KR20080061496A - Apparatus for fabricating light emitting display device - Google Patents

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Abstract

An apparatus for fabricating a light emitting display device is provided to improve process efficiency by reducing a process of welding a mask to a mask frame and minimizing a color blending error on a light emitting display panel. An apparatus for fabricating a light emitting display device includes a container, a substrate, a mask(20), a plurality of clamps(10), a plurality of cables(70), a support frame(30), and a plurality of motors(40). The container contains a deposition material. The mask is disposed between the container and the substrate, and selectively passes the deposition material so that the deposition material is deposited on the substrate. The clamps are connected to an edge of the mask. The cables are connected to the clamps. The support frame supports the cables. The motors prevent the mask from dropping by pulling the cables supported on the support frame.

Description

발광 표시장치의 제조장치{APPARATUS FOR FABRICATING LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE}Manufacturing apparatus for light emitting display device {APPARATUS FOR FABRICATING LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE}

도 1은 종래의 마스크를 지지 프레임을 나타낸 도면.1 is a view showing a frame supporting a conventional mask.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치를 개략적으로 나타낸 도면. 2 is a schematic view of a manufacturing apparatus of a light emitting display device according to an embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치가 마스크에 설치된 것을 나타낸 도면.3 is a view illustrating a manufacturing apparatus of a light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention installed in a mask;

도 4는 본 발명의 발광 표시장치의 제조장치에 적용되는 클램프를 확대하여 나타낸 도면.4 is an enlarged view of a clamp applied to a manufacturing apparatus of a light emitting display device of the present invention.

도 5a 내지 도 5b는 본 발명의 발광 표시장치의 제조장치를 이용한 증착과정을 나타낸 도면.5A to 5B illustrate a deposition process using a manufacturing apparatus of a light emitting display device of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호설명 ><Explanation of Signs of Major Parts of Drawings>

10 : 클램프 20 : 마스크10: clamp 20: mask

20a : 클램핑 영역 20b : 패턴 형성부20a: clamping area 20b: pattern forming portion

30 : 지지 프레임 40 : 모터30: support frame 40: motor

50 : 개구부 60 : 기판 50: opening 60: substrate

70 : 케이블 80 : 투명전극70 cable 80 transparent electrode

90 : 용기 100 : 증착물질90 container 100 vapor deposition material

110 : 스크류110: screw

본 발명은 마스크 프레임에 마스크를 용접하지 않고 마스크의 처짐을 방지할 수 있도록 한 발광 표시장치의 제조장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for manufacturing a light emitting display device which can prevent sagging of a mask without welding the mask to the mask frame.

최근 다양한 정보를 화면으로 구현해 주는 다양한 표시 장치들 중 종이와 같이 박막화가 가능한 발광 표시장치(Light Emitting Display Device)가 주목받고 있다. 발광 표시장치는 전극 사이의 얇은 발광층을 이용한 자발광 소자로 액정 표시장치와 비교하여 저소비전력, 박형, 자발광 등의 장점을 갖고 있다.Recently, among various display devices that implement various information as screens, a light emitting display device that can be thinned like a paper has attracted attention. The light emitting display device is a self-light emitting device using a thin light emitting layer between electrodes and has advantages such as low power consumption, thinness, and self-luminous light compared to a liquid crystal display device.

이러한, 발광 표시장치의 기판은 점점 대형화되면서 대형 마스크를 사용하게 되는데, 이때, 사용되는 대형 마스크는 한장의 마스크로 형성할 수 없기 때문에 두장 이상의 마스크를 서로 연결시키기 위해 용접하는 방식을 사용하고 있다. As the substrate of the light emitting display device becomes larger and larger, a large mask is used. In this case, since the large mask to be used cannot be formed as a single mask, a welding method is used to connect two or more masks to each other.

또한, 도 1을 참조하면, 상기와 같이 연결된 마스크(1)는 마스크 공정을 진행하기 위해 다시 마스크 프레임(2)에 용접되는 공정을 거치게 된다.In addition, referring to FIG. 1, the mask 1 connected as described above is subjected to a process of being welded to the mask frame 2 again in order to proceed with a mask process.

그러나, 대형화된 마스크를 용접하여 사용하는 방식은 마스크가 용접된 마스크 프레임 외곽 부위에서는 팽팽하게 당겨지지만, 마스크의 중앙 부위는 중력의 방향으로 처짐 현상이 발생한다. 또한, 마스크와 마스크가 연결되는 용접부위(3)에서는 마스크 재료의 특성에 의해 마스크가 변형되는 문제점이 발생하게 된다.However, in the method of welding a large-sized mask by welding, the mask is pulled taut at the outer portion of the mask frame to which the mask is welded, but the central portion of the mask sags in the direction of gravity. In addition, a problem arises in that the mask is deformed due to the properties of the mask material in the welding portion 3 to which the mask is connected.

따라서 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 마스크 프레임에 용접하지 않고 대형 마스크의 처짐을 방지할 수 있도록 한 발광 표시장치의 제조장치를 제공하는데 있다.Accordingly, in order to solve the above problems, the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a light emitting display device which can prevent sagging of a large mask without welding to a mask frame.

상기와 같은 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 본 발명의 발광 표시장치의 제조장치는 증착물질이 저장된 용기와; 상기 용기 상에 배치되는 기판과; 상기 용기와 상기 기판 사이에 배치되어 상기 증착물질이 상기 기판에 증착되도록 선택적으로 통과시키는 마스크와; 상기 마스크의 가장자리에 접속되는 복수의 클램프와; 상기 각 클램프에 접속된 복수의 케이블과; 상기 케이블을 지지하는 지지 프레임과; 및 상기 지지 프레임에 지지된 상기 각 케이블을 잡아당겨 상기 마스크의 처짐을 방지하는 복수의 모터를 포함하여 구성된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a manufacturing apparatus of a light emitting display device including: a container in which a deposition material is stored; A substrate disposed on the container; A mask disposed between the container and the substrate to selectively pass the deposition material onto the substrate; A plurality of clamps connected to edges of the mask; A plurality of cables connected to the respective clamps; A support frame for supporting the cable; And a plurality of motors which pull each of the cables supported by the support frame to prevent sagging of the mask.

상기 마스크는 상기 증착물질이 통과하는 복수의 개구부와; 상기 마스크의 가장자리에 형성된 클램핑 영역을 포함하여 구성되는 것을 특징한다.The mask includes a plurality of openings through which the deposition material passes; And a clamping region formed at an edge of the mask.

상기 복수의 클램프 각각은 상기 마스크의 각 변의 더미영역에 설치되는 것을 특징으로 한다.Each of the plurality of clamps is provided in a dummy region of each side of the mask.

상기 복수의 클램프 각각은 스크류에 의해 상기 마스크의 각 변의 더미영역에 설치되는 것을 특징으로 한다.Each of the plurality of clamps is installed in a dummy region of each side of the mask by a screw.

상기 지지 프레임은 상기 마스크의 형태에 대응되는 개구부와; 상기 각 케이블을 지지하는 지지부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The support frame may include an opening corresponding to the shape of the mask; It characterized in that it comprises a support for supporting each cable.

이하, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings and embodiments.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 3은 본 발명의 발광 표시장치의 제조장치를 나타낸 도면이다.2 is a view schematically illustrating an apparatus for manufacturing a light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a view illustrating an apparatus for manufacturing a light emitting display device of the present invention.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치는 증착물질(100)이 저장된 용기(90)와; 용기(90) 상에 배치되는 기판(60)과; 용기(90)와 기판(60) 사이에 배치되어 증착물질(100)이 기판(60)에 증착되도록 선택적으로 통과시키는 마스크(20)와; 마스크(20)의 가장자리에 접속되는 복수의 클램프(10)와; 각 클램프(10)에 접속된 복수의 케이블(70)과; 케이블(70)을 지지하는 지지 프레임(30)과; 및 지지 프레임(30)에 지지된 각 케이블(70)을 잡아당겨 마스크(20)의 처짐을 방지하는 복수의 모터(40)를 포함하여 구성된다.2 and 3, an apparatus for manufacturing a light emitting display device according to an embodiment of the present invention includes: a container 90 in which a deposition material 100 is stored; A substrate 60 disposed on the container 90; A mask 20 disposed between the vessel 90 and the substrate 60 to selectively pass the deposition material 100 onto the substrate 60 for deposition; A plurality of clamps 10 connected to edges of the mask 20; A plurality of cables 70 connected to the respective clamps 10; A support frame 30 for supporting the cable 70; And a plurality of motors 40 that pull each cable 70 supported by the support frame 30 to prevent sagging of the mask 20.

용기(90)는 마스크(20) 하부에 각각의 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 증착물질(100)이 수용된 복수개의 용기(90)가 소정간격 이격되어 순차적으로 설치될 수 있다. 이러한, 각각의 용기(90)는 상부쪽에 개구부가 있으며, 이 개구부를 통해 용기(90)에 수용된 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 증착물질(100)이 증착하게 된다.The container 90 may be sequentially installed with a plurality of containers 90 containing the respective red (R), green (G), and blue (B) deposition materials 100 under the mask 20 at predetermined intervals. have. Each of the vessels 90 has an opening at an upper side through which the deposition material 100 of red (R), green (G), and blue (B) received in the vessel 90 is deposited.

또한, 용기(90)는 도시하지 않은 저항들로 감싸이게 된다. 이때, 저항은 외부로부터 전압을 공급받아 용기(90)에 수용된 증착물질(100)을 가열시켜 승화시킨다.In addition, the container 90 is wrapped with resistors not shown. At this time, the resistor is sublimed by heating the deposition material 100 accommodated in the container 90 receives a voltage from the outside.

기판(60)에는 전자 빔 증착, 스퍼터링 증착, 화학 반응법 등에 의해 투명전극(80)이 형성된다. 이때, 투명전극(80)은 산화 주석, 산화 아연, 산화 인듐, 산화 주석인듐(Indium Tin Oxide; ITO) 등으로 형성될 수 있다.The transparent electrode 80 is formed on the substrate 60 by electron beam deposition, sputter deposition, or a chemical reaction method. In this case, the transparent electrode 80 may be formed of tin oxide, zinc oxide, indium oxide, indium tin oxide (ITO), or the like.

마스크(20)는 지지 프레임(30) 내부에 위치하고, 마스크 패턴(20a)과 클램핑 영역(20b)으로 형성된다. 이때, 마스크(20)는 이를 위해 스테인레스 철, 구리 합금, 니켈 합금, 알루미늄 합금 등의 금속 재료, 공지된 수지 재료, 폴리비닐계, 폴리이미드계, 폴리스티렌계, 아크릴계, 노르볼락계, 실리콘계 등의 폴리머에 감광성을 부여한 감광성 수지 등의 재료로 제작된다.The mask 20 is positioned inside the support frame 30 and is formed of the mask pattern 20a and the clamping region 20b. At this time, the mask 20 is made of a metal material such as stainless iron, copper alloy, nickel alloy, aluminum alloy, known resin material, polyvinyl, polyimide, polystyrene, acrylic, novolac, silicon It is produced from materials, such as photosensitive resin which provided the photosensitive property to a polymer.

마스크 패턴(20a)은 증착물질이 통과하는 복수의 개구부(50)로 형성된다. 이때, 마스크 패턴(20a)은 투명전극(80) 상에 일정한 패턴인 개구부(50)를 통해 증착물질(100)이 증착되도록 하는 역할을 한다.The mask pattern 20a is formed of a plurality of openings 50 through which the deposition material passes. In this case, the mask pattern 20a serves to deposit the deposition material 100 through the opening 50 which is a predetermined pattern on the transparent electrode 80.

클램핑 영역(20b)은 마스크(20)의 외곽에 형성되어 복수의 클램프(20)가 클램핑 된다.The clamping region 20b is formed outside the mask 20 to clamp the plurality of clamps 20.

클램프(20) 각각은 마스크(20)의 장변과 단변에 형성된 클램핑 영역(20b)을 일정 간격으로 클램핑한다. 여기서, 복수의 클램프(10) 각각은 도 4에 도시된 바와 같이, 마스크(20)의 두께에 대응되도록 "U"자 형태를 갖는다. 이러한 복수의 클램프(10) 각각은 스크류(110)에 의해 마스크(20)의 클램핑 영역(20b)에 설치한다.Each of the clamps 20 clamps the clamping regions 20b formed on the long and short sides of the mask 20 at regular intervals. Here, each of the plurality of clamps 10 has a “U” shape so as to correspond to the thickness of the mask 20, as shown in FIG. 4. Each of the plurality of clamps 10 is installed in the clamping region 20b of the mask 20 by a screw 110.

케이블(70)은 클램프(20)와 모터(40) 사이에 설치되어 모터(40)에서 발생된 동력을 마스크(20)에 설치된 클램프(10)에 전달하도록 형성된다.The cable 70 is installed between the clamp 20 and the motor 40 so as to transmit power generated by the motor 40 to the clamp 10 installed in the mask 20.

지지 프레임(30)은 마스크(20)의 형태에 대응되는 개구부와 케이블(70)을 지지하는 지지부로 구성된다. 이때, 지지 프레임(30)의 재질은 통상 스테인레스, 강철, 알루미늄과 같은 금속 및 금속의 합금이나, 폴리카보네이트 등과 같은 기능성 폴리머 등을 상용할 수 있으나, 열 변형이 적은 니켈 합금(Invar)을 사용하면 더 좋다.The support frame 30 includes an opening corresponding to the shape of the mask 20 and a support for supporting the cable 70. At this time, the material of the support frame 30 may be commonly used alloys of metals and metals such as stainless steel, steel, aluminum, functional polymers such as polycarbonate, etc., but using a nickel alloy (Invar) with less thermal deformation much better.

복수의 모터(40)는 마스크(20)의 중앙부가 처지지 않도록 클램프(10)에 연결된 케이블(70)을 잡아당기기 위한 동력을 발생하도록 형성된다. 이때, 복수의 모터(40)는 마스크(20)를 클램핑하고 있는 복수의 클램프(20) 각각에 연결된 케이블(70)을 잡아당김으로써 마스크(20)의 처짐을 방지할 수 있다.The plurality of motors 40 are formed to generate power for pulling the cable 70 connected to the clamp 10 so that the center portion of the mask 20 does not sag. In this case, the plurality of motors 40 may prevent sagging of the mask 20 by pulling cables 70 connected to each of the plurality of clamps 20 clamping the mask 20.

도 5a 내지 도 5b를 참조하여 마스크 처짐 방지 장치가 마스크를 잡아당기고 증착물질이 증착되는 과정을 나타낸 도면이다.5A to 5B, a mask sagging prevention device pulls a mask and illustrates a process of depositing a deposition material.

먼저, 도 5a를 참조하면, 기판(60)에 대향되어 중앙부가 중력의 방향으로 쳐저 있는 대형화된 마스크(20)를 마스크(20)의 형태에 대응되는 지지 프레임(30)의 개구부에 정렬한다.First, referring to FIG. 5A, the enlarged mask 20, which is opposed to the substrate 60 and struck in the direction of gravity, is aligned with the opening of the support frame 30 corresponding to the shape of the mask 20.

이어, 클램프(10)는 정렬된 마스크(20)의 클램핑 영역(20b)에 클램핑한다.The clamp 10 then clamps to the clamping region 20b of the aligned mask 20.

이어, 모터(40)는 클램프(10)와 연결된 케이블(70)에 동력을 전달하여 도 5b에서와 같이, 기판(60)과 평행하도록 마스크(20)를 잡아당긴다.Subsequently, the motor 40 transmits power to the cable 70 connected to the clamp 10 and pulls the mask 20 in parallel with the substrate 60 as shown in FIG. 5B.

이어, 마스크(20) 하부에 설치에서 증착물질(100)을 담고있는 용기(90)는 용기(90)를 감싸고 있는 저항에 의해 가열되게 된다. 이때, 용기(90)에 수용된 증착물질(100)은 상온에서는 증발되지 않고 일정한 온도 대략 200℃에서 증발한다.Subsequently, in the installation below the mask 20, the container 90 containing the deposition material 100 is heated by the resistance surrounding the container 90. At this time, the deposition material 100 contained in the container 90 is not evaporated at room temperature, but evaporated at a constant temperature of approximately 200 ° C.

이어, 저항에 의해 가열된 용기(90)에서 증발되는 증착물질(100)은 분자 또는 원자 상태로 증발된다. 따라서, 기판(60)과 용기(90) 사이에 설치된 마스크(30)의 개구부(50)를 통과한 증착물질(100)만이 상대적으로 온도가 낮은 기판(60)의 투 명전극(80) 상에 증착된다.Subsequently, the deposition material 100 that is evaporated in the container 90 heated by the resistance is evaporated in a molecular or atomic state. Therefore, only the deposition material 100 passing through the opening 50 of the mask 30 provided between the substrate 60 and the container 90 is on the transparent electrode 80 of the substrate 60 having a relatively low temperature. Is deposited.

따라서, 마스크의 처짐을 방지하기 위해 종래의 마스크 프레임에 마스크를 용접했던 방식에서 용접하는 공정을 줄여 공정의 효율을 높일 수 있다.Therefore, in order to prevent sagging of the mask, the process of welding the mask in the method of welding the mask to the conventional mask frame can be reduced, thereby increasing the efficiency of the process.

또한, 대형화된 마스크의 처짐을 방지하여 발광 표시패널에서 발생하는 혼색 불량 발생을 최소화할 수 있다.In addition, the sagging of the enlarged mask may be prevented to minimize the occurrence of mixed color defects occurring in the light emitting display panel.

한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.On the other hand, the present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, it is possible that various substitutions, modifications and changes within the scope without departing from the technical spirit of the present invention It will be apparent to those skilled in the art.

상기와 같은 본 발명의 실시 예에 따른 발광 표시장치의 제조장치는 마스크 프레임에 마스크를 용접하는 공정을 줄여 공정의 효율을 높이고, 마스크의 처짐을 방지하여 발광 표시패널에서 발생하는 혼색 불량 발생을 최소화할 수 있다.The manufacturing apparatus of the light emitting display device according to the embodiment of the present invention as described above reduces the process of welding the mask to the mask frame, thereby increasing the efficiency of the process and preventing the sagging of the mask to minimize the occurrence of mixed color defects generated in the light emitting display panel. can do.

Claims (5)

증착물질이 저장된 용기와;A container in which the deposition material is stored; 상기 용기 상에 배치되는 기판과;A substrate disposed on the container; 상기 용기와 상기 기판 사이에 배치되어 상기 증착물질이 상기 기판에 증착되도록 선택적으로 통과시키는 마스크와;A mask disposed between the container and the substrate to selectively pass the deposition material onto the substrate; 상기 마스크의 가장자리에 접속되는 복수의 클램프와,A plurality of clamps connected to edges of the mask, 상기 각 클램프에 접속된 복수의 케이블과,A plurality of cables connected to the respective clamps, 상기 케이블을 지지하는 지지 프레임; 및A support frame for supporting the cable; And 상기 지지 프레임에 지지된 상기 각 케이블을 잡아당겨 상기 마스크의 처짐을 방지하는 복수의 모터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조장치And a plurality of motors which pull each of the cables supported by the support frame to prevent sagging of the mask. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 마스크는,The mask is, 상기 증착물질이 통과하는 복수의 개구부가 형성된 마스크 패턴과;A mask pattern having a plurality of openings through which the deposition material passes; 상기 마스크의 가장자리에 형성된 클램핑 영역을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조장치.And a clamping region formed at an edge of the mask. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 복수의 클램프 각각은 상기 마스크의 각 변의 클램핑 영역에 설치되는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조장치.And each of the plurality of clamps is provided in a clamping region of each side of the mask. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 복수의 클램프 각각은 스크류에 의해 상기 마스크의 각 변의 클램핑 영역에 설치되는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조장치.And each of the plurality of clamps is provided in a clamping region of each side of the mask by a screw. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지 프레임은,The support frame, 상기 마스크의 형태에 대응되는 개구부와;An opening corresponding to the shape of the mask; 상기 각 케이블을 지지하는 지지부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 발광 표시장치의 제조장치.And a support part for supporting each of the cables.
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