KR20080095521A - Organic electroluminescent device and method for fabricating thereof - Google Patents

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Abstract

An organic electroluminescent device and a method for fabricating the same are provided to perform double-sided emission by forming a positive electrode and a negative electrode made of transparent conductive material. An organic electroluminescent device includes a first electrode(101), a second electrode(110), an organic light emitting layer(105), an electron injection layer(103), an electron transport layer(104), a hole injection layer(107), and a hole transport layer(106). The organic light emitting layer is disposed between the first electrode and the second electrode. The electron injection layer and the electron transport layer are disposed between the first electrode and the organic light emitting layer. The hole injection layer and the hole transport layer are disposed between the second electrode and the organic light emitting layer. The first electrode includes a first electrode layer(101a) and a second electrode layer(101b) made of transparent conductive material.

Description

유기전계발광장치 및 그 제조방법{Organic Electroluminescent Device and method for fabricating thereof}Organic electroluminescent device and method for fabrication thereof

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계발광장치의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of an organic light emitting display device according to the prior art.

도 2는 본 발명에 따른 유기전계발광장치의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of an organic light emitting display device according to the present invention.

도 3a 내지 도 3d는 본 발명에 따른 유기전계발광장치의 제조공정을 도시한 단면도이다.3A to 3D are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of an organic light emitting display device according to the present invention.

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따라 유기전계발광장치의 투명한 음극을 형성하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.4A and 4B are views for explaining a process of forming a transparent cathode of an organic light emitting display device according to the present invention.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 상하부 발광방향을 갖는 유기전계발광장치의 단면도이다.5 is a cross-sectional view of an organic light emitting display device having upper and lower emission directions according to another embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100: 절연기판 101: 제 1 전극100: insulating substrate 101: first electrode

101a: 제 1 전극층 101b: 제 2 전극층101a: first electrode layer 101b: second electrode layer

103: 전자 주입층 104: 전자 수송층103: electron injection layer 104: electron transport layer

105: 유기 발광층 110: 제 2 전극105: organic light emitting layer 110: second electrode

120: 제 1 금속패턴 130: 제 2 금속패턴120: first metal pattern 130: second metal pattern

본 발명은 유기전계발광장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 상하 방향으로 발광을 할 수 있는 유기전계발광장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly to an organic electroluminescent device capable of emitting light in the vertical direction and a manufacturing method thereof.

최근, 정보처리장치 및 정보처리장치에서 처리된 전기적 신호 형태의 데이터를 영상으로 표시하는 표시 장치가 개발되고 있다.Recently, display apparatuses for displaying data in the form of electrical signals processed by the information processing apparatus and the information processing apparatus as images have been developed.

대표적인 표시장치의 예로서는 액정표시장치, 유기전계발광장치 및 플라즈마 표시 패널 등을 들 수 있다. 액정표시장치는 액정을 이용하여 영상을 표시하고, 유기전계발광장치는 유기 발광물질을 이용하여 영상을 표시하고, 플라즈마 표시 패널은 플라즈마를 이용하여 영상을 표시한다. 상술된 표시 장치들은 컴퓨터, 노트북, 시계, 휴대폰, MP3 플레이어, 텔레비젼 수신기 세트 등과 같은 정보처리장치에 주로 채용되고 있다.Examples of the representative display device include a liquid crystal display device, an organic light emitting display device, a plasma display panel, and the like. A liquid crystal display displays an image using liquid crystal, an organic light emitting display displays an image using an organic light emitting material, and a plasma display panel displays an image using plasma. The display devices described above are mainly employed in information processing devices such as computers, laptops, watches, mobile phones, MP3 players, television receiver sets and the like.

상기 유기 발광 물질을 사용하여 영상을 표시하는 유기전계발광장치는 백라이트와 같은 광 공급 수단을 필요로 하지 않기 때문에 부피 및 무게를 크게 감소시킬 수 있는 장점을 갖는다.The organic electroluminescent device displaying an image using the organic light emitting material has an advantage of greatly reducing volume and weight since it does not require a light supply means such as a backlight.

유기전계발광장치는 한 쌍의 도전성 전극들, 상기 도전성 전극들 사이에 개재된 유기 발광층을 포함한다. 유기 발광층은 유기 발광 물질을 포함한다. 유기전계발광장치의 도전성 전극들에 순방향 전류를 인가할 경우, 유기 발광층으로부터는 광이 발생된다.The organic light emitting device includes a pair of conductive electrodes and an organic light emitting layer interposed between the conductive electrodes. The organic light emitting layer includes an organic light emitting material. When forward current is applied to the conductive electrodes of the organic light emitting device, light is generated from the organic light emitting layer.

도 1은 종래 유기전계발광장치의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a conventional organic light emitting display device.

도 1을 참조하면, 유기전계발광장치(organic light emitting device;10)는 제1 전극(first electrode; 1), 제2 전극(second electrode; 2), 전자 주입층(electron injection layer; 3), 전자 수송층(electron transport layer; 4), 유기 발광층(organic light emitting layer; 5), 홀 주입층(hole injection layer; 6) 및 홀 수송층(hole transport layer;7)을 포함한다.Referring to FIG. 1, an organic light emitting device 10 includes a first electrode 1, a second electrode 2, an electron injection layer 3, An electron transport layer 4, an organic light emitting layer 5, a hole injection layer 6, and a hole transport layer 7.

전자 주입층(3)은 제1 전극(1) 상에 배치되고, 전자 수송층(4)은 전자 주입층(3)상에 배치된다.The electron injection layer 3 is disposed on the first electrode 1, and the electron transport layer 4 is disposed on the electron injection layer 3.

홀 주입층(6)은 제2 전극(2)상에 배치되고, 홀 수송층(7)은 홀 주입층(6)상에 배치된다.The hole injection layer 6 is disposed on the second electrode 2, and the hole transport layer 7 is disposed on the hole injection layer 6.

유기 발광층(5)은 전자 수송층(4) 및 홀 수송층(7)의 사이에 개재된다.The organic light emitting layer 5 is interposed between the electron transport layer 4 and the hole transport layer 7.

홀은 제2 전극(2), 홀 주입층(6) 및 홀 수송층(7)을 통해 유기 발광층(5)으로 제공되고, 전자는 제1 전극(1), 전자 주입층(3) 및 전자 수송층(4)을 통해 유기 발광층(5)으로 제공되어, 유기 발광층(5)에서 광이 발생된다.The holes are provided to the organic light emitting layer 5 through the second electrode 2, the hole injection layer 6 and the hole transport layer 7, and the electrons are the first electrode 1, the electron injection layer 3 and the electron transport layer. It is provided to the organic light emitting layer 5 via (4), and light is generated in the organic light emitting layer 5.

그러나, 종래 유기전계발광장치(10)의 제 1 전극(1)과 제 2 전극(2)중 홀 주입층(6)과 인접해 있는 전극은 양극(anode)으로써, 투명성 도전물질로 형성하고, 전자주입층(3)과 인접해 있는 전극은 음극(cathode)으로써, 일함수가 낮은 불투명 도전물질로 형성한다. 따라서, 종래 기술의 유기전계발광장치(10)는 선택된 전극의 재질상 양극 방향으로만 광이 발광될 수 밖에 없다. 즉, 투명성 도전물질을 사용하는 양극 방향으로만 발광방향이 제한된다.However, the electrode adjacent to the hole injection layer 6 of the first electrode 1 and the second electrode 2 of the conventional organic light emitting device 10 is an anode, formed of a transparent conductive material, The electrode adjacent to the electron injection layer 3 is a cathode, and is formed of an opaque conductive material having a low work function. Therefore, in the organic light emitting device 10 of the prior art, light can only be emitted in the direction of the anode due to the material of the selected electrode. That is, the light emission direction is limited only to the anode direction using the transparent conductive material.

따라서, 종래 기술에서는 양극과 음극 방향으로 발광할 수 없어 다양한 디스 플레이 장치에 적용의 한계가 있었다.Therefore, in the prior art, there is a limit of application to various display devices because it cannot emit in the positive and negative directions.

만약, 음극을 투명성 도전물질을 사용하면 낮은 일함수 조건을 충족하지 못해 발광 효율이 떨어지는 문제가 발생된다.If the cathode is a transparent conductive material, it does not meet the low work function conditions, causing a problem of low luminous efficiency.

본 발명은, 유기전계발광장치의 양의 전극과 음의 전극을 모두 투명성 도전물질로 형성하여, 양면 발광할 수 있는 유기전계발광장치 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide an organic electroluminescent device capable of emitting both sides by forming both a positive electrode and a negative electrode of an organic electroluminescent device with a transparent conductive material, and a method of manufacturing the same.

또한, 본 발명은 유기전계발광장치의 음의 전극을 투명성 도전물질로 사용하고, 일함수를 낮추기 위해 음의 전극 표면에 균일한 두께의 투명한 금속막을 형성함으로써, 소자 특성을 개선한 유기전계발광장치 및 그 제조방법을 제공함에 다른 목적이 있다.In addition, the present invention uses the negative electrode of the organic electroluminescent device as a transparent conductive material, and by forming a transparent metal film of uniform thickness on the surface of the negative electrode in order to lower the work function, the organic electroluminescent device having improved device characteristics And other methods for providing the same.

상기한 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 유기전계발광장치는,In order to achieve the above object, the organic light emitting device according to the present invention,

제 1 전극;A first electrode;

제 2 전극;Second electrode;

상기 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 배치된 유기 발광층; 및An organic emission layer disposed between the first electrode and the second electrode; And

상기 제 1 전극과 유기 발광층 사이에 배치된 전자 주입층과 전자 수송층;An electron injection layer and an electron transport layer disposed between the first electrode and the organic light emitting layer;

상기 제 2 전극과 유기 발광층 사이에 배치된 홀 주입층과 홀 수송층을 포함하고, A hole injection layer and a hole transport layer disposed between the second electrode and the organic light emitting layer,

상기 제 1 전극은 투명성 도전물질로 된 제 1 전극층과 제 2 전극층을 포함 한다.The first electrode includes a first electrode layer and a second electrode layer made of a transparent conductive material.

본 발명의 다른 실시예에 의한 유기전계발광장치 제조방법은,Organic electroluminescent device manufacturing method according to another embodiment of the present invention,

기판 상에 제 1 전극층을 형성하고, 계속해서 제 1, 2 금속막을 순차적으로 형성하는 단계;Forming a first electrode layer on the substrate, and subsequently forming first and second metal films sequentially;

상기 제 2 금속막이 형성된 기판 상에 열처리 공정을 진행하여 상기 제 1 전극층 상에 제 2 전극층을 형성하는 단계;Forming a second electrode layer on the first electrode layer by performing a heat treatment process on the substrate on which the second metal film is formed;

상기 제 2 전극층 상에 존재하는 제 1, 2 금속막을 제거한 다음, 순차적으로 전자 주입층, 전자 수송층, 유기 발광층, 홀 수송층 및 홀 주입층을 형성하는 단계; 및Removing the first and second metal layers existing on the second electrode layer, and subsequently forming an electron injection layer, an electron transport layer, an organic emission layer, a hole transport layer, and a hole injection layer; And

상기 홀 주입층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함한다.Forming a second electrode on the hole injection layer.

본 발명의 또 다른 실시예에 의한 유기전계발광장치는,Organic electroluminescent device according to another embodiment of the present invention,

제 1 기판;A first substrate;

제 2 기판;A second substrate;

상기 제 1 기판 상에 각각의 서브 픽셀 단위로 형성된 박막 트랜지스터; 및A thin film transistor formed on each of the sub-pixels on the first substrate; And

상기 제 1 기판 상의 박막 트랜지스터와 각각 연결된 제 1 전극과 유기 발광층 및 제 2 전극으로 구성된 발광 다이오드를 포함하고,A light emitting diode comprising a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode respectively connected to the thin film transistor on the first substrate,

상기 제 1 전극은 투명한 도전물질로된 제 1 및 2 전극층으로 구성되고, 제 2 전극은 투명한 도전물질로된 형성되어 상하부 양면 발광할 수 있는 것을 특징으로 한다.The first electrode is composed of first and second electrode layers made of a transparent conductive material, and the second electrode is formed of a transparent conductive material and is capable of emitting both upper and lower surfaces.

본 발명에 의하면, 유기전계발광장치의 양의 전극과 음의 전극을 모두 투명 성 도전물질로 형성하여, 양면 발광할 수 있다.According to the present invention, both the positive electrode and the negative electrode of the organic light emitting device can be formed of a transparent conductive material, thereby emitting both sides of light.

또한, 본 발명은 유기전계발광장치의 음의 전극을 투명성 도전물질로 사용하고, 일함수를 낮추기 위해 음의 전극 표면에 균일한 두께의 투명한 금속막을 형성함으로써, 소자 특성을 개선하였다.In addition, the present invention improves device characteristics by using a negative electrode of the organic light emitting device as a transparent conductive material and forming a transparent metal film having a uniform thickness on the negative electrode surface in order to lower the work function.

이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 실시 예를 자세히 설명하도록 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이하, 본 발명에 의한 유기전계발광장치의 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 장치의 크기 및 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, with reference to the drawings of the organic light emitting display device according to the present invention will be described in detail. The following embodiments are provided as examples to ensure that the spirit of the present invention can be fully conveyed to those skilled in the art. Accordingly, the present invention is not limited to the embodiments described below and may be embodied in other forms. In the drawings, the size and thickness of the device may be exaggerated for convenience. Like numbers refer to like elements throughout.

도 2는 본 발명에 따른 유기전계발광장치의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of an organic light emitting display device according to the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유기전계발광장치는, 투명성 절연기판(100) 상에 배치된 제1 전극(101: cathode)은 투명하면서 도전성인 물질을 포함하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(101)은 제 1 전극층(101a)과 제 2 전극층(101b)으로 구성되어 있고, 제 1 전극층(101a)에 사용될 수 있는 물질의 예로서는 산화 주석 인듐(Indium Tin Oxide, ITO), 산화 아연 인듐(Indium Zinc Oxide, IZO), 아몰퍼스 산화 주석 인듐(amorphous Indium Tin Oxide, a-ITO)을 포함하는 투명성 도전 산화물(TCO: Transparent Conducting Oxide)를 들 수 있다.As shown in FIG. 2, the organic light emitting display device according to the present invention may include a first cathode 101 disposed on the transparent insulating substrate 100 including a transparent and conductive material. For example, the first electrode 101 is composed of a first electrode layer 101a and a second electrode layer 101b, and examples of materials that can be used for the first electrode layer 101a include indium tin oxide (Indium Tin Oxide). ITO), Indium Zinc Oxide (IZO), and amorphous conducting oxide (TCO: Transparent Conducting Oxide) including amorphous Indium Tin Oxide (a-ITO).

상기 제 2 전극층(101b)은 제 1 전극층(101a)의 높은 일함수 특성을 낮추기 위해 낮은 일함수 값을 갖는 도전물질로 형성된다. 예를 들어 상기 제 1 전극층(101a)의 산소 성분과 결합하여 도전도가 높은 투명한 박막층을 형성할 수 있는 금속을 사용한다. 그 일예로 본 발명에서는 Ti 계열을 사용하고 열처리 공정을 진행하여 제 1 전극층(101a) 상에 TiO 계열의 금속막이 형성될 수 있도록 하였으나, 이에 Ti계열의 금속에 한정되는 것은 아니다. 즉, 산소 성분과 결합하여 금속막을 형성할 수 있는 도전성 물질이면 가능하다.The second electrode layer 101b is formed of a conductive material having a low work function value in order to lower the high work function characteristic of the first electrode layer 101a. For example, a metal may be used in combination with the oxygen component of the first electrode layer 101a to form a transparent thin film layer having high conductivity. As an example, in the present invention, a TiO-based metal film may be formed on the first electrode layer 101a by using a Ti-based and a heat treatment process, but the present invention is not limited to the Ti-based metal. That is, it is possible as long as it is an electroconductive material which can combine with an oxygen component and can form a metal film.

제1 전극(101)의 제 2 전극층(101b) 상에는 전자 주입층(103)과 전자 수송층(104)이 각각 형성되고, 상기 전자 수송층(104) 상에는 유기 발광층(105)이 형성되어 있다. 상기 유기 발광층(105)은 적색, 녹색 및 청색광을 발생하기에 적합한 여러 가지 고분자 재료를 사용할 수 있다.The electron injection layer 103 and the electron transporting layer 104 are formed on the second electrode layer 101b of the first electrode 101, and the organic light emitting layer 105 is formed on the electron transporting layer 104. The organic light emitting layer 105 may use various polymer materials suitable for generating red, green, and blue light.

또한, 상기 제 1 전극(101) 양측 가장자리에는 전원 단자 역할을 하는 제 1, 2 금속패턴(120, 130)이 형성되어 있다. 상기 제 1 금속패턴(120)은 상기 제 1 전극(101)의 제 2 전극층(101b)과 산소 결합을 할 수 있는 Ti 계열의 금속을 사용한다. 제 2 금속패턴(120)은 도전율이 우수한 알루미늄, 구리, 은, 백금, 텅스텐, 몰리브덴 등을 사용한다.In addition, first and second metal patterns 120 and 130 serving as power terminals are formed at both edges of the first electrode 101. The first metal pattern 120 uses a Ti-based metal capable of oxygen bonding with the second electrode layer 101b of the first electrode 101. The second metal pattern 120 uses aluminum, copper, silver, platinum, tungsten, molybdenum, or the like having excellent conductivity.

상기 유기 발광층(105) 상에는 홀 수송층(106)이 형성되어 있다. 홀 수송층(106)은 유기 발광층(105)에 다수개의 정공(hole)을 수송하는 역할을 한다. 상기 홀 수송층(106) 상에는 홀 주입층(107)이 배치되며, 홀 주입층(107)은 예를 들어, CuPc(Cu-Phthalocyanine)을 포함할 수 있다. 상기 홀 주입층(107) 상에는 제 2 전 극(110)을 형성한다. 상기 제 2 전극(110)의 재질은 투명성 도전물질로써, 산화 주석 인듐(Indium Tin Oxide, ITO), 산화 아연 인듐(Indium Zinc Oxide, IZO), 아몰퍼스 산화 주석 인듐(amorphous Indium Tin Oxide, a-ITO)을 사용할 수 있다.The hole transport layer 106 is formed on the organic light emitting layer 105. The hole transport layer 106 serves to transport a plurality of holes to the organic light emitting layer 105. The hole injection layer 107 is disposed on the hole transport layer 106, and the hole injection layer 107 may include, for example, CuPc (Cu-Phthalocyanine). The second electrode 110 is formed on the hole injection layer 107. The material of the second electrode 110 is a transparent conductive material, indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), amorphous indium tin oxide (a-ITO), or the like. ) Can be used.

또한, 홀 주입층(107)을 이루는 물질의 예로서 CuPc를 들었지만, 제 2 전극(110)으로부터 주입된 홀을 유기 발광층(105)으로 전달하는 기능을 갖는 다양한 홀 전달 화합물을 사용할 수 있다. 예를 들어, 홀 주입층(107)을 이루는 물질의 예로서는 홀 주입성 폴리피린 화합물, 프타로시아닌 화합물, 홀 수송성 방향족 삼급 아민, 트리스페노티아지닐트리페닐아민 유도체 또는 트리스페녹사디닐트리페닐아민 유도체, 폴리티오펜, 및 카르바졸기를 포함하는 화합물 등을 들 수 있다.In addition, although CuPc is cited as an example of a material forming the hole injection layer 107, various hole transport compounds having a function of transferring holes injected from the second electrode 110 to the organic light emitting layer 105 may be used. For example, examples of the material forming the hole injection layer 107 include a hole-injectable polypyrine compound, a phthalocyanine compound, a hole-transporting aromatic tertiary amine, a trisphenothiazinyltriphenylamine derivative, or a trisphenoxadinytriphenyl Amine derivatives, polythiophene, the compound containing a carbazole group, etc. are mentioned.

또는 홀 주입층(107)을 이루는 물질의 예로서, 트리아졸 화합물, 옥사디아졸 유도체, 이미다졸 유도체, 폴리아릴알칸 유도체, 피라졸린 유도체, 피라조론 유도체, 페닐렌디아민 유도체, 아릴아민 유도체, 옥사졸 유도체, 스티릴안트라센 유도체, 플루오렌 유도체, 히드라존 유도체, 스틸벤 유도체, 포르피린 화합물, 방향족 제삼급 아민 화합물, 스티릴아민 화합물, 부타디엔 화합물, 폴리스틸렌 유도체, 히드라존 유도체, 트리페닐메탄 유도체, 테트라페닐벤지딘 유도체, 폴리아닐린계 고분자 재료, 폴리티오펜계 고분자 재료, 폴리피롤계 고분자 재료 등을 이용할 수 있다.Alternatively, examples of the material forming the hole injection layer 107 include a triazole compound, an oxadiazole derivative, an imidazole derivative, a polyarylalkane derivative, a pyrazoline derivative, a pyrazorone derivative, a phenylenediamine derivative, an arylamine derivative, an oxa Sol derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorene derivatives, hydrazone derivatives, stilbene derivatives, porphyrin compounds, aromatic tertiary amine compounds, styrylamine compounds, butadiene compounds, polystyrene derivatives, hydrazone derivatives, triphenylmethane derivatives, tetra Phenylbenzidine derivatives, polyaniline polymer materials, polythiophene polymer materials, polypyrrole polymer materials and the like can be used.

따라서, 본 발명의 유기전계발광장치는 음의 전극(cathode)인 제 1 전극(101)과 양의 전극(anode)인 제 2 전극(110)을 모두 투명 금속으로 형성함으로써, 제 1 전극(101) 방향과 제 2 전극(110) 방향으로 광을 발광할 수 있도록 한 효 과가 있다.Accordingly, the organic electroluminescent device of the present invention forms the first electrode 101 by forming both the first electrode 101, which is a negative electrode, and the second electrode 110, which is a positive electrode, made of a transparent metal. There is an effect that can emit light in the direction and the second electrode (110) direction.

또한, 본 발명은 음의 전극을 투명성 도전물질로 형성함으로써 전극의 일함수 값이 높아지는 문제점을 해결하기 위해 일함수가 낮으면서 투명도가 높은 금속막을 균일하게 형성하여 유기전계발광장치의 광 효율 특성을 개선한 효과가 있다.In addition, in order to solve the problem of increasing the work function of the electrode by forming the negative electrode as a transparent conductive material, the metal film having a low work function and high transparency is uniformly formed to improve the light efficiency characteristics of the organic light emitting device. It has an improved effect.

도 3a 내지 도 3d는 본 발명에 따른 유기전계발광장치의 제조공정을 도시한 단면도이다.3A to 3D are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of an organic light emitting display device according to the present invention.

도 3a에 도시한 바와 같이, 투명성 절연기판(100) 상에 투명성 도전물질을 형성한다. 여기서 투명성 도전물질은 산화 주석 인듐(Indium Tin Oxide, ITO), 산화 아연 인듐(Indium Zinc Oxide, IZO), 아몰퍼스 산화 주석 인듐(amorphous Indium Tin Oxide, a-ITO)을 포함하는 투명성 도전 산화물(TCO: Transparent Conducting Oxide)이다.As shown in FIG. 3A, a transparent conductive material is formed on the transparent insulating substrate 100. The transparent conductive material may include a transparent conductive oxide (TCO) including indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), and amorphous indium tin oxide (a-ITO). Transparent Conducting Oxide.

상기와 같이 투명성 도전물질이 절연기판(100) 상에 형성되면, 마스크를 포함하는 포토리쏘그래피방법으로 식각하여 절연기판(100) 상에 제 1 전극층(101a)을 형성한다.When the transparent conductive material is formed on the insulating substrate 100 as described above, the first electrode layer 101a is formed on the insulating substrate 100 by etching by a photolithography method including a mask.

그런 다음, 도 3b에 도시한 바와 같이, 절연기판(100) 상에 제 1 전극층(101a)이 형성되면, 일함수가 낮고 도전도가 높은 제 1 금속막(120a)과 제 2 금속막(130a)을 절연기판(100) 전 영역 상에 순차적으로 형성한다.Then, as shown in FIG. 3B, when the first electrode layer 101a is formed on the insulating substrate 100, the first metal film 120a and the second metal film 130a having a low work function and high conductivity are formed. ) Are sequentially formed on the entire area of the insulating substrate 100.

상기 제 1 금속막(120a)의 재질은 상기 제 1 전극층(101a)의 재질에 포함된 산소 성분과 결합하여 박막을 형성할 수 있는 도전성 물질이다. 본 발명에서는 Ti 계열의 금속 또는 그 합금을 사용하였다. 또한, 상기 제 2 금속막(130a)은 도전도 가 높은 알루미늄, 구리, 은, 금, 텅스텐, 몰리브덴 또는 이들의 합금을 사용할 수 있다.The material of the first metal film 120a is a conductive material capable of forming a thin film by combining with an oxygen component included in the material of the first electrode layer 101a. In the present invention, a Ti-based metal or an alloy thereof is used. In addition, the second metal layer 130a may use aluminum, copper, silver, gold, tungsten, molybdenum, or an alloy thereof having high conductivity.

상기와 같이 제 1 전극층(101a)이 형성된 절연기판(100) 상에 제 1 금속막(120a)과 제 2 금속막(130a)이 형성되면, 열처리 공정을 진행하여 제 1 금속막(120a)과 제 1 전극층(101a) 계면 상에 산소 결합에 의한 금속 박막을 형성하는 공정을 진행한다.As described above, when the first metal film 120a and the second metal film 130a are formed on the insulating substrate 100 on which the first electrode layer 101a is formed, the first metal film 120a and the first metal film 120a are formed. A process of forming a metal thin film by oxygen bonding on the interface of the first electrode layer 101a is performed.

이와 같이, 열처리 공정이 완료되면, 도 3c에 도시한 바와 같이, 절연기판(100) 상에 형성된 제 1 전극층(101a) 상에 산소 결합으로 형성된 제 2 전극층(101b)이 형성되어 유기전계발광장치의 제 1 전극(101)이 완성된다. 즉, 본 발명의 유기전계발광장치의 음극은 이중층 구조로 형성된다.As such, when the heat treatment process is completed, as shown in FIG. 3C, the second electrode layer 101b formed by oxygen bonding is formed on the first electrode layer 101a formed on the insulating substrate 100 to form an organic light emitting display device. The first electrode 101 of is completed. That is, the cathode of the organic electroluminescent device of the present invention is formed in a double layer structure.

계속해서, 마스크를 포함하는 포토리쏘그래피방법으로 제 1 전극(101) 상에 형성되어 있는 제 1 금속막과 제 2 금속막을 제거하는 공정을 진행하여 제 1 전극(101) 양측 가장자리 영역에 전원 단자 역할을 수행할 수 있는 제 1 금속패턴(120)과 제 2 금속패턴(130)을 형성한다.Subsequently, a process of removing the first metal film and the second metal film formed on the first electrode 101 by a photolithography method including a mask is performed to supply power terminals to both edge regions of the first electrode 101. The first metal pattern 120 and the second metal pattern 130, which may play a role, are formed.

이때, 상용되는 식각 가스는 HF 계열의 식각 가스로 제 1 금속막과 제 2 금속막은 식각되지만, 제 1 전극층(101a) 상에 형성된 제 2 전극층(101b)은 TiO 계열의 금속이므로 식각되지 않고 제 1 전극층(101a) 상에 균일하게 존재한다.At this time, a commercially available etching gas is an HF-based etching gas, but the first metal film and the second metal film are etched, but the second electrode layer 101b formed on the first electrode layer 101a is a TiO-based metal and is not etched. It exists uniformly on 1 electrode layer 101a.

또한, 제 2 전극층(101b)은 금속의 접촉에 의한 산소 결합 공정으로 형성되기 때문에 그 두께가 매우 얇아 투명도가 높다. 아울러, 제 2 전극층(101b)의 재질은 도전도가 높고 일함수가 낮은 특성을 갖는 Ti을 포함하므로 투명성 도전물질로 형성된 제 1 전극층(101a)의 단점을 보완하는 역할을 한다.In addition, since the second electrode layer 101b is formed by an oxygen bonding process by metal contact, its thickness is very thin and thus high transparency. In addition, since the material of the second electrode layer 101b includes Ti having high conductivity and low work function, the material of the second electrode layer 101b serves to compensate for the disadvantage of the first electrode layer 101a formed of a transparent conductive material.

따라서, 제 1 전극(101)은 투명성 도전물질로 형성되어 광투과도가 높을 뿐만 아니라, 일반적으로 투명성 도전물질과 달리 낮은 일함수 특성이 있다. 따라서, 유기전계발광장치의 음의 전극 역할을 수행할 수 있다.Accordingly, the first electrode 101 is formed of a transparent conductive material and thus has a high light transmittance, and generally has a low work function characteristic unlike the transparent conductive material. Therefore, it can serve as a negative electrode of the organic light emitting device.

또한, 상기와 같은 공정을 진행하여 전극을 형성할 경우에는 대형 패널 상에 균일한 투명한 음의 전극을 형성할 수 있는 이점이 있다.In addition, when the electrode is formed by the above process, there is an advantage of forming a uniform transparent negative electrode on the large panel.

상기 제 1 금속패턴(120)과 제 2 금속패턴(130)이 형성되면, 도 3d에 도시한 바와 같이, 제 1 전극(101) 상에 전자 주입층(103)과 전자 수송층(104)을 순차적으로 형성한다. When the first metal pattern 120 and the second metal pattern 130 are formed, as shown in FIG. 3D, the electron injection layer 103 and the electron transport layer 104 are sequentially formed on the first electrode 101. To form.

그런 다음, 전자 수송층(104) 상에 청색, 녹색, 적색 또는 백색 광을 발생시키는 유기 발광층(105)을 형성한다. 유기 발광층(105)이 형성되면, 계속해서 홀 수송층(106)과 홀 주입층(107)을 순차적으로 형성한 다음, 투명성 도전 물질로 된 제 2 전극(110)을 형성한다. 여기서 제 2 전극(110)의 재질은 산화 주석 인듐(Indium Tin Oxide, ITO), 산화 아연 인듐(Indium Zinc Oxide, IZO), 아몰퍼스 산화 주석 인듐(amorphous Indium Tin Oxide, a-ITO)일 수 있다.Then, an organic emission layer 105 is formed on the electron transport layer 104 to generate blue, green, red or white light. When the organic light emitting layer 105 is formed, the hole transport layer 106 and the hole injection layer 107 are sequentially formed, and then the second electrode 110 made of a transparent conductive material is formed. The material of the second electrode 110 may be indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), or amorphous indium tin oxide (a-ITO).

이와 같이, 본 발명에서는 유기전계발광장치의 양의 전극과 음의 전극을 모두 투명한 도전성 재질로 형성함으로써, 양면 발광 특성을 구현할 수 있는 이점이 있다.As described above, in the present invention, since both the positive electrode and the negative electrode of the organic light emitting device are formed of a transparent conductive material, there is an advantage in that double-sided light emission characteristics can be realized.

구체적으로 유기전계발광장치의 투명한 음의 전극을 형성하는 공정을 보면 다음과 같다.Specifically, the process of forming the transparent negative electrode of the organic light emitting device is as follows.

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따라 유기전계발광장치의 투명한 음극을 형성하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.4A and 4B are views for explaining a process of forming a transparent cathode of an organic light emitting display device according to the present invention.

도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 절연기판(100) 상에 산소 성분을 포함하는 투명성 도전물질로 된 제 1 전극층(101a)이 형성되면, Ti 또는 그 합금으로 된 제 1 금속막(130a)을 증착 공정으로 형성한다. 이후, 열처리 공정을 진행하여 제 1 전극층(101a)의 산소 성분을 활성화시키고, 제 1 금속막(130a)의 금속원자를 여기시켜 금속원자(이온)와 산소가 결합될 수 있도록 한다.4A and 4B, when the first electrode layer 101a made of a transparent conductive material containing an oxygen component is formed on the insulating substrate 100, the first metal film 130a made of Ti or an alloy thereof. ) Is formed by a deposition process. Thereafter, the heat treatment process is performed to activate the oxygen component of the first electrode layer 101a and to excite the metal atoms of the first metal layer 130a so that the metal atoms (ions) and oxygen can be combined.

이와 같이 열처리 공정이 진행되면 제 1 전극층(101a)과 제 1 금속막(130a)이 맞닿아 있는 경계면 상에는 TiO 계열의 금속막으로된 제 2 전극층(101b)이 완성된다.When the heat treatment process proceeds as described above, the second electrode layer 101b made of the TiO series metal film is completed on the interface where the first electrode layer 101a and the first metal film 130a come into contact with each other.

따라서, 제 1 전극층(101a) 상에는 제 2 전극층(101b)과 제 1 금속막(130a)이 형성된 구조가 되고, 제 1 금속막(130a)을 제거하기 위한 식각 공정을 진행한다. 이때, 식각 가스 HF를 사용할 경우 제 2 전극층(101b)과는 반응을 하지 않아 제 1 금속막(130a) 만을 선택적으로 제거할 수 있다.Accordingly, the second electrode layer 101b and the first metal layer 130a are formed on the first electrode layer 101a, and an etching process for removing the first metal layer 130a is performed. In this case, when the etching gas HF is used, only the first metal layer 130a may be selectively removed without reacting with the second electrode layer 101b.

이와 같이 제 1 전극층(101a)과 제 2 전극층(101b)으로 구성된 제 1 전극(101)은 투명도가 높고 일함수가 낮은 특성을 구현할 수 있어 유기전계발광장치의 음극으로 사용할 수 있다.As such, the first electrode 101 including the first electrode layer 101a and the second electrode layer 101b can realize high transparency and low work function, and thus can be used as a cathode of the organic light emitting device.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 상하부 발광방향을 갖는 유기전계발광장치의 단면도이다.5 is a cross-sectional view of an organic light emitting display device having upper and lower emission directions according to another embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 본 발명에 따라 상하부 양면 방향으로 발광 및 디스플레이 가 가능한 유기전계발광표시장치가 제시되어 있다.Referring to FIG. 5, an organic light emitting display device capable of emitting and displaying light in both upper and lower sides in accordance with the present invention is provided.

설명의 편의상 적(R), 녹(G), 청(B)의 서브 픽셀(sub pixel)들로 이루어진 하나의 픽셀(pixel) 영역을 중심으로 도시하였다.For convenience of description, the pixel area is illustrated based on one pixel area including red, green, and blue B subpixels.

도시된 바와 같이, 제 1 기판(210)의 투명기판(201) 상부에는 서브 픽셀별로 박막트랜지스터(T)와 제 1 전극(212: cathode)이 형성되어 있고, 상기 박막트랜지스터(T) 및 제 1 전극(212: cathode) 상부에는 적(Red), 녹(Green), 청(Blue) 컬러를 띠는 유기전계발광층(214)이 형성되어 있고, 유기전계발광층(214) 상부에는 제 2 전극(216: anode)이 형성되어 있다. 상기 제 1, 2 전극(212, 216)은 유기전계발광층(214)에 전자와 정공을 공급하는 역할을 한다.As illustrated, a thin film transistor T and a first electrode 212 are formed on the transparent substrate 201 of the first substrate 210 for each subpixel, and the thin film transistor T and the first electrode are formed. An organic light emitting layer 214 having red, green, and blue colors is formed on an electrode 212, and a second electrode 216 is formed on the organic light emitting layer 214. The anode is formed. The first and second electrodes 212 and 216 serve to supply electrons and holes to the organic light emitting layer 214.

이와 같이, 상기 유기전계발광층(214)이 형성된 제 1 기판(210)은 제 2 기판(230)과 실(240)에 의해 합착된다.As such, the first substrate 210 on which the organic light emitting layer 214 is formed is bonded by the second substrate 230 and the seal 240.

본 발명에서는 양면 발광이 가능한 유기전계발광표시장치로 구동하기 때문에 상기 제 1 전극(212)은 음극(cathode)이고, 제 2 전극(216)은 양극(anode)이다. 제 2 전극(216)은 대체적으로 투명성 도전물질로된 ITO, IZO, ITZO 등의 금속을 사용한다. 본 발명에서는 제 1 전극(212) 역시, 투명성 도전물질로 전극을 형성하였다. 상세한 구조는 도 4a 및 도 4b에 설명된 공정을 적용하여 투명성 도전물질로된 제 1 전극층(212a)과, 제 1 전극층(212a) 상에 도전율이 높고 일함수가 낮은 특성을 갖는 TiO로된 제 2 전극층(212b)을 적층 형성하였다. 구체적인 공정은 상기 유기전계발광장치의 음극 형성 공정을 참조한다.In the present invention, the first electrode 212 is a cathode and the second electrode 216 is an anode because the display is driven by an organic light emitting display device capable of emitting both surfaces. The second electrode 216 generally uses a metal such as ITO, IZO, or ITZO made of a transparent conductive material. In the present invention, the first electrode 212 is also formed of an electrode with a transparent conductive material. The detailed structure is formed of a first electrode layer 212a made of a transparent conductive material and a TiO material having high conductivity and low work function on the first electrode layer 212a by applying the processes described with reference to FIGS. 4A and 4B. 2 electrode layers 212b were laminated. For a specific process, refer to the cathode forming process of the organic light emitting device.

상기 유기전계발광층(214)은 제 1 전극(212)과 접하는 층에서부터 전자주입 층(214a: electron injection layer), 전자수송층(214b ; electron transporting layer), 발광층(214c ; emission layer), 정공수송층(214d ; hole transporting layer), 정공주입층(214e ; hole injection layer)을 순서대로 적층된 구조이다.The organic light emitting layer 214 may be formed from a layer in contact with the first electrode 212 to an electron injection layer 214a, an electron transporting layer 214b, an emission layer 214c, an emission layer, and a hole transporting layer. 214d (hole transporting layer), a hole injection layer (214e (hole injection layer)) in a stacked structure in order.

이때, 상기 발광층(214c)은 서브픽셀별로 적, 녹, 청 컬러를 구현하는 발광물질이 차례대로 배치된 구조를 가진다.In this case, the light emitting layer 214c has a structure in which light emitting materials that implement red, green, and blue colors are sequentially disposed for each subpixel.

상기와 같이 본 발명의 유기전계발광표시장치는 음극과 양극 역할을 하는 제 1 전극(212)과 제 2 전극(216)이 모두 투명성 도전물질로 형성되기 때문에 제 2 기판(230)의 배면인 상부 방향과 제 1 기판(210)의 배면인 하부 방향으로 발광할 수 있다. 따라서, 양면 방향으로 영상을 디스플레이할 수 있는 이점이 있다.As described above, in the organic light emitting display device of the present invention, since both the first electrode 212 and the second electrode 216 serving as the cathode and the anode are formed of a transparent conductive material, an upper surface of the second substrate 230 is formed. Direction and a bottom direction, which is a rear surface of the first substrate 210. Therefore, there is an advantage that can display the image in both directions.

이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명은 유기전계발광장치의 양의 전극과 음의 전극을 모두 투명성 도전물질로 형성하여, 양면 발광할 수 있는 효과가 있다.As described in detail above, the present invention has the effect of forming both the positive electrode and the negative electrode of the organic electroluminescent device with a transparent conductive material, thereby emitting both sides.

또한, 본 발명은 유기전계발광장치의 음의 전극을 투명성 도전물질로 사용하고, 일함수를 낮추기 위해 음의 전극 표면에 균일한 두께의 투명한 금속막을 형성함으로써, 소자 특성을 개선한 효과가 있다.In addition, the present invention has the effect of improving the device characteristics by using a negative electrode of the organic light emitting device as a transparent conductive material, and forming a transparent metal film of uniform thickness on the negative electrode surface in order to lower the work function.

Claims (20)

제 1 전극;A first electrode; 제 2 전극;Second electrode; 상기 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 배치된 유기 발광층; 및An organic emission layer disposed between the first electrode and the second electrode; And 상기 제 1 전극과 유기 발광층 사이에 배치된 전자 주입층과 전자 수송층;An electron injection layer and an electron transport layer disposed between the first electrode and the organic light emitting layer; 상기 제 2 전극과 유기 발광층 사이에 배치된 홀 주입층과 홀 수송층을 포함하고, A hole injection layer and a hole transport layer disposed between the second electrode and the organic light emitting layer, 상기 제 1 전극은 투명성 도전물질로 된 제 1 전극층과 제 2 전극층을 포함하는 유기전계발광장치.And the first electrode comprises a first electrode layer and a second electrode layer made of a transparent conductive material. 제 1 항에 있어서, 제 1 전극층은 IZO, ITO 또는 a-ITO중 어느 하나의 금속으로 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치.The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein the first electrode layer is formed of any one metal of IZO, ITO or a-ITO. 제 1 항에 있어서, 제 2 전극층은 산소 결합된 금속인 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치.The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein the second electrode layer is an oxygen bonded metal. 제 1 항에 있어서, 제 2 전극층은 TiO계열의 투명금속막인 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치.The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein the second electrode layer is a TiO series transparent metal film. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 전극은 IZO, ITO 또는 a-ITO중 어느 하나의 금속으로 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치.The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein the second electrode is formed of any one metal of IZO, ITO or a-ITO. 제 1 항에 있어서, 상기 유기 발광층은 적색, 녹색 또는 청색광을 발생시킬 수 있는 고분자 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치.The organic light emitting device of claim 1, wherein the organic light emitting layer is formed of a polymer material capable of generating red, green, or blue light. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 전극에는 전원단자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치.The organic light emitting device of claim 1, wherein the first electrode further comprises a power supply terminal. 제 7 항에 있어서, 상기 전원단자는 제 1과 2 금속 패턴이 적층되어 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치.8. The organic light emitting device of claim 7, wherein the power supply terminal is formed by stacking first and second metal patterns. 제 8 항에 있어서, 상기 제 1 금속패턴은 Ti 또는 그 합금인 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치.The organic light emitting device of claim 8, wherein the first metal pattern is Ti or an alloy thereof. 제 8 항에 있어서, 상기 제 2 금속패턴은 알루미늄, 구리, 은, 백금, 텅스텐 또는 몰리브덴중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치.The organic light emitting device of claim 8, wherein the second metal pattern is any one of aluminum, copper, silver, platinum, tungsten, and molybdenum. 기판 상에 제 1 전극층을 형성하고, 계속해서 제 1, 2 금속막을 순차적으로 형성하는 단계;Forming a first electrode layer on the substrate, and subsequently forming first and second metal films sequentially; 상기 제 2 금속막이 형성된 기판 상에 열처리 공정을 진행하여 상기 제 1 전극층 상에 제 2 전극층을 형성하는 단계;Forming a second electrode layer on the first electrode layer by performing a heat treatment process on the substrate on which the second metal film is formed; 상기 제 2 전극층 상에 존재하는 제 1, 2 금속막을 제거한 다음, 순차적으로 전자 주입층, 전자 수송층, 유기 발광층, 홀 수송층 및 홀 주입층을 형성하는 단계; 및Removing the first and second metal layers existing on the second electrode layer, and subsequently forming an electron injection layer, an electron transport layer, an organic emission layer, a hole transport layer, and a hole injection layer; And 상기 홀 주입층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기전계발광장치 제조방법.And forming a second electrode on the hole injection layer. 제 11 항에 있어서, 상기 제 2 전극층 상에 형성된 제 1, 2 금속막을 제거할 때 사용되는 식각 가스는 HF 인 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치 제조방법.The method of claim 11, wherein the etching gas used to remove the first and second metal layers formed on the second electrode layer is HF. 제 11 항에 있어서, 제 1 전극층은 IZO, ITO 또는 a-ITO중 어느 하나의 금속으로 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치 제조방법.The method of claim 11, wherein the first electrode layer is formed of any one metal of IZO, ITO, or a-ITO. 제 11 항에 있어서, 제 2 전극층은 산소 결합된 금속인 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치 제조방법.12. The method of claim 11, wherein the second electrode layer is an oxygen-bonded metal. 제 11 항에 있어서, 제 2 전극층은 TiO계열의 투명금속막인 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치 제조방법.12. The method of claim 11, wherein the second electrode layer is a TiO-based transparent metal film. 제 11 항에 있어서, 상기 제 2 전극은 IZO, ITO 또는 a-ITO중 어느 하나의 금속으로 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치 제조방법.The method of claim 11, wherein the second electrode is formed of any one metal of IZO, ITO, or a-ITO. 제 11 항에 있어서, 상기 유기 발광층은 적색, 녹색 또는 청색광을 발생시킬 수 있는 고분자 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치 제조방법.The method of claim 11, wherein the organic light emitting layer is formed of a polymer material capable of generating red, green, or blue light. 제 11 항에 있어서, 상기 제 1 금속막은 Ti 또는 그 합금인 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치 제조방법.12. The method of claim 11, wherein the first metal film is Ti or an alloy thereof. 제 11 항에 있어서, 상기 제 2 금속막은 알루미늄, 구리, 은, 백금, 텅스텐 또는 몰리브덴중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치 제조방법.12. The method of claim 11, wherein the second metal film is any one of aluminum, copper, silver, platinum, tungsten, and molybdenum. 제 1 기판;A first substrate; 제 2 기판;A second substrate; 상기 제 1 기판 상에 각각의 서브 픽셀 단위로 형성된 박막 트랜지스터; 및A thin film transistor formed on each of the sub-pixels on the first substrate; And 상기 제 1 기판 상의 박막 트랜지스터와 각각 연결된 제 1 전극과 유기 발광층 및 제 2 전극으로 구성된 발광 다이오드를 포함하고,A light emitting diode comprising a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode respectively connected to the thin film transistor on the first substrate, 상기 제 1 전극은 투명한 도전물질로된 제 1 및 2 전극층으로 구성되고, 제 2 전극은 투명한 도전물질로된 형성되어 상하부 양면 발광할 수 있는 것을 특징으로 하는 유기전계발광장치.The first electrode is composed of first and second electrode layers made of a transparent conductive material, the second electrode is formed of a transparent conductive material, characterized in that the upper and lower sides can emit light.
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