KR20080069755A - Inductively coupled plasma reactor capable - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명의 상세한 설명에서 사용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여, 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.In order to more fully understand the drawings used in the detailed description of the invention, a brief description of each drawing is provided.
도 1은 본 발명의 유도 결합 플라즈마 반응기의 개략적인 사시도이다.1 is a schematic perspective view of an inductively coupled plasma reactor of the present invention.
도 2는 도 1의 유도 결합 플라즈마 반응기의 주요 구성의 분리 사시도이다.2 is an exploded perspective view of the main configuration of the inductively coupled plasma reactor of FIG.
도 3은 도 1의 유도 결합 플라즈마 반응기의 단면도이다.3 is a cross-sectional view of the inductively coupled plasma reactor of FIG. 1.
도 4 내지 도 8은 평판 전극 구조의 다양한 변형예들을 보여주는 도면이다.4 to 8 illustrate various modifications of the plate electrode structure.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
10: 진공 챔버 11: 챔버 바디10: vacuum chamber 11: chamber body
14: 가스 출구 16: 기판 지지대14: gas outlet 16: substrate support
20: 가스 공급부 21: 가스 공급 커버20: gas supply unit 21: gas supply cover
22: 가스 입구 23: 하부판22: gas inlet 23: bottom plate
24: 가스 분배 격판 25: 가스 도입관24: gas distribution plate 25: gas introduction pipe
30: 무선 주파수 안테나 32: 마그네틱 코어 커버30: radio frequency antenna 32: magnetic core cover
34: 유전체 윈도우 36: 가스 공급홀34: dielectric window 36: gas supply hole
40,40a, 40b, 40c, 40d: 평판 전극 50: 제1 전원 공급원40, 40a, 40b, 40c, 40d: flat electrode 50: first power source
51: 임피던스 정합기 52: 제2 전원 공급원51: impedance matcher 52: second power source
53: 임피던스 정합기 54: 제3 전원 공급원53: impedance matcher 54: third power source
55: 제4 전원 공급원 56: 임피던스 정합기55: fourth power source 56: impedance matcher
57: 전원 분할 공급부57: power split supply
본 발명은 무선 주파수(radio frequency)를 이용한 유도 결합 플라즈마 반응기(inductively coupled plasma reactor)에 관한 것으로, 구체적으로는 플라즈마 이온 에너지에 대한 제어 능력이 높고 보다 균일한 대면적의 고밀도 플라즈마를 발생할 수 있는 유도 결합 플라즈마 반응기에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inductively coupled plasma reactor using radio frequency. Specifically, the present invention relates to an induction that can generate a high density plasma having a higher uniformity and a more uniform control of plasma ion energy. A coupled plasma reactor.
플라즈마는 같은 수의 음이온(positive ions)과 전자(electrons)를 포함하는 고도로 이온화된 가스이다. 플라즈마 방전은 이온, 자유 래디컬, 원자, 분자를 포함하는 활성 가스를 발생하기 위한 가스 여기에 사용되고 있다. 활성 가스는 다양한 분야에서 널리 사용되고 있으며 대표적으로 반도체 제조 공정 예들 들어, 식각(etching), 증착(deposition), 세정(cleaning), 에싱(ashing) 등에 다양하게 사용된다.Plasma is a highly ionized gas containing the same number of positive ions and electrons. Plasma discharges are used for gas excitation to generate active gases containing ions, free radicals, atoms, molecules. The active gas is widely used in various fields and is typically used in a variety of semiconductor manufacturing processes such as etching, deposition, cleaning, ashing, and the like.
플라즈마를 발생하기 위한 플라즈마 소스는 여러 가지가 있는데 무선 주파수(radio frequency)를 사용한 용량 결합 플라즈마(capacitive coupled plasma)와 유도 결합 플라즈마(inductive coupled plasma)가 그 대표적인 예이다.There are a number of plasma sources for generating plasma, and the representative examples are capacitive coupled plasma and inductive coupled plasma using radio frequency.
용량 결합 플라즈마 소스는 정확한 용량 결합 조절과 이온 조절 능력이 높아 서 타 플라즈마 소스에 비하여 공정 생산력이 높다는 장점을 갖는다. 반면, 무선 주파수 전원의 에너지가 거의 배타적으로 용량 결합을 통하여 플라즈마에 연결되기 때문에 플라즈마 이온 밀도는 용량 결합된 무선 주파수 전력의 증가 또는 감소에 의해서만 증가 또는 감소될 수 있다. 그러나 무선 주파수 전력의 증가는 이온 충격 에너지를 증가시킨다. 결과적으로 이온 충격에 의한 손상을 방지하기 위해서는 공급되는 무선 주파수 전력의 한계성을 갖게 된다.The capacitively coupled plasma source has the advantage of high process productivity compared to other plasma sources due to its high capacity for precise capacitive coupling control and ion control. On the other hand, since the energy of the radio frequency power supply is almost exclusively connected to the plasma through capacitive coupling, the plasma ion density can only be increased or decreased by increasing or decreasing the capacitively coupled radio frequency power. However, increasing radio frequency power increases ion bombardment energy. As a result, in order to prevent damage caused by ion bombardment, there is a limit of radio frequency power supplied.
한편, 유도 결합 플라즈마 소스는 무선 주파수 전원의 증가에 따라 이온 밀도를 쉽게 증가시킬 수 있으며 이에 따른 이온 충격은 상대적으로 낮아서 고밀도 플라즈마를 얻기에 적합한 것으로 알려져 있다. 그럼으로 유도 결합 플라즈마 소스는 고밀도의 플라즈마를 얻기 위하여 일반적으로 사용되고 있다. 유도 결합 플라즈마 소스는 대표적으로 무선 주파수 안테나(RF antenna)를 이용하는 방식과 변압기를 이용한 방식(변압기 결합 플라즈마(transformer coupled plasma)라고도 함)으로 기술 개발이 이루어지고 있다. 여기에 전자석이나 영구 자석을 추가하거나, 용량 결합 전극을 추가하여 플라즈마의 특성을 향상 시키고 재현성과 제어 능력을 높이기 위하여 기술 개발이 이루어지고 있다.On the other hand, the inductively coupled plasma source can easily increase the ion density with the increase of the radio frequency power source, the ion bombardment is relatively low, it is known to be suitable for obtaining a high density plasma. Therefore, inductively coupled plasma sources are commonly used to obtain high density plasma. Inductively coupled plasma sources are typically developed using a radio frequency antenna (RF antenna) and a transformer (also called transformer coupled plasma). The development of technology to improve the characteristics of plasma, and to increase the reproducibility and control ability by adding an electromagnet or a permanent magnet or adding a capacitive coupling electrode.
무선 주파수 안테나는 나선 타입 안테나(spiral type antenna) 또는 실린더 타입 안테나(cylinder type antenna)가 일반적으로 사용된다. 무선 주파수 안테나는 플라즈마 반응기(plasma reactor)의 외부에 배치되며, 석영과 같은 유전체 위도우(dielectric window)를 통하여 플라즈마 반응기의 내부로 유도 기전력을 전달한다. 무선 주파수 안테나를 이용한 유도 결합 플라즈마는 고밀도의 플라즈마를 비 교적 손쉽게 얻을 수 있으나, 안테나의 구조적 특징에 따라서 플라즈마 균일도가 영향을 받는다. 그럼으로 무선 주파수 안테나의 구조를 개선하여 균일한 고밀도의 플라즈마를 얻기 위해 노력하고 있다.Radio frequency antennas are generally used as spiral type antennas or cylinder type antennas. The radio frequency antenna is disposed outside the plasma reactor and transmits induced electromotive force into the plasma reactor through a dielectric window such as quartz. Inductively coupled plasma using a radio frequency antenna can easily obtain a high density plasma, but the plasma uniformity is affected by the structural characteristics of the antenna. Therefore, efforts have been made to improve the structure of the radio frequency antenna to obtain a uniform high density plasma.
그러나 대면적의 플라즈마를 얻기 위하여 안테나의 구조를 넓게 하거나 안테나에 공급되는 전력을 높이는 것은 한계성을 갖는다. 예를 들어, 정상파 효과(standing wave effect)에 의해 방사선상으로 비균일한 플라즈마가 발생되는 것으로 알려져 있다. 또한, 안테나에 높은 전력이 인가되는 경우 무선 주파수 안테나의 용량성 결합(capacitive coupling)이 증가하게 됨으로 유전체 윈도우를 두껍게 해야 하며, 이로 인하여 무선 주파수 안테나와 플라즈마 사이의 거리가 증가함으로 전력 전달 효율이 낮아지는 문제점이 발생된다.However, in order to obtain a large plasma, it is limited to widen the structure of the antenna or increase the power supplied to the antenna. For example, it is known that a non-uniform plasma is generated in the radiographic state by a standing wave effect. In addition, when high power is applied to the antenna, the capacitive coupling of the radio frequency antenna increases, so that the dielectric window must be thickened, thereby increasing the distance between the radio frequency antenna and the plasma, thereby lowering power transmission efficiency. Losing problems occur.
최근 반도체 제조 산업에서는 반도체 소자의 초미세화, 반도체 회로를 제조하기 위한 실리콘 웨이퍼 기판의 대형화, 액정 디스플레이를 제조하기 위한 유리 기판의 대형화 그리고 새로운 처리 대상 물질 등장 등과 같은 여러 요인으로 인하여 더욱 향상된 플라즈마 처리 기술이 요구되고 있다. 특히, 대면적의 피처리물에 대한 우수한 처리 능력을 갖는 향상된 플라즈마 소스 및 플라즈마 처리 기술이 요구되고 있다.In the recent semiconductor manufacturing industry, plasma processing technology has been further improved due to various factors such as ultra-miniaturization of semiconductor devices, the enlargement of silicon wafer substrates for manufacturing semiconductor circuits, the enlargement of glass substrates for manufacturing liquid crystal displays, and the emergence of new target materials. This is required. In particular, there is a need for improved plasma sources and plasma processing techniques that have good processing capabilities for large area workpieces.
따라서 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 안테나의 자속 전달 효율을 향상시키고, 플라즈마 이온 에너지에 대한 제어 능력을 높여 보다 균일한 대면적의 고밀도 플라즈마를 발생할 수 있는 유도 결합 플라즈마 반응 기를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and its object is to improve the flux transfer efficiency of the antenna and to control plasma ion energy, thereby inducing coupled plasma reaction which can generate a more uniform high-density plasma. To provide a flag.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일면은 유도 결합 플라즈마 반응기에 관한 것이다. 본 발명의 유도 결합 플라즈마 반응기는: 피처리 기판이 놓이는 기판 지지대를 갖는 진공 챔버; 진공 챔버의 상부에 설치되는 유전체 윈도우; 유전체 윈도우의 상부에 설치된 무선 주파수 안테나; 무선 주파수 안테나와 유전체 윈도우 사이에 설치되는 평판 전극; 무선 주파수 안테나가 배치된 영역을 제외한 다른 부분에서 유전체 윈도우에 관통되어 형성된 다수개의 가스 공급홀; 및 다수개의 가스 공급홀을 통하여 진공 챔버의 내부로 공정 가스를 공급하는 가스 공급부를 포함한다.One aspect of the present invention for achieving the above technical problem relates to an inductively coupled plasma reactor. An inductively coupled plasma reactor of the present invention comprises: a vacuum chamber having a substrate support on which a substrate to be processed is placed; A dielectric window installed above the vacuum chamber; A radio frequency antenna mounted on top of the dielectric window; A plate electrode disposed between the radio frequency antenna and the dielectric window; A plurality of gas supply holes formed through the dielectric window in other portions except for the region where the radio frequency antenna is disposed; And a gas supply unit supplying a process gas into the vacuum chamber through the plurality of gas supply holes.
일 실시예에 있어서, 무선 주파수 안테나를 따라서 덮어지도록 자속 출입구가 유전체 윈도우를 향하여 설치되는 마그네틱 코어 커버를 포함한다.In one embodiment, the magnetic flux entrance includes a magnetic core cover installed toward the dielectric window to be covered along the radio frequency antenna.
일 실시예에 있어서, 무선 주파수 안테나로 제1 전원을 공급하는 제1 전원 공급원; 및 평판 전극으로 제2 전원을 공급하는 제2 전원 공급원을 포함한다.In one embodiment, a first power supply for supplying a first power source to a radio frequency antenna; And a second power supply source for supplying a second power source to the plate electrode.
일 실시예에 있어서, 가스 공급부는 서로 다른 공정 가스를 분리 공급하기 위한 가스 분리 공급 구조를 갖는다.In one embodiment, the gas supply unit has a gas separation supply structure for separately supplying different process gases.
일 실시예에 있어서, 평판 전극은 무선 주파수 안테나와 유전체 윈도우 사이에 개구된 영역을 갖고, 개구된 영역은 빗살 구조, 동심원 구조, 나선형 구조, 그물망 구조, 방사형 구조에서 선택된 하나 이상의 구조를 포함한다.In one embodiment, the plate electrode has an opening between the radio frequency antenna and the dielectric window, and the opening includes at least one structure selected from a comb tooth structure, a concentric structure, a spiral structure, a network structure, and a radial structure.
일 실시예에 있어서, 기판 지지대는 하나 이상의 바이어스 전원 공급원으로 부터 바이어스 전원을 제공받아 바이어스된다.In one embodiment, the substrate support is biased with bias power supplied from one or more bias power sources.
일 실시예에 있어서, 기판 지지대는 바이어스 전원의 공급이 없는 제로 포텐셜을 갖는다.In one embodiment, the substrate support has a zero potential without supply of bias power.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시예에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야 한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공 되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다. 각 도면을 이해함에 있어서, 동일한 부재는 가능한 한 동일한 참조부호로 도시하고자 함에 유의하여야 한다. 그리고 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.DETAILED DESCRIPTION In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the embodiments of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape of the elements in the drawings and the like are exaggerated to emphasize a clearer description. In understanding the drawings, it should be noted that like parts are intended to be represented by the same reference numerals as much as possible. And detailed description of known functions and configurations that are determined to unnecessarily obscure the subject matter of the present invention is omitted.
(실시예)(Example)
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명의 균일한 플라즈마 처리 성능을 갖는 유도 결합 플라즈마 반응기를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings illustrating a preferred embodiment of the present invention, the inductively coupled plasma reactor having a uniform plasma processing performance of the present invention will be described in detail.
도 1은 본 발명의 유도 결합 플라즈마 반응기의 개략적인 사시도이고, 도 2는 도 1의 유도 결합 플라즈마 반응기의 주요 구성의 분리 사시도이다. 그리고 도 3은 도 1의 유도 결합 플라즈마 반응기의 단면도이다.1 is a schematic perspective view of an inductively coupled plasma reactor of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view of a main configuration of the inductively coupled plasma reactor of FIG. 1. 3 is a cross-sectional view of the inductively coupled plasma reactor of FIG. 1.
도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 유도 결합 플라즈마 반응기는 챔버 바디(11)와 챔버 바디(11)의 천정을 형성하는 유전체 윈도우(34)로 구성되는 진공 챔버(10)를 구비한다. 진공 챔버(100)의 내부에는 피처리 기판(W)이 놓이는 기판 지지대(16)가 구비된다. 챔버 바디(11)의 하단에는 가스 배기를 위한 가스 출구(14)가 구비된다. 가스 출구(14)는 진공 펌프(미도시)에 연결된다. 피처리 기판(W)은 예를 들어, 반도체 장치를 제조하기 위한 실리콘 웨이퍼 기판 또는 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이 등의 제조를 위한 유리 기판 이다.1 to 3, the inductively coupled plasma reactor of the present invention includes a
챔버 바디(11)는 알루미늄, 스테인리스, 구리와 같은 금속 물질로 재작된다. 또는 코팅된 금속 예를 들어, 양극 처리된 알루미늄이나 니켈 도금된 알루미늄으로 재작될 수 있다. 또는 내화 금속(refractory metal)로 재작될 수 있다. 또 다른 대안으로 챔버 바디(11)를 전체적으로 석영, 세라믹과 같은 전기적 절연 물질로 재작하는 것도 가능하며, 의도된 플라즈마 프로세스가 수행되기에 적합한 다른 물질로도 재작될 수 있다. 유전체 윈도우(34)는 예들 들어, 석영이나 세라믹과 같은 절연 물질로 구성된다.The
유전체 윈도우(34)의 상부에는 무선 주파수 안테나(30)가 설치된다. 무선 주파수 안테나(30)는 유전체 윈도우(34) 영역 내에서 평판 나선형 구조를 갖는다. 무선 주파수 안테나(30)의 일단은 제1 주파수의 무선 주파수를 공급하는 제1 전원 공급원(50)에 임피던스 정합기(51)를 통하여 연결되고 타단은 접지에 연결된다. 제1 전원 공급원(50)은 별도의 임피던스 정합기 없이 출력 전원의 제어가 가능한 무선 주파수 전원 공급원을 사용하여 구성할 수도 있다.The
무선 주파수 안테나(30)와 유전체 윈도우(34)의 사이에는 평판 전극(40)이 설치된다. 평판 전극(40)과 무선 주파수 안테나(30)는 전기적으로 절연된다. 평판 전극(230)은 임피던스 정합기(53)를 통하여 제2 주파수의 무선 주파수를 공급하는 제2 전원 공급원(52)에 연결된다. 평판 전극(40)에 의하여 진공 챔버(10)의 내부에서 발생되는 플라즈마 이온 에너지에 대한 제어 능력을 높일 수 있고 보다 균일한 플라즈마 발생이 가능하다. 그럼으로 피처리 기판에 대한 보다 균일한 플라즈마 처리가 가능하여 피처리 기판(W)에 고품질의 박막을 형성할 수 있다.A
평판 전극(40)은 기본적으로 무선 주파수 안테나(30)와 유전체 윈도우(34) 사이에 개구된 영역을 갖는다. 개구된 영역은 도 2, 도 4 내지 도 8에 도시된 바와 같이 빗살 구조, 동심원 구조, 나선형 구조, 그물망 구조, 방사형 구조와 같은 다양한 구조로 형성할 수 있다.The
평판 전극(40)은 제2 전원 공급원(52)으로부터 무선 주파수를 공급 받도록 하지만 기판 지지대(16)로 바이어스 전원을 공급하는 전원 공급원(54 or 55)으로부터 전원을 분할 공급 받도록 변형 실시될 수 있다. 이와 같이 하는 경우에는 전원공급원의 개수를 줄일 수 있어서 설비 비용을 저감할 수 있다.The
무선 주파수 안테나(30)는 마그네틱 코어 커버(32)에 의해 덮여진다. 마그네틱 코어 커버(32)는 수직 단면 구조가 말편자 형상을 갖고 무선 주파수 안테나(30)를 따라서 덮어지도록 설치되어 자속 출입구(35)가 유전체 윈도우(34)를 향하도록 설치된다. 그럼으로 무선 주파수 안테나(30)에 의해 발생된 자기장은 마그네틱 코어 커버(32)에 의해 집속되어 진공 챔버(10)의 내측 상부에 발생된다. 이 자기장에 의해 유도되는 전기장은 유전체 윈도우(34)에 본질적으로 평행하게 발생된다.The
마그네틱 코어 커버(32)는 페라이트 재질로 제작되지만 다른 대안의 재료로 제작될 수 도 있다. 마그네틱 코어 커버(34)는 다수의 말편자 형상의 페라이트 코어 조각들을 조립하여 구성할 수 있다. 또는 일체형의 페라이트 코어를 사용할 수도 있다. 여러 개의 조각을 사용하여 구성하는 경우에는 각 조각의 조립면에 절연 물질과 같은 비자성 물질층을 삽입하여 연결할 수 있다. 도면에는 구체적으로 냉각수 공급 채널을 도시하지 않았으나 예들 들어, 무선 주파수 안테나(30)와 마그네틱 코어 커버(32)의 사이에는 냉각수 공급 채널이 구비될 수 있다.Magnetic core cover 32 is made of ferrite material, but may be made of other alternative materials. Magnetic core cover 34 may be configured by assembling a plurality of horseshoe-shaped ferrite core pieces. Alternatively, an integrated ferrite core may be used. In the case of using a plurality of pieces, each piece can be connected by inserting a nonmagnetic material layer such as an insulating material on the assembly surface. Although the cooling water supply channel is not illustrated in detail, for example, the cooling water supply channel may be provided between the
진공 챔버(10)의 상부에는 가스 공급부(20)가 구성된다. 유전체 윈도우(34)에는 무선 주파수 안테나(30)가 배치된 영역을 제외한 다른 부분에 관통되어 형성된 다수개의 가스 공급홀(36)이 형성된다. 다수개의 가스 공급홀(36)은 나선형의 무선 주파수 안테나(30)의 사이를 따라서 형성된다. 가스 공급부(20)는 무선 주파수 안테나(30)를 전체적으로 덮는 가스 공급 커버(21), 가스 공급원(미도시)에 연결되는 가스 입구(22), 다수개의 가스 공급홀(36)에 연결되는 가스 도입관(25), 가스 입구(22)와 가스 도입관(25) 사이에 가스를 고르게 분배하기 위한 하나 이상의 가스 분배 격판(24)으로 구성된다. 가스 도입관(25)은 가스 공급부(20)의 하부판(23)에 연결된다.The
가스 공급부(12)는 나선형의 무선 주파수 안테나(30)의 사이를 따라서 진공 챔버(10)의 내부로 공정 가스를 주입한다. 그럼으로 공정 가스는 무선 주파수 안 테나(30)가 설치된 영역을 제외한 다른 부분에서 유전체 윈도우(34) 상부를 통하여 진공 챔버(10)의 내부로 균일하게 공급되어 플라즈마 처리의 균일도를 높일 수 있다.The gas supply unit 12 injects process gas into the
가스 공급부(20)는 이중 가스 공급 구조로 변형 실시될 수 있다. 이러한 두 개의 가스 공급 경로를 통하여 서로 다른 두 개의 공정 가스가 분리 공급되도록 할 수 있다. 서로 다른 공정 가스를 분리 공급하도록 하여 플라즈마 처리의 균일도를 높일 수 있다.The
도 3을 참조하여, 기판 지지대(16)는 제2 및 제3 무선 주파수를 공급하는 제3 및 제4 전원 공급원(54, 55)에 임피던스 정합기(56)를 통하여 전기적으로 연결되어 바이어스 된다. 제3 및 제3 전원 공급원(54, 55)은 서로 다른 무선 주파수를 기판 지지대(16)로 공급한다. 기판 지지대(16)의 이중 전원 공급 구조는 진공 챔버(10)의 내부에 플라즈마 발생을 더욱 용이하게 하고, 피처리 기판(W)의 표면에서 플라즈마 이온 에너지 조절을 더욱 개선시켜 공정 생산력을 더욱 향상 시킬 수 있다. 제3 및 제4 전원 공급원(54, 55)은 별도의 임피던스 정합기 없이 출력 전압의 제어가 가능한 무선 주파수 전원 공급원을 사용하여 구성할 수 도 있다. 기판 지지대(16)는 이중 바이어스 구조를 갖지만, 하나의 전원 공급원에 의한 단일 바이어스 구조를 가질 수도 있다. 또는 기판 지지대(16)는 바이어스 전원의 공급이 없는 제로 포텐셜을 갖도록 구성할 수도 있다.Referring to FIG. 3, the
이상에서 설명된 본 발명의 균일한 플라즈마 처리 성능을 갖는 유도 결합 플라즈마 반응기의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통 상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그럼으로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 한다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이며, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Embodiments of the inductively coupled plasma reactor having a uniform plasma processing performance of the present invention described above are merely exemplary, and those skilled in the art to which the present invention pertains can make various modifications and equivalents therefrom. It will be appreciated that examples are possible. Therefore, it is to be understood that the present invention is not limited to the specific forms mentioned in the above description. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be defined by the technical spirit of the appended claims, and the present invention is intended to cover all modifications, equivalents, and substitutes within the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims. It should be understood to include.
상술한 바와 같은 본 발명의 균일한 플라즈마 처리 성능을 갖는 유도 결합 플라즈마 반응기에 의하면, 가스 공급부에 의한 균일한 가스 공급과 마그네틱 코어 커버에 의한 자속 전달 효율의 향상에 의해서 고밀도의 플라즈마를 균일하게 발생할 수 있다. 또한 평판 전극에 의해 플라즈마 이온 에너지에 대한 제어 능력을 높이고 보다 균일한 대면적의 고밀도 플라즈마를 발생할 수 있다.According to the inductively coupled plasma reactor having a uniform plasma treatment performance of the present invention as described above, high density plasma can be generated uniformly by uniform gas supply by the gas supply unit and improvement of magnetic flux transfer efficiency by the magnetic core cover. have. In addition, the plate electrode can control the plasma ion energy and generate a more uniform high-density plasma.
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