KR20080079435A - 고감도 표면 플라즈몬 공명 측정장치 - Google Patents

고감도 표면 플라즈몬 공명 측정장치

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KR20080079435A
KR20080079435A KR1020070019572A KR20070019572A KR20080079435A KR 20080079435 A KR20080079435 A KR 20080079435A KR 1020070019572 A KR1020070019572 A KR 1020070019572A KR 20070019572 A KR20070019572 A KR 20070019572A KR 20080079435 A KR20080079435 A KR 20080079435A
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Abstract

본 발명은 고감도 표면 플라즈몬 공명 측정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 단층 또는 다층의 유전체를 금속박막 위 혹은 아래에 적층하고, 적층되는 유전체의 굴절률과 두께를 변화시켜 투과깊이를 조절함으로써, SPR에서 측정되는 범위를 제어할 수 있고, 이에 따라 시료의 단층별 측정을 통해 기존의 측정방식에 비해 시료의 고정밀 측정 및 분석이 가능한 고감도 표면 플라즈몬 공명 측정장치에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 프리즘과; 상기 프리즘에 입사광을 제공하는 광원과; 상기 입사광에 대한 반사광을 검출하는 수광부와; 상기 광원으로부터 제공받아 표면 플라즈몬 공명현상을 유도하는 금속박막과; 상기 금속박막 아래에 적층된 다층 유전체 박막을 포함하여 구성되고, 상기 유전체 박막의 유전률을 변화시켜 표면 플라즈몬 공명이 측정되는 투과깊이를 조절하는 것을 특징으로 하는 고감도 표면 플라즈몬 공명 측정장치를 제공한다.

Description

고감도 표면 플라즈몬 공명 측정장치{Measurement apparatus for high sensibillity Surface Plasmon Resonance}
본 발명은 고감도 표면 플라즈몬 공명 측정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 단층 또는 다층의 유전체를 금속박막 위 혹은 아래에 적층하고, 적층되는 유전체의 굴절률과 두께를 변화시켜 투과깊이를 조절함으로써, SPR에서 측정되는 범위를 제어할 수 있고, 이에 따라 시료의 단층별 측정을 통해 기존의 측정방식에 비해 시료의 고정밀 측정 및 분석이 가능한 고감도 표면 플라즈몬 공명 측정장치에 관한 것이다.
금속 표면에 존재하는 전자들은 그 표면에 대하여 종 방향으로(normal) 진동하여 집단적인 요동(collectivevibration) 운동을 하는데, 이를 표면 플라즈몬 파동(surface plasmon wave)이라 한다.
양자화 된(quantized) 전자의 요동이 곧 표면 플라즈몬 혹은 표면 플라즈몬 폴라리톤(surface plasmon polariton)이다. 표면 플라즈몬이 광파(light waves)에 의해서 여기되는 현상을 이용하여 물질을 정량적으로 분석하기 위해서 다양한 표면 플라즈몬 센서들이 제시되어 왔다.
예를 들어, 시료(analyte), 예컨대, 유전체(dielectric material)의 물리적 변화, 예컨대, 농도, 두께, 굴절률의 변화를 정밀하게 또는/및 정량적으로 측정하는 데 금속 표면에 존재하는 양자화된 전자의 요동, 즉 표면 플라즈몬의 공명 흡수 효과를 이용하는 연구가 많이 제시되어 왔다.
이러한 표면 플라즈몬의 공명 흡수 효과를 이용하는 센서, 즉, 표면 플라즈몬 센서는 금속 표면에 맞닿아 있는 유전체의 농도, 두께 또는 굴절률의 변화를 측정하는 데 사용될 수 있을 뿐만 아니라, 측정하고자 하는 생체 물질과 같은 시료의 농도 변화를 실시간으로(real-time), 표식자 없이(non-labeling) 측정할 수 있는 생체 센서로도 활용될 것으로 알려지고 있다.
표면 플라즈몬의 공명 현상은 빛의 편광 특성에 민감한 점을 이용하여 편광기(polarizer)에 응용되거나 또는 미국특허 제5,5570139호 및 미국 특허6,122,091호에서 제시된 바와 같이 광 밸브(light valve)에도 응용될 수 있다는 보고가 있으나, 바이오 센서(bio sensor), 즉, 광 화학 센서(opto-chemical sensor)에 주로 응용되고 있다.
광 밸브는 금속 박막에 맞닿아 있는 유전체의 굴절률 변화와 외부에서 인가되는 전압에 따른 액정의 굴절률 변화를 이용하여 플라즈몬 공명 흡수 파장 변화를 유도하고, 이를 이용하여 반사되는 빛의 색을 조절하도록 구성된다.
이에 반해서, 광 화학 센서는 금속 표면에 자기 결합된 단분자막(self-assembled monolayer)을 포함하는 단백질, 핵산, 효소 등의 생체 물질을 고정화 시켜 놓고, 그와 특이적 결합(specific binding)을 하는 목적 분자(target molecule), 수용체(receptor), 혹은 간단히 시료(analyte)라고 통칭되는 생체 물질의 농도 변화를 측정하도록 구성된다.
광 화학 센서는 스웨덴 회사인 바이아코어 에이비(Biacore AB)사에서 표면 플라즈몬 공명(SPR:Surface Plasmon Resonance) 센서의 상업화에 성공한 이후 현재 관련 분야에서 생체 분자의 반응과 그 상호 작용을 연구하는 기본적인 장치로 여겨지게 되었다.
이러한 광 화학 센서에 관련한 내용들은 유럽 특허 제442,921호, 유럽 특허 제648,328호, 미국 특허 제5,313,264호, 미국 특허 제5,436,161호 및 미국 특허 제5,641,640호 등에 제시되고 있다.
게다가 미국 특허 제6,111,652호에 제시된 바와 같이, 광원(light source)과 수광부(optical detector)를 플라스틱 프리즘(plastic prism)에 집적하여 더 작은 형태로 고안된 SPR 센서 또한 미국의 텍사스 인스트루먼트(TI:Texas Instruments)사에서 개발되었다.
이와 같은 센서들은 동시에 단 하나의 시료만을 측정하는 단일 채널(channel)의 센서 방식이다. 이를 극복하고 동시에 여러 시료의 농도 변화를 측정할 수 있기 위해서는 단일 센서 표면에 적어도 두 개 이상의 독립된 채널이 필요하다.
또한, 입사광으로서 확장된 광원(expanded light)과 이차원 평면을 형상화(imaging)할 수 있는 전하 결합 소자(CCD:Charge Coupled Device) 카메라, 비디오 카메라, 혹은 단순히 영사막(screen) 등의 수광부가 있으면 가능하다.
그리고, 각각의 채널에 리간드-수용체(ligand-receptor)의 특이 결합이 가능하도록 생화학적인 처리가 되어 있을 때, 각 채널의 플라즈몬 공명에 대한 반사광의 조건(반사광의 밝기, 파장 등)이 변화하므로, 이러한 변화는 반사되는 이차원 평면에 있어서 각 화소(pixel)의 명암의 차이로 나타나게 된다.
이러한 종류의 센서는 유럽 특허 제388,872호, 국제 특허 제163,256호, 국제 특허 제169,209호 등에서 제시되고 있다.
도 4는 종래의 표면 플라즈몬 공명 센서(SPR sensor)의 일례를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 도면으로서, 유리와 같은 유전체 기판(10) 상에 나노미터(nano meters) 두께로 코팅(coating)된 금속박막(20)을 이용한 종래의 표면 플라즈몬 공명 센서(SPR sensor)의 구성을 보여주고 있다. 이러한 센서는 크렛츄만 형태(Kretschmann configuration)로 잘 알려져 있다.
이러한 크렛츄만 형태의 센서는 기본적으로 프리즘(30)과 프리즘(30)의 어느 한 면 상에 형성된 금속 박막(20), 광원(40), 수광부(45)를 포함하여 구성된다.
이러한 SPR 센서가 이차원 이미징(imaging) 센서 시스템을 구성할 경우, 광원(40)은 빔 확장기(beam expander)를 포함하여 구성되며, 광원(40)에서 제공되는 확장된 입사광은 편광기(41)를 지나면서 p-모드(TM-mode)로 편광 되어 일정한 각도(θ)로 프리즘(30)에 입사된다.
측정하고자 하는 시료(50), 예컨대, 생체 분자가 함유된 혈청(serum)과 같은 시료(50)는 금속 박막(20) 상에 접촉하게 도입된다. 금속 박막(20)과 시료(50) 사이에서, 시료(50)의 농도, 두께 혹은 일반적으로 굴절률이 변화하면, 이에 따라 표면 플라즈몬 공명 조건이 변화하게 된다.
이에 따라, 수광부(45)로 반사되는 반사광의 광량이 달라지게 된다. 이때, 이차원 평면에서의 플라즈몬 공명을 이용하고 확장된 형태의 입사광을 사용하였을 때, 금속 박막(20) 표면에 맞닿아 있는 시료(50)의 농도 변화를 각 화소 단위로 측정하도록 센서를 구성하면, 이차원 이미징 SPR 센서 시스템이 구성되게 된다.
이와 같은 SPR 센서는 도 2에 제시된 바와 같은 면역 센서(immunosensor)로 응용될 수 있다. 즉, 금속 박막(20) 표면에 항체(antibody)와 같은 생체 물질을 고정화하고, 이와 특이적으로 결합하는 항원(antigen)의 농도를 측정하는 면역 센서를 구성할 수 있다.
도 5는 도 4의 표면 플라즈몬 공명 센서의 원리를 이용한 면역 센서(immunosensor)의 일례를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 도면으로서, SPR 센서가 면역 센서와 같은 광 화학적 센서로 이용될 경우, 금속박막(20)의 표면에 측정하고자하는 성분과 특이 결합(specific binding)을 이루는 리간드(ligand:51)가 고정된다.
고정화된 리간드(51), 예컨대, 항체는 시료(50)에 포함된 수용체(51')과 서로 특이적으로 결합하게 된다. 이러한 수용체(51')는 혈청(serum)과 같은 생체 시료 내에 포함되어 있고 측정하고자 하는 성분인 항원일 수 있다.
시료(50)내에 포함되어 있는 또 다른 성분들(52', 53')은 리간드(51)와 결합되지 않고 시료(50) 속에 남아있게 된다.
수용체(51'), 즉, 항원과 리간드(51), 즉, 항체의 결합 정도에 따라 금속 박막(20)의 표면에 맞닿아 있는 리간드-수용체(51-51'), 즉, 항체-항원의 굴절률이 증가하게 되고, 이에 따라, 입사광이 백색광인 경우 공명 파장이 장파장 쪽으로 이동하거나, 입사광이 단색광인 경우 센서 표면으로부터 반사되어 나오는 반사광의 명암이 변화하게 된다.
이러한 면역 센서가 하나의 독립된 채널을 구성하고 다수의 독립된 채널들을 조합하면, SPR 이미징 센서 시스템을 구성할 수 있다.
이상에서 언급한 바와 같은 종류의 센서는 표면 플라즈몬 공명 효과를 이용하는 데, 이러한 표면 플라즈몬 효과는 금속 박막(20)이 유리와 같은 투명 유전체 기판(10) 상에 전체적으로 도포되어 있을 때에 발생하는 대역적인 표면플라즈몬(GSP:Global Surface Plasmon) 효과이다.
이와 관련된 종래의 특허 등록공고 10-0480340호에는 실시간으로 표식자없이 측정할 수 있으며, 측정 감도를 더욱 높일 수 있고 플라즈몬 공명 흡수 조건을 임의로 조절할 수 있으며, 투과방식으로도 측정하는 것이 가능한 표면 플라즈몬 센서 및 그 제조방법이 개시되어 있다.
또한, 특허 등록공고 10-0588987호에는 표면 플라즈몬 공명현상을 이용하여 생화학물질 및 생체물질의 상호작용을 계측하거나 얇은 박막의 광학상수인 두께와, 굴절률 그리고 용액의 굴절률을 측정하는 광학적 분석 장치가 개시되어 있다.
그러나, 기존의 SPR 센서는 시료를 측정할 수 있는 범위가 고정되어 SPR이 측정되는 범위를 제어하기가 어렵고, 또한 시료를 보다 정확하게 측정하기 위해서는 시료의 여러층에 대한 분석이 필요하다.
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, 단층 또는 다층의 유전체를 금속박막 위 혹은 아래에 적층하고, 적층되는 유전체의 굴절률과 두께를 변화시켜 투과깊이를 조절함으로써, SPR에서 측정되는 범위를 제어할 수 있고, 이에따라 시료의 단층별 측정을 통해 기존의 측정방식에 비해 시료의 고정밀 측정 및 분석이 가능한 고감도 표면 플라즈몬 공명 측정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 고감도 표면 플라즈몬 공명 측정장치에 있어서,
프리즘과; 상기 프리즘에 입사광을 제공하는 광원과; 상기 입사광에 대한 반사광을 검출하는 수광부와; 상기 광원으로부터 제공받아 표면 플라즈몬 공명현상을 유도하는 금속박막과; 상기 금속박막 아래에 적층된 다층 유전체 박막을 포함하여 구성되고, 상기 유전체 박막의 유전률을 변화시켜 표면 플라즈몬 공명이 측정되는 투과깊이를 조절하는 것을 특징으로 한다.
바람직한 구현예로서, 상기 유전체 박막의 두께를 변화시켜 표면 플라즈몬 공명이 측정되는 투과깊이를 조절하는 것을 특징으로 한다.
더욱 바람직한 구현예로서, 상기 다층의 유전체 박막은 금속박막 위에 적층된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 유전체 박막은 단층인 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조로 상세하게 설명한다.
본 발명은 유전체 다층박막을 사용해서 일반적인 SPR 반응에서 측정할 수 없는 단층에 관한 정보를 얻을 수 있도록 한 점에 주안점이 있다.
표면 플라즈몬 공명(SPR) 센서는 광학적인 방법을 이용한 생물학적 분석이 가능한 센서로서 널리 사용되고 있다.
표면 플라즈몬 공명의 원리는 금속박막 표면에서 일어나는 전자들의 집단적인 진동(Charge Density Oscillation)을 양자화(Quantization)한 것으로써, 금속과 이에 인접한 유전물질의 경계면을 따라 진행하는 표면전자기파로 알려져 있다.
표면 플라즈몬을 여기(Excitation)시키는 방법으로는 여러 가지가 알려져 있으나, 광학적인 방법으로 표면 플라즈몬을 발생시키기 위해서는 도 1과 같이 전반사가 일어날 수 있도록 서로 다른 굴절률을 갖는 두개의 매질의 경계면에 금속박막을 적층한 이른바 크레취만(E.Kretschmann, Z. Phys. 241,313,1971.)구조를 구성하면 된다.
이러한 크렛츄만 형태의 센서는 기본적으로 프리즘(102)과 프리즘(102)의 어느 한 면 상에 형성된 금속 박막(100), 광원(103), 수광부(104)를 포함하여 구성된다.
상기 광원(103), 수광부(104) 및 프리즘(102)의 구성은 당해 기술분야에서 통상적으로 알려져 있는 방법이라면 특별히 제한되지 않고 채택될 수 있다.
여기서, 본 발명은 단층 또는 다층의 유전체(101)를 금속박막(100) 위 또는 아래에 적층함으로써 SPR에 의해 측정되는 투과깊이를 조절할 수 있다.
상기 투과깊이는 상기 유전체(101)의 굴절률과 두께를 변화시킴으로써 조절될 수 있다.
도 1은 금속 박막(100) 위에 단층 혹은 다층의 유전체(101)가 적층된 경우이고, 도 2는 금속박막(100) 아래에 단층 혹은 다층의 유전체(101)가 적층된 경우이다.
이와 같은 두가지 경우로 유전체(101)의 굴절률과 두께를 변화시키면 투과 깊이를 조절할 수 있다.
도 3은 금속 박막 아래에 단층박막의 유전체가 적층된 경우에 실험한 결과를 나타내는 그래프이다.
도 3에서 볼 수 있듯이 유전체(101)의 굴절률을 변화시키거나 두께를 변화시킴에 따라서 유전체(101)의 각 층에서의 투과깊이가 달라지는 것을 확인할 수 있다.
또한, 도 3에서 BK7/air 및 SF10/water는 기판(substrate)과 환경(environment)의 매질의 종류와 조합을 나타내며, 이에 따라 투과깊이를 조절할 수 있다는 것을 나타낸다.
이와 같이 각각의 다른 굴절률 및 두께를 갖는 유전체(101)(칩)를 사용하면, 측정할 수 있는 투과깊이가 각 층마다 다르기 때문에 SPR에서 측정되는 범위를 제어할 수 있고, 이것으로 샘플에 대한 각 단층의 정보를 얻을 수 있다.
따라서, 기존의 SPR 측정방법과 비교해 볼 때, 시료의 단층별 측정을 통해 SPR 측정장치의 장점인 시료를 보다 정확하게 측정 및 분석이 가능할 뿐만 아니라 시료의 여러 층에 대한 분석이 가능하므로 정밀한 분석 및 측정을 요하는 분야에 적용할 수 있고, 시료의 단층 측정 및 다기능 분석이 가능한 고감도 SPR 측정장치를 구현함으로써, 시료의 고정밀 측정 및 분석이 가능하다.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되지 않으며, 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 실시할 수 있는 다양한 형태의 실시예들을 모두 포함한다.
이상에서 본 바와 같이, 본 발명에 따른 고감도 표면 플라즈몬 공명 측정장치에 의하면, 각각의 다른 굴절률 및 두께를 갖는 유전체를 사용하여, 측정할 수 있는 투과깊이가 다르게 함으로써 SPR에서 측정되는 범위를 제어할 수 있고, 이것으로 샘플에 대한 단층의 정보를 얻을 수 있다.
또한, 기존의 SPR 측정방법과 비교해 볼 때, 시료의 단층별 측정을 통해 시료를 보다 정확하게 측정 및 분석이 가능할 뿐만 아니라 시료의 여러 층에 대한 분석이 가능하므로 정밀한 분석 및 측정을 요하는 분야에 적용할 수 있고, 시료의 단층 측정 및 다기능 분석이 가능한 고감도 SPR 측정장치를 구현함으로써, 시료의 고정밀 측정 및 분석이 가능하다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 금속박막 위에 단층 또는 다층의 유전체를 적층한 표면 플라즈몬 공명의 구조를 나타내는 개략도이고,
도 2는 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 금속박막 아래에 단층 또는 다층의 유전체를 적층한 표면 플라즈몬 공명의 구조를 나타내는 개략도이고,
도 3은 도 2의 경우 단층박막의 두께 및 굴절률에 대한 투과깊이를 실험한 결과를 나타내는 그래프이고,
도 4는 종래의 표면 플라즈몬 공명 센서(SPR sensor)의 일례를 설명하기 위한 개략도이고,
도 5는 도 4의 표면 플라즈몬 공명 센서의 원리를 이용한 면역 센서의 일례를 설명하기 위한 개략도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 금속박막 101 : 유전체
102 : 프리즘 103 : 광원
104 : 수광부

Claims (4)

  1. 고감도 표면 플라즈몬 공명 측정장치에 있어서,
    프리즘과;
    상기 프리즘에 입사광을 제공하는 광원과;
    상기 입사광에 대한 반사광을 검출하는 수광부와;
    상기 광원으로부터 제공받아 표면 플라즈몬 공명현상을 유도하는 금속박막과;
    상기 금속박막 아래에 적층된 다층 유전체 박막;
    을 포함하여 구성되고, 상기 유전체 박막의 유전률을 변화시켜 표면 플라즈몬 공명이 측정되는 투과깊이를 조절하는 것을 특징으로 하는 고감도 표면 플라즈몬 공명 측정장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 유전체 박막의 두께를 변화시켜 표면 플라즈몬 공명이 측정되는 투과깊이를 조절하는 것을 특징으로 하는 고감도 표면 플라즈몬 공명 측정장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 다층의 유전체 박막은 금속박막 위에 적층된 것을 특징으로 하는 고감도 표면 플라즈몬 공명 측정장치.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유전체 박막은 단층인 것을 특징으로 하는 고감도 표면 플라즈몬 공명 측정장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107504912A (zh) * 2017-09-22 2017-12-22 京东方科技集团股份有限公司 厚度测试方法及装置
CN107504912B (zh) * 2017-09-22 2020-04-17 京东方科技集团股份有限公司 厚度测试方法及装置
US10655947B2 (en) 2017-09-22 2020-05-19 Boe Technology Group Co., Ltd. Thickness measuring method and device

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