via the bearing 26 provided in the fixed frame 32 mentioned later fixed to the main body frame 23 (refer FIG. 3).

회전구동 전달기구부(9)는 제진장치(1)의 후면 측에 배치되어 있다. 이 회전구동 전달기구부(9)의 구성 및 회전구동 전달기구부(9)의 주변구성의 상세한 정황을 이하에 설명한다.The rotary drive transmission mechanism 9 is arranged on the rear side of the vibration suppression apparatus 1. The details of the configuration of the rotation drive transmission mechanism 9 and the peripheral configuration of the rotation drive transmission mechanism 9 will be described below.

(회전구동 전달기구부 및 그 주변구성) (Rotary drive transmission mechanism and its surrounding configuration)

도 3은 도 2에 나타내는 회전구동 전달기구부(9)의 구성을 상면으로부터 설명하기 위한 도면이다. 도 4는 도 2의 F-F 방향으로부터 회전구동 전달기구부(9)의 일부분 구성을 설명하기 위한 도면이다. 도 5는 도 4에 나타내는 구동측 자기판(37)과 종동측 자기판(38,39)의 배치관계를 설명하기 위한 도면이며, 도 5a는 전후방향으로부터 보았을 때의 배치관계를 나타내며, 도 5b는 도 5a의 G- G방향으로부터 보았을 때의 배치관계를 나타낸다. 도 6은 도 4 에 나타내는 베어링 블록(12) 및 리니어 부쉬(42)를 뽑아내어 나타내는 도면이다. 또, 도 3에서는 우측으로부터 첫번째 및 두번째 제1 점착롤(4) 등의 도시가 생략되고, 도 4에서는 제2 점착롤(5) 등의 도시가 생략되어 있다.FIG. 3 is a view for explaining the configuration of the rotation drive transmission mechanism 9 shown in FIG. 4 is a view for explaining a partial configuration of the rotation drive transmission mechanism 9 from the F-F direction of FIG. FIG. 5 is a view for explaining an arrangement relationship between the driving side magnetic plate 37 and the driven magnetic plates 38 and 39 shown in FIG. 4, and FIG. 5A shows an arrangement relationship when viewed from the front-rear direction, and FIG. 5B. Shows an arrangement relationship when viewed from the G-G direction of FIG. 5A. FIG. 6: is the figure which pulled out the bearing block 12 and the linear bush 42 shown in FIG. In addition, illustration of the 1st and 2nd 1st adhesive roll 4 etc. is abbreviate | omitted from the right side in FIG. 3, and illustration of the 2nd adhesive roll 5 etc. is abbreviate | omitted in FIG.

회전구동 전달기구부(9)는 도 3, 도 4에 도시된 바와 같이, 점착롤(4,5)을 회전구동하는 2개의 구동모터(29)와, 구동모터(29)의 동력을 점착롤(4,5)에 전달하는 2개의 전달기구(30)와, 전달기구(30)를 구성하는 후술할 구동측 자기판(37)과 종동측 자기판(38,39)의 간격을 조정하기 위한 2개의 간격조정기구(31)와, 본체 프레임(23)에 고정되는 고정 프레임(32)과 가동 프레임(24)의 사이에 배치되는 2개의 충격흡수기구(33)를 포함하고 있다. 또, 제진장치(1)는 회전구동 전달기구부(9)의 주변구성으로서, 제1 점착롤(4)을 회전축(11)의 축방향에 직교하는 상하방향으로 안내하기 위한 리니어 가이드(36)를 포함하고 있다.As shown in FIGS. 3 and 4, the rotation drive transmission mechanism 9 includes two driving motors 29 for rotating the adhesive rolls 4 and 5 and a power of the driving motor 29. 2 for adjusting the distance between the two transmission mechanisms 30 to be transmitted to 4, 5, and the driving magnetic plate 37 and the driven magnetic plates 38 and 39 which will be described later constituting the transmission mechanism 30. Two gap adjusting mechanisms 31 and two shock absorbing mechanisms 33 disposed between the fixed frame 32 and the movable frame 24 fixed to the main body frame 23. Moreover, the vibration damping apparatus 1 is a peripheral structure of the rotation drive transmission mechanism part 9, The linear guide 36 for guiding the 1st adhesion roll 4 to the up-down direction orthogonal to the axial direction of the rotating shaft 11 is carried out. It is included.

가동 프레임(24)에는 도 4에 도시된 바와 같이, 베어링 블록(12,14)의 일부분이 배 치되는 대략 “U”형상의 배치구(24a)가 형성되어 있다. 본 형태에서는 제1 점착롤(4), 제2 점착롤(5)의 좌우방향의 배치간격에 따라 4개의 배치구(24a)가 형성되어 있다. 또, 배치구(24a)가 형성된 부분의 양측은 상측 방향으로 돌출하는 돌출부(24b)로 되어 있다.As shown in FIG. 4, the movable frame 24 is formed with a substantially “U” shaped mounting hole 24a in which a part of the bearing blocks 12 and 14 are disposed. In this embodiment, four placement tools 24a are formed according to the space | interval of the 1st adhesion roll 4 and the 2nd adhesion roll 5 in the left-right direction. Moreover, both sides of the part in which the mounting opening 24a was formed are the protrusion part 24b which protrudes upward.

2개의 구동모터(29)는 좌우방향에서 소정 간격을 둔 상태에서 고정 프레임 (32)에 고정되어 있다. 구체적으로는, 출력축(29a)이 앞방향으로 향하여 돌출하도록 2개의 구동모터(29)는 고정 프레임(32)에 고정되어 있다.The two drive motors 29 are fixed to the fixed frame 32 at predetermined intervals in the left and right directions. Specifically, the two drive motors 29 are fixed to the fixed frame 32 so that the output shaft 29a protrudes in the forward direction.

전달기구(30)는, 구동모터(29)에 연결되는 구동측 자기부재로서의 구동측 자기 판(37)과, 제1 점착롤(4)에 연결되는 제1 종동측 자기부재로서의 제1 종동측 자기판(38)과, 제2 점착롤(5)에 연결되는 제2 종동측 자기부재로서의 제2 종동측 자기판(39)을 포함하고 있다. 이 전달기구(30)에서는, 제1 종동측 자기판(38) 혹은 제2 종동측 자기판(39)과 구동측 자기판(37)의 사이에 발생되는 자기력(자기적인 흡인력)을 통하여, 구동측 자기판(37)측의 동력이 제1 종동측 자기판(38)측 및 제2종동측 자기판(39)측에 전달된다. 또한, 이하에서는 제1 종동측 자기판(38)과 제2 종동측 자기판(39)을 합쳐 표시할 경우에는 종동측 자기판(38,39)으로 표기한다.The transmission mechanism 30 has a drive side magnetic plate 37 as a drive side magnetic member connected to the drive motor 29 and a first driven side as a first driven side magnetic member connected to the first adhesive roll 4. The magnetic plate 38 and the second driven magnetic plate 39 as a second driven magnetic member connected to the second adhesive roll 5 are included. In this transmission mechanism 30, the drive is performed through a magnetic force (magnetic attraction force) generated between the first driven magnetic plate 38 or the second driven magnetic plate 39 and the driving magnetic plate 37. Power on the side magnetic plate 37 is transmitted to the first driven magnetic plate 38 side and the second driven magnetic plate 39 side. In the following description, when the first driven magnetic plate 38 and the second driven magnetic plate 39 are collectively displayed, they are referred to as driven magnetic plates 38 and 39.

본 형태에서는, 구동측 자기판(37)은 구동모터(29)의 출력축(29a)의 전단에 고 정되어 있다. 또, 제1 종동측 자기판(38)은 제1 점착롤(4)의 회전축(11)의 후단에 각각 고정되고, 제2 종동측 자기판(39)은 제2 점착롤(5)의 회전축(13)의 후단에 각각 고정되어 있다. 즉, 전달기구(30)는 1개의 구동측 자기판(37)과, 2개의 제1 종동측 자기판(38)과, 2개의 제2 종동측 자기판(39)을 포함하고 있다.In this embodiment, the drive-side magnetic plate 37 is fixed to the front end of the output shaft 29a of the drive motor 29. Further, the first driven magnetic plate 38 is fixed to the rear end of the rotary shaft 11 of the first adhesive roll 4, respectively, and the second driven magnetic plate 39 is the rotary shaft of the second adhesive roll 5. It is fixed to the rear end of (13), respectively. That is, the transmission mechanism 30 includes one drive side magnetic plate 37, two first driven magnetic plates 38, and two second driven magnetic plates 39.

구동측 자기판(37)은 출력축(29a)에 고정하기 위한 플랜지부를 가지는 대략 원판 형으로 형성되어 있다. 이 구동측 자기판(37)은 자극이 형성된 구동측 착자부 (37a)를 포함하고 있다.The driving side magnetic plate 37 is formed in a substantially disc shape having a flange portion for fixing to the output shaft 29a. This drive side magnetic plate 37 includes a drive side magnetized portion 37a in which magnetic poles are formed.

구동측 착자부(37a)는 도 5a에 도시된 바와 같이, 구동측 자기판(37)의 회전중심을 중심으로 하는 원환형으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 구동측 착자부(37a)는 구동측 자기판(37)의 직경방향의 단부측으로부터 중심을 향하여 소정 범위에 배치되도록 형성되어 있다. 또, 구동측 착자부(37a)는 구동측 자기판(37)의 앞면 측에 배치되어 있다. 본 형태에서는 구동측 착자부(37a)에는 예를 들면, 인볼류트(involute) 곡선모양으로 형성된 S극과 N극이 원주방향에 따라 번갈아 착자되어 있다. 또, 구동측 착자부(37a)는 직접 자성부재로 구성된 구동측자기판 (37)의 표면에서 착자되는 것을 통하여 형성되어도 되고, 착자된 판형 부재를 구동측 자기판(37)의 앞면에 고정하여 구동측 착자부(37a)로 하여도 된다.As shown in FIG. 5A, the driving side magnetizing portion 37a is formed in an annular shape centering on the center of rotation of the driving side magnetic plate 37. As shown in FIG. Specifically, the driving magnetizing portion 37a is formed to be disposed in a predetermined range from the end side in the radial direction of the driving magnetic plate 37 toward the center. Moreover, the drive side magnetizing part 37a is arrange | positioned at the front surface side of the drive side magnetic plate 37. As shown in FIG. In this embodiment, the S-pole and the N-pole formed in the involute curve, for example, are alternately magnetized in the circumferential direction in the drive-side magnetizing portion 37a. In addition, the driving side magnetizing portion 37a may be formed by magnetizing on the surface of the driving side magnetic substrate 37 constituted of the magnetic member directly, and the magnetized plate-like member is fixed to the front surface of the driving side magnetic plate 37 to drive. It is good also as a side magnet part 37a.

제1 종동측 자기판(38)은 회전축(11)에 고정하기 위한 플랜지부를 가진 대략 원판형으로 형성되어 있다. 또, 제1 종동측 자기판(38)은 구동측 자기판(37)보다 직경이 작은 대략 원판형으로 형성되어 있다. 본 형태에서는 예를 들면, 제1 종동측 자기판(38)의 직경은 구동측 자기판(37)의 직경의 약 4할~5할 정도로 되어 있다. 또, 제1 종동측 자기판(38)은 자극이 형성된 제1 종동측 착자부(38a)를 포함하고 있다.The first driven magnetic plate 38 is formed in a substantially disc shape having a flange portion for fixing to the rotary shaft 11. The first driven magnetic plate 38 is formed in a substantially disk shape having a diameter smaller than that of the driving magnetic plate 37. In this embodiment, for example, the diameter of the first driven magnetic plate 38 is about 40-50% of the diameter of the driving magnetic plate 37. The first driven magnetic plate 38 also includes a first driven magnetized portion 38a on which magnetic poles are formed.

제1 종동측 착자부(38a)는 도 5a에 도시된 바와 같이, 제1 종동측 자기판(38)의 회전중심을 중심으로 하는 동시에 구동측 착자부(37a)보다 직경이 작은 원환형으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 제1 종동측 착자부(38a)는 제1 종동측 자기판(38)의 뒷면의 회전축(11)이 고정되는 고정공(38b)을 제외한 부분의 대략 전역에 배치되도록 형성되어 있다. 또, 제1 종동측 착자부(38a)는 직접 자성부재로 구성된 제1종동측 자기판(38)의 표면에서 착자되는 것을 통하여 형성되어도 되고, 착자된 판형 부재를 제1 종동측 자기판(38)의 뒷면에 고정하여 제1 종동측 착자부(38a)로 하여도 된다.As shown in FIG. 5A, the first driven magnetized portion 38a is formed in an annular shape having a diameter smaller than that of the driving magnetized portion 37a at the same time as the center of rotation of the first driven magnetic plate 38. It is. Specifically, the first driven magnetizing portion 38a is formed so as to be disposed substantially in the entire region except for the fixing hole 38b to which the rotating shaft 11 on the rear surface of the first driven magnetic plate 38 is fixed. . In addition, the first driven magnetizing portion 38a may be formed by magnetizing on the surface of the first driven magnetic plate 38 formed of a magnetic member, and the magnetized plate-like member is formed on the first driven magnetic plate 38. The first driven side magnetizing portion 38a may be fixed to the rear surface of the back panel).

본 형태에서는, 제1 종동측 착자부(38a)는 후술할 바와 같이, 구동측 자기판(37)의 회전에 따라 구동측 자기판(37)의 회전방향과 반대방향으로 회전하는 제1 종동측 자기판(38)이 원활하게 회전하도록 착자되어 있다. 구체적으로는, 제1 종동측 착자부(38a)에는 예를 들면, 유선형으로 형성된 S극과 N극이 원주방향에 따라 번갈아 착자되어 있다.In this embodiment, the first driven side magnetizing portion 38a is rotated in a direction opposite to the rotational direction of the driving side magnetic plate 37 in accordance with the rotation of the driving side magnetic plate 37, as will be described later. The magnetic plate 38 is magnetized to rotate smoothly. Specifically, the S and N poles, which are formed in a streamline, are alternately magnetized in the circumferential direction, for example, in the first driven side magnet portion 38a.

제2 종동측 자기판(39)은 제1 종동측 자기판(38)과 대략 같게 형성되어 있 다. 즉, 제2 종동측 자기판(39)은 회전축(13)에 고정하기 위한 플랜지부를 가진 대략 원판형으로 형성되는 동시에, 구동측 자기판(37)보다 직경이 작은 대략 원판형으로 형성되어 있다. 본 형태에서는 예를 들면, 제2 종동측 자기판(39)의 직경은 제1 종동측 자기판(38)의 직경과 같게 되어 있다. 또, 제2 종동측 자기판(39)은 자극이 형성된 제2 종동측 착자부(39a)를 포함하고 있다. 또, 이하에서는 제1 종동측 착자부(38a)와 제2 종동측 착자부(39a)를 합쳐 표시할 경우에 종동측 착자부(38a,39a)로 표기한다.The second driven magnetic plate 39 is formed substantially the same as the first driven magnetic plate 38. That is, the second driven magnetic plate 39 is formed in an approximately disc shape having a flange portion for fixing to the rotation shaft 13 and is formed in an approximately disc shape having a smaller diameter than the driving side magnetic plate 37. . In this embodiment, for example, the diameter of the second driven magnetic plate 39 is equal to the diameter of the first driven magnetic plate 38. In addition, the second driven magnetic plate 39 includes a second driven magnetized portion 39a on which magnetic poles are formed. In addition, below, when displaying together the 1st driven side magnet part 38a and the 2nd driven side magnet part 39a, it represents with driven side magnet part 38a, 39a.

제2 종동측 착자부(39a)는 제1 종동측 착자부(38a)와 같게, 제2 종동측 자기판 (39)의 회전중심을 중심으로 하는 동시에, 구동측 착자부(37a)보다 직경이 작은 원 환형으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 제2 종동측 착자부(39a)는 제2 종동측 자 기판(39)의 뒷면의, 회전축(13)이 고정되는 고정공(39b)을 제외한 부분의 대략 전 역에 배치되도록 형성되어 있다. 또, 제2 종동측 착자부(39a)는 직접 자성부재로 구성된 제2 종동측 자기판(39)의 표면에서 착자되는 것을 통하여 형성되어도 되고, 착자된 판형 부재를 제2 종동측 자기판(39)의 뒷면에 고정하여 제2 종동측 착자부 (39a)로 하여도 된다.The second driven magnetized portion 39a has the same diameter as the first driven magnetized portion 38a, centered on the rotational center of the second driven magnetic plate 39, and the diameter of the second driven magnetized portion 39a. It is formed in a small annular shape. Specifically, the second driven magnetized portion 39a is formed so as to be disposed almost in the entire region of the rear surface of the second driven magnetic substrate 39 except for the fixing hole 39b to which the rotation shaft 13 is fixed. It is. In addition, the second driven magnetized portion 39a may be formed by magnetizing on the surface of the second driven magnetic plate 39 formed of a magnetic member, and the magnetized plate-like member is formed on the second driven magnetic plate 39. The second driven side magnetizing portion 39a may be fixed to the rear surface of the backplane).

본 형태에서는, 제2 종동측 착자부(39a)는 후술할 바와 같이, 구동측 자기판(37)의 회전에 따라 구동측 자기판(37)의 회전방향과 같은 방향으로 회전하는 제2 종동측 자기판(39)이 원활하게 회전하도록 착자되어 있다. 구체적으로는, 제2 종동측 착자부(39a)에는 예를 들면, 인볼류트 곡선모양으로 형성된 S극과 N극이 원주방향에 따라 번갈아 착자되어 있다. 또, 제1 종동측 자기판(38)과 제2 종동측 자기판(39)이 동일 회전수로 회전하도록 제2 종동측 착자부(39a)에 자극이 형성되어 있다.In this embodiment, the second driven side magnetized part 39a is rotated in the same direction as the rotational direction of the drive-side magnetic plate 37 in accordance with the rotation of the drive-side magnetic plate 37, as will be described later. The magnetic plate 39 is magnetized to rotate smoothly. Specifically, for example, the S-pole and the N-pole formed in the involute curve are alternately magnetized in the circumferential direction in the second driven side magnetizing portion 39a. Further, magnetic poles are formed in the second driven side magnetized portion 39a so that the first driven magnetic plate 38 and the second driven magnetic plate 39 rotate at the same rotational speed.

제1 종동측 자기판(38) 및 제2 종동측 자기판(39)과 구동측 자기판(37)은 소정 틈을 통하여(즉, 소정 간격을 두고) 서로 대향하도록 배치되어 있다. 구체적으로는, 제1 종동측 자기판(38)과 구동측 자기판(37)은, 제1 종동측 자기판(38)과 구동측 자기판(37)의 대향방향(즉, 전후방향)으로부터 볼 때 제1 종동측 착자부(38a)의 일부분과 구동측 착자부(37a)의 일부분이 겹치도록 배치되고, 제2 종동측 자기판(39)과 구동측 자기판(37)은 전후방향으로부터 볼 때 제2 종동측 착자부(39a)의 일부분과 구동측 착자부(37a)의 일부분이 겹치도록 배치되어 있다.The first driven magnetic plate 38, the second driven magnetic plate 39, and the driving magnetic plate 37 are arranged to face each other through a predetermined gap (that is, at predetermined intervals). Specifically, the first driven magnetic plate 38 and the driving magnetic plate 37 are formed from the opposite directions (ie, the front and rear directions) of the first driven magnetic plate 38 and the driving magnetic plate 37. In view, a part of the first driven magnetizing portion 38a and a part of the driving magnetizing portion 37a overlap each other, and the second driven magnetic plate 39 and the driving magnetic plate 37 are formed from the front-back direction. In view, a part of the second driven side magnetizing part 39a and a part of the driving side magnetizing part 37a are arranged to overlap.

더욱 구체적으로는, 전후방향으로부터 볼 때 제1 종동측 자기판(38)의 회전중심은 구동측 착자부(37a)의 직경방향 외측에 배치되어 있고, 제1 종동측 자기판(38)은, 제1 종동측 착자부(38a)가 구동측 착자부(37a)의 직경방향 외측으로부터 구동측 착자부(37a)에 겹치도록 배치되어 있다. 즉, 제1 종동측 자기판(38)은, 제1 종동측 착자부(38a)의 외주가 구동측 착자부(37a)의 내주에 접근하는 방향에서 제1 종동측 착자부(38a)와 구동측 착자부(37a)가 겹치도록 배치되어 있다. 따라서, 제1 종동측 자기판(38)은 구동측 자기판(37)과 반대방향으로 회전한다. 또, 본 형태에서는, 제1 점착롤(4)이 제2 점착롤(5)에 맞닿은 상태(도 5a의 실선이 나타내는 상태)에서 제1 종동측 착자부(38a)의 외주와 구동측 착자부(37a)의 내주가 대략 겹쳐 있다.More specifically, when viewed from the front-rear direction, the center of rotation of the first driven magnetic plate 38 is disposed outside the radial direction of the driving magnetizer 37a, and the first driven magnetic plate 38 is The first driven side magnetizing portion 38a is disposed so as to overlap the driving side magnetizing portion 37a from the radially outer side of the driving side magnetizing portion 37a. That is, the first driven magnetic plate 38 is driven with the first driven magnetized portion 38a in the direction in which the outer circumference of the first driven magnetized portion 38a approaches the inner circumference of the driving magnetized portion 37a. The side magnet part 37a is arrange | positioned so that it may overlap. Therefore, the first driven magnetic plate 38 rotates in the opposite direction to the driving magnetic plate 37. Moreover, in this form, the outer periphery and the drive side magnetization part of the 1st driven side magnet part 38a in the state which the 1st adhesion roll 4 contact | connected the 2nd adhesion roll 5 (state shown by the solid line of FIG. 5A). The inner periphery of 37a overlaps substantially.

또한, 전후방향으로부터 볼때 제2종동측자기판(39)의 회전중심은 구동측착 자부(37a)의 직경방향 내측에 배치되어 있고, 제2 종동측 자기판(39)은 제2 종동측 착자부(39a)가 구동측 착자부(37a)의 직경방향 내측으로부터 구동측 착자부(37a)에 겹치도록 배치되어 있다. 즉, 제2 종동측 자기판(39)은, 제2 종동측 착자부(39a)의 외주가 구동측 착자부(37a)의 외주에 접근하는 방향에서 제2 종동측 착자부(39a)와 구동측착자부(37a)가 겹치도록 배치되어 있다. 따라서, 제2 종동측 자기판(39)은 구동측 자기판(37)과 같은 방향으로 회전한다. 본 형태에서는, 제1 점착롤(4)이 제2 점착롤(5)에 맞닿은 상태에서 제2 종동측 착자부(39a)의 외주와 구동측 착자부(37a)의 외주가 대략 겹쳐 있다.In addition, when viewed from the front-rear direction, the center of rotation of the second driven side magnetic plate 39 is disposed in the radially inner side of the driving side magnetic portion 37a, and the second driven side magnetic plate 39 is the second driven side magnetized portion. 39a is arrange | positioned so that it may overlap with the drive side magnetization part 37a from the radial inside inside of the drive side magnetization part 37a. That is, the second driven magnetic plate 39 drives the second driven side magnetizing portion 39a in a direction in which the outer circumference of the second driven side magnetizing portion 39a approaches the outer circumference of the driving side magnetizing portion 37a. The side attachment part 37a is arrange | positioned so that it may overlap. Therefore, the second driven magnetic plate 39 rotates in the same direction as the driving magnetic plate 37. In this form, the outer periphery of the 2nd driven side magnetization part 39a and the outer periphery of the drive side magnetization part 37a substantially overlap in the state which the 1st adhesion roll 4 contact | connected the 2nd adhesion roll 5 ,.

또한, 본 형태에서는 도 4, 도 5에 도시된 바와 같이, 2개의 제1 종동측 자기판(38) 및 2개의 제2 종동측 자기판(39)과 1개의 구동측 자기판(37)이 서로 대향하도록 배치되어 있다. 구체적으로는, 제진장치(1)의 좌우방향의 중심위치보다 우측에 배치된 2개의 제 1점착롤(4), 제2 점착롤(5)에 각각 연결된 2개의 제1 종동측 자기판(38) 및 2개의 제2 종동측 자기판(39)과, 우측에 배치된 구동모터(29)에 연결된 1개의 구동측 자기판(37)이 서로 대향하도록 배치되고, 제진장치(1)의 좌우방향의 중심위치보다 좌측에 배치된 2개의 제1 점착롤(4), 제2 점착롤(5)에 각각 연결된 2개의 제1 종동측 자기판(38) 및 2개의 제2 종동측 자기판(39)과, 좌측에 배치된 구동모터(29)에 연결된 1개의 구동측 자기판(37)이 서로 대향하도록 배치되어 있다.4 and 5, two first driven magnetic plates 38, two second driven magnetic plates 39, and one driving magnetic plate 37 are shown in FIG. It is arranged to face each other. Specifically, two first driven magnetic plates 38 respectively connected to the two first adhesive rolls 4 and the second adhesive roll 5 disposed on the right side of the vibration damper 1 in the left-right direction. ) And two second driven magnetic plates 39 and one driving side magnetic plate 37 connected to the driving motor 29 disposed on the right side are disposed to face each other, and the left and right directions of the vibration suppression apparatus 1 are provided. Two first sticking rolls 4, two first driven magnetic plates 38 connected to the second sticking roll 5, respectively, and two second driven magnetic plates 39 disposed to the left of the center position of the second sticking rolls 39. ) And one drive side magnetic plate 37 connected to the drive motor 29 arranged on the left side are arranged to face each other.

더욱 구체적으로는, 2개의 제1 종동측 자기판(38)은 전후방향으로부터 볼 때 구동측 자기판(37)의 비스듬히 상측에 배치된 상태에서 제 1종동측 자기판(38)의 일부분이 1개의 구동측 자기판(37)에 대향하도록 배치되어 있다. 또, 2개의 제2 종동측 자기판(39)은, 전후방향으로부터 볼 때 제2 종동측 자기판(39)의 상하방향의 중심위치와 구동측 자기판(37)의 상하방향의 중심위치가 대략 일치하도록, 또한 제2 종동측 자기판(39)의 전부가 1개의 구동측 자기판(37)에 대향하도록 배치되어 있다. 본 형태에서는, 전후방향으로부터 볼 때 2개의 제2 종동측 자기판(39)이 1개의 구동측 자기판(37)에 내접하도록 배치되어 있다.More specifically, the two first driven magnetic plates 38 have a portion of the first driven magnetic plates 38 in a state of being disposed obliquely above the driving magnetic plates 37 when viewed from the front-rear direction. Are arranged so as to face the two driving side magnetic plates 37. The two second driven magnetic plates 39 have a vertical position in the vertical direction of the second driven magnetic plate 39 and a vertical position in the vertical direction of the driving magnetic plate 37 as viewed from the front-rear direction. In order to coincide substantially, all of the second driven magnetic plates 39 are arranged to face one driving-side magnetic plate 37. In this embodiment, the two second driven magnetic plates 39 are arranged to be inscribed in one drive-side magnetic plate 37 as viewed from the front-rear direction.

또한, 본 형태에서는 상술한 바와 같이, 평판형 부재(2)의 표면의 먼지를 제거할 때, 평판형 부재(2)의 두께에 따라 제1 점착롤(4)이 상측방향으로 이동한 상태, 혹은 일시적으로 제1 점착롤(4)을 상측방향으로 퇴피시킨 상태(도 5a의 이점쇄선이 표시된 상태)에서도 전후방향으로부터 볼때 제1 종동측 착자부(38a)의 일부분과 구동측 착자부(37a)의 일부분이 겹치도록 제1 종동측 자기판(38)과 구동측 자기판(37)이 대향 배치되어 있다. 구체적으로는, 평판형 부재(2)의 두께에 따라 제1 점착롤(4)이 상측방향으로 이동한 상태, 혹은 일시적으로 제1 점착롤(4)을 상측방향으로 퇴피시킨 상태에서 제1 종동측 착자부(38a)와 구동측 착자부(37a)의 사이에 발생되는 자기력이 제1 점착롤(4)이 제2 점착롤(5)에 맞닿은 상태에서 제1 종동측 착자부(38a)와 구동측 착자부(37a)의 사이에 발생되는 자기력보다 크게 저하되지 않도록 제1 종동측 자기판(38)과 구동측 자기판(37)이 대향 배치되어 있다.In addition, in the present embodiment, as described above, when the dust on the surface of the plate-like member 2 is removed, the first adhesive roll 4 moves upward in accordance with the thickness of the plate-like member 2, Alternatively, even in a state in which the first adhesive roll 4 is temporarily retracted upward (a state indicated by the dashed-dotted line in FIG. 5A), a part of the first driven magnetized portion 38a and the driving-side magnetized portion 37a when viewed from the front-rear direction. The first driven magnetic plate 38 and the driving side magnetic plate 37 are disposed so that a portion of the overlaps. Specifically, according to the thickness of the plate-like member 2, the first type of roll 1 moves upward, or the first type of roll 1 is temporarily retracted upward. The magnetic force generated between the ipsilateral magnetizing portion 38a and the driving magnetizing portion 37a is in contact with the first driven-side magnetizing portion 38a while the first adhesive roll 4 is in contact with the second adhesive roll 5. The first driven magnetic plate 38 and the driving magnetic plate 37 are disposed to face each other so that the magnetic force generated between the driving magnetizer 37a is not significantly lowered.

리니어 가이드(36)는, 제1 점착롤(4)의 좌우방향 양측에 배치된 리니어 샤프트 (linear shaft)(41)와, 리니어 샤프트(41)에 계합하여 제1 점착롤(4)을 상하 방향으로 안내하는 리니어 부쉬(42)를 포함하고 있다. 또한, 도 3에서는 일부분의 리니어 샤프트(41) 및 리니어 부쉬(42)의 도시가 생략되어 있다.The linear guide 36 engages the linear shaft 41 and the linear shaft 41 arranged on both sides in the left and right directions of the first adhesive roll 4, and moves the first adhesive roll 4 up and down. It includes a linear bush 42 to guide to. In addition, illustration of the linear shaft 41 and the linear bush 42 of a part is abbreviate | omitted in FIG.

리니어 샤프트(41)는 예를 들면, 원주모양으로 형성된 금속제의 샤프트이며, 상하방향을 길이방향으로 하여 가동 프레임(24)의 돌출부(24b)에 고정되어 있다. 본 형태에서는, 5개의 리니어 샤프트(41)가 가동 프레임(24)에 고정되어 있다.The linear shaft 41 is, for example, a metal shaft formed in a circumferential shape, and is fixed to the protruding portion 24b of the movable frame 24 in the vertical direction. In this embodiment, five linear shafts 41 are fixed to the movable frame 24.

리니어 부쉬(42)는 예를 들면, 원통형으로 형성된 금속부재이며, 내주측에 볼을 가진 이른바 리니어 볼베어링(linear ball bearing)이다. 이 리니어 부쉬(42)의 내주측에는 리니어 샤프트(41)가 삽입되어 있다. 또한, 리니어 부쉬(42)는 윤활성을 가진 금속부재 혹은 수지부재를 통하여 원통형으로 형성된 슬라이드 베어링이어도 된다.The linear bush 42 is, for example, a metal member formed in a cylindrical shape and is a so-called linear ball bearing having a ball on the inner circumferential side. The linear shaft 41 is inserted in the inner peripheral side of the linear bush 42. In addition, the linear bush 42 may be a slide bearing formed in a cylindrical shape through a lubricating metal member or a resin member.

여기서, 베어링 블록(12)에는 도 6에 도시된 바와 같이, 리니어 부쉬(42)를 고정하기 위한 고정부(12a)가 형성되어 있다. 이 고정부(12a)는 각각 좌우방향의 양면으로부터 좌우방향 외측에 돌출하도록 형성되어 있다. 또, 일방의 면에 형성된 고정부(12a)는 하단 측에 형성되고, 타방의 면에 형성된 고정부(12a)는 상단 측에 형성되어 있다. 구체적으로는, 도 4에 도시된 바와 같이, 2개의 제1 점착롤(4) 사이의 1개의 리니어 샤프트(41)에 2개의 리니어 부쉬(42)가 상하방향에 배치되어 계합하도록 고정부(12a)가 형성되어 있다. 때문에, 2개의 제1 점착롤(4) 사이에는 1개의 리니어 샤프트(41)에 계합된 2개의 리니어 부쉬(42)가 상하방향으로 배치되어 있다. 또,우단측 혹은 좌단측에는 1개의 리니어 샤프트(41)에 계합된 1개의 리니어 부쉬(42)가 배치되어 있다.Here, the bearing block 12 is formed with a fixing portion 12a for fixing the linear bush 42, as shown in FIG. The fixing portions 12a are formed so as to protrude outward from the left and right directions on both sides in the left and right directions, respectively. Moreover, the fixing part 12a formed in one surface is formed in the lower end side, and the fixing part 12a formed in the other surface is formed in the upper end side. Specifically, as shown in FIG. 4, the fixing portions 12a are arranged so that two linear bushes 42 are arranged in up and down directions on one linear shaft 41 between the two first adhesive rolls 4. ) Is formed. Therefore, two linear bushes 42 engaged with one linear shaft 41 are disposed between the two first adhesive rolls 4 in the vertical direction. Moreover, one linear bush 42 engaged with one linear shaft 41 is arrange | positioned at the right end side or the left end side.

상술한 바와 같이, 평판형 부재(2)의 표면의 먼지를 제거할 때, 제1 점착 롤(4)은 평판형 부재(2)의 두께에 따라 상하방향으로 이동한다. 또, 제1 점착 테이프롤(6)의 승강에 따라 제1 점착롤(4)은 상하방향으로 이동한다. 제1 점착롤(4)이 상하 이동할 때, 리니어 가이드(36)는 제1 점착롤(4) 및 베어링 블록(12)을 상하방향으로 안내한다.As described above, when the dust on the surface of the flat member 2 is removed, the first adhesive roll 4 moves up and down in accordance with the thickness of the flat member 2. In addition, as the first adhesive tape roll 6 moves up and down, the first adhesive roll 4 moves in the vertical direction. When the first adhesive roll 4 moves up and down, the linear guide 36 guides the first adhesive roll 4 and the bearing block 12 in the vertical direction.

2개의 간격조정기구(31)는 각각 회전구동 전달기구부(9)의 좌단측 또는 우단 측에 배치되어 있다. 또, 2개의 간격조정기구(31)는 회전구동 전달기구부(9)의 후단측에 배치되어 있다. 이 간격조정기구(31)는 도 3에 도시된 바와 같이, 고정 프레임(32)의 뒷면 측에 고정된 고정 너트(nut)(43)와, 고정 너트(43)에 나사 결합되는 조정 볼트(bolt)(44)와, 조정 볼트(44)의 회전을 방지하는 기능을 완수하는 회전금지 너트(45)를 포함하고 있다.The two spacing adjusting mechanisms 31 are disposed at the left end side or the right end side of the rotation drive transmission mechanism 9, respectively. In addition, the two gap adjustment mechanisms 31 are arranged at the rear end side of the rotation drive transmission mechanism portion 9. As shown in FIG. 3, the gap adjusting mechanism 31 has a fixing nut 43 fixed to the rear side of the fixing frame 32 and an adjusting bolt screwed to the fixing nut 43. (44) and the anti-rotation nut (45) for completing the function of preventing the rotation of the adjustment bolt (44).

도 3에 도시된 바와 같이, 조정 볼트(44)는 앞방향을 향하여 고정 너트(43)에 비틀어 넣어져 있다. 또, 조정 볼트(44)의 전단은 가동 프레임(24)의 후단부에 맞닿아 있다. 따라서, 고정 너트(43)에 대한 조정 볼트(44)의 비틀어 넣는 양을 조정하는 것을 통하여, 전후방향에서의 가동 프레임(24)과 고정 프레임(32)의 상대 거리를 조정할 수 있다.As shown in FIG. 3, the adjusting bolt 44 is screwed into the fixing nut 43 in the forward direction. The front end of the adjustment bolt 44 is in contact with the rear end of the movable frame 24. Therefore, the relative distance between the movable frame 24 and the fixed frame 32 in the front-back direction can be adjusted by adjusting the amount of twisting of the adjustment bolt 44 with respect to the fixed nut 43.

여기서, 제1 점착롤(4)의 회전축(11)은 베어링 블록(12)에 지지되고, 베어링 블록(12)에는 가동 프레임(24)에 고정된 리니어 샤프트(41)에 계합하는 리니어 부쉬(42)가 고정되어 있다. 또, 제2 점착롤(5)의 회전축(13)은 베어링 블록(14)에 지지되고, 베어링 블록(14)은 가동 프레임(24)에 고정되어 있다. 따라서, 간격조정기구(31)를 통하여 고정 프레임(32)에 고정된 구동모터(29)와 회전축(11,13)의 전후방향에서의 거리(간격)를 조정할 수 있다. 따라서, 회전축(11)의 후단에 고정된 제1 종동측 자기판(38) 및 회전축(13)의 후단에 고정된 제2 종동측 자기판(39)과 출력축(29a)의 전단에 고정된 구동측 자기판(37) 사이의 간격을 조정할 수 있다.Here, the rotary shaft 11 of the first adhesive roll 4 is supported by the bearing block 12, the linear block 42 engaged with the linear shaft 41 fixed to the movable frame 24 to the bearing block 12. ) Is fixed. In addition, the rotating shaft 13 of the second adhesive roll 5 is supported by the bearing block 14, and the bearing block 14 is fixed to the movable frame 24. Therefore, the distance (space | interval) in the front-back direction of the drive motor 29 and the rotating shafts 11 and 13 fixed to the fixed frame 32 through the space | interval adjustment mechanism 31 can be adjusted. Therefore, the first driven magnetic plate 38 fixed to the rear end of the rotary shaft 11 and the second driven magnetic plate 39 fixed to the rear end of the rotary shaft 13 and the drive fixed to the front end of the output shaft 29a The distance between the side magnetic plates 37 can be adjusted.

또한, 후술할 바와 같이, 가동 프레임(24)은 고정 프레임(32)에 대하여 출납이 가능 하게 되어 있다. 따라서, 본 형태에서는 종동측 자기판(38,39)과 구동측 자기판(37) 사이의 간격을 간단하게 조정할 수 있다.In addition, as will be described later, the movable frame 24 is capable of putting in and out of the fixed frame 32. Therefore, in this embodiment, the distance between the driven magnetic plates 38 and 39 and the driving magnetic plates 37 can be easily adjusted.

2개의 충격흡수기구(33)는 각각 간격조정기구(31)의 근방에 배치되어 있다. 본 형태의 충격흡수기구(33)는 에어와 오일 등의 유체, 또는 스프링과 고무 등의 탄성부재 등을 가지는 이른바 쇼크 업소버(shock absorber)(댐퍼)이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 형태에서는 충격흡수기구(33)의 헤드측이 고정 프레임(32)에 고정되고, 충격흡수기구(33)의 로드 첨단이 가동 프레임(24)의 후단부에 맞닿을 수 있게 되어 있다. 또, 충격흡수기구(33)는 스프링과 고무 등의 탄성 부재이어도 된다.Two shock absorbing mechanisms 33 are arranged in the vicinity of the gap adjusting mechanism 31, respectively. The shock absorbing mechanism 33 of this embodiment is a so-called shock absorber (damper) having a fluid such as air and oil or an elastic member such as a spring and rubber. As shown in FIG. 3, in this embodiment, the head side of the shock absorbing mechanism 33 is fixed to the fixed frame 32, and the rod tip of the shock absorbing mechanism 33 is fitted to the rear end of the movable frame 24. I can reach it. The shock absorbing mechanism 33 may be an elastic member such as a spring and rubber.

베어링 블록(12,14) 등을 통하여 가동 프레임(24)에 설치된 점착롤(4,5)의 유지보수를 진행하기 위하여, 상술한 바와 같이, 가동 프레임(24)은 본체 프레임(23)에 대하여 출납이 가능하게 되어 있다. 즉, 가동 프레임(24)은 본체 프레임(23)에 고정된 고정 프레임(32)에 대하여 출납이 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 제진장치(1)는 가동 프레임(24)을 꺼내기 위한 인출 레일과 가이드 롤 등을 포함하고 있으며, 가동 프레임(24)은 앞면측에 향하여 인출할 수 있도록 구성되어 있다.In order to proceed with the maintenance of the adhesive rolls 4 and 5 installed on the movable frame 24 through the bearing blocks 12 and 14, the movable frame 24 is provided with respect to the main frame 23. Putting in and taking out is possible. That is, the movable frame 24 can be put in and out of the fixed frame 32 fixed to the main body frame 23. Specifically, the vibration damping apparatus 1 includes the take-out rail, guide roll, etc. for taking out the movable frame 24, and the movable frame 24 is comprised so that it can take out toward a front surface side.

본 형태에서는, 앞면측에 인출된 가동 프레임(24)을 뒷면측에 밀어 넣을 때, 가동 프레임(24)을 필요 이상의 힘으로 밀어 넣어도 고정 프레임(32)에 설치된 부 품과 가동 프레임(24)에 설치된 부품이 충돌하지 않게, 충격흡수기구(33)의 로 드 첨단이 가동 프레임(24)의 후단부에 맞닿는다. 이렇게, 충격흡수기구(33)는 고정 프레임(32)에 설치된 부품과 가동 프레임(24)에 설치된 부품 사이의 충돌을 방지하는 기능을 완수하고 있다. 또, 충격흡수기구(33)는, 가동 프레임(24)이 밀어 넣어질 때의 가동 프레임(24)측의 운동 에너지 및 가동 프레임(24)이 밀어 넣어질 때 증가하는 종동측 자기판(38,39)과 구동측 자기판(37)사이의 자기흡인력을 흡수 감쇠시키는 기능을 완수하고 있다.In this embodiment, when the movable frame 24 drawn out on the front side is pushed to the rear side, even if the movable frame 24 is pushed with a force higher than necessary, the parts and the movable frame 24 provided on the fixed frame 32 are moved. The load tip of the shock absorbing mechanism 33 abuts on the rear end of the movable frame 24 so that the installed parts do not collide. Thus, the shock absorbing mechanism 33 has completed the function of preventing the collision between the component provided in the fixed frame 32 and the component provided in the movable frame 24. In addition, the shock absorbing mechanism 33 has a kinetic energy on the movable frame 24 side when the movable frame 24 is pushed in and a driven magnetic plate 38 which increases when the movable frame 24 is pushed in, The function of absorbing and attenuating the magnetic attraction force between the 39 and the drive-side magnetic plate 37 is accomplished.

이렇게 구성된 회전구동 전달기구부(9)에서는, 구동모터(29)가 회전하여 구동측 자기판(37)이 회전하면, 종동측 자기판(38,39)과 구동측 자기판(37)의 사이에 발생되는 자기력을 통하여, 종동측 자기판(38,39)이 회전하며, 구동모터(29)의 동력이 점착롤(4,5)에 전달된다. 본 형태에서는, 구동측 자기판(37)의 회전에 따라 제1 종동측 자기판(38)은 구동측 자기판(37)의 회전방향(구체적으로는, 도 5의 시계바늘방향)과 반대방향으로 회전하고, 제2 종동측 자기판(39)은 구동측 자기판(37)의 회전방향과 같은 방향으로 회전한다. 즉, 제1 점착롤(4)의 회전방향과 제2 점착롤(5)의 회전방향은 반대로 된다. 또, 제1 점착롤(4)과 제2 점착롤(5)은 동일 회전수로 회전한다.In the rotation drive transmission mechanism 9 configured as described above, when the drive motor 29 rotates and the drive side magnetic plate 37 rotates, between the driven side magnetic plates 38 and 39 and the drive side magnetic plate 37. Through the generated magnetic force, the driven magnetic plates 38 and 39 rotate, and the power of the drive motor 29 is transmitted to the adhesive rolls 4 and 5. In this embodiment, as the driving side magnetic plate 37 rotates, the first driven magnetic plate 38 is opposite to the rotational direction of the driving side magnetic plate 37 (specifically, the clockwise direction in FIG. 5). And the second driven magnetic plate 39 rotates in the same direction as the rotational direction of the driving magnetic plate 37. That is, the rotation direction of the 1st adhesion roll 4 and the rotation direction of the 2nd adhesion roll 5 are reversed. Moreover, the 1st adhesion roll 4 and the 2nd adhesion roll 5 rotate by the same rotation speed.

여기서, 평판형 부재(2)의 먼지제거를 진행하고 있을 때, 점착롤(4,5) 혹은 반 송롤(8) 등에 상정 외의 부하가 걸려 점착롤(4,5)이 로크된 상태로 되면, 종동측 자 기판(38, 39)과 구동측 자기판(37)의 사이에 미끄러움이 생겨, 구동모터(29)로부터 점착롤(4,5)에 대한 동력전달이 차단된다.Here, when the dust removal of the plate-like member 2 is in progress, when the adhesive rolls 4 and 5 or the conveying rolls 8 are subjected to an unexpected load, the adhesive rolls 4 and 5 are locked. Slipperiness occurs between the driven magnetic substrates 38 and 39 and the driving magnetic plate 37, and power transmission from the driving motor 29 to the adhesive rolls 4 and 5 is interrupted.

(본 형태의 주요효과) (Main effect of this form)

이상에서 설명한 바와 같이, 본 형태의 제진장치(1)에서는 구동모터(29)의 동력을 점 착롤(4,5)에 전달하는 전달기구(30)가, 구동모터(29)에 연결되는 구동측 자기판(37)과, 소정 틈을 통하여 구동측 자기판(37)과 대향하는 종동측 자기판(38,38)으로 구성되어 있다. 따라서, 본 형태의 전달기구(30)에는 먼지의 발생원인으로 될 수 있는 톱니바퀴의 맞물림 부분 등이 존재하지 않는다. 그 결과, 본 형태에서는 먼지의 발생을 억제할 수 있다.As described above, in the vibration suppression apparatus 1 of this embodiment, the transmission side 30 which transmits the power of the drive motor 29 to the adhesion rolls 4 and 5 is connected to the drive motor 29. The magnetic plate 37 and the driven magnetic plates 38 and 38 which face the driving side magnetic plate 37 through a predetermined gap are formed. Therefore, in the transmission mechanism 30 of this form, there is no engagement portion or the like of the cog wheels, which may cause dust. As a result, in this embodiment, generation | occurrence | production of dust can be suppressed.

또한, 본 형태에서는 소정 틈을 통하여 대향하는 구동측 자기판(37)과 종동측 자기판(38,39)을 통하여 전달기구(30)가 구성되어 있다. 따라서, 점착롤(4,5) 등에 상정 외의 부하가 걸리는 사태가 발생하여도, 구동측 자기판(37)과 종동측 자기판 (38,39)의 사이에 미끄러움이 생겨, 구동모터(29)로부터 점착롤(4,5)에 대한 동력 전달이 차단된다. 그 결과, 제진장치(1)를 구성하는 부품의 손상, 혹은 이상마모 등을 방지할 수 있다. 또, 점착롤(4,5) 등에 상정 외의 부하가 걸리는 사태가 발생하여도, 반송중의 평판형 부재(2)의 손상을 방지할 수 있다.In addition, in this embodiment, the transmission mechanism 30 is comprised through the drive side magnetic plate 37 and the driven side magnetic plates 38 and 39 which oppose through a predetermined clearance gap. Therefore, even if an unexpected load is applied to the adhesive rolls 4 and 5, slippage occurs between the driving magnetic plate 37 and the driven magnetic plates 38 and 39, and the driving motor 29 ), Power transmission to the adhesive rolls 4 and 5 is blocked. As a result, the damage or abnormal abrasion, etc. of the components which comprise the vibration damping apparatus 1 can be prevented. Moreover, even if the situation which load other than the assumed load arises in the adhesive rolls 4 and 5 arises, the damage of the flat plate-shaped member 2 in conveyance can be prevented.

또한, 본 형태에서는 대략 원판형의 구동측 자기판(37)과 종동측 자기판(38, 39)이 전후방향에서 대향 배치되어 있다. 따라서, 원통형으로 형성된 자석을 직경방향에서 대향시켜 사용하는 경우와 비교하여, 구동모터(29)로부터 점착롤(4,5)에 충분한 구동력을 전달할 수 있다.In this embodiment, the substantially disk-shaped drive-side magnetic plate 37 and the driven-side magnetic plates 38 and 39 are arranged to face each other in the front-rear direction. Therefore, compared with the case where a magnet formed in a cylindrical shape is opposed in the radial direction, sufficient driving force can be transmitted from the driving motor 29 to the adhesive rolls 4 and 5.

특히, 본 형태에서는 상술한 바와 같이, 평판형 부재(2)의 두께에 따라 제1 점착롤(4)이 상측방향으로 이동하는 등, 제1 점착롤(4)이 상측방향으로 이동한 상태에서 제1 종동측 착자부(38a)와 구동측 착자부(37a)의 사이에 빌생되는 자기력이 제1 점착롤(4)이 제2 점착롤(5)에 맞닿은 상태에서 제1 종동측 착자부(38a)와 구동측 착자부(37a)의 사이에 발생되는 자기력보다 크게 저하되지 않게 제1 종동측 자기판(38)과 구동측 자기판(37)이 대향 배치되어 있다. 따라서, 평판형 부재(2)의 두께에 따라 제1 점착롤(4)이 상측방향으로 이동하는 경우 등, 제1 점착롤(4)이 상측방향으로 이동하는 경우에도, 구동모터(29)로부터 점착롤(4,5)에 충분한 구동력을 전달할 수 있다. 그 결과, 제1 점착롤(4)을 원활하게 회전시킬 수 있다.In particular, in the present embodiment, as described above, the first adhesive roll 4 is moved upward in accordance with the thickness of the flat plate member 2, and the first adhesive roll 4 is moved upward. Magnetic force generated between the first driven side magnet portion 38a and the driving side magnetized portion 37a is the first driven side magnetized portion (with the first adhesive roll 4 abutting the second adhesive roll 5). The first driven magnetic plate 38 and the driving magnetic plate 37 are disposed to face each other so that the magnetic force generated between the 38a and the driving magnetizing portion 37a is not significantly lowered. Therefore, even when the first adhesive roll 4 moves upward, such as when the first adhesive roll 4 moves upward according to the thickness of the flat member 2, the drive motor 29 Sufficient driving force can be transmitted to the adhesive rolls 4 and 5. As a result, the 1st adhesion roll 4 can be rotated smoothly.

본 형태에서는, 전후방향으로부터 볼 때, 제1 종동측 자기판(38)은 제1 종동측 착자부(38a)가 구동측 착자부(37a)의 직경방향 외측으로부터 구동측 착자부(37a)에 겹치도록 배치되고, 제2 종동측 자기판(39)은 제2 종동측 착자부(39a)가 구동측 착자부(37a)의 직경방향 내측으로부터 구동측 착자부(37a)에 겹치도록 배치되어 있다. 따라서, 제1 종동측 자기판(38)과 제2 종동측 자기판(39)을 다른 방향으로 회전시킬 수 있다. 그 결과, 1개의 구동측 자기판(37)을 통하여, 평판형 부재(2)의 상면에 맞닿는 제1 점착롤(4)과 평판형 부재(2)의 하면에 맞닿는 제2 점착롤(5)을 적당하게 회전시킬 수 있다.In this embodiment, when viewed from the front-rear direction, the first driven-side magnetic plate 38 has the first driven-side magnetizing portion 38a extending from the radially outer side of the driving-side magnetizing portion 37a to the driving-side magnetizing portion 37a. It arrange | positions so that the 2nd driven side magnetic plate 39 may be arrange | positioned so that the 2nd driven side magnetizing part 39a may overlap with the drive side magnetizing part 37a from the radial inside of the drive side magnetizing part 37a. . Therefore, the first driven magnetic plate 38 and the second driven magnetic plate 39 can be rotated in different directions. As a result, the first adhesive roll 4 abuts on the upper surface of the flat plate member 2 and the second adhesive roll 5 abuts on the bottom surface of the flat plate member 2 through one driving side magnetic plate 37. It can rotate suitably.

본 형태에서는, 2개의 제1 종동측 자기판(38) 및 2개의 제2 종동측 자기판(39) 과 1개의 구동측 자기판(37)이 서로 대향하도록 배치되어 있다. 따라서, 4 개의 점 착롤(4,5)을 1개의 구동모터(29)를 이용하여 구동할 수 있다. 따라서, 제진장치(1)의 구성을 간소화할 수 있다.In this embodiment, the two first driven magnetic plates 38 and the two second driven magnetic plates 39 and the one driving side magnetic plate 37 are disposed to face each other. Therefore, the four sticking rolls 4 and 5 can be driven using one drive motor 29. Therefore, the structure of the damping apparatus 1 can be simplified.

본 형태에서는 제진장치(1)는 제1 점착롤(4)을 상하방향으로 안내하기 위하여, 리니어 샤프트(41)와 리니어 부쉬(42) 등으로 구성된 리니어 가이드(36)를 포함하고 있다. 따라서, 구동측 자기판(37)과 제1 종동측 자기판(38) 사이에 자기적인 흡인력이 발생하는 경우에도, 제1 점착롤(4)의 이동저항을 경감하여 제1 점착롤(4)을 원활하게 상하이동시킬 수 있다. 예를 들면, 평판형 부재(2)의 표면의 먼지를 제거할 때, 평판형 부재(2)의 두께에 따라 제1 점착롤(4)을 상하방향으로 원활하게 이동시킬수 있다. 또, 점착롤(4,5) 등의 유지보수를 진행하기 위하여 상하방향으로 제1 점착롤(4)을 이동시키는 경우에도, 제1 점착롤(4)을 상하방향으로 원활하게 이동시킬수 있다.In this embodiment, the damping apparatus 1 includes the linear guide 36 comprised from the linear shaft 41, the linear bush 42, etc. in order to guide the 1st adhesion roll 4 to an up-down direction. Therefore, even when a magnetic attraction force is generated between the driving magnetic plate 37 and the first driven magnetic plate 38, the movement resistance of the first adhesive roll 4 is reduced to reduce the first adhesive roll 4. Can be moved smoothly. For example, when the dust on the surface of the flat member 2 is removed, the first adhesive roll 4 can be smoothly moved up and down in accordance with the thickness of the flat member 2. Moreover, even when the 1st adhesion roll 4 is moved to an up-down direction in order to advance maintenance of adhesive rolls 4 and 5, the 1st adhesion roll 4 can be moved smoothly to an up-down direction.

본 형태에서는, 제진장치(1)는 구동측 자기판(37)과 종동측 자기판(38,39)의 간격을 조정하기 위한 간격조정기구(31)를 포함하고 있다. 따라서, 구동측 자기판(37) 측으로부터 종동측 자기판(38,39) 측에 전달할 수 있는 동력(토크)을 필요에 따라 조정할 수 있다.In this embodiment, the vibration suppression apparatus 1 includes a gap adjusting mechanism 31 for adjusting the gap between the drive side magnetic plate 37 and the driven side magnetic plates 38 and 39. Therefore, the power (torque) which can be transmitted from the driving side magnetic plate 37 side to the driven magnetic plates 38 and 39 side can be adjusted as needed.

본 형태에서는, 제진장치(1)는 고정 프레임(32)과 가동 프레임(24)의 사이에 배치되는 충격흡수기구(33)를 포함하고 있다. 따라서, 점착롤(4,5)의 유지보수를 진행하기 위하여 고정 프레임(32)으로부터 인출된 가동 프레임(24)을 다시 고정 프레임(32)에 밀어 넣을 때, 고정 프레임(32)에 설치된 부품과 가동 프레임(24)에 설치된 부품의 충돌을 방지할 수 있다. 또, 가동 프레임(24)이 밀어 넣어질 때의 가 동 프레임(24) 측의 운동 에너지 및 가동 프레임(24)이 밀어 넣어질 때 증가하는 종동측 자기판(38,39)과 구동측 자기판(37) 사이의 자기흡인력을 흡수 감쇠시킬 수 있다.In this embodiment, the vibration damping apparatus 1 includes the shock absorbing mechanism 33 disposed between the fixed frame 32 and the movable frame 24. Therefore, when the movable frame 24 drawn out from the fixed frame 32 is pushed back into the fixed frame 32 in order to proceed with the maintenance of the adhesive rolls 4 and 5, The collision of the components installed in the movable frame 24 can be prevented. In addition, kinetic energy on the movable frame 24 side when the movable frame 24 is pushed in and driven side magnetic plates 38 and 39 and drive side magnetic plates which increase when the movable frame 24 is pushed in The magnetic attraction force between 37 can be absorbed and attenuated.

(기타 실시형태) (Other Embodiments)

상술의 형태는 본 발명의 알맞은 형태의 일 예이지만, 이것에 제한되지 않고, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 각종 변형 실시가 가능하다.Although the form mentioned above is an example of the suitable form of this invention, it is not limited to this, A various deformation | transformation is possible in the range which does not change the summary of this invention.

상술 형태에서 구동측 자기판(37)은 구동모터(29)의 출력축(29a)에 고정되어 있다. 즉, 구동측 자기판(37)은 직접 구동모터(29)에 연결되어 있다. 이외에도 예를 들면, 컵링(cup ring) 등을 통하여 출력축(29a)에 설치된 회전축 등에 구동측 자기판(37)이 고정되어도 된다. 즉, 구동측 자기판(37)은 소정의 연결 부재를 통하여 구동 모터(29)에 연결되어도 된다.In the above embodiment, the drive-side magnetic plate 37 is fixed to the output shaft 29a of the drive motor 29. That is, the drive side magnetic plate 37 is directly connected to the drive motor 29. In addition, for example, the drive-side magnetic plate 37 may be fixed to a rotating shaft provided on the output shaft 29a via a cup ring or the like. That is, the drive side magnetic plate 37 may be connected to the drive motor 29 through a predetermined connecting member.

또한, 상술의 형태에서 제1 종동측 자기판(38)은 제1 점착롤(4)의 회전축(11)에 고정되고, 제2 종동측 자기판(39)은 제2 점착롤(5)의 회전축(13)에 고정되어 있다. 즉, 종동측 자기판(38,39)은 회전축(11,13)을 통하여 점착롤(4,5)에 연결되어 있다. 이외에도 예를 들면, 종동측 자기판(38,39)은 점착롤(4,5)에 직접 고정되어도 된다. 또, 회전축(11,13)에 설치된 소정의 연결 부재에 종동측 자기판(38,39)이 고정되어도 된다.In the above-described embodiment, the first driven magnetic plate 38 is fixed to the rotation shaft 11 of the first adhesive roll 4, and the second driven magnetic plate 39 is formed of the second adhesive roll 5. It is fixed to the rotating shaft 13. That is, the driven magnetic plates 38 and 39 are connected to the adhesive rolls 4 and 5 via the rotation shafts 11 and 13. In addition, for example, the driven magnetic plates 38 and 39 may be directly fixed to the adhesive rolls 4 and 5. In addition, the driven magnetic plates 38 and 39 may be fixed to predetermined connection members provided on the rotation shafts 11 and 13.

상술한 형태에서, 제진장치(1)는 4개의 제1 점착롤(4)과 4개의 제2 점착롤(5) 을 포함하고 있다. 이외에도 예를 들면, 제진장치(1)는 2개만의 제1점착롤(4)과 2 개만의 제2 점착롤(5)을 포함하여도 된다. 이 경우에, 제진장치(1)가 2 개의 구동모 터(29)를 포함하고, 1개의 제1 종동측 자기판(38) 및 1개의 제2 종동측 자기판(39)과 1개의 구동측 자기판(37)이 대향 배치되고, 1개의 구동모터(29)를 통하여 2개의 점 착롤(4,5)이 구동되어도 된다. 또, 제진장치(1)가 1개만의 구동모터(29)를 포함하고, 상술한 형태와 같게, 2개의 제1 종동측 자기판(38) 및 2개의 제2 종동측 자기판(39)과 1개의 구동측 자기판(37)이 대향 배치되고, 1개의 구동모터(29)를 통하여 4개의 점착롤(4,5)이 구동되어도 된다.In the above-described form, the vibration damping apparatus 1 includes four first adhesive rolls 4 and four second adhesive rolls 5. In addition, for example, the vibration damping apparatus 1 may also include two first adhesive rolls 4 and only two second adhesive rolls 5. In this case, the vibration damping apparatus 1 includes two drive motors 29, one first driven magnetic plate 38 and one second driven magnetic plate 39 and one driving side. The magnetic plates 37 may be disposed to face each other, and the two adhesive rolls 4 and 5 may be driven through one driving motor 29. In addition, the vibration damping apparatus 1 includes only one drive motor 29, and the two first driven magnetic plates 38 and the two second driven magnetic plates 39 are the same as those described above. One drive-side magnetic plate 37 may be arranged to face each other, and four adhesive rolls 4 and 5 may be driven through one drive motor 29.

상술한 형태에서, 구동측 착자부(37a)는 원환형으로 형성되어 있다. 이외에도 예를 들면, 구동측 착자부(37a)는 원판형으로 형성되어도 된다. 마찬가지로, 상술한 형태에서 종동측 착자부(38a,39a)는 원환형으로 형성되어 있지만, 종동측 착자 부(38a, 39a)는 원판형으로 형성되어도 된다.In the above-described form, the drive side magnetizing portion 37a is formed in an annular shape. In addition, for example, the drive side magnetizing part 37a may be formed in disk shape. Similarly, in the above-described form, the driven magnetizing parts 38a and 39a are formed in an annular shape, but the driven magnetizing parts 38a and 39a may be formed in a disc shape.

상술한 형태에서는, 제1 종동측 자기판(38)이 구동측 자기판(37)과 반대방향으로 회전하고, 제2 종동측 자기판(39)이 구동측 자기판(37)과 같은 방향으로 회전하고 있다. 이외에도 예를 들면, 제1 종동측 자기판(38)이 구동측 자기판(37)과 같은 방향으로 회전하고, 제2 종동측 자기판(39)이 구동측 자기판(37)과 반대방향으로 회전하도록 전달기구(30)가 구성되어도 된다. 또, 상술한 형태에서는 제2 점착롤(5)의 회전축(13)을 지지하는 베어링 블록(14)이 가동 프레임(24)에 고정되고, 제1 점착롤(4)의 회전축(11)을 지지하는 베어링 블록(12)이 상하이동할 수 있게 되어 있다. 이외에도 예를 들면, 베어링 블록(12)이 가동 프레임(24)에 고정되고, 베어링 블록(14)이 상하이동할 수 있게 구성되어도 된다.In the above-described form, the first driven magnetic plate 38 is rotated in the direction opposite to the driving side magnetic plate 37, and the second driven magnetic plate 39 is in the same direction as the driving side magnetic plate 37. It's spinning. In addition, for example, the first driven magnetic plate 38 rotates in the same direction as the driving magnetic plate 37, and the second driven magnetic plate 39 is opposite to the driving magnetic plate 37. The transmission mechanism 30 may be comprised so that it may rotate. Moreover, in the form mentioned above, the bearing block 14 which supports the rotating shaft 13 of the 2nd adhesive roll 5 is fixed to the movable frame 24, and the rotating shaft 11 of the 1st adhesive roll 4 is supported. The bearing block 12 can be moved. In addition, for example, the bearing block 12 may be fixed to the movable frame 24, and the bearing block 14 may be configured to be movable.

상술한 형태에서, 제진장치(1)에서는 평판형 부재(2)의 상하 양면의 먼지제 거가 진행되고 있다. 이외에도 예를 들면, 제진장치(1)가 제1 점착롤(4) 혹은 제 2 점착롤(5)의 어느 한쪽만을 포함하고, 제진장치(1)에서 평판형 부재(2)의 단면만의 먼지제거가 진행되어도 된다. 이 경우에, 1개의 구동측 자기판(37)으로부터 2개의 제1 종동측 자기판(38) 또는 2개의 제2 종동측 자기판(39)에 구동모터(29)의 동력이 전달되도록 제1 종동측 자기판(38) 혹은 제2 종동측 자기판(39)과 구동측 자기판(37)이 배치되면 된다.In the above-mentioned form, in the vibration damping apparatus 1, dust removal of the upper and lower surfaces of the flat member 2 is advanced. In addition, for example, the vibration damping apparatus 1 includes only either one of the 1st adhesive roll 4 or the 2nd adhesive roll 5, and the dust removal apparatus 1 has only the dust of only the end surface of the flat plate-shaped member 2 Removal may proceed. In this case, the first motor is configured such that the power of the driving motor 29 is transmitted from one driving side magnetic plate 37 to two first driven magnetic plates 38 or two second driven magnetic plates 39. The driven magnetic plate 38 or the second driven magnetic plate 39 and the driving magnetic plate 37 may be disposed.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관계되는 제진장치의 개략구성을 정면으로부 터 설명하기 위한 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure for demonstrating the schematic structure of the damping apparatus which concerns on embodiment of this invention from the front.

도 2는 도 1의 E-E단면의 개략구성을 설명하기 위한 도면이다. 2 is a view for explaining a schematic configuration of the E-E cross section of FIG.

도 3은 도 2에 도시된 회전구동 전달기구부의 구성을 상면으로부터 설명하기 위한 도면이다.3 is a view for explaining the configuration of the rotation drive transmission mechanism shown in FIG.

도 4는 도 2의 F-F방향으로부터 회전구동 전달기구부의 일부분 구성을 설명하기 위한 도면이다.4 is a view for explaining a part of the rotation drive transmission mechanism portion from the F-F direction of FIG.

도 5는 도 4에 도시된 구동측 자기판과 종동측 자기판의 배치관계를 설명하기 위한 도면이며, 도 5a는 전후방향으로부터 볼 때의 배치관계를 나타내고, 도 5b는 도 5a의 G-G방향으로부터 볼 때의 배치관계를 나타낸다.FIG. 5 is a view for explaining an arrangement relationship between the driving magnetic plate and the driven magnetic plate shown in FIG. 4, FIG. 5A shows an arrangement relationship when viewed from the front-rear direction, and FIG. 5B is taken from the GG direction of FIG. 5A. It shows the layout relationship in view.

도 6은 도 4에 도시된 베어링 블록 및 리니어 부쉬를 나타내는 도면이다.FIG. 6 is a view illustrating a bearing block and a linear bush shown in FIG. 4.

부호의 설명Explanation of the sign

1 제진장치1 vibration damper

2 평판형 부재2 flat members

4 제1 점착롤(점착롤)4 First Adhesion Roll (Adhesive Roll)

5 제2 점착롤(점착롤)5 2nd adhesive roll (adhesive roll)

11 회전축11 axis of rotation

24 가동 프레임24 movable frames

29 구동모터29 Drive Motor

30 전달기구30 delivery mechanism

31 간격조정기구31 Spacing mechanism

32 고정 프레임32 fixed frame

33 충격흡수기구33 Shock Absorber

37 구동측 자기판(구동측 자기부재)37 Drive Side Magnetic Plate (Drive Side Magnetic Member)

37a 구동측 착자부37a drive side magnet

38 제1 종동측 자기판(제1 종동측 자기부재, 종동측 자기부재)38 First driven magnetic plate (first driven magnetic member, driven magnetic member)

38a 제1 종동측 착자부(종동측 착자부)38a First driven magnetized part (driven magnetized part)

39 제2 종동측 자기판(제2 종동측 자기부재, 종동측 자기부재)39 Second driven magnetic plate (second driven magnetic member, driven magnetic member)

39a 제2 종동측 착자부(종동측 착자부)39a 2nd driven magnetizer (driven magnetizer)

42 리니어 부쉬42 linear bush

Claims (6)

평판형 부재를 반송하면서 상기 평판형 부재의 표면에 부착된 먼지를 제거하는 제진장치에 있어서, In the vibration suppression apparatus which removes the dust adhering to the surface of the said flat plate member, conveying a flat plate member, 상기 평판형 부재의 표면에 맞닿아 상기 먼지를 흡착하는 점착롤, 상기 점착롤을 회전구동하는 구동모터, 및 상기 구동모터의 동력을 상기 점착롤에 전달하는 전달기구를 포함하고,A pressure-sensitive adhesive roll that abuts on the surface of the flat member to adsorb the dust, a driving motor that rotates the pressure-sensitive adhesive roll, and a transmission mechanism that transmits power of the driving motor to the pressure-sensitive adhesive roll, 상기 전달기구는, 대략 원판형으로 형성되고 상기 구동모터에 연결되는 구동측 자기부재와, 상기 구동측 자기부재보다 직경이 작은 대략 원판형으로 형성되고 소정 간격을 두고 상기 구동측 자기부재와 대향하는 종동측 자기부재를 포함하고,The transmission mechanism is formed in a substantially disc shape and connected to the drive motor, and is formed in a substantially disc shape having a diameter smaller than that of the drive side magnetic member and faces the drive side magnetic member at predetermined intervals. Including a driven magnetic member, 상기 구동측 자기부재는 상기 구동측 자기부재의 회전중심을 중심으로 하여 원판형 또는 원환형으로 형성된 구동측 착자부를 포함하고, 상기 종동측 자기부재는 상기 종동측 자기부재의 회전중심을 중심으로 하여 상기 구동측 착자부보다 직경이 작은 원판형 혹은 원환형으로 형성된 종동측 착자부를 포함하며,The drive side magnetic member includes a drive side magnetized portion formed in a disk shape or a ring shape around the center of rotation of the drive side magnetic member, and the driven side magnetic member has a center of rotation of the driven side magnetic member. It includes a driven side magnetizing portion formed in a disk or annular shape having a smaller diameter than the drive side magnetizing portion, 상기 구동측 자기부재와 상기 종동측 자기부재는, 상기 구동측 자기부재와 상기 종동측 자기부재의 대향방향으로부터 볼 때, 상기 구동측 착자부와 상기 종동측 착자부가 겹치도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 제진장치.The drive-side magnetic member and the driven magnetic member are disposed so that the drive-side magnetized portion and the driven-side magnetized portion overlap with each other when viewed from the opposite direction of the drive-side magnetic member and the driven-side magnetic member. Vibration damper 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 점착롤은, 상기 평판형 부재의 일방의 표면에 맞닿는 제1 점착롤과, 상 기 평판형 부재의 타방의 표면에 맞닿는 제2 점착롤을 포함하고,The pressure-sensitive adhesive roll includes a first pressure-sensitive adhesive roll that abuts on one surface of the flat plate-like member, and a second pressure-sensitive adhesive roll that abuts on the other surface of the flat plate-shaped member, 상기 종동측 자기부재는, 상기 제1 점착롤에 연결되는 제1 종동측 자기부재와, 상기 제2 점착롤에 연결되는 제2 종동측 자기부재를 포함하고, The driven magnetic member includes a first driven magnetic member connected to the first adhesive roll, and a second driven magnetic member connected to the second adhesive roll, 상기 제1 종동측 자기부재는 상기 종동측 착자부로서 제1 종동측 착자부를 포함하고, 상기 제2 종동측 자기부재는 상기 종동측 착자부로서 제2 종동측 착자부를 포함하고,The first driven magnetic member includes a first driven side magnetized portion as the driven side magnetized portion, the second driven magnetic member includes a second driven side magnetized portion as the driven side magnetized portion, 상기 제1 종동측 자기부재는 상기 제1 종동측 착자부가 상기 구동측 착자부 의 직경방향 외측으로부터 상기 구동측 착자부에 겹치도록 배치되고, 상기 제2 종동측 자기부재는 상기 제2 종동측 착자부가 상기 구동측 착자부의 직경방향 내측으로부터 상기 구동측 착자부에 겹치도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 제진장치.The first driven magnetic member is disposed such that the first driven side magnet part overlaps the driving side magnet part from a radially outer side of the driving side magnet part, and the second driven side magnetic member is the second driven side. A magnetizer is arranged so that a magnetization part overlaps with the said drive side magnetization part from the radially inner side of the said drive side magnetization part. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 2개의 상기 제1 점착롤과 2개의 상기 제2 점착롤을 포함하는 동시에, 상기 제1 점착롤에 각각 연결되는 2개의 상기 제1 종동측 자기부재와, 상기 제2 점착롤에 각각 연결되는 2개의 상기 제2 종동측 자기부재를 포함하고,At least two first adhesive rolls each including two first adhesive rolls and two second adhesive rolls, respectively connected to the first adhesive roll, and two connected to the second adhesive roll, respectively. Two second driven magnetic members; 2개의 상기 제1 종동측 자기부재 및 2개의 상기 제2 종동측 자기부재는 1개의 상기 구동측 자기부재에 대향하여 있는 것을 특징으로 하는 제진장치.And the two first driven magnetic members and the two second driven magnetic members are opposed to the one driving side magnetic member. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 구동측 자기부재는, 상기 점착롤의 회전축에 고정되는 동시에, 상기 점착롤을 상기 점착롤의 회전축의 축방향에 직교하는 방향으로 안내하는 리니어 부쉬를 포함하는 것을 특징으로 하는 제진장치.The drive-side magnetic member includes a linear bush that is fixed to the rotational axis of the pressure-sensitive adhesive roll and guides the pressure-sensitive adhesive roll in a direction orthogonal to the axial direction of the rotational axis of the pressure-sensitive adhesive roll. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 구동측 자기부재와 상기 종동측 자기부재의 간격을 조정하기 위한 간격조정기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 제진장치.And a gap adjusting mechanism for adjusting a gap between the drive side magnetic member and the driven side magnetic member. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 5, 상기 구동모터 및 상기 구동측 자기부재가 설치되는 고정 프레임, 상기 점착롤 및 상기 종동측 자기부재가 설치되는 동시에 상기 고정 프레임에 대하여 출납가능한 가동 프레임, 및 상기 고정 프레임과 상기 가동 프레임의 사이에 배치되는 충격흡수기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 제진장치.A fixed frame on which the drive motor and the drive side magnetic member are installed, a movable frame on which the adhesive roll and the driven side magnetic member are installed, and which can be put in and out of the fixed frame, and disposed between the fixed frame and the movable frame Vibration damper characterized in that it comprises a shock absorbing mechanism.
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