KR20080003969U - Block heater coupling device of gas line - Google Patents

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Abstract

본 고안이 이루고자 하는 기술적 과제는 히터에 의해 가스라인에 열을 가할 수 있도록 상하로 분리된 한쌍의 블록을 볼트를 사용하지 않고도 결합할 수 있게 하여 블록 히터의 크기를 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 체결 위치를 자유롭게 결정할 수 있도록 함으로써 유지 보수가 용이한 가스라인의 블록 히터 결합 장치를 제공하기 위한 것이다.The technical problem to be achieved by the present invention is to not only minimize the size of the block heater by connecting a pair of blocks separated up and down to use a bolt to heat the gas line by the heater, but also to the fastening position It is to provide a block heater coupling device of the gas line is easy to maintain by allowing the free to determine.

본 고안의 기술적 과제는 상하로 분리되어 가스라인이 끼워지는 안착부가 형성된 한쌍의 블록; 상기 블록에 구비되어 콘트롤러에 의해 제어되는 히터;를 구비한 것에 있어서, 상하부에 지지부가 형성되어 이 지지부 사이로 형합된 상기 블록이 측방에서 끼워지는 체결부재; 상기 지지부중 하나에 형성된 나사공; 상기 나사공에 결합된 고정나사;를 포함하는 가스라인의 블록 히터 결합 장치에 의하여 달성 되어진다.The technical problem of the present invention is a pair of blocks formed by the mounting portion is separated up and down the gas line; A heater provided in the block and controlled by a controller, the support member having a top and bottom portions formed therein, the fastening member having the block fitted between the support portions being fitted from the side; A screw hole formed in one of the support portions; Fixing screw coupled to the screw hole; is achieved by a block heater coupling device of a gas line comprising a.

반도체, 가스라인, 블록 히터 Semiconductor, Gas Line, Block Heater

Description

가스라인의 블록 히터 결합장치 {omitted}Block heater coupling device of gas line {omitted}

도 1은 종래의 블록 히터 결합구조를 보인 단면도1 is a cross-sectional view showing a conventional block heater coupling structure

도 2는 본 고안의 블록 히터 결합 장치를 보인 사시도Figure 2 is a perspective view showing a block heater coupling device of the present invention

도 3은 본 고안의 블록 히터 결합 장치를 보인 사용상태사시도Figure 3 is a use state showing the block heater coupling device of the present invention

도 4는 도 3의 A-A선 단면도4 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 5는 본 고안이 안전커버가 구비된 블록 히터를 보인 다른 실시예시도Figure 5 is another embodiment of the present invention showing a block heater with a safety cover

도 6은 본 고안의 안전커버가 구비된 블록 히터에 결합장치를 사용한 상태를 보인 단면도Figure 6 is a cross-sectional view showing a state using a coupling device for a block heater with a safety cover of the present invention

[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명][Explanation of symbols on the main parts of the drawings]

10,20 : 블록 11,21 : 안착부10,20: block 11,21: seating part

30 : 가스라인 40 : 히터30 gas line 40 heater

50 : 체결부재 51,52 : 지지부50: fastening member 51,52: support

53 : 나사공 60 : 고정나사53: screw hole 60: fixing screw

70,80 : 안전커버70,80: Safety cover

본 고안은 반도체 장치의 가스 라인을 균일하게 가열하는 상하로 분리된 블록 히터에 있어서 크기를 최소화 하는데 장애 요소가 되는 볼트를 사용하지 않고도 블록을 결합할 수 있도록 한 가스라인의 블록 히터 결합 장치를 제공하기 위한 것이다.The present invention provides a block heater coupling device of a gas line that allows the blocks to be joined without using bolts, which are obstacles in minimizing the size, in a vertically separated block heater that uniformly heats the gas line of the semiconductor device. It is to.

일반적으로 반도체 장치의 가스라인을 균일한 온도로 가열하기 위한 수단으로 콘트롤러에 의해 제어되는 히터가 구비된 블록 히터가 사용되는데, 종래의 블록 히터는 도 1에 도시된 바와 같이 상하로 분리되어 가스라인(c)이 끼워지는 장착부(b)가 형성된 블록(a); 상기 블록(a)에 설치되어 콘트롤러(도시되지 않음)에 의해 발연되는 히터(d); 상기 블록(a)을 관통하여 체결되는 다수의 볼트(e);로 이루어지는 것이다. 도 1에서는 가스라인(c)을 감싸는 원통형 모양의 히터(d)를 도시하였으나 히터(d)의 설치 위치 및 방법은 다양한 방식으로 이루어질 수 있다.In general, a block heater having a heater controlled by a controller is used as a means for heating a gas line of a semiconductor device to a uniform temperature. A conventional block heater is divided into a gas line up and down as shown in FIG. 1. a block (a) on which a mounting portion (b) into which (c) is fitted is formed; A heater (d) installed in the block (a) and smoked by a controller (not shown); It consists of a plurality of bolts (e) fastened through the block (a). Although FIG. 1 illustrates a cylindrical heater d surrounding the gas line c, the installation position and method of the heater d may be made in various ways.

이와같이 된 종래의 블록 히터는 상하로 나누어진 블록(a)를 결합하기 위해 볼트(e)를 사용하기 때문에 장착부(b)를 지나지 않도록 관통구멍(f)이 형성될 수 있도록 블록(a)의 폭을 크게 해야 하기 때문에 가스라인(c)을 구성하는데 장애 요인이 되고 있으며, 히터(d)에 이상이 있는 경우 다수의 볼트(e)를 모두 풀어야만 블록(a)을 분해할 수 있을 뿐만 아니라 볼트(e)의 체결 위치가 결정되어 있기 때문에 가스라인(c)의 주변 여건이 허락하지 않을 경우 블록(a)의 결합 및 분해 작업이 어려워지는 등의 문제점이 있었다.Since the conventional block heater uses a bolt (e) to join the block (a) divided up and down, the width of the block (a) so that the through hole (f) can be formed so as not to pass through the mounting portion (b) Since it is necessary to increase the size of the gas line (c), it becomes an obstacle to construct the gas line (c). If there is an error in the heater (d), it is necessary to loosen all the bolts (e) to disassemble the block (a) as well as the bolts. Since the fastening position of (e) has been determined, there is a problem that the joining and disassembly of the block (a) becomes difficult when the surrounding condition of the gas line (c) is not allowed.

본 고안이 이루고자 하는 기술적 과제는 히터에 의해 가스라인에 열을 가할 수 있도록 상하로 분리된 한쌍의 블록을 볼트를 사용하지 않고도 결합할 수 있게 하여 블록 히터의 크기를 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 체결 위치를 자유롭게 결정할 수 있도록 함으로써 유지 보수가 용이한 가스라인의 블록 히터 결합 장치를 제공하기 위한 것이다.The technical problem to be achieved by the present invention is to not only minimize the size of the block heater by connecting a pair of blocks separated up and down to use a bolt to heat the gas line by the heater, but also to the fastening position It is to provide a block heater coupling device of the gas line is easy to maintain by allowing the free to determine.

본 고안의 기술적 과제는 상하로 분리되어 가스라인이 끼워지는 안착부가 형성된 한쌍의 블록; 상기 블록에 구비되어 콘트롤러에 의해 제어되는 히터;를 구비한 것에 있어서, 상하부에 지지부가 형성되어 이 지지부 사이로 형합된 상기 블록이 측방에서 끼워지는 체결부재; 상기 지지부중 하나에 형성된 나사공; 상기 나사공에 결합된 고정나사;를 포함하는 가스라인의 블록 히터 결합 장치에 의하여 달성 되어진다.The technical problem of the present invention is a pair of blocks formed by the mounting portion is separated up and down the gas line; A heater provided in the block and controlled by a controller, the support member having a top and bottom portions formed therein, the fastening member having the block fitted between the support portions being fitted from the side; A screw hole formed in one of the support portions; Fixing screw coupled to the screw hole; is achieved by a block heater coupling device of a gas line comprising a.

본 고안의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거 상세히 설명하면 다음과 같다.Preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 내지 도 4 본 고안의 블록 히터 결합 장치를 설명하기 위한 도면으로써 이것은 도시된 바와 같이 상하로 분리되어 가스라인(30)이 끼워지는 안착부(11)(21)가 형성된 한쌍의 블록(10)(20); 상기 블록(10)(20)에 구비되어 콘트롤러에 의해 제어되는 히터(40);를 구비한 것에 있어서, 상하부에 지지부(51)(52)가 형성되어 이 지지부(51)(52)사이로 형합된 상기 블록(10)(20)이 측방에서 끼워지는 체결부재(50); 상기 지지부(51)(52)중 하나에 형성된 나사공(53); 상기 나사공(53)에 결합된 고정나사(60);를 포함하는 가스라인의 블록 히터 결합장치에 관한 것이 다.2 to 4 are diagrams for explaining the block heater coupling apparatus of the present invention, which is separated from the top and bottom as shown, a pair of blocks 10 having seating portions 11 and 21 into which the gas lines 30 are fitted. 20; The heater 10 is provided in the block 10, 20, and controlled by a controller, the upper and lower support parts 51, 52 are formed in the upper and lower parts formed between the support parts (51, 52) Fastening member 50 to which the block 10, 20 is fitted from the side; A screw hole 53 formed in one of the support parts 51 and 52; It relates to a block heater coupling device of a gas line comprising a; fixing screw (60) coupled to the screw hole (53).

상기 히터(40)는 가스라인(30)을 감싼 상태에서 안착부(11)(21)에 놓여지는 방식을 도시하였으나 블록(10)(20)이 상하로 분리된 방식의 블록 히터라면 히터(40)의 종류는 물론 설치 위치나 모양에 관계 없이 본 고안의 체결부재(50)를 사용할 수 있다.The heater 40 shows a method in which the heater 40 is placed on the seating portions 11 and 21 in a state in which the gas line 30 is wrapped, but the block 40 is a block heater in which the blocks 10 and 20 are divided up and down. ), As well as the installation position or shape of the fastening member 50 of the present invention can be used.

상기 지지부(51)(52)사이의 간견은 고정나사(60)를 조여주기 전에는 형합된 블록(10)(20)의 높이보다 크기 때문에 체결부재(50)를 블록(10)(20)의 어느 위치에나 간편하게 위치 시킨후 고정나사(60)를 조여줌으로써 블록(10)(20)을 결합할 수 있다.Since the gap between the support parts 51 and 52 is larger than the height of the blocks 10 and 20 which are joined before the fixing screw 60 is tightened, the fastening member 50 may be formed in any of the blocks 10 and 20. After positioning simply at a position, the blocks 10 and 20 can be combined by tightening the fixing screw 60.

본 고안의 체결부재(50)를 이용하여 결합되는 블록(10)(20)은 종래처럼 볼트가 통과하는 관통구멍을 형성할 필요가 없기 때문에 상대적으로 크기가 작아지게 되어 가스라인(30)이 설치되는데 필요로 하는 공간적인 제약을 극복할 수 있으며, 블록(10)(20)의 제작이 용이해지는 잇점을 제공하게 된다.Blocks 10 and 20 coupled using the fastening member 50 of the present invention do not need to form a through-hole through which bolts pass as in the prior art, so that the size becomes relatively small and the gas line 30 is installed. It is possible to overcome the spatial constraints required to be provided, and to provide an advantage that the fabrication of blocks 10 and 20 is easy.

또한 체결부재(50)의 위치를 자유롭게 결정할 수 있다는 것은 블록(10)(20)이 설치된 후 고정나사(60)를 용이하게 조이거나 풀어줌으로써 히터(40)에 이상이 발생되었을 경우 블록(10)(20)을 용이하게 분해 및 결합할 수 있다는 것을 의미한다.In addition, the position of the fastening member 50 can be freely determined that the block 10 and 20 are installed when the abnormality occurs in the heater 40 by easily tightening or releasing the fixing screw 60 after the block 10 is installed. It means that (20) can be easily decomposed and combined.

도 5 및 도 6은 히터(40)가 블록(10)(20)에 내설되는 타입의 블록 히터에 안전 커버(70)(80)를 설치하고 본 고안의 체결부재(50)를 사용하여 결합한 상태를 보인 도면이다.5 and 6 is a state in which the heater 40 is installed in the block heater of the type imparted to the block 10, 20, the safety cover 70, 80 is installed and coupled using the fastening member 50 of the present invention Figure is shown.

상기 안전 커버(70)는 히터(40)에 의해 가열된 블록(10)(20)에 작업자의 신체가 직접 닿지 않도록 함으로써 화상으로부터 작업자를 보호하기 위한 것으로 이렇게 안전 커버(70)가 구비된 블록 히터에 사용되는 본 고안의 체결부재(50)는 지지부(51)(52)사이에 블록(10)(20)에 결합되는 안전 커버(70)(80)가 끼워질 수 있는 크기로 제작되어야 함은 물론이다.The safety cover 70 is to protect the worker from burns by preventing the worker's body from directly touching the blocks 10 and 20 heated by the heater 40. Thus, the block heater with the safety cover 70 is provided. The fastening member 50 of the present invention to be used is to be manufactured in a size that can be fitted to the safety cover 70, 80 coupled to the block 10, 20 between the support (51) (52) Of course.

상기 안전커버(70)(80)를 블록(10)(20)에 나사(71)(81)로 결합하더라도 이 나사공(72)(82)은 블록(10)(20)을 관통하지 않아도 되기 때문에 블록(10)(20)의 크기에는 영향을 주지 않는다. 이는 도 4에서 종래의 볼트가 통과하는 관통구멍을 필요로 하는 블록의 크기를 나타내는 점선과 실선으로 나타난 본 고안의 블록(10)(20)을 비교해 보면 용이하게 알 수 있다.Even if the safety covers 70 and 80 are coupled to the blocks 10 and 20 with screws 71 and 81, the screw holes 72 and 82 do not have to penetrate the blocks 10 and 20. Therefore, the size of blocks 10 and 20 is not affected. This can be easily seen when comparing the block 10, 20 of the present invention shown by the dotted line and the solid line indicating the size of the block requiring a through hole through which the conventional bolt passes in FIG.

이와같이 본 고안은 블록의 측방에서 위치에 관계없이 끼워져 고정나사를 조여주면 상하로 분리된 블록이 견고히 조립될 수 있도록 한 결합수단을 제공하여 블록을 결합하기 위해 볼트가 통과하는 관통구멍을 안착부를 지나지 않도록 형성할 필요가 없게 함으로써 블록의 크기를 최소화할 수 있도록 함은 물론 블록 히터의 유지 보수가 용이한 등의 효과가 있는 유용한 고안이다.In this way, the present invention is provided regardless of the position from the side of the block and tightening the fixing screw to provide a coupling means that can be firmly assembled blocks separated up and down to pass through the through hole through the bolt through the bolt to join the block It is a useful design that can minimize the size of the block by not forming so that the block heater can be minimized, and the maintenance of the block heater is easy.

이상에서는 본 고안을 첨부된 도면에 한정하여 설명하였으나 여기에 한정되는 것은 아니며, 본 고안의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능함은 물론이다.The present invention has been described above with reference to the accompanying drawings, but is not limited thereto, and various modifications may be made without departing from the technical spirit of the present invention.

Claims (2)

상하로 분리되어 가스라인(30)이 끼워지는 안착부(11)(21)가 형성된 한쌍의 블록(10)(20); 상기 블록(10)(20)에 구비되어 콘트롤러에 의해 제어되는 히터(40);를 구비한 것에 있어서, 상하부에 지지부(51)(52)가 형성되어 이 지지부(51)(52)사이로 형합된 상기 블록(10)(20)이 측방에서 끼워지는 체결부재(50); 상기 지지부(51)(52)중 하나에 형성된 나사공(53); 상기 나사공(53)에 결합된 고정나사(60);를 포함하는 가스라인의 블록 히터 결합장치.A pair of blocks 10 and 20 having vertically separated and mounted parts 11 and 21 into which the gas lines 30 are fitted; The heater 10 is provided in the block 10, 20, and controlled by a controller, the upper and lower support parts 51, 52 are formed in the upper and lower parts formed between the support parts (51, 52) Fastening member 50 to which the block 10, 20 is fitted from the side; A screw hole 53 formed in one of the support parts 51 and 52; Block heater coupling device of a gas line comprising a; fixing screw (60) coupled to the screw hole (53). 청구항 1에 있어서, 상기 체결부재(50)의 지지부(51)(52) 간격이 블록(10)(20)을 감싸는 안전 커버(70)(80)에 끼워질 수 있도록 형성된 것을 특징으로 하는 가스라인의 블록 히터 결합장치.The gas line of claim 1, wherein a space between the support parts 51 and 52 of the fastening member 50 is fitted to the safety covers 70 and 80 surrounding the blocks 10 and 20. Block heater coupling device.
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