KR100638142B1 - Apparatus for fabricating organic electro luminescence display device - Google Patents

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권오성
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Abstract

An apparatus for manufacturing an organic EL(Electro-Luminescence) display device is provided to reliably form a mask by improving stretching uniformity of the mask. An apparatus for manufacturing an organic EL display device includes a mask(160), plural grippers(163), a power supply(165), a jaw(175), and at least one metal pattern(177). The mask selectively passes a deposition material to form a thin film on a substrate. The grippers clamp the mask around the mask. The power supply supplies power for stretching the mask to the grippers. The jaw is positioned between the respective grippers and the mask and delivers the power to the mask. The metal pattern is positioned between the grippers and the mask and measures a degree of erosion of the jaw and a degree of stretching, which is applied on the mask via the jaw.

Description

유기전계발광표시소자의 제조장치{APPARATUS FOR FABRICATING ORGANIC ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY DEVICE} Apparatus for manufacturing organic light emitting display device {APPARATUS FOR FABRICATING ORGANIC ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY DEVICE}

도 1은 종래의 유기 전계발광표시소자 하나의 픽셀을 나타내는 도면. 1 is a view showing one pixel of a conventional organic electroluminescent display.

도 2는 종래의 클램핑 장치를 나타내는 도면.2 shows a conventional clamping device.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조장치를 나타내는 도면.3 is a view showing a manufacturing apparatus of an organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 글리퍼, 조 및 금속패턴을 나타내는 사시도.4 is a perspective view illustrating the glyph, jaw and metal pattern of FIG.

도 5 및 6은 본 발명의 조 및 금속패턴의 다른 형태를 나타내는 평면도.5 and 6 are plan views showing another embodiment of the jaw and the metal pattern of the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조장치를 이용하여 형성된 유기 전게발광표시소자를 나타내는 도면.7 is a view showing an organic electroluminescent display device formed using the apparatus for manufacturing an organic electroluminescent display device according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>     <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

2,102 : 기판 4,104 : 애노드 전극 2,102: substrate 4,104: anode electrode

108 : 격벽 10,110 : 유기발광층 108: partition 10,110: organic light emitting layer

10c : 발광층 122,112 : 캐소드 전극 10c: light emitting layer 122, 112: cathode electrode

63,163 : 글리퍼 71,171 : 파워트리 레버 63,163: Gripper 71,171: Power Tree Lever

69,169 : 동력 전달부 60,160 : 마스크69,169: power transmission unit 60,160: mask

75,175 : 조 177 : 금속패턴 75,175: Article 177: Metal pattern

본 발명은 유기 전계발광표시소자에 관한 것으로, 특히, 마스크에 가해지는 스트레스를 균일하게 분산시켜 정확하고 신뢰성 있는 크기의 마스크를 형성할 수 있는 유기 전계발광표시소자의 제조장치에 관한 것이다. The present invention relates to an organic electroluminescent display device, and more particularly, to an apparatus for manufacturing an organic electroluminescent display device capable of uniformly dispersing stress applied to a mask to form a mask having an accurate and reliable size.

최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시 장치들이 대두되고 있다. 이러한 평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시패널(Plasma Display Panel) 및 유기 전계발광(Electro-Luminescence : 이하, EL이라 함)표시소자 등이 있다.Recently, various flat panel display devices that can reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes, have emerged. Such flat panel displays include a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, and an organic electroluminescence display. Etc.

이들 중 유기EL표시소자는 전자와 정공의 재결합으로 형광체를 발광시키는 자발광 소자로, 그 형광체로 무기 화합물을 사용하는 무기 EL과 유기 화합물을 사용하는 유기 EL로 대별된다. 이러한 EL 표시소자는 액정표시장치와 같이 별도의 광원을 필요로 하는 수동형 발광소자에 비하여 응답속도가 음극선관과 같은 수준으로 빠르다는 장점을 갖고 있다. 또한, EL 표시소자는 저전압 구동, 자기발광, 박막형, 넓은 시야각, 빠른 응답속도, 높은 콘트라스트 등의 많은 장점을 가지고 있어 차세 대 표시 장치로 기대되고 있다. Among these, organic EL display devices are self-luminous devices that emit phosphors by recombination of electrons and holes, and are classified into inorganic ELs using inorganic compounds and organic ELs using organic compounds. Such an EL display device has an advantage that the response speed is as fast as that of a cathode ray tube compared to a passive light emitting device requiring a separate light source such as a liquid crystal display device. In addition, the EL display element has many advantages such as low voltage driving, self-luminous, thin film type, wide viewing angle, fast response speed, high contrast, and the like, and is expected to be the next generation display device.

도 1은 유기EL표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 일반적인 유기EL셀 구조를 도시한 단면도이다. 유기EL셀은 애노드전극(4)과 캐소드전극(12) 사이에 위치하는 유기발광층(10)을 구비하고, 유기발광층(10)은 전자주입층(10a), 전자수송층(10b), 발광층(10c), 정공수송층(10d), 정공주입층(10e)을 구비한다. 1 is a cross-sectional view showing a general organic EL cell structure for explaining the light emission principle of an organic EL display element. The organic EL cell has an organic light emitting layer 10 positioned between the anode electrode 4 and the cathode electrode 12, and the organic light emitting layer 10 includes an electron injection layer 10a, an electron transport layer 10b, and a light emitting layer 10c. ), A hole transport layer 10d, and a hole injection layer 10e.

애노드전극(4)과 캐소드전극(12) 사이에 전압을 인가하면, 캐소드전극(12)으로부터 발생된 전자는 전자주입층(10a) 및 전자수송층(10b)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 또한, 에노드전극(4)으로부터 발생된 정공은 정공주입층(10e) 및 정공수송층(10d)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(10c)에서는 전자수송층(10b)과 정공수송층(10d)으로부터 공급되어진 전자와 정공이 충돌하여 재결합함에 의해 빛이 발생하게 되고, 이 빛은 애노드전극(4)을 통해 외부로 방출되어 화상이 표시되게 한다. When a voltage is applied between the anode electrode 4 and the cathode electrode 12, electrons generated from the cathode electrode 12 move toward the light emitting layer 10c through the electron injection layer 10a and the electron transport layer 10b. In addition, holes generated from the anode electrode 4 move toward the light emitting layer 10c through the hole injection layer 10e and the hole transport layer 10d. Accordingly, in the light emitting layer 10c, light is generated by collision and recombination of electrons and holes supplied from the electron transport layer 10b and the hole transport layer 10d, and the light is emitted to the outside through the anode electrode 4. To display an image.

한편, 종래의 유기 EL표시소자의 유기발광층의 유기물층 들은 마스크를 이용한 열증착 및 진공증착 공정에 의해 형성되며, 이때 이용되는 마스크는 별도의 공정에 의해 제작된 후 마스크 클램핑장치를 이용하여 사용자와 원하는 크기로 스트레칭 된 후 마스크 프레임에 고정되어 유기물층 형성시 이용된다. On the other hand, the organic material layers of the organic light emitting layer of the conventional organic EL display device is formed by a thermal deposition and vacuum deposition process using a mask, the mask used in this case is manufactured by a separate process and then used by the user using a mask clamping device After stretching to size, it is fixed to the mask frame and used for forming the organic material layer.

도 2는 종래의 유기 EL표시소자의 제조장치 즉, 마스크 클램핑 장치를 개략적으로 나타내는 나타내는 도면이다. 2 is a diagram schematically showing a conventional apparatus for manufacturing an organic EL display element, that is, a mask clamping device.

도 2에 도시된 마스크 클램핑 장치(30)는 마스크(60)의 장변 및 단변에 위치하여 상기 마스크(60)를 클램핑(clamping)하는 글리퍼(63)와, 마스크(60)를 스트레 칭할 수 있도록 동력을 공급하는 동력공급부(65)와, 상기 동력공급부(65)와 글리퍼(63) 사이에 위치하여 상기 동력 공급부(65)에서 공급되는 동력을 글리퍼(63)로 전달하는 동력전달부(69)를 구비한다. 이러한, 마스크 클램핑 장치(30)는 클램프 다이(미도시)에 의해 지지된다.The mask clamping device 30 shown in FIG. 2 may be located at the long side and short side of the mask 60 to stretch the glyph 63 and the mask 60 to clamp the mask 60. A power supply unit for supplying power to the power supply unit 65 and a power transmission unit positioned between the power supply unit 65 and the gripper 63 to transfer power supplied from the power supply unit 65 to the gripper 63. (69) is provided. This, mask clamping device 30 is supported by a clamp die (not shown).

마스크(60)는 유기 EL표시소자의 유기물층(예를 들어, 정공주입층(10e),발광층(10c)등의 유기발광층 내의 모든 유기물층을 포함한다.) 또는 캐소드 전극 등을 형성하는 경우 이용되는 마스크로써 유효영역(60a)과 유효영역(60a)을 제외한 비유효영역(60b)을 구비한다. 마스크(60)의 유효영역(60a)에는 R,G,B를 구현하기 위한 발광층(60c)의 형성영역을 선택적으로 투과시키는 어레이영역(P1)이 다수 형성되고, 유효영역(60a)에서의 외곽에는 마스크(60) 스트레칭시 기준을 제공하는 다수의 포인트(61)가 형성된다. 즉, 사용자는 마스크(60)에 표시된 다수의 포인트(61)를 기준으로 마스크(60)의 스트레칭 정도를 설정한 후 이에 대응되는 크기의 힘으로 마스크(60)를 스트레칭시킨다. 비유효영역(60b)은 유효영역(60a)을 제외한 외곽영역으로써 글리퍼(63)에 물리게 되어 스트레칭시 가장 먼저 인장력을 받게 된다. The mask 60 is a mask used when forming an organic material layer (for example, all organic material layers in an organic light emitting layer such as a hole injection layer 10e, a light emitting layer 10c, etc.) or a cathode electrode of an organic EL display element. Thus, the effective area 60a and the invalid area 60b except for the effective area 60a are provided. In the effective region 60a of the mask 60, a plurality of array regions P1 for selectively transmitting the formation regions of the light emitting layer 60c for implementing R, G, and B are formed, and the outer edge of the effective region 60a is formed. There are formed a number of points 61 which provide a reference when stretching the mask 60. That is, the user sets the degree of stretching of the mask 60 based on the plurality of points 61 displayed on the mask 60, and then stretches the mask 60 with a force having a corresponding size. The non-effective area 60b is an outer area excluding the effective area 60a so as to be bitten by the glyph 63 so as to receive the tensile force first.

글리퍼(63)는 마스크(60)의 장변에 예를 들어, 10개 정도 배치되고, 단변에는 예를 들어, 8개 정도 배치된다. 또한, 글리퍼(63)에는 글리퍼(63)의 마찰저항을 조정할 수 있는 조정나사가 장착되어 있다. About 10 glippers 63 are arranged on the long side of the mask 60 and about 8 on the short side, for example. The gripper 63 is also equipped with an adjustment screw for adjusting the frictional resistance of the gripper 63.

이러한 글리퍼(63)와 마스크(60) 사이에는 조(jaw)(75)가 위치하게 된다. 예를 들어, 하나의 글리퍼(63)에 2개의 조(75)가 구비되고, 글리퍼(63)의 조(75)가 실질적으로 마스크(60)와 접촉된다. A jaw 75 is positioned between the glyph 63 and the mask 60. For example, one jaw 75 is provided with two jaws 75, and the jaws 75 of the grippers 63 are substantially in contact with the mask 60.

동력공급부(65)는 상기 마스크(60)의 각 변에 예를 들어, 3개씩 배치되도록 상기 동력전달부(69)에 연결된 다수의 모터(66)와, 상기 모터(66)에 각각 연결되어 모터(66)의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼 스크류 박스(67)로 구성되어 있다. The power supply unit 65 is connected to the motor 66 and the plurality of motors 66 connected to the power transmission unit 69 so as to be arranged at each side of the mask 60, for example, respectively. It consists of a ball screw box 67 which converts the rotational motion of 66 into linear motion.

동력전달부(69)는 복수개의 파워트리 레버(71)와 다수의 파워트리 레버(71)의 결합에 의해 이루어지며, 각각의 파워트리 레버(71)는 다수의 핀(72)들의 조합으로 이루어진다. The power transmission unit 69 is formed by combining a plurality of power tree levers 71 and a plurality of power tree levers 71, and each power tree lever 71 is formed of a combination of a plurality of pins 72. .

한편, 종래의 마스크 클램핑 장치(30)는 글리퍼(63)를 이용하여 마스크(60)를 수차례 스트레칭하는 경우 글리퍼(63)의 조(75)가 부분적으로 마모되게 된다. 이 경우, 조(75)의 마모 상태가 심한 경우 글리퍼(63) 또는 조(75) 자체를 교체하게 된다. 그러나, 종래에는 조(75)의 마모의 정도를 쉽게 판단하기 어려운 문제가 있다. 이에 따라, 조(75)의 마모 정도를 알 수 없는 상태에서 스트레칭 작업이 실시되는 경우 마스크(60)에 가해지는 힘의 균일 여부를 확인할 수 없게 됨으로써 많은 오차를 가지는 신뢰성 없는 마스크(60)가 형성되게 되는 문제가 발생 된다. On the other hand, in the conventional mask clamping device 30, when the mask 60 is stretched several times using the glyph 63, the jaw 75 of the glyph 63 is partially worn. In this case, when the wear state of the jaw 75 is severe, the gripper 63 or the jaw 75 itself is replaced. However, in the related art, there is a problem that it is difficult to easily determine the degree of wear of the jaw 75. Accordingly, when the stretching operation is performed in a state where the wear of the jaw 75 is unknown, it is impossible to confirm whether the force applied to the mask 60 is uniform, thereby forming an unreliable mask 60 having many errors. The problem arises.

따라서, 본 발명의 목적은 마스크의 스트레칭 균일성을 향상시켜 신뢰성 있는 마스크를 형성할 수 있는 유기 전계발광표시소자의 제조장치를 제공하는 것이다. Accordingly, it is an object of the present invention to provide an apparatus for manufacturing an organic electroluminescent display device capable of forming a reliable mask by improving the stretching uniformity of the mask.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기전계발광표시소자의 제조장치는 증착물을 선택적으로 투과시켜 기판 상에 박막을 형성시키기 위한 마스크와; 상기 마스크 주변에 위치하여 상기 마스크를 클램핑(clamping)하기 위한 다수의 글리퍼와; 상기 마스크를 스트레칭시키기 위한 동력을 상기 글리퍼에 공급하기 위한 동력공급부와; 상기 각각의 글리퍼와 마스크 사이에서 위치하여 상기 글리퍼로 공급된 동력을 상기 마스크에 전달하는 조(jaw)와; 상기 글리퍼와 마스크 사이에 위치하여 상기 조의 마모 정도 및 조를 경유하여 마스크에 가해지는 스트레칭 정도를 판단하기 위한 적어도 하나의 금속패턴을 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the manufacturing apparatus of the organic light emitting display device according to the present invention comprises a mask for selectively transmitting the deposit to form a thin film on the substrate; A plurality of glyphs positioned around the mask for clamping the mask; A power supply for supplying power to the glyph for stretching the mask; A jaw positioned between each of the glyphs and the mask to transfer power supplied to the glyphs to the mask; And at least one metal pattern positioned between the glyph and the mask to determine the degree of wear of the jaw and the degree of stretching applied to the mask via the jaw.

상기 금속패턴은 상기 조와 동일 높이를 가지며 상기 마스크와 글리퍼 사이에 협지된 것을 특징으로 한다.The metal pattern has the same height as the jaw and is sandwiched between the mask and the gripper.

상기 금속패턴은 조와 조 사이에 위치하는 것을 특징으로 한다.The metal pattern is characterized in that located between the jaw.

상기 금속패턴은 상기 조와 마스크 사이에 협지된 것을 특징으로 한다.The metal pattern may be sandwiched between the jaw and the mask.

상기 금속패턴은 십자가 형상인 것을 특징으로 한다.The metal pattern is characterized in that the cross shape.

상기 마스크는 적색, 녹색 및 청색 중 적어도 어느 하나를 구현하는 발광영역 중 적어도 어느 하나를 선택적으로 노출시키는 것을 특징으로 한다.The mask may be configured to selectively expose at least one of light emitting regions implementing at least one of red, green, and blue.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 3 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 7.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기 EL표시소자의 제조장치 즉, 마스크 클램핑 장치를 개략적으로 나타내는 나타내는 도면이다. 3 is a diagram schematically showing an apparatus for manufacturing an organic EL display element according to an embodiment of the present invention, that is, a mask clamping device.

도 3에 도시된 마스크 클램핑 장치(130)는 마스크(160)의 장변 및 단변에 위치하여 상기 마스크(160)를 클램핑하는 글리퍼(163)와, 마스크(160)를 스트레칭할 수 있도록 동력을 공급하는 동력공급부(165)와, 상기 동력공급부(165)와 글리퍼(163) 사이에 위치하여 상기 동력 공급부(165)에서 공급되는 동력을 글리퍼(163)로 전달하는 동력전달부(169)를 구비하고, 글리퍼(164)와 마스크(160) 사이에 위치하여 마스크와 접촉하는 조(175)와, 조(175)의 마모 정도를 확인하기 위한 금속패턴(177)을 구비한다. 이러한, 마스크 클램핑 장치(130)는 클램프 다이(미도시)에 의해 지지 된다. The mask clamping device 130 shown in FIG. 3 is located on the long side and short side of the mask 160 to supply power to the gripper 163 for clamping the mask 160 and to stretch the mask 160. A power transmission unit 169 positioned between the power supply unit 165 and the power supply unit 165 and the gripper 163 to transfer the power supplied from the power supply unit 165 to the gripper 163. And a jaw 175 positioned between the gripper 164 and the mask 160 and in contact with the mask, and a metal pattern 177 for checking the degree of wear of the jaw 175. Such a mask clamping device 130 is supported by a clamp die (not shown).

마스크(160)는 유기 EL표시소자의 유기물층(예를 들어, 정공주입층(10e),발광층(10c)등의 유기발광층 내의 유기물층을 포함한다.) 또는 캐소드 전극 등을 형성하는 경우 이용되는 마스크로써 유효영역(160a)과 유효영역(160a)을 제외한 비유효영역(160b)을 구비한다. 마스크(160)의 유효영역(160a)에는 R,G,B를 구현하기 위한 발광층(160c)의 형성영역을 선택적으로 투과시키는 어레이영역(P1)이 다수 형성되고, 유효영역(160a)에서의 외곽에는 마스크(160) 스트레칭시 기준을 제공하는 다수의 포인트(161)가 형성된다. 즉, 사용자는 마스크(160)에 표시된 다수의 포인트(161)를 기준으로 마스크(160)의 스트레칭 정도를 설정한 후 이에 대응되는 크기의 힘으로 마스크(160)를 스트레칭시킨다. 비유효영역(160b)은 유효영역(160a)을 제외한 외곽영역으로써 글리퍼(163)에 물리게 되어 스트레칭시 가장 먼저 인장력을 받 게 된다. The mask 160 is used as a mask for forming an organic material layer (for example, an organic material layer in an organic light emitting layer such as a hole injection layer 10e and a light emitting layer 10c) or a cathode electrode of an organic EL display device. An effective area 160b except for the effective area 160a and the effective area 160a is provided. In the effective region 160a of the mask 160, a plurality of array regions P1 for selectively transmitting the formation regions of the light emitting layer 160c for implementing R, G, and B are formed, and the outer edge of the effective region 160a is formed. A plurality of points 161 are formed in the mask 160 to provide a reference when stretching the mask 160. That is, the user sets the degree of stretching of the mask 160 based on the plurality of points 161 displayed on the mask 160, and then stretches the mask 160 with a force having a corresponding size. The non-effective area 160b is an outer area excluding the effective area 160a and is bitten by the glyph 163 to receive the tensile force first when stretching.

동력공급부(165)는 마스크(160)의 각 변에 예를 들어, 3개씩 배치되도록 상기 동력전달부(169)에 연결된 다수의 모터(166)와, 상기 모터(166)에 각각 연결되어 모터(166)의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼 스크류 박스(167)로 구성되어 있다. The power supply unit 165 includes a plurality of motors 166 connected to the power transmission unit 169 and three motors 166 connected to the power transmission unit 169 so as to be arranged at each side of the mask 160. It is composed of a ball screw box 167 for converting the rotational movement of 166 into a linear movement.

동력전달부(169)는 복수개의 파워트리 레버(171)와 다수의 파워트리 레버(171)의 결합에 의해 이루어지며, 각각의 파워트리 레버(171)는 다수의 핀(172)들의 조합으로 이루어진다. The power transmission unit 169 is formed by combining a plurality of power tree levers 171 and a plurality of power tree levers 171, and each power tree lever 171 is formed of a combination of a plurality of pins 172. .

글리퍼(163)는 마스크(160)의 장변에 예를 들어, 10개 정도 배치되고, 단변에는 예를 들어, 8개 정도 배치된다. 또한, 글리퍼(163)에는 글리퍼(163)의 마찰저항을 조정할 수 있는 조정나사가 장착되어 있다. About 10 glippers 163 are disposed on the long side of the mask 160, for example, about 8 on the short side. The gripper 163 is also equipped with an adjustment screw for adjusting the frictional resistance of the gripper 163.

조(jaw)(175)는 하나의 글리퍼(163)에 예를 들어, 2개 정도 구비되고 마스크(160)와 실질적으로 접촉되어 마스크(160)에 스트레칭을 가하는 영역이다. The jaw 175 is an area that is provided with, for example, about two glippers 163 and substantially contacts the mask 160 to stretch the mask 160.

금속패턴(177)은 글리퍼(163)와 마스크(160) 사이에 협지되어 조(175)의 마모 정도를 판단할 수 있는 기준을 제공하는 역할을 한다. The metal pattern 177 is sandwiched between the gripper 163 and the mask 160 to provide a criterion for determining the degree of wear of the bath 175.

이하, 도 4를 참조하여 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, with reference to Figure 4 will be described in more detail.

도 4는 글리퍼(163), 조(175) 및 금속패턴(177)을 구체적으로 나타내는 사시도이다. 4 is a perspective view illustrating the gripper 163, the jaw 175, and the metal pattern 177 in detail.

금속패턴(177)은 조(jaw)(175)와 조(175) 사이 뿐만 아니라 글리퍼(163)와 마스크(160) 사이에 적어도 하나 이상 협지되게 형성될 수 있다.At least one metal pattern 177 may be formed between the jaw 175 and the jaw 175, as well as between the gripper 163 and the mask 160.

이러한, 금속패턴(177)은 특정 도형 모양 예를 들어, 십자가 형태를 가지며 조(175)와 동일하게 마스크(160)와 직접 접촉하게 됨으로서 조(175)의 마모와 동일한 속도로 마모되게 된다. 따라서, 조(175)의 마모 정도는 금속패턴(177)의 마모 정도로 확인할 수 있게 된다. 여기서, 금속패턴(177)은 특정의 모양을 가지게 됨으로써 어느 지점에서 스트레칭이 집중되는지 또는 조(175)의 마모 진행 정도 등을 판단할 수 있게 된다. 그 결과, 조(175)의 교체 시기를 적절하게 판단할 수 있고, 스트레칭력을 균일하게 제어할 수 있게 됨으로써 신뢰성 있는 마스크(160)를 형성할 수 있게 된다. The metal pattern 177 has a specific figure shape, for example, a cross shape, and is in direct contact with the mask 160 in the same manner as the jaw 175, so that the metal pattern 177 wears at the same speed as that of the jaw 175. Therefore, the wear level of the jaw 175 can be confirmed by the wear level of the metal pattern 177. Here, since the metal pattern 177 has a specific shape, it is possible to determine at which point the stretching is concentrated or the progress of wear of the bath 175. As a result, it is possible to appropriately determine the replacement timing of the jaw 175 and to uniformly control the stretching force, thereby forming a reliable mask 160.

도 5 및 도 6은 본 발명에서의 또 다른 형태의 조(175) 및 금속패턴(177)을 나타내는 도면이다. 5 and 6 are diagrams showing a jaw 175 and a metal pattern 177 of yet another embodiment of the present invention.

도 5 및 도 6에서는 조(175) 위에 금속패턴(177)이 형성되게 된다. 즉, 금속패턴(177)의 두께를 조(175)의 두께와 동일하게 형성하는 도 3 및 4와 달리 얇은 두께를 가지는 금속패턴(177)이 조(175) 위에 형성된다. 이에 따라, 사용자는 금속패턴(177)의 마모 정도를 판별함으로써 어느 영역에 스트레칭력이 집중하는지 용이하게 파악할 수 있게 된다. 이에 따라, 동력공급부(165) 및 동력전달부(169) 등을 제어하여 스트레칭의 완급을 조절할 수 있게 됨으로써 균일하게 마스크(160)를 스트레칭할 수 있게 되어 신뢰성 있는 마스크(160)를 형성할 수 있게 된다. 한편, 본 발명에서의 금속패턴(177)은 조(175)와 동일 금속으로 이루어지거나 조(175)와 동일한 강도를 가지는 물질로 이루어질 수 있다. 5 and 6, the metal pattern 177 is formed on the bath 175. That is, unlike FIGS. 3 and 4, in which the thickness of the metal pattern 177 is formed to be the same as that of the bath 175, a metal pattern 177 having a thin thickness is formed on the bath 175. Accordingly, the user can easily determine which region the stretching force is concentrated by determining the degree of wear of the metal pattern 177. Accordingly, by controlling the power supply unit 165 and the power transmission unit 169 to adjust the completion of the stretching it is possible to uniformly stretch the mask 160 to form a reliable mask 160 do. Meanwhile, the metal pattern 177 in the present invention may be made of the same metal as the bath 175 or may be made of a material having the same strength as that of the bath 175.

도 7은 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조장치를 이용하여 형성 된 유기 EL표시소자를 나타내는 사시도이다. 7 is a perspective view showing an organic EL display device formed using the apparatus for manufacturing an organic electroluminescent display device according to the present invention.

도 7에 도시된 유기 EL표시소자는 기판(102) 상에 제1 전극(또는 애노드전극)(104)과 제2 전극(또는 캐소드전극)(112)이 서로 교차하는 방향으로 형성된다. In the organic EL display device illustrated in FIG. 7, the first electrode (or anode electrode) 104 and the second electrode (or cathode electrode) 112 are formed on the substrate 102 in a direction crossing each other.

제1 전극(104)은 기판(102) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 제1 전극(104)이 형성된 기판(102) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(미도시)이 형성된다. 절연막 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(110) 및 제2 전극(112)의 분리를 위한 격벽(108)이 위치한다. 격벽(108)은 제2 전극(104)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(108)이 형성된 절연막 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(110)과 제2 전극(112)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기발광층(110)은 도 1에 도시된 바와 같이 정공주입층(10e), 정공수송층(10d), 발광층(10c), 전자수송층(10b) 및 전자주입층(10a)이 적층되어 형성된다. The first electrode 104 is formed on the substrate 102 spaced apart by a predetermined interval. On the substrate 102 on which the first electrode 104 is formed, an insulating film (not shown) having an opening for each EL cell EL region is formed. On the insulating layer, a partition 108 for separating the organic light emitting layer 110 and the second electrode 112 to be formed thereon is positioned. The partition 108 is formed in a direction crossing the second electrode 104 and has a reverse taper structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion. On the insulating film on which the partition 108 is formed, the organic light emitting layer 110 and the second electrode 112 made of an organic compound are sequentially deposited on the entire surface. As shown in FIG. 1, the organic light emitting layer 110 is formed by stacking a hole injection layer 10e, a hole transport layer 10d, a light emitting layer 10c, an electron transport layer 10b, and an electron injection layer 10a.

여기서, 유기발광층(RGB 발광층 및 전자층 정공층 등을 포함한다), 캐소드 전극 등을 형성하는 경우, 본 발명에서의 제조장치를 이용하여 스트레칭된 마스크(160)를 이용하여 형성된다. Here, in the case of forming the organic light emitting layer (including the RGB light emitting layer, the electron layer hole layer, etc.), the cathode electrode and the like, it is formed using the mask 160 stretched using the manufacturing apparatus of the present invention.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조장치는 마스크를 클램핑하기 위한 글리퍼에 조의 마모 정도 및 스트레칭의 집중 정도 등을 파악하기 위한 금속패턴이 구비된다. 이에 따라, 마스크의 스트레칭 균일성을 향상 시켜 신뢰성 있는 마스크를 형성할 수 있게 된다. As described above, the apparatus for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention is provided with a metal pattern for grasping the degree of wear of the jaw and the concentration of the stretching in the glyph for clamping the mask. Accordingly, the stretching uniformity of the mask can be improved to form a reliable mask.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다. Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (5)

증착물을 선택적으로 투과시켜 기판 상에 박막을 형성시키기 위한 마스크와; A mask for selectively transmitting the deposit to form a thin film on the substrate; 상기 마스크 주변에 위치하여 상기 마스크를 클램핑(clamping)하기 위한 다수의 글리퍼와; A plurality of glyphs positioned around the mask for clamping the mask; 상기 마스크를 스트레칭시키기 위한 동력을 상기 글리퍼에 공급하기 위한 동력공급부와; A power supply for supplying power to the glyph for stretching the mask; 상기 각각의 글리퍼와 마스크 사이에서 위치하여 상기 글리퍼로 공급된 동력을 상기 마스크에 전달하는 조(jaw)와; A jaw positioned between each of the glyphs and the mask to transfer power supplied to the glyphs to the mask; 상기 글리퍼와 마스크 사이에 위치하여 상기 조의 마모 정도 및 조를 경유하여 마스크에 가해지는 스트레칭 정도를 판단하기 위한 적어도 하나의 금속패턴을 구비하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조장치. And at least one metal pattern positioned between the glyph and the mask to determine the degree of wear of the bath and the degree of stretching applied to the mask via the bath. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 금속패턴은The metal pattern is 상기 조와 동일 높이를 가지며 상기 마스크와 글리퍼 사이에 협지된 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조장치. And having the same height as the bath and sandwiched between the mask and the glyph. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 금속패턴은 조와 조 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시소자의 제조장치.The metal pattern is an apparatus for manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that located between the jaw. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 금속패턴은 The metal pattern is 상기 조와 마스크 사이에 협지된 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조장치. An apparatus for manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that sandwiched between the bath and the mask. 제 2 항 또는 제 4 항에 있어서, The method according to claim 2 or 4, 상기 금속패턴은 십자가 형상인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조장치. The metal pattern is an organic electroluminescent display device manufacturing apparatus, characterized in that the cross shape.
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