KR20060102091A - Apparatus for fabricating organic electro luminescence display device - Google Patents

Apparatus for fabricating organic electro luminescence display device Download PDF

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KR20060102091A
KR20060102091A KR1020050023848A KR20050023848A KR20060102091A KR 20060102091 A KR20060102091 A KR 20060102091A KR 1020050023848 A KR1020050023848 A KR 1020050023848A KR 20050023848 A KR20050023848 A KR 20050023848A KR 20060102091 A KR20060102091 A KR 20060102091A
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박종현
탁윤흥
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엘지전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 마스크에 가해지는 스트레스칭의 크기를 용이하게 조절함으로써 신뢰성 있는 마스크를 형성할 수 있는 유기 전계발광표시소자의 제조장치에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for manufacturing an organic electroluminescent display device capable of forming a reliable mask by easily adjusting the size of the stress applied to the mask.

본 발명의 유기 전계발광표시소자의 제조장치는 증착물을 선택적으로 투과시켜 기판 상에 박막을 형성시키기 위한 마스크와; 상기 마스크 주변에 배치되어 상기 마스크를 클램핑(clamping)하는 글리퍼들과; 상기 글리퍼들 각각에 대응되게 배치되어 상기 글리퍼들 각각에 독립적인 동력을 공급하는 동력공급부를 구비하고, 상기 동력공급부는 동력을 발생시키는 모터와; 상기 모터에 연결되어 상기 모터의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼 스크류 박스를 포함하는 것을 특징으로 한다.An apparatus for manufacturing an organic electroluminescent display device of the present invention includes a mask for selectively transmitting a deposit to form a thin film on a substrate; Gliders disposed around the mask to clamp the mask; A power supply unit disposed to correspond to each of the glyphs to supply independent power to each of the glyphs, and the power supply unit to generate power; It is connected to the motor, characterized in that it comprises a ball screw box for converting the rotational movement of the motor into a linear movement.

Description

유기전계발광표시소자의 제조장치{APPARATUS FOR FABRICATING ORGANIC ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY DEVICE} Apparatus for manufacturing organic light emitting display device {APPARATUS FOR FABRICATING ORGANIC ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY DEVICE}

도 1은 종래의 유기 전계발광표시소자의 하나의 픽셀을 나타내는 도면이다. 1 is a view showing one pixel of a conventional organic electroluminescent display device.

도 2는 종래의 유기 전계발광표시소자의 제조장치를 나타내는 도면이다. 2 is a view showing an apparatus for manufacturing a conventional organic electroluminescent display device.

도 3은 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조장치를 나타내는 도면이다.3 is a view showing an apparatus for manufacturing an organic electroluminescent display device according to the present invention.

도 4는 도 3의 하나의 글리퍼와 이에 대응되는 동력전달부 및 동력공급부를 구체적으로 나타내는 도면이다. 4 is a view illustrating in detail one glyph of FIG. 3, a power transmission unit, and a power supply unit corresponding thereto.

도 5는 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조장치를 이용하여 형성된 유기 전계발광표시소자를 나타내는 도면이다.5 is a view showing an organic electroluminescent display formed by using the apparatus for manufacturing an organic electroluminescent display according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>     <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

2,102 : 기판 4,104 : 애노드 전극 2,102: substrate 4,104: anode electrode

108 : 격벽 10,110 : 유기발광층 108: partition 10,110: organic light emitting layer

10c : 발광층 122,112 : 캐소드 전극 10c: light emitting layer 122, 112: cathode electrode

63,163 : 글리퍼 71,171 : 파워트리 레버 63,163: Gripper 71,171: Power Tree Lever

169 : 동력 전달부 167 : 볼 스크류 박스 169: power transmission unit 167: ball screw box

166 : 모터 60,160 : 마스크 166: motor 60160: mask

본 발명은 유기 전계발광표시소자에 관한 것으로, 특히, 마스크에 가해지는 스트레스칭의 크기를 용이하게 조절함으로써 신뢰성 있는 마스크를 형성할 수 있는 유기 전계발광표시소자의 제조장치에 관한 것이다. The present invention relates to an organic electroluminescent display device, and more particularly, to an apparatus for manufacturing an organic electroluminescent display device capable of forming a reliable mask by easily adjusting the size of the stress applied to the mask.

최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시 장치들이 대두되고 있다. 이러한 평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시패널(Plasma Display Panel) 및 유기 전계발광(Electro-Luminescence : 이하, EL이라 함)표시소자 등이 있다. Recently, various flat panel display devices that can reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes, have emerged. Such flat panel displays include a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, and an organic electroluminescence display. Etc.

이들 중 유기EL표시소자는 전자와 정공의 재결합으로 형광체를 발광시키는 자발광 소자로, 그 형광체로 무기 화합물을 사용하는 무기 EL과 유기 화합물을 사용하는 유기 EL로 대별된다. 이러한 EL 표시소자는 액정표시장치와 같이 별도의 광원을 필요로 하는 수동형 발광소자에 비하여 응답속도가 음극선관과 같은 수준으로 빠르다는 장점을 갖고 있다. 또한, EL 표시소자는 저전압 구동, 자기발광, 박막형, 넓은 시야각, 빠른 응답속도, 높은 콘트라스트 등의 많은 장점을 가지고 있어 차세 대 표시 장치로 기대되고 있다. Among these, organic EL display devices are self-luminous devices that emit phosphors by recombination of electrons and holes, and are classified into inorganic ELs using inorganic compounds and organic ELs using organic compounds. Such an EL display device has an advantage that the response speed is as fast as that of a cathode ray tube compared to a passive light emitting device requiring a separate light source such as a liquid crystal display device. In addition, the EL display element has many advantages such as low voltage driving, self-luminous, thin film type, wide viewing angle, fast response speed, high contrast, and the like, and is expected to be the next generation display device.

도 1은 유기EL표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 일반적인 유기EL셀 구조를 도시한 단면도이다. 유기EL셀은 애노드전극(4)과 캐소드전극(12) 사이에 위치하는 유기발광층(10)을 구비하고, 유기발광층(10)은 전자주입층(10a), 전자수송층(10b), 발광층(10c), 정공수송층(10d), 정공주입층(10e)을 구비한다. 1 is a cross-sectional view showing a general organic EL cell structure for explaining the light emission principle of an organic EL display element. The organic EL cell has an organic light emitting layer 10 positioned between the anode electrode 4 and the cathode electrode 12, and the organic light emitting layer 10 includes an electron injection layer 10a, an electron transport layer 10b, and a light emitting layer 10c. ), A hole transport layer 10d, and a hole injection layer 10e.

애노드전극(4)과 캐소드전극(12) 사이에 전압을 인가하면, 캐소드전극(12)으로부터 발생된 전자는 전자주입층(10a) 및 전자수송층(10b)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 또한, 에노드전극(4)으로부터 발생된 정공은 정공주입층(10e) 및 정공수송층(10d)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(10c)에서는 전자수송층(10b)과 정공수송층(10d)으로부터 공급되어진 전자와 정공이 충돌하여 재결합함에 의해 빛이 발생하게 되고, 이 빛은 애노드전극(4)을 통해 외부로 방출되어 화상이 표시되게 한다. When a voltage is applied between the anode electrode 4 and the cathode electrode 12, electrons generated from the cathode electrode 12 move toward the light emitting layer 10c through the electron injection layer 10a and the electron transport layer 10b. In addition, holes generated from the anode electrode 4 move toward the light emitting layer 10c through the hole injection layer 10e and the hole transport layer 10d. Accordingly, in the light emitting layer 10c, light is generated by collision and recombination of electrons and holes supplied from the electron transport layer 10b and the hole transport layer 10d, and the light is emitted to the outside through the anode electrode 4. To display an image.

한편, 종래의 유기 EL표시소자의 발광층(10c)은 그릴마스크를 이용한 열증착 및 진공증착 공정에 의해 형성되며, 이때 이용되는 그릴마스크는 별도의 공정에 의해 제작된 후 마스크 클램프장치를 이용하여 사용자와 원하는 크기로 스트레칭 된 후 마스크 프레임에 고정되어 발광층(10c) 형성시 이용된다. Meanwhile, the light emitting layer 10c of the conventional organic EL display device is formed by a thermal deposition and vacuum deposition process using a grill mask, and the grill mask used at this time is manufactured by a separate process and then used by a mask clamp device. After stretching to the desired size and fixed to the mask frame is used to form the light emitting layer (10c).

도 2는 종래의 유기 EL표시소자의 제조장치 즉, 마스크 클램프 장치의 일부를 나타내는 도면이다. Fig. 2 is a view showing a part of a conventional apparatus for manufacturing an organic EL display element, that is, a mask clamp device.

도 2에 도시된 마스크 클램프 장치(30)는 마스크(60)의 장변 및 단변에 위치하여 상기 마스크(60)를 물어주는 글리퍼(63)와, 마스크(60)를 스트레칭할 수 있도 록 동력을 공급하는 동력공급부(65)를 구비한다. 이러한, 마스크 클램프 장치(30)는 클램프 다이(미도시)에 의해 지지된다. The mask clamp device 30 shown in FIG. 2 is located at the long side and short side of the mask 60 to apply power to the mask 60 and the gripper 63 to stretch the mask 60. The power supply part 65 which supplies is provided. This mask clamp device 30 is supported by a clamp die (not shown).

마스크(60)는 유기 EL표시소자의 발광층(10c) 형성시 이용되는 그릴 마스크로써 유효영역(60a)과 유효영역(60a)을 제외한 비유효영역(60b)을 구비한다. 마스크(60)의 유효영역(60a)에는 R,G,B를 구현하기 위한 발광층(60c)의 형성영역을 선택적으로 투과시키는 어레이영역(P1)이 다수 형성되고, 유효영역(60a)에서의 외곽에는 마스크(60) 스트레칭시 기준을 제공하는 다수의 포인트(61)가 형성된다. 즉, 사용자는 마스크(60)에 표시된 다수의 포인트(61)를 기준으로 마스크(60)의 스트레칭 정도를 설정한 후 이에 대응되는 크기의 힘으로 마스크(60)를 스트레칭시킨다. 비유효영역(60b)은 유효영역(60a)을 제외한 외곽영역으로써 글리퍼(63)에 물리게 되어 스트레칭시 가장 먼저 인장력을 받게 된다. The mask 60 is a grill mask used for forming the light emitting layer 10c of the organic EL display element and includes an effective area 60a and an invalid area 60b except for the effective area 60a. In the effective region 60a of the mask 60, a plurality of array regions P1 for selectively transmitting the formation regions of the light emitting layer 60c for implementing R, G, and B are formed, and the outer edge of the effective region 60a is formed. There are formed a number of points 61 which provide a reference when stretching the mask 60. That is, the user sets the degree of stretching of the mask 60 based on the plurality of points 61 displayed on the mask 60, and then stretches the mask 60 with a force having a corresponding size. The non-effective area 60b is an outer area excluding the effective area 60a so as to be bitten by the glyph 63 so as to receive the tensile force first.

글리퍼(63)는 마스크(60)의 장변에 예를 들어, 10개 정도 배치되고, 단변에는 예를 들어, 8개 정도 배치된다. 또한, 글리퍼(63)에는 글리퍼(63)의 마찰저항을 조정할 수 있는 조정나사가 장착되어 있다. About 10 glippers 63 are arranged on the long side of the mask 60 and about 8 on the short side, for example. The gripper 63 is also equipped with an adjustment screw for adjusting the frictional resistance of the gripper 63.

동력공급부(65)는 상기 마스크(60)의 각 변에 예를 들어, 3개씩 배치되어 동력전달부(69)에 동력을 공급한다, 이러한 동력공급부(65)는 모터 등의 동력발생수단을 포함한다.Three power supply units 65 are disposed on each side of the mask 60, for example, to supply power to the power transmission unit 69. The power supply unit 65 includes power generating means such as a motor. do.

동력전달부(69)는 파워트리(power tree) 레버(71)와 다수의 파워트리 레버(71)의 결합에 의해 이루어지며, 각각의 파워트리 레버(71)는 다수의 브렌치(branch)(72)들의 조합으로 이루어진다. The power transmission unit 69 is formed by a combination of a power tree lever 71 and a plurality of power tree levers 71, and each power tree lever 71 has a plurality of branches 72. ) Is a combination of

한편, 종래의 클램프 장치(30)의 동력전달부(69)를 구성하는 파워트리 레버(71)들은 일지점에 고정되어 있고, 파워리트 레버(71)를 구성하는 브렌치(72)들 또한 고정되게 형성된다. 이에 따라, 동력공급부(65)에서의 동력 공급시 동력전달부(69)는 공급되는 동력을 그대로 글리퍼(63)에 전달하게 됨으로써 마스크(60)에 가해지는 스트레칭력을 조절할 수 없는 문제가 있다. Meanwhile, the power tree levers 71 constituting the power transmission unit 69 of the conventional clamping device 30 are fixed at one point, and the branches 72 constituting the powerlet lever 71 are also fixed. Is formed. Accordingly, when power is supplied from the power supply unit 65, the power transmission unit 69 transmits the power supplied to the gripper 63 as it is, so that the stretching force applied to the mask 60 may not be adjusted. .

또한, 파워트리 레버(71)에 동력을 공급하는 동력 공급부(65)는 글리퍼(63)들의 수보다 현저히 작은 수로 배치된다. 이러한 구조는 대형화와 작업속도 향상에 유리한 구조이지만 각각의 글리퍼(63)에 전달되는 동력을 조절할 수 없으므로 특정 글리퍼(63)에 대응되는 영역에의 스트레칭 집중시 이를 보정할 수 없는 문제가 있다. In addition, the power supply unit 65 for supplying power to the power tree lever 71 is arranged in a significantly smaller number than the number of glyphs 63. Such a structure is advantageous in size and improvement in working speed, but there is a problem in that it is not possible to correct the power when focusing on a region corresponding to a specific gripper 63 because the power transmitted to each gripper 63 cannot be controlled. .

따라서, 본 발명의 목적은 마스크에 가해지는 스트레스칭의 크기를 용이하게 조절함으로써 신뢰성 있는 마스크를 형성할 수 있는 유기 전계발광표시소자의 제조장치를 제공하는 것이다. Accordingly, it is an object of the present invention to provide an apparatus for manufacturing an organic electroluminescent display device, which can form a reliable mask by easily adjusting the magnitude of stress applied to a mask.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조장치는 증착물을 선택적으로 투과시켜 기판 상에 박막을 형성시키기 위한 마스크와; 상기 마스크 주변에 배치되어 상기 마스크를 클램핑(clamping)하는 글리퍼들 과; 상기 글리퍼들 각각에 대응되게 배치되어 상기 글리퍼들 각각에 독립적인 동력을 공급하는 동력공급부를 구비하고, 상기 동력공급부는 동력을 발생시키는 모터와; 상기 모터에 연결되어 상기 모터의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼 스크류 박스를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the manufacturing apparatus of the organic electroluminescent display device according to the present invention comprises a mask for selectively transmitting the deposit to form a thin film on the substrate; Glippers disposed around the mask to clamp the mask; A power supply unit disposed to correspond to each of the glyphs to supply independent power to each of the glyphs, and the power supply unit to generate power; It is connected to the motor, characterized in that it comprises a ball screw box for converting the rotational movement of the motor into a linear movement.

상기 동력공급부와 상기 글리퍼 사이에 배치되어 상기 동력공급부에서의 동력을 상기 글리퍼에 전달하는 동력전달부를 구비하는 것을 특징으로 한다.And a power transmission unit disposed between the power supply unit and the gripper to transfer the power from the power supply unit to the gripper.

상기 마스크는 적색, 녹색 및 청색 중 적어도 어느 하나를 구현하는 발광영역 중 적어도 어느 하나를 선택적으로 노출시키는 것을 특징으로 한다.The mask may be configured to selectively expose at least one of light emitting regions implementing at least one of red, green, and blue.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 3 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 5.

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL표시소자의 제조장치 즉, 마스크 클램프 장치의 일부를 나타내는 도면이다. 3 is a view showing a part of an apparatus for manufacturing an organic EL display device according to an embodiment of the present invention, that is, a mask clamp device.

도 3에 도시된 마스크 클램프 장치(130)는 마스크(160)의 장변 및 단변에 위치하여 상기 마스크(160)를 물어주는 글리퍼(163)와, 마스크(160)를 스트레칭할 수 있도록 동력을 공급하는 동력공급부(165)와, 상기 동력공급부(165)와 글리퍼(63) 사이에 위치하여 상기 동력 공급부(165)에서 공급되는 동력을 글리퍼(63)로 전달하는 동력전달부(169)를 구비한다. 이러한, 마스크 클램프 장치(130)는 클램프 다이(미도시)에 의해 지지된다. The mask clamp device 130 shown in FIG. 3 is located on the long side and short side of the mask 160 to supply power to the glyph 163 and the mask 160 to bite the mask 160. A power transmission unit 169 positioned between the power supply unit 165 and the power supply unit 165 and the gripper 63 to transfer power supplied from the power supply unit 165 to the gripper 63. Equipped. Such a mask clamp device 130 is supported by a clamp die (not shown).

마스크(160)는 유기 EL표시소자의 발광층 형성시 이용되는 그릴 마스크로써 유효영역(160a)과 유효영역(160a)을 제외한 비유효영역(160b)을 구비한다. 마스크(160)의 유효영역(160a)에는 R,G,B를 구현하기 위한 발광층의 형성영역을 선택적으로 투과시키는 어레이영역(P1)이 다수 형성되고, 유효영역(160a)에서의 외곽에는 마스크(160) 스트레칭시 기준을 제공하는 다수의 포인트(161)가 형성된다. 즉, 사용자는 마스크(160)에 표시된 다수의 포인트(161)를 기준으로 마스크(160)의 스트레칭 정도를 설정한 후 이에 대응되는 크기의 힘으로 마스크(160)를 스트레칭시킨다. 비유효영역(160b)은 유효영역(160a)을 제외한 외곽영역으로써 글리퍼(163)에 물리게 되어 스트레칭시 가장 먼저 인장력을 받게 된다. The mask 160 is a grill mask used for forming the light emitting layer of the organic EL display device and includes an effective region 160a and an invalid region 160b except for the effective region 160a. In the effective region 160a of the mask 160, a plurality of array regions P1 for selectively transmitting the formation regions of the light emitting layer for implementing R, G, and B are formed. A mask (a mask) is formed outside the effective region 160a. 160 A number of points 161 are formed that provide a reference during stretching. That is, the user sets the degree of stretching of the mask 160 based on the plurality of points 161 displayed on the mask 160, and then stretches the mask 160 with a force having a corresponding size. The non-effective area 160b is an outer area excluding the effective area 160a and is bitten by the glyph 163 to receive a tensile force first when stretching.

글리퍼(163)는 마스크(160)의 장변에 예를 들어, 10개 정도 배치되고, 단변에는 예를 들어, 8개 정도 배치된다. 또한, 글리퍼(163)에는 글리퍼(163)의 마찰저항을 조정할 수 있는 조정나사가 장착되어 있다. About 10 glippers 163 are disposed on the long side of the mask 160, for example, about 8 on the short side. The gripper 163 is also equipped with an adjustment screw for adjusting the frictional resistance of the gripper 163.

동력공급부(165)는 동력을 발생시키는 모터(166)와, 상기 모터(166)에 연결되며 모터(166)의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼 스크류 박스(167)로 구성되어 있다. The power supply unit 165 includes a motor 166 generating power and a ball screw box 167 connected to the motor 166 and converting a rotational movement of the motor 166 into a linear movement.

동력전달부(169)는 종래의 파워트리(power tree) 레버가 아닌 하나의 브렌치(branch)로 이루어 진다. The power transmission unit 169 is composed of one branch rather than a conventional power tree lever.

즉, 본 발명에서는 동력전달부(169)가 글리퍼(163) 각각과 대응되는 브렌치로 이루어지며, 동력공급부(165) 또한 글리퍼(163)와 일대일(1:1)로 대응되게 배치된다. 이에 따라, 각각의 글리퍼(163)는 하나의 동력전달부(169) 및 동력공급부 (165)에 의해 조절될 수 있게 됨으로써 마스크(160)에 가해지는 스트레스칭의 크기를 용이하게 조절할 수 있게 된다. That is, in the present invention, the power transmission unit 169 is made of a branch corresponding to each of the gripper 163, the power supply unit 165 is also disposed to correspond to the gripper 163 in a one-to-one (1: 1). Accordingly, each gripper 163 may be adjusted by one power transmission unit 169 and the power supply unit 165 to easily adjust the size of the stress applied to the mask 160.

이를 도 4를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. This will be described in detail with reference to FIG. 4 as follows.

도 4는 하나의 글리퍼(163)에 배치되는 동력전달부(169) 및 동력공급부(165)를 구체적으로 도시한 도면이다. FIG. 4 is a view illustrating in detail the power transmission unit 169 and the power supply unit 165 disposed in one gripper 163.

도 4를 참조하면, 마스크(160)를 클램핑하기 위한 글리퍼(163)에는 종래의 파워트리레버가 아닌 하나의 브렌치 형태의 동력전달부(169)와, 동력전달부(169)에서 신장되며 글리퍼(163)들 각각에 대응되는 동력공급부(165)를 구비한다.Referring to FIG. 4, the gripper 163 for clamping the mask 160 includes one branch-type power transmission unit 169 and a power transmission unit 169 extending from the power transmission unit 169 instead of a conventional power tree lever. A power supply unit 165 corresponding to each of the rippers 163 is provided.

동력전달부(168)는 글리퍼(163)와 동력공급부(165) 사이에 위치하여 동력공급부(165)로부터의 동력을 그대로 글리퍼(163)에 전달하게 된다. 즉, 다수의 브렌치의 조합으로 이루어진 파워트리레버에 의해 동력을 분산시키던 종래와는 7달리 본 발명에서는 하나의 브렌치가 동력을 글리퍼(163)에 직접적으로 전달하게 된다.The power transmission unit 168 is positioned between the gripper 163 and the power supply unit 165 to transfer the power from the power supply unit 165 to the gripper 163 as it is. That is, unlike the prior art in which power is distributed by a power tree lever composed of a plurality of branches, in the present invention, one branch directly transmits power to the gripper 163.

동력공급부(165)는 글리퍼(163) 각각과 대응되게 배치되어 하나의 동력공급부(165)는 하나의 글리퍼(163)에만 동력을 공급하게 된다. 즉, 동력공급부(165)와 글리퍼(163)는 종래와는 달리 일대일(1:1) 대응이 가능하도록 형성됨으로써 각 글리퍼(163)에 독립적인 동력전달이 가능하게 된다. 이에 따라, 특정 글리퍼(163)에 오차 등이 많이 발생되면 오차가 발생되는 글리퍼(163)를 담당하는 동력공급부(165)를 제어함으로써 글리퍼(163)에 전달되는 동력의 크기를 보정 및 조절할 수 있게 된다. 그 결과, 마스크에 가해지는 스트레스칭의 크기를 용이하게 조절함으로써 신뢰성 있는 마스크를 형성할 수 있게 된다. The power supply unit 165 is disposed to correspond to each of the grippers 163 so that one power supply unit 165 supplies power to only one of the grippers 163. That is, the power supply unit 165 and the gripper 163 is formed to enable one-to-one (1: 1) correspondence, unlike the conventional one, so that power transmission can be independently performed on each gripper 163. Accordingly, when a large number of errors and the like occur in the specific glyph 163, the power supply unit 165 in charge of the glyph 163 generating the error is controlled to correct the magnitude of the power transmitted to the glyph 163. It can be adjusted. As a result, a reliable mask can be formed by easily adjusting the magnitude of stress applied to the mask.

이러한, 구성을 가지는 마스크 클램프 장치(130)는 다음과 같이 동작한다. The mask clamp device 130 having such a configuration operates as follows.

먼저, 마스크(160)가 소정의 시스템에 로딩된 후 상하 운동에 의해 글리퍼(163)가 위치하는 영역에 정렬된다. First, the mask 160 is loaded into a given system and then aligned with the region where the glyph 163 is located by vertical motion.

이후, 글리퍼(163)가 전진하여 마스크(160)를 클램핑(clamping)하고, 모터(166)가 구동되어 모터(166)의 회전운동이 볼 스크류 박스(167)에 의하여 직선운동으로 변환되어 동력이 동력전달부(169)를 경유하여 각 글리퍼(163)에 독립적으로 전달된다. Thereafter, the gripper 163 moves forward to clamp the mask 160, and the motor 166 is driven to convert the rotational motion of the motor 166 into a linear motion by the ball screw box 167, thereby driving power. Via this power transmission unit 169, it is independently transmitted to each glyph 163.

이때, 모터(166)의 동력을 전달받은 동력전달부(169)가 후진되면 글리퍼(163)가 후진되고, 그에 따라 글리퍼(163)가 마스크(160)를 클램핑(clamping)함으로써 마스크(160)가 스트레칭 된다. 여기서, 글리퍼(163)와 동력공급부(165)는 일대일로 대응되게 됨으로써 각각의 글리퍼(163)에는 독립적인 동력 공급이 가능하게 된다. 그 결과, 각각의 글리퍼(163)에 공급되는 동력의 조절이 가능하게 됨으로써 마스크(160)의 스트레칭력을 정밀하고 신뢰성있게 조절할 수 있게 된다.At this time, when the power transmission unit 169 received the power of the motor 166 is reversed, the gripper 163 is reversed, and accordingly, the gripper 163 clamps the mask 160 to clamp the mask 160. ) Is stretched. Here, the gripper 163 and the power supply unit 165 correspond to one-to-one, thereby enabling independent power supply to each of the grippers 163. As a result, the power supplied to each gripper 163 can be adjusted, so that the stretching force of the mask 160 can be precisely and reliably adjusted.

이후, 사용자가 설정한 크기로 마스크(160)가 신장되면, 마스크 프레임이 마스크(160) 하단에 정렬되고 레이저의 용접에 의해 마스크(160)가 마스크 프레임에 부착되게 된다. 이와 같이, 마스크(160)가 부착된 마스크 프레임은 발광층 형성시 이용되게 된다. 좀더 구체적으로는, 적색, 녹색 및 청색 중 적어도 어느 하나를 구현하는 발광영역 중 적어도 어느 하나를 선택적으로 노출시켜 유기물질을 소정의 기판 상에 형성되게 한다. Thereafter, when the mask 160 is stretched to a size set by the user, the mask frame is aligned with the bottom of the mask 160 and the mask 160 is attached to the mask frame by welding of the laser. As such, the mask frame to which the mask 160 is attached is used when forming the emission layer. More specifically, at least one of the light emitting regions implementing at least one of red, green, and blue may be selectively exposed to form an organic material on a predetermined substrate.

이와 같이, 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조장치는 마스크 (160)를 클램핑하는 글리퍼(163)와 동력공급부(165)가 서로 일대일로 대응되게 배치됨으로써 각각의 글리퍼(163)에 독립적인 동력 전달이 가능하게 된다. 이에 따라, 특정 글리퍼(163)에 오차 등이 많이 발생하면 상기 오차가 발생되는 글리퍼(163)를 담당하는 동력공급부(165)를 제어하여 마스크에 가해지는 스트레스칭의 크기를 용이하게 조절할 수 있게 된다. 그 결과, 신뢰성 있는 마스크를 형성할 수 있게 된다.As described above, in the apparatus for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention, the gripper 163 and the power supply unit 165 clamping the mask 160 are arranged in a one-to-one correspondence with each other to each of the grippers 163. Independent power transmission is possible. Accordingly, when a large number of errors, etc. occur in the specific glipper 163, the size of the stress applied to the mask can be easily adjusted by controlling the power supply unit 165 in charge of the glipper 163 in which the error occurs. do. As a result, a reliable mask can be formed.

도 6 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조장치를 이용하여 형성된 유기 EL표시소자를 나타내는 사시도이다. 6 is a perspective view showing an organic EL display device formed using the apparatus for manufacturing an organic electroluminescent display device according to the present invention.

도 6에 도시된 유기 EL표시소자는 기판(102) 상에 제1 전극(또는 애노드전극)(104)과 제2 전극(또는 캐소드전극)(112)이 서로 교차하는 방향으로 형성된다. In the organic EL display device illustrated in FIG. 6, the first electrode (or anode electrode) 104 and the second electrode (or cathode electrode) 112 are formed on the substrate 102 in a direction crossing each other.

제1 전극(104)은 기판(102) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 제1 전극(104)이 형성된 기판(102) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(미도시)이 형성된다. 절연막 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(110) 및 제2 전극(112)의 분리를 위한 격벽(108)이 위치한다. 격벽(108)은 제2 전극(104)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(108)이 형성된 절연막 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(110)과 제2 전극(112)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기발광층(110)은 도 1에 도시된 바와 같이 정공주입층(10e), 정공수송층(10d), 발광층(10c), 전자수송층(10b) 및 전자주입층(10a)이 적층되어 형성된다. The first electrode 104 is formed on the substrate 102 spaced apart by a predetermined interval. On the substrate 102 on which the first electrode 104 is formed, an insulating film (not shown) having an opening for each EL cell EL region is formed. On the insulating layer, a partition 108 for separating the organic light emitting layer 110 and the second electrode 112 to be formed thereon is positioned. The partition 108 is formed in a direction crossing the second electrode 104 and has a reverse taper structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion. On the insulating film on which the partition 108 is formed, the organic light emitting layer 110 and the second electrode 112 made of an organic compound are sequentially deposited on the entire surface. As shown in FIG. 1, the organic light emitting layer 110 is formed by stacking a hole injection layer 10e, a hole transport layer 10d, a light emitting layer 10c, an electron transport layer 10b, and an electron injection layer 10a.

여기서, 유기발광층의 발광층(10c)은 본 발명에서의 제조장치를 이용하여 스 트레칭된 마스크(160)를 이용하여 R,G,B 별 발광층이 순차적으로 형성된다.Here, in the light emitting layer 10c of the organic light emitting layer, light emitting layers for R, G, and B are sequentially formed using the mask 160 stretched using the manufacturing apparatus of the present invention.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조장치는 마스크를 클램핑하는 글리퍼와 동력공급부가 서로 일대일로 대응되게 배치됨으로써 각각의 글리퍼에 독립적인 동력 전달이 가능하게 된다. 이에 따라, 각각의 글리퍼에 전달되는 동력을 조절할 수 있게 됨으로써 마스크에 가해지는 스트레스칭의 크기 또한 용이하게 조절할 수 있게 된다. 그 결과, 신뢰성 있는 마스크를 형성할 수 있게 된다.As described above, in the manufacturing apparatus of the organic light emitting display device according to the present invention, the gripper clamping mask and the power supply unit are arranged in a one-to-one correspondence with each other, thereby enabling independent power transmission to each gripper. Accordingly, it is possible to adjust the power transmitted to each of the glyphs, it is also possible to easily adjust the size of the stress applied to the mask. As a result, a reliable mask can be formed.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다. Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (3)

증착물을 선택적으로 투과시켜 기판 상에 박막을 형성시키기 위한 마스크와; A mask for selectively transmitting the deposit to form a thin film on the substrate; 상기 마스크 주변에 배치되어 상기 마스크를 클램핑(clamping)하는 글리퍼들과; Gliders disposed around the mask to clamp the mask; 상기 글리퍼들 각각에 대응되게 배치되어 상기 글리퍼들 각각에 독립적인 동력을 공급하는 동력공급부를 구비하고, A power supply unit disposed to correspond to each of the grippers to supply independent power to each of the grippers; 상기 동력공급부는 The power supply unit 동력을 발생시키는 모터와; A motor for generating power; 상기 모터에 연결되어 상기 모터의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼 스크류 박스를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조장치. And a ball screw box connected to the motor to convert the rotational motion of the motor into a linear motion. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 동력공급부와 상기 글리퍼 사이에 배치되어 상기 동력공급부에서의 동력을 상기 글리퍼에 전달하는 동력전달부를 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조장치. And a power transmission unit disposed between the power supply unit and the glyphs to transfer power from the power supply unit to the glyphs. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 마스크는 The mask is 적색, 녹색 및 청색 중 적어도 어느 하나를 구현하는 발광영역 중 적어도 어 느 하나를 선택적으로 노출시키는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조장치. An apparatus for manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that it selectively exposes at least one of the light emitting regions for implementing at least one of red, green, and blue.
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