KR20080094973A - 선형 이송 유닛을 구비하는 식각장치 및 이를 이용한 패턴형성방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- 박막이 형성된 대상기판이 대기하는 기판 입력부;상기 기판 입력부와 일렬로 연결된 다수의 공정모듈을 구비하고, 상기 박막을 가공하여 상기 대상기판 상에 소정의 패턴을 형성하는 공정처리부;상기 패턴이 형성된 상기 대상기판이 대기하는 기판 출력부; 및상기 다수의 공정모듈 사이에서 상기 대상기판을 직선운동을 통하여 이송시키는 선형 이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 식각장치.
- 제1항에 있어서, 상기 기판 입력부 및 기판 출력부는 다수의 기판을 적재할 수 있는 카세트를 구비하는 카세트 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 식각장치.
- 제1항에 있어서, 상기 선형 이송부는 상기 각 공정모듈 사이를 연결하는 가이드 레일 및 상기 가이드 레일을 따라 이동하며 상기 공정모듈에서 공정이 완료된 대상기판을 수용하는 수용부를 포함하는 것을 특징으로 하는 식각장치.
- 제3항에 있어서, 상기 수용부는 상기 가이드 레일에 이동 가능하게 고정되는 고정부, 상기 고정부에 고정되며 상기 대상기판을 수용하기 위한 수용공간을 구비하는 몸체 및 상기 수용공간을 외부로부터 밀폐시키는 덮개를 포함하는 것을 특징 으로 하는 식각장치.
- 제3항에 있어서, 상기 각 공정모듈 사이에 배치되어 공정모듈 사이의 기판 이송을 위한 이송통로를 제공하는 게이트 룸을 더 포함하며, 상기 가이드 레일은 상기 게이트 룸을 관통하는 것을 특징으로 하는 식각장치.
- 제5항에 있어서, 상기 공정모듈은 상기 대상기판을 고정용 척에 고정하여 식각준비를 하는 예비실 및 상기 고정용 척에 고정되어 상기 예비실로부터 공급된 대상기판에 대하여 상기 각 공정모듈에 지정된 공정을 수행하는 공정실을 포함하는 것을 특징으로 하는 식각 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 공정실은 상기 예비실의 상부에 위치하고, 상기 공정모듈은 상기 예비실과 상기 공정실 사이에서 상기 고정용 척에 고정된 상기 대상기판을 이동시키기 위한 승강유닛을 더 포함하며, 상기 가이드 레일은 상기 게이트 룸을 관통하여 인접하는 공정모듈의 상기 예비실까지 연장하는 것을 특징으로 하는 식각 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 기판 입력부와 연결되고 대기압으로 유지되는 상기 기판 입력부와 진공으로 형성되는 상기 공정처리부 사이의 압력 완충영역인 입력 로드 락 챔버 및 상기 기판 출력부와 연결되고 진공으로 형성되는 상기 공정처리부와 대기압으로 유지되는 상기 기판 출력부 사이의 압력 완충영역인 출력 로드 락 챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 식각장치.
- 제8항에 있어서, 상기 선형 이송기는 상기 입력 로드 락 챔버 및 상기 출력 로드 락 챔버까지 연장되어 배치되는 것을 특징으로 하는 식각장치.
- 제8항에 있어서, 상기 공정모듈은 상기 박막 상에 포토레지스트 막을 형성하는 포토레지스트 모듈, 상기 포토레지스트 막에 형성된 포토레지스트 패턴을 마스크 막으로 이용하여 상기 박막 상에 상기 패턴을 형성하는 식각 모듈 및 상기 패턴으로부터 상기 포토레지스트 패턴을 제거하는 후처리 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 식각장치.
- 박막을 구비하는 처리 대상기판을 기판 입력부로 적재하는 단계;상기 기판 입력부로부터 상기 기판 입력부와 일렬로 연결된 다수의 공정모듈을 구비하는 공정처리부로 상기 대상기판을 로딩하는 단계;상기 다수의 공정모듈을 따라 상기 대상기판을 차례로 선형 이송시키면서 상기 박막을 가공하는 단계;상기 대상기판을 상기 공정처리부와 연결된 기판 출력부로 적재하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법.
- 제11항에 있어서, 상기 박막을 가공하는 단계는고정 척에 고정된 상기 대상기판을 상승시켜 상기 예비실의 상부에 위치하는 공정실로 공급하는 단계;상기 공정실에서 식각을 위한 단위공정을 수행하는 단계;상기 단위공정이 완료된 상기 대상기판을 상기 공정실로부터 상기 예비실로 하강시키는 단계;상기 대상기판이 고정된 고정 척을 상기 예비실에 배열된 가이드 레일의 상부에 배치된 수용부로 이동시키는 단계; 및상기 대상기판을 포함하는 상기 수용부를 상기 가이드 레일을 따라 이동시켜 인접하는 공정모듈의 예비실로 이송시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법.
- 제12항에 있어서, 상기 가이드 레일을 따라 상기 수용부를 이송시키는 단계는 롤러의 구름 마찰력을 이용하는 기계적 이송 또는 상기 수용부와 상기 가이드 레일 사이의 전자기력을 이용하는 자기부상 이송에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법.
- 제12항에 있어서, 상기 인접하는 공정모듈의 예비실로 상기 수용부를 이송시키는 단계는 상기 공정모듈 사이에 배치된 게이트 룸의 밸브를 개방하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법.
- 제12항에 있어서, 상기 대상기판을 상기 공정처리부로 로딩하는 단계는상기 대상기판을 상기 기판 입력부로부터 상기 공정처리부보다 큰 압력을 갖는 입력 로드 락 챔버로 이송하는 단계;상기 대상기판을 고정 척에 고정하는 단계;상기 대상기판이 고정된 고정 척을 상기 입력 로드 락 챔버에 배치된 가이드 레일의 상부에 위치하는 수용부로 이동시키는 단계; 및상기 수용부를 상기 입력 로드 락 챔버와 연결된 상기 공정모듈로 상기 가이드 레일을 따라 선형 이송시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법.
- 제15항에 있어서, 상기 대상기판을 상기 입력 로드 락 챔버로 이송하는 단계는 로봇 암에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법.
- 제12항에 있어서, 상기 대상기판을 상기 기판 출력부로 적재하는 단계는상기 대상기판이 고정된 상기 고정 척을 구비하는 상기 수용부를 상기 공정모듈의 예비실로부터 상기 가이드 레일을 따라 이송시켜 상기 공정처리부보다 높은 압력을 갖는 출력 로드 락 챔버로 이송하는 단계;상기 고정 척으로부터 상기 대상기판을 분리하는 단계; 및상기 대상기판을 상기 출력 로드 락 챔버와 연결된 상기 기판 출력부로 이송 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법.
- 제17항에 있어서, 상기 대상기판을 상기 출력 로드 락 챔버로부터 상기 기판 출력부로 이송하는 단계는 로봇 암에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법.
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