KR20080049450A - Robot transferring apparatus - Google Patents

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KR20080049450A
KR20080049450A KR1020060120024A KR20060120024A KR20080049450A KR 20080049450 A KR20080049450 A KR 20080049450A KR 1020060120024 A KR1020060120024 A KR 1020060120024A KR 20060120024 A KR20060120024 A KR 20060120024A KR 20080049450 A KR20080049450 A KR 20080049450A
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이병규
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Abstract

A robot carrying and transferring apparatus is provided to handle different sizes of substrates and display panels by adopting changes in the size of a substrate and/or a display panel formed on the substrate. A robot carrying and transferring apparatus includes a frame(10) of a robot arm, robot hands(20) placed on the frame with equal spacing, a pin plate(30) installed at each robot hand, pin holes(50) equally spaced at each pin plate, and pins(40) selectively inserted to holes based on the size of a substrate to support a substrate seated on pins.

Description

로봇 반송장치{ROBOT TRANSFERRING APPARATUS}Robot Transporter {ROBOT TRANSFERRING APPARATUS}

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 로봇 반송장치를 개략적으로 나타내는 사시도.1 is a perspective view schematically showing a robot transport apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 로봇 암을 개략적으로 나타내는 평면도.FIG. 2 is a plan view schematically showing the robot arm shown in FIG. 1. FIG.

도 3은 도 1에 도시된 지지핀을 개략적으로 나타내는 사시도.3 is a perspective view schematically showing the support pin shown in FIG.

도 4a는 본 발명의 실시 예에 따른 로봇 반송장치에 기판이 지지된 상태를 나타내는 평면도.Figure 4a is a plan view showing a state in which the substrate is supported on the robot transport apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4b는 도 4a에 도시된 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면을 나타내는 단면도.4B is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 4A.

도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 로봇 반송장치에 다른 기판이 지지된 상태를 나타내는 평면도.5 is a plan view showing a state in which another substrate is supported on the robot transport apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 핀 플레이트를 개략적으로 나타내는 평면도.Figure 6 is a plan view schematically showing a pin plate according to an embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호설명 ><Explanation of Signs of Major Parts of Drawings>

10 : 프레임 20 : 로봇 핸드10 frame 20 robot hand

30 : 핀 플레이트 40 : 지지핀30: pin plate 40: support pin

50 : 핀홀 42 : 체결부50: pinhole 42: fastening portion

44 : 지지부 100 : 대형 기판44 support 100: large substrate

102 : 표시패널 104 : 더미 영역102: display panel 104: dummy area

본 발명은 평판 표시장치 제조용 로봇 반송장치에 관한 것으로, 특히 대형 기판의 크기 변경 및/또는 대형 기판에 형성되는 표시패널의 크기 변경에 용이하게 대처할 수 있는 로봇 반송장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a robot transport apparatus for manufacturing a flat panel display device, and more particularly, to a robot transport apparatus that can easily cope with a size change of a large substrate and / or a size change of a display panel formed on the large substrate.

표시화면의 두께가 수 센치미터(cm)에 불과한 초박형의 평판표시소자(Flat Panel Display), 그 중에서도 액정 표시소자는 동작 전압이 낮아 소비 전력이 적고 휴대용으로 쓰일 수 있는 등의 이점으로 노트북 컴퓨터, 모니터, 우주선, 항공기 등에 이르기까지 응용분야가 넓고 다양하다.Ultra-thin flat panel displays with a thickness of only a few centimeters (cm), among them, liquid crystal displays have low operating voltages, low power consumption, and can be used as portable devices. Applications range from monitors to spacecraft to aircraft.

액정 표시소자는 서로 대향되는 하부기판과 상부기판, 및 하부기판 및 상부기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 구성된다. The liquid crystal display device includes a lower substrate and an upper substrate facing each other, and a liquid crystal layer formed between the lower substrate and the upper substrate.

하부기판에는 박막트랜지스터와 화소전극이 형성되게 되고, 상부기판에는 차광막, 칼라필터층, 및 공통전극이 형성되게 된다.  A thin film transistor and a pixel electrode are formed on the lower substrate, and a light blocking film, a color filter layer, and a common electrode are formed on the upper substrate.

이와 같은 액정 표시소자는 하부기판 및 상부기판을 준비하는 어레이 공정, 및 하부기판 및 상부기판 사이에 액정층을 형성하면서 양 기판을 합착하는 셀 공정을 통해 제조된다.Such a liquid crystal display device is manufactured through an array process of preparing a lower substrate and an upper substrate, and a cell process of bonding both substrates while forming a liquid crystal layer between the lower substrate and the upper substrate.

어레이 공정은 투명기판 상에 포토리쏘그래피 공정 등을 이용하여 박막트랜지스터, 화소전극 등을 형성하여 하부기판을 준비하는 공정, 및 투명기판 상에 포 토리소그래피 공정 등을 이용하여 차광막, 컬러필터층, 및 공통전극 등을 형성하여 상부기판을 준비하는 공정으로 이루어진다. 여기서, 공통전극은 하부기판에 형성될 수 있다. The array process includes forming a thin film transistor, a pixel electrode, etc. using a photolithography process on a transparent substrate to prepare a lower substrate, and a light blocking film, a color filter layer, and the like using a photolithography process, etc., on a transparent substrate. And forming a common electrode to prepare an upper substrate. Here, the common electrode may be formed on the lower substrate.

셀 공정은 크게 액정 주입법 또는 액정 적하법을 통해 이루어진다. The cell process is largely performed through liquid crystal injection or liquid crystal dropping.

액정 주입법은 준비된 하부기판과 상부기판 중 어느 하나의 기판 상에 주입구가 있는 씨일재를 형성하고, 양 기판을 합착한 후, 주입구를 통해 액정을 주입하는 방법이다.  The liquid crystal injection method is a method of forming a sealing material having an injection hole on any one of the prepared lower substrate and the upper substrate, bonding both substrates, and then injecting liquid crystal through the injection hole.

액정 적하법은 준비된 하부기판 상에 주입구 없는 씨일재를 형성하고, 하부 기판 상에 액정을 적하하여 액정층을 형성한 후, 양 기판을 합착하는 방법이다.  The liquid crystal dropping method is a method of forming a sealing material without an injection hole on a prepared lower substrate, dropping a liquid crystal on a lower substrate to form a liquid crystal layer, and then bonding both substrates.

이와 같이 액정 표시소자는 많은 공정을 통해 제조되며, 각각의 공정을 수행하기 위한 많은 공정 장비들이 제조라인에 배치되게 된다. 따라서, 많은 공정 장비각각에 기판을 로딩하고, 공정이 완료된 후에는 기판을 언로딩하고, 그리고 언로딩된 기판을 이후의 공정 장비로 이송하기 위해서 로봇 암(Robot Arm)이 필요하다.As such, the liquid crystal display device is manufactured through many processes, and many process equipments for performing each process are arranged in a manufacturing line. Therefore, a robot arm is required to load a substrate into each of the many process equipment, unload the substrate after the process is completed, and transfer the unloaded substrate to subsequent process equipment.

종래의 로봇 암은 복수의 로봇 핸드와, 로봇 핸드에 설치되어 대형 기판을 지지하는 지지핀을 고정 설치되어 있다. 이때, 지지핀은 대형 기판에 형성되는 특정 모델을 지지할 수 있도록 로봇 핸드에 일정한 간격으로 설치된다.The conventional robot arm is fixedly provided with a plurality of robot hands and a support pin provided on the robot hand to support a large substrate. At this time, the support pins are installed at regular intervals in the robot hand to support a specific model formed on a large substrate.

한편, 액정 표시소자의 대형화 추세에 따라 대형 기판의 크기 증가뿐만 아니라 대형 기판에 형성된 표시패널의 크기도 증가하게 된다.Meanwhile, as the size of liquid crystal displays increases, not only the size of a large substrate but also the size of a display panel formed on the large substrate increases.

그러나 종래의 로봇 암은 대형 기판의 크기 변경 또는 대형 기판에 형성된 표시패널의 모델 변경시 로봇 핸드를 교체해야만 한다. 이러한, 로봇 핸드의 교체 는 보통 1시간 이상 소요되므로 생산성이 저하되는 문제점이 있다.However, the conventional robot arm must replace the robot hand when changing the size of the large substrate or the model of the display panel formed on the large substrate. Such, replacement of the robot hand usually takes more than 1 hour, there is a problem that productivity is lowered.

따라서, 종래의 로봇 암은 대형 기판의 크기 변경 및/또는 대형 기판에 형성되는 표시패널의 크기 변경에 용이하게 대처할 수 없는 문제점이 있다.Therefore, the conventional robot arm cannot easily cope with changing the size of the large substrate and / or changing the size of the display panel formed on the large substrate.

따라서 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 대형 기판의 크기 변경 및/또는 대형 기판에 형성되는 표시패널의 크기 변경에 용이하게 대처할 수 있는 로봇 반송장치를 제공하는데 있다.Accordingly, in order to solve the above problems, the present invention is to provide a robot transport apparatus that can easily cope with the size of the large substrate and / or the size of the display panel formed on the large substrate.

상기와 같은 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 로봇 반송장치는 프레임; 상기 프레임에 일정 간격으로 설치된 복수의 로봇 핸드; 상기 복수의 로봇 핸드 각각에 설치된 핀 플레이트; 상기 핀 플레이트에 일정한 간격으로 형성된 복수의 핀홀; 및 기판의 크기에 따라 상기 복수의 핀홀에 선택적으로 체결되어 상기 기판을 지지하는 복수의 지지핀을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Robot transport apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above technical problem is a frame; A plurality of robot hands installed at regular intervals in the frame; A pin plate installed on each of the plurality of robot hands; A plurality of pinholes formed at regular intervals on the pin plate; And a plurality of support pins selectively coupled to the plurality of pinholes to support the substrate according to the size of the substrate.

상기 복수의 지지핀은 상기 기판의 더미 영역을 지지하는 것을 특징으로 한다.The plurality of support pins may support a dummy region of the substrate.

상기 복수의 핀홀은 상기 핀 플레이트 상에 적어도 1열로 형성되거나 지그재그 형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.The plurality of pinholes may be formed in at least one row or zigzag on the pin plate.

상기 지지핀은 상기 핀홀에 체결되는 체결부; 및 상기 체결부의 상부에 체결되거나 일체화되어 상기 기판을 지지하는 지지부를 포함하여 구성되는 것을 특징으 로 한다.The support pin may be fastened to the pin hole; And a support part fastened or integrated on the fastening part to support the substrate.

이하, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings and embodiments.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 로봇 반송장치를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 로봇 암을 개략적으로 나타내는 평면도이다.1 is a view schematically showing a robot transport apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view schematically showing the robot arm shown in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 로봇 반송장치는 대형 기판(미도시)을 이송하기 위한 로봇 암(1)과, 로봇 암(1)을 이송시키기 위한 로봇 구동장치를 포함하여 구성된다.1 and 2, a robot transport apparatus according to an embodiment of the present invention includes a robot arm 1 for transporting a large substrate (not shown) and a robot driving device for transporting the robot arm 1. It is configured to include.

로봇 구동장치는 Y축 방향으로 회전함과 아울러 Z축 방향으로 승강하는 제 1 구동축(2); 제 1 구동축(2)의 끝단에 회전가능하게 접속되는 제 2 구동축(4); 및 일측이 제 2 구동축(4)의 끝단에 회전가능하게 접속됨과 아울러 타측이 로봇 암(1)에 접속되는 제 3 구동축(6)을 포함하여 구성된다.The robot drive device includes: a first drive shaft (2) which rotates in the Z-axis direction while rotating in the Y-axis direction; A second drive shaft 4 rotatably connected to an end of the first drive shaft 2; And a third drive shaft 6 having one side rotatably connected to the end of the second drive shaft 4 and the other side connected to the robot arm 1.

이러한, 로봇 구동장치는 제 1 내지 제 3 구동축(2, 4, 6)의 구동에 의해 로봇 암(1)을 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이송시킨다.Such a robot drive device transfers the robot arm 1 in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions by driving the first to third drive shafts 2, 4, 6.

로봇 암(1)은 프레임(10); 프레임(10)에 일정 간격으로 설치된 복수의 로봇 핸드(20); 복수의 로봇 핸드(20) 각각에 설치된 핀 플레이트(30); 핀 플레이트(30)에 일정한 간격으로 형성된 복수의 핀홀(50); 및 대형 기판의 크기에 따라 복수의 핀홀(50)에 선택적으로 체결되어 대형 기판의 더미 영역을 지지하는 복수의 지지핀(40)을 포함하여 구성된다.The robot arm 1 includes a frame 10; A plurality of robot hands 20 installed on the frame 10 at regular intervals; A pin plate 30 installed on each of the plurality of robot hands 20; A plurality of pinholes 50 formed at regular intervals in the pin plate 30; And a plurality of support pins 40 selectively coupled to the plurality of pinholes 50 according to the size of the large substrate to support the dummy region of the large substrate.

프레임(10)의 배면은 로봇 구동장치의 제 3 구동축(6)의 타측에 접속된다. 이러한, 프레임(10)은 복수의 로봇 핸드(20)를 고정함과 아울러 지지한다.The rear surface of the frame 10 is connected to the other side of the third drive shaft 6 of the robot drive device. Such a frame 10 fixes and supports a plurality of robot hands 20.

복수의 로봇 핸드(20) 각각은 프레임(10)에 일정한 간격으로 탈착 가능하게 설치된다. 이러한, 복수의 로봇 핸드(20) 각각은 이송할 대형 기판의 크기(장변)보다 큰 길이를 갖는다.Each of the plurality of robot hands 20 is detachably installed at a predetermined interval on the frame 10. Each of these robot hands 20 has a length greater than the size (long side) of the large substrate to be transferred.

핀 플레이트(30)는 복수의 로봇 핸드(20) 각각에 탈착 가능하게 설치된다. 이러한, 핀 플레이트(30)는 복수의 스크류에 의해 복수의 로봇 핸드(20) 각각에 설치되며, 복수의 핀홀(50)의 마모시 복수의 로봇 핸드(20) 각각에서 교체된다.The pin plate 30 is detachably installed in each of the plurality of robot hands 20. The pin plate 30 is installed in each of the plurality of robot hands 20 by a plurality of screws, and is replaced in each of the plurality of robot hands 20 when the plurality of pinholes 50 are worn out.

복수의 핀홀(50)은 핀 플레이트(30)에 일정한 간격을 가지도록 형성된다. 이러한, 복수의 핀홀(50)은 대형 기판의 크기 변경에 대응됨과 아울러 대형 기판에 형성되는 표시패널의 크기 변경에 대응될 수 있도록 미리 설정된 간격 또는 위치에 형성된다. 이때, 복수의 핀홀(50)에는 암나사 산이 형성된다.The plurality of pinholes 50 are formed at regular intervals in the pin plate 30. The plurality of pinholes 50 are formed at predetermined intervals or positions so as to correspond to the size change of the large substrate and the size change of the display panel formed in the large substrate. At this time, female threads are formed in the plurality of pinholes 50.

지지핀(40)은 도 3에 도시된 바와 같이 핀홀(50)에 체결되는 체결부(42) 및 체결부(42)에 접속되어 대형 기판을 지지하는 지지부(44)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 3, the support pin 40 includes a fastening part 42 fastened to the pinhole 50 and a support part 44 connected to the fastening part 42 to support a large substrate.

체결부(42)는 핀홀(50)에 체결될 수 있도록 수나사 산이 형성된다. 지지부(44)는 체결부(42)의 상부에 체결되거나 일체화된다. 이때, 지지부(44)는 대형 기판과의 접촉시 대형 기판에 스크래치를 형성하지 않는 재질을 갖는다. 예를 들어, 지지부(44)의 재질은 실리콘, 테프론, 고무 또는 연질 플라스틱 등이 될 수 있다.The fastening part 42 is formed with a male thread so that it can be fastened to the pinhole 50. The support 44 is fastened or integrated on top of the fastening part 42. At this time, the support 44 has a material that does not form a scratch on the large substrate when in contact with the large substrate. For example, the support 44 may be made of silicon, teflon, rubber, soft plastic, or the like.

이러한, 복수의 지지핀(40)은 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이 이송할 대형 기판(100)의 크기 및/또는 대형 기판(100)에 형성되는 표시패널(102)의 크기에 대응되도록 핀 플레이트(30)의 복수의 핀홀(50)에 선택적으로 체결된다. 이때, 복수의 지지핀(40)은 표시패널(102)이 형성되거나 형성될 영역을 제외한 대형 기판(100)의 더미 영역(104)을 지지할 수 있도록 핀 플레이트(30)의 복수의 핀홀(50) 중 적어도 4개의 핀홀(50)에 선택적으로 체결되어 고정된다.The plurality of support pins 40 correspond to the size of the large substrate 100 to be transferred and / or the size of the display panel 102 formed on the large substrate 100 as shown in FIGS. 4A and 4B. It is selectively fastened to the plurality of pinholes 50 of the pin plate 30. In this case, the plurality of support pins 40 may support the plurality of pinholes 50 of the pin plate 30 to support the dummy region 104 of the large substrate 100 except for the region where the display panel 102 is to be formed or formed. ) Is selectively fastened to at least four pinholes 50.

이와 같은, 본 발명의 실시 예에 따른 로봇 반송장치는 로봇 구동장치의 제 1 내지 제 3 구동축(2, 4, 6)을 구동하여 로봇 암(1)을 대형 기판 쪽으로 이송시킨 후, 로봇 구동장치의 제 1 구동축(2)을 상승시킴으로써 복수의 지지핀(40)에 기판을 안착시킨다. 이때, 복수의 지지핀(40) 각각은 대형 기판의 더미 영역을 지지하게 된다. 이어, 로봇 구동장치의 제 1 내지 제 3 구동축(2, 4, 6)을 구동하여 로봇 암(1)에 안착된 대형 기판을 원하는 장소로 이송시키게 된다.As such, the robot transport apparatus according to the embodiment of the present invention drives the robot arm 1 toward the large substrate by driving the first to third driving shafts 2, 4, 6 of the robot driving apparatus, and then the robot driving apparatus. The substrate is mounted on the plurality of support pins 40 by raising the first driving shaft 2. At this time, each of the plurality of support pins 40 supports the dummy region of the large substrate. Subsequently, the first to third driving shafts 2, 4, and 6 of the robot driving apparatus are driven to transfer the large substrate mounted on the robot arm 1 to a desired place.

한편, 이송할 대형 기판의 크기 및/또는 대형 기판(100)에 형성되는 표시패널(102)의 크기가 변경될 경우, 핀 플레이트(30)에 체결된 복수의 지지핀(40)을 분리한 후, 변경될 대형 기판의 크기 및/또는 표시패널의 크기에 대응되는 핀 플레이트(30) 상의 더미 핀홀들(50)에 복수의 지지핀(40)을 체결하여 장착한다.Meanwhile, when the size of the large substrate to be transferred and / or the size of the display panel 102 formed on the large substrate 100 is changed, the plurality of support pins 40 fastened to the pin plate 30 are separated. The plurality of support pins 40 are fastened to the dummy pinholes 50 on the pin plate 30 corresponding to the size of the large substrate to be changed and / or the size of the display panel.

이후 상술한 바와 같이 로봇 구동장치의 제 1 내지 제 3 구동축(2, 4, 6)을 구동하여 로봇 암(1)을 대형 기판 쪽으로 이송시킨 후, 로봇 구동장치의 제 1 구동축(2)을 상승시킴으로써 복수의 지지핀(40)에 기판을 안착시킨다. 이에 따라, 복수의 지지핀(40) 각각은 도 5에 도시된 바와 같이 대형 기판(100)의 더미 영역(014)을 지지하게 된다.Thereafter, as described above, the first to third driving shafts 2, 4, and 6 of the robot driving apparatus are driven to transfer the robot arm 1 toward the large substrate, and then the first driving shaft 2 of the robot driving apparatus is raised. The substrate is seated on the plurality of support pins 40. Accordingly, each of the plurality of support pins 40 supports the dummy region 014 of the large substrate 100 as shown in FIG. 5.

한편, 복수의 핀홀(50)은 핀 플레이트(30) 상에 적어도 1열로 형성되거나, 도 6에 도시된 바와 같이 지그재그 형태로 형성될 수 있다.On the other hand, the plurality of pinholes 50 may be formed in at least one row on the pin plate 30, or may be formed in a zigzag form as shown in FIG.

이와 같은, 본 발명의 실시 예에 따른 로봇 반송장치는 핀 플레이트(30) 상에 복수의 핀홀(50)을 형성하고, 대형 기판의 크기 변경 및/또는 표시패널의 크기 변경시 대형 기판(100)의 더미 영역(104)을 지지할 수 있도록 복수의 핀홀(50)에 체결되는 복수의 지지핀(40)의 위치를 변경하게 된다. 따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 로봇 반송장치는 대형 기판의 크기 변경 및/또는 대형 기판에 형성되는 표시패널의 크기 변경에 용이하게 대처할 수 있다.As such, the robot transport apparatus according to the embodiment of the present invention forms a plurality of pinholes 50 on the pin plate 30, and changes the size of the large substrate and / or changes the size of the display panel. The positions of the plurality of support pins 40 fastened to the plurality of pinholes 50 may be changed to support the dummy region 104 of the plurality of pin holes 50. Therefore, the robot transport apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention can easily cope with changing the size of the large substrate and / or changing the size of the display panel formed on the large substrate.

한편, 대형 기판에 형성되는 표시패널이 액정 표시소자이고, 액정층을 사이에 두고 합착된 2장의 기판을 이송할 경우에 있어서, 복수의 지지핀(40)이 대형 기판(100)의 더미 영역(104)이 아닌 표시패널 영역(102)을 지지하게 되면 2장의 기판의 일정 갭을 유지시키는 스페이서의 눌림이 발생하게 된다. 이에 따라, 본 발명은 대형 기판(100)의 크기 변경시에도 항상 대형 기판(100)의 더미 영역(104)을 지지하므로 스페이서의 눌림이 발생하지 않는다.On the other hand, the display panel formed on the large substrate is a liquid crystal display element, and in the case of transferring two substrates bonded together with the liquid crystal layer interposed therebetween, the plurality of support pins 40 may be a dummy region ( If the display panel region 102 is supported instead of 104, the spacers for maintaining a predetermined gap between the two substrates are pressed. Accordingly, the present invention always supports the dummy region 104 of the large substrate 100 even when the size of the large substrate 100 is changed, so that the spacer is not pressed.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be evident to those who have knowledge of.

상기와 같은 본 발명의 실시 예에 따른 로봇 반송장치는 핀 플레이트에 복수의 핀홀을 형성하여 지지핀들의 위치를 항상 대형 기판의 더미 영역을 지지하도록 변경할 수 있으므로 대형 기판의 크기 변경 및/또는 대형 기판에 형성되는 표시패널의 크기 변경에 용이하게 대처할 수 있다.Robot conveying apparatus according to an embodiment of the present invention as described above can be changed to support the dummy region of the large substrate at any time by forming a plurality of pin holes in the pin plate to change the size of the large substrate and / or large substrate It is possible to easily cope with a change in the size of the display panel formed on the display panel.

Claims (4)

프레임;frame; 상기 프레임에 일정 간격으로 설치된 복수의 로봇 핸드;A plurality of robot hands installed at regular intervals in the frame; 상기 복수의 로봇 핸드 각각에 설치된 핀 플레이트;A pin plate installed on each of the plurality of robot hands; 상기 핀 플레이트에 일정한 간격으로 형성된 복수의 핀홀; 및A plurality of pinholes formed at regular intervals on the pin plate; And 기판의 크기에 따라 상기 복수의 핀홀에 선택적으로 체결되어 상기 기판을 지지하는 복수의 지지핀을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 로봇 반송장치.And a plurality of support pins selectively coupled to the plurality of pinholes to support the substrate according to the size of the substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 복수의 지지핀은 상기 기판의 더미 영역을 지지하는 것을 특징으로 하는 로봇 반송장치.And the plurality of support pins support a dummy region of the substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 복수의 핀홀은 상기 핀 플레이트 상에 적어도 1열로 형성되거나 지그재그 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 로봇 반송장치.And the plurality of pinholes are formed in at least one row or zigzag on the pin plate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지핀은,The support pin, 상기 핀홀에 체결되는 체결부; 및A fastening part fastened to the pin hole; And 상기 체결부의 상부에 체결되거나 일체화되어 상기 기판을 지지하는 지지부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 로봇 반송장치.And a support part fastened or integrated on an upper part of the fastening part to support the substrate.
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