KR20080033761A - 기판이송장치 - Google Patents

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KR20080033761A
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Abstract

기판이송장치가 제공된다. 상기 기판이송장치는 일정거리를 유지한 채 평행하게 배치되는 복수의 가이드블럭, 상기 가이드블럭 사이에 신축 가능하게 배치되는 스플라인축, 상기 스플라인축 양단에 고정되는 풀리, 및 상기 풀리에 연결되어 상기 가이드블럭을 따라 이동하는 벨트를 포함한다. 상기 기판이송장치는 벨트를 구동시키는 스플라인축의 형태를 상기 스플라인축의 축방향으로 신축 가능한 형상으로 변경함으로써 종래의 긴 스플라인축의 긴 길이로 인한 문제점을 해결하게 한다.

Description

기판이송장치{frame transfer apparatus}
도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 기판이송장치에 대한 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 스플라인 축의 확대 사시도이다.
도 4는 도 3의 Ⅰ-Ⅰ' 단면도이다.
도 5는 도 3에 도시된 스플라인 축의 결합관계를 보이기 위한 일부 분해 사시도이다.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
110 : 가이드블럭
112 : 벨트 지지봉
114 : 벨트
116 : 모터
120 : 스플라인축
130 : 지지브라켓
136 : 가이드바
본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 다양한 크기의 기판들에 대응할 수 있도록 레일폭 조정이 가능한 기판이송장치에 관한 것이다.
집적 회로나 고밀도 집적회로 등의 반도체 장치 또는 다이오드, 콘덴서, 저항 등과 같은 전자 부품을 인쇄회로기판 등에 자동적으로 장착하기 위하여 일반적으로 부품실장장비가 사용되고 있다. 이러한 부품실장장비는 인쇄회로기판(PCB: Printed Circuit Board)을 소정 위치로 안내함과 동시에 기판지지 스테이지로서 기능하는 기판이송장치와, 상기 인쇄회로기판에 장착될 각종 전자부품을 지지하는 부품스테이지와, 상기 부품스테이지에 지지되어 있는 전자부품을 흡착하여 인쇄회로기판에 실장하는 마운팅 헤더 및 상기 마운팅 헤더의 위치를 교정하는 비젼 등으로 구성된다. 그리고 상기 마운팅 헤더는 전자부품을 흡착할 수 있도록 흡착노즐이 다수 마련되고 상하와 전후좌우로 이동할 수 있도록 마련되어 있다.
상술한 부품실장장비의 구성요소 중 상기 기판이송장치는 일반적으로 한쌍의 가이드블럭, 상기 가이드블럭 사이에 배치되는 스플라인축, 상기 스플라인축 양단에 연결 고정되는 풀리, 및 상기 풀리의 외주면에 밀착되어 상기 풀리의 회전에 따라 구동되는 벨트로 구성될 수 있다.
일반적으로 상기 스플라인축의 단면은 육각형으로 이루어지고, 상기 풀리에 육각형의 홈 내지는 홀이 형성되어 스플라인축이 풀리에 삽입된다. 상기 스플라인축이 회전하는 경우에 상기 풀리가 슬립없이 회전함으로써 상기 풀리에 연결된 벨트를 일정속도로 구동시키게 된다.
한편, 상기 기판이송장치에 공급되는 기판은 다양한 크기 및 형상으로써 그기판에 맞게 기판이송장치의 레일폭을 변경할 수 있어야 한다. 상기의 레일폭은 상기 한쌍의 가이드블럭 사이의 거리를 나타내는 것으로 정의할 수 있는데, 공급되는 기판에 따라서 적절히 그 레일폭이 변경되어야 한다.
한편, 상기의 레일폭 변경을 위해서 상기 스플라인축은 어느정도 여유길이를 보유하고 있어야 한다. 즉 기판의 크기에 따라 레일폭이 확정되면 한쌍의 가이드블럭 사이에 배치되는 부분을 제외한 상기 스플라인축의 잔류부분은 상기 가이드블럭의 외측에 별다른 기능을 함이 없이 방치되어야 한다.
상기한 종래의 스플라인축은 레일폭이 줄어들었을 경우에도 초기의 스플라인축 길이가 그대로 유지된다. 따라서, 상기의 잔류부분 만큼 상당한 공간을 차지하므로 백업테이블이나 다른 장치 설치시에 방해를 일으킬 수 있다. 특히, 기판 공급 라인이 복수개로 된 듀얼 레인(dual lane) 기판이송장치의 경우에 많은 수의 스플라인축으로 인해 장애를 일으키게 되는 문제가 있다.
상기의 스플라인축은 모터를 추가 설치하여 각각의 벨트를 별개 구동시킴으로써 제거가 가능할 수 있지만, 반면에 모터 추가비용이 상당하고 구동 드라이브를 별도로 설치해야 하는 문제가 있다.
또한, 상기 스플라인축의 긴 길이로 인한 처짐 및 구동시의 진동으로 소음이 발생하는 문제가 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로써, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 축방향으로 신축이 가능한 스플라인축을 구비한 기판이송장치를 제공하는데 있다.
이와 같은 기술적 과제를 구현하기 위한 본 발명에 의하면, 길이방향으로 신축이 가능한 스플라인축을 구비한 기판이송장치가 제공된다. 상기 기판이송장치는 평행하게 배치되는 복수의 가이드블럭, 상기 가이드블럭 사이에 신축 가능하게 배치되는 스플라인축, 상기 스플라인축 양단에 고정되는 풀리, 및 상기 풀리에 연결되어 상기 가이드블럭을 따라 이동하며 기판을 이송하는 벨트를 포함한다.
바람직하게, 상기 스플라인 축은 접이식 안테나 형태로 구성될 수 있다.
또한, 상기 스플라인 축은 복수의 중공형 원통이 겹쳐짐으로써 구성될 수 있다.
그리고, 상기 중공형 원통의 일측 외주면 상에 돌기부가 형성되고, 내주면에는 슬라이딩 홈이 형성될 수 있다.
또한, 상기 돌기부 및 상기 슬라이딩 홈은 상기 스플라인축의 축중심을 기준으로 90ㅀ로 균등 분할하여 각각 4개가 형성될 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 기판이송장치에 대한 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 스플라인 축의 확대 사시도이고, 도 4는 도 3의 Ⅰ-Ⅰ' 단면도이다. 도 5는은 스플라인 축의 결합관계를 보이기 위한 일부 분해 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명에 따른 기판이송장치(100)에 대해 설명한다. 상기의 기판이송장치(100)는 진입부(102), 공정부(104), 배출부(106) 등의 스테이지들로 구분할 수 있다. 상기 스테이지들(102,104,106)은 각각 한쌍의 가이드블럭(110)을 구비할 수 있다. 상기 가이드블럭(110) 상에는 기판(140)을 이송하는 벨트(114)가 구비된다. 구체적으로, 상기 벨트(114)는 상기 가이드블럭(110)의 측면을 따라 이동하며, 그 상면에 기판(140)을 지지한 상태로 이송하는 역할을 한다.
공정이 진행되는 순서를 살펴보면, 기판(140)의 폭에 따라 후술될 레일폭(W)이 조절된 후 미도시된 이송장치에 의해 상기 진입부(102)로 기판이 로딩된다. 이후, 진입된 기판(140)은 공정부(104)에서 고정핀(미도시)에 의해 이동이 멈춰지고 칩 부착 및 본딩 등의 작업이 진행된다. 상기의 공정이 진행된 기판(140)은 배출부(106)를 통해 다음 작업으로 이동하게 된다.
상기 한쌍의 가이드블럭(110)은 제1가이드블럭(110a) 및 제2가이드블럭(110b)으로 구성된다. 상기 가이드블럭들(110a,110b)은 일정한 레일폭(W)을 유지 한 채 평행하게 배치되어 있고, 지지브라켓(130)에 의해 지지된다. 상기 지지브라켓(130)은 평평한 지면에 고정되는 고정대(134)와 상기 고정대(134)에 연결되어 상기 가이드블럭들(110a,110b)을 안정되게 받치는 복수의 지지대(132)로 구성된다. 상기 지지대(132)는 단부 지지대(132a,132b) 및 중간 지지대(132c)로 구성된다.
상기의 지지대(132)를 관통하여 상기 가이드블럭들(110a,110b)에 연결되는 가이드바(136)는 상기 기판이송장치(100)에 공급되는 기판(140)의 크기에 맞추어 레일폭(W)을 조정가능하도록 하게 한다. 상기 기판이송장치(120)에 공급되는 기판(140)은 사용용도에 따라 크기가 매우 다양하므로 레일폭(W)을 변경함으로써 공정이 진행될 수 있다. 상기의 레일폭(W)은 신축이 가능한 스플라인축(120)을 사용함으로써 가능할 수 있다.
상기 레일폭(W)의 변경 작업에 대해 살펴보면 다음과 같다.
상기 가이드블럭들(110a,110b)을 지지하는 복수의 지지대(132a,132b,132c)가 마련되는데, 단부지지대(132a,132b)는 고정대(134)에 고정되어 움직이지 않고 중간지지대(132c)만 상기 고정대(134) 상에서 이동할 수 있다. 상기 중간지지대(132c)는 제2가이드블럭(110b)에 고정되어 상기 제2가이드블럭(110b)을 움직일 수 있게 한다. 상기 제2가이드블럭(110b)은 미도시된 구동수단에 연결되어 구동된다. 따라서, 상기 제2가이드블럭(110b)에 연결되어 있는 스플라인축(120)이 상기 제2가이드블럭(110b)의 이동에 따라서 신장 수축이 가능하게 된다.
상기의 스플라인축(120)은 상기 가이드블럭들(110a,110b) 사이에 배치된다. 상기 스플라인축(120)의 양단에는 풀리(122)가 연결 고정된다. 상기 풀리(122) 는 단차지게 형성되는 이중풀리의 형상으로 구성될 수 있다. 상기 풀리(122)에서 직경이 큰 제1외주부(122a)는 벨트(114)에 동력을 전달하고, 직경이 작은 제2외주부(122b)는 모터(116)로부터의 동력을 전달하게 된다. 즉, 모터(116)에서 발생한 동력이 제2외주부(122b)에 탄성이 강한 와이어(115)를 통해 상기 풀리(122)를 회전시키게 되고, 상기 풀리(122)의 회전에 따라 제1외주부(122a)에 연결된 벨트(114)가 움직이게 된다.
상기 가이드블럭들(110a,110b)이 마주보는 내측면에는 벨트(114)가 밀착하여 배치되어 있고, 상기 벨트(114)는 상기 가이드블럭들(110a,110b) 사이에 배치되는 스플라인축(120)에 의해 구동된다. 상기 벨트(114)는 가이드블럭들(110a,110b)의 내측면에 부착되어 있는 벨트 지지봉(112)에 의해 지지되어 계속적인 이송 동작을 수행한다.
상기 구동방식을 살펴보면, 상기 가이드블럭들(110a,110b)의 하부에 설치되어 있는 모터(116)에 의해 상기 스플라인축(120)에 연결고정된 풀리(122)를 회전시키고, 상기 풀리(122)의 회전 및 그에 연결된 스플라인축(120)의 회전에 따라 풀리(122)의 외주면에 감겨있는 벨트(114)가 구동함으로써 가능하게 된다. 그럼으로써, 모터(116)를 이용하여 복수의 벨트(114)를 구동할 수 있게 된다.
이하에서는 도 3 내지 도 5를 참조하여 상기 스플라인축(120)의 구조 및 작동에 대해서 설명한다. 상기 스플라인축(120)은 축방향으로 신장 및 수축이 가능하게 작동할 수 있다. 안테나(antenna) 또는 낚시대와 유사한 방식으로 작동가능한데 즉, 접이식 또는 겹쳐지는 방식으로 상기 스플라인축(120)의 축방향으로 이동시 킴으로써 길이를 자유자재로 변형시킬 수 있다.
상기 스플라인축(102)은 지름을 달리하는 복수의 중공축들의 조합으로 구성될 수 있다. 상기 중공축들은 서로 겹쳐질 수 있도록 형성되는 제1중공축(124) 및 제2중공축(126)을 구비할 수 있다. 예를 들어, 제1중공축(124) 내부로 제2중공축(126)이 들어갈 수 있도록 상기 제1중공축(124)의 내주 직경이 상기 제2중공축(126)의 외주 직경과 동일하거나 보다 커야 한다. 그럼으로써, 상기 제2중공축(126)이 상기 제1중공축(124) 내부로 삽입되어 슬라이딩할 수 있다.
상기 중공축들(124,126)은 일측 외주면 상에 돌기부(124a,126a)가 형성되어 있고, 내주면 상에는 일정 깊이의 슬라이딩 홈(124b,126b)이 형성된다. 상기 제2중공축(126) 상에 형성된 돌기부(126a)는 상기 제1중공축(124)에 형성된 슬라이딩 홈(124b)에 삽입되어 슬라이딩할 수 있다. 따라서, 상기 제1중공축(124)과 제2중공축(126)이 결합되는 경우에, 상기 제1중공축(124) 내에서 제2중공축(126)이 축방향으로 슬라이딩할 수 있도록 가이드하게 된다.
상기의 돌기부(124a,126a) 및 슬라이딩 홈(124b,126b)은 복수개로 형성될 수 있는데, 바람직하게 상기 중공축들(124,126)의 내,외주면 상에 축중심으로 90ㅀ로 균등 분할하여 4개가 설치될 수 있다. 따라서, 상기 돌기부(124a,126a)가 슬라이딩 홈(124b,126b)에 체결되어 스플라인축(120)이 회전하는 경우 편심되지 않고 균일하게 동력을 전달할 수 있도록 한다.
상기에서 설명한 바와 같이, 기판이송장치(100)에 가변 스플라인축(120)을 채용하여 사용하게 되면 불필요하게 낭비되는 공간을 줄일 수 있고, 종래의 긴 스 플라인축으로 인한 소음 및 진동을 방지할 수 있는 장점이 있다.
이상, 본 발명은 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구의 범위와 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
본 발명인 기판이송장치에 따르면, 기판을 이송하는 벨트를 구동시키는 스플라인축의 형태를 축방향으로 신축 가능한 형상으로 변경함으로써 종래의 긴 스플라인축의 긴 길이로 인한 문제점을 해결하게 한다. 또한, 기판이송장치를 듀얼레인으로 설치함으로써 공정 수행 능력을 높일 수 있게 한다.

Claims (5)

  1. 일정한 거리를 유지하며 평행하게 배치되는 복수개의 가이드블럭;
    상기 가이드블럭 사이에 그 축방향으로 신축 가능하게 마련되는 스플라인축;
    상기 스플라인축 양단에 고정되는 풀리; 및
    상기 풀리에 연결되어 상기 가이드블럭 상에서 이동하며 기판을 이송하는 벨트를 포함하는 기판이송장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 스플라인축은 접이식 안테나 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 스플라인축은 복수의 중공형 원통이 겹쳐짐으로써 구성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 중공형 원통의 일측 외주면 상에 돌기부가 형성되고, 내주면에는 슬라이딩 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 돌기부 및 상기 슬라이딩 홈은 상기 스플라인축의 축중심을 기준으로 90ㅀ로 균등 분할하여 각각 4개가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101020582B1 (ko) * 2008-07-22 2011-03-09 에스티에스반도체통신 주식회사 다이 부착 설비의 기판 운송 장치
KR101395570B1 (ko) * 2013-01-04 2014-05-19 에스브이에스 주식회사 기판공급장치
CN108439781A (zh) * 2014-05-29 2018-08-24 塔工程有限公司 划线装置用输送带及具备其的划线装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101020582B1 (ko) * 2008-07-22 2011-03-09 에스티에스반도체통신 주식회사 다이 부착 설비의 기판 운송 장치
KR101395570B1 (ko) * 2013-01-04 2014-05-19 에스브이에스 주식회사 기판공급장치
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