KR20080074025A - 복수의 재료를 이용한 나선형 코일 구조를 가진 자기 기록헤드 - Google Patents

복수의 재료를 이용한 나선형 코일 구조를 가진 자기 기록헤드 Download PDF

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KR20080074025A
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에드워드 힌 퐁 리
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Abstract

본 발명은 제조 복잡성을 감소시키고 제조를 위한 사이클 시간을 증가시키는 나선형 코일 설계를 갖는 수직 자기 기록용 자기 기록 헤드에 관한 것이다. 이 자기 기록 헤드는 기록 폴과, 이 기록 폴 위를 통과하는 상부 코일부들과 이 기록 폴 아래를 통과하는 하부 코일부들을 가지는 나선형 기록 코일을 포함한다. 상부 코일부와 하부 코일부는 접속 스터드들에 의해 다른 부재와 접속된다. 상부 코일부와 하부 코일부는 Cu와 같은 비자기성의 전기 전도성 재료로 구성되며, 접속 스터드들은 NiFe와 같은 자기성의 전기 전도성 재료로 구성된다. 접속 스터드들을 자기 재료로 구성함으로써, 이 접속 스터드들은, 자기 형성층 및/또는 백 갭(back gap)과 같은, 자기 기록 헤드의 여러 가지 자기 구조들을 제조하는데 사용되는 동일한 제조 단계들에서 구성될 수 있다. 이는 다른 방법으로 비자기성의 접속 스터드들을 가지는 나선형 코일을 제조하는데 요구되는 많은 부가적인 제조 단계들을 제거함으로써 기록 헤드의 제조를 크게 간이화시킬 수 있다.
Figure P1020080004963
자기 기록 헤드

Description

복수의 재료를 이용한 나선형 코일 구조를 가진 자기 기록 헤드{MAGNETIC WRITE HEAD WITH HELICAL COIL STRUCTURE USING MULTIPLE MATERIALS}
본 발명은 수직 자기 리코딩에 관한 것으로, 보다 상세하게는 복수의 재료를 이용하여 제조 능력을 향상시키는 나선형 코일 설계를 갖는 기록 헤드를 제조하는 방법에 관한 것이다.
컴퓨터의 장기간 기억의 핵심은 자기 디스크 드라이브로서 지칭되는 어셈블리이다. 이 자기 디스크 드라이브는, 회전 자기 디스크, 이 회전 자기 디스크의 면에 인접한 서스펜션 암에 의해 매달려 있는 기록 및 판독 헤드, 및 이 서스펜션 암을 스윙(swing)하여 이 회전 자기 디스크 상의 선택된 원형 트랙들 위에 상기 기록 및 판독 헤드를 배치하는 작동기를 포함한다. 이 판독 및 기록 헤드는, 에어 베어링 면(ABS: air bearing surface)을 가지는 슬라이더 상에 직접 위치된다. 서스펜션 암은 슬라이더를 상기 회전 자기 디스크 면을 향하여 편향시키고, 상기 회전 자기 디스크가 회전하는 경우에는, 상기 회전 자기 디스크에 인접한 에어가 상기 회전 자기 디스크 면을 따라 이동한다. 슬라이더는 이러한 이동중인 에어를 쿠션으로 하여 상기 회전 자기 디스크 면 위를 비행한다. 슬라이더가 상기 에어 베 어링 면을 타는 경우에, 상기 기록 및 판독 헤드는 상기 회전 자기 디스크에 자기 천이를 기록하고 상기 회전 자기 디스크로부터 자기 천이를 판독하는데 사용된다. 이 판독 및 기록 헤드는 기록 및 판독 기능을 실행하기 위하여 컴퓨터 프로그램에 따라 동작하는 프로세싱 회로에 접속된다.
이 기록 헤드는 통상적으로 제 1, 제 2 및 제 3 절연층(절연 스택)에 삽입되는 코일층을 포함하고 있고, 상기 절연 스택은 제 1 및 제 2 폴 부재층 사이에 개재된다. 상기 기록 헤드의 에어 베어링 면(ABS)에서 갭층에 의해 제 1 및 제 2 폴 부재층 사이에 갭이 형성되며, 상기 제 1 및 제 2 폴 부재층은 백 갭에서 접속된다. 상기 코일층에 전도되는 전류는, 전술한 회전 자기 디스크 상의 원형 트랙들과와 같은, 회전 매체 상의 트랙들에 전술한 자기 천이들을 기록하기 위하여 상기 제 1 및 제 2 폴 부재층에 ABS의 기록 갭에서 자계를 프린지 아웃(fringe out)시키는 자속(magnetic flux)을 유도한다.
최근 판독 헤드 설계에 있어서, 거대 자기저항(GMR: giant magnetoresistive) 센서로도 지칭되는 스핀 밸브 센서가 회전 자기 디스크로부터 자계를 감지하기 위하여 사용되고 있다. 이 센서는, 고정층(pinned layer) 및 자유층으로 지칭되는 제 1 및 제 2 강자성층 사이에 개재되는 스페이서층으로 지칭되는 비자기성의 전도층을 포함한다. 제 1 및 제 2 리드는 센스 전류를 전도하는 스핀 밸브 센서에 접속된다. 상기 고정층의 자화는 에어 베어링 면(ABS)에 수직으로 고정되며, 상기 자유층의 자기 모멘트는 ABS에 평행하게 위치되지만 외부 자계에 응답하여 자유롭게 회전될 수 있다. 고정층의 자화는 일반적으로 반강자성층과의 교환 결합에 의해 고정된다.
상기 스페이서층의 두께는, 상기 거대 자기저항 센서를 통한 전도 전자들의 평균 자유 경로보다 작게 되도록 선택된다. 이러한 배치에 대하여, 상기 전도 전자들의 일부분은 상기 스페이서층과 고정층 및 자유층 각각과의 인터페이스들에 의해 산란된다. 상기 고정층의 자화와 자유층의 자화가 서로에 대하여 평행한 경우에는, 산란이 최소화되고, 상기 고정층의 자화와 자유층의 자화가 평행하지 않은 경우에는, 산란이 최대화된다. 산란시의 변화는 cosθ에 비례하여 스핀 밸브 센서의 저항을 변경하며, 여기서 θ 는 고정층의 자화와 자유층의 자화 사이의 각도이다. 판독 모드에서, 스핀 밸브 센서의 저항은 회전 자기 디스크로부터의 자계의 크기에 비례하여 변한다. 센스 전류가 스핀 밸브 센서를 통하여 전도되는 경우에, 저항 변화는 재생 신호들로서 검출 및 처리되는 전위 변화를 야기한다.
개선된 데이터 속도 및 데이터 용량에 대하여 끊임없이 증가하는 요구를 충족시키기 위하여, 연구자(researcher)들은 최근에 수직 리코딩 시스템들의 개발에 이들의 노력을 집중하고 있다. 상술된 기록 헤드를 통합하는 것과 같은 종래의 종방향(longitudinal) 리코딩 시스템은, 자기 디스크 면의 평면에 데이터를 트랙에 따라 종방향으로 향하는 자기 비트들로서 저장한다. 이 종방향 데이터 비트는, 기록 갭에 의해 분리되는 한 쌍의 자극(magnetic pole) 사이에 형성되는 프린징 필드(fringing field)에 의해 리코딩된다.
이와 반대로, 수직 리코딩 시스템은 상기 자기 디스크의 평면에 수직으로 향하는 자화로서 데이터를 리코딩한다. 상기 자기 디스크는 자기적으로 강고한 얇 은 상층에 의해 피복되는 자기적으로 연질의 하층을 갖는다. 수직 기록 헤드는 매우 작은 단면을 가지는 기록 폴 및 매우 큰 단면을 가지는 리턴 폴을 구비한다. 강하고 크게 밀집된 자계는 상기 기록 폴로부터 상기 자기 디스크 면에 수직인 방향으로 방출되며, 상기 자기적으로 강고한 상층을 자화시킨다. 그 후, 형성된 자속은, 상기 연질의 하층을 통하여 이동하고 리턴 폴로 리턴하며, 여기서 상기 자속은 충분히 퍼져 약하게 되어서 상기 자속이 리턴 폴로 돌아가는 도중에 상기 자기적으로 강고한 상층을 다시 통과할 때 상기 기록 폴에 의해 리코딩된 신호를 삭제하지 않는다.
이러한 자기 헤드의 기록 필드를 추가적으로 증가시키기 위하여, 상기 자기 헤드는 (보다 공통적인 팬케익 코일에 반대되는 것으로서) 나선형 기록 코일로 구성될 수 있다. 이러한 나선형 코일은 상기 기록 폴 위 및 아래를 통과하는 권선(turns)들을 가지도록 구성될 수 있다. 그러나, 이러한 나선형 코일들은, 이들이 증착된 층들의 평면에 수직인 디멘전(dimension)에서 형성되기 때문에 구성하기가 어렵다. 즉, 기록 헤드를 구성하는 증착된 층의 평면이 수평면으로 간주되면, 기록 코일은 수평 뿐만 아니라 수직인 디멘전에서 구성된다.
이러한 고유의 제조 어려움에 의해 부가적으로 제조 복잡성 및 비용이 커진다. 따라서, 이러한 기록 헤드를 실용적으로 그리고 비용 효율적으로 제조할 수 있도록 제조 복잡성을 최소화하면서 나선형 기록 코일을 이용할 수 있는 기록 헤드 구조가 요청된다.
본 발명은 제조 복잡성이 최소화되고 제조 단계들이 최소화된 상태로 효과적으로 제조될 수 있는 나선형 기록 코일을 갖는 기록 헤드 구조를 제공한다. 이 기록 헤드는, 기록 폴, 및 이 기록 폴 위를 통과하는 상부 코일부들과 이 기록 폴 아래를 통과하는 하부 코일부들을 가지는 나선형 기록 코일을 포함한다. 이 상부 코일부 및 하부 코일부는 접속 스터드들에 의해 다른 부재에 전기적으로 접속된다. 상부 코일부 및 하부 코일부는, Cu 와 같은 비자기성의 전기 전도성 재료로 구성되 는 반면에, 상기 접속 스터드들은 NiFe와 같은 자기성의 전기 전도성 재료로 구성된다.
상기 접속 스터드들을 자기 재료로 구성함으로써, 이 접속 스터드들은, 자기 형성층 및/또는 백 갭과 같은, 상기 기록 헤드의 여러가지 자기 구조들을 제조하는데 사용되는 동일한 제조 단계들에서 유리하게 구성될 수 있다. 이는 다른 방법으로 비자기성의 접속 스터드들을 가지는 나선형 코일을 제조하는데 요구되는 많은 부가적인 제조 단계들을 제거함으로써 기록 헤드의 제조를 크게 간이화시킨다.
본 발명의 이들 및 다른 특징 및 이점은 도면들과 함께 취해진 바람직한 실시형태들의 이하의 상세한 설명을 읽을 때에 명백하게 되며, 도면 중에서 동일한 참조 부호들은 도면 전반에 걸쳐서 동일한 구성요소들을 나타낸다.
본 발명은 기록 헤드를 실용적으로 그리고 비용 효율적으로 제조할 수 있도록 제조 복잡성을 최소화하면서 나선형 기록 코일을 이용할 수 있는 기록 헤드 구조를 제공할 수 있다.
이하의 설명은 본 발명을 수행하기 위하여 현재 고려된 최적의 실시형태들에 관한 것이다. 이러한 설명은 본 발명의 일반적인 원리들을 예시하기 위하여 행해지며, 여기서 청구되는 발명의 개념들을 제한하려는 것은 아니다.
이제 도 1을 참조하면, 본 발명을 구현하는 디스크 드라이브(100)가 도시되어 있다. 도 1 에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 회전가능한 자기 디스크(112) 는 스핀들(114)에 의해 지지되고 디스크 구동 모터(118)에 의해 회전된다. 각 디스크 상의 자기 리코딩은 자기 디스크(112) 상의 동심(concentric) 데이터 트랙들(미도시)의 고리 모양 패턴들의 형태로 행해진다.
적어도 하나의 슬라이더(113)는 자기 디스크(112) 부근에 위치 결정되고, 각 슬라이더(113)는 하나 이상의 자기 헤드 어셈블리(121)들을 지지한다. 자기 디스크가 회전할 때, 슬라이더(113)는 자기 헤드 어셈블리(121)가 원하는 데이터가 기록되는 자기 디스크의 서로 다른 트랙들에 액세스할 수 있도록 디스크 면(122) 위에서 방사상으로 안팎으로 이동한다. 각 슬라이더(113)는 서스펜션(115)에 의해 작동기 암(119)에 부착된다. 서스펜션(115)은 디스크 면(122)에 대하여 슬라이더(113)를 편향시키는 약한 스프링력을 제공한다. 각각의 작동기 암(119)은 작동기 수단(127)에 부착된다. 도 1 에 도시된 바와 같은 작동기 수단(127)은 보이스 코일 모터(VCM: voice coil motor)일 수 있다. VCM 은 고정 자계 내에서 이동할 수 있는 코일을 구비하며, 상기 코일 이동의 방향 및 속도는 제어기(129)에 의해 공급되는 모터 전류 신호들에 의해 제어된다.
디스크 저장 시스템의 동작 동안에, 상기 자기 디스크(112)의 회전은 슬라이더(113)와 디스크 면(122) 사이에 이 슬라이더 상에 상승력 또는 양력(揚力)을 가하는 에어 베어링(air bearing)을 발생시킨다. 따라서, 이 에어 베어링은 서스펜션(115)의 약한 스프링력을 균형 잡히게 하며, 정상 동작 동안에 작은 실질적으로 일정한 간격(spacing)만큼 디스크 면에서 떨어져서 그리고 이 디스크 면 약간 위에서 슬라이더(113)를 지지한다.
디스크 저장 시스템의 여러 가지 구성요소들은, 동작시에 액세스 제어 신호들 및 내부 클록 신호들과 같은, 제어 유닛(129)에 의해 생성된 제어 신호들에 의해 제어된다. 통상적으로, 제어 유닛(129)은 논리 제어 회로들, 저장 수단 및 마이크로프로세서를 포함한다. 제어 유닛(129)은 라인(123) 상의 구동 모터 제어 신호들 및 라인(128) 상의 헤드 위치 및 탐색 제어 신호들과 같은 여러가지 시스템 동작들을 제어하는 제어 신호들을 생성한다. 상기 라인(128) 상의 제어 신호들은 디스크(112) 상의 원하는 데이터 트랙에 슬라이더(113)를 최적으로 이동시켜 위치 결정하기 위하여 원하는 전류 프로파일들을 제공한다. 기록 및 판독 신호들은 리코딩 채널(125)에 의해 기록 및 판독 헤드(121)들로 그리고 기록 및 판독 헤드(121)들로부터 통신된다.
도 2 를 참조하여, 슬라이더(113)의 자기 헤드(121)의 방위를 더욱 상세히 도시할 수 있다. 도 2 는, 슬라이더(113)의 ABS를 도시하며, 도시된 바와 같이 유도성(inductive) 기록 헤드 및 판독 센서를 포함하는 자기 헤드는 슬라이더의 후방(trailing) 에지에 위치된다. 통상의 자기 디스크 저장 시스템의 상술한 설명 및 도 1 의 첨부된 실례는 단지 도시를 목적으로 한다. 디스크 저장 시스템들은 복수의 디스크 및 작동기를 포함할 수 있으며, 각각의 작동기는 복수의 슬라이더를 지원할 수 있음이 명백하다.
이제 도 3 을 참조하면, 본 발명은 자기 헤드(302)에서 구현될 수 있다. 기록 헤드(302)는 자기 기록 폴(304) 및 제 1 또는 하부(bottom) 자기 리턴 폴(306)을 포함한다. 상기 자기 기록 폴(304)은 자기 형성(shaping)층(308) 상에 구성될 수 있다. 하부(bottom) 자기 리턴 폴(306)은, 제 1 자기 백(back) 갭 구조(310)에 의해 상기 자기 형성층(308) 및 상기 자기 기록 폴(304)과 자기적으로 접속된다. 상기 자기 기록 폴(304) 및 제 1 자기 리턴 폴(306)은 에어 베어링 면(ABS: air bearing surface)으로 연장한다. 자기 지지대(pedestal)(312)는 ABS 에서 제 1 자기 리턴 폴(306)의 후방 에지로부터 연장될 수 있다. 이 지지대는 표유 필드(stray field)들이 자기 매체(미도시)에 우연히 도달하게 되는 것을 방지하는데 유용하게 될 수 있다. 제 1 자기 리턴 폴(306), 제 1 자기 백 갭(310), 자기 형성 층(308) 및 자기 지지대(312)는 NiFe 또는 CoFe와 같은 재료로 구성될 수 있다. 상기 자기 기록 폴(304)은 CoFe와 같은 고 모멘트 자기 재료로 구성될 수 있으며, 비자기 재료로 이루어진 얇은 층들에 의해 분리되는 CoFe 층들을 구비하는 적층 구조인 것이 바람직하다.
도 3 을 다시 참조하면, 기록 헤드(302)는 도 3 에서 단면으로 도시되는 제 1 및 제 2 코일부(314, 316)를 포함하며, 이 코일부는 Cu와 같은 전기 전도성 재료로 구성될 수 있다. 제 1 및 제 2 코일부(314, 316)는 공통 나선형 코일(317)의 상부 부분 및 하부 부분이다. 제 1 즉, 하부 코일부(314)는 알루미나와 같은 비자기성의 전기 절연 재료층(313) 위에 놓여 있으며, 코일들의 권선에 그리고 그 권선 주변에 강하게 베이킹된 포토레지스트 층(315)을 포함할 수 있는 절연층(318)에 삽입되며, 또한 코일 위 및 코일 앞에서 알루미나 충전(fill)층(319)을 포함할 수 있다. 제 2 즉, 상부 코일부(316)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 강하게 베이킹된 포토레지스트 또는 일부 다른 재료일 수 있는 상부 코일 절연체(320)에 삽입된다. 기록 헤드(302)는, 상기 자기 형성층(308)과 ABS 사이에 알루미나(Al2O3) 충전층(322)과 같은 다른 비자기성의 전기적으로 절연되는 충전층들, 및 상기 자기 기록 폴(304)과 상기 자기 형성층(308) 위의, 알루미나와 같은 평탄화된 충전층(324)을 포함할 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 기록 헤드(302)는, 후방 자기 실드(326)를 포함할 수 있으며, 상기 후방 자기 실드(326)는, 후방 갭(328)에 의해 기록 폴(304)의 후방 에지로부터 분리될 수 있다. 상기 후방 자기 실드(326)는 NiFe 또는 CoFe와 같은 자기 재료로 구성될 수 있으며, 상기 후방 갭은 알루미나(Al2O3), Rh 등과 같은 비자기 재료로 구성될 수 있다. 상기 후방 자기 실드는 비자기성의 측 갭층(402, 404)들에 의해 상기 기록 폴(304)로부터 분리되는 측면 실드 부분들을 갖는 상기 자기 기록 폴(304) 주변을 감싸도록 형성될 수 있다. 다른 방법으로, 상기 후방 자기 실드는 상기 자기 기록 폴(304) 주변을 감싸는 이러한 측면 실드 부분들을 갖지 않는 순수한(pure) 후방 실드로서 구성될 수 있다.
상기 기록 헤드(302)의 ABS 의 도면인, 도 4 에 도시된 바와 같이, 상기 자기 기록 폴(304)은 테이퍼화된 형상 또는 사다리꼴 형상으로 구성될 수 있으며, 상기 자기 기록 폴(304)은, 상기 디스크의 내부 또는 외부 부분들에 기록하는 경우에 헤드 비대칭(skew)의 결과로서 상기 기록 헤드(302)가 인접한 트랙들에 우연히 기록하는 것을 유리하게 방지할 수 있다.
도 3 을 다시 참조하면, 제 2 즉, 상부 리턴 폴(330)이 또한 제공될 수 있으 며, 후방 자기 실드(326)와 접촉하도록 구성될 수 있고, 도 3 에 도시된 바와 같이, 제 2 리턴 폴(330)은 상기 후방 자기 실드(326)와 제 2 백(back) 갭 부분(332)을 자기적으로 접속할 수 있다. 따라서, 도시된 바와 같이, 상기 후방 자기 실드(326), 상기 자기 기록 폴(304) 및 제 1 자기 리턴 폴(306)은 ABS 로부터 제거된 영역에서 서로 자기적으로 모두 접속될 수 있다. 예를 들어 알루미나의 보호층(334)은, 부식 또는 다른 손상으로부터 상기 기록 헤드(302)의 엘리먼트들을 보호하기 위하여 상부 리턴 폴(330)의 상부 위에 제공될 수 있다. 제 1 리턴 폴(306), 제 1 백 갭층(310), 형상층(308), 기록폴(304), 제 2 백 갭(332), 제 2 리턴 폴(330), 지지대(312) 및 후방 자기 실드(326)의 여러가지 자기 구조들은 함께 자기 요크 구조(335)를 형성한다.
상술한 바와 같이, 상부 및 하부 코일부(314, 316)는 공통 나선형 기록 코일(317)의 일부분이다. 도 6 을 참조하면, 상기 공통 나선형 기록 코일(317)의 하부 코일부(314)들은 평면도로 도시될 수 있다. 도 3 을 참조하여 상술된 바와 같이, 상기 하부 코일부(314)들은 상기 자기 형성층(308), 상기 자기 기록 폴(304) 및 상기 상부 리턴 폴(330) 아래를 통과한다. 따라서, 도 5 에 도시된 바와 같이, 상기 하부 코일부(314)들은 이러한 자기 구조들 아래를 통과하며, 상기 하부 코일 부(314)들은, 이 평면도에서 이러한 구조들 뒤에 숨겨지도록 나타내기 위하여 일점 쇄선으로 도시된다. 상기 공통 나선형 기록 코일(317)의 하부 코일부(314)들이 이러한 여러가지 구조(308, 304, 330)들 아래를 통과하더라도, 다른 구조들이 상부 리턴 폴(330) 아래에 숨겨지기 때문에, 상부 리턴 폴(330)만이 도 5 에 도시된다. 도시된 바와 같이, 상기 하부 코일부(314)들은 상기 기록 헤드(302)의 자기 요크 구조(335)를 넘어서 현저하게 측방향으로 연장된다. 또한, 상부 코일부(316)들은 상기 자기 요크 구조(335)를 넘어서 현저하게 측방향으로 연장되지만, 상부 코일 부(316)들은 명료화를 위하여 도 6 에는 도시되지 않는다.
계속해서 도 5 를 참조하면, 상기 공통 나선형 기록 코일(317)은 또한 상기 하부 코일부(314)들의 단부들과 접속되는 접속 스터드 구조(502)들을 포함한다. 이러한 접속 스터드들은 전기 전도성 재료로 구성되며, 나선형 코일 구조(317)를 완성하기 위하여 상기 하부 코일부(314)들을 상기 상부 코일부(316)들과 전기적으로 접속하도록 기능한다. 상부 코일부(316)들은 도 3 에 도시되지만, 접속 스터드(502)들 및 아래에 있는(underlying) 하부 코일부(314)들을 더욱 명확하게 나타내기 위하여 도 5 에는 도시되지 않는다.
도 6 은 상기 공통 나선형 기록 코일(317)의 주(main) 기록 헤드부(601)와 외부 단부 부분들 사이의 관계를 나타내며, 상기 주 기록 헤드부는 도 3 을 참조하여 상술되는 구조와 유사하다. 상기 공통 나선형 기록 코일(317)의 외부 단부 부분들은 각 구조의 층들 사이의 유리한 관계를 나타내기 위하여 도 6 의 주 기록 헤드부(601)의 단면과 나란히 도시되지만, 이들은 도 6 에 도시된 바와 같이 척도에서 벗어나서 실제로 서로에 대하여 향하고 있고 있지 않음을 이해해야 한다. 주(main) 기록 헤드부(601)에 대한 외부 코일 부분들의 물리적 배치는 도 5 의 평면도를 참조하면 더욱 명확하게 이해될 수 있다.
계속해서 도 6 을 참조하면, 하부 코일부는 아래에 있는(underlying) 절연 층(603) 위에 놓여 있음을 알 수 있다. 상술한 바와 같이, 하부 코일부(314)는 Cu와 같은 비자기성의 전기 전도성 재료로 구성된다. 이와 유사하게, 상부 코일부(316)는 Cu와 같은 비자기성의 전기 전도성 재료로 구성된다. 한편, 접속 스터드 구조(502)는 부분적으로 또는 전체적으로 NiFe와 같은 자기성의 전기 전도성 재료로 구성된다. 상기 접속 스터드 부분이 상기 기록 헤드(302)의 자극(magnetic pole) 부분들로부터 떨어져 위치하기 때문에, 자기 재료의 스터드 부분들을 구성하는 것이 기록 헤드 성능에 악영향을 주지 않는다. 그러나, Cu와 같은 비자기 재료보다는 자기 재료의 상기 접속 스터드부(502)들을 구성하면 이하에 더욱 상세히 기술되는 바와 같이 현저한 제조 이점을 제공한다.
도 6 에 도시된 바와 같이, 상기 접속 스터드부(502)는 상기 기록 헤드의 다른 자기층들에 대응하는 층들로 이루어지며, 이는 상기 층들이 동일한 재료로 그리고 일반적으로 서로 동일한 생성 높이(build elevation)에서 구성되어 있음을 의미한다. 이는 이러한 층들을 상기 기록 헤드의 나머지 부분을 구성하는데 사용되는 것들과 동일한 포토리소그래피 및 증착 단계들에서 형성할 수 있게 한다. 예를 들어, 도 6 에 도시된 바와 같이, 상기 접속 스터드 구조(502)의 층(308b)은 주 기록 헤드부(601)의 상기 형성층(308a)에 대응한다. 이와 유사하게, 상기 접속 스터드 구조(502)의 층(332b)은 주 기록 헤드부(601)의 상부 백(back) 갭 층(332a)에 대응한다. 상기 접속 스터드 구조(502)의 층들과 주 기록 헤드부(601) 사이의 관계는 예시를 위한 것이다. 상기 접속 스터드 구조는 또한 주 기록 헤드부(601)의 다른 자기 구조들에 대응하는 층들을 가질 수 있다. 상기 접속 스터드 구조(502)의 층 들(308a, 308b)은 예를 들어 약 20, 55 또는 78 원자 퍼센트의 Fe를 가지는 합금과 같은 NiFe 합금으로 구성될 수 있다. 즉, Fe 함유량은 변할 수 있으며, 15 내지 25 원자 퍼센트, 50 내지 60 원자 퍼센트 또는 70 내지 85 원자 퍼센트와 같은 임의의 백분율을 가질 수 있다. 그러나, 상기 접속 스터드 구조(502)를 구성하는 재료들은 NiFe 또는 이러한 조성을 갖는 NiFe 합금으로 제한되지는 않는다.
하부 코일부(314)는, 상기 하부 코일부 측면들에서 주 기록 헤드부(601) 내의 하부 코일부(314)들을 절연시키는 강하게 베이킹된 포토레지스트층(315)과 같은 절연층에 의해 둘러싸여질 수 있다. 또 다른 절연층(602, 604)은 상기 접속 스터드 구조를 절연하기 위하여 상기 층들(308b, 332b)의 측면들에 제공될 수 있으며, 이러한 절연층(602, 604)들은 알루미나와 같은 비자기성의 전기 절연재료로 구성될 수 있다. 이와 유사하게, 상부 코일부(316)들을 절연하는데 사용되는 강하게 베이킹된 포토레지스트 절연층(320)은 상부 코일부(316)를 절연 및 보호하는데 사용될 수 있다.
도 6 을 참조하여 상술된 기록 헤드 설계는 기록 헤드에서의 나선형 코일의 제조를 매우 용이하게 한다. 이는 상기 접속 스터드 구조(502)를 주 기록 헤드부(601)의 구조들(예를 들어, 308a, 332a)과 동일한 자기 재료들로 구성시킴으로써, 상기 접속 스터드 구조는 기록 헤드를 제조하는데 사용되는 동일한 단계들에서 구성될 수 있다. 따라서, 상기 접속 스터드 구조(502)는, 상기 접속 스터드 구조(502)가 Cu로 구성되었을 때 요구되는 부가적인 고가의 포토리소그래피, 이온 밀링, 에칭 및/또는 증착 단계들에 대한 요청없이 구성될 수 있다. 만일 상기 접속 스터드 구조(502)가 예를 들어 Cu로 구성되면, 비아(via)는 상기 절연층(602, 604)들에 형성되어야 하고, 별도의 마스킹 및 증착 단계들이 Cu 스터드를 구성하도록 수행되어야 한다. 상술된 것과 같은, 다른 재료들의 코일을 구성하면 수행되어야 하는 제조 공정의 개수를 감소시키고 사이클 시간을 감소시킬 수 있다. 실제로 본 발명은 대략 30 개의 제조 동작들을 제거할 수 있으며, 약 22 시간 만큼 사이클 시간을 감소시킬 수 있다.
여러가지 실시형태들을 기술하였지만, 이들은 단지 일례로서 제공되는 것이지 제한사항이 아님을 이해해야 한다. 본 발명의 범위 내에 포함되는 다른 실시형태들도 당업자들에게 명백하게 될 수 있다. 따라서, 본 발명의 폭 및 범위는 임의의 상술한 예시적인 실시형태들로 제한되어서는 안되며, 이하의 청구범위 및 그 등가물에 의해서만 규정되어야 한다.
바람직한 사용 모드뿐만 아니라 본 발명의 성향 및 이점의 더욱 완전한 이해를 위하여, 규격화되어 있지 않은 첨부 도면들과 함께 읽혀질 이하의 상세한 설명을 참조해야 한다.
도 1 은 본 발명을 구현하는 디스크 구동 시스템의 개략도.
도 2 는 슬라이더 위의 자기 헤드의 위치를 나타내는 도 1 의 라인 2-2로부터 취해지는, 슬라이더의 ABS 의 도면.
도 3 은 도 2 의 라인 3-3으로부터 취해진, 반시계 방향으로 90 도 회전된, 본 발명의 실시형태에 따른 자기 헤드의 단면도.
도 4 는 도 3 의 라인 4-4 로부터 취해진 기록 헤드의 ABS 의 도면.
도 5 는 도 3 의 라인 5-5 로부터 취해진 기록 헤드의 평면도.
도 6 은 코일 접속 구조 및 기입 폴의 측 단면도로서, 구조의 계층들 사이의 관계를 나타내기 위하여 나란히 배치되는 도면.

Claims (20)

  1. 수직 자기 리코딩용 자기 기록 헤드로서,
    전방(leading) 에지, 후방 에지 및 제 1 및 제 2 측 대향 측면들을 가지며, 에어 베어링 면으로 연장되는 자기 기록 폴; 및
    전기 전도성 기록 코일을 포함하며,
    상기 전기 전도성 기록 코일은,
    비자기성의 전기 전도성 재료로 구성되어 상기 자기 기록 폴 아래에 형성되는 하부 코일부로서, 상기 자기 기록 폴로부터 분리되며 상기 자기 기록 폴의 제 1 및 제 2 측 대향 측면들을 넘어서 측방향으로 연장되는 것인, 하부 코일부;
    비자기성의 전기 전도성 재료로 구성되어 상기 자기 기록 폴 위에 형성되는 상부 코일부로서, 상기 자기 기록 폴로부터 분리되며 상기 자기 기록 폴의 제 1 및 제 2 측 대향 측면들을 넘어서 측방향으로 연장되는 것인, 상부 코일부; 및
    상기 자기 기록 폴의 상기 제 1 및 제 2 측면들 중 하나의 측면을 측방향으로 넘은 영역에서 상기 상부 코일부 및 하부 코일부와 접속되는 접속 스터드로서, 자기성의 전기 전도성 재료를 포함하는 것인 접속 스터드
    를 포함하는 수직 자기 리코딩용 자기 기록 헤드.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 접속 스터드는 NiFe를 포함하는 것인 수직 자기 리코딩용 자기 기록 헤드.
  3. 자기 기록 헤드로서,
    자기 재료로 구성되며, 에어 베어링 면으로 연장되는 자기 기록 폴을 포함하는 자기 요크 구조; 및
    나선형 기록 코일을 포함하며,
    상기 나선형 기록 코일은,
    상기 자기 기록 폴 아래를 통과하며, 상기 자기 요크 구조를 넘어서 측방향으로 연장되는 하부 코일부로서, 비자기성의 전기 전도성 재료를 포함하는 것인, 하부 코일부;
    상기 자기 기록 폴 위를 통과하며, 상기 자기 요크 구조를 넘어서 측방향으로 연장되는 상부 코일부로서, 비자기성의 전기 전도성 재료를 포함하는 것인, 상부 코일부; 및
    상기 자기 요크 구조를 측방향으로 넘은 영역에서 상기 하부 코일부 및 상기 상부 코일부와 접속되는 접속 스터드로서, 자기성의 전기 전도성 재료를 포함하는 것인 접속 스터드
    를 포함하는 자기 기록 헤드.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 접속 스터드 및 상기 자기 요크 구조의 적어도 일부분은 동일한 재료로 구성되는 것인 자기 기록 헤드.
  5. 제 3 항에 있어서, 상기 자기 요크 구조의 적어도 일부분 및 상기 접속 스터드의 적어도 일부분은 NiFe를 포함하는 것인 자기 기록 헤드.
  6. 제 3 항에 있어서, 상기 자기 요크 구조는 자기 재료로 구성되는 자기 백 갭 구조를 포함하며, 상기 접속 스터드의 적어도 일부분은 상기 자기 백 갭 구조와 동일한 자기 재료로 구성되는 것인 자기 기록 헤드.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 자기 백 갭 구조의 적어도 일부분과 상기 접속 스터드는 NiFe를 포함하는 것인 자기 기록 헤드.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 자기 백 갭 구조의 적어도 일부분과 상기 접속 스터드의 일부분은 공통 제조 단계들에서 형성되는 것인 자기 기록 헤드.
  9. 제 3 항에 있어서, 상기 자기 요크 구조는, 자기 재료로 구성되어 상기 자기 기록 폴과 자기적으로 접속되는 자기 형성층 구조를 포함하며, 상기 접속 스터드의 적어도 일부분은 상기 자기 형성층 구조와 동일한 자기 재료로 구성되는 것인 자기 기록 헤드.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 자기 형성층 구조 및 상기 접속 스터드의 적어도 일부분은 NiFe를 포함하는 것인 자기 기록 헤드.
  11. 제 9 항에 있어서, 상기 자기 형성층 구조 및 상기 접속 스터드의 적어도 일부분은 공통 제조 단계들에서 구성되는 것인 자기 기록 헤드.
  12. 제 3 항에 있어서, 상기 상부 코일부와 상기 하부 코일부는 Cu 로 구성되며, 상기 접속 스터드의 적어도 일부분은 NiFe를 포함하는 것인 자기 기록 헤드.
  13. 수직 자기 리코딩용 자기 기록 헤드로서,
    자기 재료로 구성되며, 에어 베어링 면에 배치되는 단부 및 상기 에어 베어링 면 반대쪽의 단부를 가지는 제 1 자기 리턴 폴;
    상기 에어 베어링 면 반대쪽의 단부에서 상기 제 1 자기 리턴 폴 위에 형성되어 상기 제 1 자기 리턴 폴과 자기적으로 접속되는 제 1 자기 백 갭 층;
    상기 제 1 자기 백 갭 층 위에 형성되어 상기 제 1 자기 백 갭 층과 자기적으로 접속되는 자기 형성층으로서, 상기 에러 베어링 면을 향하여 연장되되 상기 에어 베어링 면까지는 연장되지 않는 것인, 자기 형성층;
    상기 자기 형성층 위에 형성되어 상기 자기 형성층과 자기적으로 접속되며 상기 에어 베어링 면까지 연장되는 자기 기록 폴;
    상기 에어 베어링 면으로부터 제거된 영역에 상기 자기 형성층 위에 형성되어 상기 자기 형성층과 자기적으로 접속되는 제 2 자기 백 갭 층;
    상기 제 2 자기 백 갭 층 위에 형성되어 상기 제 2 자기 백 갭 층과 자기적 으로 접속되는 제 2 자기 리턴 폴로서, 상기 제 1 자기 리턴 폴, 상기 제 1 자기 백 갭 층, 상기 자기 형성층, 상기 자기 기록 폴, 상기 제 2 자기 백 갭 층 및 상기 제 2 자기 리턴 폴은 함께 자기 요크를 형성하는 것인, 제 2 자기 리턴 폴;
    비자기성의 전기 전도성 재료를 포함하고, 상기 자기 형성층과 상기 제 1 자기 리턴 폴 사이를 통과하며, 상기 자기 요크를 넘어서 측방향으로 연장되는 하부 코일부;
    비자기성의 전기 전도성 재료를 포함하고, 상기 자기 형성층과 상기 제 2 자기 리턴 폴 사이를 통과하며, 상기 자기 요크를 넘어서 측방향으로 연장되는 상부 코일부; 및
    상기 상부 코일부와 상기 하부 코일부 사이에 형성된 자기성의 전기 전도성 재료를 구비하며, 상기 자기 요크 외부의 영역에서 상기 상부 코일부 및 상기 하부 코일부를 서로 전기적으로 접속하는 접속 스터드
    를 구비하며,
    상기 하부 코일부, 상기 상부 코일부 및 상기 접속 스터드는 함께 상기 자기 형성층 주위를 감싸는 나선형 코일을 형성하는 수직 자기 리코딩용 자기 기록 헤드.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 자기 접속 스터드는 NiFe를 포함하는 것인 수직 자기 리코딩용 자기 기록 헤드.
  15. 제 13 항에 있어서, 상기 제 1 자기 백 갭 층, 상기 자기 형성층, 상기 제 2 자기 백 갭 층 및 상기 접속 스터드는 모두 NiFe를 포함하며, 상기 상부 코일부 및 상기 하부 코일부는 Cu를 포함하는 것인 수직 자기 리코딩용 자기 기록 헤드.
  16. 제 13 항에 있어서, 상기 접속 스터드는 상기 자기 형성층에 대응하는 자기층을 포함하며, 상기 자기층 및 상기 자기 형성층은 상기 기록 헤드 내에서 공통 생성 높이(build elevation)로 형성되는 것인 수직 자기 리코딩용 자기 기록 헤드.
  17. 제 13 항에 있어서, 상기 접속 스터드는 상기 제 2 자기 백 갭 층에 대응하는 자기 층을 포함하며, 상기 자기층 및 상기 제 2 자기 백 갭 층은 상기 기록 헤드 내에서 공통 생성 높이로 동일한 재료에 의해 형성되는 것인 수직 자기 리코딩용 자기 기록 헤드.
  18. 제 13 항에 있어서, 상기 접속 스터드는 상기 자기 형성층과 동일한 생성 높이에서 상기 자기 형성층과 동일한 재료에 의해 형성되는 제 1 자기층을 포함하며, 상기 접속 스터드는, 상기 제 2 자기 백 갭 층과 동일한 생성 높이에서 상기 제 2 자기 백 갭 층과 동일한 재료에 의해 형성되는 제 2 자기층을 더 포함하는 것인 수직 자기 리코딩용 자기 기록 헤드.
  19. 제 13 항에 있어서, 상기 상부 코일부 및 상기 하부 코일부는 Cu를 포함하 며, 상기 접속 스터드 및 상기 자기 형성층은 NiFe를 포함하며, 상기 접속 스터드에서의 Fe의 원자 백분율은, 상기 자기 형성층에서의 Fe의 원자 백분율과 동일한 것인 수직 자기 리코딩용 자기 기록 헤드.
  20. 제 13 항에 있어서, 상기 상부 코일부 및 상기 하부 코일부는 Cu를 포함하며, 상기 접속 스터드 및 상기 제 2 자기 백 갭 층은 NiFe를 포함하며, 상기 접속 스터드에서의 Fe의 원자 퍼센티지는 상기 제 2 자기 백 갭 층에서의 Fe의 원자 퍼센티지와 동일한 것인 수직 자기 리코딩용 자기 기록 헤드.
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100785009B1 (ko) * 2006-03-06 2007-12-11 삼성전자주식회사 수직 자기 헤드 및 그 제조 방법
US7791837B2 (en) * 2006-03-31 2010-09-07 Tdk Corporation Thin film device having thin film coil wound on magnetic film
US8116031B2 (en) * 2009-04-06 2012-02-14 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Perpendicular magnetic recording system with helical write coil and auxiliary coil for fast switching of write pole magnetization
US8116032B2 (en) * 2009-04-06 2012-02-14 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Perpendicular magnetic recording system with auxiliary coil and circuitry for fast switching of write pole magnetization
US8351155B2 (en) * 2009-08-17 2013-01-08 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Perpendicular magnetic recording system with spin torque oscillator and control circuitry for fast switching of write pole magnetization
US8446690B2 (en) * 2009-08-17 2013-05-21 HGST Netherlands B.V. Perpendicular magnetic recording write head with spin torque oscillator for fast switching of write pole magnetization
US8179633B2 (en) * 2009-08-28 2012-05-15 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Perpendicular magnetic recording system and write head with transverse auxiliary pole for fast switching of write pole magnetization
US8681590B2 (en) * 2010-11-24 2014-03-25 Seagate Technology Llc Apparatus for increasing data rates in a magnetic head
US8867168B2 (en) 2012-12-07 2014-10-21 Tdk Corporation Magnetic head for perpendicular magnetic recording having a write shield
US8947807B2 (en) 2012-12-20 2015-02-03 Seagate Technology Llc Independently driven write coils
US8619389B1 (en) 2013-02-26 2013-12-31 Tdk Corporation Magnetic head for perpendicular magnetic recording having a write shield
US8817418B1 (en) 2013-08-15 2014-08-26 Tdk Corporation Magnetic head for perpendicular magnetic recording having a write shield
US10366713B1 (en) 2018-03-06 2019-07-30 Headway Technologies, Inc. Designs for multiple perpendicular magnetic recording (PMR) writers and related head gimbal assembly (HGA) process
US10777220B2 (en) 2018-04-30 2020-09-15 Headway Technologies, Inc. Coil routing designs for dual and triple perpendicular magnetic recording (PMR) writers
US10360935B1 (en) 2018-05-22 2019-07-23 Headway Technologies, Inc. Dual write heater for slider surface topography control in double perpendicular magnetic recording (PMR) writers
US10872625B1 (en) * 2019-11-21 2020-12-22 Western Digital Technologies, Inc. Helical coils design and process for dual writer magnetic recording
US10878841B1 (en) 2019-11-25 2020-12-29 Western Digital Technologies, Inc. Dual writer for advanced magnetic recording
US10839831B1 (en) 2019-12-30 2020-11-17 Western Digital Technologies, Inc. Dual writer designs with SOT and STT assisted recording

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5311386A (en) * 1989-06-02 1994-05-10 Digital Equipment Corporation Transducer with improved inductive coupling
US6195232B1 (en) * 1995-08-24 2001-02-27 Torohead, Inc. Low-noise toroidal thin film head with solenoidal coil
FR2745111B1 (fr) * 1996-02-15 1998-03-13 Commissariat Energie Atomique Tete magnetique verticale a bobinage integre et son procede de realisation
JP2000123318A (ja) * 1998-10-15 2000-04-28 Tdk Corp 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法
US6330128B1 (en) * 1999-04-26 2001-12-11 International Business Machines Corporation Magnetic head assembly having open yoke write head with highly defined narrow track width
US6441994B1 (en) * 1999-07-15 2002-08-27 Seagate Technology Llc High frequency response writer with recessed shared pole and vertical coils
US6819527B1 (en) * 2000-03-23 2004-11-16 Hitachi Global Storage Technologies, Inc. Magnetic head with lower coil traces connected to integrally formed vertical interconnects and upper coil traces through plural insulating layer arrangement
US6661605B1 (en) * 2000-07-28 2003-12-09 Seagate Technology Llc Transducing head having a reduced thermal pole tip recession
US6747841B1 (en) * 2000-09-06 2004-06-08 Seagate Technology Llc Optimization of temperature dependent variations in shield and pole recession/protrusion through use of a composite overcoat layer
US6754050B2 (en) * 2002-06-14 2004-06-22 Seagate Technology Llc Shared pole design for reduced thermal pole tip protrusion
US7092208B2 (en) * 2002-07-11 2006-08-15 Seagate Technology Llc Magnetic transducers with reduced thermal pole-tip protrusion/recession
US6851178B2 (en) * 2002-10-24 2005-02-08 Headway Technologies, Inc. Process of manufacturing a magnetic write head
US7092205B1 (en) * 2002-10-29 2006-08-15 Seagate Technology Llc Isolated transducer portions in magnetic heads
JP2004362659A (ja) * 2003-06-04 2004-12-24 Alps Electric Co Ltd 薄膜磁気ヘッド
US7079353B2 (en) * 2003-07-29 2006-07-18 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Magnetic head having a write coil structure with a reduced electrical resistance for reducing thermal protrusion
US6999277B2 (en) * 2003-07-30 2006-02-14 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. Magnetic head having thermally assisted write head with heater element, and protective sacrificial layer
US7120988B2 (en) * 2003-09-26 2006-10-17 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Method for forming a write head having air bearing surface (ABS)
JP2007035082A (ja) * 2005-07-22 2007-02-08 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 垂直記録用磁気ヘッド及びその製造方法

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