KR20080072269A - Probe station - Google Patents

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Abstract

A probe station is provided to accurately select a position of a component to be tested by using a chuck driving stage and a probe driving stage. A chuck(211) is mounted in a box type case(270). A component is placed on the chuck. A chuck driving stage independently drives the chuck in forward/backward and left/right directions. A sample is probed by a probe(231), which is connected to a holder(233). A probe driving stage moves the holder in forward/backward and left/right directions from outside. An optical microscope(315) is installed on an upper surface of the case, such that a contact between the component and the probe is observed. A microscope adjusting stage adjusts a position of the microscope in up/down and left/right directions. Transparent windows(316) are installed on upper and front surfaces of the case. A coupling tube introduces and drains gas into and from the case. A probe connection line delivers an electrical signal from the probe to an analyzer.

Description

프로브 스테이션{Probe station}Probe station

도 1은 본 발명에 따른 프로브 스테이션의 내부구성을 보인 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing the internal configuration of a probe station according to the present invention.

도 2a는 본 발명에 따른 프로브 스테이션의 외부 구조를 보인 것으로, 상부의 구조를 나타낸 평면도이다. Figure 2a shows the outer structure of the probe station according to the present invention, a plan view showing the structure of the upper portion.

도 2b는 본 발명에 따른 프로브 스테이션의 외부 구조를 보인 것으로, 전면의 구조를 나타낸 정면도이다. Figure 2b is a front view showing the external structure of the probe station according to the present invention, the front structure.

도 2c는 본 발명에 따른 프로브 스테이션의 외부 구조를 보인 것으로, 측면의 구조를 나타낸 측면도이다. Figure 2c shows the external structure of the probe station according to the present invention, a side view showing the structure of the side.

도 2d는 본 발명에 따른 프로브 스테이션의 외부 구조를 보인 것으로, 후면의 구조를 나타낸 배면도이다. Figure 2d is a view showing the external structure of the probe station according to the present invention, a rear view showing the structure of the rear surface.

본 발명은 전기전자 소자 부품의 전기적 분석 장비인 프로브 스테이션에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전기전자 소자 부품을 외부 환경과 차단하고 필요로 하는 조건 하에서 분석할 수 있도록 내부 구조물과 외부 구조물 및 이들의 제어장 치들로 구성되는 프로브 스테이션에 관한 것이다.The present invention relates to a probe station that is an electrical analysis equipment for electrical and electronic device components, and more particularly, to block the electrical and electronic device components from the external environment and to analyze them under required conditions. It relates to a probe station consisting of devices.

종래 기술에 따른 프로브 스테이션은 프로브 스테인션 전체가 외부에 노출되어 있는 개방형으로, 소자 부품을 쉽게 스테이지에 올려 놓거나 꺼낼 수 있고 프로브를 소자 부품에 접근시키는 장점을 가지고 있으나 공기 등 외부 환경에 스테이션 전체가 노출되어 있어서 전기전자 소자의 전기적 특성을 외부 환경 요소들, 예를 들어 온도, 수분, 산소, 공기 오염물질 등에 의한 영향없이 정밀하게 측정, 분석하는 것이 불가능하다.The probe station according to the prior art is an open type in which the entire probe station is exposed to the outside. The probe station can be easily placed on or taken out of the device component and has the advantage of accessing the probe to the device component. The exposure makes it impossible to accurately measure and analyze the electrical properties of the electronic device without the influence of external environmental factors such as temperature, moisture, oxygen, air pollutants, and the like.

또한, 척의 이동을 담당하는 스테이지 경우, 상하 좌우 방향으로 제어 가능한 스테이지로 구성되어 있으나 좌우 방향으로 조절될 때에 좌우 방향의 조절 장치가 독립적으로 움직이지 않고 서로 영향을 줌으로써 분석하고자 하는 소자 부품의 정확한 위치 선택과 이에 따른 분석이 용이하지 않다는 단점을 가지고 있다. In addition, the stage that is in charge of the movement of the chuck is composed of a stage that can be controlled in the up, down, left and right directions, but when adjusted in the left and right direction, the correct position of the component parts to be analyzed by affecting each other without moving independently The disadvantage is that selection and subsequent analysis are not easy.

그리고, 소자 부품의 온도를 제어할 수 있는 기능이 없어서 원하는 온도조건에서 전기적 분석이 불가능한다. In addition, since there is no function to control the temperature of the device components, electrical analysis is impossible at the desired temperature conditions.

또한, 스테이지에 놓은 소자 부품의 정밀한 관찰을 위해 광학 현미경이 스테이션에 장착은 되어 있으나 소자와 현미경의 거리가 너무 멀어서 정밀한 관찰이 어렵다는 단점을 가지고 있다.In addition, although the optical microscope is mounted on the station for precise observation of the device components placed on the stage, the distance between the device and the microscope is too long, so it is difficult to precisely observe.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제 중 내부 구성 요소로서는, 전기전자 소자부품을 외부 환경으로부터 차단하고자 금속, 플라스틱, 세라믹 등 쉿트로 만들어진 박스형의 케 이스를 가지며, 내부와 외부가 연결되도록 개폐형의 문과 내부 전자 소자의 관찰을 위한 유리, 수정, 플라스틱 등으로 이루어진 창을 가지는 프로브 스테이션을 제공하는 데 있다. The present invention has been made to solve the above problems, and as an internal component of the technical problem to be achieved by the present invention, a box-shaped cable made of a metal, plastic, ceramic, etc. to block the electrical and electronic device components from the external environment It is to provide a probe station having a case, having an open door and a window made of glass, crystal, plastic, etc. for observing the internal electronic device so that the inside and the outside are connected.

본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제 중 내부 구성 요소로서는, 소자 부품 및 척의 온도를 조절하기 위한 가열판과 온도계를 구비하며, 분석하고자 하는 전자 소자 부품을 진공을 이용하여 고정시키는 척을 가지는 프로브 스테이션을 제공하는데 있다. In another technical object of the present invention, an internal component includes a probe station including a heating plate and a thermometer for adjusting temperature of an element component and a chuck, and a chuck for fixing an electronic element component to be analyzed using a vacuum. To provide.

본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제 중 내부 구성 요소로서는, 척, 가열판 및 온도계를 함께 일체형으로 고정하는 주는 스테이지와 이를 좌우, 전후 방향으로 독립적으로 용이하게 움직이도록 하는 레일 및 이를 고정시키는 구동부를 제공하는 프로브 스테이션을 제공하는 데 있다. In another technical problem to be achieved by the present invention, as an internal component, the stage for fixing the chuck, the heating plate and the thermometer together integrally, and the rail to easily move independently in the left and right, front and rear directions and provides a drive unit for fixing the same To provide a probe station.

본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제 중 내부 구성 요소로서는, 프로브 스테이션의 프로빙 역할을 하는 프로브를 외부에서 용이하게 움직일 수 있도록 프로브 팁과 연결된 프로브 절연체 홀더 및 금속 홀더로 연결된 프로브를 가지는 프로브 스테이션을 제공하는 데 있다. Another technical problem to be achieved by the present invention is to provide a probe station having a probe connected to a probe insulator holder connected to a probe tip and a metal holder to easily move a probe serving as a probing of the probe station from the outside. There is.

본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제 중 내부 구성 요소로서는, 프로브 스테이션 내부를 외부의 진공 펌프, 질소, 아르곤 등과 같은 불활성 기체를 투입할 수 있도록 하는 연결관을 구비하고 있는 프로브 스테이션을 제공하는 데 있다. Another technical problem to be achieved by the present invention is to provide a probe station having a connection pipe for injecting an inert gas such as an external vacuum pump, nitrogen, argon, etc. into the probe station. .

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제 중 외부 구성 요소로서는, 스테이션 내부의 척, 가열판, 온도계 등이 연결된 스테이지의 좌우 및 전후 독립적으로 내부 이동을 구동하게 하는 외부 구동부를 제공하는 프로브 스테이션을 제공하는 데 있다. An external component of the technical problem to be achieved by the present invention is to provide a probe station that provides an external drive unit for driving an internal movement independently of right and left and front and rear of a stage to which a chuck, a heating plate, and a thermometer are connected.

본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제 중 외부 구성 요소로서는, 전기전자 소자와 프로브 팁간의 정밀한 프로빙을 위한 프로브 홀더와 연결된 스테이지 및 전기적 제어와 측정 신호를 분석 장치에 연결하는 프로브 연결선을 구비한 프로브 구동부를 가지는 프로브 스테이션을 제공하는 데 있다.In another aspect of the present invention, an external component includes a probe driver having a stage connected to a probe holder for precise probing between an electronic device and a probe tip, and a probe connection line connecting an electrical control and measurement signal to an analysis device. It is to provide a probe station having a.

본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제 중 외부 구성 요소로서는, 내부의 소자 부품 및 척의 온도를 조절할 수 있는 외부 온도 조절기를 구비한 프로브 스테이션을 제공하는 데 있다. Another technical problem to be achieved by the present invention is to provide a probe station having an external temperature controller capable of adjusting the temperature of an internal component part and a chuck.

본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제 중 외부 구성 요소로서는, 외부의 개폐 가능한 문 및 창을 제공하여 전기전자 소자 부품의 출입과 관찰이 용이하도록 하는 프로브 스테이션을 제공하는 데 있다. Another technical problem of the present invention is to provide an external component, to provide a probe station for providing a door and window that can be opened and closed to facilitate the access and observation of the electrical and electronic device components.

본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제 중 외부 구성 요소로서는, 전기적 소자와 현미경의 작업 거리 확보 및 소자와 프로브 스테이션의 내부를 용이하게 관찰하도록 장착된 이동 가능한 현미경이 구비된 프로브 스테이션을 제공하는 데 있다. Another technical problem to be achieved by the present invention is to provide a probe station having a movable microscope mounted to secure the working distance between the electric element and the microscope and to easily observe the inside of the element and the probe station. .

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 수동으로 작동이 가능한 프로브 스테이션의 구동부 또한 조절부를 외부 컴퓨터 등의 분석장치를 이용하거나 모터를 장착하여 자동 제어 가능하며 컴퓨터 프로그래밍을 통한 입력으로 제어가 되는 프 로브 스테이션을 제공하는 데 있다. The technical problem to be achieved by the present invention, the drive unit of the manually operated probe station and the control unit can be automatically controlled by using an analysis device, such as an external computer or by mounting a motor, the probe station is controlled by input through computer programming To provide.

이에 본 발명에서는 전기적 소자 부품의 검사 장치인 프로브 스테이션에 있어서, 밀폐된 구조를 가지는 박스형 케이스; 상기 케이스 내부에 장착되며 소자 부품이 올려지고 고정되는 척; 상기 척을 전후방향과 좌우방향으로 독립적으로 이동시키는 척 구동 스테이지; 샘플의 프로빙을 위한 프로브; 상기 프로브와 연결된 홀더; 상기 홀더를 외부에서 상하방향과 좌우방향으로 조절하여 이동시키는 프로브 구동 스테이지; 소자 부품과 프로브의 접촉을 관찰하기 위해 상기 케이스의 상면에 설치되는 광학 현미경; 상기 광학 현미경을 상하방향과 좌우방향으로 위치조절하기 위한 현미경 조절 스테이지; 상기 케이스의 내부 구조를 관찰할 수 있도록 상기 케이스 상면과 전면에 설치되는 개폐가 가능한 투명창; 상기 케이스 내부에 기체를 유입 및 유출시키기 위한 연결관; 및 상기 프로브를 통해 전달되는 전기적 신호를 분석 장치에 전달하는 프로브 연결선을 구비하는 프로브 스테이션이 제공된다.Accordingly, the present invention provides a probe station, which is a device for inspecting an electrical component, comprising: a box-shaped case having a sealed structure; A chuck mounted inside the case and having element components mounted thereon and fixed thereto; A chuck driving stage for independently moving the chuck in the front-back direction and the left-right direction; Probes for probing samples; A holder connected to the probe; A probe driving stage configured to move the holder in an up and down direction and a left and right direction from the outside; An optical microscope mounted on the upper surface of the case to observe the contact between the device component and the probe; A microscope adjusting stage for positioning the optical microscope in a vertical direction and a horizontal direction; A transparent window capable of opening and closing the upper and front surfaces of the case so that the internal structure of the case can be observed; A connecting pipe for introducing and discharging gas into the case; And a probe connection line for transmitting the electrical signal transmitted through the probe to the analysis device.

여기서, 상기 척의 내부에는 온도 조절이 가능한 가열판과, 온도를 감지하는 온도계(thermocouple)와, 소자를 안정하게 장착하기 위한 진공 라인이 구비된다. Here, the inside of the chuck is provided with a heating plate capable of temperature control, a thermocouple for sensing the temperature, and a vacuum line for stably mounting the device.

또한, 상기 척 구동 스테이지는 상기 척을 x축 방향으로 이동시키기 위한 x축 스테이지와, 상기 x축 스테이지를 이동시키기 위한 x축 이동 장치와 x축 이동 레일과, 상기 척을 y축 방향으로 이동시키기 위한 y축 스테이지와, 상기 y축 스테이지를 이동시키기 위한 y축 이동 장치와 y축 이동 레일로 구성되며, 상기 척과 상기 척 구동 스테이지 사이에는 단열을 위한 절연물질이 더 설치되는 것을 특징으로 한다.The chuck driving stage may further include an x axis stage for moving the chuck in the x axis direction, an x axis moving device and an x axis moving rail for moving the x axis stage, and the chuck in the y axis direction. It is composed of a y-axis stage, a y-axis moving device and a y-axis moving rail for moving the y-axis stage, characterized in that the insulating material for insulation is further installed between the chuck and the chuck drive stage.

한편, 상기 프로브 구동 스테이지는 상기 홀더와 연결되어 홀더를 좌우방향으로 이동가능케하는 제1 스테이지와, 상기 홀더를 상하방향으로 이동가능케하는 제2 스테이지와, 상기 제2 스테이지를 지지하는 지지판으로 구성되어 외부에서 내부의 고정된 프로브를 움직일 수 있게 된다.On the other hand, the probe driving stage is composed of a first stage connected to the holder to move the holder in the left and right directions, a second stage to move the holder in the vertical direction, and a support plate for supporting the second stage The fixed probe inside can be moved from the outside.

아울러, 상기 홀더가 밀폐된 공간에서 용이하게 움직이도록 상기 케이스의 내부 벽면에 설치되는 홀더 고정부재가 더 구비되는데, 상기 홀더 고정부재는 연질의 플라스틱재로 되며, 그 중에서도 고무나 실리콘으로 되는 것이 바람직하다.In addition, the holder fixing member is further provided on the inner wall of the case so that the holder is easily moved in a closed space, the holder fixing member is made of a soft plastic material, and preferably made of rubber or silicone Do.

본 발명의 프로브 스테이션은 상기 연결관을 통해 상기 케이스 내부를 진공상태로 만들거나 질소, 아르곤, 비활성 기체를 주입하여 질소, 아르곤 분위기로 만들 수 있다.The probe station of the present invention may be made into a nitrogen, argon atmosphere by vacuuming the inside of the case or injecting nitrogen, argon, inert gas through the connecting tube.

또한, 상기 현미경 조절 스테이지는 현미경을 전후방향으로 이동시키기 위한 이동 장치와, 현미경의 위치를 상하방향으로 조절하는 조절장치로 구성된다. In addition, the microscope adjustment stage is composed of a moving device for moving the microscope in the front and rear direction, and an adjusting device for adjusting the position of the microscope in the vertical direction.

한편, 상기 프로브와 상기 홀더 사이에는 절연물질이 더 구비되는데, 상기 절연물질은 아세탈, 아크릴 등의 플라스틱 계열로 이루어지는 것이 바람직하다.Meanwhile, an insulating material is further provided between the probe and the holder, and the insulating material is preferably made of plastics such as acetal and acrylic.

또한, 상기 홀더는 알루미늄, 스테인리스 스틸 등의 금속재로 이루어지고, 상기 케이스는 알루미늄, 스테인리스 스틸 등의 금속재로 이루어지거나 아크릴 등의 플라스틱 재질로 이루어지며, 상기 케이스의 상면과 전면에 설치된 투명창은 수정, 유리, 플라스틱 중 어느 하나로 이루어지고, 척은 황동, 스테인리스 스틸, 금, 니켈 중 어느 하나로 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, the holder is made of a metal material, such as aluminum, stainless steel, the case is made of a metal material, such as aluminum, stainless steel, or made of a plastic material such as acrylic, the transparent window installed on the top and front of the case is modified. , Glass, plastic, any one of the chuck is preferably made of any one of brass, stainless steel, gold, nickel.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 일면은 척과 연결된 스테이지에 관한 것이다. 스테이지는 온도 조절 가능한 척과의 단열을 위하여 세라믹 등의 절연물질을 이용하여 연결하며 신속한 이동을 위하여 레일을 이용하고 상하 좌우 방향이 움직일 때 서로 영향을 주지 않도록 하는 것을 특징으로 한다. Another aspect of the present invention for achieving the above technical problem relates to a stage connected to the chuck. The stage is connected by using an insulating material such as ceramic to insulate the temperature-controlled chuck, and uses a rail for rapid movement and does not affect each other when the vertical direction is moved.

또한 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 일면은 프로빙의 역할을 하는 프로브의 상하 좌우 이동을 용이하도록 하기 위해 긴 홀더의 중심부에 절연체의 홀더를 연결하며, 나머지 홀더는 고정이 되도록 금속의 재질을 가지는 홀더를 도입하며 이를 외부의 상하 좌우 이동가능한 스테이지와 연결되도록 하는 것을 특징으로 한다. 그리고 박스형 프로브 스테이션의 공간 내에서 프로브 홀더가 움직이도록 프로브 스테이션 벽면을 플라스틱, 고무 등의 유연한 부재로 감싸주어 외부와 차단됨과 동시에 홀더가 움직일 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.In addition, another aspect of the present invention for achieving the above technical problem is to connect the holder of the insulator to the center of the long holder to facilitate the vertical movement of the probe serving as a probing, the remaining holder of the metal Introduces a holder having a material and is characterized in that it is connected to the external vertically movable stage. In addition, the probe station wall is wrapped in a flexible member such as plastic or rubber so that the probe holder moves within the space of the box-type probe station, so that the holder can move while being blocked from the outside.

또한 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 일면은 프로브 스테이션 내부를 진공, 질소 및 아르곤 분위기로 만들기 위한 연결관을 제공하며 기체의 출입이 가능한 연결관을 벽면에 제공할 수 있음을 특징으로 한다. In addition, another aspect of the present invention for achieving the above technical problem is to provide a connector for making the inside of the probe station in a vacuum, nitrogen and argon atmosphere, characterized in that the gas can be provided to the connector on the wall surface do.

또한 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 일면은 프로브 스테이션의 척과 연결된 스테이지를 외부 구동부를 이용하여 조절할 수 있으며 외부 구동부는 박스형의 프로브 스테이션에 고정되어 척 스테이지의 좌우 및 전후의 내부 이동을 구동하도록 함을 특징으로 한다. In addition, another aspect of the present invention for achieving the above technical problem is that the stage connected to the chuck of the probe station can be adjusted by using an external drive unit and the external drive is fixed to the box-shaped probe station to the internal movement of the left and right and front and rear of the chuck stage And to drive.

또한 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 일면은 정밀한 프로빙을 위해 프로브 홀더와 연결된 스테이지를 외부에 장착하여 외부에서 내부의 정밀한 프로빙을 도와주며 프로브를 통해 전달되는 전기적 신호를 분석 장치에 전달하는 프로브 연결선을 구비함을 특징으로 한다. In addition, another aspect of the present invention for achieving the above technical problem is to mount the stage connected to the probe holder to the outside for precise probing to help the internal precision probing from the outside and transfer the electrical signal transmitted through the probe to the analysis device It characterized in that it comprises a probe connecting line.

또한 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 일면은 온도 조절 가능한 척의 온도를 조절하는 외부 온도 조절기를 구비함과 동시에 이를 외부의 컴퓨터 혹은 프로그래밍을 통하여 자동 제어가 가능하도록 함을 특징으로 한다. In addition, another aspect of the present invention for achieving the above technical problem is characterized by having an external temperature controller for adjusting the temperature of the temperature adjustable chuck and at the same time enable automatic control through an external computer or programming.

또한 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 일면은 프로브 스테이션의 상판에 광학 현미경을 장착하여 전기적 소자와 현미경 사이의 작업 거리를 줄이고 상하 좌우 이동 가능한 스테이지를 연결함으로써 현미경의 이동만으로 프로브 스테이션 내부 구조 관찰이 가능함을 특징으로 한다. In addition, another aspect of the present invention for achieving the above technical problem is to mount the optical microscope on the upper plate of the probe station to reduce the working distance between the electrical element and the microscope and to connect the stage to move up and down and left and right inside the probe station only by moving the microscope It is possible to observe the structure.

또한 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 일면은 이동 가능한 모든 스테이지 및 온도 조절기 등의 구동부 및 조절부를 외부 컴퓨터 혹은 모터 구동 방식으로 대체하여 컴퓨터 등의 외부 분석 장치를 이용하여 자동으로 제어 할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다. In addition, another aspect of the present invention for achieving the above technical problem is to automatically control by using an external analysis device, such as a computer by replacing all the moving parts and controls such as the temperature controller and the controller with an external computer or a motor drive method. It can be characterized by.

바람직하게는, 상기 척에 연결된 스테이지는 금속, 플라스틱, 세라믹 등의 쉿트로 만들어진 박스 형태를 가지는 프로브 스테이션의 중심에 위치하는 것을 특징으로 한다. Preferably, the stage connected to the chuck is located in the center of the probe station having a box shape made of a metal, plastic, ceramic, etc.

또한 바람직하게는, 내부의 전기 소자의 출입이 가능하도록 개폐형의 문과 내부의 전기 전자 소자, 프로브 및 내부 구조를 효과적으로 관찰하고자 프로브 스테이션의 일정 부분을 유리, 수정 및 플라스틱 등의 재질을 가지는 창으로 대체하여 내부를 보기 쉽도록 하는 것을 특징으로 한다. In addition, preferably, a portion of the probe station is replaced with a window made of glass, quartz, or plastic to effectively observe the opening and closing door and the internal electronic and electronic devices, the probe, and the internal structure so that the internal electric devices can be accessed. It is characterized in that to make the inside easier to see.

또한 바람직하게는 척의 온도 조절이 용이하며 누설 전류가 작도록 척 재질은 황동(brass), 금이 증착된 알루미늄 판 등을 제공하며 척의 온도 조절을 위하여 척 내부에 히팅 바(heating bar)와 온도를 읽을 수 있는 온도계(thermocouple) 을 제공한다. In addition, the chuck material preferably provides brass, a gold-deposited aluminum plate, etc., so that the temperature of the chuck can be easily controlled and the leakage current is small. Provides a readable thermometer.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 도면에 기재된 내용을 참조하여야 한다. DETAILED DESCRIPTION In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the drawings.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

본 발명의 프로브 스테이션은 금속, 플라스틱, 세라믹 등 쉿트로 만든 박스형 케이스가 구비되고, 분석할 소자 부품의 집어 넣고 빼낼 수 있도록 개폐형 문과, 분석 시에 소자의 관찰 및 위치 조절을 용이하게 할 수 있도록 유리, 수정, 플라스틱 등으로 제작한 창을 가지는 것을 특징으로 한다. 이 프로브 스테이션 박스의 내부 구조 구성요소로는 (1) 소자 부품을 올려 놓고 고정해주는 척, (2) 소자 부품 및 척의 온도 조절을 위한 가열판(heating and cooling stage)과 온도계(thermocouple), (3) 척, 가열판 및 온도계를 함께 일체형으로 고정하여 주는 스테이지, (4) 스테이지를 좌우, 전후로 독립적으로 용이하게 움직이는 레일 및 이를 고정하는 구동부, (5) 프로브, (6) 박스 내부를 진공으로 하기 위하여 외부의 진공 펌프와 연결하거나, 질소, 알르곤과 같은 불활성 기체를 투입하는 데 사용하는 연 결관들로 되어 있다. 프로브 스테이션 박스의 외부구조 구성요소로는 (1) 스테이션 내부의 스테이지를 외부에서 좌우 및 전후 독립적으로 움직이는 구동부, (2) 스테이션 내부의 프로브를 외부에서 그 길이와 상하 위치를 조절하는 조절부, (3) 프로브의 전기적 제어, 측정 신호를 분석장치에 전달하는 프로브 연결선, (4) 내부의 소자 부품을 위한 스테이지의 온도를 조절하는 온도조절기, (5) 내부 소자 부품을 관찰하는 광학 현미경과 좌우, 상하 등 위치를 조절하기 위한 조절부로 되어 있다. 상기의 모든 구동부와 위치 조절부는 수동으로 제어하거나 모터와 컴퓨터를 장착하여 자동 제어하며, 온도조절기는 그 자체로 프로그래밍이 가능하여 수동입력으로 또는 컴퓨터와 연결하여 컴퓨터를 통한 입력으로 제어가 되는 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명의 프로브 스테이션은 외부 환경 인자에 의한 영향을 차단하고 원하는 조건 하에서 전기전자 소자 부품의 전기적 특성 분석을 가능하게 할 수 있다.The probe station of the present invention is provided with a box-shaped case made of metal, plastic, ceramics, etc., and has a door to open and close the component parts to be analyzed and a glass to facilitate the observation and position adjustment of the device during analysis. It is characterized by having a window made of crystal, plastic, and the like. The internal structural components of the probe station box include (1) a chuck to hold and secure the device components, (2) a heating and cooling stage and a thermocouple to control the temperature of the device components and chuck, and (3) (4) a rail for easily fixing the chuck, a heating plate and a thermometer together integrally, (4) a rail which moves the stage independently from side to side, and back and forth, and a driving unit for fixing it, (5) a probe, and (6) a vacuum inside the box. It is connected to a vacuum pump or to a connection pipe used to introduce an inert gas such as nitrogen and argon. External components of the probe station box include (1) a drive unit for moving the stage inside the station independently from side to side and front and rear, (2) an adjusting unit for adjusting the length and vertical position of the probe inside the station from the outside; 3) electrical control of the probe, probe connection line for transmitting the measurement signal to the analyzer, (4) temperature controller for adjusting the temperature of the stage for the internal device components, (5) optical microscope and left and right to observe the internal device components, It is a control unit for adjusting the position of the upper and lower. All of the above drive unit and position control unit are manually controlled or automatically controlled by mounting a motor and a computer, and the temperature controller is programmable by itself so that it can be controlled by manual input or through a computer connected to a computer. It is done. Such a probe station of the present invention can block the influence of external environmental factors and enable the electrical characterization of electrical and electronic component parts under desired conditions.

도 1은 본 발명에 따른 전기 전자 소자 부품의 전기적 분석 장비인 프로브 스테이션에 관한 것으로, 외부 환경과 차단된 구조를 가지는 프로브 스테이션 내부의 개략적인 구조를 나타낸 도면이다. 도 1에 표시된 프로브 스테이션은 프로브 스테이션 내부 및 외부의 전체적인 구조로서, 밀폐된 구조를 가지는 박스형 케이스(270)와, 상기 케이스 내부에 장착되며 전기전자 검사를 위해 소자 부품이 올려지고 고정되는 척(211)과, 상기 척을 전후방향과 좌우방향으로 독립적으로 이동시키는 척 구동 스테이지와, 샘플의 프로빙을 위한 프로브(231)와, 상기 프로브와 연결된 홀더(233)와, 상기 홀더를 외부에서 상하방향과 좌우방향으로 조절하여 이동시키는 프로브 구동 스테이지와, 소자 부품과 프로브의 접촉을 관찰하기 위해 상기 케이스의 상면에 설치되는 광학 현미경(315)과, 상기 광학 현미경을 상하방향과 좌우방향으로 위치조절하기 위한 현미경 조절 스테이지와, 상기 케이스의 내부 구조를 관찰할 수 있도록 상기 케이스 상면에 설치되는 개폐가 가능한 투명창(316)을 구비한다.1 is a view illustrating a probe station, which is an electrical analysis device of an electronic component, according to the present invention, and illustrates a schematic structure of a probe station having a structure that is isolated from an external environment. The probe station shown in FIG. 1 is an overall structure inside and outside the probe station, and includes a box-shaped case 270 having a sealed structure, and a chuck 211 mounted inside the case and mounted and fixed with an element component for electrical and electronic inspection. ), A chuck driving stage for independently moving the chuck in the front-back direction and the left-right direction, a probe 231 for probing a sample, a holder 233 connected to the probe, and the holder in an up-down direction A probe driving stage for adjusting and moving in a left and right direction, an optical microscope 315 provided on an upper surface of the case for observing contact between the device component and the probe, and for positioning the optical microscope in a vertical direction and a horizontal direction Opening and closing is provided on the upper surface of the case so that the microscope adjustment stage and the internal structure of the case can be observed It is provided with a transparent window (316).

그리고 척의 온도를 조절하는 외부 온도 조절기가 장착되며, 척 위에 올려지는 내부 소자의 정밀한 측정을 위해 상판에 현미경 및 현미경의 위치조절하기 위한 현미경 조절 스테이지가 설치되어 360도 반경의 모든 소자 부품을 볼 수 있도록 구성되어 있다. It is equipped with an external thermostat that controls the temperature of the chuck and a microscope adjustment stage for positioning the microscope and the microscope on the top plate for precise measurement of the internal device mounted on the chuck so that all the device parts with a 360 degree radius can be seen. It is configured to.

상기 척(211)은 외부 온도 조절기가 연결되어 온도 조절이 가능하며, 전기적 소자를 안정하게 장착하도록 진공 장치가 연결되어 있으며, 이를 위해 온도 조절이 가능한 가열판(212), 온도를 감지하는 온도계(thermocouple)(213) 그리고 진공 라인(214)로 내부 구성이 이루어져있다. The chuck 211 is connected to an external temperature controller to control the temperature, and a vacuum device is connected to stably mount the electrical element. For this purpose, a temperature controllable heating plate 212 and a thermometer for sensing a temperature 213 and the vacuum line 214 is composed of an internal configuration.

상기 척 구동 스테이지와 척 사이에는 절연물질(215)을 이용하여 단열되도록 한다. 이 때 온도를 조절하는 장치는 외부 장치를 이용하도록 하며 내부의 가열판과 온도계(thermocouple)는 긴 도선을 통해 외부로 연결되어 외부의 온도 조절장치와 연결된다. The insulating material 215 may be insulated between the chuck driving stage and the chuck. At this time, the temperature control device uses an external device, and an internal heating plate and a thermometer (thermocouple) are connected to the outside through a long wire to the external temperature control device.

상기 척 구동 스테이지는 x축 스테이지(221), x축 이동 장치(222), x축 이동을 위한 레일(223), y축 이동 스테이지(224), y축 이동 장치(225), y축 이동을 위한 레일(226)으로 구성되어 있다. 즉, 본 발명에 따른 척을 이동시키는 스테이지는 x, y 축 이동 가능한 스테이지로 독립적으로 좌우방향과 전후방향으로 움직임으로 써, 박스형의 프로브 스테이션의 내부스테이지를 외부에서 좌우 및 전후 독립적으로 이동할 수 있도록 한다. The chuck driving stage includes the x-axis stage 221, the x-axis moving device 222, the rail 223 for the x-axis moving, the y-axis moving stage 224, the y-axis moving device 225, and the y-axis moving. It consists of a rail 226 for. That is, the stage for moving the chuck according to the present invention is a stage capable of moving the x and y axes independently by moving in the left and right directions and the front and rear directions, so that the inner stage of the box-type probe station can be moved independently from the outside and left and right from the outside. do.

또한, 전기전자 소자 부품이 척 위로 고정되고 난 후 전기적 검사를 위해 소자 부품 위로 프로브가 접촉 될 경우, 프로브를 미세하게 조정하기 위해서 팁을 고정시켜 움직이도록 하는 스테이지가 필요하다. 본 발명에 따른 미세한 조정이 필요한 프로브 팁(231)을 고정시키기 위해서는 절연물질(232)과 단단하게 고정되는 금속 재질의 홀더(233)로 프로브 스테이션 내부로 구성되어져 있으며, 이를 외부에서 조절하는 장치로 홀더와 연결되어 상하, 좌우 이동가능한 프로브 구동 스테이지(235, 236)가 이를 지지하는 판(237)에 의해 장착되어 외부에서 내부의 고정된 프로브 팁을 움직일 수 있도록 하였다. In addition, when the probe contacts the device component for electrical inspection after the electronic component is fixed on the chuck, a stage is required to move the tip fixed to finely adjust the probe. In order to fix the probe tip 231 which requires fine adjustment according to the present invention, the holder 233 is made of a metal material that is firmly fixed to the insulating material 232, and is configured inside the probe station. Probe drive stages 235 and 236 that are connected to the holder and move up, down, left and right are mounted by a plate 237 supporting them to move the fixed probe tip from the outside.

상기 프로브 구동 스테이지는 상기 홀더와 연결되어 홀더를 상하방향으로 이동가능케하는 제1 스테이지(235)와, 상기 홀더를 좌우방향으로 이동가능케하는 제2 스테이지(236)와, 상기 제2 스테이지를 지지하는 지지판(237)으로 구성되어 외부에서 내부의 고정된 프로브를 움직일 수 있게 된다.The probe driving stage is connected to the holder to support the first stage 235 to move the holder in the vertical direction, the second stage 236 to move the holder in the left and right directions, and to support the second stage. The support plate 237 is configured to move the fixed probe inside from the outside.

그리고 밀폐된 공간에서 프로브 팁이 움직이도록 외부와 내부의 경계면, 즉 케이스의 내부 벽면에 홀더 고정부재(234)가 더 구비되는데, 상기 홀더 고정부재는 유연한 플라스틱재, 예를 들어 고무나 실리콘으로 한다. 따라서 본 발명에 따른 프로빙을 위한 프로브 스테이션의 내부 구성 요소로는 프로브, 프로브 홀더 및 벽면에 제공한 플라스틱의 유연한 홀더 고정부재로 이루어지며, 이를 조절하는 외부 조절부로 홀더와 연결된 좌우 길이와 상하 위치를 조절하는 제1 및 제2 스테이 지(235)(236)가 외부에 제공된다. 또한 프로브를 통해 전달되는 전기적 신호를 분석 장치에 전달하는 프로브 연결선을 구비한 프로브 스테이션을 제공함을 특징으로 한다. In addition, a holder fixing member 234 is further provided at an interface between the outside and the inside, that is, the inner wall of the case so that the probe tip moves in a closed space, and the holder holding member is made of a flexible plastic material, for example, rubber or silicone. . Therefore, the internal components of the probe station for probing according to the present invention include a probe, a probe holder, and a flexible holder fixing member made of plastic provided on a wall, and the left and right lengths and up and down positions connected to the holders are controlled by an external control unit. Adjusting first and second stages 235 and 236 are provided externally. In addition, it characterized in that the probe station having a probe connecting line for transmitting the electrical signal transmitted through the probe to the analysis device.

또한, 종래의 프로브 스테이션이 공기 중에 완전히 노출된 상태에서 척 위에 고정되어 전기적 검사 장치를 이용하며, 온도 조절이 가능한 척을 제공하기 위해 온도 제어장치가 척과 연결되어 있는 비교적 규모가 큰 구조를 가지며 온도 프로그램을 할 수 없는 척을 가지는 프로브 스테이션인데 반해 본 발명에 따른 프로브 스테이션은 척 내부로는 온도를 올릴 수 있는 가열판(212)만 장착하며 이를 긴 도선으로 외부의 온도 조절장치로 연결함으로써 비교적 작은 규모의 밀폐된 프로브 스테이션(100)의 척(211)의 온도를 조절할 수 있게 되며 이를 박스형의 프로브 스테이션 내에 장착할 수 있다. 또한 척과 연결된 가열판, 온도계 및 스테이지를 일체형으로 제작함으로써 온도 조절 가능한 척이 외부의 조절 장치(222, 225)을 통해 독립적으로 x, y축 이동이 가능하게 된다. In addition, the conventional probe station is fixed on the chuck in a fully exposed state in the air to use an electrical test device, and has a relatively large structure in which the temperature control device is connected to the chuck to provide a temperature-controlled chuck. While the probe station has a non-programmable chuck, the probe station according to the present invention is equipped with only a heating plate 212 capable of raising the temperature inside the chuck and is connected to an external temperature controller with a long lead to a relatively small scale. It is possible to adjust the temperature of the chuck 211 of the sealed probe station 100 of the can be mounted in the box-shaped probe station. In addition, by integrally manufacturing the heating plate, the thermometer and the stage connected to the chuck, the temperature-controlled chuck can be independently moved x, y-axis through the external control device (222, 225).

도 2는 본 발명에 따른 프로브 스테이션의 외부 구조를 나타낸 도면이다. 도 2a는 상면의 외부구조를 나타내는 도면이다. 상판의 경우, 내부 구조를 볼 수 있도록 금속 판 대신 수정, 유리 및 플라스틱 재질의 투명 창(316)을 장착하도록 한다. 이 때 창의 재질은 바람직하게는 공기 중이나 외부의 충격에 안정한 강도가 높은 투명 창을 장착하도록 하였다. 또한 이 투명 창은 개폐가 가능한 구조로, 측정하고자 하는 전기전자 부품을 외부에서 내부의 척으로 고정시킬 때 조작이 편리하다는 장점이 있다. 또한 내부의 전기전자 소자 부품과 전기적 신호를 가하는 프로브 및 소자와 프로브 간의 접촉을 자세하게 관찰하기 위해 현미경(315)을 상판에 장착하도록 하였으며, 내부의 전기적 소자 및 내부구조의 전면을 효과적으로 관찰하기 위해 현미경을 움직일 수 있는 현미경 조절 스테이지(311)를 장착하였다. 즉 본 발명에 따른 상판의 현미경의 장착되는 부분의 구성은 현미경을 움직이도록 하는 스테이지(311)와, 이를 전후방향으로 이동하게 하는 이동장치(312), 그리고 현미경(315)에 연결되는 부분(313)으로 구성되고, 현미경의 작업거리를 확보하기 위해 현미경의 위치를 상하방향으로 조절하는 조절장치(313)가 구비되어, 상기 현미경의 상하 위치를 조절하게 된다. 그리고 현미경 자체의 광학 렌즈가 좌우 180도로 움직일 수 있으므로 스테이지의 상하 방면을 조절함으로써 360도 영역의 모든 전기적 소자의 내부 구조 및 프로브 스테이션의 내부구조를 관찰할 수 있도록 하였다. 2 is a view showing the external structure of the probe station according to the present invention. 2A is a view showing the external structure of the upper surface. In the case of the upper plate, a transparent window 316 made of quartz, glass, and plastic material is mounted instead of the metal plate so that the internal structure can be seen. At this time, the material of the window is preferably to be equipped with a high strength transparent window stable in the air or external impact. In addition, this transparent window has a structure that can be opened and closed, there is an advantage that the operation is convenient when fixing the electrical and electronic components to be measured from the outside to the inner chuck. In addition, the microscope 315 is mounted on the top plate to observe the contact between the electronic device components and the internal electrical components and the contact between the device and the probe in detail, and the microscope to effectively observe the entire surface of the internal electrical device and the internal structure. It was equipped with a microscope control stage 311 that can move. That is, the configuration of the mounting portion of the microscope of the upper plate according to the present invention is a stage 311 for moving the microscope, the moving device 312 for moving it in the front and rear direction, and the portion 313 connected to the microscope 315 ) And an adjusting device 313 for adjusting the position of the microscope in the up and down direction to secure the working distance of the microscope, thereby adjusting the up and down position of the microscope. And since the optical lens of the microscope itself can move 180 degrees left and right, by adjusting the upper and lower sides of the stage, the internal structure of all electrical elements and the internal structure of the probe station can be observed.

따라서 현미경이 외부에서 독립적으로 장착되는 기존의 프로브스테이션 보다 본 발명에 따른 프로브 스테이션의 경우, 더 작은 규모의 사용이 간편한 프로브 스테이션을 제작할 수 있다. Therefore, in the case of the probe station according to the present invention than the conventional probe station that the microscope is mounted independently from the outside, it is possible to manufacture a smaller-sized and easier to use probe station.

도 2b는 프로브 스테이션의 앞판의 외부 구조를 나타낸 도면이다. 앞판의 경우 상판의 외부 구조와 마찬가지로 내부를 볼 수 있도록 개폐가 가능한 투명 창(321)과 개폐 가능하도록 조절하는 외부 조절 장치(322)를 장착하도록 하였다. Figure 2b is a view showing the external structure of the front plate of the probe station. In the case of the front plate as well as the external structure of the top plate was to be equipped with a transparent window 321 that can be opened and closed to see the inside and an external control device 322 to adjust the opening and closing.

상기 외부 조절 장치(322)는 예를 들어, 볼트 등의 구조로서, 투명창(321)을 개방할 때는 풀어주어 해제하고, 투명창을 폐쇄할 때는 죄어줌으로써 전면에 투명창을 고정시키는 역할을 한다.The external control device 322 is, for example, a structure such as a bolt, to release the transparent window 321 to open and release, and to close the transparent window to serve to fix the transparent window on the front. .

도 2c는 프로브 스테이션의 측면의 외부 구조를 나타낸 도면이다. 이의 구성 은 프로브를 고정시키는 홀더와 연결된 외부 상하 좌우 이동가능한 스테이지(235, 236)가 장착되어 있으며 소자 부품과 프로브 간의 미세한 접촉을 상하 방향으로 조절하기 위해서 상하 방향의 스테이지(235)에 마이크로미터(micrometer)(238)가 제공되며, 좌우로 움직이도록 하는 스테이지(236)도 마이크로미터(micrometer)(239) 를 제공하도록 한다. Figure 2c is a view showing the external structure of the side of the probe station. Its configuration is equipped with external up, down, left and right movable stages 235 and 236 connected to a holder for fixing the probe, and a micrometer (up and down) in the up and down stage 235 to adjust the minute contact between the device component and the probe in the up and down direction. A micrometer 238 is provided, and the stage 236 for moving left and right also provides a micrometer 239.

도 2d는 프로브 스테이션의 뒤판의 구조를 나타내며, 외부 환경과 차단된 프로브 스테이션의 내부에 고정된 전기전자 소자와 공기와의 접촉을 최소화하고자 질소, 아르곤 및 비활성 기체가 주입되고 나가는 연결관(341, 342)을 제공한다. 그리고 척과 연결된 가열판과 온도계(thermocouple)의 도선 및 척에 연결된 진공라인이 연결되는 부분(344, 345)를 제공한다. FIG. 2D illustrates the structure of the back plate of the probe station, in which nitrogen, argon, and inert gas are injected and exited in order to minimize contact between air and the electrical and electronic elements fixed inside the probe station, which are blocked from the external environment. 342). And portions 344 and 345 to which a heating plate connected to the chuck and a vacuum wire connected to the lead of the thermometer and the chuck are provided.

여기서, 본 발명은 상기 척의 온도를 조절하는 외부 온도 조절기를 구비함과 동시에 이를 외부의 컴퓨터 혹은 프로그래밍을 통하여 자동 제어가 가능하도록 하고, 이동 가능한 모든 스테이지를 외부 컴퓨터 혹은 모터 구동 방식으로 대체하여 컴퓨터 등의 외부 분석 장치를 이용하여 자동으로 제어 할 수 있게 하는 것이 바람직하다.Here, the present invention is provided with an external temperature controller for adjusting the temperature of the chuck and at the same time to enable automatic control through an external computer or programming, and replace all the movable stages with an external computer or a motor drive type computer, etc. It is desirable to enable automatic control using an external analysis device.

이상에서와 같이 도면과 명세서에 최적 실시예가 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명 의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 될 것이다. As described above, optimal embodiments have been disclosed in the drawings and the specification. Although specific terms have been used herein, they are used only for the purpose of describing the present invention and are not intended to limit the scope of the invention as defined in the claims or the claims. Therefore, those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르는 프로브 스테이션은 전기전자 소자 부품의 전기적 분석 시 외부 환경과 차단되어 외부 환경으로부터의 오염을 막을 수 있고, 전기전자 소자의 전기적 특성을 외부 환경 요소들, 예를 들어 온도, 수분, 산소, 공기 오염물질 등에 의한 영향없이 정밀하게 측정, 분석하는 것이 가능한 효과가 있다.As described above, the probe station according to the present invention can be prevented from being polluted from the external environment by being blocked from the external environment during the electrical analysis of the electrical and electronic device components, and the electrical characteristics of the electrical and electronic device can be controlled by external environmental elements such as temperature. It is possible to measure and analyze precisely without being influenced by moisture, oxygen, and air pollutants.

또한, 본 발명에 따른 프로브 스테이션은 외부에 설치된 척 구동 스테이지 및 프로브 구동 스테이지를 통하여 분석하고자 하는 소자 부품의 정확한 위치 선택이 용이하고, 내부의 전기 전자 소자 부품을 전기적 분석 장치를 이용하여 효과적으로 검사할 수 있다.In addition, the probe station according to the present invention is easy to select the correct position of the device component to be analyzed through the chuck drive stage and the probe drive stage installed on the outside, it is possible to effectively inspect the internal electrical and electronic device components using the electrical analysis device Can be.

또한, 척의 온도를 제어할 수 있으므로 원하는 온도조건에서 전기적 분석이 가능한 효과가 있다. In addition, since the temperature of the chuck can be controlled, there is an effect capable of electrical analysis at the desired temperature conditions.

또한, 본 발명에 따른 프로브 스테이션은 모터 구동 방식의 스테이지 및 외부 온도 제어 장치를 외부의 컴퓨터 등의 분석 장치로 연결하여 프로그래밍이 가능한 효과가 있다. In addition, the probe station according to the present invention has an effect that can be programmed by connecting a motor-driven stage and an external temperature control device to an analysis device such as an external computer.

Claims (19)

전기적 소자 부품의 검사 장치인 프로브 스테이션에 있어서, In the probe station which is the inspection device of the electrical component parts, 밀폐된 구조를 가지는 박스형 케이스;A box-shaped case having a sealed structure; 상기 케이스 내부에 장착되며 소자 부품이 올려지고 고정되는 척;A chuck mounted inside the case and having element components mounted thereon and fixed thereto; 상기 척을 전후방향과 좌우방향으로 독립적으로 이동시키는 척 구동 스테이지;A chuck driving stage for independently moving the chuck in the front-back direction and the left-right direction; 샘플의 프로빙을 위한 프로브;Probes for probing samples; 상기 프로브와 연결된 홀더;A holder connected to the probe; 상기 홀더를 외부에서 상하방향과 좌우방향으로 조절하여 이동시키는 프로브 구동 스테이지;A probe driving stage configured to move the holder in an up and down direction and a left and right direction from the outside; 소자 부품과 프로브의 접촉을 관찰하기 위해 상기 케이스의 상면에 설치되는 광학 현미경;An optical microscope mounted on the upper surface of the case to observe the contact between the device component and the probe; 상기 광학 현미경을 상하방향과 좌우방향으로 위치조절하기 위한 현미경 조절 스테이지;A microscope adjusting stage for positioning the optical microscope in a vertical direction and a horizontal direction; 상기 케이스의 내부 구조를 관찰할 수 있도록 상기 케이스 상면과 전면에 설치되는 개폐가 가능한 투명창;A transparent window capable of opening and closing the upper and front surfaces of the case so that the internal structure of the case can be observed; 상기 케이스 내부에 기체를 유입 및 유출시키기 위한 연결관; 및 A connecting pipe for introducing and discharging gas into the case; And 상기 프로브를 통해 전달되는 전기적 신호를 분석 장치에 전달하는 프로브 연결선을 구비하는 프로브 스테이션.And a probe connection line for transmitting the electrical signal transmitted through the probe to the analysis device. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 척의 내부에 온도 조절이 가능한 가열판과, 온도를 감지하는 온도계(thermocouple)와, 소자를 안정하게 장착하기 위한 진공 라인이 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.The probe station, characterized in that the inside of the chuck is provided with a temperature control plate, a temperature sensing thermometer (thermocouple), and a vacuum line for stably mounting the device. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 척 구동 스테이지는 상기 척을 x축 방향으로 이동시키기 위한 x축 스테이지와, The chuck drive stage is an x-axis stage for moving the chuck in the x-axis direction, 상기 x축 스테이지를 이동시키기 위한 x축 이동 장치와 x축 이동 레일과, An x-axis moving device and an x-axis moving rail for moving the x-axis stage, 상기 척을 y축 방향으로 이동시키기 위한 y축 스테이지와, A y axis stage for moving the chuck in the y axis direction, 상기 y축 스테이지를 이동시키기 위한 y축 이동 장치와 y축 이동 레일로 구성되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.And a y-axis moving device and a y-axis moving rail for moving the y-axis stage. 제1항 또는 제3항에 있어서, The method according to claim 1 or 3, 상기 척과 상기 척 구동 스테이지 사이에는 단열을 위한 절연물질이 더 설치되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.Probe station, characterized in that the insulating material is further installed between the chuck and the chuck drive stage. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 프로브 구동 스테이지는 상기 홀더와 연결되어 홀더를 좌우방향으로 이 동가능케하는 제1 스테이지와, The probe driving stage is connected to the holder and the first stage to move the holder in the horizontal direction; 상기 홀더를 상하방향으로 이동가능케하는 제2 스테이지와, A second stage to move the holder in a vertical direction; 상기 제2 스테이지를 지지하는 지지판으로 구성되어 외부에서 내부의 고정된 프로브를 움직이는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.Probe station consisting of a support plate for supporting the second stage to move the fixed probe from the outside from the outside. 제5항에 있어서, The method of claim 5, 상기 홀더가 밀폐된 공간에서 용이하게 움직이도록 상기 케이스의 내부 벽면에 설치되는 홀더 고정부재가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.And a holder fixing member installed on an inner wall of the case so that the holder can be easily moved in a closed space. 제6항에 있어서, The method of claim 6, 상기 홀더 고정부재는 연질의 플라스틱재인 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션. The holder fixing member is a probe station, characterized in that the soft plastic material. 제7항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 홀더 고정부재는 고무나 실리콘인 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션. And the holder fixing member is rubber or silicone. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 연결관을 통해 상기 케이스 내부를 진공상태로 만들거나 질소, 아르곤, 비활성 기체를 주입하여 질소, 아르곤 분위기로 만드는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.Probe station, characterized in that the inside of the casing through the connecting tube or nitrogen, argon, inert gas to make a nitrogen, argon atmosphere. 제2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 척의 내부에 설치된 가열판과 온도계 및 진공라인이 연결되는 연결부가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.Probe station further comprises a connection portion is connected to the heating plate and the thermometer and the vacuum line installed inside the chuck. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 현미경 조절 스테이지는 현미경을 전후방향으로 이동시키기 위한 이동 장치와, The microscope adjusting stage includes a moving device for moving the microscope in the front and rear directions, 현미경의 위치를 상하방향으로 조절하는 조절장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.Probe station comprising a control device for adjusting the position of the microscope in the vertical direction. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 프로브와 상기 홀더 사이에는 절연물질이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.And an insulating material further provided between the probe and the holder. 제12항에 있어서, The method of claim 12, 상기 절연물질은 아세탈, 아크릴 등의 플라스틱 계열로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.The insulating material is a probe station, characterized in that made of a plastic series, such as acetal, acrylic. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 홀더는 알루미늄, 스테인리스 스틸 등의 금속재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션. The holder is a probe station, characterized in that made of metal, such as aluminum, stainless steel. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 케이스는 알루미늄, 스테인리스 스틸 등의 금속재로 이루어지거나 아크릴 등의 플라스틱 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.The case is a probe station, characterized in that made of a metal material such as aluminum, stainless steel, or a plastic material such as acrylic. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 척과 척 구동 스테이지는 중심부를 중심으로 대칭적인 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.The chuck and the chuck driving stage has a symmetrical structure around the center of the probe station. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 프로브와 프로브 구동 스테이지는 측면에 각각 독립적으로 하나 이상 장착되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.And at least one probe and at least one probe driving stage is mounted on each side of the probe station. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 케이스의 상면과 전면에 설치된 투명창은 수정, 유리, 플라스틱 중 어느 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.The transparent window installed on the upper surface and the front surface of the case is a probe station, characterized in that using any one of glass, plastic. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 척은 황동, 스테인리스 스틸, 금, 니켈 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.The chuck is a probe station, characterized in that made of any one of brass, stainless steel, gold, nickel.
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