KR20080057998A - Drying device for large area substrate - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 종래 대면적 기판의 건조장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a conventional drying apparatus for a large area substrate.
도 2는 본 발명 대면적 기판의 건조장치 바람직한 실시예의 구성도이다. Figure 2 is a block diagram of a preferred embodiment of the drying apparatus of the present invention a large area substrate.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
10:대면적 기판 20:이송부10: large area substrate 20: transfer unit
30:온도분포 검출부 40:주히터30: temperature distribution detector 40: main heater
50:에어나이프 60:온도제어부50: air knife 60: temperature control unit
70:보조히터70: auxiliary heater
본 발명은 대면적 기판의 건조장치에 관한 것으로, 특히 대면적 기판의 온도분포를 감안하여 건조할 수 있는 대면적 기판의 건조장치에 관한 것이다.The present invention relates to a drying apparatus for a large area substrate, and more particularly to a drying apparatus for a large area substrate that can be dried in consideration of the temperature distribution of the large area substrate.
일반적으로 평판 디스플레이의 제조에 사용되는 대면적 기판을 건조하는 건조장치는 승온된 건조공기를 대면적 기판에 분사하여 기판을 건조하는 장치이다.Generally, a drying apparatus for drying a large area substrate used in the manufacture of a flat panel display is a device for drying a substrate by spraying heated air on a large area substrate.
종래 대면적 기판의 건조장치는 대면적 기판의 온도 분포 또는 건조실 내의 온도 분포와는 무관하게 균일한 온도로 승온된 건조공기를 분사하였으며, 이와 같은 종래 대면적 기판의 건조장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Conventional large area substrate drying apparatus sprays dry air heated to a uniform temperature irrespective of the temperature distribution of the large area substrate or the temperature distribution in the drying chamber, refer to the accompanying drawings of the conventional large area substrate drying apparatus. When described in detail as follows.
도 1은 종래 대면적 기판의 건조장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a conventional drying apparatus for a large area substrate.
도 1을 참조하면, 종래 대면적 기판의 건조장치는 건조공기를 가열하는 히터(1)와, 상기 히터(1)에 의해 승온된 건조공기를 이송부(4)에 의해 이송되는 기판(3)에 분사하는 에어나이프(2)로 구성된다.Referring to FIG. 1, a conventional apparatus for drying a large-area substrate includes a
상기 히터(1)에 의해 승온된 건조공기의 온도는 50 내지 80℃이며, 그 히터(1)에 의해 승온된 건조공기는 에어나이프(2)에서 분사된다.The temperature of the drying air heated by the
상기 에어나이프(2)에서 분사되는 승온 건조공기는 그 저면부에서 이송부(4) 에 의해 이송되는 기판(3)을 건조한다.The elevated temperature drying air injected from the
상기 에어나이프(2)는 기판의 상면과 하면을 각각 건조시킬 수 있도록 상하 한 쌍으로 배치할 수 있다.The
상기 기판(3)은 건조실의 내부 온도 분포, 이전의 세정공정 등의 처리 과정에서 부분적으로 온도에 차이가 발생할 수 있다. 이와 같이 기판(3) 자체의 온도 분포에 차이가 있는 경우, 보다 온도가 낮은 부분에서는 상기 승온된 건조공기에 의해서도 건조가 잘 이루어지지 않는 경우가 발생한다.The substrate 3 may partially experience a difference in temperature during an internal temperature distribution of a drying chamber, a previous cleaning process, and the like. In this way, when there is a difference in the temperature distribution of the substrate 3 itself, there is a case where the drying is not performed well even by the heated air which is heated at a lower temperature.
즉, 종래 대면적 기판의 건조장치는 대면적 기판의 온도 분포를 고려하지 않고, 전체적으로 균일한 온도로 승온된 건조공기를 분사하기 때문에 대면적 기판의 온도가 낮은 부분에서는 그 승온된 건조공기의 온도가 낮아지며, 따라서 부분적으로 건조가 이루어지지 않는 경우가 발생할 수 있다.That is, the conventional apparatus for drying a large area substrate injects dry air heated to a uniform temperature without considering the temperature distribution of the large area substrate, so that the temperature of the heated air is increased in a portion where the temperature of the large area substrate is low. Can be lowered, and thus partially dry may occur.
이와 같이 부분적으로 건조가 이루어지지 않은 경우, 그 건조되지 않은 부분에서는 물얼룩이 기판에 남아 이후의 공정에서 공정불량이 발생할 수 있는 문제점이 있었다.When the drying is not performed in this way, water stains remain on the substrate in the undried portion, which may cause a process defect in a subsequent process.
상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은, 기판의 온도 분포에 차이가있는 경우 에도 기판을 완전 건조시킬 수 있는 대면적 기판의 건조장치를 제공함에 그 목적이 있다.In view of the above problems, the present invention has an object to provide a large area substrate drying apparatus capable of completely drying a substrate even when there is a difference in temperature distribution of the substrate.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판의 온도 분포를 검출하는 온도분포 검출부와, 상기 온도분포 검출부에서 검출된 기판의 온도 분포에 따른 온도 제어를 수행하는 온도제어부와, 상기 기판에 승온된 건조공기를 분사하는 에어나이프와, 상기 온도제어부에 의해 제어되어 상기 에어나이프에서 분사되는 건조공기를부분적으로 승온시키는 히터부를 포함한다.The present invention for achieving the above object, the temperature distribution detection unit for detecting a temperature distribution of the substrate, a temperature control unit for performing a temperature control according to the temperature distribution of the substrate detected by the temperature distribution detection unit, and the temperature rising on the substrate An air knife for injecting the dried air, and a heater part controlled by the temperature control unit to partially increase the temperature of the dry air injected from the air knife.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the following embodiments are provided to those skilled in the art to fully understand the present invention, and may be modified in various forms, and the scope of the present invention is limited to the embodiments described below. It is not. Like numbers refer to like elements in the figures.
도 2는 본 발명 대면적 기판의 건조장치 바람직한 실시예에 따른 구성도이다.Figure 2 is a block diagram according to a preferred embodiment of the drying apparatus of the present invention a large area substrate.
도 2를 참조하면, 본 발명 대면적 기판의 건조장치 바람직한 실시예는, 건조공기를 설정된 온도로 가열하는 주히터(40)와, 상기 주히터(40)에서 승온된 건조공 기를 이송부(20)에 의해 이송되는 기판(10)에 분사하는 에어나이프(50)와, 상기 기판(10)의 온도분포를 검출하는 온도분포 검출부(30)와, 상기 온도분포 검출부(30)의 검출결과를 확인하여 기판(10)의 온도 분포에 따른 온도 제어신호를 출력하는 온도제어부(60)와, 상기 온도제어부(60)의 온도 제어신호에 따라 상기 에어나이프(50)를 통해 분사되는 승온된 건조공기의 온도를 부분적으로 승온시키는 보조히터(70)를 포함한다.2, a preferred embodiment of the drying apparatus of the large-area substrate of the present invention, the
이하, 상기와 같이 구성된 본 발명 대면적 기판의 건조장치의 바람직한 실시예의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of the preferred embodiment of the drying apparatus of the large-area substrate of the present invention configured as described above will be described in more detail.
먼저, 감지센서(도면 미도시)에 의해 이송부(20)에 의해 이송되는 기판(10)이 검출되면, 상기 주히터(40)가 동작하여 건조공기를 승온시킨다.First, when the
이때 주히터(40)에 의해 승온된 건조공기는 50 내지 80℃이며, 그 주히터(40)가 동작함과 아울러 상기 온도분포 검출부(30)에 의해 그 기판(10)의 온도 분포가 검출된다.At this time, the dry air heated by the
상기 온도분포 검출부(30)는 열화상 카메라, 적외선 센서 등일 수 있으며, 상기 기판(10)의 전체 온도분포를 이미지화하여 검출하게 된다.The temperature distribution detector 30 may be a thermal imaging camera, an infrared sensor, or the like, and image and detect the entire temperature distribution of the
상기 온도분포 검출부(30)에서 검출된 결과는 상기 온도제어부(60)에서 해석되어 기판(10)에서 온도가 다른 영역에 비해 상대적으로 더 낮은 영역을 검출하게 된다.The result detected by the temperature distribution detector 30 is interpreted by the
이와 같이 기판(10)의 온도분포를 감안한 온도제어부(60)는 온도 제어신호를 출력하며, 그 온도 제어신호에 따라 보조히터(70)는 이송되는 기판(10)의 온도가 상대적으로 낮은 영역에 분사되는 건조공기를 더 승온시켜 분사한다.As such, the
상기 보조히터(70)는 에어나이프(50)를 통해 분사되는 건조공기를 부분적으로 가열할 수 있는 복수의 개별 구동 가능한 히터일 수 있으며, 상기 온도제어부(60)의 온도 제어신호를 그 개별 구동 가능한 히터에 각각 선택적으로 인가되는 전압일 수 있다.The
즉, 본 발명은 기판(10)의 온도 분포를 검출하고, 상대적으로 온도가 낮은 영역에 분사되는 건조공기를 부분적으로 가열한 후 분사함으로써, 그 온도가 상대적으로 낮은 영역을 용이하게 건조할 수 있게 된다.That is, the present invention detects the temperature distribution of the
상기 보조히터(70)를 포함하는 에어나이프(50)는 기판(10)의 저면을 건조할 수 있도록 기판(10)의 하부측에 더 구비될 수 있다.The
이때, 상기 온도분포 검출부(30)는 기판(10)의 상면 또는 저면의 온도분포를 검출하는 것만이 구비될 수 있으며, 그 온도분포 검출부(30)의 온도분포를 검출한 온도제어부(60)는 그 기판(10)의 저면측과 상면측에 위치하는 에어나이프(50)의 보조히터(70)를 제어하도록 구성할 수 있다.In this case, the temperature distribution detection unit 30 may be provided only to detect the temperature distribution of the upper or lower surface of the
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예들을 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예들에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.The present invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments and has ordinary skill in the art to which the present invention pertains without departing from the concept of the present invention. Various changes and modifications are possible by the user.
상기한 바와 같이 본 발명은, 기판의 온도 분포를 검출하고, 다른 영역에 비하여 온도가 상대적으로 낮은 것으로 검출된 영역에 분사되는 건조공기를 더 승온시켜 분사함으로써, 상기 대면적 기판의 온도 불균일에 의해 특정 영역에서 건조가 되지 않는 현상의 발생을 방지하여, 대면적 기판을 완전 건조시키는 효과가 있다.As mentioned above, this invention detects the temperature distribution of a board | substrate, and heats and sprays the dry air which is injected to the area | region detected as having a relatively low temperature compared with another area | region, and by the temperature nonuniformity of the said large area board | substrate, There is an effect of preventing the occurrence of the phenomenon that does not dry in a specific region, completely drying the large area substrate.
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