KR20080090688A - 필름 광도파로 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명을 필름 광도파로 제조 방법에 관한 것으로 2장 또는 3장의 경화된 필름을 정밀 기계가공인 다이아몬드 블래딩법과 레이저 컷팅법을 이용하여 광도파로 코어 채널을 형성하고, 필름 상태에서 광도파로를 제작하는 것이다. 본 발명에 의하면, 광도파로는 롤투롤 방식을 사용하여 저가형 및 대량생산이 가능하며, 필름 형태로 제작하기 때문에 연성 광 인쇄회로기판과 경성 광 인쇄회로기판 모두에 이용이 가능하다. 또한, 상기 광도파로는 고 내열성 필름을 기계 가공하여 제작하기 때문에 고온 특성을 만족함과 동시에 클래드 필름과 코어 용액의 굴절율의 차이를 크게 줄 수 있어 우수한 굴곡성을 확보한다.

필름형 광도파로, 롤투롤 방식, 다이아몬드 블래이드, 레이저 컷팅

Description

필름 광도파로 제조 방법{Process for producing film optical waveguide}

도 1 은 본 발명의 일 실시 예에 따른 2장으로 구성된 필름형 광도파로의 제작공정을 나타낸 단면도.

도 2 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 3장으로 구성된 필름형 광도파로의 제작공정을 나타낸 단면도.

도 3a 은 본 발명의 일 실시 예에 따른 다이아몬드 블래이드 방식에 의한 클래드 필름의 홈 생성 과정을 나타낸 도면.

도 3b 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 다이아몬드 블래이드 방식에 의한 2장으로 구성된 필름형 광도파로의 하부 클래드 필름의 부분 홈 생성 단면도.

도 3c 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 다이아몬드 블래이드 방식에 의한 3장으로 구성된 필름형 광도파로의 내부 클래드 필름의 관통 홈 생성 단면도.

도 4a 은 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저 컷팅 방식에 의한 클래드 필름의 홈 생성 과정을 나타낸 도면.

도 4b 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저를 이용하여 2장으로 구성된 필름형 광도파로의 하부 클래드 필름의 부분 홈 생성 단면도.

도 4c 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저를 이용하여 3장으로 구성된 필름형 광도파로의 내부 클래드 필름의 관통 홈 생성 단면도.

도 5a 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 롤투롤 방식에 의한 2장으로 구성된 필름 광도파로 공정 장비의 단면도.

도 5b 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저 가공에 의한 부분 홈 제작과 동시에 롤투롤 방식을 사용한 2장으로 구성된 필름 광도파로 공정 장비의 단면도.

도 6a 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 롤투롤 방식에 의한 3장으로 구성된 필름 광도파로 공정 장비의 단면도.

도 6b 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저 가공에 의한 관통 홈 제작과 동시에 롤투롤 방식을 사용한 3장으로 구성된 필름 광도파로 공정 장비의 단면도.

도 7 은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 휴대 단말기 힌지 부분에 있는 광 인쇄회로 기판 내의 필름형 광도파로의 단면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 하부 클래드 필름 110 : 부분 홈

120 : 코어 용액 130 : 상부 클래드 필름

200 : 내부 클래드 필름 210 : 관통 홈

300 : 다이아몬드 휠 400 : 레이저

500 : 하부 클래드 필름 피더 510 : 코어 용액 피더

520 : 상부 클래드 필름 피더 530 : 제 1 압착롤러

540 : 자외선 램프 550 : 히터

600 : 내부 클래드 필름 피더 610 : 제 2 압착롤러

본 발명은 2장 또는 3장의 필름으로 구성된 저가형 및 대량생산이 가능한 필름 광도파로 제조 방법에 관한 것이다.

기존의 광도파로 제작 방법으로서는 포토리소그라피법(Photolithoraphy)과 레이저 라이팅법(Laser writing), 엠보싱법(Embossing) 및 롤투롤법(Roll-to-Roll) 등이 있다.

상기 포토리소그라피법은 오래전부터 개발된 기술적으로 성숙한 기술이긴 하나, 고가의 반도체 공정 장비를 이용하여 광도파로를 제작하기 때문에 광도파로의 저가격화의 문제가 있다.

상기 레이저 라이팅법은 코어가 형성될 부분에 레이저를 집광시켜 집중적으로 쪼여 줌으로서 굴절율을 변화시키는 제작 방법이다. 이 방법은 코어 굴절율과 클래드 굴절율의 차이가 작기 때문에 광도파로를 휘었을 때 많은 손실이 발생하는 문제가 있다.

상기 엠보싱법은 평판에 코어가 형성될 부분의 홈이 있는 일면 마스터(Master)가 하부 클래딩 층을 압착하여 홈을 형성시키고 그 홈에 코어 물질을 채워 넣는 방법으로서 양산성이 우수한 장점을 가지지만, 광도파로의 온도 특성에 다 소 문제가 있다.

광 인쇄회로기판에 사용될 광도파로는 전자부품이 납땜 가능한 온도를 견뎌야하기 때문에 300도 이상의 내열성을 가져야 한다. 그러나, 상기 엠보싱법에 사용되는 폴리머 재료는 100도~200도의 온도로 압착하여 코어를 형성하는데 이 온도는 클래드 재료의 변형이 가능한 온도를 의미한다. 따라서, 300도 이상의 고내열성 특성에는 적합하지 않다.

상기 롤투롤법에 의한 광도파로 제작은 저가로 광도파로 제작이 가능하며 길이가 긴 광도파로 또는 대면적 광도파로 제작이 가능 하지만, 코어 형성용 홈을 수십㎚의 거칠기를 가지고 원통형의 롤을 제작하는 어려움이 있다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 불편함을 해결하기 위하여 고 내열성을 가지는 열 경화된 필름 자체를 클래드 층으로 사용하며 그 클래드층에 기계적 가공을 통해서 코어부분을 형성하고, 또 다른 고 내열성 필름을 부착하는 필름 광도파로 제조 방법을 제공하는 데에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 필름 광도파로 제조 방법에 있어서, 경화된 필름을 정밀 기계가공인 다이아몬드 블래딩법과 레이저 컷팅법을 이용하여 광도파로 코어 채널을 형성하고, 필름 상태에서 광도파로를 제작한다.

본 발명에서 하부 클래드 필름의 상부에 홈이 형성되는 단계를 포함하고, 상기 홈에 코어 용액이 충진되는 단계를 포함한다. 그리고, 상기 코어 용액이 충진된 하부 클래드 필름 상부에 상기 하부 클래드 필름과 동일한 물질의 필름으로 형성된 상부 클래드 필름이 부착되는 단계를 포함하고, 상기 코어 용액이 경화되는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명에서 내부 클래드 필름에 관통하는 홈이 형성되는 단계를 포함하고, 상기 내부 클래드 필름을 하부 클래드 필름의 상부에 부착하는 단계를 포함하며, 상기 내부 클래드 필름의 관통 홈에 코어 용액이 충진되는 단계를 포함한다. 그리고, 상기 코어 용액이 충진 된 내부 클래드 필름의 상부에 상부 클래드 필름이 부착되는 단계를 포함하며, 상기 코어 용액이 경화되는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명에서 상기 상부 클래드 필름, 내부 클래드 필름 및 하부 클래드 필름은 동일한 물질의 필름을 사용하는 것이 바람직하다.

본 발명에서 상기 홈은 다이아몬드 블래이딩 및 레이저 컷팅에 의해 생성되는 것이 바람직하다.

본 발명에서 상기 홈의 단면은 정사각형으로 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명에서 상기 홈의 표면의 거칠기 정도는 하기의 식을 만족하는 것이 바람직하다.

거칠기 < λ/10 (단, λ 는 사용파장)

본 발명에서 상기 코어 용액이 경화는 열 경화법, 자외선 경화법 및 이들의 혼합법 중에서 선택되는 하나의 방법으로 경화되는 것이 바람직하다.

본 발명에서 상기 상부 클래드 필름의 굴절률과 상기 코어 용액의 굴절률의 차이는 3%이상인 것이 바람직하다.

본 발명에서 상기 코어 용액은 접착성 있는 물질인 것이 바람직하다.

본 발명에서 상기 접착성 있는 물질은 에폭시 레진을 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명에서 상기 필름의 부착방식은 롤투롤 방식인 것이 바람직하다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 하기의 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하며, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 1 은 본 발명의 일 실시 예에 따른 2장으로 구성된 필름형 광도파로의 제작공정을 나타낸 단면도이다.

도 1 을 참조하면, 2장의 필름으로 형성된 광도파로는 상부 클래드 필름(130), 하부 클래드 필름(100) 및 코어 용액(120)으로 구성된다.

상기 2장의 필름 광도파로는 상기 하부 클래드 필름(100)에 부분 홈(110)을 형성한 후 코어 용액(120)을 충진하고, 상기 코어 용액(120)이 충진된 하부 클래드 필름(100)의 상부에 상부 클래드 필름(130)을 부착한다. 그리고, 열 또는 자외선을 이용하여 상기 코어(120)를 경화시킨다.

이때, 상기 부분 홈(110)의 형성 방법은 다이아몬드 블래이딩법 또는 레이저 컷팅법을 사용하는 것으로 하기의 도 3a 및 도4a 를 참조한다.

도 2 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 3장으로 구성된 필름형 광도파로의 제작공정을 나타낸 단면도이다.

도 2 를 참조하면, 3장의 필름으로 형성된 광도파로는 상부 클래드 필름(130), 내부 클래드 필름(200) 및 하부 클래드 필름(100)으로 구성된다.

상기 3장의 필름 광도파로는 상기 내부 클래드 필름(200)에 관통 홈(210)을 제작하여 코어 용액(120)을 충진하고, 상기 하부 클래드 필름(100)과 상기 상부 클래드 필름(200)을 접층한다. 그리고, 열 또는 자외선을 이용하여 상기 코어 용액(120)을 경화시킨다.

이때, 상기 관통 홈(210)의 형성 방법은 다이아몬드 블래이딩법 또는 레이저 컷팅법을 사용하는 것으로 하기의 도 3a 및 도4a 를 참조한다.

도 1 과 도 2 를 참조하면, 상기 하부 클래드 필름(100), 상기 내부 클래드 필름(200) 및 상기 상부 클래드 필름(130)은 동일한 물질 및 유사한 물질로 구성된 클래드 필름을 사용하며, 본 발명에서는 동일한 물질의 필름으로 구성하는 것이 바람직하다.

굴곡성을 요구하는 용도에서 광도파로를 사용할 경우에는 빛을 강하게 가이딩(Guiding)할 수 있도록 상기 클래드 필름과 상기 코어 용액(120)의 굴절율의 차 가 3% 이상인 것을 사용하는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 코어 용액(120)은 상기 상부 클래드 필름(130), 상기 내부 클래드 필름(200) 및 상기 하부 클래드 필름(100)을 고정시킬 수 있는 접착성 있는 물질로 형성되며, 광학적 투명성이 보장되는 에폭시 레진과 같은 물질을 사용할 수 있다.

상기 에폭시 레진은 자외선 경화성과 열 경화성 물질 모두 이용 가능하다.

광도파로를 이용한 광전파 손실을 결정하는 요인들로 코어 용액과 클래드의 굴절율 차와 클래드 필름에 제작된 홈의 형태와 거칠기, 그리고 코어 용액의 주변 클래드 필름에 채워짐 정도를 들 수 있다.

본 발명에 의하면, 내부 클래드 필름의 관통 홈의 단면을 정사각형 형태로 제작함에 따라, 광섬유나 VCSEL와 PD와 같이 원형 형태의 광결합 모드를 가지는 부품과 연결시에 모드 매칭 및 광결합 효율이 유리하다.

또한, 상기 관통 홈의 벽면 거칠기는 광이 광도파로를 전파하면서 산란에 의해 광손실을 발생시키기 때문에 적을수록 좋지만, 공정비용을 고려할 때 50㎚(거칠기 < λ(사용파장)/10) 이하로 한다.

그리고, 상기 코어 용액의 채어짐 정도는 상기 코어 용액이 완벽하게 채워지지 않고 빈 공간(void)이 존재할 경우에는 광이 상기 광도파로 밖으로 빠져나가게 됨에 따라 상기 코어 용액의 경화 시 수축률이 작은 코어 용액을 사용하며, 압착 방향, 압착력 및 경화 온도 등 적절한 접층 조건을 사용하여 빈공간을 없애는 것이 바람직하다.

도 3a 은 본 발명의 일 실시 예에 따른 다이아몬드 블래이드 방식에 의한 클래드 필름의 홈 생성 과정을 나타낸 도면이고, 도 3b 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 다이아몬드 블래이드 방식에 의한 2장으로 구성된 필름형 광도파로의 하부 클래드 필름의 부분 홈 생성 단면도이며, 도 3c 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 다이아몬드 블래이드 방식에 의한 3장으로 구성된 필름형 광도파로의 내부 클래드 필름의 관통 홈 생성 단면도이다.

도 3a 를 참조하면, 종래의 반도체 칩을 절단하는 다이싱 소어 머신(dicing sawer machine)을 이용하여 다이아몬드 블래딩(diamond blading)을 실시한다.

상기 다이싱 소어 머신은 홈과 홈 사이의 간격을 마이크론 이하의 정밀도로 line-by-line 절단이 가능한 반면에 여러 장 겹쳐진 다이아몬드 휠(300)을 사용할 경우에는 line 절단으로 하나 이상의 관통 홈을 동시에 제작할 수 있으며, 다이아몬드 입자 #6000 이상인 것을 사용할 경우 상기 관통 홈 벽면 거칠기를 50㎚ 이하로 제작하여, 광손실을 최소화한다.

그리고, 멀티 모드 광도파로인 경우에는 광손실을 최소화하기 위하여 50㎛*50㎛의 정사각형 단면을 가지도록 필름 두께와 다이아몬드 휠 폭이 50㎛인 블래이드 제품을 사용할 수 있다.

종래에는 광도파로 제작 완료 후, 후공정으로 다이아몬드 블래이딩법을 이용한 반면에 본 발명에서는 광도파로 제작 중에 다이아몬드 블래이딩 법을 이용함으로써, 광도파로 제작 공정이 용이하다.

도 3b 와 도 3c 를 참조하면, 2장의 필름을 이용한 광도파로 제작시에는 하 부 클래드 필름의 부분 홈을 형성하며, 3장의 필름을 이용한 광도파로 제작시에는 내부 클래드 필름의 관통 홈을 형성한다.

도 4a 은 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저 컷팅 방식에 의한 클래드 필름의 홈 생성 과정을 나타낸 도면이고, 도 4b 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저를 이용하여 2장으로 구성된 필름형 광도파로의 하부 클래드 필름의 부분 홈 생성 단면도이며, 도 4c 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저를 이용하여 3장으로 구성된 필름형 광도파로의 내부 클래드 필름의 관통 홈 생성 단면도이다.

도 4a 를 참조하면, 광도파로 제작 중에 레이저 컷팅 방식을 사용하여 관통 홈 및 부분 홈을 제작하는 것으로서, 정밀한 스테이지에 장착된 레이저(400)를 이용하여 광도파로 폭이 3㎛이하의 정밀도로 홈을 제작한다.

상기 레이저(400)는 CO2 레이저, femto-second 레이저 및 excimer 레이저 등을 이용하며, 단채널의 레이저 소스를 사용할 경우에는 line-by-line 컷팅으로 제작하며, 다채널 레이저 소스를 사용할 경우에는 한번의 line 컷팅으로 다채널 홈을 제작한다.

도 4b 와 도 4c 를 참조하면, 2장의 필름으로 구성된 광도파로는 3장의 필름으로 구성된 광도파로의 공정과정에 준하지만, 내부 클래드 필름 대신 하부 클래드 필름에 정사각형 부분 홈을 형성하는 점에서 차이가 있다.

상기 2장의 필름으로 구성된 광도파로의 정사각형 부분 홈 형성은 상기 3장으로 구성된 광도파로의 내부 클래드 필름 관통 홈 제작에 비해 고정밀도의 가공의 요구된다.

관통 홈의 경우에는 벽면 양면의 거칠기만 광전파 손실에 영향을 미치지만, 부분 홈의 경우에는 삼면의 거칠기가 모두 광전파 손실에 영향을 미치기 때문에 보다 높은 가공기술이 필요하다.

하지만, 상기 2장의 필름으로 구성된 광도파로는 이후 공정인 코어 용액을 충진시키는 공정과 상부 클래드 필름을 압착시키고 상기 코어 용액을 경화시키는 공정이 용이하고 공정 장비가 간소하다.

도 5a 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 롤투롤 방식에 의한 2장으로 구성된 필름 광도파로 공정 장비의 단면도이다

도 5a 를 참조하면, 하부 클래드 필름 피더(500)를 통해 가공된 하부 클래드 필름이 인입되고, 코어 용액 피더(510)를 통해 코어 용액이 충진된다.

상부 클래드 필름 피더(520)를 통해서 인입되는 상부 클래드 필름은 제 1 압착 롤러(530)에서 충진된 코어 용액이 상기 하부 클래드 필름과 만나서 압착되고, 자외선 램프(540) 및 히터(550)에 의해 경화된다.

도 5b 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저 가공에 의한 부분 홈 제작과 동시에 롤투롤 방식을 사용한 2장으로 구성된 필름 광도파로 공정 장비의 단면도로써, 상기 도 5a 와 비교하여 공정 순서는 동일하나, 하부 클래드 필름 피더(500)쪽에 레이저(400)가 설치되어 필름이 가공되는 동시에 제작이 완료된다.

이에 의해, 모든 공정을 상기 롤투롤 장비 내에서 논스톱으로 진행이 가능하며, 장비가 간단하고 저가로 제작이 가능하다.

도 6a 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 롤투롤 방식에 의한 3장의 필름으로 구성된 필름 광도파로 공정 장비의 단면도이다.

도 6a 를 참조하면, 다이아몬드 블래이딩법 및 레이저 컷팅법에 의해 제작된 내부 클래드 필름이 내부 클래드 필름 피더(600)에 의해서 인입되며, 상기 내부 클래드 필름과 하부 클래드 필름 피더(500)에 의해 인입된 하부 클래드 필름은 제 1 압착 롤러(530)에서 압착된다.

상기 제 1 압착 롤러(530)에서 압착된 필름은 코어 용액 피더(510)에 의해 상기 필름에 형성된 홈에 코어 용액이 충진되고 상부 클래드 필름 피더(520)에 의해 인입되는 상부 클래드 필름과 제 2 압착 롤러(610)에 의해 압착된다.

그리고, 자외선 램프(540) 및 히터(550)에 의해 경화되어 3장의 필름으로 구성된 광도파로가 제작된다.

도 6b 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 레이저 가공에 의한 관통 홈 제작과 동시에 롤투롤 방식을 사용한 3장으로 구성된 필름 광도파로 공정 장비의 단면도로써, 상기 도 6a 와 공정순서는 동일하나 내부 클래드 필름 피더(600) 부분에 레이저(400)가 설치되어 필름이 가공되는 동시에 제작이 완료됨으로 모든 공정을 롤투롤 장비 내에서 논스톱으로 진행할 수 있다.

본 발명의 롤투롤 방식은 이미 경화된 필름을 사용하기 때문에 종래의 경화되지 않는 클래드층을 롤로 홈을 형성하는 롤투롤 방식과는 차이가 존재하며, 코어 홈의 성형 과정이 롤링(Rolling)하는 과정에서 이루어지지 않고 이미 성형된 필름을 사용함으로써 종래의 방식과는 차이가 존재한다.

도 7 은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 휴대 단말기 힌지 부분에 있는 광 인쇄회로 기판 내의 필름형 광도파로의 단면도로써, 휴대 단말기에 적용되는 PCB 중에서 힌지 부분을 OPCB(Optical PCB)로 사용하여 Gbps 이상의 고속 신호 전송을 가능하도록 한다.

상기 OPCB는 고화질의 정지 화상 및 동양상 등의 대용량 멀티미디어 데이터를 기가(Giga)급 고속전송이 가능하도록 하며, 고속 신호 전달에 배선 간 전자파 간섭을 해결한다.

또한, 배선 폭과 배선 층간 간결을 줄임으로써 두께를 박형화하여 소형화 박형화된 휴대 단말기 구현이 가능하다.

상기와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 2장 또는 3장의 필름으로 구성된 광도파로를 광 인쇄회로기판의 광전달층으로 사용함으로써, 연성 및 경성 광 인쇄회로기판 모두에 이용가능한 효과가 있다.

또한, 고 내열성 필름을 기계 가공하여 제작함으로써 고온 특성을 만족시키며, 클래드 필름과 코어 용액의 굴절율의 차이를 크게 함으로써 굴곡성을 향상시키 는 효과가 있다.

그리고, 롤투롤 방식을 통해 저가의 광도파로를 제작하며 대량생산이 가능한 효과가 있다.

Claims (11)

1. 하부 클래드 필름의 상부에 홈이 형성되는 단계;

   상기 홈에 코어 용액이 충진되는 단계;

   상기 코어 용액이 충진된 하부 클래드 필름 상부에 상기 하부 클래드 필름과 동일한 물질의 상부 클래드 필름이 부착되는 단계; 및

   상기 코어 용액이 경화되는 단계를 포함하는 필름 광도파로 제조 방법.
2. 내부 클래드 필름에 관통하는 홈이 형성되는 단계;

   상기 내부 클래드 필름을 하부 클래드 필름의 상부에 부착하는 단계;

   상기 내부 클래드 필름의 관통 홈에 코어 용액이 충진되는 단계;

   상기 코어 용액이 충진된 내부 클래드 필름의 상부에 상부 클래드 필름이 부착되는 단계; 및

   상기 코어 용액이 경화되는 단계를 포함하는 필름 광도파로 제조 방법.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 상부 클래드 필름, 내부 클래드 필름 및 하부 클래드 필름은 동일한 물질의 필름을 사용하는 것을 특징으로 하는 필름 광도파로 제조 방법.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 홈은 다이아몬드 블래이딩 및 레이저 컷팅에 의해 생성되는 것을 특징으로 하는 필름 광도파로 제조 방법.
5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 홈의 단면은 정사각형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 필름 광도파로 제조 방법.
6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 홈의 표면의 거칠기 정도는 하기의 식을 만족하는 것을 특징으로 하는 필름 광도파로 제조 방법.

   거칠기 < λ/10 (단, λ 는 사용파장)
7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 코어 용액의 경화는 열 경화법, 자외선 경화법 및 이들의 혼합법 중에서 선택되는 하나의 방법으로 경화되는 것을 특징으로 하는 필름 광도파로 제조 방법.
8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 상부 클래드 필름의 굴절률과 상기 코어 용액의 굴절률의 차이는 3%이상인 것을 특징으로 하는 필름 광도파로 제조 방법.
9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 코어 용액은 접착성 있는 물질인 것을 특징으로 하는 필름 광도파로 제조 방법.
10. 제 9 항에 있어서, 상기 접착성 있는 물질은 에폭시 레진을 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 광도파로 제조 방법.
11. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 필름의 부착방식은 롤투롤 방식인 것을 특징으로 하는 필름 광도파로 제조 방법.

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