KR20080062779A - 비정질 실리콘 결정화용 레이저 조사 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 레이저 빔을 출사하는 레이저 빔 발생장치와; 상기 레이저 발생장치 전면에 위치한 제 1 호모지나이저와; 상기 제 1 호모지나이저와 이격하며, 상기 레이저 발생장치와 서로 마주하며 위치한 제 2 호모지나이저와; 상기 제 2 호모지나이저와 이격하며 위치하는 단축 집광렌즈와; 상기 단축 집광렌즈와 이격하며 위치하는 대물렌즈와; 상기 대물렌즈와 이격하며 위치하는 슬릿과; 바(bar) 형태를 가지며, 상기 레이저 빔의 일부를 차단하는 구조물을 포함하는 레이저 빔 조사장치를 제공한다.
결정화, 레이저빔, 구조물, 호모지나이저, 펄스파, 파형

Description

비정질 실리콘 결정화용 레이저 조사 장치{Laser projection device for crystallizing the amorphous silicon}
도 1은 종래의 뾰족한 펄스파 형태의 레이저 빔을 플랫한 표면을 갖는 펄스파 형태의 레이저 빔을 만들기 위한 레이저 조사 장치의 내부의 구성을 간략히 단면도.
도 2는 전술한 종래의 플랫한 펄스파 형태를 갖는 레이저 빔 조사가 가능한 레이저 장치를 통해 소정간격 이격하며 연속적으로 조사했을 때의 레이저 빔의 파형을 도시한 도면.
도 3은 종래의 레이저 조사장치를 이용하여 결정화를 진행 했을 시 발생한 줄무늬 불량을 나타낸 사진.
도 4는 본 발명에 따른 특정 형상의 펄스파 형태를 갖는 레이저 빔 조사가 가능한 레이저 조사 장치의 내부 구조를 간략히 도시한 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 레이저 조사 장치에 장착되는 구조물의 사시도.
도 6은 본 발명에 따른 레이저 조사 장치에 장착되는 제 1 또는 제 2 호모지나이저의 사시도.
도 7은 본 발명에 따른 레이저 조사 장치에 장착되는 구조물을 레이저 빔이 조사되는 부분에서 바라본 정면도.
도 8은 본 발명에 따른 레이저 장치를 통해 레이저 빔을 소정간격 이격하며 연속적으로 조사했을 때의 레이저 빔의 파형을 도시한 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
101 : 레이저 빔 조사장치 110 : 레이저 빔 발생장치
115 : 제 1 호모지나이저 117 : 단축렌즈
120 : 제 2 호모지나이저 125 : 단축 집광렌즈
130 : 대물렌즈 135 : 슬릿
155 : 구조물
LB1 : 뾰족한 펄스파 형태의 레이저 빔
LB2 : 플랫하며 그 일축으로 기울어진 펄스판 형태의 레이저 빔
본 발명은 레이저 조사 장치에 관한 것으로, 특히 액정표시장치 또는 유기전계발광소자의 반도체층을 이루는 비정질 실리콘을 폴리실리콘으로 결정화하는데 이용되는 레이저 조사 장치에 관한 것이다.
일반적으로 실리콘은 결정상태에 따라 비정질 실리콘(amorphous silicon)과 결정질 실리콘(crystalline silicon)으로 나눌 수 있다. 상기 비정질 실리콘은 낮은 온도에서 증착하여 박막을 형성하는 것이 가능하며, 주로 낮은 용융점을 가지는 유리를 기판으로 사용하는 액정표시장치의 스위칭 소자인 박막 트랜지스터에 많이 사용되고 있다.
그런데, 이러한 비정질 실리콘을 이용한 박막 트랜지스터를 구동하기 위해서는 구동회로가 필요하다. 구동 회로는 다수의 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)소자를 포함하는 데, 이런 CMOS 소자를 형성하기 위해서는 이동도 특성의 우수한 폴리 실리콘(poly crystalline silicon)이 이용된다.
폴리 실리콘을 이용한 액정표시장치에서는 박막 트랜지스터와 구동 회로를 동일한 기판 상에 형성할 수 있으며, 박막 트랜지스터와 구동 회로를 연결하는 과정이 불필요하므로 공정이 간단해 진다. 또한 상기 폴리실리콘을 이용한 박막 트랜지스터는 유기전계 발광장치에도 이용되고 있다.
이러한 폴리실리콘을 형성하는 방법은 고상 결정화법(Solid Phase Crystallization : SPC), 급속 열처리법(Rapid Thermal Annealing : RTA), 엑시머 레이저 어닐닝 법 등 여러 방법이 있으며, 이중에서 엑시머 레이저 빔을 조사함으로써 결정화하는 방법이 가장 많이 이용되고 있다.
이때, 레이저 빔을 이용한 결정화는 일반적인 그 끝이 뾰족한 펄스파 형태의 레이저 빔은 그 중앙부와 주변부에서의 에너지 밀도차가 너무 심하며, 그 조사되는 영역이 매우 국부적이 되므로 비정질 실리콘의 결정화 장치로서 이용할 수 없으며, 그 표면이 어느 정도 플랫한 펄스파의 빔 형태를 갖도록 변형됨으로써 비교적 넓은 영역에 그 레이저빔이 조사되는 영역에 대해서는 그 에너지 밀도 또한 어느 정도 일정하도록 가공된 레이저 빔을 이용해야만 결정화 공정을 진행할 수 있다.
도 1은 종래의 뾰족한 펄스파 형태의 레이저 빔을 플랫한 표면을 갖는 펄스파 형태의 레이저 빔을 만들기 위한 레이저 조사 장치의 내부의 구성을 간략히 단면도이다.
도시한 바와같이, 플랫한 표면을 갖는 형태의 레이저 빔을 조사하는 레이저 조사장치(1)는, 뾰족한 펄스파 형태의 레이저 빔(LB1)을 발생시키는 레이저 발생장치(10)와, 상기 발생된 레이저 빔이 진행하는 영역에 대해 다수의 단축렌즈(short axis lens)로 구성된 제 1 호모지나이저(homogenizer)(15) 및 제 2 호모지나이저(20)가 서로 소정간격 이격하고 있으며, 상기 제 2 호모지나이저(20) 이후 상기 빔의 진행방향으로 소정 간격 이격하여 단축 집광렌즈(short axis condenser lens)(25)가 위치하고 있으며, 상기 단축 집광렌즈(25)의 다음에는 대물(對物) 렌즈(field lens)(30) 및 이와 이격하여 슬릿(35)이 구성되고 있다.
이러한 구성을 갖는 레이저 조사장치(1)의 내부를 뾰족한 펄스파 형태의 레이저 빔(LB1)이 통과함으로서 최종적으로 도시한 바와 같은 그 표면이 플랫한 펄스파 형태의 레이저 빔(LB2)을 만들 수 있으며, 이러한 형태의 레이저 빔을 기판상에 증착된 비정질 실리콘층에 소정간격 중첩 조사시킴으로써 폴리실리콘으로 결정화할 수 있게 된다.
도 2는 전술한 종래의 플랫한 펄스파 형태를 갖는 레이저 빔 조사가 가능한 레이저 장치를 통해 소정간격 이격하며 연속적으로 조사했을 때의 레이저 빔의 파 형을 도시한 도면이다.
도시한 바와같이, 대체적으로 일정한 크기(에너지 크기)를 가지며 조사되지만, 중간 중간 갑자기 증폭된 크기의 레이저 빔이 조사된 것을 알 수 있다.
이러한 갑자기 증폭되는 레이저 빔 발생이 없다면, 그 표면이 플랫한 펄스파 형태의 레이저 빔 조사에 의한 결정화는 아주 안정적인 결정화 공정을 진행할 수 있지만, 도시한 바와같이, 갑자기 증폭되어 그 펄스의 높이가 큰 파형을 갖는 레이저 빔이 불규칙적으로 만들어지는 현상이 발생됨으로써 이러한 비정상적인 펄스파 형태의 레이저 빔 조사에 의해 결정화 된 반도체층을 이용하여 특히 유기전계발광소자를 형성하였을 경우, 도 3에 도시한 바와 같은 줄무늬 불량이 발생하고 있다.
레이저 조사장치는 그 특성상 표본표준편차(Stdev)가 1% 내외이며, 동일한 펄스파 형태로 조사된다고 하더라도 펄스의 최대치와 최소치 간에는 10% 정도의 차이가 나고 있다. 이러한 장비특성은 레이저 빔의 안정성을 떨어뜨리게 되며 최종적으로는 레이저 빔 조사에 의한 줄무늬 불량을 야기 시키거나 또는 공정 창(process window)을 줄이는 등의 악영향을 끼치게 된다.
따라서, 레이저 빔 조사에 의한 안정적인 비정질 실리콘의 결정화 공정을 진행하기 위한 레이저 조사 장치가 요구되고 있다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 조사되는 레이 저 빔의 펄스 파형을 특정 패턴 형태로 변형함으로써 갑자기 비정상적인 즉 큰 에너지 밀도를 갖는 레이저 빔이 조사되더라도 그 이후 중첩 조사되는 레이저 빔에 의해 평균적인 에너지 밀도차이를 작게 함으로써 안정된 결정화 공정을 진행할 수 있는 결정화 공정용 레이저 조사장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 비정질 실리콘의 결정화용 레이저 빔 조사장치는, 레이저 빔을 출사하는 레이저 빔 발생장치와; 상기 레이저 발생장치 전면에 위치한 제 1 호모지나이저와; 상기 제 1 호모지나이저와 이격하며, 상기 레이저 발생장치와 서로 마주하며 위치한 제 2 호모지나이저와; 상기 제 2 호모지나이저와 이격하며 위치하는 단축 집광렌즈와; 상기 단축 집광렌즈와 이격하며 위치하는 대물렌즈와; 상기 대물렌즈와 이격하며 위치하는 슬릿과; 바(bar) 형태를 가지며, 상기 레이저 빔의 일부를 차단하는 구조물을 포함한다.
이때, 상기 제 1 및 제 2 호모지나이저는 그 단면이 타원기둥인 형태를 갖는 다수의 렌즈가 나란하게 배열된 구조를 갖는 것이 특징이며, 상기 바(bar) 형태의 구조물은 상기 제 1 또는 제 2 호모나이저를 구성하는 상기 다수의 렌즈와 나란하도록 배치되는 것이 특징이다. 또한, 상기 바(bar) 형태의 구조물은 직사각기둥 형태이며, 이때, 상기 바(bar) 형태의 구조물의 폭은 상기 제 1 또는 제 2 호모지나이저의 다수의 렌즈 각각의 폭에 비례하여 조정되는 것이 특징이다.
또한, 상기 바(bar) 형태의 구조물 양 끝단을 고정시키는 클램프와; 상기 클 램프가 장착되며 상기 클램프를 상하로 이동시키는 볼 스크류와; 상기 볼 스크류를 고정시키는 사각 프레임을 더욱 포함한다.
또한, 상기 바(bar) 형태의 구조물은 탄소강으로 이루어진 것이 특징이며, 상기 클램프와, 볼 스크류와, 사각 프레임은 금속재질로 이루어진 것이 특징이다.
또한, 상기 바(bar) 형태의 구조물은, 상기 제 1, 2 호모지나이저 사이 또는
상기 제 2 호모지나이저와 단축 집광렌즈 사이 또는 상기 단축 집광렌즈와 대물렌즈 사이 중 적어도 하나 이상의 어느 하나의 위치에 배치되는 것이 특징이며, 상기 바(bar) 형태의 구조물은, 그 앞에 위치하는 제 1, 2 호모지나이저 또는 상기 단축 집광렌즈의 초점거리에 위치하는 것이 특징이며, 상기 바(bar) 형태의 구조물은, 상기 슬릿을 기준으로 그 상측 또는 그 하측에 위치한 것이 특징이다.
또한, 상기 슬릿을 통과하여 나오는 레이저 빔은, 기울어진 표면의 펄스파 형태인 것이 특징이다.
이하 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 특정 형상의 펄스파 형태를 갖는 레이저 빔 조사가 가능한 레이저 조사 장치의 내부 구조를 간략히 도시한 단면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 레이저 조사 장치에 장착되는 구조물의 사시도이며, 도 6은 본 발명에 따른 레이저 조사 장치에 장착되는 제 1 또는 제 2 호모지나이저의 사시도이다. 이때 도 5는 구조물이 제 1, 2 호모지나이저 사이에 위치한 것을 일례로써 나타내고 있다.
도시한 바와같이, 본 발명에 따른 레이저 조사장치(101)는, 빔의 진행방향에 따라 뾰족한 펄스파 형태의 레이저 빔(LB1)을 발생시키는 레이저 빔 발생장치(110)와, 상기 레이저 빔이 진행되는 방향으로 그 단면은 타원형 형태이고 전체적으로는 긴 바(bar) 형태를 가지고 제 1 폭(w1)을 갖는 다수의 단축렌즈(117)가 위에서 아래로 배열되어 판 형태를 이루는 구성을 갖는 제 1 호모지나이저(115)와, 이와 소정간격 이격하여 소정 폭(w2)을 갖는 바(bar) 형태의 구조물(155)이 상기 제 1 호모지나이저(115)의 하나의 단축렌즈(117)의 길이 방향으로 나란하게 구성되어 있으며, 이러한 구조물(155)과 이격하여 상기 제 1 호모나이저(115)와 마주하며 이와 동일 또는 유사한 구성을 갖는 제 2 호모나이저(120)가 구성되어 있다.
또한, 상기 제 2 호모지나이저(120)와 이격하여 단축 집광렌즈(125)가 위치하고 있으며, 상기 단축 집광렌즈(125)와 이격하여 순차적으로 대물렌즈(130)와 슬릿(135)이 구성되고 있다.
이때 상기 바(bar) 형태의 구조물(155)은 다른 부분을 통과한 레이저 빔에 영향을 안주기 위해 상기 제 1 호모지나이저(115)의 초점거리에 위치하는 것이 특징이며, 상기 구조물(155)은 본 실시예에 있어서는 상기 제 1, 2 호모지나이저(115, 120) 사이에 위치하고 있는 것을 일례로 보이고 있으나, 상기 구조물(155)은 단축 집광렌즈(125)와 상기 제 2 호모지나이저(120) 사이에 위치할 수도 있으며, 단축 집광렌즈(125)와 대물렌즈(130) 사이에 위치할 수도 있다. 또한 도면에 나타내지는 않았지만, 상기 하나의 구조물(155)만이 아니라 다수 개 설치될 수도 있다. 이때, 제 1 구조물은 제 1, 2 호모지나이저 사이에, 제 2 구조물은 제 2 호 모지나이저와 단축 집광렌즈 사이 또는 단축 집광렌즈와 대물렌즈 사이에 위치하도록 구성할 수도 있다.
이때 상기 구조물(155)의 각 영역에서의 위치는 상기 슬릿(135)을 기준으로 즉 중앙부를 기준으로 그 상측 또는 하측으로 치우쳐 위치하는 것이 특징이다. 이는 상기 슬릿(135)에 대응하여 이와 마주하는 형태로 상기 구조물(155)을 배치하게 되면, 그 에너지 밀도만이 조금 감소한 형태로 상기 구조물(155) 없이 진행한 레이저 빔의 파형 즉 플랫한 표면의 펄스파 형태의 레이저 빔이 만들어지기 때문이다.
한편, 뾰족한 펄스파 형태의 레이저 빔(LB1)이 상기 구조물(155)없이 제 1, 2 호모지나이저(115, 120)와 단축 집광렌즈(125)와 대물렌즈(130) 및 슬릿(135)을 통과하게 되면 레이저 빔이 조사되는 영역 전체에 비교적 동일한 에너지 밀도를 갖는 것을 특징으로 하는 표면이 플랫한 상태의 펄스파 형태로 바뀌게 되지만, 본 발명에 따른 구조물(155)을 포함하는 구성을 갖는 레이저 조사장치(101)는 상기 구조물(155)에 의해 상기 제 1 또는 제 2 호모지나이저(115, 120)에 의해 다수로 나뉘어진 빔 중 일부의 레이저 빔을 가리는 형태가 되며, 이러한 구조물(155)의 작용에 의해 최종적으로 상기 슬릿(135)을 통해 나오는 레이저 빔(LB2)의 파형은 도시한 바와 같이 그 표면이 플랫하며 일측으로 기울어진 펄스파 형태가 된다.
본 발명에 매우 중요한 구성요소인 레이저 빔의 일부를 차단하는 역할을 하는 구조물의 구조에 대해 설명한다.
도 7은 본 발명에 따른 레이저 조사 장치에 장착되는 구조물을 레이저 빔이 조사되는 부분에서 바라본 정면도이다. 이때, 제 1 호모지나이저 또한 함께 도시하 였다.
도시한 바와같이, 상기 구조물(155)은 금속재질 예를들면 탄소강으로 이루어지고 있으며, 소정의 두께와 폭(w2)을 가지며, 그 단면이 직사각형을 이루는 직사각기둥을 형태를 이루고 있으며, 이때 상기 제 1 호모지나이저(115)와 마주하는 부분에 있어 그 상하폭(w2)은 상기 제 1 호모지나이저(155)의 단축렌즈(117)의 폭(w1)의 크기에 비례하여 조절될 수 있다. 즉 단축렌즈(117)의 제 1 폭(w1)이 커지면 상기 구조물(155)의 상하간 폭(w2)도 커지고, 상기 단축렌즈(117)의 제 1 폭(w1)이 작아지면 상기 구조물(155)의 상하간 폭(w2)도 작아지게 된다.
또한, 상기 구조물(155)의 좌우폭 즉 길이(l2)는 상기 제 1 호모지나이저(115)의 길이(l1)보다는 길게 형성되어야 하며, 상기 구조물(155)의 양끝단은 착탈가능한 클램프(165) 등에 의해 고정되고 있으며, 상기 클램프(165)는 이를 상하방향으로 이동시킬 수 있는 긴 축을 갖는 볼 스쿠류(170)에 체결되고 있으며, 상기 볼 스쿠류(170)를 회전시킴으로써 상기 클램프(165) 및 이에 고정된 구조물(155)은 상하고 상기 볼 스쿠류(170)의 축을 따라 상하로 이동하도록 구성되고 있다.
또한, 상기 구조물(155) 양 끝단에 고정시키는 클램프(165)를 각각 체결한 볼 스크류(170)는 사각 프레임(160)에 의해 고정되고 있다.
이때, 상기 사각프레임(160) 및 볼 스쿠류(170)와 클램프(165)는 모두 금속재질로 이루어진 것이 특징이다.
이는 상기 구조물(155)은 레이저 빔(LB1) 일부의 진행을 차단하게 됨으로써 상기 레이저 빔(LB1)이 가진 에너지를 고스란히 받아들이게 되며, 이러한 에너지는 상기 구조물(155) 내에서 열에너지로 전환됨으로써 매우 높은 온도까지 상승되며 따라서, 높은 온도에 비교적 변형없이 견딜 수 있으며, 열에너지를 공기중으로 빨리 방출시키기 위해서는 금속재질로 형성되는 것이 가장 바람직하기 때문이다.
또한, 구조물(155)이 가열됨으로써 상기 클램프(165) 및 볼 스쿠류(170) 등으로 전도되므로 상기 구조물 이외의 이를 고정 시키기 위한 구성요소 또한 금속재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
이러한 구조물(155)을 포함하는 사각 프레임(160)은 상기 사각프레임(160)으로 둘러싸인 영역(A)이 상기 제 1, 2 호모지나이저(115, 120) 및 다수의 렌즈(125, 130) 등의 크기보다 큰 면적을 가짐으로써 상기 제 1, 2 호모지나이저(115, 120) 및 렌즈(125, 130)를 통과하는 레이저 빔(LB1)이 상기 바(bar) 형태의 구조물(155) 이외에 상기 사각프레임(160)이나 클램프(165)에 의해 가려지지 않도록 충분히 크게 형성되는 것이 특징이다.
이러한 구조물(155)을 포함하는 사각 프레임(160)을 상기 제 1, 2 호모지나이저(155, 120) 사이 또는 제 2 호모지나이저(120)와 단축 집광렌즈(125) 사이 또는 단축 집광렌즈(125)와 대물렌즈(130) 사이에 각 렌즈의 레이저 빔(LB1)의 진행방향으로의 초점거리에 상기 구조물(155)이 위치하도록 구성함으로써 일측으로 기울어진 표면을 갖는 펄스파 형태의 레이저 빔(LB2)이 나오도록 할 수 있는 것이다.
도 8은 본 발명에 따른 레이저 장치를 통해 레이저 빔을 소정간격 이격하며 연속적으로 조사했을 때의 레이저 빔의 파형을 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 플랫한 표면을 가지며 일측으로 기울어진 펄스파가 연속 하여 중첩하며 형성되고 있으며, 레이저 빔 조사장치의 특성 상 중간에 갑자기 에너지 증폭이 이루어져 그 펄스의 높이가 큰 파형(B)을 형성되고 있음을 알 수 있다.
하지만, 본 발명에 따른 레이저 조사의 경우, 펄스파의 형태가 일측으로 기울어진 형태가 되고 있는 바, 실질적으로 평균적인 펄스파 표면의 높이 대비 상기 갑자기 증폭된 부분은 하나의 펄스파가 차지하는 면적대비 작은 면적이 되고 있는 바, 즉, 점선으로 도시한 종래와 같이 플랫한 표면을 갖는 펄스파가 평균적인 펄스파 높이로부터 그 외부에 형성되는 펄스파가 이루는 면적대비 평균적인 펄스파 높이로부터 그 외부로 형성되는 부분의 면적이 훨씬 줄어들게 됨으로써 이렇게 갑작스런 에너지 증폭이 이루어진 레이저 빔 조사에 의한 악영향을 최소화 할 수 있는 것이다.
따라서, 레이저 장비의 안정성 이상에 의해 증폭된 에너지 밀도를 갖는 레이저 빔이 조사된 부분은 평균적인 에너지 밀도보다 높은 에너지 밀도를 갖게 되지만, 실질적으로 높은 에너지 밀도를 갖는 부분은 전술한 바와 같이 펄스파 자체의 기울어진 형태에 의해 줄어들게 되며, 또한 이후에 평균적인 에너지 밀도를 가지며 조사되는 레이저 빔에 의해 어느 정도 보상이 되므로 더욱더 악영향을 줄일 수 있는 것이 특징이다.
이때, 상기 레이저 빔이 중첩 조사되는 면적에 있어서도 플랫한 표면을 갖는 펄스파를 갖는 레이저 빔을 조사하는 종래의 레이저 빔 조사장치의 경우, 비 정상적인 에너지 밀도를 갖는 레이저 빔 조사에 의한 영향을 줄이고자 그 중첩면적을 매우 크게 즉 레이저 빔 간의 이격간격을 좁게 형성하고 있지만, 본 발명에 따른 레이저 조사 장치의 경우, 레이저 빔 파형 특성상 레이저 조사의 중첩면적을 작게 할수록 즉 레이저 빔 간의 이격간격을 넓게 할수록 비정상적으로 증폭된 에너지 밀도를 가지며 레이저 빔이 조사된 영역이 받은 에너지량은 더욱 평균적인 에너지 밀도와 근접하게 되므로, 레이저 빔의 중첩 조사 간격을 종래대비 크게 형성함으로써 보상이 이루어지도록 하게 된다. 이 경우, 레이저 빔 조사 간격의 크기를 크게함으로써 결정화 공정 진행 속도를 향상시키는 효과를 갖게 된다.
이러한 플랫하며 일측으로 기울어진 펄스파 형태의 레이저 빔 조사가 가능한 본 발명에 따른 레이저 조사 장치를 이용하여 기판상의 비정질 실리콘층의 결정화를 진행할 경우, 그 에너지 밀도가 증폭된 레이저 빔 조사에 의한 줄무늬 얼룩 발생을 저감시킬 수 있게 된다.
본 발명에 따른 레이저 조사 장치를 이용하여 레이저 빔 조사에 의한 결정화를 진행할 경우, 플랫하며 일측으로 기울어진 펄스파 형태를 갖는 레이저 빔 조사가 가능함으로써 갑작스런 에너지 증폭에 따른 레이저 빔이 조사되는 경우 이의 영향을 최소화하는 효과가 있다.
또한, 평균적인 에너지 밀도보다 높은 비정상적인 에너지 밀도를 갖는 레이저 빔이 조사되더라도 이에 의한 조사된 부분에서의 에너지 밀도차이에 의한 영향이 최소화됨으로써 레이저 조사장치 자체의 안정성 및 신뢰성을 향상시키는 효과를 갖는다.
레이저 빔 조사에 의한 결정화의 안정성을 향상시킴과 동시에 레이저 결정화에 따른 줄무늬 현상을 최소화하는 효과가 있다.
또한, 결정화 진행 시 조사되는 레이저 빔 간격을 작게 함으로써 결정화 공정 진행 속도를 향상시키는 효과가 있다.

Claims (12)

  1. 레이저 빔을 출사하는 레이저 빔 발생장치와;
    상기 레이저 발생장치 전면에 위치한 제 1 호모지나이저와;
    상기 제 1 호모지나이저와 이격하며, 상기 레이저 발생장치와 서로 마주하며 위치한 제 2 호모지나이저와;
    상기 제 2 호모지나이저와 이격하며 위치하는 단축 집광렌즈와;
    상기 단축 집광렌즈와 이격하며 위치하는 대물렌즈와;
    상기 대물렌즈와 이격하며 위치하는 슬릿과;
    바(bar) 형태를 가지며, 상기 레이저 빔의 일부를 차단하는 구조물을 포함하는 레이저 빔 조사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 호모지나이저는 그 단면이 타원기둥인 형태를 갖는 다수의 렌즈가 나란하게 배열된 구조를 갖는 것이 특징인 레이저 빔 조사장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 바(bar) 형태의 구조물은 상기 제 1 또는 제 2 호모나이저를 구성하는 상기 다수의 렌즈와 나란하도록 배치되는 것이 특징인 레이저 빔 조사장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 바(bar) 형태의 구조물은 직사각기둥 형태인 레이저 빔 조사장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 바(bar) 형태의 구조물의 폭은 상기 제 1 또는 제 2 호모지나이저의 다수의 렌즈 각각의 폭에 비례하여 조정되는 것이 특징인 레이저 빔 조사장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 바(bar) 형태의 구조물 양 끝단을 고정시키는 클램프와;
    상기 클램프가 장착되며 상기 클램프를 상하로 이동시키는 볼 스크류와;
    상기 볼 스크류를 고정시키는 사각 프레임
    을 더욱 포함하는 레이저 빔 조사장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 바(bar) 형태의 구조물은 탄소강으로 이루어진 것이 특징인 레이저 빔 조사장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 클램프와, 볼 스크류와, 사각 프레임은 금속재질로 이루어진 것이 특징인 레이저 빔 조사장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 바(bar) 형태의 구조물은,
    상기 제 1, 2 호모지나이저 사이 또는
    상기 제 2 호모지나이저와 단축 집광렌즈 사이 또는
    상기 단축 집광렌즈와 대물렌즈 사이
    중 적어도 하나 이상의 어느 하나의 위치에 배치되는 것이 특징인 레이저 빔 조사장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 바(bar) 형태의 구조물은,
    그 앞에 위치하는 제 1, 2 호모지나이저 또는 상기 단축 집광렌즈의 초점거리에 위치하는 것이 특징인 레이저 빔 조사장치.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 바(bar) 형태의 구조물은, 상기 슬릿을 기준으로 그 상측 또는 그 하측에 위치한 것이 특징인 레이저 빔 조사장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 슬릿을 통과하여 나오는 레이저 빔은, 기울어진 표면의 펄스파 형태인 것이 특징인 레이저 빔 조사장치.
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