KR20080090873A - 서로 다른 젖음 특성을 가지는 표면이 교차 배열된마이크로 혼합기 및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 보다 상세하게는 유로 내부의 표면 구조를 개선함으로써 혼합 성능을 향상시키는 마이크로 혼합기와 이러한 마이크로 혼합기를 제조하는 방법에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 마이크로 혼합기의 내부 유로에 서로 다른 젖음 특성을 가지는 표면 영역을 교차 패턴함으로써 유동을 교란하고, 이에 따라 혼합 효율을 높이는 마이크로 혼합기를 제공함에 있다. 본 발명의 다른 목적은, MEMS 기술을 이용하여 이와 같은 마이크로 혼합기를 용이하게 제작하는 마이크로 혼합기의 제작 방법을 제공함에 있다.

마이크로 플랜트, 마이크로 혼합기, 혼합 효율, 층류, 난류, 젖음 특성, 교차 패턴

Description

서로 다른 젖음 특성을 가지는 표면이 교차 배열된 마이크로 혼합기 및 그 제조 방법 {A Micro Mixer and a Method for Manufacturing the Micro Mixer with Alternating Surface Regions with Different Wetting Characteristics}

도 1은 층류 유동의 기본적인 형태.

도 2a, 도 2b 및 도 2c는 본 발명에 의한 마이크로 혼합기 내부 유로 패턴의 실시예.

도 3은 본 발명의 마이크로 혼합기 내부 유동의 측단면도.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 마이크로 혼합기의 다른 실시예.

도 5는 본 발명의 마이크로 혼합기의 분해사시도.

도 6은 본 발명의 마이크로 혼합기의 제작 과정의 한 실시예.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**

10: 마이크로 혼합기 11: 상판

11a: 입구 11b: 출구

12: 중간판 12a: 유로

13: 하판 1a, 1b, 1c: 영역

2: 주입구 3: 격벽

본 발명은 서로 다른 젖음 특성을 가지는 표면이 교차 배열된 마이크로 혼합기 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유로 내부의 표면 구조를 개선함으로써 혼합 성능을 향상시키는 마이크로 혼합기와 이러한 마이크로 혼합기를 제조하는 방법에 관한 것이다.

최근 반도체 공정을 응용한 미세전자기계시스템(Micro Electro Mechanical System, MEMS) 기술의 발달에 따라 기존의 장치를 소형화시키려는 연구가 활발히 진행되고 있다. 종래의 기계 가공법은 제작 가능한 크기와 가공 오차, 가공 비용 등의 문제로 제품의 소형화에 어려움이 있었으나, MEMS 기술에 의하면 소형화는 물론 집적화, 저전력 및 저가격 등 대부분의 전자 및 기계 부품들이 궁극적으로 추구하는 목표를 모두 만족시킬 수 있다는 장점을 가지고 있기 때문이다.

특히, 이와 같은 미세 시스템의 실제 응용 가능 범위가 확대됨에 따라 거대한 화학 공장을 소형화시킨 마이크로 플랜트(micro plant) 개념이 생겨나게 되었다. 화학 공정 기술에 있어서, 시스템이 소형화될수록 두 반응 화학물질사이의 물질 및 열전달이 혁신적으로 증가되며, 따라서 짧은 접촉시간에도 높은 효율의 반응을 얻을 수 있어 생산물의 수득률이 크게 향상된다는 커다란 장점이 있다. 이러한 장점은 신약 및 신물질 개발에 있어서 전체 화학공정의 개발속도를 급격하게 줄여 줄 수 있고, 더불어 소량의 샘플이 소비되기 때문에 전체 기회비용을 최소화할 수 있는 이점을 가지고 있을 뿐만 아니라, 이러한 장점을 살려 다품종의 소량 생산이 가능해진다는 장점 또한 갖추고 있다. 특히 거대한 화학 공장을 사용하는 경우 새로운 공정을 도입하기 위해서는 사용 비용이 막대할 뿐만 아니라 더 좋은 결과를 얻을 수 있다는 보장이 없기 때문에 섣불리 새로운 공정을 만들려는 시도를 하기 어려운 반면, 초소형 개념이 도입된 시스템에 의하면 이러한 새로운 공정을 만드는 과정이 훨씬 간편해지기 때문에 연구 개발의 목적으로서도 최적이라 할 수 있다. 뿐만 아니라, 종래의 대규모 화학 공장의 경우, 실험실 수준에서 제품 생산에 성공하였다 하더라도, 대량의 반응물을 한꺼번에 반응시키는 과정에서 전체 반응물에 온도, 압력 등의 조건을 균일하게 맞추어주기가 매우 어렵다는 현실적인 문제 때문에 대량생산을 위한 별도의 연구가 필요하다는 문제점이 있었으나, 마이크로 플랜트를 사용하게 되면 마이크로 플랜트 자체가 하나의 실험실 역할을 하고, 각각의 마이크로 플랜트를 병렬화시킴으로써 별도의 연구 없이 곧바로 대량생산이 가능하게 된다. 이러한 마이크로 플랜트에서 둘 또는 그 이상의 유체를 혼합하는 공정은 필수적으로 존재하며, 양질의 생산물을 얻기 위해서는 고성능의 마이크로 혼합기가 절대적으로 중요하다.

마이크로 혼합기 자체가 매우 소형화되어 있기 때문에, 마이크로 혼합기 유로 내에서의 내부 유동은 그 특성 길이가 매우 짧다. 레이놀즈수란 유체의 유동 특성을 평가하는 가장 기본적인 무차원수 지표 중 하나로서, 관성력(관성저항)과 점 성력이 유동에 끼치는 영향의 비율이라고 할 수 있다. 레이놀즈수에 의해 어떤 유동이 층류가 될지(레이놀즈수 2320 이하) 난류가 될지를 판단할 수 있는데, 레이놀즈수 Re를 구하는 식은 다음과 같다. 하기의 식에서 L은 흐름 속에 있는 물체의 대표 길이(원통 속의 흐름의 경우에는 원통의 지름, 흐름 속에 구가 있는 경우에는 그 구의 반지름 등), U는 유속,

는 유체의 밀도,

는 점성계수,

는

/

로서 운동점성계수이다.

상기 식에서도 알 수 있듯, 마이크로 혼합기 유로 내에서의 내부 유동은 상기 식에서 L에 해당하는 그 특성 길이가 매우 작기 때문에 극히 낮은 레이놀즈수(Reynolds number)를 가지며, 따라서 층류 유동이 형성되게 된다. 이에 따라 마이크로 혼합기 내에서 강한 교란을 발생시키기 어려워 혼합 효율이 크게 낮아지게 되는 문제점이 있다.

그러나 일반적인 유로에서의 유동과 마이크로 혼합기의 내부 유로에서의 유동은 크게 다른 점을 가지고 있다. 마이크로 혼합기 내부 유로에서의 유동은 표면적과 체적의 비, 즉 비표면적이 매우 크기 때문에 표면의 영향이 크게 나타나게 되는 것이다. 이러한 성질을 이용하여 마이크로 혼합기 내부 유로에서 유로 벽면과 유동의 상호 관계를 사용함으로써 마이크로 혼합기 내부 유로에서의 유동에서는 강한 교란을 발생시킬 수 있다.

이러한 관점에서 종래에 "Chaotic Mixer for Microchannels"(A. D. Strook et al., 2002, Science, vol. 295, pp. 647-651, 이하 선행기술1), "Patterning Flows Using Grooved Surfaces"(A. D. Strook et al., Analytical Chemistry, vol. 74, pp. 5306-5311, 이하 선행기술2), "나선 유동을 이용한 카오스 혼합용 마이크로 채널 및 그 제조 방법"(김동성 외 3인, 국내출원번호 제2001-0047163호, 이하 선행기술3) 및 "배리어가 포함된 마이크로 믹서(BEM) 및 그 제조 방법"(김동성 외 3인, 국내출원번호 제2002-0042938호, 이하 선행기술4)과 같은 기술이 개시되어 있다. 상기 선행기술1 및 선행기술2는 마이크로 유로 벽면에 비스듬한 홈을 만들어 3차원의 나선형 유동을 발생시키고, 이러한 나선형 유동을 기반으로 엇갈린 헤링본 구조를 마이크로 유로 바닥에 도입하여 두 가지 유동 속도장을 번갈아 생성함으로써 포물선 형 점의 위치를 주기적으로 변화시키는 카오스 혼합을 얻어내었다. 또한 상기 선행기술3 및 선행기술4에서는 채널 내부 바닥에 특정 모양의 골을 형성하여 혼돈이류를 발생시키도록 하여 혼합 효율을 높이고자 하고 있다.

마이크로 혼합기는 크게 능동형 혼합기와 수동형 혼합기로 나눌 수 있는데, 능동형 혼합기는 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 유동 에너지 이외에 추가적인 에너지를 이용하여 혼합을 유도하는 장치를 부가한 장치이나, 구조가 복잡하여 제작이 어렵고, 추가적인 에너지를 공급해 주어야 하기 때문에 별도의 에너지 소모가 이루어진다는 문제점 때문에 많은 연구가 이루어지지 않고 있다. 이러한 배경 아래, 상술한 선행기술들은 모두 유로 내부에 정적인 미세 구조물을 배치시키 거나 유로를 복잡하게 형성하여 혼합을 유도하는 수동형 혼합기에 적용되는 기술들을 개시하고 있다. 그런데, 마이크로 혼합기는 MEMS 기술로 만들어지는 바, 이와 같이 미세한 시스템인 마이크로 혼합기의 유로 바닥에 구조물을 형성한다는 것은 매우 어려운 일이며, 따라서 제작 상의 문제점이 해결되지 못하여 실제 적용하기에는 어려움이 있다.

따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 마이크로 혼합기의 내부 유로에 서로 다른 젖음 특성(wetting characteristics)을 가지는 표면 영역을 교차 패턴함으로써 유동을 교란하고, 이에 따라 혼합 효율을 높이는 마이크로 혼합기를 제공함에 있다. 본 발명의 다른 목적은, MEMS 기술을 이용하여 이와 같은 마이크로 혼합기를 용이하게 제작하는 마이크로 혼합기의 제작 방법을 제공함에 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 마이크로 혼합기는, 적어도 2종 이상의 유체가 함께 주입되어 혼합되는 내부 유로의 벽면에 적어도 2종 이상의 서로 다른 젖음 특성을 갖는 영역(1a, 1b, 1c)들의 교차 패턴이 형성되는 것을 특징으로 한다.

이 때, 상기 영역(1a, 1b, 1c)들은 친수성 재질과 소수성 재질로 구분되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 마이크로 혼합기(10)는 다종의 유체가 적층되어 유로로 유입되도 록 격벽(3)이 형성된 주입구(2)를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 마이크로 혼합기의 제조 방법은, 적어도 2종 이상의 유체를 함께 유통시켜 혼합하는 유로(12a)가 통공되어 형성되는 중간판(12), 상기 유로(12a)와 연결되는 입구(11a) 및 출구(11b)가 통공되어 형성되며 상기 중간판(12)의 상면에 부착되는 상판(11) 및 상기 중간판(12)의 하면에 부착되는 하판(13)을 포함하여 이루어지는 마이크로 혼합기(10)의 제조 방법에 있어서, 상기 상판(11) 및 상기 하판(13)을 제조하는 방법은 a) 긴 평판 재질에 적어도 2종 이상의 서로 다른 젖음 특성을 갖는 영역(1a, 1b, 1c)들의 교차 패턴이 코팅되는 단계; b) 상기 영역(1a, 1b, 1c)들이 코팅된 평판이 소정의 길이로 절단되어 상기 상판(11) 및 하판(13)으로 형성되는 단계; c) 상기 상판(11) 및 하판(13)의 교차 패턴 형성면 상기 중간판(12)을 향하도록 상기 중간판(12)의 상하에 부착되는 단계; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이 때, 상기 상판(11)을 제조하는 방법은 a-1) 상기 중간판(12)의 유로(12a)와 연결되는 위치에 상기 입구(12a) 및 출구(12b)가 통공되어 형성되는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 마이크로 혼합기의 제조 방법은 미세전자기계시스템(MEMS) 공정을 사용하는 것을 특징으로 한다.

이하, 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 마이크로 혼합기를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.

도 1은 층류 유동의 기본적인 형태를 도시하고 있다. 층류 유동은 레이놀즈수가 2320 이하인 유동에서 발생하며, 특히 마이크로 혼합기에서는 유로의 특성 길이가 매우 짧기 때문에 극히 작은 레이놀즈수를 가지는 층류 유동이 발생한다. 유로 표면이 동일한 특성을 갖는 조건에서, 유체의 점성이 작은 경우에는 도 1(A)에 도시된 바와 같이 유로 표면이 유동에 끼치는 영향이 별로 크지 않지만, 유체의 점성이 큰 경우에는 도 1(B)에 도시된 바와 같이 유로 표면에서의 유동 속도와 유로 표면에서 가장 먼 부분에서의 유동 속도 사이의 기울기가 크게 변화하게 된다. 이와 같은 양상은, 동일한 유체에 있어서도 유로 표면의 특성이 다른 조건에서도 마찬가지로 나타난다. 즉, 젖음 특성이 다른 표면 영역에서는 동일 유체에 있어서도 유동 속도의 기울기 차이가 나타나게 된다.

본 발명은 이와 같은 젖음 특성이 다른 표면 영역을 마이크로 혼합기 내부 유로에 형성하도록 함으로써 유동에 교란을 발생시켜 혼합 효율을 상승시키도록 한 마이크로 혼합기를 제시한다.

도 2a 내지 도 2c는 본 발명에 의한 마이크로 혼합기 내부 유로 패턴을 도시하고 있다. 도시된 바와 같이, 유로(10)의 표면에는 서로 젖음 특성이 다른 제1영역(1a)과 제2영역(1b)이 교차 패터닝된다. 패턴의 형태는 제1영역(1a)과 제2영역(1b)이 교차 배열되도록 한다면 어떤 형태로 이루어져도 무방하나, 도 2a와 같이 한쪽 방향으로 비스듬하게 하거나, 도 2b와 같이 유동 진행 방향을 향한 산 모양으 로 형성되어, 유동 방향을 안내할 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 제1영역(1a)과 제2영역(1b)은 서로 한쪽은 친수성 재질, 다른 쪽은 소수성인 재질로 되는 것이 바람직한데, 이와 같이 형성됨으로써 특히 친수성 유체와 소수성 유체를 혼합함에 있어서 혼합 효율이 극대화될 수 있게 된다.

또한, 도 2a 및 도 2b에 도시된 실시예에서는 상기 영역(1a, 1b)들이 2가지로 나누어지는 것으로 나타나 있으나, 물론 2종류 이상의 유체를 혼합하는 경우 다종의 유체 특성을 모두 이용하여 다종의 영역을 패터닝하도록 하여도 무방하다. 도 2c는 이와 같이 다종의 영역을 패터닝한 유로의 실시예를 도시하고 있다.

도 3은 본 발명의 마이크로 혼합기 내부 유동 형태의 측단면도를 도시한 것이다. 도 3(A)는 제1영역(1a)과 제2영역(1b)이 충분히 긴 길이를 가지고 있는 경우를 도시한 것으로, 제1영역(1a)에서와 제2영역(1b)에서의 이론적인 기본 유동 형태는 도시된 바와 같이 서로 다르다. 따라서 두 유동 특성이 달라지는 경계 부분, 즉 도 3(A)에 도시된 S 부분에서는 강한 난류가 발생되는데, 만일 제1영역(1a) 및 제2영역(1b)의 길이가 충분히 길다면 이러한 난류가 감쇄되어 유동은 정상 상태(steady state)가 되며, 따라서 각각의 영역(1a, 1b)에서 이러한 정상 상태의 유동은 젖음 특성에 따른 이론적인 층류 유동 형태를 이루게 될 것이다. 그러나 도 3(B)에 도시된 바와 같이 상기 제1영역(1a)과 제2영역(1b)의 길이가 매우 짧게 교차 배열되어 있으면, 도 3(A)와 같이 유동이 정상 상태에 도달하기 전에 계속 난류가 발생되며, 따라서 전체적으로 유동이 일반적인 층류 유동이 아닌 강한 난류를 포함하는 유동이 된다. 따라서 도 2a 내지 도 2c에 도시된 바와 같이 다종의 유체가 함께 유입되면, 이와 같이 발생된 난류에 의해 혼합 효율이 비약적으로 상승하게 되는 것이다.

도 4a는 본 발명의 마이크로 혼합기의 다른 실시예이다. 도 2a 내지 도 2c에 도시된 마이크로 혼합기는 다종의 유체를 각각의 주입구를 통해 주입하도록 되어 있으나, 도 4a에 도시된 실시예에서는 주입구(2)에 다수 개의 격벽(3)을 구비시켜서, 각각의 격벽(3) 사이로 형성되는 유로에 각각 다종의 유체를 적층시켜 주입되도록 한다. 예를 들어 A, B 2종의 유체를 혼합하는 경우, 도 2a 내지 도 2c의 실시예에서는 도 4b(A)에 도시된 바와 같이 두 개의 층만 생기게 되지만, 도 4a의 실시예와 같이 격벽(3)이 구비된 구조의 주입구(2)를 사용하면 도 4b(B)와 같이 유체가 다수 개의 층을 이루게 된다. 층의 두께가 얇을수록 바로 옆의 층뿐만 아니라 그 옆의 층과도 서로 영향을 주게 되며, 따라서 도 4b에 도시된 바와 같이 훨씬 혼합이 활발하게 이루어져 혼합 효율이 극대화된다. 도 4a 및 도 4b의 실시예에서는 2종의 유체를 혼합하는 예를 도시하고 있으나, 물론 다종의 유체를 혼합할 경우에도 마찬가지로 다종의 유체를 적층하여 주입할 수 있다. 도 4a에 도시된 격벽(3)을 구비하는 주입구(2)는 2종 이상의 유체를 혼합하는 경우 특히 더 혼합 효율의 극대화를 달성할 수 있다.

도 5는 본 발명의 마이크로 혼합기의 분해사시도이다. 본 발명의 마이크로 혼합기(10)는, 유로(12a)가 통공 형성되는 중간판(12), 상기 유로(12a)와 연결되는 입구(11a) 및 출구(11b)가 통공 형성되며 상기 중간판(12)의 상면에 부착되는 상판(11), 상기 중간판(12)의 하면에 부착되는 하판(13)으로 이루어진다. 상기 중간판(12)에 부착되었을 때 상기 유로(12a)에 의해 노출되는 상기 상판(11)과 하판(13)의 일부분에는 제1영역(1a) 및 제2영역(1b)이 패터닝된다. (물론 더 다종의 영역이 패터닝되어도 무방하다.) 도 5에 도시된 구조를 보면 알 수 있듯이, 본 발명의 마이크로 혼합기(10)는 극히 단순한 구조로 되어 있어 제작이 매우 용이하다. 즉 상기 중간판(12)은 유로(12a)를 형성시키기 위해 평판 소재에 유로(12a) 형태의 통공을 형성하여 제작되며, 상기 상판(11) 및 하판(13)은 상기 영역(1a, 1b)들을 패터닝한 뒤 상판(11)에 입출구(11a, 11b)를 뚫어 제작되므로, 공정이 매우 간소화될 수 있다.

상기 상판(11) 및 하판(13)에서 상기 영역(1a, 1b)들을 패터닝하는 실시예가 도 6에 도시되어 있다. 도 6(A)는 상판(11), 도 6(B)는 하판(13)의 제작 과정을 도시하고 있으며, 도 6(A) 및 도 6(B)에 표시된 A 파선은 마이크로 혼합기(10)가 완성되었을 때 중간판(12)의 유로(12a)에 의해 노출되는 부분을 표시한 것이다. 대량 생산을 위하여, 긴 평판 소재에 패터닝을 한 후 B 파선으로 도시된 기준선을 따라 소정의 길이로 자르면, 각각의 단편은 개별 마이크로 혼합기(10)의 부품으로 사용될 수 있다. 상판(11)의 경우 입출구(11a, 11b)를 뚫어 형성하는 공정이 하나 더 추가되기만 하면 된다. 이와 같이 만들어진 상판(11), 중간판(12) 및 하판(13)을 순서대로 부착하면 본 발명의 마이크로 혼합기(10)를 완성할 수 있다. 이와 같이 본 발명의 마이크로 혼합기(10)는 그 제작 과정이 극히 간소하여 제작이 용이하고, 또한 복잡하거나 정밀함이 요구되는 공정이 전혀 없어 대량 생산 시에도 모든 마이크로 혼합기(10)들의 균등한 고품질을 보장할 수 있다.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.

이상에서와 같이 본 발명에 의하면, 마이크로 혼합기에 있어서 종래의 마이크로 혼합기에서는 장비 자체의 소형화로 인하여 유로의 특성 길이가 극히 짧아 난류가 발생하지 못함으로써 혼합 효율이 크게 떨어졌던 문제점을 제거하여, 마이크로 혼합기에서의 혼합 효율을 비약적으로 상승시킬 수 있게 되는 효과가 있다. 특히, 종래에는 이러한 문제점을 극복하기 위하여 마이크로 혼합기의 내부에 벽면의 홈이나 특정 모양의 골 등과 같은 미세 구조물을 형성하여 교란을 발생시키고자 하였으나, 이러한 미세 구조물을 형성하는 제작 과정이 매우 어려웠기 때문에 실제 응용성이 크게 떨어졌다는 문제점을 본 발명에서는 완전히 해결하여, 미세 구조물을 형성하는 대신 젖음 특성이 다른 표면 영역을 교차 패턴하도록 함으로써 제작 상의 용이성이 크게 상승하는 효과가 있으며, 물론 이에 따라 실용화 역시 크게 용 이해지는 효과가 있다. 또한 본 발명에 의하면 제작 방법이 용이할 뿐 아니라 제작 비용 및 제작 시간도 크게 감소되기 때문에, 마이크로 혼합기의 생산성을 크게 향상시킬 수 있는 경제적인 효과도 있다. 더불어 본 발명에 의하면 매우 간소하고 단순한 공정만으로 마이크로 혼합기를 제작할 수 있어, 복잡하거나 정밀함이 요구되는 공정이 없기 때문에 대량 생산 시에도 개별 마이크로 혼합기들의 균등한 고품질이 보장되는 큰 효과가 있다. 뿐만 아니라, 본 발명에 의하면 상술한 바와 같이 제작 시간이 짧기 때문에, 혼합해야 하는 유체의 특성에 따라 교차 패터닝하는 재료를 다르게 사용할 수도 있어, 유체 특성에 최적화된 다품종의 마이크로 혼합기를 쉽게 생산할 수 있게 되는 효과도 있다.

Claims (6)

1. 마이크로 혼합기에 있어서,

   적어도 2종 이상의 유체가 함께 주입되어 혼합되는 내부 유로의 벽면에 적어도 2종 이상의 서로 다른 젖음 특성을 갖는 영역(1a, 1b, 1c)들의 교차 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 서로 다른 젖음 특성을 가지는 표면이 교차 배열된 마이크로 혼합기.
2. 제 1항에 있어서, 상기 영역(1a, 1b, 1c)들은

   친수성 재질과 소수성 재질로 구분되는 것을 특징으로 하는 서로 다른 젖음 특성을 가지는 표면이 교차 배열된 마이크로 혼합기.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 마이크로 혼합기(10)는

   다종의 유체가 적층되어 유로로 유입되도록 격벽(3)이 형성된 주입구(2)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 서로 다른 젖음 특성을 가지는 표면이 교차 배열된 마이크로 혼합기.
4. 적어도 2종 이상의 유체를 함께 유통시켜 혼합하는 유로(12a)가 통공되어 형성되는 중간판(12), 상기 유로(12a)와 연결되는 입구(11a) 및 출구(11b)가 통공되어 형성되며 상기 중간판(12)의 상면에 부착되는 상판(11) 및 상기 중간판(12)의 하면에 부착되는 하판(13)을 포함하여 이루어지는 마이크로 혼합기(10)의 제조 방법에 있어서,

   상기 상판(11) 및 상기 하판(13)을 제조하는 방법은

   a) 긴 평판 재질에 적어도 2종 이상의 서로 다른 젖음 특성을 갖는 영역(1a, 1b, 1c)들의 교차 패턴이 코팅되는 단계;

   b) 상기 영역(1a, 1b, 1c)들이 코팅된 평판이 소정의 길이로 절단되어 상기 상판(11) 및 하판(13)으로 형성되는 단계;

   c) 상기 상판(11) 및 하판(13)의 교차 패턴 형성면 상기 중간판(12)을 향하도록 상기 중간판(12)의 상하에 부착되는 단계;

   를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 서로 다른 젖음 특성을 가지는 표면이 교차 배열된 마이크로 혼합기의 제조 방법.
5. 제 4항에 있어서, 상기 상판(11)을 제조하는 방법은

   a-1) 상기 중간판(12)의 유로(12a)와 연결되는 위치에 상기 입구(12a) 및 출구(12b)가 통공되어 형성되는 단계;

   를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 서로 다른 젖음 특성을 가지는 표면이 교차 배열된 마이크로 혼합기의 제조 방법.
6. 제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 마이크로 혼합기의 제조 방법은

   미세전자기계시스템(MEMS) 공정을 사용하는 것을 특징으로 하는 서로 다른 젖음 특성을 가지는 표면이 교차 배열된 마이크로 혼합기의 제조 방법.

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