KR20080059861A - 기판의 절단 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판표시장치를 제조하는 스크라이브 공정에서 액체와 냉각기체를 이용하여 표시패널을 절단함으로써 표시패널의 파손을 방지할 수 있는 기판의 절단 장치를 제공하는 것으로, 일정한 속도로 회전하여 표시패널 상에 크랙을 형성시키는 스크라이빙 휠; 상기 크랙에 액체를 공급하는 제 1 노즐; 및 상기 크랙에 공급된 상기 액체에 냉각기체를 공급하여 상기 액체를 냉각시키는 제 2 노즐를 포함한다.
기판, 절단, 액체, 냉각기체

Description

기판의 절단 장치 및 방법{Apparatus and method for cutting substrate}
도 1은 일반적인 액정표시장치의 단면도.
도 2는 일반적인 액정패널의 제조 공정을 나타낸 흐름도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 기판절단 장치의 동작 예시도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100: 기판절단 장치 110: 제 1 저장탱크
120: 제 2 저장탱크 111, 113, 121, 122: 자동밸브
112: 펌프 114, 123: 노즐
130: 스크라이빙 휠 131: 회전축
132: 스크라이빙 몸체 140: 이동부재
200: 표시패널
본 발명은 액정표시장치 및 유기발광다이오드 표시장치 등과 같은 평판표시장치의 표시패널을 스크라이브(Scribe) 공정에서 절단하기 위한 절단 장치 및 방법에 관한 것이다.
정보통신 분야의 급속한 발전으로 말미암아, 원하는 정보를 표시해 주는 디스플레이 산업의 중요성이 날로 증가하고 있으며, 현재까지 정보 디스플레이 장치 중 CRT(Cathode Ray Tube)는 다양한 색을 표시할 수 있고, 화면의 밝기도 우수하다는 장점 때문에 지금까지 꾸준한 인기를 누려왔다.
하지만, 대형, 휴대용, 고해상도 디스플레이에 대한 욕구 때문에 무게와 부피가 큰 CRT 대신에 평판 디스플레이(flatpanel display) 개발이 절실히 요구되고 있다. 이러한 평판 디스플레이는 컴퓨터 모니터에서 항공기 및 우주선 등에 사용되는 디스플레이에 이르기까지 응용분야가 넓고 다양하다. 현재 생산 혹은 개발된 평판 디스플레이는 액정표시장치(liquid crystal display : LCD), 유기발광다이오드 표시장치(electroluminescent display), 전계방출 디스플레이(field emission display : FED), 플라즈마 디스플레이(plasma display panel : PDP) 등이 있다.
상기와 같은 평판 디스플레이는 일반적으로 대규모 집적회로 등의 반도체 칩(chip)과 같이 취성기판 상에 다수 개를 매트릭스 모양으로 형성되어 기판을 각 소자 단위로 절단 분리하는 공정을 거쳐 제조된다.
그런데 글라스(glass), 실리콘(silicon), 세라믹(ceramic) 등의 취성기판의 절단분리에 사용되는 방법으로서는, 기판을 고속으로 회전하는 50~200㎛정도 두께의 다이아몬드 블레이드(diamond blade)에 의하여 절삭하고 기판에 절단용 홈을 형성하는 다이싱(dicing)과, 0.6~2㎜정도의 두께를 갖는 다이아몬드로 만든 스크라이빙 휠(scribing wheel)에 의하여 기판의 표면에 절단홈을 형성하여 기판의 두께 방향으로 크랙(crack)을 발생시키는 스크라이빙(scribing)의 2가지 방법이 대표적이다.
먼저, 상기 다이싱은 상기한 바와 같이 스크라이빙에 비하여 매우 얇은 블레이드를 이용하는 것이기 때문에, 표면에 박막이나 볼록부가 형성된 기판을 절단하는 데에도 적합하다. 그런데 다이싱에 있어서는, 블레이드가 절삭하고 있는 영역에서 마찰열이 발생하고, 절삭은 이 영역에 냉각수를 공급하면서 이루어지기 때문에 금속 전극층 및 금속 단자 등의 금속 부분을 포함하고 있는 평판 디스플레이에 있어서는 결코 바람직한 방법이라고는 할 수 없다.
즉, 다이싱에 의한 경우에는, 다이싱을 한 후에 냉각수의 제거에 완전을 기하는 것이 실제로는 어렵고, 냉각수의 제거가 불완전하여 잔류수분이 있으면 평판 디스플레이의 금속 부분에 부식이 발생할 우려가 있다. 또한, 다이싱은 스크라이빙에 비하여 절단시간이 길고 나아가서는 생산성이 좋지 않다는 문제도 있다.
이에 대하여 스크라이빙은 냉각수가 일체 불필요하기 때문에 다이싱에 의한 경우보다 제품의 수율이 좋고, 또한 절단 시간이 다이싱에 비하여 짧기 때문에 생산성에 있어서 우수하다는 이점을 가지고 있다.
도 1은 일반적인 액정표시장치를 나타낸 단면도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 투명한 제 1 기판(10)상의 일정영역에 금속과 같은 도전성 물질로 이루어진 게이트 전극(11)이 형성되어 있고, 상기 게이트 전극(11)을 포함한 제 1 기판(10)의 전면에 실리콘 질화막(SiNx)이나 실리콘 산화막(SiO2)으로 이루어진 게이트 절연막(12)이 형성되어 있다.
이어, 상기 게이트 전극(11) 상부의 게이트 절연막(12) 위에는 비정질 실리콘으로 이루어진 액티브층(13)이 형성되어 있으며, 상기 액티브층(13) 양측단위에 불순물이 도핑된 비정질 실리콘으로 이루어진 오믹 콘택층(14)이 형성되어 있다.
이어, 상기 오믹 콘택층(14) 상부에는 금속과 같은 도전 물질로 이루어진 소오스 및 드레인 전극(15,16)이 형성되어 있는데, 상기 소오스 및 드레인 전극(15,16)은 상기 게이트 전극(11)과 함께 박막트랜지스터(T)를 이룬다.
한편, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 게이트 전극(11)은 게이트 배선과 연결되어 있고, 상기 소오스 전극(15)은 데이터배선과 연결되어 있으며, 게이트 배선과 데이터 배선은 서로 직교하여 화소 영역을 정의한다.
이어, 상기 소오스 및 드레인 전극(15,16)을 포함한 제 1 기판(10)의 전면에는 실리콘 질화막이나 실리콘 산화막 또는 유기 절연막으로 이루어진 보호막(17)이 형성되어 있으며, 상기 보호막(17)은 상기 드레인 전극(16)의 표면이 소정부분 노출되도록 콘택홀(18)을 갖고 있다.
그리고 상기 보호막(17) 상부의 화소 영역에는 투명 도전 물질로 이루어진 화소 전극(19)이 형성되어 있고, 상기 화소 전극(19)은 콘택홀(18)을 통해 드레인 전극(16)과 연결되어 있다.
이어, 상기 화소 전극(19) 상부에는 폴리이미드(polyimide)와 같은 물질로 이루어지고 표면이 일정 방향을 가지도록 형성된 제 1 배향막(20)이 형성되어 있다.
한편, 제 1 기판(10) 상부에는 제 1 기판(10)과 일정 간격을 가지고 이격되어 있으며 투명한 제 2 기판(31)이 배치되어 있다.
그리고 상기 제 2 기판(31) 하부의 박막트랜지스터(T)와 대응되는 부분에는 블랙 매트릭스(32)가 형성되어 있는데, 도시하지 않았지만 블랙 매트릭스(32)는 화소 전극(19) 이외의 부분도 덮고 있다.
이어, 상기 블랙 매트릭스(32) 하부에는 컬러필터(33)가 형성되어 있으며, 상기 컬러필터(33)는 레드(R), 그린(G) 및 블루(B) 세가지 색이 순차적으로 반복되어 있고, 하나의 색이 하나의 화소 영역에 대응된다.
이어, 상기 컬러필터(33) 하부에는 투명한 도전 물질로 이루어진 공통 전극(34)이 형성되어 있으며, 상기 공통 전극(34) 하부에는 폴리이미드와 같은 물질로 이루어지고 표면이 일정 방향을 가지도록 형성된 제 2 배향막(35)이 형성되어 있다.
그리고, 상기 제 1 배향막(20)과 제 2 배향막(35) 사이에는 액정층(40)이 주입되어 있다. 이러한 액정 표시 장치는 박막 트랜지스터와 화소 전극을 형성하는 어레이 기판 제조 공정과 컬러필터와 공통 전극을 형성하는 컬러필터 기판 제조 공정, 그리고 제조된 두 기판의 배치와 액정 물질의 주입 및 봉지, 그리고 편광판 부착으로 이루어진 액정패널 공정에 의해 형성된다.
도 2는 일반적인 액정패널의 제조 공정을 도시한 흐름도이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 박막트랜지스터를 포함하는 박막트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터를 포함하는 컬러필터 기판을 준비한다(S1). 여기서, 상기 박막트랜지스터 어레이 기판은 박막을 증착하고 패터닝하는 과정을 여러 회 반복함으로써 형성되는데, 박막의 패터닝시 사용되는 마스크의 수가 공정 수를 대표하며, 현재 마스크 수를 감소시켜 제조 비용을 줄이기 위한 연구가 활발히 이루어지고 있다.
한편, 상기 컬러필터 기판은 화소 영역 이외의 부분에서 빛샘이 발생하는 것을 방지하기 위한 블랙 매트릭스와 RGB 컬러필터 및 공통 전극을 순차적으로 형성함으로써 이루어진다. 컬러필터는 염색법, 인쇄법, 안료 분산법, 전착법 등에 의해 형성되는데, 현재 컬러 필터 형성에 사용되는 보편적인 방법은 안료 분산법이다.
이어, 각 기판에 액정 분자의 초기 배열 방향을 결정하기 위한 배향막을 형성한다(S2). 여기서, 상기 배향막의 형성은 고분자 박막을 도포하고 배향막을 일정한 방향으로 배열시키는 공정으로 이루어진다. 일반적으로 배향막에는 폴리이미드(polyimide) 계열의 유기물질이 주로 사용되고, 배향막을 배열시키는 방법으로는 러빙 방법이 이용된다.
또한, 상기 러빙 방법은 러빙포를 이용하여 배향막을 일정한 방향으로 문질러주는 것으로, 배향 처리가 용이하여 대량 생산에 적합하고, 배향이 안정하며 프리틸트각(pretilt angle)의 제어가 용이한 장점이 있다.
최근에는 편광된 빛을 이용하여 배향하는 광배향 방법이 개발되어 사용되고 있다.
다음, 두 기판 중 어느 하나의 기판에 실 패턴(seal pattern)을 형성하는데(S3), 실 패턴은 화상이 표현되는 영역의 외곽에 위치하며, 액정 주입을 위한 갭을 형성하고 주입된 액정의 누설을 방지하는 역할을 한다. 여기서, 상기 실 패턴은 열경화성 수지를 일정한 패턴으로 형성함으로써 이루어지며, 실 패턴 형성 방법으로는 스크린 마스크(screen mask)를 이용한 스크린 인쇄법과 디스펜서를 이용한 실 디스펜서(dispenser)법이 있다. 현재 공정의 편의성이 큰 스크린 인쇄법이 주로 사용되고 있으나, 마스크와 배향막의 접촉에 의한 불량 유발과 기판의 크기가 커짐에 따라 스크린 마스크의 대응이 어려운 단점이 있어 점차 실 디스펜서법으로 변경이 이루어지고 있다.
이어, 박막트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판 사이의 간격을 정밀하고 균일하게 유지하기 위해, 두 기판 중 어느 하나의 기판에 일정한 크기의 스페이서를 산포한다(S4). 여기서, 상기 스페이서의 산포 방식은 알코올 등에 스페이서를 혼합하여 분사하는 습식 산포법과 스페이서만을 산포하는 건식 산포법으로 나눌 수 있으며, 건식 산포는 정전기를 이용하는 정전 산포법과 기체의 압력을 이용하는 제전 산포법으로 나뉘는데, 액정 표시 장치는 정전기에 취약한 구조를 가지므로 제전 산포법이 많이 사용된다.
액정표시장치의 두 기판 즉, 박막트랜지스터 어레이 기판과 컬러 필터 기판을 배치하고 실 패턴을 가압 경화하여 합착한다(S5). 이때, 각 기판의 배향막이 마주 대하며, 화소 전극과 컬러필터가 일대일 대응하도록 배치한다.
이렇게 두 개의 기판들을 합착시켜 액정패널을 형성한 후 액정패널을 절단하여 분리한다(S6). 여기서 상기 액정패널의 절단공정은 유리기판 보다 경도가 높은 다이아몬드 재질의 스크라이빙 휠에 의하여 기판의 표면에 절단홈을 형성한 후 브레이크 바(Break Bar)로 두들겨서 액정패널을 절단한다.
이와 같이 액정패널을 절단하기 위해 브레이크 바로 액정패널을 두들김으로써 액정패널에 형성된 전극패드가 손상된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 평판표시장치를 제조하는 스크라이브 공정에서 액체와 냉각기체를 이용하여 표시패널을 절단할 수 있는 기판의 절단 장치 및 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 평판표시장치를 제조하는 스크라이브 공정에서 액체와 냉각기체를 이용하여 표시패널을 절단함으로써, 표시패널의 파손을 방지할 수 있는 기판의 절단 장치 및 방법을 제공하는 데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판절단 장치는, 일정한 속도로 회전하여 표시패널 상에 크랙을 형성시키는 스크라이빙 휠; 상기 크랙에 액체를 공급하는 제 1 노즐; 및 상기 크랙에 공급된 상기 액체에 냉각기체를 공급하여 상기 액체를 냉각시키는 제 2 노즐를 포함한다.
본 발명에 따른 기판절단 방법은, 스크라이빙 휠이 일정 속도로 회전하면서 전진이동하여 표시패널 상에 크랙을 형성하는 단계; 제 1 노즐을 통해 상기 크랙에 액체를 공급하는 단계; 및 제 2 노즐을 통해 상기 크랙에 공급된 상기 액체에 냉각기체를 공급하여 상기 액체를 냉각시키는 단계를 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 사시도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 기판절단 장치(100)는, 액체를 저장하기 위한 제 1 저장탱크(110)와, 냉각기체를 저장하기 위한 제 2 저장탱크(120)와, 표시패널(200)에 크랙(Crack)을 형성하기 위한 스크라이빙 휠(130)과, X축과 Y축 방향으로 이동하는 이동부재(140)를 구비한다.
본 발명의 기판절단 장치(100)는, 액체의 유입을 조절하는 자동밸브(111)와, 제 1 저장탱크(110) 내의 액체를 송출시키는 펌프(112)와, 액체의 송출을 조절하는 자동밸브(113)와, 액체를 공급하는 노즐(Nozzle)(114)과, 냉각기체의 유입을 조절하는 자동밸브(121)와, 제 2 저장탱크(120)에 저장된 냉각기체의 송출을 조절하는 자동밸브(122)와, 냉각기체를 공급하는 노즐(123)과, 스크라이빙 휠(130)이 회전되록 하는 회전축(131)과, 회전축(131)을 회전시켜 스크라이빙 휠(130)이 회전되도록 하는 스크라이빙 몸체(132)를 구비한다.
그리고 도 3에 도시되지 않았지만, 본 발명의 기판절단 장치(100)는, 액체와 냉각기체의 공급 및 스크라이빙 휠(130)의 회전을 제어하고, 공급이동부재(140)의 이동 방향을 제어하는 컨트롤러(미도시)를 구비한다.
제 1 저장탱크(110)는 표시패널(200)에 형성되는 크랙에 공급하기 위한 액체를 자동밸브(111)를 통해 공급받아 저장하고, 저장된 액체를 펌프(112) 방향으로 송출한다. 본 발명에서는 제 1 저장탱크(110)에 물을 저장하고 있지만, 다른 액체가 물 대신 저장될 수도 있다.
자동밸브(111)는 외부로부터 액체를 공급받는 노즐(114) 상에 부착되어 상기 컨트롤러에 의해 잠김이나 열림이 조절되며, 열린 상태에서 외부로부터 노즐(114)을 통해 공급된 액체가 제 1 저장탱크(110)에 유입되도록 하고, 잠긴 상태에서 제 1 저장탱크(110)로의 액체 유입을 차단함과 아울러 제 1 저장탱크(110)에 저장된 액체가 외부로 역류하지 못하도록 차단하여 준다.
펌프(112)는 제 1 저장탱크(110)와 연결된 노즐(114) 상에 부착되어, 제 1 저장탱크(110)로부터 송출된 액체를 압력을 이용하여 자동밸브(113) 방향으로 토출시킨다.
자동밸브(113)는 펌프(112)와 연결된 노즐(114) 상에 부착되어 상기 컨트롤러에 의해 잠김이나 열림이 조절되며, 열린 상태에서 펌프(112)를 통해 송출된 액체가 표시패널(200)에 형성되는 크랙으로 공급되도록 하고, 잠긴 상태에서 펌프(112)를 통해 이루어지는 액체의 송출을 차단하여 준다.
노즐(114)은 제 1 저장탱크(110)의 양측에 연결되어 액체가 흐르도록 하고, 그의 일측단이 표시패널(220) 상에 근접되어 배치되는데, 특히 스크라이빙 휠(130) 과 동일한 수평라인 상에 배치된다.
제 2 저장탱크(120)는 표시패널(200)에 형성되는 크랙에 공급하기 위한 냉각기체를 자동밸브(121)를 통해 공급받아 저장하고, 저장된 냉각기체를 자동밸브(123) 방향으로 송출한다. 본 발명에서는 제 2 저장탱크(120)에 질소기체를 저장하고 있으나, 다른 냉각기체가 질소기체 대신 저장될 수도 있다.
자동밸브(121)는 외부로부터 냉각기체를 공급받는 노즐(123) 상에 부착되어 상기 컨트롤러에 의해 잠김이나 열림이 조절되며, 열린 상태에서 외부로부터 노즐(123)을 통해 공급된 냉각기체가 제 2 저장탱크(120)에 유입되도록 하고, 잠긴 상태에서 제 2 저장탱크(120)로의 냉각기체 유입을 차단함과 아울러 제 2 저장탱크(120)에 저장된 냉각기체가 외부로 역류하지 못하도록 차단하여 준다.
자동밸브(122)는 노즐(114) 상에 부착되어 상기 컨트롤러에 의해 잠김이나 열림이 조절되며, 열린 상태에서 제 2 저장탱크(120)로부터 송출된 냉각기체가 표시패널(200)에 형성되는 크랙으로 공급되도록 하고, 잠긴 상태에서 제 2 저장탱크(120)로부터 송출된 냉각기체가 표시패널(200)로 공급되지 않도록 차단하여 준다.
노즐(123)은 제 2 저장탱크(120)의 양측에 연결되어 냉각기체가 흐르도록 하고, 그의 일측단이 표시패널(220) 상에 근접되어 배치되는데, 특히 노즐(114) 및 스크라이빙 휠(130)과 동일한 수평라인 상에 배치된다.
한편, 자동밸브들(111, 113, 121, 122)은 상기 컨트롤러에 의해 자동으로 잠기거나 열리도록 구현되었지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 사용자에 의해 수동적 으로 열리거나 잠길 수도 있다.
스크라이빙 휠(130)은 유리기판보다 경도가 높은 다이몬드로 구현될 수 있으며, 0.6 ∼ 2㎜ 두께를 갖도록 구현되는 것이 바람직하다. 이러한 스트라이빙 휠(130)은 회전축(131)의 일측단에 부착되어 회전축(131)을 따라 일정한 속도로 회전하여 표시패널(200)의 절단 예정선(201)에서 마찰력을 가함으로써, 절단 예정선(201)에 크랙이 형성되도록 한다.
회전축(131)은 스크라이빙 몸체(132)의 하단과 스크라이빙 휠(130) 사이에 연결되어 스크라이빙 몸체(132)로부터 제공되는 회전력에 의해 회전되어 스크라이빙 휠(130)을 회전시킨다. 이러한 회전축(131)은 스크라이빙 몸체(132)를 중심으로 수직 상방과 수직 하방으로 선회하고, 특히 절단 공정시 수직 하방으로 선회하여 스크라이빙 휠(130)이 표시패널(200)의 절단 예정선(201)에 접촉되게 위치되도록 한다.
스크라이빙 몸체(132)는 일측이 이동부재(140)에 부착되어 고정되고, 이동부재(140)를 따라 X축과 Y축 방향으로 이동하여 스크라이빙 휠(130)이 표시패널(200)의 절단 예정선(201)을 따라 이동되도록 한다. 이러한 스크라이빙 몸체(132)는 상기 컨트롤러에 의해 조절되는 속도로 스크라이빙 휠(130)과 회전축(131)을 회전시켜 주는데, 이에 한정되어 구현되는 것은 아니고, 사용자에 의해 구동이 제어될 수도 있다.
이동부재(140)는 냉각기체가 분사되는 노즐(114), 액체가 토출되는 노즐(123) 및 스크라이빙 휠(130)이 동일 수평라인, 즉 표시패널(200)의 절단 예정 선(201) 상에 수평되게 놓이도록 고정시켜 준다. 이러한 이동부재(140)는 상기 컨트롤러의 제어에 따라 X축과 Y축 방향으로 이동하여 노즐들(114, 123)과 스크라이빙 휠(130)이 표시패널(200)의 절단 예정선(201)을 따라 이동되도록 한다.
상기한 바와 같은 구조를 갖는 본 발명에 따른 기판절단 장치가 표시패널을 절단하는 방식을 도 4를 참조하여 보다 상세하게 설명한다.
먼저, 이동부재(140)가 스크라이빙 휠(130)을 표시패널(200)의 절단 예정선(201)에 접촉되게 배치시키고, 아울러 노즐들(114, 123)을 스크라이빙 휠(130)과 동일한 수평라인 상에 배치시킨다. 이 상태에서, 스크라이빙 휠(130)은 회전축(131)을 따라 일정한 속도로 회전하여 절단 예정선(201)에 크랙(202)을 형성시키면서 이동부재(140)에 의해 절단 예정선(201)을 따라 전진한다. 이렇게 스크라이빙 휠(130)이 회전하면서 전진하기 때문에, 표시패널(200)의 절단 예정선(201) 상에 크랙(202)이 형성된다.
그리고, 노즐들(114, 123)이 스크라이빙 휠(130)과 일정 간격으로 이격되어 동일 수평라인 상에 배치된 상태에서, 스크라이빙 휠(130)에 의해 형성된 크랙(202)을 따라 이동하면서 물과 질소기체를 순차적으로 크랙(202)에 공급한다. 이에 따라, 노즐(123)를 통해 크랙(202)에 공급된 물(123-1)이 노즐(114)를 통해 공급된 질소기체(114-1)에 의해 냉각되어 얼음(203)이 된다.
크랙(202)에 공급된 물(123-1)이 냉각되어 얼음(203)이 되면, 물(123-1)의 부피가 팽창하기 때문에 크랙(202)를 축으로 표시패널(200)이 절단된다.
이와 같이 본 발명은 표시패널 상에 크랙을 형성한 후 브레이크 바를 이용하 여 표시패널을 두드리지 않고도 냉각된 물질의 부피 팽창으로 인해 표시패널이 절단되도록 함으로써, 기판 절단시 두드리는 충격에 의해 표시패널이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 본 발명에서는 노즐(114)이 제 1 저장탱크(110)로부터 송출되는 냉각기체를 크랙에 공급하도록 하고 노즐(123)이 제 2 저장탱크(120)로부터 송출되는 액체를 크랙에 공급하도록 하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은, 평판표시장치를 제조하는 스크라이브 공정에서 외부의 충격을 가하지 않고 액체와 냉각기체를 이용하여 표시패널을 절단함으로써, 기판 절단시 충격에 의해 표시패널이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 기술사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술사상의 범위에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (7)

  1. 일정한 속도로 회전하여 표시패널 상에 크랙을 형성하는 스크라이빙 휠;
    상기 크랙에 액체를 공급하는 제 1 노즐; 및
    상기 크랙에 공급된 상기 액체에 냉각기체를 공급하여 상기 액체를 냉각시키는 제 2 노즐
    를 포함하는 기판절단 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 노즐에 의해 공급되는 상기 액체는 물인 것을 특징으로 하는 기판절단 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 노즐에 의해 공급되는 상기 냉각기체는 질소기체인 것을 특징으로 하는 기판절단 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 스크라이빙 휠, 상기 제 1 노즐 및 상기 제 2 노즐은 일정 간격으로 이격되게 동일 수평라인 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판절단 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 스크라이빙 휠, 상기 제 1 노즐 및 상기 제 2 노즐은 상기 표시패널 상에서 동일한 속도로 동시에 전진이동하는 것을 특징으로 하는 기판절단 장치.
  6. 스크라이빙 휠이 일정 속도로 회전하면서 전진이동하여 표시패널 상에 크랙을 형성하는 단계;
    제 1 노즐을 통해 상기 크랙에 액체를 공급하는 단계; 및
    제 2 노즐을 통해 상기 크랙에 공급된 상기 액체에 냉각기체를 공급하여 상기 액체를 냉각시키는 단계
    를 포함하는 기판절단 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 크랙 형성, 상기 액체 공급 및 상기 냉각기체 공급 과정은 순차적으로 수행됨과 아울러 동시에 수행되는 것을 특징으로 하는 기판절단 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN102115307A (zh) * 2010-01-04 2011-07-06 塔工程有限公司 包括切屑预处理单元的划线装置及划线方法
KR101130702B1 (ko) * 2009-08-17 2012-04-02 한양대학교 산학협력단 열응력을 이용한 유리판 절단장치 및 유리판 절단방법
CN111103710A (zh) * 2019-12-30 2020-05-05 Tcl华星光电技术有限公司 显示面板裂片装置

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