KR20080049657A - 정체된 가스에서의 센서 측정의 불확실성을 감소시키기위한 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

정체된 공기 또는 가스 분위기에서 센서의 정밀도를 증대시키기 위한 센싱 장치는 센싱 요소에 근접하여 배치된 압전 공기 이동장치를 구비한다. 압전 공기 이동장치는 주변으로부터 센싱 요소를 가로질러 공기 또는 가스를 배기 또는 흡입하여 정체 가스 상태를 제거함으로써, 센싱 요소를 통해 측정의 속도 및 정밀도를 증대시킨다.

Description

정체된 가스에서의 센서 측정의 불확실성을 감소시키기 위한 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR REDUCING UNCERTAINTY OF SENSOR MEASUREMENTS IN STILL GASES}
본 발명은 감지 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 저속 이동 또는 정체된 가스 분위기에서 센싱 장치로써 얻어지는 측정의 정밀도를 증대시키기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.
온도, 습도 또는 기타 가스 파라메터를 측정하기 위한 센싱 장치는 일반적으로 월 서모스탯(wall thermostat) 또는 자동차 캐빈 센서 등으로 당업계에 알려져 있다. 이러한 장치는 밀폐체 내부의 센서 요소와 밀폐체 외부의 가스 또는 공기 사이의 불충분한 접촉을 갖는다. 이러한 종래의 센서 장치는 항상 온도, 습도 또는 가스 입자의 이동을 야기하여 통기구를 통해 측정될 가스 입자의 양을 밀폐체내로 그리고 센서 요소로 이송하는 어떠한 측정값의 증감에 의해 발생하는 대류 및 확산 의존한다. 이러한 증감은 측정치에 오차를 발생시켜 센서가 측정된 주위 변화에 대해 응답을 느리게 하도록 한다.
가스는 회전 요소를 갖는 종래의 팬 및 펌프를 사용하는 센서를 가로질러 추출된다. 그러나, 이러한 종래의 가스 이동장치(gas mover)는 소형화되기 어려우며, 따라서 많은 전위 장치는 회전 팬 기술을 적용할 수 없다. 또한 회전 팬 및 펌프는 관련 센서와 비교하여 상대적으로 고가이다. 또한, 이러한 장치에서 사용되는 팬 및 펌프에 대한 전력 관리는 소형화 및 휴대성 문제와 더불어 해결하기 힘든 문제이다.
서모스탯 및 자동차 기후 제어에 사용되는 센서는 주위 가스가 정체되거나 정지됐을 때 부정확하며, 비용 효율적이며 충분히 작은 팬 또는 공지된 공기 이동장치가 없다. 따라서, 휴대용이며 배터리 전원의 소형화된 물품을 포함하는 광범위한 장치를 위하여, 센서를 가로지르는 감지된 가스를 가압 또는 추출하는 센서에 대해 치수화된 공기 이동장치가 요구된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 센싱 장치는 가스를 흡입 또는 배기하도록 배향되어 특정 가스 파라메터를 감지하는데 사용되는 센서 요소를 가로질러 감지하는 압전 공기 이동장치를 포함한다. 압전 공기 이동장치는 유리하게 상대적으로 작은 전력을 사용하여 센서 요소에 의해 측정되는 공기 또는 가스로의 충분한 유동을 생성함으로써 측정의 정밀도를 증대시킨다.
또 다른 실시예에서, 덕트는 적어도 하나의 센서 및 압전 공기 이동장치를 수용하도록 제공된다. 압전 공기 이동장치는 덕트내의 압전 소자의 빠른 진동에 의해 덕트를 관통하는 공기 또는 가스 분위기을 생성하도록 구성된다. 공기 또는 가스는 센서를 가로질러 이동하여 정체된 상태로 인한 부정확성이 제거된다.
본 발명의 대안적인 실시예에서, 압전 벨로우즈는 하우징상에 지지된 압전 소자의 2개의 대향 플레이트에 의해 형성된다. 하우징내의 통기구는 압전 소자 진 동 벨로우즈 이동의 결과로서 공기 또는 다른 가스가 추출 또는 배출되도록 한다. 센서는 벨로우즈 내부에 장착되어 이동 가스의 특성을 감지한다.
본 발명의 추가적인 실시예에서, 센싱 장치는 베인이 부착된 압전 소자를 포함한다. 베인은, 베인이 압전 소자 진동에 반응하여 진동하는 방식으로 압전 소자에 장착된다. 센서는 압전 소자가 베인을 이동하도록 할 때, 공기 또는 가스가 센서를 지나 이동하도록 베인에 장착된다.
본 발명을 특징짓는 다양한 신규한 특징은 첨부된 청구항의 특이성으로 나타내어지며, 본원의 일부를 형성한다. 본 발명을 보다 잘 이해하기 위해, 본 발명을 사용함으로써 얻어지는 작동 장점 및 이득은, 첨부된 도면 및 기술 사항을 통해 참조된다. 첨부된 도면은 본 발명의 복수의 형태의 예시를 도시하는 것으로 의도된다. 도면은 본 발명이 제조 및 사용될 수 있는 모든 방법을 한정하여 도시하는 것으로 의도되지는 않는다. 본 발명의 다양한 구성요소의 변형 또는 대체물이 물론 제조될 수 있다. 본 발명은 기술된 요소의 서브 콤비네이션 및 서브 시스템, 및 그것을 사용하는 방법으로 존재할 수 있다.
이하에서는 유사한 참조번호가 동일 또는 관련 구성요소를 지칭하는 도면을 참조한다. 도 1은 입구(12) 및 출구(16)를 구비하는 센싱 장치(10)의 덕트(14)를 도시한다. 압전 소자(20)는 덕트(14)의 내부에 장착된다. 압전 공기 이동장치(20)는 압전 액추에이터(24) 및 베인(26)을 포함한다. 베인(26)은 압전 액추에 이터(24)의 진동 또는 파동이 화살표(M)로 도시된 방향의 베인(26)의 파형 이동을 발생시키는 방법으로 압전 액추에이터(24)에 부착된다. 베인(26)의 파형 이동은 교대로 주위 가스(30) 또는 공기가 튜브(14)내에서 화살표(M) 방향으로 유동하도록 한다. 압전 액추에이터(24) 및 베인(26)은 종래의 압전 재료 및 실리콘, 석영 및 기타 적합한 재료와 같은 MEMS 재료로 제조될 수 있다. 베인(26)은 압전 액추에이터(24) 작동에 응답하여 이동가능한 재료로 선택되어야만 하며, 동시에 주위 가스(30)가 베인(26)의 작동에 응답하여 유동하도록 충분한 경도를 가져야한다.
압전 공기 이동장치(20)는 덕트(14) 외부에 바람직하게 배치된 전력원(도시되지 않음)에 연결되어, 덕트(14)내에서 유동하는 요란(disturbance)를 감소시키지만, 전력원 또는 전력부는 덕트(14)내에도 장착될 수 있다. 공기 이동장치(20)용 전력원은 배터리와 같은 이동가능한 소스거나, 레지덴셜 전력 회로(residential power circuit)와 같은 고정 전력원일 수 있다. 전력원은 압전 공기 이동장치(20)의 압전 소자가 파동을 일으키는 데 필요한 에너지를 제공한다. 전력 관리는 센싱 요소(40, 45)로부터 판독한 것과 일치하도록 압전 공기 이동장치(20)를 온/오프로 전환함으로써 수행될 수 있다. 압전 공기 이동장치(20)는, 가스 유동(30)을 발생시키기 위한 센서 판독이 얻어지기 바로 전에 급전될 수 있으며, 양호한 센서 판독을 제공하기 위한 충분한 가스 유동(30)이 발생된 후에는 단전될 수 있다.
도 1에 도시된 압전 액추에이터(24) 및 베인(26)은 적합하게 설계된 덕트(14)를 통하는 일방향 가스 유동을 생성한다. 센서 요소(40, 45)는 공기 이동장치(20)가 작동할 때 발생된 가스 유동(30)내의 덕트(14)내에 배치된다. 도 1에 도 시된 바와 같이, 센서 요소(40, 45)는 입구(12) 또는 출구(16) 중 어느 하나에 인접하여 배치될 수 있다. 또한, 이러한 장치에 따라, 센싱 장치(10)는 센서 요소(40, 45) 중 오직 하나 또는 양쪽 모두, 또는 추가적인 센서 요소(40)를 포함할 수 있다. 이해되는 바와 같이, 상태 또는 특성을 하나 또는 양쪽 센서 요소(40, 45)에 전송하는 이동 가스 또는 공기의 능력은 정체 또는 정지 가스보다 몇 배 더 우수하다. 따라서, 센싱 장치(10)의 사용은 센서 요소(40, 45)에 감지되는 주위 가스 또는 공기에 보다 밀접하게 연결되어, 측정 오차 및 센서 응답 시간을 감소시킨다.
압전 공기 이동장치(20) 자체에 의해 생성되는 공기 상태의 임의의 변화가 있다면, 센서(40)가 입구(12)에 배치됐을 경우, 이러한 것은 센서(40)에 의해 감지되지 않기 때문에, 입구 장착 센서(40)를 포함하는 실시예는 보다 정확한 판독을 제공하는 것이 바람직하다. 그러나, 공기 이동장치(20)와 출구(16) 사이에 장착된 센서(45)는 정체 또는 정지 공기 상태에서 작동하는 센서에 비해 향상된 성능 및 높은 정밀도를 제공한다. 압전 공기 이동장치(20)는 덕트(14)를 통해 적당하지만 과도하지 않은 가스 유동(30)을 제공하도록 구성 및 작동된다. 적당한 유동 속도는 전력을 절약하며, 오랫동안 덕트내에 쌓일 수 있는 먼지의 진입을 감소시킨다. 전력이 주요 관심사인 경우, 공기 이동장치(30)는 측정간에 스위치-오프될 수 있으며 다음 측정전의 적당한 시간에 전력이 다시 공급될 수 있다.
압전 공기 이동장치(20)의 다른 형태는 이방성 또는 양방성 유동(30)을 생성하여, 가스를 빠르게 전후로 이동시킨다. 이러한 이동장치는 측정 영역에서 먼지 의 축적을 감소시키는 장점을 갖고 사용될 수 있다.
도 2a 및 도 2b는 벨로우즈(22) 형태의 이러한 압전 공기 이동장치(20)를 도시한다. 벨로우즈(22)의 상단부 및 바닥부상의 압전 플레이트는 벽(29)에 의해 연결되어 벨로우즈 챔버를 형성한다. 출구(18)는 벨로우즈 챔버의 벽에 제공된다. 압전 플레이트(28)에는 플레이트(28)가 진동하도록 전력이 공급된다. 플레이트(28)의 진동은 출구(18) 내부 및 외부로 주위 가스를 불어 넣거나 추출하도록 벨로우즈(22)를 교대로 작동한다. 여기서, 센서(40, 45)는 압전 공기 이동장치(20)에 의해 발생된 양방성 가스 유동(30)의 경로내의 벨로우즈(22)의 출구(18)에 근접하여 배치될 수 있다. 센서(40, 45)는 벨로우즈(22) 챔버[센서(40)], 또는 가스 유동(30) 경로의 [센서(45)] 외부에 배치되거나, 또는 양쪽 센서(40, 45)가 함께 사용될 수 있다.
압전 공기 이동장치(20)의 추가 실시예에서, 압전 공기 이동장치는 펌프의 형태로 제조된다. 이러한 경우에 있어, 벨로우즈(22)의 출구(18)는 회전 팬 타입 구조보다 보다 높은 압력을 발생시키는 일 방향 밸브(도시되지 않음)를 포함한다. 압전 구동 펌프의 사용은, 가스 표본이 필터 요소와 같은 작동에 높은 저항을 제공하는 기타 부품 또는 구조 또는 관(tubing)을 통해 추출되어야 할 때, 바람직하다.
본 발명의 추가 실시예는 도 3a 및 도 3b에 도시되며, 압전 공기 이동장치(20)가 공기 이동장치(20)의 베인에 직접 장착된 센서(40)를 구비한다. 압전 공기 이동장치(20)는 선택적으로, 도 1에 도시된 바와 같이, 덕트(14) 내부에 장착될 수 있지만, 센서(40)는 압전 액추에이터(24)로 인한 베인(26)의 이동에 의해서 이 동 가스로 노출될 수 있기 때문에, 반드시 필요한 것은 아니다. 센서(40)용 리드(42, 44)는, 센서(40) 판독 분석용 회로에 연결되기 위해 베인(26) 및 압전 액추에이터(24)에 에칭 또는 본딩되거나 공지된 또다른 방법으로 인가될 수 있다.
일정 속도로 센서(40, 45)를 가로질러 감지되는 공기 또는 가스(30)를 추출함으로써, 정체된 가스내에 배치된 종래의 센서에서 관찰되는 측정 시간 지연이 제거될 수 있다. 압전 공기 이동장치(20)는 길이방향에서 예를 들어 2.5㎝ 이하로 소형이며, 다른 방향에서는 더 작다. 벨로우즈 또는 펌프 형태의 압전 공기 이동장치(20)의 경우, 직경이 약 2㎝ 이하일 수 있다. 압전 공기 이동장치(20)는 최소의 질량을 가지며 30mW 이하의 전력을 소비한다. 이러한 공기 이동장치(20)는, 가스 측정 장치, 벽 장착 온도 및 습도 센서, 자동차 에어콘 및 히터 센서, 분위기 모니터링 센서, 분위기 밸리데이션 센서(environmental validation sensor), 휴대용 가스 또는 공기 모니터, 및 가스 특성 특히, 온도 및 습도가 측정되는 많은 다른 장치를 포함하는 복수의 장치에서 사용되기에 이상적이다. 압전 공기 이동장치(20)는 이동장치 공급 전압 및 파형을 적합하게 만들고, 배터리 전압을 압전 액추에이터(24, 28)에 요구되는 높은 구동 전압으로 전화하기 위해 전력 조절 회로 소자를 필요로 할 수 있다. 압전 공기 이동장치(20)로 선택된 장치에 따라, 이러한 전력 조절 및 전력 관리를 수행하는 방법은 이해될 것이다.
센싱 장치의 구조 및 배치는, 본원에서 설명되고 첨부된 도면에서 도시된 바와 같이, 단지 예시적일 뿐이다. 본 발명의 몇몇 실시예만이 본원에서 상세하게 기술되었지만, 본 개시물을 검토하는 당업자는 첨부된 청구항에 기재된 주제의 신 규한 내용 및 장점과 실질적으로 동떨어짐 없이, 많은 변형물(예를 들어, 크기, 치수, 구조, 형태, 다양한 요소의 비율, 파라메터 값, 장착 배치, 재료의 사용, 방향성 등의 변형)이 가능하다는 것을 쉽게 이해할 것이다. 따라서, 이러한 모든 변형물은 첨부된 청구항에 규정된 바와 같은 본 발명의 범위내에 포함되는 것으로 의도된다. 임의의 공정 또는 방법 단계의 순서 또는 시퀸스는 대안적인 실시예에 따라 변하거나 재배열될 수 있다. 청구항에서, 임의의 기능식 청구항은 기재된 기능 및 구조 등가물뿐만 아니라 동등 구조를 수행하는 것으로서, 본원에 기재된 구조를 포괄하는 것으로 의도된다. 다른 대체물, 변형물, 변화 및 생략이, 첨부된 청구항에 표현된 바와 같은 본 발명의 실시예의 사상과 동떨어짐 없이, 설계, 작동 상태, 및 바람직한 다른 예시적인 실시예의 구성상에서 이루어질 수 있다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 상술한 실시예뿐만 아니라 첨부된 청구항의 범위내에 있는 모든 구성을 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공기 이동장치를 포함하는 센싱 장치의 개략도,
도 2a는 본 발명의 추가적인 실시예에 따른 센싱 장치의 평면도,
도 2b는 A-A선을 따라 취한 도 2a의 센싱 장치의 측단면도,
도 3a는 본 발명에 따른 센싱 장치의 추가적인 실시예의 측면도,
도 3b는 도 3a의 장치의 평면도.

Claims (15)

  1. 정체된 주위 공기 또는 가스 상태에서 사용되는 센싱 장치에 있어서,
    공기 또는 가스의 유동을 생성하도록 구성된 압전 공기 이동장치와,
    상기 압전 공기 이동장치에 근접하여 배치된 적어도 하나의 센싱 요소를 포함하는
    센싱 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 압전 공기 이동장치는 압전 액추에이터 및 상기 압전 액추에이터에 연결된 베인을 포함하는
    센싱 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 센싱 요소는 상기 베인에 장착되는
    센싱 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 압전 공기 이동장치 및 상기 적어도 하나의 센싱 요소를 둘러싸고, 입구 및 출구를 갖는 덕트를 더 포함하는
    센싱 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 센싱 요소는 상기 입구와 상기 압전 공기 이동장치 사이에 배치되는
    센싱 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 센싱 요소는 상기 압전 공기 이동장치와 상기 출구 사이에 배치되는
    센싱 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 압전 공기 이동장치는 벨로우즈 챔버를 형성하도록 벽에 의해 서로 연결되고 서로 대향하는 제 1 및 제 2 압전 플레이트와, 상기 벨로우즈 챔버의 벽에 제공된 출구를 구비하는 벨로우즈를 포함하는
    센싱 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 센싱 요소는 상기 압전 공기 이동장치내에 배치되는
    센싱 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 센싱 요소는 상기 압전 공기 이동장치의 출구에 근접하여 배치되는
    센싱 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 센싱 요소는 습도 및 온도 중 하나를 측정 또는 감지하도록 사용되는
    센싱 장치.
  11. 정체된 가스 분위기내의 가스 파라메터의 측정 정밀도를 증대시키는 방법에 있어서,
    압전 공기 이동장치를 제공하는 단계와,
    상기 압전 공기 이동장치에 근접하여 센싱 요소를 배치하는 단계와,
    상기 정체된 가스 분위기내에서 가스의 유동을 발생시키도록 상기 압전 공기 이동장치를 작동하는 단계와,
    상기 압전 공기 이동장치를 작동함으로써 상기 센싱 요소 주위에 가스 유동을 발생시킬 때, 상기 센싱 요소로 측정값을 얻는 단계를 포함하는
    가스 파라메터의 측정 정밀도 증대 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 가스의 유동을 흘리기 위한 덕트내에 상기 압전 공기 이동장치 및 센싱 요소를 장착하는 단계를 더 포함하는
    가스 파라메터의 측정 정밀도 증대 방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 측정값을 얻는 단계는 상기 가스 유동내의 가스의 온도를 얻는 단계를 포함하는
    가스 파라메터의 측정 정밀도 증대 방법.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 측정값을 얻는 단계는 상기 가스 유동내의 가스의 습도를 얻는 단계를 포함하는
    가스 파라메터의 측정 정밀도 증대 방법.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 압전 공기 이동장치를 작동하는 단계는 상기 센싱 요소로 측정값을 얻기 전에는 상기 압전 공기 이동장치를 활성화하고, 상기 측정값을 얻은 후에는 상 기 압전 공기 이동장치를 비활성화하는 단계를 더 포함하는
    가스 파라메터의 측정 정밀도 증대 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014200142A1 (de) * 2014-01-08 2015-07-09 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Temperaturmesseinrichtung und Verfahren zur Temperaturmessung der Umgebungsluft eines Fahrzeugs
US9945800B2 (en) 2015-07-23 2018-04-17 Caterpillar Inc. Fuel gas composition sensing system
CN109425744A (zh) * 2017-08-21 2019-03-05 研能科技股份有限公司 具致动传感模块的可携式电子装置
JP7027820B2 (ja) * 2017-11-07 2022-03-02 株式会社デンソー 車室内温度検出装置
CN110375886A (zh) * 2019-07-18 2019-10-25 恒大新能源科技集团有限公司 电池产热测量装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4834619A (en) * 1987-11-10 1989-05-30 The Boeing Company Ducted oscillatory blade fan
US5381950A (en) * 1993-10-20 1995-01-17 American Standard Inc. Zone sensor or thermostat with forced air
US5861703A (en) * 1997-05-30 1999-01-19 Motorola Inc. Low-profile axial-flow single-blade piezoelectric fan
US6027112A (en) * 1998-03-02 2000-02-22 Xerox Corporation Adaptive multiagent control system for controlling object motion with smart matter
US6713942B2 (en) * 2001-05-23 2004-03-30 Purdue Research Foundation Piezoelectric device with feedback sensor
US6779387B2 (en) * 2001-08-21 2004-08-24 Georgia Tech Research Corporation Method and apparatus for the ultrasonic actuation of the cantilever of a probe-based instrument
WO2006026365A2 (en) * 2004-08-26 2006-03-09 Amerasia International Technology, Inc. Object monitoring, locating, and tracking method, system, and rfid device
GB0504361D0 (en) * 2005-03-03 2005-04-06 Smiths Group Plc Detection apparatus

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Publication number Publication date
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