KR20080058144A - 정전척 및 이를 이용한 평판표시소자의 합착방법 - Google Patents

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KR20080058144A
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Abstract

본 발명은 제 1 및 제 2 정전 전극 사이의 절연을 강화시킬 수 있는 정전척 및 이를 이용한 평판표시소자의 합착방법에 관한 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 정전척은 제 1 정전 전극과, 상기 제 1 정전 전극을 덮도록 형성된 개재층과, 상기 개재층 상에 상기 제 1 정전 전극과 교번적으로 형성되는 제 2 정전 전극을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 정전척을 이용한 평판표시소자의 합착방법은 제 1 및 제 2 기판을 로딩하는 단계와, 제 1 정전 전극, 상기 제 1 정전 전극을 덮도록 형성된 개재층, 상기 개재층 상에 상기 제 1 정전 전극과 중첩되도록 형성된 제 2 정전 전극을 포함하는 정전척을 이용하여 상/하부 스테이지를 이동하여 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계와, 상기 상/하부 스테이지를 이동하여 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
정전척, 기판 합착

Description

정전척 및 이를 이용한 평판표시소자의 합착방법{Electric static chuck and method of sealing flat plate display using the same}
본 발명은 정전척 및 이를 이용한 평판표시소자의 합착방법에 관한 것으로, 특히 제 1 및 제 2 정전극 사이의 절연을 강화시킬 수 있는 정전척 및 이를 이용한 평판표시소자의 합착방법에 관한 것이다.
액정표시장치는 전계를 이용하여 유전 이방성을 갖는 액정의 광투과율을 조절함으로써 화상을 표시한다. 이를 위하여, 액정표시장치는 액정셀들이 액티브 매트릭스(Active matrix) 형태로 배열된 액정표시패널과, 이 액정표시패널을 구동시키기 위한 구동회로를 구비한다.
이러한 액정표시장치의 액정표시패널은 증착(코팅) 공정, 노광 공정, 현상 공정 및 식각 공정 등을 포함하는 마스크 공정에 의해 형성되는 박막트랜지스터(thin film transistor : TFT) 기판 및 컬러필터(color filter) 기판을 마련한 후, 이 두 기판을 합착하는 합착 공정을 통해 형성된다.
여기서, 마스크 공정 또는 합착 공정시 기판을 고정시키기 위해 정전척을 이용한다. 기판을 고정시키는 정전척은 도 1에 도시된 바와 같이, 베이스 플레이 트(11) 상에 순차적으로 형성되는 접착층(13), 제 1 절연층(14), 제 1 및 제 2 정전 전극(20, 30)과, 제 2 절연층(16)으로 구성된다.
여기서, 제 1 및 제 2 정전 전극(20, 30)에는 서로 다른 극성의 전압이 인가된다. 이러한 제 1 및 제 2 정전 전극(20, 3에 의해 정전척의 상부면에는 정전기력이 발생하게 되며, 이 정전기력에 의해 기판은 정전척에 흡착된다.
도 1에 도시된 종래의 정전척의 제 2 절연층(16)은 기판 이물 또는 접착층의 이물 등에 의해 절연 파괴되어 아크 방전이 발생되는 문제점이 있다. 또한, 정전척의 사용기간이 길어질수록 일렉트로 마이그레이션(electro migration)에 의해 제 1 및 제 2 정전 전극(20, 30)에 포함된 금속 이온들이 제 1 절연층(14) 또는 제 2 절연층 등의 내부로 용출되어 절연 파괴가 발생되므로 아크 방전이 발생되는 문제점이 있다.
종래의 정전척의 제 2 절연층은 기판 이물 또는 접착층의 이물 등에 의해 절연 파괴되어 아크 방전이 발생되는 문제점이 있다. 또한, 정전척의 사용기간이 길어질수록 일렉트로 마이그레이션에 의해 제 1 및 제 2 정전 전극에 포함된 금속 이온들이 제 1 절연층 또는 제 2 절연층 등의 내부로 용출되어 절연 파괴가 발생되므로 아크 방전이 발생되는 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 정전척의 제 1 및 제 2 정전 전극 사이의 절연을 강화시킬 수 있는 정전척 및 이를 이용한 평판표시소자의 합착방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 정전척은 제 1 정전 전극과, 상기 제 1 정전 전극을 덮도록 형성된 개재층과, 상기 개재층 상에 상기 제 1 정전 전극과 교번적으로 형성되는 제 2 정전 전극을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 정전척은 평판 형태의 제 1 정전 전극과, 상기 제 1 정전 전극을 덮도록 형성된 개재층과, 상기 제 1 정전 전극과 부분적으로 중첩되도록 상기 개재층 상에 형성되는 제 2 정전 전극을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 정전척을 이용한 평판표시소자의 합착방법은 제 1 및 제 2 기판을 로딩하는 단계와, 제 1 정전 전극, 상기 제 1 정전 전극을 덮도록 형성된 개재층, 상기 개재층 상에 상기 제 1 정전 전극과 중첩되도록 형성된 제 2 정전 전극을 포함하는 정전척을 이용하여 상/하부 스테이지를 이동하여 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계와, 상기 상/하부 스테이지를 이동하여 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 정전척을 이용한 평판표시소자의 합착방법은 제 1 및 제 2 기판을 로딩하는 단계와, 평판 형태의 제 1 정전 전극, 상기 제 1 정전 전극을 덮도록 형성된 개재층, 상기 제 1 정전 전극과 부분적으로 중첩되는 수평부, 상기 제 1 수평부로부터 일정한 간격으로 나란하게 신장된 복수의 수직부를 가지도록 상기 개재층 상에 형성된 제 2 정전 전극을 포함하는 정전척을 이용하여 상/하부 스테이지를 이동하여 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 실시 예에 따른 정전척 및 이를 이용한 평판표시소자의 합착방법은 제 1 및 제 2 정전 전극이 개재층을 사이에 두고 교번적으로 형성된다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 정전척 및 이를 이용한 평판표시소자의 합착방법은 제 2 정전 전극을 덮도록 형성된 제 2 절연층에 절연 파괴가 발생되어도 제 1 및 제 2 정전 전극 간의 절연 파괴는 발생되지 않으므로 아크 방전이 발생되지 않는다.
이하, 본 발명의 기술적 과제 및 특징들은 첨부된 도면 및 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. 본 발명을 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 정전척을 가지는 합착 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2에 도시된 합착 장치는 상/하부 스테이지(152, 154)와, 하부 스테이지(154)와 결합되어 진공 상태를 형성하는 챔버(150)를 구비한다.
챔버(150)는 그 내부가 선택적으로 진공 상태 혹은, 대기압 상태를 이루면서 각 기판(172, 174) 간 가압을 통한 합착과 압력 차를 이용한 합착이 순차적으로 수행된다. 이를 위해, 챔버(150)는 진공 장치로부터 전달된 공기 흡입력을 전달받아 챔버(150)의 내부 공간에 존재하는 공기가 배출되는 공기배출관(158)이 연결된다.
또한, 챔버(150)는 외부로부터 공기 또는 진공가스를 유입하여 챔버(150)의 내부를 대기 상태로 유지시키기 위한 벤트(vent)관(156)이 연결된다. 이러한 공기 배출관(158) 또는 벤트관(156)을 이용하여 챔버(150)의 내부는 진공 상태 또는 대기 상태를 이룰 수 있다.
상부 스테이지(152)는 이동축(160)에 의해 선택적으로 상·하 이동하게 된다. 하부 스테이지(154)는 회전축(162)에 의해 선택적으로 좌·우 회전하게 된다.
상/하부 스테이지(152, 154)는 챔버(150) 내의 상측 공간과 하측 공간에 각각 대향하여 설치된다. 이러한 상/하부 스테이지(152, 154)는 챔버(150) 내부로 반입된 제 1 및 제 2 기판(172, 174)을 챔버(150) 내의 해당 위치에 고정시키는 역할 을 수행한다. 여기서, 제 2 기판(174) 상에는 합착제(176)를 통해 마련된 공간에 적하 방식을 통해 액정(178)이 형성되어 있다.
도 3은 도 2에 도시된 복수의 정전척이 내장된 스테이지를 나타내는 단면도이다.
도 3을 참조하면, 상/하부 스테이지(152, 154)에는 정전력을 제공하여 기판(172, 174)의 고정이 가능하도록 하나 이상의 정전척(Electric Static Chuck : ESC)(110)이 매설되어 있다. 복수의 정전척(110) 각각은 교체시 개별적으로 교체 가능하도록 설치된다.
이러한 정전척(110)은 서로 다른 극성의 전원이 각각 인가되는 제 1 및 제 2 정전 전극(122, 124)을 포함하는 바이폴라(bipolar) 형태로 형성된다. 이에 대하여 도 4 및 도 5를 결부하여 구체적으로 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 정전척을 상세히 나타내는 사시도이고, 도 5는 도 4에 도시된 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 정전척을 나타내는 단면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 정전척(110)은 베이스 플레이트(111), 제 1 및 제 2 절연층(112, 116), 개재층(114), 제 1 및 제 2 접착층(118, 120), 구리(Cu)와 같은 금속으로 형성되는 제 1 및 제 2 정전 전극(122, 124)을 포함하여 구성된다.
베이스 플레이트(111)는 전원 인입봉(도시하지 않음)이 수직한 형태로 설치될 수 있도록 내부에 수직 관통공(도시하지 않음)이 형성된다. 이러한 베이스 플레 이트(111)는 강도가 강한 재질, 예를 들어 알루미늄과 등으로 형성된다.
제 1 접착층(118)은 필름 형태의 제 1 절연층(112)과 필름 형태의 개재층(114)을 접착시킨다. 제 2 접착층(120)은 필름 형태의 개재층(114)과 필름 형태의 제 2 절연층(116)을 접착시킨다.
제 1 절연층(112)은 베이스 플레이트(111)와 제 1 정전 전극(122)을 절연시키기 위해 베이스 플레이트(111)와 제 1 정전 전극(122) 사이에 형성된다. 제 2 절연층(116)은 제 1 및 제 2 기판(172, 174) 중 어느 하나와 제 2 정전 전극(124)을 절연시키도록 이들 사이에 형성되며, 제 1 및 제 2 정전 전극(122, 124)으로부터 유기된 전하들이 축적된다. 이러한 제 1 및 제 2 절연층(112, 116) 중 적어도 어느 하나의 절연층(112, 116)은 필름 형태의 폴리이미드(Polymide) 등으로 형성된다.
개재층(114)은 제 1 및 제 2 정전 전극(122, 124)을 절연시키기 위해 제 1 정전 전극(122)과 제 2 정전 전극(124) 사이에 형성된다. 이 개재층(114)은 필름 형태의 폴리이미드 등으로 형성된다.
제 1 정전 전극(122)은 제 1 수평부(122b)와, 제 1 수평부(122b)에서 신장된 복수의 제 1 수직부(122a)를 포함한다. 제 2 정전 전극(124)은 제 1 수평부(122b)와 나란한 제 2 수평부(124b)와 제 2 수평부(124b)에서 신장된 복수의 제 2 수직부(124b)를 포함하여 구성된다.
제 1 정전 전극(122)의 복수의 제 1 수직부(122a) 각각은 제 2 전전 전극(124)의 복수의 제 2 수직부(124a) 각각과 개재층(114)을 사이에 두고 교번적으로 형성된다.
또한, 제 1 정전 전극(122)의 제 1 수평부(122b)는 제 1 접착층(118)의 일측 상에 형성되며, 제 2 정전 전극(124)의 제 2 수평부(124b)는 개재층(114)의 타측 상에 형성된다.
이와 같이, 제 1 및 제 2 정전 전극(122, 124) 각각의 수직부(122a, 124a)는 서로 중첩되지 않으며, 제 1 및 제 2 정전 전극(122, 124) 각각의 수평부(122b, 124b)는 서로 중첩되지 않는다.
서로 중첩되지 않는 제 1 및 제 2 정전 전극(122, 124) 간의 절연 파괴가 일어날 확률은 매우 적다. 이에 따라, 제 1 및 제 2 정전 전극(122, 124) 사이에 형성되는 개재층(114)의 두께는 제 1 및 제 2 정전 전극이 수직방향으로 중첩되는 종래보다 제 1 및 제 2 정전 전극(122, 124)이 수직 방향으로 중첩되지 않는 본 발명의 제 1 실시 예에서 상대적으로 얇게 형성할 수 있다.
이러한 두께가 상대적으로 얇은 개재층(114)에 의해 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 정전척(110)은 슬림화가 가능하다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 정전척을 이용한 기판 흡착 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
제 1 및 제 2 정전 전극(122, 124)에는 도 6에 도시된 바와 같이, 서로 다른 극성의 전압이 공급된다. 이를 보다 자세히 설명하면, 제 1 정전 전극(122)에는 부극성(-)의 정전 전압이 공급되며, 제 2 정전 전극(124)에는 정극성(+)의 정전 전압이 공급된다.
이 경우, 부극성(-)의 정전 전압이 공급되는 제 1 정전 전극(122) 상에 형성 된 제 2 절연층(116)에는 부극성의 전하들이 유기되며, 정극성(+)의 정전 전압이 공급되는 제 2 정전 전극(124) 상에 형성된 제 2 절연층(116)에는 정극성(+)의 전하들이 유기된다.
이 유기된 정극성(+) 및 부극성(-)의 전하들에 의하여 기판(172, 174) 상에 형성된 구동 전극, 예를 들어 화소전극 또는 공통 전극과의 사이에 발생되는 쿨롱력으로 인해 두 기판(172, 174) 각각이 정전척(110)에 정전 흡착된다.
한편, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 정전척(110)을 가지는 합착 장치를 이용한 액정표시소자의 합착방법에 대해 도 2 내지 도 6을 결부하여 구체적으로 설명하기로 한다.
먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 상/하부 스테이지(152, 154)에 제 1 및 제 2 기판(172, 174)이 로딩된다. 이때, 제 2 기판(174) 상에는 합착제(176)를 통해 마련된 공간에 적하 방식을 통해 액정(178)이 형성되어 있다.
이 후, 정전척(110)의 제 1 및 제 2 정전 전극(122, 124)에 서로 다른 극성의 전압이 인가됨으로써 상부 스테이지(152)에 제 1 기판(172)이 흡착되고, 하부 스테이지(154)에 제 2 기판(174)이 흡착된다. 이 상태에서 상/하부 스테이지(152, 154)를 이동시켜 제 1 및 제 2 기판(172, 174)이 정렬되도록 한다.
그런 다음, 챔버(150)와 하부 스테이지(154)에 의해 마련된 공간 내부가 대기 상태에서 진공 상태로 되면, 상부 스테이지(152)에 정전 흡착된 제 1 기판(172)을 하부 스테이지(154)에 정전 흡착된 제 2 기판(174)에 가압한다.
이에 따라, 상부 스테이지(152)에 정전 흡수된 제 1 기판(172)과 하부 스테 이지(154)에 정전 흡착된 제 2 기판(174)은 합착제(176)에 의해 서로 합착된다.
본 발명에 제 1 실시 예에 따른 정전척(110) 및 이를 이용한 평판표시소자의 합착방법은 제 1 및 제 2 정전 전극(122, 124)이 개재층(114)을 사이에 두고 교번적으로 형성된다. 이에 따라, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 정전척(110) 및 이를 이용한 평판표시소자의 합착방법은 제 2 정전 전극(124)을 덮도록 형성된 제 2 절연층(116)에 절연 파괴가 발생되어도 제 1 및 제 2 정전 전극(122, 124) 간의 절연 파괴는 발생되지 않으므로 아크 방전이 발생되지 않는다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 정전척을 상세히 나타내는 사시도이고, 도 8은 도 7에 도시된 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 정전척을 나타내는 단면도이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 정전척(110)은 베이스 플레이트(111), 제 1 및 제 2 절연층(112, 116), 개재층(114), 제 1 및 제 2 접착층(118, 120), 구리(Cu)와 같은 금속으로 형성되는 제 1 및 제 2 정전 전극(222, 224)을 포함하여 구성된다.
베이스 플레이트(111), 제 1 접착층(118), 제 1 절연층(112), 개재층(114), 제 2 접착층(120), 제 2 절연층(116), 제 1 및 제 2 기판(172, 174)은 도 2 내지 6에 도시된 본 발명의 제 1 실시 예와 동일한 구성이므로 이에 대한 상세한 설명은 본 발명의 제 1 실시 예의 설명을 참조한다.
제 1 정전 전극(222)은 평판(flat plate) 형상을 가지며 개재층(114)을 사이에 두고 제 2 정전 전극(224)과 중첩되도록 형성된다. 제 2 정전 전극(224)은 수평 부(224b)와, 수평부(224b)에서 신장된 복수의 수직부(224a)를 포함한다. 이러한, 제 2 정전 전극(224)의 수평부(224b)와, 수직부(224a)는 개재층(144)을 사이에 두고 중첩되도록 형성된다.
이러한, 제 1 정전 전극(222)의 하측에는 제 1 접착층(118)이 형성된다.
본 발명의 제 2 실시 예에 따른 정전척(100)을 이용한 기판 흡착 방법을 설명하면 다음과 같다.
제 1 및 제 2 정전 전극(222, 224)에는 도 8에 도시된 바와 같이, 서로 다른 극성의 전압이 공급된다. 이를 보다 자세히 설명하면, 제 1 정전 전극(222)에는 부극성(-)의 정전 전압이 공급되며, 제 2 정전 전극(224)에는 정극성(+)의 정전 전압이 공급된다.
이 경우, 부극성(-)의 정전 전압이 공급되는 제 1 정전 전극(222) 상에 형성된 제 2 절연층(216)에는 부극성의 전하들이 유기되며, 정극성(+)의 정전 전압이 공급되는 제 2 정전 전극(224) 상에 형성된 제 2 절연층(216)에는 정극성(+)의 전하들이 유기된다.
이 유기된 정극성(+) 및 부극성(-)의 전하들에 의하여 기판(172, 174) 상에 형성된 구동 전극, 예를 들어 화소전극 또는 공통 전극과의 사이에 발생되는 쿨롱력으로 인해 두 기판(172, 174) 각각이 정전척(110)에 정전 흡착된다.
한편, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 정전척(110)을 가지는 합착 장치를 이용한 액정표시소자의 합착방법에 대해 도 2를 결부하여 구체적으로 설명하기로 한다.
먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 상/하부 스테이지(152, 154)에 제 1 및 제 2 기판(172, 174)이 로딩된다. 이때, 제 2 기판(174) 상에는 합착제(176)를 통해 마련된 공간에 적하 방식을 통해 액정(178)이 형성되어 있다.
이 후, 정전척(110)의 제 1 및 제 2 정전 전극(222, 224)에 서로 다른 극성의 전압이 인가됨으로써 상부 스테이지(152)에 제 1 기판(172)이 흡착되고, 하부 스테이지(154)에 제 2 기판(174)이 흡착된다. 이 상태에서 상/하부 스테이지(152, 154)를 이동시켜 제 1 및 제 2 기판(172, 174)이 정렬되도록 한다.
그런 다음, 챔버(150)와 하부 스테이지(154)에 의해 마련된 공간 내부가 대기 상태에서 진공 상태로 되면, 상부 스테이지(152)에 정전 흡착된 제 1 기판(172)을 하부 스테이지(154)에 정전 흡착된 제 2 기판(174)에 가압한다.
이에 따라, 상부 스테이지(152)에 정전 흡수된 제 1 기판(172)과 하부 스테이지(154)에 정전 흡착된 제 2 기판(174)은 합착제(176)에 의해 서로 합착된다.
본 발명에 제 2 실시 예에 따른 정전척(110) 및 이를 이용한 평판표시소자의 합착방법은 제 1 및 제 2 정전 전극(222, 224)이 개재층(114)을 사이에 두고 형성된다. 이에 따라, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 정전척 및 이를 이용한 평판표시소자의 합착방법은 제 2 정전 전극(224)을 덮도록 형성된 제 2 절연층(116)에 절연 파괴가 발생되어도 제 1 및 제 2 정전 전극(222, 224) 간의 절연 파괴는 발생되지 않으므로 아크 방전이 발생되지 않는다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변 형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
도 1은 종래의 정전척을 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 정전척을 가지는 합착 장치를 나타내는 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 복수의 정전척이 내장된 스테이지를 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 정전척을 상세히 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 정전척을 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 정전척을 이용한 기판 흡착 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 정전척을 상세히 나타내는 사시도이다.
도 8은 도 7에 도시된 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 정전척을 나타내는 단면도이다.
<도면 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110 : 정전척 111 : 베이스 플레이트
112, 116 : 절연층 114 : 개재층
118, 120 : 접착층 122, 124 : 정전 전극
122a, 124a : 수직부 122b, 124b : 수평부
150 : 챔버 152, 154 : 스테이지
156 : 벤트관 158 : 공기 배출관
160 : 이동축 162 : 회전축
172, 174 : 기판 176 : 합착제
178 : 액정

Claims (13)

  1. 제 1 정전 전극과,
    상기 제 1 정전 전극을 덮도록 형성된 개재층과,
    상기 개재층 상에 상기 제 1 정전 전극과 교번적으로 형성되는 제 2 정전 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 정전척.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 정전 전극은
    제 1 수평부와,
    상기 제 1 수평부로부터 신장된 복수의 제 1 수직부를 포함하며,
    상기 제 2 정전 전극은
    상기 개재층을 사이에 두고 상기 제 1 수평부와 나란한 제 2 수평부와,
    상기 개재층을 사이에 두고 상기 제 1 수직부와 교번적으로 형성되며 상기 제 2 수평부로부터 신장되는 제 2 수직부를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 정전 전극에는 서로 다른 극성의 전압이 공급되는 것을 특징으로 하는 정전척.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 정전 전극 하부에 형성되는 베이스 플레이트와,
    상기 베이스 플레이트와 상기 제 1 정전 전극을 절연시키는 제 1 절연층과,
    상기 제 1 절연층과 상기 개재층을 접착시키는 제 1 접착층과,
    상기 제 2 정전 전극 상에 형성된 제 2 접착층과,
    상기 제 2 접착층 상에 형성된 제 2 절연층을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 정전척.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 절연층과 상기 기재층 중 적어도 하나는 필름 형태의 폴리이미드로 형성되는 것을 특징으로 하는 정전척.
  6. 평판 형태의 제 1 정전 전극과,
    상기 제 1 정전 전극을 덮도록 형성된 개재층과,
    상기 제 1 정전 전극과 부분적으로 중첩되도록 상기 개재층 상에 형성되는 제 2 정전 전극을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 정전척.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 2 정전 전극은
    제 1 수평부와,
    상기 제 1 수평부로부터 일정한 간격으로 나란하게 신장된 복수의 수직부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 정전척.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 정전 전극 하부에 형성되는 베이스 플레이트와,
    상기 베이스 플레이트와 상기 제 1 정전 전극을 절연시키는 제 1 절연층과,
    상기 제 1 절연층과 상기 개재층을 접착시키는 제 1 접착층과,
    상기 제 2 정전 전극 상에 형성된 제 2 접착층과,
    상기 제 2 접착층 상에 형성된 제 2 절연층을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 정전척.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 절연층과 상기 기재층 중 적어도 하나는 필름 형태의 폴리이미드로 형성되는 것을 특징으로 하는 정전척.
  10. 제 1 및 제 2 기판을 로딩하는 단계와,
    제 1 정전 전극, 상기 제 1 정전 전극을 덮도록 형성된 개재층, 상기 개재층 상에 상기 제 1 정전 전극과 중첩되도록 형성된 제 2 정전 전극을 포함하는 정전척을 이용하여 상/하부 스테이지를 이동하여 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계와,
    상기 상/하부 스테이지를 이동하여 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전척을 이용한 평판표시소자의 합착방법.
  11. 상기 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 전극을 덮도록 형성된 개재층, 상기 제 1 정전 전극과 상기 제 2 정전 전극은 교번적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 정전척을 이용한 평판표시소자의 합착방법.
  12. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 기판 각각을 흡착하는 단계는
    상기 제 1 및 제 2 정전 전극에 서로 다른 극성의 전압을 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척을 이용한 평판표시소자의 합착방법.
  13. 제 1 및 제 2 기판을 로딩하는 단계와,
    평판 형태의 제 1 정전 전극,
    상기 제 1 정전 전극을 덮도록 형성된 개재층,
    상기 제 1 정전 전극과 부분적으로 중첩되는 수평부,
    상기 제 1 수평부로부터 일정한 간격으로 나란하게 신장된 복수의 수직부를 가지도록 상기 개재층 상에 형성된 제 2 정전 전극을 포함하는 정전척을 이용하여 상/하부 스테이지를 이동하여 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전척을 이용한 평판표시소자의 합착방법.
KR1020070069085A 2006-12-21 2007-07-10 정전척 및 이를 이용한 평판표시소자의 합착방법 KR20080058144A (ko)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8325457B2 (en) 2009-01-23 2012-12-04 Samsung Display Co., Ltd. Electrostatic chuck and device of manufacturing organic light emitting diode having the same
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KR102154686B1 (ko) 2020-05-19 2020-09-10 ㈜ 엘에이티 정전척 방식의 폴더블 디스플레이 제조용 라미네이터
KR102154685B1 (ko) 2020-05-19 2020-09-10 ㈜ 엘에이티 정전력을 이용한 폴더블 디스플레이 제조용 라미네이터
WO2022191676A1 (ko) * 2021-03-12 2022-09-15 주식회사 아모센스 정전 척 시트 및 이를 포함하는 정전 척

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